JP3319740B2 - ロウ材塗布装置 - Google Patents
ロウ材塗布装置Info
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- JP3319740B2 JP3319740B2 JP2000165971A JP2000165971A JP3319740B2 JP 3319740 B2 JP3319740 B2 JP 3319740B2 JP 2000165971 A JP2000165971 A JP 2000165971A JP 2000165971 A JP2000165971 A JP 2000165971A JP 3319740 B2 JP3319740 B2 JP 3319740B2
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- JP
- Japan
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- tool horn
- workpiece
- tank
- inner tank
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/10—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating making use of vibrations, e.g. ultrasonic welding
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Molten Solder (AREA)
Description
【０００１】本発明は、スパッタリングターゲットのよ
うな大面積の被加工物に均一に低融点ロウ材（インジウ
ム、鉛錫はんだ、錫亜鉛はんだ等）を塗布するロウ材塗
布装置に関する。
うな大面積の被加工物に均一に低融点ロウ材（インジウ
ム、鉛錫はんだ、錫亜鉛はんだ等）を塗布するロウ材塗
布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、膜厚や成分を容易に制御できるス
パッタリング法が電子・電気部品用材料の成膜法の一つ
として多く使用されている。このスパッタリング法は正
の電極と負の電極とからなるターゲットとを対向させ、
不活性ガス雰囲気下でこれらの基板とターゲットの間に
高電圧を印加して電場を発生させるものであり、この時
電離した電子と不活性ガスが衝突してプラズマが形成さ
れ、このプラズマ中の陽イオンがターゲット（負の電
極）表面に衝突してターゲット構成原子を叩きだし、こ
の飛び出した原子が対向する基板表面に付着して膜が形
成されるという原理を用いたものである。
パッタリング法が電子・電気部品用材料の成膜法の一つ
として多く使用されている。このスパッタリング法は正
の電極と負の電極とからなるターゲットとを対向させ、
不活性ガス雰囲気下でこれらの基板とターゲットの間に
高電圧を印加して電場を発生させるものであり、この時
電離した電子と不活性ガスが衝突してプラズマが形成さ
れ、このプラズマ中の陽イオンがターゲット（負の電
極）表面に衝突してターゲット構成原子を叩きだし、こ
の飛び出した原子が対向する基板表面に付着して膜が形
成されるという原理を用いたものである。
【０００３】通常、スパッタリングターゲットは銅等の
熱伝導性の良い材料で作製されたバッキングプレートに
ロウ材等により接合されており、このバッキングプレー
トを水冷等の手段により冷却し、間接的にスパッタリン
グターゲットを冷却する構造となっている。また、バッ
キングプレートは多くの場合再利用されるので、このス
パッタリングターゲットとバッキングプレートはスパッ
