JP3376600B2 - 雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置 - Google Patents
雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は雰囲気の分析方法及び分
析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置に関す
る。
析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置に関す
る。
【０００２】クリーンルーム内の不純物といえば従来パ
ーティクルとして捕らえられる不純物であり，それを測
定する技術及びそれを制御するための空調技術が発達し
てきている。
ーティクルとして捕らえられる不純物であり，それを測
定する技術及びそれを制御するための空調技術が発達し
てきている。
【０００３】ところが，近年，半導体装置製造プロセス
の高度化に伴い，空気中に極く微量に存在するイオン状
の成分が問題視されるようになってきた。イオン状の成
分は例えばＮａ+ のような不純物イオンを含み，製造さ
れる半導体装置の信頼性を阻害する。
の高度化に伴い，空気中に極く微量に存在するイオン状
の成分が問題視されるようになってきた。イオン状の成
分は例えばＮａ+ のような不純物イオンを含み，製造さ
れる半導体装置の信頼性を阻害する。
【０００４】したがって，クリーンルーム雰囲気に含ま
れるこのような成分を分析し，その量を抑制するよう対
策することが要求される。
れるこのような成分を分析し，その量を抑制するよう対
策することが要求される。
【０００５】
【従来の技術】従来，空気中のイオン状成分の分析方法
として次のようなものがある。 ガスクロマトグラフィーにより，直接空気中の成分
を分析する方法。
として次のようなものがある。 ガスクロマトグラフィーにより，直接空気中の成分
を分析する方法。
【０００６】 純水中をバブリングして空気を通する
ことにより純水に空気中の成分を溶解し，その純水を分
析する方法。 ところが，これらの方法は次のような問題がある。即
ち，では空気中に極く微量に存在するイオン状の成分
（例えば１ｍ3 中に数ｎｇ）の測定は極めて困難であ
り，では純水中に溶解させるためには数時間乃至数十
時間の空気との強制的接触が必要であり，リアルタイム
の測定ができない。
ことにより純水に空気中の成分を溶解し，その純水を分
析する方法。 ところが，これらの方法は次のような問題がある。即
ち，では空気中に極く微量に存在するイオン状の成分
（例えば１ｍ3 中に数ｎｇ）の測定は極めて困難であ
り，では純水中に溶解させるためには数時間乃至数十
時間の空気との強制的接触が必要であり，リアルタイム
の測定ができない。
【０００７】そのため，空気中に極く微量に存在するイ
オン状の成分をリアルタイムに測定する方法の開発が必
要となっている。
オン状の成分をリアルタイムに測定する方法の開発が必
要となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題に
鑑み，空気中の成分を純水中に溶解させる方法を発展さ
せ，直接雰囲気から水分を取り出して分析する新しい分
析方法及び分析装置を提供するものであり，さらに，ク
リーンルーム雰囲気のイオン状成分をある値以下に押さ
える制御装置を提供するものである。
鑑み，空気中の成分を純水中に溶解させる方法を発展さ
せ，直接雰囲気から水分を取り出して分析する新しい分
析方法及び分析装置を提供するものであり，さらに，ク
リーンルーム雰囲気のイオン状成分をある値以下に押さ
える制御装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１は雰囲気の分析装置
を説明する図，図２はクリーンルーム雰囲気の制御方法
（その１）を説明する図，図３はクリーンルーム雰囲気
の制御方法（その２）を説明する図である。
を説明する図，図２はクリーンルーム雰囲気の制御方法
（その１）を説明する図，図３はクリーンルーム雰囲気
の制御方法（その２）を説明する図である。
【００１０】上記課題は、クリーンルームの常温雰囲気
