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JP3357317B2 - 球状物の表面検査装置 - Google Patents

球状物の表面検査装置

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JP3357317B2
JP3357317B2 JP14621199A JP14621199A JP3357317B2 JP 3357317 B2 JP3357317 B2 JP 3357317B2 JP 14621199 A JP14621199 A JP 14621199A JP 14621199 A JP14621199 A JP 14621199A JP 3357317 B2 JP3357317 B2 JP 3357317B2
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rotating
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慎治 山田
充弘 南
規男 種田
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カネボウ株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボールベアリング
用のボール等の球状物の表面の傷、欠け等の検査装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば、球状の形状をしているボ
ールベアリング用のボールの表面の傷や、ダンベル型シ
ームラインを有するループ状の一本線を表面に有するボ
ールのシームラインに亀裂の有無等については、従来か
ら固体CCDカメラ等を備えた画像処理装置が用いられ
てきた。しかし、その形状の特徴である球状形態である
ことよりそのハンドリングは複雑であるため、高速かつ
精度の高い自動検査は困難である。例えば、特開平6−
34326号公報には、シームラインの検査精度の向上
を図り得るシーム検査方法及びその装置を提供すること
を目的として、検査対象であるボールを支持すると共に
ボールを直交する第1軸X及び第2軸Y廻りに交互に回
転させる回転駆動手段を有する装置により球状物の表面
を検査する装置が開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平6−3
4326号公報に開示されている装置では、被検査物品
である球状物の全周を検査するために、異なる回転軸の
周りに球状物を回転させる少なくとも4個の回転駆動手
段を2個ずつ対抗させて配置させる必要がある。この公
報に開示された装置では、ボールを保持装置へ搬入し回
転駆動手段にセットし検査後搬出する必要があり、検査
の処理能力が低くなる。また、被検査物である球状物を
回転させるため、搬入搬出のハンドリング等のため、装
置も大型化し、その価格も高価なものとなる。
【0004】そこで、本願発明は、上述の問題点を解決
し、主として球状の形状の被検査物品の外周面を、連続
かつ高速に検査する安価で小型の装置を提供することに
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本願発明の請求項1にか
かる発明は、球体物の表面全周の欠陥を検査する装置で
あって、前記球体物を回転させる回転機構と、前記球体
物に照明光を照射する照明機構と、前記球体物からの反
射光を検知する検出機構と、前記検出機構からの入力信
号に基づいて欠陥を判別する判別機構とからなる検査装
置であって、前記回転機構が相対する2本の回転ローラ
ーからなり前記2本の回転ローラー間隙が球体物の直径
よりも小さく、前記2本の回転ローラーが互いに同方向
へ回転し、前記2本の回転ローラーの1本の表面に球体
物の誘導溝を設け、誘導溝は螺旋ねじの形状を有してお
り、誘導溝を有する回転ローラーの回転を間歇運転させ
ることを特徴とする検査装置である。また、請求項
かかる発明は、球体物の直径を2rとした場合、誘導溝
の螺旋ねじのピッチPが2r以上であることを特徴とす
る請求項1記載の検査装置である。また、請求項にか
かる発明は、球体物の表面全周の欠陥を検査する装置で
あって、前記球体物を回転させる回転機構と、前記球体
物に照明光を照射する照明機構と、前記球体物からの反
射光を検知する検出機構と、前記検出機構からの入力信
号に基づいて欠陥を判別する判別機構とからなる検査装
置であって、前記回転機構が相対する2本の回転ローラ
