JP3384519B2 - 工作機械用テーブル装置 - Google Patents
工作機械用テーブル装置Info
- Publication number
- JP3384519B2 JP3384519B2 JP29055095A JP29055095A JP3384519B2 JP 3384519 B2 JP3384519 B2 JP 3384519B2 JP 29055095 A JP29055095 A JP 29055095A JP 29055095 A JP29055095 A JP 29055095A JP 3384519 B2 JP3384519 B2 JP 3384519B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- sliding surface
- guide member
- feedback
- recess
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/22—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C41/00—Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
テーブルを移動し、スケール部と検出部を備えたフィー
ドバックスケールを利用してテーブルの送りをフィード
バック制御する構成の工作機械用テーブル装置に関する
ものである。
ク方式で制御することにより、テーブルの送り精度及び
位置決め精度を高めることが可能である。
式の制御であり、工作機械ではフィードバックスケール
を用いて行われている。
のスケール部と検出部から構成される。検出部はスライ
ダとも呼ばれる。
ケールの取付け方を説明する。
の間の空間領域に、フィードバックスケールを配置して
いた。スケール部21は、案内部材15と平行に、例え
ばサドル12に固定されていた。一方、検出部22は、
ブラケット24を介してテーブル11側に固定されてい
た。勿論、スケール部21と検出部22はこの反対に取
り付けても良い。
は、スケール部21がケーシングを有し相当大きな取付
け空間を必要としていたためである。また、単体販売さ
れたフィードバックスケールをできる限り効率良く取付
けたいと云う意図もあった。なお、フィードバックスケ
ールは、ケーシング付きで単体販売されるのが常であっ
た。
スケールは、電磁誘導や磁気を利用したものが主流であ
り、その分解能は1μm〜数μm程度であった。
メンタル方式のフィードバックスケールが広範に用いら
れるようになってきた。この方式のフィードバックスケ
ールでは、0.05μm〜0.1μmもの高分解能を有
するスケールも実用化されている。
分解能を有するフィードバックスケールをテーブル装置
に取り付けてフィードバック制御を行っても、それに見
合ったテーブルの位置決め精度が得られないことがあっ
た。
果、本発明者達は、フィードバックスケールの取付け方
に問題があることを見い出した。
部材23)の撓み、変位及び振動が位置決め精度を悪化
させていたのである。
け位置、すなわち取付け部材23とブラケット24の固
定位置が離れていることも精度悪化の一因と考えられ
る。つまり、テーブル移動の「ぶれ」や「ヒステリシ
ス」のようなものも、フィードバックスケールの動作に
微妙な影響を与えていたのである。「ぶれ」自体が極め
て僅かであっても、ブラケット24によって増幅される
ため、結果的に有意の検出誤差が生じていたのである。
発明はフィードバックスケールの固有の分解能に見合っ
た精度でテーブルの位置決めを行うことができる高精度
の工作機械用テーブル装置を提供することを目的として
いる。
(15)が上方部に凸部を有し、その凸部が、上方と側
方にそれぞれ上方摺動面と側方摺動面を有し、テーブル
(11)が凹所を有し、その凹所が、それらのガイド部
材(15)の上方摺動面と側方摺動面に直接係合する上
方摺動面と側方摺動面を有し、ガイド部材(15)の凸
部の上方摺動面と側方摺動面がテーブル(11)の凹所
の上方摺動面と側方摺動面にそれぞれ直接接触する摺動
部を構成して、ガイド部材(15)に沿ってテーブル
(11)が摺動しながら移動し、フィードバックスケー
ルがスケール部(21)と検出部(22)を備えてお
り、テーブル(11)の凹所内において、ガイド部材
(15)の上方部の凸部とテーブル(11)の凹所の近
接する対向面(25,26)の一方(25又は26)に
フィードバックスケールのスケール部(21)を設定
し、他方(26又は25)に検出部(22)を設定し、
スケール部(21)と検出部(22)の両方がテーブル
(11)の凹所の内部に配置されており、対向面(2
5,26)の少なくとも一方に小さな凹状の設定部(2
5a,26a)を設け、そこにフィードバックスケール
のスケール部(21)又は検出部(22)を埋込んだ形
で設定し、スケール部(21)の温度を摺動部の温度と
大体同じにする構成にしたことを特徴とする工作機械用
テーブル装置を要旨としている。
する。
ブル装置の実施例を示す断面図、上面図である。
方に特徴を有し、他の部分は従来の工作機械用テーブル
装置の構成をそのまま採用できる。従って、以下では、
その点を中心に説明する。
通常の膝型フライス盤、ベッド型フライス盤、旋盤、研
削盤、放電加工機、横中ぐり盤等のNC工作機械(図示
せず)に適用可能である。
いる。
レール状案内部材15が平行に配置されている。案内部
材15は、横断面が全体的にT字型である。
行に送りネジ13が軸芯回りに回転可能に支持されてい
る。送りネジ13の一端には、サーボモータ19が接続