を常時連続的に採取して冷却し，得られた結露水を回収
して該結露水に含まれる不純物を随時分析する雰囲気の
分析方法によって解決される。
を常時連続的に採取して冷却し，得られた結露水を回収
して該結露水に含まれる不純物を随時分析する雰囲気の
分析方法によって解決される。
【００１１】また、クリーンルームの常温雰囲気を常時
連続的に採取する手段と，採取した雰囲気を冷却する冷
却部と，該冷却部で生成した結露水を回収するドレイン
受けと，該結露水に含まれる不純物を分析する分析装置
とを有する雰囲気の分析装置によって解決される。
連続的に採取する手段と，採取した雰囲気を冷却する冷
却部と，該冷却部で生成した結露水を回収するドレイン
受けと，該結露水に含まれる不純物を分析する分析装置
とを有する雰囲気の分析装置によって解決される。
【００１２】また，上記の雰囲気の分析装置と，クリー
ンルーム11に外気を供給する外気供給経路12に設けられ
た第１の空気量調整弁13と, 該クリーンルーム11から排
出された空気を該クリーンルーム11へリターンするリタ
ーン経路15に設けられた第２の空気量調整弁16と, 該分
析装置による不純物の量が予め設定した量より多くなっ
た時，リターン経路15風量の外気供給経路12風量に対す
る割合を下げるように該第２の空気量調整弁16及び又は
該第１の空気量調整弁13を操作する入出力変換部17とを
有するクリーンルーム雰囲気の制御装置によって解決さ
れる。
ンルーム11に外気を供給する外気供給経路12に設けられ
た第１の空気量調整弁13と, 該クリーンルーム11から排
出された空気を該クリーンルーム11へリターンするリタ
ーン経路15に設けられた第２の空気量調整弁16と, 該分
析装置による不純物の量が予め設定した量より多くなっ
た時，リターン経路15風量の外気供給経路12風量に対す
る割合を下げるように該第２の空気量調整弁16及び又は
該第１の空気量調整弁13を操作する入出力変換部17とを
有するクリーンルーム雰囲気の制御装置によって解決さ
れる。
【００１３】また，上記の雰囲気の分析装置と，クリー
ンルーム11から排出された空気を該クリーンルーム11へ
リターンするリターン主経路21に設けられた第１の空気
量調整弁22と, 該リターン主経路21の一部と並列に設け
られ，一部に不純物吸着剤24の装填されたリターン副経
路23に設けられた第２の空気量調整弁25と, 該分析装置
による不純物の量が予め設定した量より多くなった時，
リターン主経路21風量のリターン副経路23風量に対する
割合を下げるように該第１の空気量調整弁22及び該第２
の空気量調整弁25を操作する入出力変換部26とを有する
クリーンルーム雰囲気の制御装置によって解決される。
ンルーム11から排出された空気を該クリーンルーム11へ
リターンするリターン主経路21に設けられた第１の空気
量調整弁22と, 該リターン主経路21の一部と並列に設け
られ，一部に不純物吸着剤24の装填されたリターン副経
路23に設けられた第２の空気量調整弁25と, 該分析装置
による不純物の量が予め設定した量より多くなった時，
リターン主経路21風量のリターン副経路23風量に対する
割合を下げるように該第１の空気量調整弁22及び該第２
の空気量調整弁25を操作する入出力変換部26とを有する
クリーンルーム雰囲気の制御装置によって解決される。
【００１４】
【作用】図４は水分を含む雰囲気からの結露を説明する
図であり，温度に対する空気の保有水分量を示してい
る。曲線ａは飽和水蒸気を含む空気の場合，曲線ｂは未
飽和水蒸気を含む空気の場合である。
図であり，温度に対する空気の保有水分量を示してい
る。曲線ａは飽和水蒸気を含む空気の場合，曲線ｂは未
飽和水蒸気を含む空気の場合である。
【００１５】未飽和水蒸気を含む空気を温度Ｔ1 から冷
却して行くと，温度Ｔ2 で飽和に達し，さらに冷却する
と余剰水分が結露してくる。温度Ｔ3 では（ｘ1 −
ｘ2 ）の余剰水分が結露する。
却して行くと，温度Ｔ2 で飽和に達し，さらに冷却する
と余剰水分が結露してくる。温度Ｔ3 では（ｘ1 −
ｘ2 ）の余剰水分が結露する。
【００１６】したがって，雰囲気を冷却することにより
雰囲気に含まれる水分を結露させて結露水を得ることが
