JP3375690B2 - ブレーキ機構を有するサーボシリンダ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、シリンダを使用中に流
体圧の供給断、あるいは電源断等が発生した際、シリン
ダに不都合が発生しないようにピストンを確実に制動さ
せることが可能なブレーキ機構を有するサーボシリンダ
装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来から、ロッドの先端に固着されたテ
ーブル等によってワークを変位させるアクチュエータに
おいて、前記ロッドをシリンダ内のピストンに係合さ
せ、このピストンを空気圧で変位させる方法と、該ロッ
ドをボールねじに固着し、このボールねじを介してモー
タ等によってピストンを変位させる方法がある。 【０００３】空気圧によってピストンを変位させる方法
は、出力が大きく、負荷の大きいワークを変位させるこ
とができるが、空気自体が圧縮性流体であるため該ワー
クを精度よく位置決めすることは、実質的に困難であっ
た。 【０００４】一方、モータによってワークを変位させる
方法は、電気的制御であるために停止位置を厳密に求め
ることは可能であるが、重量のあるワークを移送して位
置決めしようとするとき、出力が大きいモータを選択せ
ざるを得ず、この結果、モータ自体が大型化するという
欠点があった。 【０００５】そこで、ワークを停止位置近傍まで空気圧
を利用してシリンダによって移送し、その停止位置近傍
からモータでワークを所望の位置に精度良く停止させる
アクチュエータが提案されている。このような構成をと
ることにより、モータが小型のもので済み、アクチュエ
ータ全体を小型化させることができるとともに、所望の
位置に精度良くワークを停止させることが可能になっ
た。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ア
クチュエータのピストンを上下方向に変位させて使用す
る場合には、電源断あるいは流体圧の供給が停止する等
の故障によりワークが急激に落下するおそれがある。 【０００７】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、流体圧の供給停止あるいは電源
断に拘わらず、簡略な構成でワークを原位置で保持でき
るブレーキ機構を有するサーボシリンダ装置を提供する
ことを目的とする。 【０００８】 【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、シリンダボディと、 前記シリンダボデ
ィに配設され、電気信号により駆動される回転駆動源
と、 前記回転駆動源の回転駆動力によって回転する送り
ねじ軸と、 前記送りねじ軸に螺合され、前記回転駆動力
とシリンダ室に供給される圧力流体の押圧力との切換作
用下に前記シリンダボディの軸線方向に沿って変位自在
に設けられたピストンと、 前記回転駆動源の回転駆動力
を前記送りねじ軸に伝達する駆動力伝達手段と、 供給さ
れる圧力流体の押圧力により前記ピストンを非制動状態
とし、前記非制動状態からの圧力低下により前記ピスト
ンに対して制動を行うブレーキ機構と、付勢信号が付与
されることにより圧力流体供給源と前記ブレーキ機構と
を連通させて該ブレーキ機構に対して圧力流体を供給
し、滅勢信号が付与されることにより前記ブレーキ機構
を大気開放する電磁制御弁と、 を備えることを特徴とす
る。 【０００９】 【作用】本発明に係るブレーキ機構を有するサーボシリ
ンダ装置では、供給される圧力流体の圧力が低下した際
にピストンを制動するブレーキ機構を備えているため、
圧力流体供給源の故障等により圧力流体の供給が停止し
た場合には、該ブレーキ機構が作動してピストンをその
位置で制動する。 【００１０】また、電源断によりシリンダボディへ圧力