ーからなり前記2本の回転ローラー間隙が球体物の直径
よりも小さく、前記2本の回転ローラーが互いに同方向
へ回転し、前記2本の回転ローラーの1本の表面に球体
物の誘導溝を設け、誘導溝は螺旋ねじの形状を有する溝
部1と、誘導溝が回転軸に対して垂直な形状を有する溝
部2とからなり、前記溝部1と溝部2とが連続的に接続
して設け、球体物の直径を2rとした場合、誘導溝の溝
部2の長さL2が2πr以上であることを特徴とする検
査装置である。また、請求項にかかる発明は、球体物
の直径を2rとした場合、誘導溝の螺旋ねじのピッチP
2が(2/3)r以上であることを特徴とする請求項
記載の検査装置である。また、請求項にかかる発明
は、誘導溝を有する回転ローラーの回転を連続運転させ
ることを特徴とする請求項乃至請求項記載の検査装
置である。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態の一
について図面を用いて説明する。なお、図中同一符号は
同一または相当部分を示す。また、今回開示された実施
の形態はすべての点で例示であって制限的なものではな
いと考えられるべきである。
【0007】図1に本願発明にかかる検査装置(1)の
全体構成図であって被検査物品(2)の搬送方向と平行
な方向から示した図を示す。図1において被検査物品
(2)は矢示X方向に搬送されるものとする。また、図
2に当該検査装置のうちの一部についての斜視図を示
す。図2において被検査物品(2)は矢示Y方向に搬送
されるものとする。
【0008】図1および図2からわかるように、本願発
明の検査装置(1)は、被検査物品である球状物(2)
を回転させる回転機構(10)と、前記球状物(2)に
照明光を照射する照明機構(30)と、前記球状物
(2)からの反射光を検知する検出機構(40)と、前
記検出機構(40)からの入力信号に基づいて欠陥を判
別する判別機構(50)とから構成される。なお、検査
装置(1)の上流側には、球状物(2)を順次検査装置
(1)に送り込む供給ホッパー(3)が設けられ、検査
装置(1)の下流側には、検査装置(1)で不良品と判
別された球状物(2)を受け取る不良品ホッパー(4)
および検査装置(1)で良品と判別された球状物(2)
を次工程へ搬送する搬送コンベア(5)が設けられてい
る。そして、回転機構(10)は、互いに同方向(図2
における矢示Z方向)に回転する回転ローラー(1
1)、(12)を水平方向に対向させて配置し、その間
隙に球状物(2)を載置できるようになっている。
【0009】回転機構(10)は、水平方向に対向して
配設された一対の回転ローラー(11)、(12)、回
転ローラーのうちの一方の回転ローラー(11)の表面
に設けられた誘導溝(16)と、他方の回転ローラー
(12)に設けた粘着部材(13)とから構成される。
また、各々の回転ローラー(11)、(12)はそれぞ
れ回転軸(14)、(15)を中心として矢示Z方向に
回転し、2本の回転ローラーはその回転を互いに干渉さ
れることなく回転ON/OFF制御および回転速度制御
ができるものである。
【0010】また、2本の回転ローラー(11)、(1
2)の間隙は、その表面間の距離dが球状物(2)の直
径2rよりも小さくなっている。
【0011】粘着部材(13)は、例えば球状物(2)
と摩擦の高いものであれば特に限定されず、球状物
(2)が鋼製である場合にはゴム等のシート状物を回転
ローラー(12)表面に巻き付けたものでよい。
【0012】なお、誘導溝(16)の形状については後
述するが、本願発明の第1の発明では前記誘導溝(1
6)は全周にわたり螺旋形状を有し、第2の発明では螺
旋ねじの部分と回転ローラーの回転軸に対して垂直な部
分とを併せ持つ形状を有する。
【0013】照明機構(30)は、図2に示すように、
複数の光ファイバを回転ローラー(11)、(12)の
長さ程度であって、前記回転ローラーに並設して配置
し、球状物(2)の表面を照射する集光レンズ部(3
1)と、ハロゲン等の白色光源を内蔵した照明装置(3
4)と、これら集光レンズ部(31)と照明装置(3
4)とを接続する光ファイバ束(33)とから構成され
る。なお、集光レンズ部(31)と光ファイバ束(3
3)とはコネクタ(32)を介して接続されている。
【0014】検出機構(40)は、図2に示すようなC
CD素子を配置したセンサ(41)、例えば、CCD素
子を1次元的に並べたCCDラインセンサあるいは2次
元のCCD素子を2次元的に並べたCCD撮像センサ
と、対物レンズ(42)とから構成されるものである。
CCD素子の配置については、1次元であれば少ない素