タリングターゲットの交換ができるように、低融点のロ
ウ材や接着剤で接合されている。
熱伝導性の良い材料で作製されたバッキングプレートに
ロウ材等により接合されており、このバッキングプレー
トを水冷等の手段により冷却し、間接的にスパッタリン
グターゲットを冷却する構造となっている。また、バッ
キングプレートは多くの場合再利用されるので、このス
パッタリングターゲットとバッキングプレートはスパッ
タリングターゲットの交換ができるように、低融点のロ
ウ材や接着剤で接合されている。
【０００４】従来、スパッタリングターゲットのロウ材
の塗布に際しては、作業台上にスパッタリングターゲッ
ト等の被加工物を置き、次に被加工物の上にロウ材を置
いて該ロウ材を加熱溶融した後、超音波ウェルダーの工
具ホーンを上から被加工物上の溶融ロウ材に接触させロ
ウ材の塗布作業を行っていた。ところが、このようなロ
ウ材の塗布の場合、ターゲット等の被加工物が比較的少
面積の場合は小型の超音波ウェルダーを使用して手で作
業することができるが、手作業である以上被加工物上の
ロウ材との接触が不安定で、ロウ材の塗布にむらが生じ
ると言う大きな問題があった。また、大面積のターゲッ
トに塗布する場合、大型の超音波ウェルダーを使用する
ことが望まれるが、手でもって作業することは重量の問
題で無理がある。したがって、超音波ウェルダーを固定
し、被加工物を移動する方法を採らざるを得ないのであ
るが、逆に被加工物を移動させる必要があり、実際は上
記と同様のロウ材の塗りむらの問題が発生した。
の塗布に際しては、作業台上にスパッタリングターゲッ
ト等の被加工物を置き、次に被加工物の上にロウ材を置
いて該ロウ材を加熱溶融した後、超音波ウェルダーの工
具ホーンを上から被加工物上の溶融ロウ材に接触させロ
ウ材の塗布作業を行っていた。ところが、このようなロ
ウ材の塗布の場合、ターゲット等の被加工物が比較的少
面積の場合は小型の超音波ウェルダーを使用して手で作
業することができるが、手作業である以上被加工物上の
ロウ材との接触が不安定で、ロウ材の塗布にむらが生じ
ると言う大きな問題があった。また、大面積のターゲッ
トに塗布する場合、大型の超音波ウェルダーを使用する
ことが望まれるが、手でもって作業することは重量の問
題で無理がある。したがって、超音波ウェルダーを固定
し、被加工物を移動する方法を採らざるを得ないのであ
るが、逆に被加工物を移動させる必要があり、実際は上
記と同様のロウ材の塗りむらの問題が発生した。
【０００５】上記の場合、いずれも被加工物の上側から
加工することになるので、ロウ材の供給が少なすぎると
未塗布部が発生し、多すぎると被加工物表面から流出し
て本来ロウ材が付着してはならない部分まで付着する問
題がある。従って、作業者が常にロウ材の塗布状況を細
かく監視する必要があったまた、上記のように手で塗布
作業を行うために、超音波ウェルダーの工具ホーンが被
加工物と直接接触することもしばしば起こり、このため
に工具ホーンの摩耗が発生した。したがって、工具ホー
ンを定期的に交換する必要があり、工具ホーンのメンテ
ナンスや作業に無駄が多かった。
加工することになるので、ロウ材の供給が少なすぎると
未塗布部が発生し、多すぎると被加工物表面から流出し
て本来ロウ材が付着してはならない部分まで付着する問
題がある。従って、作業者が常にロウ材の塗布状況を細
かく監視する必要があったまた、上記のように手で塗布
作業を行うために、超音波ウェルダーの工具ホーンが被
加工物と直接接触することもしばしば起こり、このため
に工具ホーンの摩耗が発生した。したがって、工具ホー
ンを定期的に交換する必要があり、工具ホーンのメンテ
ナンスや作業に無駄が多かった。
【０００６】このようなことから、上記のように被加工