流体を供給する電磁制御弁が滅勢され、シリンダボディ
に供給された圧力流体の圧力が低下してピストンが落下
する状態になっていたとしても、ブレーキ機構に圧力流
体を供給する電磁制御弁が閉成して該ブレーキ機構を大
気開放することによってブレーキ機構を作動させ、ピス
トンをその位置で瞬時に制動する。 【００１１】したがって、該シリンダを上下方向に使用
してもワークが落下するおそれはない。 【００１２】さらに、前記電磁制御弁に付勢信号が付与
されることにより圧力流体供給源とブレーキ機構とを連
通させて前記ブレーキ機構に対して圧力流体が供給され
るこ とにより、ピストンを制動しているブレーキ機構の
制動状態が解除される。 【００１３】 【実施例】本発明に係るブレーキ機構を有するサーボシ
リンダ装置について、好適な実施例を挙げ、添付の図面
を参照しながら以下詳細に説明する。 【００１４】図１を参照して、サーボシリンダ装置１０
を概略説明する。先ず、圧縮空気供給源（圧力流体供給
源）１２から圧縮空気を所定圧力に制御する電−空レギ
ュレータ１３、ノーマルクローズ型の電磁切換弁（電磁
制御弁）１４を介してシリンダ本体（シリンダボディ）
１６に圧縮空気を供給する。あるいは、電磁切換弁１４
を介してシリンダ本体１６から圧縮空気を大気開放する
ことにより、ワークＷを係合しているピストンロッド１
８とともにピストン２０を上下方向に変位させる。前記
ピストン２０の上下動によってピストン２０と係合して
いるボールねじ軸（送りねじ軸）２２が回転し、タイミ
ングベルト２４、モータ（回転駆動源）２６の駆動軸２
８を介してエンコーダ３０の出力を得、該エンコーダ３
０の信号でピストン２０の変位量を検出する。ピストン
２０が所定位置に到達したところでコントローラ３２か
ら電−空レギュレータ１３の設定値をワークＷの静荷重
のみを支持する圧力値に変更するように変更信号が伝送
されるとともに、モータ２６に駆動信号が伝送される。
この結果、空気圧に代えてモータ２６の駆動力によって
ボールねじ軸２２を介してピストン２０が変位するに至
る。コントローラ３２は、エンコーダ３０の出力に基づ
いてピストン２０が所定位置まで到達したことを確認し
た時点で、コントローラ３２からの信号によりノーマル
クローズ型の電磁切換弁３４が滅勢されてディスクブレ
ーキ機構（ブレーキ機構）３６を付勢し、ピストン２０
が停止される。 【００１５】このように動作するサーボシリンダ装置１
０のシリンダ本体１６の構成並びにその動作について詳
細に説明する。 【００１６】シリンダ本体１６は、図２に示すように、
ヘッドカバー４０とシリンダチューブ４２とロッドカバ
ー４４とワークＷに係合するテーブル４６とから基本的
に構成される。前記シリンダ本体１６の内部には、図３
に示すように、シリンダチューブ４２内に空気を供給す
る空気圧供給機構４８と、ボールねじ軸回転機構５０
と、ボールねじ軸２２を制動してピストン２０の変位を
停止させるディスクブレーキ機構３６と、テーブル４６
の回転を防止する回り止め機構５２が設けられている。 【００１７】前記空気圧供給機構４８は、圧縮空気供給
源１２に連通された電−空レギュレータ１３、前記電−
空レギュレータ１３に連通する電磁切換弁１４がヘッド
カバー４０内に内蔵され、前記電磁切換弁１４から接続
プレート６０、シリンダチューブ４２の通路６２を介し
てシリンダ室６４のロッドカバー４４側端部に連通され
ている。前記シリンダ室６４のヘッドカバー４０の側端
部には、シリンダチューブ４２の外部に連通する通路６
６が画成されている。 【００１８】前記ボールねじ軸回転機構５０では、図３
に示すように、ヘッドカバー４０においてボールねじ軸
２２がアンギュラ玉軸受７０を介して軸方向に変位自在
かつ回動自在に軸支されている。前記ボールねじ軸２２
は、前記シリンダ室６４内に相当する部分にのみ、ねじ