されている。
ド移動可能に設定されている。すなわち、テーブル11
の下面に凹所が形成されており、そこに案内部材15が
係合している。また、案内部材15の下面中央部には、
ナット14が固定されている。
り、送りネジ13が回転するとナット14がテーブル1
1と共にスライド移動する構成になっている。送りネジ
13は、高精度のボールネジでも良いし、通常の台形ネ
ジでも良い。
ク制御を高精度で行えるため、通常の台形ネジでもある
程度の精度を得ることができる。
5のT字型断面の上面と右側面が摺動面になっている。
一方、図1においてテーブル11の凹所の上面と右側面
が、これらに対応する摺動面になっている。
ブル11の凹所の左側面は近接しているが摺動せず、両
者の間には少しの隙間が形成されている。
付用凹所が形成されていて、そこにフィードバックスケ
ールのスケール部21がボルトで固定されている。一
方、テーブル11の凹所の左側面には、フィードバック
スケールの検出部22がスケール部21に対向するよう
に固定されている。
の近接する対向面のそれぞれに、フィードバックスケー
ルのスケール部21と検出部22を直接取り付けること
によって、取付けブラケットが不用となり、その撓みや
変位に起因する誤差を取り除くことができる。
のケーシングが不用となる。このように、スケール部2
1のケーシングを省略し取り付け断面積を小さくするこ
とによって、スケール部21を案内部材15に埋め込む
ことができるのである。
温度と大体同じになるため、精度誤差を低減できる。
付け、検出部22を案内部材15に取付けても良い。
示す説明図である。
工作機械のNC制御装置4に接続されている。サーボモ
ータ19もNC制御装置4に接続されている。
に基づいて、テーブル11の送りをフィードバック制御
する構成になっている。
水供給装置等も、周知のようにNC制御装置4で制御さ
れる。
る。サドル12も、テーブルの移動方向と垂直方向にベ
ッド上でスライド移動可能である。サドル12とベッド
の間にも、同様の方式でフィードバックスケールが設定
される。このようにすれば、X方向とY方向の両方で正
確なフィードバック制御を行うことが可能である。
明する。
上部摺動面25に取付用凹所25aが形成され、そこに
スケール部21が埋め込まれている。この面と摺動する
テーブル11の摺動面26にも取付用凹所26aが形成
され、そこに検出部22が設定されている。
付け、案内部材15に検出部22を取付けることも可能
である。
効果を得ることができる。
い。
ば、案内部材15とテーブル11の近接する対向面のそ
れぞれに、フィードバックスケールのスケール部21と
検出部22を埋込んだ形で直接取付ける構成になってい
るため、高精度の位置決めができる。とくに、温度差
や、取付けブラケットの撓みや変位に起因する誤差を取
り除くことができる。従って、高精度のフィードバック
制御を実現できる。
のケーシングが不用となる。従って、コスト削減が可能
である。
温度と大体同じになるため、精度誤差を低減できる。
場合にも、ある程度高精度の送り・位置決めを行うこと
ができる。
す断面図。
示す説明図。
Claims (3)
- 【請求項1】 ガイド部材(15)が上方部に凸部を有
し、その凸部が、上方と側方にそれぞれ上方摺動面と側
方摺動面を有し、テーブル(11)が凹所を有し、その
凹所が、それらのガイド部材(15)の上方摺動面と側
方摺動面に直接係合する上方摺動面と側方摺動面を有
し、ガイド部材(15)の凸部の上方摺動面と側方摺動
面がテーブル(11)の凹所の上方摺動面と側方摺動面
にそれぞれ直接接触する摺動部を構成して、ガイド部材
(15)に沿ってテーブル(11)が摺動しながら移動
し、フィードバックスケールがスケール部(21)と検
出部(22)を備えており、テーブル(11)の凹所内
において、ガイド部材(15)の上方部の凸部とテーブ
ル(11)の凹所の近接する対向面(25,26)の一
方(25又は26)にフィードバックスケールのスケー
ル部(21)を設定し、他方(26又は25)に検出部
(22)を設定し、スケール部(21)と検出部(2
2)の両方がテーブル(11)の凹所の内部に配置され
ており、対向面(25,26)の少なくとも一方に小さ
な凹状の設定部(25a,26a)を設け、そこにフィ
ードバックスケールのスケール部(21)又は検出部
(22)を埋込んだ形で設定し、スケール部(21)の
温度を摺動部の温度と大体同じにする構成にしたことを
特徴とする工作機械用テーブル装置。 - 【請求項2】 ガイド部材(15)の上方部の凸部の横
断面が全体的にT字型又はL字型であることを特徴とす
る請求項1記載の工作機械用テーブル装置。 - 【請求項3】 テーブル(11)がXYテーブルである
ことを特徴とする請求項1記載の工作機械用テーブル装
置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29055095A JP3384519B2 (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | 工作機械用テーブル装置 |
US08/720,725 US5810342A (en) | 1995-10-13 | 1996-10-01 | Table apparatus with a feedback scale for a machine tool |
DE69601251T DE69601251T2 (de) | 1995-10-13 | 1996-10-09 | Tischvorrichtung für Werkzeugmaschinen |
