JP3365762B2

JP3365762B2 - 光情報記録媒体用の反射層または半透明反射層、光情報記録媒体及び光情報記録媒体用スパッタリングターゲット

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Publication number: JP3365762B2
Application number: JP2000395894A
Authority: JP
Inventors: 隆大西; 勝寿高木; 淳一中井; 秀夫藤井
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 2000-04-28
Filing date: 2000-12-26
Publication date: 2003-01-14
Anticipated expiration: 2020-12-26
Also published as: JP2002015464A; TW514909B

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ａｇの拡散が抑制
され、結晶粒成長が抑制された光情報記録媒体用の反射
層または半透明反射層（光ディスク用反射層または光デ
ィスク用半透明反射層）、光情報記録媒体、及び光情報
記録媒体の反射層用または半透明反射層用スパッタリン
グターゲットに関するものである。本発明の反射層また
は半透明反射層は高い反射率を有している為、ＣＤ−Ｒ
ＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の読み出し専用光ディスク（書
き込み・変更不可能）；ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ等の追記
型光ディスク（一回限りの記録と繰返し再生が可能）；
ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋
ＲＷ、ＰＤ等の書き換え型光ディスク（繰返し記録・再
生が可能）等に好適に用いられる。

【０００２】

【従来の技術】光ディスクには幾つかの種類があるが、
記録再生原理の観点からすれば、読み出し専用光ディ
スク、書き換え型光ディスク、及び追記型光ディス
クの三種類に大別される。

【０００３】このうちの読み出し専用光ディスクは、
基本的に、ポリカーボネート基体等の透明プラスチック
基体上に、Ａｇ，Ａｌ，Ａｕ等を母材とする反射膜層、
および紫外線硬化樹脂保護膜層等の保護膜層が積層して
なるものである。上記読み出し専用光ディスクは、透明
プラスチック基体上に設けられた凹凸のピットにより記
録データを形成し、ディスクに照射されたレーザー光の
位相差や反射差を検出することによりデータの再生を行
うものである。上記積層タイプの他、図１に示す様に、
透明プラスチック基体１上に、半透明反射膜層２を設け
た基材と、反射膜層４を設けた基材とを、接着層３を介
して張り合わせ、更に紫外線硬化樹脂保護膜層５を積層
してなるものもある。この様なデータは読み出し専用
（書き込み・記録不可）の方式を採用した光ディスクと
して、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等が挙げられる。

【０００４】次に、上記の書き換え型（相変化型）の
光ディスクは、レーザー光のパワーと照射時間をコント
ロールし、記録層に結晶質相と非晶質相の異相状態を形
成することによりデータを記録し、両相の反射率変化を
レーザーで検出することによりデータの再生を行うもの
である。この記録再生方式では繰返し記録・再生が可能
であり、通常、数千回から数十万回程度、繰返し記録す
ることができる。上記書き換え型の光ディスクの基本
構造は図２に示す様に、透明プラスチック基体１上に、
誘電体層７、記録層８、誘電体層７、反射層４、及び紫
外線硬化樹脂保護膜層５の各種薄膜層が積層してなるも
のであり、かかる方式を採用する光ディスクとしては、
ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋
ＲＷ等が挙げられる。

【０００５】また、上記の追記型光ディスクは、レー
ザー光のパワーにより記録薄膜層（有機色素層）の色素
を発熱・変質させ、グルーブ（基板に予め刻まれている
溝）を変形させることによりデータを記録し、変質箇所
の反射率と未変質箇所の反射率との差を検出することに
よりデータの再生を行うものである。図３に、追記型光
ディスクの基本構造を示す。図中、１は透明プラスチッ
ク基体、６は有機色素層、４は反射膜層、５は紫外線硬
化樹脂保護層である。この記録再生方式では、一度記録
されたデーターが書換えられないこと（一回限りの記録
と繰返し再生）が特徴であり、かかる方式を採用する光
ディスクとしては、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ等が挙げられ
る。

【０００６】上記の各光ディスクにおいて、反射層材料
には、反射率、熱伝導率、耐熱衝撃性、化学的安定性
［特に耐食性（耐酸化性）］等の諸特性に優れ、記録特
性の経時変化が少ないこと等が要求されている。