できる。結露水は雰囲気中の不純物を溶解しているの
で，結露水に含まれる不純物を分析することにより雰囲
気に含まれる不純物を分析することができる。
雰囲気に含まれる水分を結露させて結露水を得ることが
できる。結露水は雰囲気中の不純物を溶解しているの
で，結露水に含まれる不純物を分析することにより雰囲
気に含まれる不純物を分析することができる。
【００１７】クリーンルームの雰囲気は，例えば温度２
４℃，水分が飽和水蒸気量の４５％に調整されており，
これを冷却すると 11.5 ℃で飽和に達する。したがっ
て，この雰囲気を例えば６℃の冷却水の流れる冷却部
（パイプ）３に接触させたとすると冷却部３の外面に結
露水２を生じる。
４℃，水分が飽和水蒸気量の４５％に調整されており，
これを冷却すると 11.5 ℃で飽和に達する。したがっ
て，この雰囲気を例えば６℃の冷却水の流れる冷却部
（パイプ）３に接触させたとすると冷却部３の外面に結
露水２を生じる。
【００１８】この結露水２をドレイン受け4aで受け，結
露水２に含まれる不純物を分析装置７により分析すれ
ば，リアルタイムで連続してクリーンルーム雰囲気に含
まれる不純物を分析することができる。この時，冷却部
３及びドレイン受け4aの表面が石英又は高分子材料であ
れば冷却部３及びドレイン受け4aから結露水２に不純物
が入り込まないので，分析精度が向上する。
露水２に含まれる不純物を分析装置７により分析すれ
ば，リアルタイムで連続してクリーンルーム雰囲気に含
まれる不純物を分析することができる。この時，冷却部
３及びドレイン受け4aの表面が石英又は高分子材料であ
れば冷却部３及びドレイン受け4aから結露水２に不純物
が入り込まないので，分析精度が向上する。
【００１９】クリーンルームの運転に際し，クリーンル
ーム11への外気の供給を節約するため，クリーンルーム
11から排出された空気をクリーンルーム11へ一部リター
ンすることが行われるが，クリーンルーム11内の汚染が
進んだ時はその汚染を減らすためリターン空気量と外気
供給量の割合を調整しなければならない。そのため，雰
囲気の分析装置７と，外気供給経路12に第１の空気量調
整弁13と, リターン経路15に第２の空気量調整弁16と，
入出力変換部17とを設け，雰囲気の分析装置７による不
純物の量が予め設定した量より多くなった時，入出力変
換部17によりリターン経路15風量の外気供給経路12風量
に対する割合を下げるように第２の空気量調整弁16及び
又は第１の空気量調整弁13を操作する。これによりクリ
ーンルーム雰囲気の汚染が抑制される。
ーム11への外気の供給を節約するため，クリーンルーム
11から排出された空気をクリーンルーム11へ一部リター
ンすることが行われるが，クリーンルーム11内の汚染が
進んだ時はその汚染を減らすためリターン空気量と外気
供給量の割合を調整しなければならない。そのため，雰
囲気の分析装置７と，外気供給経路12に第１の空気量調
整弁13と, リターン経路15に第２の空気量調整弁16と，
入出力変換部17とを設け，雰囲気の分析装置７による不
純物の量が予め設定した量より多くなった時，入出力変
換部17によりリターン経路15風量の外気供給経路12風量
に対する割合を下げるように第２の空気量調整弁16及び
又は第１の空気量調整弁13を操作する。これによりクリ
ーンルーム雰囲気の汚染が抑制される。
【００２０】また，クリーンルーム11内の汚染が進んだ
時その汚染を減らすため，リターン主経路21に第１の空
気量調整弁22と, リターン主経路21の一部と並列に設け
られ一部に不純物吸着剤24の装填されたリターン副経路
23に第２の空気量調整弁25と，入出力変換部26を設け，
雰囲気の分析装置７による不純物の量が予め設定した量
より多くなった時，入出力変換部26によりリターン主経
路21風量のリターン副経路23風量に対する割合を下げる
ように第１の空気量調整弁22及び第２の空気量調整弁25
を操作する。これによりクリーンルーム雰囲気の汚染が
抑制される。
時その汚染を減らすため，リターン主経路21に第１の空
気量調整弁22と, リターン主経路21の一部と並列に設け
られ一部に不純物吸着剤24の装填されたリターン副経路