子数で高解像度を得られ、2次元であれば視野が直線的
でなく平面であるという特徴を有するものである。な
お、1次元CCDラインセンサである場合であっても2
次元CCD撮像センサである場合であっても、球状物
(2)を固定して一方向からセンシングした場合には球
状物(2)の表面全体を検査することはできない。ま
た、センサの視野角は、センサ解像度と球状物(2)と
センサとの距離により左右されるが、おおよそ球状物
(2)表面の1/3程度は視野角内に入るものである。
【0015】判別機構(50)は、公知の画像処理装置
であって、検出機構(40)が1次元CCDラインセン
サから構成されるものであれば検出機構(40)からの
入力信号を基に、例えば入力信号の時間微分値の変化分
が一定値を越えることにより球状物(2)表面の傷等の
欠陥を検出する。また、検出機構(40)が2次元CC
D撮像センサから構成されるものであれば検出機構(4
0)からの入力画像を基に、例えば入力画像を白黒2値
化処理した後の輝度値が一定値を越えることにより球状
物(2)表面の傷等の欠陥を検出するものである。
【0016】次に、回転機構(10)について詳述す
る。
【0017】まず、本願発明の第1の発明における回転
機構を説明する。図3にその側面図を、図4にその斜視
図を示す。前述のとおり2本の回転ローラー(11)お
よび回転ローラー(12)が水平方向に対向して配設さ
れ、その間隙dは球状物(2)の直径2rよりも小さい
ように構成されている。また、回転ローラー(11)の
表面に設けられた誘導溝(16)は、図3に示すように
ピッチP1である螺旋ねじの形状を連続的に有するもの
である。このピッチP1は、球状物(2)の直径である
2r以上であることが好ましい。このようにすることに
より、回転ローラー(2)が1回転する間に球状物
(2)は矢示B方向に1回転することとなる。
【0018】次に、本願発明の第2の発明における回転
機構を説明する。図5にその側面図を図6にその斜視
図、図7にその断面図を示す。前述のとおり2本の回転
ローラー(21)および回転ローラー(22)が水平方
向に対向して配設され、その間隙dは球状物(2)の直
径2rよりも小さいように構成されている。また、回転
ローラー(21)の表面に設けられた誘導溝(26)
は、図5に示すようにピッチP2である螺旋ねじの形状
を有する溝部1(26a)と、回転軸に対して垂直な形
状を有する溝部2(26b)とを有するものである。こ
のピッチP2は、球状物(2)の直径である2rの1/
3以上であることが好ましい。このようにすることによ
り、回転ローラー(21)が少なくとも3回転する間に
球状物(2)は矢示B方向に1回転することとなる。ま
た、溝部2(26b)の長さL2は、球状物(2)の直
径2rとした場合、L2は2πr以上であることが好ま
しい。このようにすることにより、溝部2(L2)の始
点から終点に至る間に球状物は矢示A方向に1回転する
こととなる。
【0019】次に、本願発明の検査装置(1)を用いて
球状物(2)の外周面の全周を検査する際の動作を説明
する。
【0020】まず、図2に示すように、球状物(2)
は、供給ホッパー(3)に供給され、一定の間隔で供給
ホッパー(3)下部に設けられた供給口より回転機構
(10)の2本の回転ローラの間隙に落下する。その
後、回転ローラの矢示Z方向への回転により球状物
(2)は矢示Y方向に搬送されることととなる。
【0021】本願発明の第1の発明における検査装置で
は、回転ローラー(11)全周にわたり螺旋ねじ形状の
誘導溝(16)が施されたものであり、このねじ形状の
誘導溝に沿って球状物(2)が図3における矢示B方向
に回転される。第1の発明においては、球状物(2)が
回転ローラー(11)および回転ローラー(12)の間
隙に落下した後、以下のごとく動作せしめる。
【0022】まず、2本の回転ローラー(11)、(1
2)のうち、誘導溝のない回転ローラー(12)のみを
回転させて、他方の誘導溝のある回転ローラー(11)
は回転させない。この状態で、球状物が図3における矢
示A方向に1回転以上するように回転ローラー(12)
を回転させる。回転ローラー(12)にはその表面に粘
着部材(13)が設けられているため、この粘着部材
(13)と球状物(2)との摩擦により球状物(2)滑
ることなく回転ローラー(12)により球状物は1回転
分自転することとなる。
【0023】この回転ローラー(12)の回転中に照明
機構(30)の集光レンズ(31)により球状物(2)
の表面を照射し、その反射光を検知機構(41)により
検知する。この検知機構(40)から判別機構(50)