溝７２が刻設されているとともに、前記シリンダ室６４
のヘッドカバー４０側端部で一旦拡径した後、段々に縮
径し、その端部にプーリ７４が設けられている。前記ボ
ールねじ軸２２は、ピストン２０に嵌合されたボデイ７
８とボールねじを介して係合する。前記ピストン２０に
は、図４に示すように、ロッドカバー４４側端部および
ヘッドカバー４０側端部に緩衝部材８０ａ、８０ｂが設
けられるとともに、シリンダ室６４の内周面と摺動する
部分には、磁石８２とピストンパッキン８４が嵌合され
ている。前記磁石８２は、シリンダチューブ４２の外側
面の所定位置に設けられたセンサによってピストン２０
の位置の異常を検出するために用いられる。 【００１９】前記ヘッドカバー４０の内部には、前記ボ
ールねじ軸２２に平行にモータ２６が設けられ、その駆
動軸２８の端部にプーリ８６が設けられるとともに、前
記駆動軸２８の回転角度を検出するエンコーダ３０が設
けられている。さらに、前記プーリ７４、８６間には、
タイミングベルト２４が懸架されている。 【００２０】ディスクブレーキ機構３６は、図５に示す
ように、前記アンギュラ玉軸受７０が設けられているヘ
ッドカバー４０の孔部１００に配設された部材により構
成されている。前記孔部１００は、ボールねじ軸２２の
プーリ７４側から前記アンギュラ玉軸受７０を指向して
二段に縮径しており、その一段目の底面に半径方向断面
Ｌ字状のブレーキ用シリンダ１０２がその膨出部１０２
ａをボールねじ軸２２側に指向して固着されている。前
記ブレーキ用シリンダ１０２の内周面に当接するように
して半径方向断面が略Ｌ字状の円筒形状のピストン１０
４が配設される。前記ピストン１０４は、プーリ７４側
に固着された制動部材１０６と該ピストン１０４の膨出
部１０４ａとによって前記ブレーキ用シリンダ１０２の
膨出部１０２ａを挟み込むように配置され、前記ピスト
ン１０４の膨出部１０４ａあるいは制動部材１０６が前
記ブレーキ用シリンダ１０２の膨出部１０２ａに当接す
ることによって前記ピストン１０４の軸方向の可動範囲
を規制している。さらに、前記ピストン１０４とブレー
キ用シリンダ１０２の間には空間１０８が画成され、ブ
レーキ用シリンダ１０２の内周面と摺動する前記ピスト
ン１０４の外周面に嵌着されたピストンパッキン１１４
ａ、１１４ｂによって前記空間１０８が気密に保持され
ている。圧縮空気供給源１２と連通している電磁切換弁
３４と前記空間１０８とは、ヘッドカバー４０およびブ
レーキ用シリンダ１０２の内部に画成された通路１１
０、１１２を介して連通されている。前記孔部１００の
二段目の底面には、軸受押さえ部材１１６が固着されて
おり、前記軸受押さえ部材１１６とピストン１０４の間
にコイルスプリング１１８が挿入されている。したがっ
て、前記ピストン１０４は、コイルスプリング１１８に
よってＺ１方向に常時付勢されている。さらに、前記ブ
レーキ用シリンダ１０２は、支持部材１２０を介してド
ーナツ状の円板体である制動部材１２２を支持してい
る。 【００２１】一方、前記ボールねじ軸２２は、前記プー
リ７４の近傍においてコマ用キー１２４、コマ１２６を
介してブレーキディスク１２８を装着している。前記ブ
レーキディスク１２８は、制動部材１２２近傍で回転す
るように構成されている。 【００２２】回り止め機構５２は、ピストンロッド１８
を介して変位されるテーブル４６が前記ピストンロッド
１８とともに回動することを阻止する機構である。 【００２３】前記ピストンロッド１８は、図３に示すよ
うに円筒形状であり、ピストン２０のロッドカバー４４
側に螺着されている。前記ピストンロッド１８の内部の
孔部１３０には、ボールねじ軸２２が前記孔部１３０の
壁面に当接することなく、前記ピストンロッド１８と軸
芯を一致させて挿入されている。前記ピストンロッド１