【０００７】例えば上記の書き換え型光ディスク用反
射層は放熱薄膜層を兼ねていることから、上記特性の
他、更に熱伝導率が高いことが要求される。特に高記録
密度においては、記録密度向上の観点から、反射層の熱
伝導率が高いことが不可欠である。ところが、かかる要
求特性を満足する反射層材料は未だ提供されていないの
が実情である。

【０００８】例えば書き換え型光ディスク用反射層材料
として汎用されているＡｌ合金は、記録再生に使用され
るレーザー波長（７８０ｎｍ、６５０ｎｍ）に対し、比
較的高い反射率及び耐食性（化学的耐食性）を有してい
るが、反射率の点では未だ不充分であり、Ａｕ系やＡｇ
系に比較して反射率が低いという欠点がある。更にＡｕ
系に比べ、化学的安定性に劣る他、熱伝導率が低いとい
う欠点も抱えている。特に、書き換え型及び追記型の各
光ディスクで要求される高熱伝導性に劣るという欠点も
ある。従って、Ａｌ合金を反射層に使用したのでは、当
該反射層に要求される諸特性を具備させることは困難で
あり、その結果、光ディスクの構造や設計に制約が生じ
るという不具合があった。

【０００９】そこでＡｌ合金に代わり、Ａｕ，Ａｇ，Ｃ
ｕを反射用材料として使用することが提案されている
が、夫々以下に掲げる問題を抱えている。

【００１０】例えば純ＡｕまたはＡｕを主成分とする合
金は、化学的安定性に優れ、記録再生特性の経時変化が
少なく、且つ、高反射率、高耐食性及び高熱伝導率が得
られるという利点はあるが、Ａｕは極めて高価であり、
実用的でない。更に、次世代の主たるレーザー波長とな
る青色（青紫色、紫色）レーザー（波長４０５ｎｍ）に
対し、充分に高い反射率が得られないという問題があ
る。

【００１１】また、純ＣｕまたはＣｕを主成分とする合
金は安価であるが、耐食性（特に耐酸化性）に劣る他、
Ａｕ系と同様、青色レーザーに対する反射率が低いとい
う欠点を抱えている。その結果、光ディスクの信頼性
（耐久性）低下を招く恐れがある。

【００１２】また、純ＡｇまたはＡｇを主成分とする合
金では、実用波長域の４００〜４８０ｎｍでは充分高い
反射率を示すものの、耐食性及び記録再生特性の経時変
化では、Ａｕ系反射膜よりも劣るという欠点がある。特
にＡｇ系合金では、Ａｇが容易に拡散することから、結
晶粒成長等の組織変化が容易に発生し、膜特性が劣化す
るという問題がある。

【００１３】一方、上記の追記型光ディスクの反射層
においても、上記の書き換え型光ディスクと同様の問
題が生じている。

【００１４】上記追記型の光ディスクでは、反射層材料
として、Ａｕ又はＡｕを主成分とする合金が汎用されて
いる。これらの材料は、記録再生に使用されるレーザー
波長（７８０ｎｍ、６５０ｎｍ）に対し、有機色素層が
存在しても７０％以上の高反射率を達成することができ
る。しかしながら前述した通り、Ａｕは極めて高価であ
り、コスト上昇の主な原因となっている。

【００１５】そこで、上記材料に代わり、Ａｇ，Ｃｕ，
Ａｌを反射層材料として用いることが提案されている。
ところが純Ａｇ、純Ｃｕを主成分とする合金では、前述
の如く耐食性に劣るという欠点がある。

【００１６】また、純Ａｌ若しくはＡｌを主成分とする
合金では耐久性に劣るという問題がある。即ち、純Ａ
ｌ、純Ａｌを主成分とする合金を光ディスクの反射層に
用いると、化学反応による反射率の低下、エラーの増加
等のディスク特性の経時変化を生じ易い為、高度の信頼
性が要求される追記型光ディスクに使用するのは困難で
ある。更にＡｌ材料は反射率が低く、特に合金元素を添
加したＡｌ基合金では反射率が一層低くなり、有機色素
層が存在すると７０％以上の高反射率を達成することが
できないという問題もある。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】この様に光ディスク用
反射層には、信頼性の高い媒体を得るべく、高反射率、
化学的安定性（特に耐酸化性）、組織安定性（Ａｇの拡
散が抑制され、結晶粒成長が抑制されるという意味での
組織安定性）、記録再生特性の安定性、低コスト等の諸
特性を満たすことが要求されているにもかかわらず、こ
れらの要求特性全てを満足する金属層は未だ提供されて
いない。反射率、化学的安定性等の点ではＡｕが最も優
れているが、コストが高くつく他、次世代規格の青色レ
ーザー（波長４０５ｎm）では反射率が大幅に低下する
という問題がある。