へ信号が転送され、判別機構(50)において表面の傷
等の有無が判別される。これにより検知機構(40)の
視野角内(およそ球状物の1/3程度)での矢示A方向
の1周分の表面検査が完了したこととなる。
【0024】次いで、回転ローラー(11)および回転
ローラー(12)をともに同方向(図2における矢示Z
方向)に回転させる。これにより球状物(2)は誘導溝
(16)に誘導されて矢示B方向に自転する。この回転
量は、検知機構(40)の視野角にもよるが、通常のC
CD素子を用いた検知機構では球体物(2)の3分の1
程度の表面は視野内に入ることが多いため、回転量は1
/3回転程度でよい。
【0025】また、誘導溝(16)のピッチP1は球状
物の直径2r以上であるため、回転ローラー(11)が
少なくとも1回転すると球状物(2)の全周の検査が完
了したこととなる。つまり、回転ローラー(11)を1
/3回転させた状態とは、初期の状態から矢示B方向に
1/3自転した状態となり、この状態で回転ローラー
(11)の回転を停止させる。一方の回転ローラー(1
2)はそのまま回転を持続させ、先ほどと同様、この状
態で、球状物が図3における矢示A方向に1回転以上す
るように回転ローラー(12)を回転させる。この回転
ローラー(12)の回転中に判別機構(50)において
表面の傷等の有無が判別される。これにより検知機構
(40)の次の視野角内での矢示A方向の1周分の表面
検査が完了したこととなる。
【0026】次に、先ほどと同様、回転ローラー(1
1)を1/3回転させて停止させる。この状態で回転ロ
ーラー(12)を回転させ、この回転ローラー(12)
の回転中に判別機構(50)において表面の傷等の有無
が判別される。これにより検知機構(40)のさらに次
の視野角内での矢示A方向の1周分の表面検査が完了し
たこととなる。
【0027】このようにすることにより、球状物(2)
の全周の表面の検査が完了したこととなる。
【0028】次に、本願発明の第2の発明の検査装置の
動作について説明する本願発明の第2の発明における検
査装置では、回転ローラー(21)には、螺旋ねじ形状
の溝部1(26a)と回転軸に対して垂直な形状を有す
る溝部2(26b)を有するものであり、ねじ形状の誘
導溝である溝部1(26a)に沿って球状物(2)が図
4における矢示B方向に回転されるとともに、垂直な形
状である溝部2(26b)に沿って球状物(2)が図4
における矢示A方向に回転されることとなる。
【0029】第2の発明においては、球状物(2)が回
転ローラー(21)および回転ローラー(22)の間隙
に落下した後、以下のごとく動作せしめる。まず、2本
の回転ローラー(21)および回転ローラー(22)の
両方を図3における矢示Z方向に回転させる。
【0030】この2本の回転ローラー(21)および
(22)の回転中に、照明機構(30)の集光レンズ
(31)により球状物(2)の表面を照射し、その反射
光を検知機構(41)により検知する。この検知機構
(40)から判別機構(50)へ信号が転送され、判別
機構(50)において表面の傷等の有無が判別される。
【0031】この際には、溝部2(26b)の長さL2
は球状物(2)の外周2πrよりも大きいため検知機構
(40)の視野角内での矢示A方向の1周分の表面検査
が完了する。また、回転ローラー(21)の溝部1(2
6a)の回転により、ピッチP2は、球状物の直径2r
とした場合、その1/3以上であるため、回転ローラー
(21)が1回転すると球状物(2)は矢示B方向に少
なくとも1/3は自転した状態となる。
【0032】このピッチP2は、検知機構(40)の視
野角にもよるが、通常のCCD素子を用いた検知機構で
は球体物(2)の3分の1程度の表面は視野内に入るこ
とが多いため、ピッチP2は検知物(2)の円周の1/
3程度でよい。そして、回転ローラ(21)が3回転す
ると全周の検査が完了したこととなる。つまり、回転ロ
ーラー(21)が1回転した状態とは、初期の状態から
矢示B方向に1/3自転した状態となり、この状態で回
転ローラー(21)の回転は停止させないため、溝部2
(26b)の部分に誘導され、矢示A方向に1回転以上
することとなり、さらに回転は持続し、回転ローラー
(21)が2回転した状態とは、初期の状態から矢示B
方向に2/3自転した状態となり、この状態でも回転ロ
ーラー(21)の回転は停止させないため、溝部2(2
6b)の部分に誘導され、矢示A方向に1回転以上する
こととなり、さらに回転は持続し、回転ローラー(2
1)が3回転した状態とは、初期の状態から矢示B方向
に3/3自転した状態となり、これで全周の検査が完了
する。