EP96116143A EP0768146B1 (en) | 1995-10-13 | 1996-10-09 | Table apparatus for machine tool |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29055095A JP3384519B2 (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | 工作機械用テーブル装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09108996A JPH09108996A (ja) | 1997-04-28 |
JP3384519B2 true JP3384519B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=17757488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29055095A Expired - Fee Related JP3384519B2 (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | 工作機械用テーブル装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5810342A (ja) |
EP (1) | EP0768146B1 (ja) |
JP (1) | JP3384519B2 (ja) |
DE (1) | DE69601251T2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19806832A1 (de) | 1998-02-18 | 1999-08-26 | Fraunhofer Ges Forschung | Linearantrieb |
US7070041B1 (en) | 2000-08-18 | 2006-07-04 | Rexroth Star Gmbh | Linear guide unit |
US6711796B2 (en) * | 2001-10-11 | 2004-03-30 | Anderson Industrial Corp. | Circuit board stripper |
US7430968B2 (en) * | 2005-10-11 | 2008-10-07 | Clark Roger T | Folding work platform |
US7980538B1 (en) * | 2007-09-10 | 2011-07-19 | Sears Brands, L.L.C. | Clamping jig |
CN101398119B (zh) * | 2007-09-29 | 2011-02-16 | 李颖仲 | 三面静压闭式导轨自驱式圆转台 |
CN101959640A (zh) * | 2008-02-29 | 2011-01-26 | Thk株式会社 | 具备冷却结构的旋转工作台装置、具备冷却结构的旋转轴承 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CS151858B1 (ja) * | 1972-05-31 | 1973-11-19 | ||
US4013280A (en) * | 1976-08-09 | 1977-03-22 | Anwar Chitayat | Workpiece positioning table |
DE2714521A1 (de) * | 1977-04-01 | 1978-10-05 | Kolb Alfred | Vorrichtung zur exakten lagebestimmung von zwei gegeneinander geradlinig verschieblichen teilen |
DE3302643C2 (de) * | 1983-01-27 | 1987-01-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Spanneinrichtung für eine Längenmeßeinrichtung |
DE3307931C2 (de) * | 1983-03-05 | 1985-02-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
DE3410944C1 (de) * | 1984-03-24 | 1985-05-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Meßeinrichtung |
JPS61121855A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-09 | Yoshikazu Sato | 工作機械における位置検出器の取り付け方法 |
JPH0236683Y2 (ja) * | 1985-04-30 | 1990-10-04 | ||
JPS6279948A (ja) * | 1985-10-03 | 1987-04-13 | Inoue Japax Res Inc | 工作機械の加工送り装置 |
JPS62102949A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-13 | Inoue Japax Res Inc | 工作機械のサ−ボ駆動方法 |
GB8712723D0 (en) * | 1987-05-29 | 1987-07-01 | Anilam Electronics Europ Ltd | Transducer |