【００１８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、高反射率を有することは勿論のこ
と、Ａｇの結晶粒成長が抑制され、組織安定性に優れた
新規な光情報記録媒体用反射層・半透明反射層、光情報
記録媒体、及び光情報記録媒体用スパッタリングターゲ
ットを提供することにある。

【００１９】

【課題を解決する為の手段】上記課題を解決し得た本発
明に係るＡｇの結晶粒成長が抑制された光情報記録媒体
用反射層または半透明反射層は、Ｎｄを０．１〜３．０
％含有するＡｇ基合金で構成されているところに要旨を
有するものである。尚、本発明における半透明反射層と
は、ディスク片面に２層以上の多層記録を行う媒体の反
射層として用いられる薄膜で、透過率・反射率はディス
クの構成によって規定されるが、おおよそ２０〜８０％
の透過率を有する薄膜を意味する。また、本発明におけ
る反射層とは、ディスク片面に単層記録の反射膜、若し
くは多層記録の最下層の反射層として用いられる薄膜
で、透過率はほぼ０％で、反射率はディスクの構成によ
り規定されるが、おおよそ７０％以上である。

【００２０】上記Ａｇ−Ｎｄ合金で構成されてなる反射
層または半透明反射層は、Ａｇの拡散が抑制され、結晶
粒成長が抑制される結果、結晶組織の安定性に優れてお
り、記録再生特性の安定性、ひいては耐久性という実用
上の効果につながるものである。

【００２１】上記Ａｇ−Ｎｄ合金において、更に、Ａ
ｕ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｍｇ，Ｔｉ，およびＴａよりなる群か
ら選択される少なくとも１種の元素を合計で０．５〜
５．０％含有するものは耐酸化性が高められるので好ま
しい態様である。とりわけＡｕ，Ｃｕ，Ｐｄを添加した
Ａｇ−Ｎｄ合金は非常に有用であり、合金化による反射
率の低下を抑制しながら、耐酸化性を一層向上させるこ
とができるものである。

【００２２】本発明の光情報記録媒体用反射層または半
透明反射層は、読み出し専用型、書き換え型、追記型の
いずれにも適用され得るが、特に追記型及び読み出し専
用型の光ディスクに好適に用いることができる。

【００２３】また、上記光情報記録媒体用反射層または
半透明反射を備えた光情報記録媒体、及び上記Ａｇ基合
金で構成された光情報記録媒体用スパッタリングターゲ
ットも本発明の範囲内に包含される。

【００２４】

【発明の実施の形態】スパッタリング等の成膜プロセス
により作製された純Ａｇ薄膜は、原子空孔等の多くの欠
陥を含み、Ａｇが拡散して容易に凝集する為、環境試験
の条件下ではＡｇ結晶粒の増大が起り易くなる。これに
対し、純Ａｕ薄膜の場合は、同様に環境試験下で実施し
たとしてもＡｕ結晶粒の増大は殆ど認められず、純Ａｇ
薄膜と純Ａｕ薄膜との組織安定性には大きな差異がある
ことが分かった。この様な結晶粒の増大は、薄膜の熱伝
導率や変化、応力状態、膜強度、界面性状の変化を伴
い、最終的には、媒体の記録再生特性の劣化につながる
ものである。

【００２５】そこで本発明者らは、この様なＡｇ結晶粒
の増大を防止し得る組織安定性に優れた光情報記録媒体
用反射層または半透明反射層（以下、「反射層」で代表
させる場合がある）を提供すべく鋭意検討した。具体的
には、Ａｇに種々の元素を添加して作製したＡｇ基合金
スパッタリングターゲットを用い、スパッタリング法に
より種々の成分組成からなるＡｇ基合金薄膜を形成し、
反射層としての特性を評価した。その結果、ＡｇにＮｄ
を添加すれば、Ａｇの拡散を抑制し、結晶粒の成長を抑
制し得る結果、組織安定性に極めて優れた反射層が得ら
れることが明らかになった。更に上記Ａｇ−Ｎｄ合金に
おいて、Ａｕ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｍｇ，Ｔｉ，およびＴａよ
りなる群から選択される少なくとも１種の元素を所定量
添加する（より好ましくはＡｕ，Ｃｕ，Ｐｄの少なくと
も一種を含む）と耐食性（特に耐酸化性）が向上するこ
とを見出し、本発明を完成した。