23に第２の空気量調整弁25と，入出力変換部26を設け，
雰囲気の分析装置７による不純物の量が予め設定した量
より多くなった時，入出力変換部26によりリターン主経
路21風量のリターン副経路23風量に対する割合を下げる
ように第１の空気量調整弁22及び第２の空気量調整弁25
を操作する。これによりクリーンルーム雰囲気の汚染が
抑制される。
【００２１】
【実施例】図１(a), (b)は雰囲気の分析装置を説明する
図で，(a) は全体図, (b) は冷却除湿器を示し, １は採
取した空気，２は結露水，３は冷却部であって冷却パイ
プ，4aはドレイン受け, 4bは水封トラップ, 4cは結露水
取り出し口, ５はファン，６はフィルタ，７は分析装
置，８はコンピュータ，９はディスプレイを表す。
図で，(a) は全体図, (b) は冷却除湿器を示し, １は採
取した空気，２は結露水，３は冷却部であって冷却パイ
プ，4aはドレイン受け, 4bは水封トラップ, 4cは結露水
取り出し口, ５はファン，６はフィルタ，７は分析装
置，８はコンピュータ，９はディスプレイを表す。
【００２２】採取した空気１は例えばクリーンルーム雰
囲気である。ドレイン受け4aは冷却パイプ３の外壁につ
いた結露水が滴り落ちるのを受けるものであり，水封ト
ラップ4bが形成されている。冷却パイプ３，ドレイン受
け4a，水封トラップ4bは石英で作るかまたはテフロンの
ような高分子材料で作る。または高分子材料でコーティ
ングする。このようにすれば，分析精度が向上する。も
し，冷却パイプ３，ドレイン受け4a，水封トラップ4bが
金属製であれば，結露水にそこから微量の金属が取り込
まれる可能性が大きく，分析精度が低下する。
囲気である。ドレイン受け4aは冷却パイプ３の外壁につ
いた結露水が滴り落ちるのを受けるものであり，水封ト
ラップ4bが形成されている。冷却パイプ３，ドレイン受
け4a，水封トラップ4bは石英で作るかまたはテフロンの
ような高分子材料で作る。または高分子材料でコーティ
ングする。このようにすれば，分析精度が向上する。も
し，冷却パイプ３，ドレイン受け4a，水封トラップ4bが
金属製であれば，結露水にそこから微量の金属が取り込
まれる可能性が大きく，分析精度が低下する。
【００２３】分析装置は，例えば，イオンクロマトグラ
フィ分析装置，原子吸光分析装置，ＩＣＰ発光分析装置
である。結露水の分析値出力はコンピュータ８に送ら
れ，クリーンルームの状態が監視，判断される。
フィ分析装置，原子吸光分析装置，ＩＣＰ発光分析装置
である。結露水の分析値出力はコンピュータ８に送ら
れ，クリーンルームの状態が監視，判断される。
【００２４】除湿された空気はファン５により直接排気
するか又はフィルタ６を通してクリーンルームへ戻す。
この分析装置を使用して，クリーンルーム雰囲気を分析
した一例について説明する。室温２４℃，相対湿度４５
％に調節されたクリーンルーム雰囲気を採取して，６℃
の冷却水の通る冷却パイプで冷却して結露水２を得た。
するか又はフィルタ６を通してクリーンルームへ戻す。
この分析装置を使用して，クリーンルーム雰囲気を分析
した一例について説明する。室温２４℃，相対湿度４５
％に調節されたクリーンルーム雰囲気を採取して，６℃
の冷却水の通る冷却パイプで冷却して結露水２を得た。
【００２５】結露水２をイオンクロマトグラフィーによ
り分析した。その時の各種イオンの結露水中濃度を表１
に示す。さらに表１にはそれに対応する空気中濃度を示
す。結露水中濃度と空気中濃度の関係は，予備実験によ
り定めておいた。
り分析した。その時の各種イオンの結露水中濃度を表１
に示す。さらに表１にはそれに対応する空気中濃度を示
す。結露水中濃度と空気中濃度の関係は，予備実験によ
り定めておいた。
【００２６】
【表１】 クリーンルーム雰囲気の分析結果の一例
結露水中濃度（ppb) 空気中濃度 (μg/m3)
Ｎａ 5.7 0.057
Ｚｎ 18.1 0.18
ＮＨ4 + 220.9 2.2
Ｆ- 35.1 0.35
Ｃｌ- 46.2 0.46
ＮＯ2 - 120.5 1.2
ＮＯ3 - 110.5 1.1
ＳＯ4 2- 9.2 0.092
ＰＯ4 3- 8.0 0.08
図２はクリーンルーム雰囲気の制御方法（その１）を説