物の上にロウ材を塗布する手法に替えて、ロウ材を溶融
槽に満たし、被加工物の下面にロウ材を接触させて塗布
する方法が考えられる。これはプリント基板などで一般
的な手法である。しかし、この方法は、被加工物の表面
にロウ材の濡れ性を改善するために、フラックスを塗布
する必要があるが、スパッタリングターゲットのような
機能性材料の場合、フラックスによる汚染は許容され
ず、この手法をそのまま適用することはできない。した
がって、フラックスに替えて超音波ウエルダーを使用す
る必要があるが、従来の超音波ウエルダーをそのまま使
用する場合には、溶融槽の中に超音波発振子を直接浸漬
する構造にしなければならない。しかし、このような装
置は超音波発振子に対する熱的防護装置やシールが必要
であり、構造が複雑化し現実的でない。たとえ、このよ
うな溶融槽の中に超音波発振子を直接浸漬する装置が可
能であるにしても、溶融槽の容積が被加工物の大きさに
比例させて大きくする必要があり装置そのものが大型化
する。また、装置が大型化し、溶融槽が大きくなるとロ
ウ材も多く使用することになり、例えば高価なインジウ
ムをロウ材として使用する場合は、コスト面でも大きな
負担となる問題がある。以上から、従来はスパッタリン
グターゲットのような大面積の被加工物に、低融点ロウ
材を均一かつ効率良く塗布する方法及び装置は存在して
いなかった。
物の上にロウ材を塗布する手法に替えて、ロウ材を溶融
槽に満たし、被加工物の下面にロウ材を接触させて塗布
する方法が考えられる。これはプリント基板などで一般
的な手法である。しかし、この方法は、被加工物の表面
にロウ材の濡れ性を改善するために、フラックスを塗布
する必要があるが、スパッタリングターゲットのような
機能性材料の場合、フラックスによる汚染は許容され
ず、この手法をそのまま適用することはできない。した
がって、フラックスに替えて超音波ウエルダーを使用す
る必要があるが、従来の超音波ウエルダーをそのまま使
用する場合には、溶融槽の中に超音波発振子を直接浸漬
する構造にしなければならない。しかし、このような装
置は超音波発振子に対する熱的防護装置やシールが必要
であり、構造が複雑化し現実的でない。たとえ、このよ
うな溶融槽の中に超音波発振子を直接浸漬する装置が可
能であるにしても、溶融槽の容積が被加工物の大きさに
比例させて大きくする必要があり装置そのものが大型化
する。また、装置が大型化し、溶融槽が大きくなるとロ
ウ材も多く使用することになり、例えば高価なインジウ
ムをロウ材として使用する場合は、コスト面でも大きな
負担となる問題がある。以上から、従来はスパッタリン
グターゲットのような大面積の被加工物に、低融点ロウ
材を均一かつ効率良く塗布する方法及び装置は存在して
いなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、スパッタリ
ングターゲットのような大面積の被加工物に低融点ロウ
材（インジウム、鉛錫はんだ、錫亜鉛はんだ等）を均一
かつ効率良く塗布できるロウ材塗布装置を得ることを目
的とする。
ングターゲットのような大面積の被加工物に低融点ロウ
材（インジウム、鉛錫はんだ、錫亜鉛はんだ等）を均一
かつ効率良く塗布できるロウ材塗布装置を得ることを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明者らは鋭意研究を行なった結果、超音波ウ
ェルダーの工具ホーン上面のみにロウ材を流動させ、そ
のロウ材流動面上をスパッタリングターゲット等の大面
積被加工物を通過させると、その下面にロウ材を均一か
つ効率良く塗布できるとの知見を得た。本発明はこの知
見に基づき、 １ 超音波ウェルダーによるロウ材塗布装置であって、
該装置は超音波発振装置に結合する矩形の工具ホーン、