【0033】判別機構(50)にて球状物(2)の外周
面の検査で不良品と判別されたものは不良品ホッパー
(4)に排出される。不良品ホッパー(4)は、例えば
空気ノズルとシュートとから構成されるもので、該不良
品がシュート位置に来ると空気ノズルから圧縮空気を排
出し、該不良品をシュートに導くものである。一方検査
結果が正常であった被検査物(2)に対してはかかる空
気ノズルは作動せず、搬送コンベア(5)上を次工程に
進んで行くこととなる。
【0034】
【発明の効果】本願発明の検査装置によれば、被検査物
品が球状物である場合においても、回転機構で球状物を
自転させることによりその表面全周を高速に検査でき
る。
【0035】また、本願発明の検査装置によれば、上記
効果に加えて、回転機構を連続運転させて球状物を自転
させることによりその表面全周を高速かつ連続的に検査
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明にかかる検査装置の全体構成図であ
る。
【図2】本願発明にかかる検査装置の斜視図である。
【図3】第1の発明の回転機構の側面図である。
【図4】第1の発明の回転機構の斜視図である。
【図5】第2の発明の回転機構の側面図である。
【図6】第2の発明の回転機構の斜視図である。
【図7】第2の発明の回転機構の断面図である。
【符号の説明】
1 検査装置 2 球状物 10 第1の発明の回転機構 20 第2の発明の回転機構 30 照明機構 40 検知機構 50 判別機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/84 - 21/958

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】球体物の表面全周の欠陥を検査する装置で
    あって、 前記球体物を回転させる回転機構と、 前記球体物に照明光を照射する照明機構と、 前記球体物からの反射光を検知する検出機構と、 前記検出機構からの入力信号に基づいて欠陥を判別する
    判別機構と からなる検査装置であって、 前記回転機構が相対する2本の回転ローラーからなり前
    記2本の回転ローラー間隙が球体物の直径よりも小さ
    く、 前記2本の回転ローラーが互いに同方向へ回転し、 前記2本の回転ローラーの1本の表面に球体物の誘導溝
    を設け 誘導溝は螺旋ねじの形状を有しており、 誘導溝を有する回転ローラーの回転を間歇運転させるこ
    とを 特徴とする検査装置。
  2. 【請求項2】球体物の直径を2rとした場合、 誘導溝の螺旋ねじのピッチPが2r以上であることを特
    徴とする請求項1記載の検査装置。
  3. 【請求項3】球体物の表面全周の欠陥を検査する装置で
    あって、 前記球体物を回転させる回転機構と、 前記球体物に照明光を照射する照明機構と、 前記球体物からの反射光を検知する検出機構と、 前記検出機構からの入力信号に基づいて欠陥を判別する
    判別機構とからなる検査装置であって、 前記回転機構が相対する2本の回転ローラーからなり 前記2本の回転ローラー間隙が球体物の直径よりも小さ
    く、 前記2本の回転ローラーが互いに同方向へ回転し、 前記2本の回転ローラーの1本の表面に球体物の誘導溝
    を設け、 誘導溝は 螺旋ねじの形状を有する溝部1と、 誘導溝が回転軸に対して垂直な形状を有する溝部2とか
    らなり、 前記溝部1と溝部2とが連続的に接続して設け 球体物の直径を2rとした場合、 誘導溝の溝部2の長さL2が2πr以上であること を特
    徴とする検査装置。
  4. 【請求項4】球体物の直径を2rとした場合、 誘導溝の螺旋ねじのピッチP2が(2/3)r以上であ
    ることを特徴とする請求項記載の検査装置。
  5. 【請求項5】誘導溝を有する回転ローラーの回転を連続
    運転させることを特徴とする請求項乃至請求項記載
    の検査装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106153637A (zh) * 2016-07-04 2016-11-23 哈尔滨理工大学 子午线单辊摩擦盘钢球表面展开机构

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102658266A (zh) * 2012-05-23 2012-09-12 浙江大学 一种基于机器视觉的钢球分拣装置和方法

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