明する図で，１は採取した空気，10は前述の雰囲気の分
析装置, 11はクリーンルーム, 12は外気供給経路, 12a
は外調機, 13は空気量調整弁, 14は空調供給経路, 14a
は空調機, 15はリターン経路, 16は空気量調整弁, 17は
入出力変換部, 18は排気経路, 18a はファン, 19は空気
量調整弁を表す。さらに，Ａは外気供給経路の風量，Ｂ
はリターン経路の風量，Ｃは排気経路の風量，Ｄは空調
供給経路の風量を表す。
明する図で，１は採取した空気，10は前述の雰囲気の分
析装置, 11はクリーンルーム, 12は外気供給経路, 12a
は外調機, 13は空気量調整弁, 14は空調供給経路, 14a
は空調機, 15はリターン経路, 16は空気量調整弁, 17は
入出力変換部, 18は排気経路, 18a はファン, 19は空気
量調整弁を表す。さらに，Ａは外気供給経路の風量，Ｂ
はリターン経路の風量，Ｃは排気経路の風量，Ｄは空調
供給経路の風量を表す。
【００２７】外調機12a は外気を取り込んで清浄化し，
外気供給経路12，空気量調整弁13を経て空調機14a に送
る。空調機14a は空気を一定温度，一定湿度（例えば２
４℃，４５％）に調整し，空調供給経路14を経てクリー
ンルーム11に空気を送る。
外気供給経路12，空気量調整弁13を経て空調機14a に送
る。空調機14a は空気を一定温度，一定湿度（例えば２
４℃，４５％）に調整し，空調供給経路14を経てクリー
ンルーム11に空気を送る。
【００２８】クリーンルーム11の空気はファン18a によ
り，空気量調整弁19，排気経路18を経て排気されるが，
一部はリターン経路15，空気量調整弁16を経てクリーン
ルーム11へリターンされる。クリーンルーム雰囲気に含
まれる不純物濃度がある値以下に保たれている間は排気
量を減らしてリターンする空気の量を多くすることが経
済的である。
り，空気量調整弁19，排気経路18を経て排気されるが，
一部はリターン経路15，空気量調整弁16を経てクリーン
ルーム11へリターンされる。クリーンルーム雰囲気に含
まれる不純物濃度がある値以下に保たれている間は排気
量を減らしてリターンする空気の量を多くすることが経
済的である。
【００２９】ところが，クリーンルーム11内で例えば半
導体装置の製造作業で不純物が雰囲気に拡散するような
場合は，クリーンルーム雰囲気に含まれる不純物濃度を
ある値以下に保つため，排気量を大きくしリターンする
空気の量を少なくしなければならない。
導体装置の製造作業で不純物が雰囲気に拡散するような
場合は，クリーンルーム雰囲気に含まれる不純物濃度を
ある値以下に保つため，排気量を大きくしリターンする
空気の量を少なくしなければならない。
【００３０】まず，クリーンルーム雰囲気の不純物濃度
と結露水の不純物濃度の関係を予め調べておく。そし
て，クリーンルーム雰囲気の不純物濃度の上限値に合わ
せて結露水の不純物濃度の上限値を定めておく。
と結露水の不純物濃度の関係を予め調べておく。そし
て，クリーンルーム雰囲気の不純物濃度の上限値に合わ
せて結露水の不純物濃度の上限値を定めておく。
【００３１】運転中のクリーンルーム11の空気を採取
し，前述の雰囲気の分析装置10により結露水を得てその
結露水を分析する。不純物濃度が上限値を超えた時，入
出力変換部17を作動させてリターン経路15の空気量調整
弁16及び又は外気供給経路12の空気量調整弁13を調整
し，リターン経路15の風量の外気供給経路12の風量に対
する比（Ｂ／Ａ）を下げるようにする。それに合わせて
空気量調整弁19を調整し，排気経路18の風量（Ｃ）を増
し，クリーンルーム11内の空気圧のバランスを保つよう
にする。
し，前述の雰囲気の分析装置10により結露水を得てその
結露水を分析する。不純物濃度が上限値を超えた時，入
出力変換部17を作動させてリターン経路15の空気量調整
弁16及び又は外気供給経路12の空気量調整弁13を調整
し，リターン経路15の風量の外気供給経路12の風量に対
する比（Ｂ／Ａ）を下げるようにする。それに合わせて
空気量調整弁19を調整し，排気経路18の風量（Ｃ）を増
し，クリーンルーム11内の空気圧のバランスを保つよう
にする。