該工具ホーンを囲み上端が工具ホーンのやや下方に位置
する内槽及び内槽の外側に位置し工具ホーンの上面から
オーバーフローするロウ材を収容する外槽を備えている
ことを特徴とするロウ材塗布装置。 ２ 前記内槽は、工具ホーンの広幅側面に接するととも
に狭側面に内槽と工具ホーンとの間にロウ材を流動させ
る流動路及び該内槽に溶融ロウ材を導入する導入口を備
え、かつ外槽にロウ材を排出する排出口を備えているこ
とを特徴とする上記１記載のロウ材塗布装置 ３ 工具ホーンと溶融ロウ材タンクとの間で溶融ロウ材
を電磁ポンプにより循環させることを特徴とする上記１
又は２のいずれかに記載のロウ材塗布装置 ４ 工具ホーンの上面に流動するロウ材と被加工物の下
面との間に０〜３ｍｍの間隔があるように、該被加工物
を移送するコンベヤー装置を備えていることを特徴とす
る上記１、２、３のいずれかに記載のロウ材塗布装置 ５ 被加工物がスパッタリングターゲットであることを
特徴とする上記１、２、３、４のいずれかに記載のロウ
材塗布装置、を提供する。
めに、本発明者らは鋭意研究を行なった結果、超音波ウ
ェルダーの工具ホーン上面のみにロウ材を流動させ、そ
のロウ材流動面上をスパッタリングターゲット等の大面
積被加工物を通過させると、その下面にロウ材を均一か
つ効率良く塗布できるとの知見を得た。本発明はこの知
見に基づき、 １ 超音波ウェルダーによるロウ材塗布装置であって、
該装置は超音波発振装置に結合する矩形の工具ホーン、
該工具ホーンを囲み上端が工具ホーンのやや下方に位置
する内槽及び内槽の外側に位置し工具ホーンの上面から
オーバーフローするロウ材を収容する外槽を備えている
ことを特徴とするロウ材塗布装置。 ２ 前記内槽は、工具ホーンの広幅側面に接するととも
に狭側面に内槽と工具ホーンとの間にロウ材を流動させ
る流動路及び該内槽に溶融ロウ材を導入する導入口を備
え、かつ外槽にロウ材を排出する排出口を備えているこ
とを特徴とする上記１記載のロウ材塗布装置 ３ 工具ホーンと溶融ロウ材タンクとの間で溶融ロウ材
を電磁ポンプにより循環させることを特徴とする上記１
又は２のいずれかに記載のロウ材塗布装置 ４ 工具ホーンの上面に流動するロウ材と被加工物の下
面との間に０〜３ｍｍの間隔があるように、該被加工物
を移送するコンベヤー装置を備えていることを特徴とす
る上記１、２、３のいずれかに記載のロウ材塗布装置 ５ 被加工物がスパッタリングターゲットであることを
特徴とする上記１、２、３、４のいずれかに記載のロウ
材塗布装置、を提供する。
【０００９】
【００１０】次に、本発明を図面に沿って説明する。な
お、以下の図面に基づく説明は本発明の１例を示すもの
で、この説明に限定されるものではない。すなわち、本
発明の技術思想に基づく他の変形や態様を全て含むもの
である。図１（（１）は正面図、（２）は側面図を示
す。）及び図２に示すように、本発明の一例を示す超音
波ウェルダーによるロウ材塗布装置Ａは、超音波発振装
置１に結合する矩形（板状）の工具ホーン２と、該工具
ホーン２を囲み上端３が工具ホーン２のやや下方に位置
する内槽４と、内槽４の外側に位置し工具ホーン２の上
面５からオーバーフローするロウ材６を収容する外槽７
を有する。
お、以下の図面に基づく説明は本発明の１例を示すもの
で、この説明に限定されるものではない。すなわち、本
発明の技術思想に基づく他の変形や態様を全て含むもの
である。図１（（１）は正面図、（２）は側面図を示
す。）及び図２に示すように、本発明の一例を示す超音
波ウェルダーによるロウ材塗布装置Ａは、超音波発振装
置１に結合する矩形（板状）の工具ホーン２と、該工具
ホーン２を囲み上端３が工具ホーン２のやや下方に位置
する内槽４と、内槽４の外側に位置し工具ホーン２の上