【００２６】以下、本発明の光情報記録媒体用反射層を
構成する要件について、順次説明する。

【００２７】本発明の反射層は、Ｎｄを０．１〜３．０
％含有するＡｇ基合金で構成されている。即ち、上記発
明の最重要ポイントは、Ａｇ基合金にＮｄを０．１〜
３．０％添加すると、Ａｇの結晶粒成長が抑制され、記
録再生特性の安定性に優れる結果、耐久性が向上するこ
とを明らかにしたところにある。

【００２８】本発明者らの検討結果によれば、Ａｇ−Ｎ
ｄ合金薄膜では、環境試験（温度８０℃、湿度９０％R
H）において、Ｎｄを０．１％以上添加すれば、Ａｇの
拡散に起因する結晶粒成長は抑制されることが分かっ
た。好ましくは０．３％以上である。但し、反射率を考
慮すると、その上限を３．０％に定めることが必要であ
る。本発明では、反射率の目標レベルの一つとして、一
般的なＤＶＤで使用されるレーザー波長６５０ｎｍにお
いて、純Ａｕ薄膜と同程度の反射率にすることを掲げて
いるが、Ｎｄの添加量が多いほど反射率は低下する傾向
にあり、特に添加量が３．０％を超えると、反射率が著
しく低下するからである。より好ましくは２．０％以下
である。更に、上記範囲では、化学的安定性（特に耐酸
化性）も純Ａｇに比べ、良好であることから、所望の薄
膜が得られることが分かった。

【００２９】従って、高い反射率及び耐食性を維持しつ
つ、更に、Ａｇ結晶粒の成長を抑制する為には、Ｎｄの
添加量を０．１％以上（好ましくは０．３％以上）、
３．０％以下（好ましくは２．０％以下）に定めた。

【００３０】上記Ａｇ−Ｎｄ合金において、更に、Ａ
ｕ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｍｇ，Ｔｉ，およびＴａよりなる群か
ら選択される少なくとも１種の元素を合計で０．５〜
５．０％含有するものは、耐酸化性が一層高められるの
で好ましい態様である。前述した通り、ＡｇにＮｄを添
加したＡｇ基合金薄膜は、純Ａｇに比べ、耐酸化性が向
上するが、更に上記の元素を添加したときには、合金化
による反射率の低下を抑制しながら、更に耐酸化性が向
上するというメリットがある。一般に、光情報記録媒体
の耐酸化性は、環境試験前後の反射率の減少量で評価さ
れるが、光情報記録媒体に用いられる実用的なレーザー
波長である７８０，６５０，４０５ｎｍ近傍の波長域に
おける反射率の減少量から耐酸化性を評価したところ、
これらの元素を合計で０．５％以上添加すると耐酸化性
が向上するが、５％を超えると純Ａｇに比べ、耐酸化性
は低下することが明らかになった。ちなみに、レーザー
の波長に関し、一世代前の規格（ＣＤ）では７８０ｎｍ
であったが、これからの規格（ＤＶＤ）では６５０ｎｍ
となり、更に２００２年以降の次世代規格では、青色レ
ーザー（４０５ｎｍ）が標準になることが予想されてい
る。

【００３１】上記元素による耐酸化性向上作用は、元素
の種類によっても若干相違するが、Ｃｕ：０．５〜５．
０％、Ａｕ：０．５〜５．０％、Ｐｄ：０．５〜３．０
％、Ｍｇ：０．５〜３．０％、Ｔｉ：０．５〜３．０
％、Ｔａ：０．５〜３．０％の範囲に制御することが推
奨される。このうちＭｇ、Ｔｉ及びＴａは、耐酸化性向
上作用はＣｕ、Ａｕ、Ｐｄに比べて劣るものの、コスト
が安くつくというメリットがある。また、ＡｕやＰｄ以
外の貴金属元素（Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒ等）も同様に耐酸化
性向上作用は見られるものの、コストが高く、実用的で
ない。尚、これらの元素は単独で使用しても良いし、二
種以上を併用しても構わない。

【００３２】本発明の光情報記録媒体用反射層は、上記
成分を含有し、残部Ａｇであるが、更に本発明の作用を
損なわない範囲で、上記成分以外の他の成分を添加して
も良い。また、Ｏ，Ｎ等のガス成分等の不純物が含まれ
ていても構わない。

【００３３】上記の本発明合金はスパッタリング法によ
り形成されたものであることが推奨される。本発明に用
いられる元素は、平衡状態ではＡｇに対する固溶限が極
めて小さい（尚、Ａｕは全率固溶する）が、スパッタリ
ング法により形成された薄膜では、スパッタリング法固
有の気相急冷によって非平衡固溶が可能になる為、その
他の薄膜形成法でＡｇ基合金薄膜を形成した場合に比
べ、上記合金元素がＡｇマトリックス中に均一に存在
し、その効果がより顕著になるからである。

【００３４】また、スパッタリングの際には、スパッタ
リングターゲット材として、溶解・鋳造法で作製したＡ
ｇ基合金（以下、「溶製Ａｇ基合金ターゲット材」とい
う）を使用することが好ましい。

【００３５】以下実施例に基づいて本発明を詳述する。
ただし、下記実施例は本発明を制限するものではなく、
前・後記の趣旨を逸脱しない範囲で変更実施することは
全て本発明の技術範囲に包含される。

【００３６】

【実施例】実施例１本実施例では、環境試験前後の結晶粒径の変化を透過型
電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて観察した。

【００３７】観察試料としては、、ＤＣマグネトロンス
パッタリングを用い、透明ポリカーボネート基板（基板
サイズ：直径５０ｍｍ、厚さ１ｍｍ）上に厚さ１５００
Åの各種薄膜（反射層）、即ち、純Ａｇ、純Ａｕ、Ａｇ
−０．９％Ｃｕ−１．０％Ａｕ、Ａｇ−０．５％Ｎｄ、
Ａｇ−０．５％Ｎｄ−０．９％Ｃｕ−１．０％Ａｕの各
合金薄膜を形成した試料を用いた。

【００３８】また、環境試験の条件は温度８０℃、湿度
９０％RH、保持時間４８時間とした。これらの結果を夫
々、図４〜１３に示す。このうち、図４は純Ａｇにおけ
る高温高湿試験前の結晶粒径を示す写真、図５は純Ａｇ
における高温高湿試験後の結晶粒径を示す写真、図６は
純Ａｕにおける高温高湿試験前の結晶粒径を示す写真、
図７は純Ａｕにおける高温高湿試験後の結晶粒径を示す
写真、図８はＡｇ−０．９％Ｃｕ−１．０％Ａｕにおけ
る高温高湿試験前の結晶粒径を示す写真、図９はＡｇ−
０．９％Ｃｕ−１．０％Ａｕにおける高温高湿試験後の
結晶粒径を示す写真、図１０はＡｇ−０．５％Ｎｄにお
ける高温高湿試験前の結晶粒径を示す写真、図１１はＡ
ｇ−０．５％Ｎｄにおける高温高湿試験後の結晶粒径を
示す写真、図１２はＡｇ−０．５％Ｎｄ−０．９％Ｃｕ
−１．０％Ａｕにおける高温高湿試験前の結晶粒径を示
す写真、図１３はＡｇ−０．５％Ｎｄ−０．９％Ｃｕ−
１．０％Ａｕにおける高温高湿試験後の結晶粒径を示す
写真である。

【００３９】図より、純Ａｕ薄膜では環境試験前後で結
晶粒の変化が殆ど見られない（図６及び７）のに対し、
純Ａｇ薄膜（図４及び５）及びＡｇ−０．９％Ｃｕ−
１．０％Ａｕ薄膜（図８及び９）では、約５倍程度まで
結晶粒が大きく成長していることが分かる。これに対
し、ＡｇにＮｄを添加したＡｇ−０．５％Ｎｄ薄膜（図
１０及び１１）及びＡｇ−０．５％Ｎｄ−０．９％Ｃｕ
−１．０％Ａｕ薄膜（図１２及び１３）では、試験の前
後で結晶粒の変化は殆どなく、Ｎｄの添加によりＡｇ基
合金薄膜の結晶粒成長が著しく抑制されることが分か
る。

【００４０】実施例２本実施例では、環境試験時間と結晶粒の相関関係につい
て調べた。

【００４１】実施例１と同様にして図１４に示す種々の
試料を作製し、結晶粒をＴＥＭ像により算出した。その
結果を図１４に示す。

【００４２】種々のＡｇ合金のうち、Ｎｄを添加したＡ
ｇ−１％Ｎｄは、いずれも保持時間が増加しても、結晶
粒径の変化が殆どないのに対し、Ｎｄ以外の元素を添加
したＡｇ合金では、保持時間が増加するにつれ、結晶粒
径が著しく増加した。純Ａｇにおいても、保持時間の増
加に伴い、結晶粒は増加するが、特に、ＡｇにＡｕ，Ｃ
ｕ，Ｉｎ，Ｚｎ，Ｓｎを添加したときには、純Ａｇに比
べ、結晶粒が著しく増加している。但し、これらの元素
にＮｄを添加すると（例えばＡｇ−１％Ｎｄ−１％Ｃｕ
−１％Ａｕ合金）、結晶粒の変化は殆ど見られないこと
から、Ｎｄ添加による結晶粒径増大抑制効果は極めて大
きいことが分かる。

【００４３】実施例３本実施例では、各種Ａｇ二元基合金薄膜における元素添
加量と環境試験前後の結晶粒径との相関関係について調
べた。

【００４４】実施例１と同様にして図１５に示す種々の
試料を作製し、結晶粒径をＴＥＭ像により算出した。そ
の結果を図１５に示す。

【００４５】図より、他の元素に比べ、Ｎｄは結晶粒増
大抑制作用が顕著に見られる。この様な作用は、０．１
％の添加により発揮されるが、それ以上添加しても、当
該作用は飽和してしまうことが分かる。

【００４６】実施例４本実施例では、各種Ａｇ二元基合金薄膜における元素添
加量と初期反射率との相関関係を調べた。

【００４７】実施例１と同様の方法により種々のＡｇ二
元基合金薄膜（反射層）を形成した試料を作製した後、
測定レーザー波長６５０ｎｍにおける反射率を測定し
た。その結果を図１６に示す。

【００４８】図より、Ａｕ及びＣｕを添加しても、反射
率の低下は殆ど見られないのに対し、その他の元素で
は、添加量の増加に比例して反射率が低下した。尚、初
期反射率は、現状、ＤＶＤなどに使用されている純Ａｕ
（初期反射率８５．８％）と同程度であることが基準と
されるが、かかる観点からすれば、Ｎｄの添加量は３．
０％以下、Ｔｉ，Ｍｇ，Ｔａの各添加量は２．０％以下
に制御することが推奨される。

【００４９】実施例５本実施例では、種々の組成のＡｇ−Ｎｄ基合金薄膜にお
ける耐食性を評価した。耐食性（耐酸化性）は、高温高
湿試験（温度８０℃、湿度９０％RH、保持時間４８時
間）前後の反射率の低下量を調べて評価した。具体的に
は、高温高湿試験終了後の各試料について反射層の反射
率（レーザー波長６５０ｎｍ）を測定し、試験前後の反
射率の差（即ち、試験終了後の反射率の減少量）を算出
することにより耐食性（耐酸化性）を評価した。これら
の結果を表１に示す。参考までに、純Ａｕ及び純Ａｇの
耐食性を併記する。

【００５０】

【表１】

【００５１】純Ａｇの場合、反射率低下量は−７．０％
と大きく低下し、耐食性に劣っているが、ＡｇにＮｄを
添加した合金では、反射率低下量は約−２．０％とな
り、耐食性は改善されている。更に、Ａｇ−Ｎｄに、Ｔ
ｉ，Ｍｇ，Ｔａを添加した合金では、耐食性は一層改善
されており、Ａｕ，Ｃｕ，Pｄを添加した合金では、更
に一層耐食性が改善されていることが分かる。

【００５２】

【発明の効果】本発明の光情報記録媒体用反射層または
半透明反射層は上記の様に構成されているので、高反射
率を有することは勿論のこと、Ａｇの拡散に起因する結
晶粒の増大が抑制されるため、光情報記録媒体（読込み
型、追記型、および書換え型の各光ディスク）の性能や
信頼性を格段に高めることができた。また、本発明のス
パッタリングターゲットは、上記光情報記録媒体用反射
層または半透明反射層をスパッタリングにより形成する
ときに好適に使用され、形成される反射層の成分組成が
安定しやすくなるというメリットの他、密着性、組織安
定性、耐食性（特に耐酸化性）等の諸特性にも優れた反
射層が効率よく得られるというメリットも奏する。本発
明の光情報記録媒体は、特に光磁気記録媒体を除く光情
報記録媒体に有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、読込み専用光ディスクの断面構造を示
す模式図である。

【図２】図２は、追記型光ディスクの断面構造を示す模
式図である。

【図３】図３は、書換え型光ディスクの基本構造を示す
模式図である。

【図４】図４は、純Ａｇにおける高温高湿試験前の結晶
粒径を示す写真である。

【図５】図５は、純Ａｇにおける高温高湿試験後の結晶
粒径を示す写真である。

【図６】図６は、純Ａｕにおける高温高湿試験前の結晶
粒径を示す写真である。

【図７】図７は、純Ａｕにおける高温高湿試験後の結晶
粒径を示す写真である。

【図８】図８は、Ａｇ−０．９％Ｃｕ−１．０％Ａｕに
おける高温高湿試験前の結晶粒径を示す写真である。

【図９】図９は、Ａｇ−０．９％Ｃｕ−１．０％Ａｕに
おける高温高湿試験後の結晶粒径を示す写真である。

【図１０】図１０は、Ａｇ−０．５％Ｎｄにおける高温
高湿試験前の結晶粒径を示す写真である。

【図１１】図１１は、Ａｇ−０．５％Ｎｄにおける高温
高湿試験後の結晶粒径を示す写真である。

【図１２】図１２は、Ａｇ−０．５％Ｎｄ−０．９％Ｃ
ｕ−１．０％Ａｕにおける高温高湿試験前の結晶粒径を
示す写真である。

【図１３】図１３は、Ａｇ−０．５％Ｎｄ−０．９％Ｃ
ｕ−１．０％Ａｕにおける高温高湿試験後の結晶粒径を
示す写真である。

【図１４】図１４は、各種Ａｇ合金薄膜における環境試
験時間と結晶粒径の関係を示すグラフである。

【図１５】図１５は、各種Ａｇ合金薄膜における元素添
加量と結晶粒径の関係を示すグラフである。

【図１６】図１６は、各種Ａｇ合金薄膜における元素添
加量と初期反射率の関係を示すグラフである。

【符号の簡単な説明】

１ポリカーボネート基体２半透明反射層３接着層４反射層５紫外線硬化樹脂保護層６有機色素層７誘電体層８記録層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤井秀夫神戸市西区高塚台１丁目５番５号株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (56)参考文献特開平10−11799（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−133349（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 7/24 C23C 14/06 C23C 14/14 C23C 14/34 G11B 7/26

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｎｄを０．１〜３．０％（原子％の意
味、以下同じ）含有するＡｇ基合金で構成されているこ
とを特徴とするＡｇの結晶粒成長が抑制された光情報記
録媒体用の反射層または半透明反射層。
【請求項２】Ａｕ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｍｇ，Ｔｉ，および
Ｔａよりなる群から選択される少なくとも１種の元素を
合計で０．５〜５．０％含有するものである請求項１に
記載の反射層または半透明反射層。
【請求項３】Ａｕ，Ｃｕ，およびＰｄよりなる群から
選択される少なくとも１種の元素を合計で０．５〜５．
０％含有するものである請求項２に記載の反射層または
半透明反射層。
【請求項４】Ｃｕを０．５〜５．０％含有するもので
ある請求項３に記載の反射層または半透明反射層。
【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載のＡｇ基
合金で構成されている反射層または半透明反射層を備え
た光情報記録媒体。
【請求項６】請求項１〜４のいずれかに記載のＡｇ基
合金で構成されていることを特徴とする光情報記録媒体
用スパッタリングターゲット。