【００３２】具体的には，リターン経路15の空気量調整
弁16の開度を小さくし，排気経路18の空気量調整弁19の
開度を大きくする。同時に外気供給経路12の空気量調整
弁13の開度を大きくしてもよい。
弁16の開度を小さくし，排気経路18の空気量調整弁19の
開度を大きくする。同時に外気供給経路12の空気量調整
弁13の開度を大きくしてもよい。
【００３３】このようにすれば，汚染されたクリーンル
ーム雰囲気は清浄な雰囲気に置換され，クリーンルーム
雰囲気の不純物濃度は予め定めた値以下に保たれる。図
３はクリーンルーム雰囲気の制御方法（その２）を説明
する図で，符号は図２と共通であり，さらに，21はリタ
ーン主経路, 22は空気量調整弁, 23はリターン副経路,
24は不純物吸着剤, 25は空気量調整弁, 26は入出力変換
部を表す。さらに，Ｅはリターン主経路21の風量，Ｆは
リターン副経路23の風量を表す。
ーム雰囲気は清浄な雰囲気に置換され，クリーンルーム
雰囲気の不純物濃度は予め定めた値以下に保たれる。図
３はクリーンルーム雰囲気の制御方法（その２）を説明
する図で，符号は図２と共通であり，さらに，21はリタ
ーン主経路, 22は空気量調整弁, 23はリターン副経路,
24は不純物吸着剤, 25は空気量調整弁, 26は入出力変換
部を表す。さらに，Ｅはリターン主経路21の風量，Ｆは
リターン副経路23の風量を表す。
【００３４】この例は前述の図２の方法に加えて，リタ
ーン主経路21の一部と平行して, 一部に不純物吸着剤24
を装填したリターン副経路23を設け, リターン副経路23
に空気量調整弁25を設けたものである。不純物吸着剤24
は例えば活性炭である。
ーン主経路21の一部と平行して, 一部に不純物吸着剤24
を装填したリターン副経路23を設け, リターン副経路23
に空気量調整弁25を設けたものである。不純物吸着剤24
は例えば活性炭である。
【００３５】運転中のクリーンルーム11の空気を採取
し，前述の雰囲気の分析装置10により結露水を作り，そ
の結露水を分析する。不純物濃度が上限値を超えた時，
入出力変換部26を作動させてリターン主経路21の空気量
調整弁22及びリターン副経路23の空気量調整弁25を調整
し，リターン主経路21の風量のリターン副経路23の風量
に対する比（Ｅ／Ｆ）を下げるようにする。さらにこの
調整はクリーンルーム11内の空気圧のバランスを保つよ
うにする。
し，前述の雰囲気の分析装置10により結露水を作り，そ
の結露水を分析する。不純物濃度が上限値を超えた時，
入出力変換部26を作動させてリターン主経路21の空気量
調整弁22及びリターン副経路23の空気量調整弁25を調整
し，リターン主経路21の風量のリターン副経路23の風量
に対する比（Ｅ／Ｆ）を下げるようにする。さらにこの
調整はクリーンルーム11内の空気圧のバランスを保つよ
うにする。
【００３６】具体的には，リターン主経路21の空気量調
整弁22の開度を小さくし，リターン副経路23の空気量調
整弁25の開度を大きくする。このようにすれば，リター
ン副経路23で空気の不純物が除去され，リターンされた
空気の不純物濃度が減少する。汚染されたクリーンルー
ム雰囲気は清浄な雰囲気に置換され，クリーンルーム雰
囲気の不純物濃度は予め定めた値以下に保たれる。
整弁22の開度を小さくし，リターン副経路23の空気量調
整弁25の開度を大きくする。このようにすれば，リター
ン副経路23で空気の不純物が除去され，リターンされた
空気の不純物濃度が減少する。汚染されたクリーンルー
ム雰囲気は清浄な雰囲気に置換され，クリーンルーム雰
囲気の不純物濃度は予め定めた値以下に保たれる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように，本発明によれば，
クリーンルームの汚染状況を連続で監視することが可能
となる。また，クリーンルームの不純物濃度を予め定め
た値以下に抑制することができる。
クリーンルームの汚染状況を連続で監視することが可能
となる。また，クリーンルームの不純物濃度を予め定め
た値以下に抑制することができる。
【００３８】これにより，製品製造工程でクリーンルー
ム環境からの影響をなくし，安定した製品歩留りを確保
できる。また，クリーンルームの不純物濃度が上昇した
時だけ換気処理または不純物吸着処理を行えばよいか
ら，空調システムのランニングコストの低減を図ること
ができる。
ム環境からの影響をなくし，安定した製品歩留りを確保
できる。また，クリーンルームの不純物濃度が上昇した
時だけ換気処理または不純物吸着処理を行えばよいか
ら，空調システムのランニングコストの低減を図ること
ができる。
【００３９】本発明は半導体装置の製造に使用するクリ
ーンルームの環境管理に適用する時特に大きな効果を奏
するものである。
ーンルームの環境管理に適用する時特に大きな効果を奏
するものである。
【図１】(a), (b)は雰囲気の分析装置を説明する図であ
る。
る。
【図２】クリーンルーム雰囲気の制御方法（その１）を
説明する図である。
説明する図である。
【図３】クリーンルーム雰囲気の制御方法（その２）を
説明する図である。
説明する図である。
【図４】水分を含む雰囲気からの結露を説明する図であ
る。
る。
１は採取した空気
２は結露水
３は冷却部であって冷却パイプ
4aはドレイン受け
4bは水封トラップ
4cは結露水取り出し口
５はファン
６はフィルタ
７は分析装置
８はコンピュータ
９はディスプレイ
10は雰囲気の分析装置
11はクリーンルーム
12は外気供給経路
12a は外調機
13は空気量調整弁
14は空調供給経路
14a は空調機
15はリターン経路
16は空気量調整弁
17は入出力変換部
18は排気経路
18a はファン
19は空気量調整弁
21はリターン主経路
22は空気量調整弁
23はリターン副経路
24は不純物吸着剤
25は空気量調整弁
26は入出力変換部
Ａは外気供給経路の風量
Ｂはリターン経路の風量
Ｃは排気経路の風量
Ｄは空調供給経路の風量
Ｅはリターン主経路の風量
Ｆはリターン副経路の風量
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭61−223630（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−99248（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−173546（ＪＰ，Ａ)
特開 昭54−102191（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−112940（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−208433（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−182548（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−184350（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−142109（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−240753（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−291142（ＪＰ，Ａ)
実開 昭64−37649（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭61−54286（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭62−123549（ＪＰ，Ｕ)
特許2586754（ＪＰ，Ｂ２)
特公 平３−31486（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 1/00 - 1/44
F24F 7/06
F24F 11/02
H01L 21/02
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (5)
- 【請求項１】 クリーンルームの常温雰囲気を常時連続
的に採取して冷却し、得られた結露水を回収して該結露
水に含まれる不純物を随時分析することを特徴とする雰
囲気の分析方法。 - 【請求項２】 クリーンルームの常温雰囲気を常時連続
的に採取する手段と、採取した雰囲気を冷却する冷却部
と、該冷却部で生成した結露水に回収するドレイン受け
と、該結露水に含まれる不純物を分析する分析装置とを
有することを特徴とする雰囲気の分析装置。 - 【請求項３】 前記冷却部及び前記ドレイン受けの前記
結露水が接する表面は石英若しくは高分子材料であるこ
とを特徴とする請求項２記載の雰囲気の分析装置。 - 【請求項４】 請求項２記載の雰囲気の分析装置と、 クリーンルームに外気を供給する外気供給経路に設けら
れた第１の空気量調整弁と、該クリーンルームから排出
された空気を該クリーンルームへリターンするリターン
経路に設けられた第２の空気量調整弁と、 該分析装置による不純物の量を予め設定した量より多く
なった時、リターン経路風量の外気供給経路風量に対す
る割合を下げるように該第２の空気量調整弁又は該第１
の空気量調整弁の少なくとも一方を操作する入出力変換
部とを有することを特徴とするクリーンルーム雰囲気の
制御装置。 - 【請求項５】 請求項２記載の雰囲気の分析装置と、 クリーンルームから排出された空気を該クリーンルーム
へリターンするリターン主経路に設けられた第１の空気
量調整弁と、 該リターン主経路の一部と並列に設けられ、一部に不純
物吸着剤の装填されたリターン副経路に設けられた第２
の空気量調整弁と、 該分析装置による不純物の量を予め設定した量より多く
なった時、リターン主経路風量のリターン副経路風量に
対する割合を下げるように該第１の空気量調整弁及び該
第２の空気量調整弁を操作する入出力変換部とを有する
ことを特徴とするクリーンルーム雰囲気の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10820492A JP3376600B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10820492A JP3376600B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05302872A JPH05302872A (ja) | 1993-11-16 |
| JP3376600B2 true JP3376600B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=14478663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10820492A Expired - Fee Related JP3376600B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3376600B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR100475460B1 (ko) * | 1998-02-05 | 2005-05-27 | 삼성전자주식회사 | 클린룸의 오염 평가방법 |
| JP2002357346A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-12-13 | Ricoh Co Ltd | クリーンルーム |
| KR102532670B1 (ko) * | 2021-05-28 | 2023-05-16 | 주식회사 선반도체 | 결로 온도를 이용한 수분 함량 측정을 동반한 잔류 가스 및 표면 이온 분석 시스템 |
| WO2024190046A1 (ja) * | 2023-03-10 | 2024-09-19 | 国立大学法人東北大学 | 空気中の微粒子捕集装置および空気中の微粒子捕集方法 |
-
1992
- 1992-04-28 JP JP10820492A patent/JP3376600B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05302872A (ja) | 1993-11-16 |
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