８のロッドカバー４４側端部には軸体１３２が螺着さ
れ、前記軸体１３２が図示しないボルト等によってテー
ブル４６と固着されている。前記テーブル４６の両端部
には、ガイドロッド１３４ａ、１３４ｂが図示しないボ
ルトによって固着されている。前記ガイドロッド１３４
ａ、１３４ｂは、ロッドカバー４４の両側面に設けられ
たボールブッシュ１３６ａ、１３６ｂによって軸方向に
摺動自在に支持され、前記ロッドカバー４４の端面に装
着されたフランジ１３８の孔部１４０ａ、１４０ｂに挿
入されている。 【００２４】なお、ヘッドカバー４０には、コントロー
ラ３２からの制御信号および電源信号を接続する端子１
４２、１４４が設けられた端子台１４６が設けられてい
る。 【００２５】次に、このように構成されるサーボシリン
ダ装置１０の動作説明を行う。ここでは、ワークＷを上
方向に変位させる（シリンダ室６４内において、ピスト
ン２０を位置Ｘ１から位置Ｘ２に変位させる）場合につ
いて図６を参照して説明する。 【００２６】ピストンが位置Ｘ１で停止状態（時間０〜
ｔ１）にある場合、電−空レギュレータ１３は、ワーク
Ｗ、ピストンロッド１８、ピストン２０等の静荷重のみ
を支持する圧力Ｐ０に設定されるとともに、電磁切換弁
１４が付勢され、電磁切換弁３４が滅勢されている。こ
の結果、シリンダ本体１６のシリンダ室６４のロッドカ
バー４４側の第１室６４ａの圧力がＰ０となり、ワーク
Ｗ、ピストン２０等を確実に支持する一方、ディスクブ
レーキ機構３６の空間１０８が大気開放されているた
め、ピストン１０４がコイルスプリング１１８の弾発力
のもとにＺ１方向に変位されて制動部材１０６がブレー
キディスク１２８に圧接される。このように、該ブレー
キディスク１２８が制動部材１０６、１２２で挟持され
ることによりボールねじ軸２２の回動が阻止され、ピス
トン２０を停止させている。 【００２７】ピストン２０を位置Ｘ２に変位させる場合
には、先ず、コントローラ３２から電−空レギュレータ
１３に設定圧力をＰ１（＞Ｐ０）に変更させる変更信号
が伝送されるとともに、電磁切換弁３４に付勢信号が伝
送される。この結果、圧縮空気供給源１２とディスクブ
レーキ機構３６の空間１０８とが連通し、空間１０８に
圧縮空気が供給され、図５において二点鎖線で示すよう
に、コイルスプリング１１８の弾発力に逆らってピスト
ン１０４がＺ２方向に変位し、ボールねじ軸２２のブレ
ーキディスク１２８から制動部材１０６を離間させてデ
ィスクブレーキ機構３６を非作動状態にする。すなわ
ち、ピストン２０は変位自在の状態になる。この状態で
電−空レギュレータ１３、電磁切換弁１４から圧力Ｐ１
の圧縮空気がシリンダ本体１６の前記第１室６４ａに導
入されることにより、ピストン２０がＺ１方向に変位す
る。 【００２８】この際、ボールねじ軸２２とボデイ７８が
係合しているため、ピストン２０に回転モーメントが作
用する。しかしながら、ピストンロッド１８を介してピ
ストン２０に接続しているテーブル４６に装着された回
り止め用のガイドロッド１３４ａ、１３４ｂがフランジ
１３８の孔部１４０ａ、１４０ｂに挿入されているた
め、ピストン２０が回転することはない。したがって、
ピストン２０の変位動作に伴いボールねじ軸２２が回転
するに至る。前記回転は、前記ボールねじ軸２２のヘッ
ドカバー４０側端部に設けられたプーリ７４、タイミン
グベルト２４、プーリ８６を介してモータ２６の駆動軸
２８に伝達される。結局、駆動軸２８の回転量がエンコ
ーダ３０を介してコントローラ３２に伝送され、ピスト
ン２０の変位量として検出される。 【００２９】コントローラ３２において、ピストン２０
が位置Ｘ２から距離ε１の切換位置に到達したことを検
出する（時間ｔ２）と、設定圧力をＰ１からＰ０に変更
させる変更信号が電−空レギュレータ１３に伝送される
とともに、モータ２６に付勢信号が伝送される。この結