AT394111B (de) * | 1989-09-12 | 1992-02-10 | Rieder Heinz | Inkrementales messsystem |
JP3134590B2 (ja) * | 1993-05-13 | 2001-02-13 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | スケール装置 |
-
1995
- 1995-10-13 JP JP29055095A patent/JP3384519B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-10-01 US US08/720,725 patent/US5810342A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-10-09 DE DE69601251T patent/DE69601251T2/de not_active Revoked
- 1996-10-09 EP EP96116143A patent/EP0768146B1/en not_active Revoked
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09108996A (ja) | 1997-04-28 |
DE69601251T2 (de) | 1999-07-08 |
DE69601251D1 (de) | 1999-02-11 |
US5810342A (en) | 1998-09-22 |
EP0768146A3 (en) | 1997-04-23 |
EP0768146B1 (en) | 1998-12-30 |
EP0768146A2 (en) | 1997-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
GB2062294A (en) | Controlling a movable element in a machine tool | |
US4919575A (en) | Apparatus for compensating for the thermal displacement of the main spindle of a machine tool | |
JP3384519B2 (ja) | 工作機械用テーブル装置 | |
JP4351379B2 (ja) | 工作機械 | |
CN103495905A (zh) | 数控机床滑枕热伸长变形误差实时在线检测与闭环反馈补偿装置及检测方法 | |
US5005452A (en) | High production machining device | |
US4811525A (en) | Grinding head for a grinding machine | |
CN215432763U (zh) | 一种重型数控落地铣镗床滑枕热伸长补偿系统 | |
US5095258A (en) | Longitudinal motion error compensation apparatus method and apparatus for multiaxis CNC machine | |
CN213004159U (zh) | 一种光栅尺的安装结构 | |
US20220001474A1 (en) | Electric discharge machine and sensor unit | |
JPH01121148A (ja) | 工作機械 | |
JPS6161730A (ja) | 横形マシニングセンタ | |
JP2001246531A (ja) | 工作機械 | |
JPH08141866A (ja) | 送り台駆動装置 | |
CN218935782U (zh) | 一种移动稳定的三坐标测量仪 | |
JPS6039044A (ja) | 微細送り機構を備えたxyテ−ブル | |
JPH0584628A (ja) | 工作機械の熱変位補正装置 | |
JPS6240751Y2 (ja) | ||
JP2529270Y2 (ja) | 砥石台位置補正装置 | |
SU952471A1 (ru) | Станок дл обработки деталей переменной ширины | |
KR100728285B1 (ko) | 공작기계의 왕복대 지지구조 | |
JPH0751975A (ja) | ワークテーブルの前後動装置 | |
KR200149335Y1 (ko) | 씨엔씨선반용직선이송계의위치보정장치 | |
SU916101A1 (ru) | Устройство для компенсации упругих деформаций поперечины |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101227 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101227 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111227 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121227 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131227 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |