JP3344149B2 - 光半導体素子モジュール - Google Patents
光半導体素子モジュールInfo
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- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光通信において波長
多重により双方向通信等を行う光半導体素子モジュール
に関するものである。
多重により双方向通信等を行う光半導体素子モジュール
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来の光半導体素子モジュールを
示す断面図、図７は図６のＡ部を拡大し、かつ、発光素
子の出力光が光ファイバに結合される軌跡を示した図で
ある。図において、１はモジュールケース、２は１つの
パッケージに納めた半導体レーザ等の発光素子であり、
モジュールケース１に固定されている。３は１つのパッ
ケージに納めたホトダイオード等の受光素子であり、ホ
ルダ４に固定されている。５は光ファイバであり、先端
内部にキャピラリ６を有するフェルール７に固着保持さ
れている。８は光ファイバ５を固着保持したフェルール
７の先端全面を斜め研磨した研磨面、９はガラス板の片
面に誘導体多層膜のフィルタを形成し、これと対向する
片面に発光素子２の出力光の反射防止膜を形成して成る
光分離フィルタであり、モジュールケース１に固着保持
されている。１０は発光素子２の出力光を集光し、光分
離フィルタ９を介して光ファイバ５に結合する第１のレ
ンズであり、発光素子２のパッケージに保持されてい
る。１１は光分離フィルタ９で反射された光ファイバ５
からの入力光を集光し、受光素子３に結合する第２のレ
ンズであり、ホルダ４に保持されている。１２はフェル
ール７を保持するホルダ、１３は光ファイバ５に結合す
る発光素子２の出力光の中心軸、１４は受光素子３に結
合する光ファイバ５からの入力光の中心軸である。な
お、光ファイバ５は発光素子２との光結合が最適となる
ようフェルール７と共に、出力光の中心軸１３に対し、
同一方向及び直交方向にそれぞれ位置調整された後ホル
ダ１２に保持され、更にホルダ１２はモジュールケース
１に固定されている。また、第２のレンズ１１は光分離
フィルタ９で反射された光ファイバ５からの入力光が受
光素子３に結合するように、光分離フィルタ９で反射さ
れた入力光の中心軸１４に対し同一方向に位置調整され
た後ホルダ４に保持され、更に受光素子３と光ファイバ
５との光結合が最適となるようホルダ４及び第２のレン
ズ１１と共に、光分離フィルタ９で反射された入力光の
中心軸１４に対し直交方向に位置調整された後、ホルダ
４がモジュールケース１に固定されている。
示す断面図、図７は図６のＡ部を拡大し、かつ、発光素
子の出力光が光ファイバに結合される軌跡を示した図で
ある。図において、１はモジュールケース、２は１つの
パッケージに納めた半導体レーザ等の発光素子であり、
モジュールケース１に固定されている。３は１つのパッ
ケージに納めたホトダイオード等の受光素子であり、ホ
ルダ４に固定されている。５は光ファイバであり、先端
内部にキャピラリ６を有するフェルール７に固着保持さ
れている。８は光ファイバ５を固着保持したフェルール
７の先端全面を斜め研磨した研磨面、９はガラス板の片
面に誘導体多層膜のフィルタを形成し、これと対向する
片面に発光素子２の出力光の反射防止膜を形成して成る
光分離フィルタであり、モジュールケース１に固着保持
されている。１０は発光素子２の出力光を集光し、光分
離フィルタ９を介して光ファイバ５に結合する第１のレ
ンズであり、発光素子２のパッケージに保持されてい
る。１１は光分離フィルタ９で反射された光ファイバ５
からの入力光を集光し、受光素子３に結合する第２のレ
ンズであり、ホルダ４に保持されている。１２はフェル
ール７を保持するホルダ、１３は光ファイバ５に結合す
る発光素子２の出力光の中心軸、１４は受光素子３に結
合する光ファイバ５からの入力光の中心軸である。な
お、光ファイバ５は発光素子２との光結合が最適となる
ようフェルール７と共に、出力光の中心軸１３に対し、
同一方向及び直交方向にそれぞれ位置調整された後ホル
ダ１２に保持され、更にホルダ１２はモジュールケース
１に固定されている。また、第２のレンズ１１は光分離
フィルタ９で反射された光ファイバ５からの入力光が受
光素子３に結合するように、光分離フィルタ９で反射さ
れた入力光の中心軸１４に対し同一方向に位置調整され
た後ホルダ４に保持され、更に受光素子３と光ファイバ
５との光結合が最適となるようホルダ４及び第２のレン
ズ１１と共に、光分離フィルタ９で反射された入力光の
中心軸１４に対し直交方向に位置調整された後、ホルダ
４がモジュールケース１に固定されている。
【０００３】本発明における光半導体素子モジュール
は、通常一対で構成される。例えば、親局から子局への
光通信に１．５５μｍ帯の波長を用い、子局から親局へ
の光通信に１．３μｍ帯の波長を用いる場合、親局の光
半導体素子モジュールの発光素子２の出力光の第１の波
長λ１は１．５５μｍ帯であり、光ファイバ５からの入
力光である第２の波長λ２は１．３μｍ帯である。この
ため、光分離フィルタ９は第１の波長λ１である１．５
５μｍ帯の光を透過し、第２の波長λ２である１．３μ
ｍ帯の光を反射する。この親局と対をなす子局の光半導
体素子モジュールの発光素子２の出力光の第１の波長λ
１は１．３μｍ帯であり、光ファイバ５からの入力光で
ある第２の波長λ２は１．５５μｍ帯である。このた
め、光分離フィルタ９は第１の波長λ１である１．３μ
ｍ帯の光を透過し、第２の波長λ２である１．５５μｍ
帯の光を反射する。受光素子３は１．３μｍ帯と１．５
５μｍ帯の両方に感度がある３元系のホトダイオードを
用いる。これら一対の光半導体素子モジュールは、発光
素子２と光分離フィルタ９を変更すれば良い。従って、
以下では上記例における親局の場合について動作を説明
する。発光素子２の出力光である第１の波長１．５５μ
ｍ帯の光は第１のレンズ１０で集光され、光分離フィル
タ９を透過して光ファイバ５に結合される。一方、光フ
ァイバ５からの入力光である第２の波長１．３μｍ帯の
光は光分離フィルタ９で反射され、第２のレンズ１１で
集光され受光素子３に結合される。
は、通常一対で構成される。例えば、親局から子局への
光通信に１．５５μｍ帯の波長を用い、子局から親局へ
の光通信に１．３μｍ帯の波長を用いる場合、親局の光
半導体素子モジュールの発光素子２の出力光の第１の波
長λ１は１．５５μｍ帯であり、光ファイバ５からの入
力光である第２の波長λ２は１．３μｍ帯である。この
ため、光分離フィルタ９は第１の波長λ１である１．５
５μｍ帯の光を透過し、第２の波長λ２である１．３μ
ｍ帯の光を反射する。この親局と対をなす子局の光半導
体素子モジュールの発光素子２の出力光の第１の波長λ
１は１．３μｍ帯であり、光ファイバ５からの入力光で
ある第２の波長λ２は１．５５μｍ帯である。このた
め、光分離フィルタ９は第１の波長λ１である１．３μ
ｍ帯の光を透過し、第２の波長λ２である１．５５μｍ
帯の光を反射する。受光素子３は１．３μｍ帯と１．５
５μｍ帯の両方に感度がある３元系のホトダイオードを
用いる。これら一対の光半導体素子モジュールは、発光
素子２と光分離フィルタ９を変更すれば良い。従って、
以下では上記例における親局の場合について動作を説明
する。発光素子２の出力光である第１の波長１．５５μ
ｍ帯の光は第１のレンズ１０で集光され、光分離フィル
タ９を透過して光ファイバ５に結合される。一方、光フ
ァイバ５からの入力光である第２の波長１．３μｍ帯の
光は光分離フィルタ９で反射され、第２のレンズ１１で
集光され受光素子３に結合される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の光半導体素子モ
ジュールは以上のように構成されているのが一般的であ
る。しかしながら、図７に示すように、光分離フィルタ
９を透過した発光素子２の出力光全てが光ファイバ５に
結合されるのではなく、その一部が光ファイバ５の端面
で反射され、近端漏話の原因となる迷光成分として残
る。この迷光成分は光分離フィルタ９でフェルール７の
先端前方方向に反射され、そのほとんどがモジュールケ
ース１の内壁等で反射と分散の繰り返しにより密度を下
げながら吸収されるため、近端漏話が低減される。しか
し、光分離フィルタ９で反射され、更にその一部がフェ
ルール７の研磨面８により第２のレンズ１１に反射され
た密度の高い迷光成分は第２のレンズ１１に集光され、
受光素子３に雑音となって結合され、性能の悪化を招く
という課題があった。また、フェルール７の研磨面８に
よって第２のレンズ１１に反射されるこの迷光成分の反
射割合は、それぞれの部品精度、及び、光ファイバ５の