果、シリンダ本体１６の第１室６４ａの圧力がＰ０とな
ってピストン２０、ワークＷ等の静荷重のみを支持する
ことになるが、モータ２６が駆動されるため、プーリ８
６、タイミングベルト２４、プーリ７４、ボールねじ軸
２２を介してピストン２０が低速で距離ε１だけ変位す
る。 【００３０】エンコーダ３０の出力に基づきコントロー
ラ３２においてピストン２０が位置Ｘ２に到達したこと
が検出される（時間ｔ３）と、モータ２６と電磁切換弁
３４に滅勢信号が伝送される。 【００３１】この結果、空間１０８に供給されていた圧
縮空気が通路１１２、１１０を介して電磁切換弁３４か
ら大気開放される。したがって、ピストン１０４がコイ
ルスプリング１１８の弾発力によりＺ１方向に変位され
（二点鎖線位置→実線位置）、制動部材１０６がブレー
キディスク１２８に圧接され、制動部材１０６、１２２
でブレーキディスク１２８を挟持することになる。した
がって、ボールねじ軸２２の回転動作が停止され、ピス
トン２０が停止位置Ｘ２で精度良く停止される。 【００３２】一方、ピストン２０を位置Ｘ２から位置Ｘ
１に変位させる場合には、先ず、時間ｔ４において、コ
ントローラ３２から電磁切換弁１４に滅勢信号が伝送さ
れるとともに、電磁切換弁３４に付勢信号が伝送され
る。この結果、ディスクブレーキ機構３６は、空間１０
８に圧縮空気が導入され、制動部材１０６がボールねじ
軸２２のブレーキディスク１２８から離間させられる。
したがって、ブレーキが非作動状態になる。そこで、シ
リンダ本体１６の第１室６４ａの圧力が大気開放により
Ｐ０からＰ２に低下し、ピストン２０がワークＷ等の負
荷によりＺ２方向に変位する。 【００３３】エンコーダ３０からの出力に基づきコント
ローラ３２でピストン２０が位置Ｘ２から位置Ｘ１に向
かって変位したことを検出した（時間ｔ５）場合には、
電磁切換弁１４に付勢信号を伝送するとともに、モータ
２６に付勢信号を伝送する。この結果、シリンダ本体１
６の第１室６４ａの圧力は、再びＰ０に回復し、ワーク
Ｗ等の静荷重を支持する。そこで、モータ２６の駆動力
によりピストン２０がＺ２方向に変位される。 【００３４】エンコーダ３０の出力に基づいてコントロ
ーラ３２によってピストン２０が位置Ｘ１に到達したと
検出される（時間ｔ６）と、モータ２６と電磁切換弁３
４に滅勢信号が伝送される。したがって、ディスクブレ
ーキ機構３６の空間１０８の圧縮空気が大気開放され、
コイルスプリング１１８の弾発力の作用下に制動部材１
０６、１２２によってブレーキディスク１２８が挟持さ
れてボールねじ軸２２の回動動作を制動するため、位置
Ｘ１でピストン２０が精度良く停止する。 【００３５】このように、本実施例に係るサーボシリン
ダ装置１０では、ボールねじ軸２２に設けられたブレー
キディスク１２８をディスクブレーキ機構３６の制動部
材１０６、１２２によって挟持することにより、ボール
ねじ軸２２の回動を制動させ、ピストン２０を停止させ
ている。したがって、空気圧からモータ２６による低速
の変位に切り換えられたピストン２０を瞬時に停止させ
ることができる。 【００３６】このようなサーボシリンダ装置１０におい
て、圧縮空気供給源１２の故障による空気圧の供給断あ
るいは電源断による安全制御について説明する。 【００３７】ディスクブレーキ機構３６の作動につい
て、図６における時間ｔ１〜ｔ２（空気圧によりピスト
ン２０がＺ１方向へ変位中）との関連で説明する。 【００３８】この場合には、図６に示す通常制御状態に
おいて、電−空レギュレータ１３は圧力Ｐ１に設定さ
れ、電磁切換弁１４、３４は付勢中である。したがっ
て、シリンダ本体１６の第１室６４ａに圧力Ｐ１の圧縮
空気が供給されている（図６（ｄ）参照）とともに、デ
ィスクブレーキ機構３６の空間１０８には圧縮空気が供
給され、制動部材１０６がボールねじ軸２２のブレーキ
ディスク１２８から離間され、ピストン２０が変位自在
となっている。 【００３９】ここで、圧縮空気供給源１２に故障が発生
した場合には、シリンダ本体１６の第１室６４ａに供給
される圧縮空気の圧力が低下し、ピストン２０、ワーク
Ｗ等の静荷重を支持する圧力Ｐ０よりも下回ることによ
り、ピストン２０がＺ２方向に変位するおそれがある。
しかしながら、ディスクブレーキ機構３６では、空間１
０８に供給される圧力の低下により、コイルスプリング
１１８の弾発力を介してピストン１０４がＺ１方向に変
位してボールねじ軸２２のブレーキディスク１２８に制
動部材１０６を圧接させる。この結果、制動部材１０
６、１２２によってブレーキディスク１２８が挟持され
てボールねじ軸２２の回動を制動し、ピストン２０の落
下（Ｚ２方向の変位）を阻止する。 【００４０】電源断が発生した場合には、電磁切換弁１
４が滅勢され、シリンダ本体１６の第１室６４ａが大気
開放となる。したがって、ピストン２０がＺ２方向に変
位するおそれがある。しかしながら、電磁切換弁３４も
滅勢されるために、空間１０８は通路１１０、１１２を
介して大気開放され、ボールねじ軸２２のブレーキディ
スク１２８をコイルスプリング１１８の弾発作用下に制
動部材１０６、１２２で挟持して制動する。この結果、
ピストン２０の落下（Ｚ２方向の変位）を阻止する。 【００４１】これ以外のモータ２６によるピストン２０
の変位中（時間ｔ２〜ｔ３、時間ｔ５〜ｔ６）の場合、
あるいはピストン２０の落下中（時間ｔ４〜ｔ５）の場
合についても略同様の作用が営まれるため、説明を省略
する。 【００４２】また、ピストン２０の制動中（時間０〜ｔ
１、時間ｔ３〜ｔ４）の場合、ピストン制動中の場合に
は、電磁切換弁３４が滅勢されており、空間１０８が大
気開放されている（図６（ｆ）参照）ため、圧縮空気供
給源１２の故障あるいは電源断による影響はない。 【００４３】このように、本実施例に係るサーボシリン
ダ装置１０では、ノーマルクローズ型の電磁切換弁３４
で圧縮空気供給源１２とディスクブレーキ機構３６とを
連通させたため、また、ディスクブレーキ機構３６を空
気圧低下により制動するように構成したため、圧縮空気
供給源１２の故障あるいは電源断に拘わらずピストン２
０を素早く停止させ、ワークＷの落下事故等を確実に阻
止することができる。 【００４４】なお、本実施例に係るシリンダ本体１６の
回り止め機構５２では、ガイドロッド１３４ａ、１３４
ｂによってピストン２０およびテーブル４６の回り止め
を行っているが、ピストンロッド１８にスプライン状の
凸条を設け、ロッドカバー４４側に前記凸条が嵌合する
孔部を画成することによっても回り止め機能が達成でき
る。 【００４５】また、ワークＷが重量の軽い場合には、自
重で落下（Ｚ２方向）しないおそれがあるため、シリン
ダ室６４のヘッドカバー４０側の第２室６４ｂと圧縮空
気供給源１２とを通路６６、減圧弁１５０を介して連通
させる構成が考えられる。この場合、ピストン２０をＺ
２方向に変位させる際に、電磁切換弁１４が滅勢されて
第１室６４ａが大気開放された場合、前記第２室６４ｂ
には常時、圧力が付与されいるため、前記第１室６４ａ
と第２室６４ｂとの圧力差に基づいてピストン２０をＺ
２方向に変位させることができる。 【００４６】 【発明の効果】本発明に係るブレーキ機構を有するサー
ボシリンダ装置によれば、以下の効果が得られる。 【００４７】すなわち、供給される圧力流体の圧力が低
下した際にピストンを制動するブレーキ機構を備えてい
るため、圧力流体供給源の故障等により圧力流体の供給
が停止した場合には、該ブレーキ機構が作動してピスト
ンをその位置で制動することができる。 【００４８】また、電源断によりシリンダボディへ圧力
流体を供給する電磁制御弁が滅勢され、シリンダボディ
に供給される圧力流体の圧力が低下してピストンが落下