面５からオーバーフローするロウ材６を収容する外槽７
を有する。
【００１１】内槽４を形成する一方の対向する内壁は工
具ホーン２の広幅側面８に接し、該内槽４を形成する他
方の対向する内壁は工具ホーン２の狭側面９に位置す
る。そして、内槽４と工具ホーン２との間にロウ材６を
流動させる通路（流動路）１０及び内槽４に溶融ロウ材
６を導入する導入口１１を有し、また外槽７はロウ材を
排出する排出口１２を有する。工具ホーン２は、通常冷
却器１３を介して超音波発振装置に結合させる。
具ホーン２の広幅側面８に接し、該内槽４を形成する他
方の対向する内壁は工具ホーン２の狭側面９に位置す
る。そして、内槽４と工具ホーン２との間にロウ材６を
流動させる通路（流動路）１０及び内槽４に溶融ロウ材
６を導入する導入口１１を有し、また外槽７はロウ材を
排出する排出口１２を有する。工具ホーン２は、通常冷
却器１３を介して超音波発振装置に結合させる。
【００１２】図２に示すように、工具ホーン２とロウ材
タンク１４との間で溶融ロウ材６を電磁ポンプ１５によ
り循環させる。即ち、ロウ材タンク１４中の溶融ロウ材
６を送り配管１６を介して、前記内槽４の導入口１１に
溶融ロウ材６に送る。また、外槽７の排出口１２から出
た溶融ロウ材６は、戻り配管１７を介してロウ材タンク
１４に戻す。スパッタリングターゲットへのロウ材塗布
工程中、この溶融ロウ材６の循環を行う。ロウ材塗布装
置Ａの上部には、耐熱樹脂製ローラーコンベア等のコン
ベア装置１８を配置し、これにスパッタリングターゲッ
ト等の被加工物１９を載せ下面への塗布を行う。コンベ
ア装置１８は高さ位置を調節できるようになっている。
通常の作業工程では、工具ホーンの上面に流動するロウ
材と被加工物の下面との間に０〜３ｍｍの間隔があるよ
うにするのが良い。
タンク１４との間で溶融ロウ材６を電磁ポンプ１５によ
り循環させる。即ち、ロウ材タンク１４中の溶融ロウ材
６を送り配管１６を介して、前記内槽４の導入口１１に
溶融ロウ材６に送る。また、外槽７の排出口１２から出
た溶融ロウ材６は、戻り配管１７を介してロウ材タンク
１４に戻す。スパッタリングターゲットへのロウ材塗布
工程中、この溶融ロウ材６の循環を行う。ロウ材塗布装
置Ａの上部には、耐熱樹脂製ローラーコンベア等のコン
ベア装置１８を配置し、これにスパッタリングターゲッ
ト等の被加工物１９を載せ下面への塗布を行う。コンベ
ア装置１８は高さ位置を調節できるようになっている。
通常の作業工程では、工具ホーンの上面に流動するロウ
材と被加工物の下面との間に０〜３ｍｍの間隔があるよ
うにするのが良い。
【００１３】次に、上記ロウ材塗布装置Ａを用いてスパ
ッタリングターゲット等の被加工物を用いてロウ材を塗
布する操作について説明する。ロウ材タンク１４で溶融
させたインジウム等の溶融ロウ材６を、電磁ポンプ１５
により内槽４に送る。この場合、内槽４の容積を例えば
５００ＣＣする。しかし、この容積は超音波ウェルダー
の工具ホーン２の大きさに合わせて適宜決めることがで
きる。内槽４に送られた溶融ロウ材６は電磁ポンプ１５
の吐出力と溶融ロウ材の表面張力により、約５ｍｍほど
内槽４の上端３より盛り上がり、外槽７にオーバーフロ
ーする。そしてこのオーバーフローした外槽７に溜まっ
た溶融ロウ材６は戻り配管１７を介して、ロウ材タンク
１４に戻る。
ッタリングターゲット等の被加工物を用いてロウ材を塗
布する操作について説明する。ロウ材タンク１４で溶融
させたインジウム等の溶融ロウ材６を、電磁ポンプ１５
により内槽４に送る。この場合、内槽４の容積を例えば
５００ＣＣする。しかし、この容積は超音波ウェルダー
の工具ホーン２の大きさに合わせて適宜決めることがで
きる。内槽４に送られた溶融ロウ材６は電磁ポンプ１５
の吐出力と溶融ロウ材の表面張力により、約５ｍｍほど
内槽４の上端３より盛り上がり、外槽７にオーバーフロ
ーする。そしてこのオーバーフローした外槽７に溜まっ
た溶融ロウ材６は戻り配管１７を介して、ロウ材タンク
１４に戻る。
【００１４】超音波ウェルダーの工具ホーン２は、溶融
ロウ材６の盛上がり面より１〜３ｍｍ程度下にくるよう
に設計される。そして該溶融ロウ材６をオーバーフロー
させながら、超音波を発振させ、コンベア装置１８から
送られてきたスパッタリングターゲット等の被加工物１
９の下面に接触させてロウ材６を塗布する。超音波ウェ
ルダーの工具ホーン２の幅を、例えば１１０ｍｍとする
と、１１０ｍｍ以内の幅の被加工物１９は、その長さを
問わず一回の通過でロウ材６の塗布か可能である。この
幅（１１０ｍｍ）の工具ホーン２を使用して、これ以上
の幅の広い被加工物に塗布する場合には、被加工物の位
置をずらして数回通過させて塗布することもできるし、
またこのロウ材塗布装置Ａを２連以上並べて塗布するこ
ともできる。また、工具ホーン２そのもののサイズを変
更することによっても可能である。
ロウ材６の盛上がり面より１〜３ｍｍ程度下にくるよう
に設計される。そして該溶融ロウ材６をオーバーフロー
させながら、超音波を発振させ、コンベア装置１８から
送られてきたスパッタリングターゲット等の被加工物１
９の下面に接触させてロウ材６を塗布する。超音波ウェ
ルダーの工具ホーン２の幅を、例えば１１０ｍｍとする
と、１１０ｍｍ以内の幅の被加工物１９は、その長さを
問わず一回の通過でロウ材６の塗布か可能である。この
幅（１１０ｍｍ）の工具ホーン２を使用して、これ以上
の幅の広い被加工物に塗布する場合には、被加工物の位
置をずらして数回通過させて塗布することもできるし、
またこのロウ材塗布装置Ａを２連以上並べて塗布するこ
ともできる。また、工具ホーン２そのもののサイズを変
更することによっても可能である。
【００１５】ロウ材タンク１４中のロウ材６はタンク内
に設けたヒーター（図示せず。）の温度を、通常の温度
調整器により調節して温度を一定に保つことができる。
溶融ロウ材６の移送に電磁ポンプ１５を使用するのが便
利であるが、機械式ポンプを使用しても良い。また、電
磁ポンプ１５の吐出量をインバーターで制御することが
でき、またこの制御を戻り回路と分岐バルブを設け、こ
のバルブ開度で調節することもできる。また、ロウ材タ
ンク１４からの電磁ポンプ１５への配管は、タンク１４
の底部に設け、溶融ロウ材６に浮かぶロウ材の酸化物を
巻き込まない構造とする。
に設けたヒーター（図示せず。）の温度を、通常の温度
調整器により調節して温度を一定に保つことができる。
溶融ロウ材６の移送に電磁ポンプ１５を使用するのが便
利であるが、機械式ポンプを使用しても良い。また、電
磁ポンプ１５の吐出量をインバーターで制御することが
でき、またこの制御を戻り回路と分岐バルブを設け、こ
のバルブ開度で調節することもできる。また、ロウ材タ
ンク１４からの電磁ポンプ１５への配管は、タンク１４
の底部に設け、溶融ロウ材６に浮かぶロウ材の酸化物を
巻き込まない構造とする。
【００１６】
【発明の効果】本発明の装置は、前後のローラーコンベ
アの高さを調整することにより、被加工材と溶融ロウ材
の一定の距離を保つことが可能であり、また超音波ウェ
ルダーの工具ホーンが固定され、自動的に塗布ができの
で、手作業による塗布むら等が発生せず、均一な塗布が
できる著しい効果を有する。ロウ材は、溶融槽が空にな
るまで供給することができる。また、被加工物は構造的
に下面しか接触しないので効率的な塗布が可能であり、
塗布不要の個所を汚染することもない。超音波ウェルダ
ーの工具ホーンは被加工物と接触せず、その間の距離を
正確に調節かつ維持できるので、工具ホーンを半永久的
に使用できる利点がある。超音波ウェルダーを使用する