光軸調整後の設定位置に大きく依存される。このため、
目標とする性能を得るためには、それぞれの部品に対す
る高い精度の要求と、組立における細心の注意が必要と
なり、コストの増加を招くという課題があった。
ジュールは以上のように構成されているのが一般的であ
る。しかしながら、図７に示すように、光分離フィルタ
９を透過した発光素子２の出力光全てが光ファイバ５に
結合されるのではなく、その一部が光ファイバ５の端面
で反射され、近端漏話の原因となる迷光成分として残
る。この迷光成分は光分離フィルタ９でフェルール７の
先端前方方向に反射され、そのほとんどがモジュールケ
ース１の内壁等で反射と分散の繰り返しにより密度を下
げながら吸収されるため、近端漏話が低減される。しか
し、光分離フィルタ９で反射され、更にその一部がフェ
ルール７の研磨面８により第２のレンズ１１に反射され
た密度の高い迷光成分は第２のレンズ１１に集光され、
受光素子３に雑音となって結合され、性能の悪化を招く
という課題があった。また、フェルール７の研磨面８に
よって第２のレンズ１１に反射されるこの迷光成分の反
射割合は、それぞれの部品精度、及び、光ファイバ５の
光軸調整後の設定位置に大きく依存される。このため、
目標とする性能を得るためには、それぞれの部品に対す
る高い精度の要求と、組立における細心の注意が必要と
なり、コストの増加を招くという課題があった。
【０００５】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、光ファイバの光軸調整後の設定位
置に依存されることなく、迷光成分の全てをモジュール
ケースの内壁等で吸収させることにより近端漏話を低減
させ、目標とする性能と、低コストの、光半導体素子モ
ジュールを得ることを目的とする。
めになされたもので、光ファイバの光軸調整後の設定位
置に依存されることなく、迷光成分の全てをモジュール
ケースの内壁等で吸収させることにより近端漏話を低減
させ、目標とする性能と、低コストの、光半導体素子モ
ジュールを得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明による光半導体
素子モジュールは、フェルールの先端をキャピラリの一
部を突出させた形状とし、このフェルールに固着保持さ
れた光ファイバのこれらの端面を斜め研磨したものであ
る。
素子モジュールは、フェルールの先端をキャピラリの一
部を突出させた形状とし、このフェルールに固着保持さ
れた光ファイバのこれらの端面を斜め研磨したものであ
る。
【０００７】 また、この発明による光半導体素子モジュ
ールは、フェルールの先端の角を、中心の近傍まで面取
り状に全周除去した形状とし、このフェルールに固着保
持された光ファイバのこれらの端面を斜め研磨したもの
である。
ールは、フェルールの先端の角を、中心の近傍まで面取
り状に全周除去した形状とし、このフェルールに固着保
持された光ファイバのこれらの端面を斜め研磨したもの
である。
【０００８】 また、この発明による光半導体素子モジュ
ールは、フェルールの先端における受光素子側の一部の
角を、中心の近傍まで面取り状に除去した形状とし、こ
のフェルールに固着保持された光ファイバのこれらの端
面を斜め研磨したものである。
ールは、フェルールの先端における受光素子側の一部の
角を、中心の近傍まで面取り状に除去した形状とし、こ
のフェルールに固着保持された光ファイバのこれらの端
面を斜め研磨したものである。
【０００９】
【作用】この発明によれば、光分離フィルタで反射され
た迷光成分は、フェルール先端での干渉がなくなり、そ
の全てがモジュールケースの内壁等で反射と分散の繰り
返しにより密度を下げながら吸収されるため、迷光成分
として受光素子３に結合されることがなくなり、近端漏
話を低減することができる。
た迷光成分は、フェルール先端での干渉がなくなり、そ
の全てがモジュールケースの内壁等で反射と分散の繰り
返しにより密度を下げながら吸収されるため、迷光成分
として受光素子３に結合されることがなくなり、近端漏
話を低減することができる。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明における光半導体素子モジュ
ールを説明するために示す参考例の断面図、図２は図１
のＡ部を拡大し、かつ、発光素子の出力光が光ファイバ
に結合される軌跡を示した図である。図において、１〜