する状態になっていたとしても、ブレーキ機構に圧力流
体を供給する電磁制御弁が閉成して該ブレーキ機構を大
気開放することによってブレーキ機構を作動させ、ピス
トンをその位置で瞬時に制動することができる。 【００４９】したがって、該シリンダを上下方向に使用
した際に、圧力流体供給源の故障や電源断等が発生して
もワークが落下することを確実に阻止できる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置の全
体構成図である。 【図２】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のシ
リンダ本体の斜視説明図である。 【図３】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のシ
リンダ本体の一部断面説明図である。 【図４】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のシ
リンダ本体におけるピストン部分の断面説明図である。 【図５】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のシ
リンダ本体におけるディスクブレーキ機構の一部断面説
明図である。 【図６】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のタ
イミングチャートである。 【符号の説明】 １０…サーボシリンダ装置 １３…電−空レ
ギュレータ １４、３４…電磁切換弁 １６…シリンダ
本体 ２０、１０４…ピストン ２２…ボールね
じ軸 ２４…タイミングベルト ２６…モータ ２８…駆動軸 ３０…エンコー
ダ ３２…コントローラ ３６…ディスク
ブレーキ機構 ７４、８６…プーリ １０６、１２２
…制動部材 １０８…空間 １１８…コイル
スプリング １２８…ブレーキディスク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 薫 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (56)参考文献 実開 平２−119503（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−116433（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−88031（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F15B 15/26 F15B 15/08 F16J 1/16

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】シリンダボディと、 前記シリンダボディに配設され、電気信号により駆動さ
   れる回転駆動源と、 前記回転駆動源の回転駆動力によって回転する送りねじ
   軸と、 前記送りねじ軸に螺合され、前記回転駆動力とシリンダ
   室に供給される圧力流体の押圧力との切換作用下に前記
   シリンダボディの軸線方向に沿って変位自在に設けられ
   たピストンと、 前記回転駆動源の回転駆動力を前記送りねじ軸に伝達す
   る駆動力伝達手段と、 供給される圧力流体の押圧力により前記ピストンを非制
   動状態とし、前記非制動状態からの圧力低下により前記
   ピストンに対して制動を行うブレーキ機構と、 付勢信号が付与されることにより圧力流体供給源と前記
   ブレーキ機構とを連通させて該ブレーキ機構に対して圧
   力流体を供給し、滅勢信号が付与されることにより前記
   ブレーキ機構を大気開放する電磁制御弁と、 を 備えることを特徴とするブレーキ機構を有するサーボ
   シリンダ装置。