のでフラックス使用せずに安定した濡れ性を維持するこ
とができ、また工具ホーンのみが溶融ロウ材と接触する
ので、発振部への悪影響がないという大きな特徴を有す
る。
アの高さを調整することにより、被加工材と溶融ロウ材
の一定の距離を保つことが可能であり、また超音波ウェ
ルダーの工具ホーンが固定され、自動的に塗布ができの
で、手作業による塗布むら等が発生せず、均一な塗布が
できる著しい効果を有する。ロウ材は、溶融槽が空にな
るまで供給することができる。また、被加工物は構造的
に下面しか接触しないので効率的な塗布が可能であり、
塗布不要の個所を汚染することもない。超音波ウェルダ
ーの工具ホーンは被加工物と接触せず、その間の距離を
正確に調節かつ維持できるので、工具ホーンを半永久的
に使用できる利点がある。超音波ウェルダーを使用する
のでフラックス使用せずに安定した濡れ性を維持するこ
とができ、また工具ホーンのみが溶融ロウ材と接触する
ので、発振部への悪影響がないという大きな特徴を有す
る。
【図１】本発明のロウ材塗布装置Ａの概要を示す説明図
であり、（１）は正面図、（２）は側面図を示す。
であり、（１）は正面図、（２）は側面図を示す。
【図２】本発明のロウ材塗布工程の全体像を示す説明図
である。
である。
Ａ ロウ材塗布装置Ａ １ 超音波発振装置 ２ 工具ホーン ３ 上端 ４ 内槽 ５ 上面 ６ ロウ材 ７ 外槽 ８ 広幅側面 ９ 狭側面 １０ 通路（流動路） １１ 導入口 １２ 排出口 １３ 冷却器 １４ ロウ材タンク １５ 電磁ポンプ １６ 送り配管 １７ 戻り配管 １８ コンベア装置 １９ 被加工物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｃ２３Ｃ 14/34 Ｃ２３Ｃ 14/34 Ｃ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23K 1/00 B23K 1/08 B05C 1/02 B05C 11/10 B05D 1/26 C23C 14/34
Claims (5)
- 【請求項１】 超音波ウェルダーによるロウ材塗布装置
であって、該装置は超音波発振装置に結合する矩形の工
具ホーン、該工具ホーンを囲み上端が工具ホーンのやや
下方に位置する内槽及び該内槽の外側に位置し工具ホー
ンの上面からオーバーフローするロウ材を収容する外槽
を備えていることを特徴とするロウ材塗布装置。 - 【請求項２】 前記内槽は、工具ホーンの広幅側面に接
するとともに狭側面に内槽と工具ホーンとの間にロウ材
を流動させる流動路及び内槽に溶融ロウ材を導入する導
入口を備え、かつ外槽にロウ材を排出する排出口を備え
ていることを特徴とする請求項１記載のロウ材塗布装
置。 - 【請求項３】 工具ホーンと溶融ロウ材タンクとの間で
溶融ロウ材を電磁ポンプにより循環させることを特徴と
する請求項１又は２のいずれかに記載のロウ材塗布装
置。 - 【請求項４】 工具ホーンの上面に流動するロウ材と被
加工物の下面との間に０〜３ｍｍの間隔があるように、
該被加工物を移送するコンベヤー装置を備えていること
を特徴とする請求項１、２、３のいずれかに記載のロウ
材塗布装置。 - 【請求項５】 被加工物がスパッタリングターゲットで
あることを特徴とする請求項１、２、３、４のいずれか
に記載のロウ材塗布装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165971A JP3319740B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | ロウ材塗布装置 |
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