７及び９〜１４は上記従来構造と同一のものである。１
５はフェルール７に固着保持された光ファイバ５のこれ
らの先端における、受光素子側の端面１６を残して斜め
研磨した研磨面である。
ールを説明するために示す参考例の断面図、図２は図１
のＡ部を拡大し、かつ、発光素子の出力光が光ファイバ
に結合される軌跡を示した図である。図において、１〜
７及び９〜１４は上記従来構造と同一のものである。１
５はフェルール７に固着保持された光ファイバ５のこれ
らの先端における、受光素子側の端面１６を残して斜め
研磨した研磨面である。
【００１１】実施例１． 図３はこの発明の実施例１における光半導体素子モジュ
ールを示す図であり、上記参考例で用いた図２に相当す
る。図において、１〜６及び９〜１４は上記従来構造と
同一のものである。１７はキャピラリ６の一部が突出し
たフェルール、１８はこのフェルール１７に固着保持さ
れた光ファイバ５のこれらの端面を斜め研磨した研磨面
である。
ールを示す図であり、上記参考例で用いた図２に相当す
る。図において、１〜６及び９〜１４は上記従来構造と
同一のものである。１７はキャピラリ６の一部が突出し
たフェルール、１８はこのフェルール１７に固着保持さ
れた光ファイバ５のこれらの端面を斜め研磨した研磨面
である。
【００１２】 この発明の光半導体素子モジュールは以上
のように構成されており、発光素子２の出力光は第１の
レンズ１０で集光され、光分離フィルタ９を透過して光
ファイバ５に結合される。また、光ファイバ５の端面で
反射された一部の出力光は、迷光成分として光分離フィ
ルタ９でフェルール７の先端前方方向に反射され、フェ
ルール７の先端での干渉がなく、その全てがモジュール
ケースの内壁等で反射と分散の繰り返しにより密度を下
げながら吸収されるため、迷光成分として受光素子３に
結合されることがなくなり、近端漏話を低減することが
できるという作用と動作が得られる。
のように構成されており、発光素子２の出力光は第１の
レンズ１０で集光され、光分離フィルタ９を透過して光
ファイバ５に結合される。また、光ファイバ５の端面で
反射された一部の出力光は、迷光成分として光分離フィ
ルタ９でフェルール７の先端前方方向に反射され、フェ
ルール７の先端での干渉がなく、その全てがモジュール
ケースの内壁等で反射と分散の繰り返しにより密度を下
げながら吸収されるため、迷光成分として受光素子３に
結合されることがなくなり、近端漏話を低減することが
できるという作用と動作が得られる。
【００１３】実施例２． 図４はこの発明の実施例２における光半導体素子モジュ
ールを示す図であり、上記参考例で用いた図２に相当す
る。図において、１〜６及び９〜１４は上記従来構造と
同一のものである。１９は先端の角を中心の近傍まで面
取り状に全周除去したフェルール、２０はこのフェルー
ル１９に固着保持された光ファイバ５のこれらの端面を
斜め研磨した研磨面である。
ールを示す図であり、上記参考例で用いた図２に相当す
る。図において、１〜６及び９〜１４は上記従来構造と
同一のものである。１９は先端の角を中心の近傍まで面
取り状に全周除去したフェルール、２０はこのフェルー
ル１９に固着保持された光ファイバ５のこれらの端面を
斜め研磨した研磨面である。
【００１４】 この発明の光半導体素子モジュールは以上
のように構成されており、実施例１と同様の作用と動作
が得られる。
のように構成されており、実施例１と同様の作用と動作
が得られる。
【００１５】実施例３． 図５はこの発明の実施例３における光半導体素子モジュ
ールを示す図であり、上記参考例で用いた図２に相当す
る。図において、１〜６及び９〜１４は上記従来構造と
同一のものである。２１は先端における受光素子３側の
一部の角を中心の近傍まで面取り状に除去したフェルー
ル、２２はこのフェルール２１に固着保持された光ファ
イバ５のこれらの端面を斜め研磨した研磨面である。
ールを示す図であり、上記参考例で用いた図２に相当す
る。図において、１〜６及び９〜１４は上記従来構造と
同一のものである。２１は先端における受光素子３側の
一部の角を中心の近傍まで面取り状に除去したフェルー
ル、２２はこのフェルール２１に固着保持された光ファ
イバ５のこれらの端面を斜め研磨した研磨面である。
【００１６】 この発明の光半導体素子モジュールは以上
のように構成されており、実施例１と同様の作用と動作
が得られる。
のように構成されており、実施例１と同様の作用と動作
が得られる。
【００１７】
【発明の効果】この発明によれば、フェルールの先端を
キャピラリの一部を突出させた形状とし、このフェルー
ルに固着保持された光ファイバのこれらの端面を斜め研
磨することにより、光分離フィルタで反射された迷光成
分は、フェルール先端での干渉がなくなり、その全てが
モジュールケースの内壁等で反射と分散の繰り返しによ
り密度を下げながら吸収されるため、迷光成分として受
光素子に結合されることがなくなり、近端漏話を低減す
ることができる。また、研磨される部材はキャピラリの
一種類となるため、従来構造における異種材料の同時研
磨による研磨紙等の目詰まりや、これにより研磨面の荒
れを防止することが可能となり、研磨紙等の頻繁な交換
や、研磨のやり直しがなくなるため、コストの低減を図
ることができる。
キャピラリの一部を突出させた形状とし、このフェルー
ルに固着保持された光ファイバのこれらの端面を斜め研
磨することにより、光分離フィルタで反射された迷光成
分は、フェルール先端での干渉がなくなり、その全てが
モジュールケースの内壁等で反射と分散の繰り返しによ
り密度を下げながら吸収されるため、迷光成分として受
光素子に結合されることがなくなり、近端漏話を低減す
ることができる。また、研磨される部材はキャピラリの
一種類となるため、従来構造における異種材料の同時研
磨による研磨紙等の目詰まりや、これにより研磨面の荒
れを防止することが可能となり、研磨紙等の頻繁な交換
や、研磨のやり直しがなくなるため、コストの低減を図
ることができる。
【００１８】 また、 この発明によれば、フェルールの先
端の角を全周、または受光素子側の一部を、中心の近傍
まで面取り状に全周除去した形状とし、このフェルール
に固着保持された光ファイバのこれらの端面を斜め研磨
することにより、光分離フィルタで反射された迷光成分
は、フェルール先端での干渉がなくなり、その全てがモ
ジュールケースの内壁等で反射と分散の繰り返しにより
密度を下げながら吸収されるため、迷光成分として受光
素子に結合されることがなくなり、近端漏話を低減する
ことができる。また、フェルールの先端と光分離フィル
タで反射された迷光成分との間隔が大きく開くので、そ
れぞれの部品に対する高い精度の要求と、組立における
細心の注意が不要となり、コストの低減を図ることがで
きる。
端の角を全周、または受光素子側の一部を、中心の近傍
まで面取り状に全周除去した形状とし、このフェルール
に固着保持された光ファイバのこれらの端面を斜め研磨
することにより、光分離フィルタで反射された迷光成分
は、フェルール先端での干渉がなくなり、その全てがモ
ジュールケースの内壁等で反射と分散の繰り返しにより
密度を下げながら吸収されるため、迷光成分として受光
素子に結合されることがなくなり、近端漏話を低減する
ことができる。また、フェルールの先端と光分離フィル
タで反射された迷光成分との間隔が大きく開くので、そ
れぞれの部品に対する高い精度の要求と、組立における
細心の注意が不要となり、コストの低減を図ることがで
きる。
【図１】 この発明による光半導体素子モジュールの参
考例を示す図である。
考例を示す図である。
【図２】 この発明による光半導体素子モジュールの参
考例を示す図１のＡ部を拡大した図である。
考例を示す図１のＡ部を拡大した図である。
【図３】 この発明による光半導体素子モジュールの実
施例１を示す図である。
施例１を示す図である。
【図４】 この発明による光半導体素子モジュールの実
施例２を示す図である。
施例２を示す図である。
【図５】 この発明による光半導体素子モジュールの実
施例３を示す図である。
施例３を示す図である。
【図６】 従来の光半導体素子モジュールを示す図であ
る。
る。
【図７】 従来の光半導体素子モジュールを示す図６の
Ａ部を拡大した図である。
Ａ部を拡大した図である。
１ モジュールケース、２ 発光素子、３ 受光素子、
４ ホルダ、５ 光ファイバ、６ キャピラリ、７ フ
ェルール、８ 研磨面、９ 光分離フィルタ、１０ 第
１のレンズ、１１ 第２のレンズ、１２ ホルダ、１３
出力光の中心軸、１４ 入力光の中心軸、１５ 研磨
面、１６ 端面、１７ フェルール、１８ 研磨面、１
９ フェルール、２０ 研磨面、２１ フェルール、２
２ 研磨面。
４ ホルダ、５ 光ファイバ、６ キャピラリ、７ フ
ェルール、８ 研磨面、９ 光分離フィルタ、１０ 第
１のレンズ、１１ 第２のレンズ、１２ ホルダ、１３
出力光の中心軸、１４ 入力光の中心軸、１５ 研磨
面、１６ 端面、１７ フェルール、１８ 研磨面、１
９ フェルール、２０ 研磨面、２１ フェルール、２
２ 研磨面。
Claims (3)
- 【請求項１】 モジュールケースと、前記モジュールケ
ースの一端側に配置された発光素子と、前記モジュール
ケースの他端側に配置され、前記発光素子からの出力光
を外部に伝達可能な光伝送路と、前記光伝送路を固着保
持するフェルールと、前記発光素子からの出力光と異な
る波長で前記光伝送路を通して前記外部から伝達される
入力光を入力し、当該入力光の光軸が前記発光素子から
の出力光の光軸と交差する位置において前記モジュール
ケースに配置される、受光素子と、前記発光素子からの
出力光が透過可能で、かつ前記光伝送路からの入力光を
反射可能な光分離フィルタとを備えた光半導体素子モジ
ュールにおいて、前記フェルールの前記光分離フィルタ
側先端をキャピラリの一部を突出させた形状とし、前記
光伝送路の前記光分離フィルタ側先端を斜め研磨したこ
とを特徴とする光半導体素子モジュール。 - 【請求項２】 モジュールケースと、前記モジュールケ
ースの一端側に配置された発光素子と、前記モジュール
ケースの他端側に配置され、前記発光素子からの出力光
を外部に伝達可能な光伝送路と、前記光伝送路を固着保
持するフェルールと、前記発光素子からの出力光と異な
る波長で前記光伝送路を通して前記外部から伝達される
入力光を入力し、当該入力光の光軸が前記発光素子から
の出力光の光軸と交差する位置において前記モジュール
ケースに配置される、受光素子と、前記発光素子からの
出力光が透過可能で、かつ前記光伝送路からの入力光を
反射可能な光分離フィルタとを備えた光半導体素子モジ
ュールにおいて、前記フェルールの前記光分離フィルタ
側先端の角を全周、または、前記受光素子側の一部を除
去した形状とし、前記光伝送路の前記光分離フィルタ側
先端を斜め研磨したことを特徴とする光半導体素子モジ
ュール。 - 【請求項３】 前記発光素子と前記光分離フィルタとの
間に設けられた第１のレンズと、前記光分離フィルタと
受光素子との間に設けられた第２のレンズとを備えたこ
とを特徴とする請求項１〜２のいずれか記載の光半導体
素子モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06966295A JP3344149B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | 光半導体素子モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06966295A JP3344149B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | 光半導体素子モジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08262276A JPH08262276A (ja) | 1996-10-11 |
| JP3344149B2 true JP3344149B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=13409275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06966295A Expired - Fee Related JP3344149B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | 光半導体素子モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3344149B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
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- 1995-03-28 JP JP06966295A patent/JP3344149B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH08262276A (ja) | 1996-10-11 |
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