JP3305194B2 - 固体撮像装置の試験装置 - Google Patents
固体撮像装置の試験装置Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置の出
力信号の試験を行う装置に関するものである。
力信号の試験を行う装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の試験装置について、ＣＣ
Ｄ(Charge Coupled Device) センサの試験装置を例にと
って説明する。
Ｄ(Charge Coupled Device) センサの試験装置を例にと
って説明する。
【０００３】従来、ＣＣＤセンサの製造工程おいては、
製造されたＣＣＤセンサの出力信号の信号レベルのチェ
ックやこの信号レベルのばらつきのチェック等を行う、
試験工程がある。
製造されたＣＣＤセンサの出力信号の信号レベルのチェ
ックやこの信号レベルのばらつきのチェック等を行う、
試験工程がある。
【０００４】図４は、このような工程に使用する試験装
置の一構成例を概念的に示すブロック図である。
置の一構成例を概念的に示すブロック図である。
【０００５】同図において、ＣＣＤセンサ４０１の出力
信号は、試験装置４１０内のバッファ４１１を介して、
クランプ・サンプルホールド回路４１２に取り込まれ
る。このクランプ・サンプルホールド回路４１２は、バ
ッファ４１１から入力した信号をクランプした後で信号
値を反転し、さらに、所定のサンプリングクロックでサ
ンプリングして出力する。そして、このクランプ・サン
プルホールド回路４１２から出力された信号は、アンプ
４１３で増幅された後、Ａ／Ｄコンバータ４１４でデジ
タル化されてメモリ４１５に一時的に記憶される。続い
て、信号判定回路４１６が、メモリ４１５から読み出し
たデータを用いて信号レベルや信号レベルのばらつきを
測定し、これらの値が所定の許容範囲に収まっているか
否かをチェックする。
信号は、試験装置４１０内のバッファ４１１を介して、
クランプ・サンプルホールド回路４１２に取り込まれ
る。このクランプ・サンプルホールド回路４１２は、バ
ッファ４１１から入力した信号をクランプした後で信号
値を反転し、さらに、所定のサンプリングクロックでサ
ンプリングして出力する。そして、このクランプ・サン
プルホールド回路４１２から出力された信号は、アンプ
４１３で増幅された後、Ａ／Ｄコンバータ４１４でデジ
タル化されてメモリ４１５に一時的に記憶される。続い
て、信号判定回路４１６が、メモリ４１５から読み出し
たデータを用いて信号レベルや信号レベルのばらつきを
測定し、これらの値が所定の許容範囲に収まっているか
否かをチェックする。
【０００６】このように、図４に示した試験装置を用い
ることによって、ＣＣＤセンサ４０１の出力信号が正常
か否かをチェックすることができる。
ることによって、ＣＣＤセンサ４０１の出力信号が正常
か否かをチェックすることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４に示した
ような従来の試験装置には、１系統の試験回路で１ライ
ン分（ラインセンサの場合は一台分）のデータしか得る
ことができなかったので、ＣＣＤセンサの試験工程に要
する時間が全体として長くなってしまうという欠点があ
った。
ような従来の試験装置には、１系統の試験回路で１ライ
ン分（ラインセンサの場合は一台分）のデータしか得る
ことができなかったので、ＣＣＤセンサの試験工程に要
する時間が全体として長くなってしまうという欠点があ
った。
【０００８】これに対して、試験装置の台数を増すこと
によって、試験工程の所要時間を減らすことも可能であ
る。しかしながら、試験装置の増設は製造コストが増大
する原因となってしまう。
によって、試験工程の所要時間を減らすことも可能であ
る。しかしながら、試験装置の増設は製造コストが増大
する原因となってしまう。
【０００９】本発明は、このような従来技術の欠点に鑑
みてなされたものであり、短時間で試験を行うことがで
きる固体撮像装置の試験装置を安価に提供することを目
的とする。
みてなされたものであり、短時間で試験を行うことがで
きる固体撮像装置の試験装置を安価に提供することを目
的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る固体撮像装
置の試験装置は、固体撮像装置から取り込んだ読み出し
信号を処理して複数系統のアナログの試験用信号を生成
する、複数系統の信号処理部と、これらの信号処理部が
出力した前記試験用信号を取り込み、所定の順序にした
がって順次出力するマルチプレクス部と、このマルチプ
レクス部が出力した前記アナログ試験用信号を取り込
み、所定の特性を測定する一系統の判定部と、を備え、
前記一系統の判定部が、前記マルチプレクス部から入力
された前記アナログ試験用信号をデジタル信号に変換す
る一系統のアナログ／デジタル変換器を有する、ことを
特徴とする。
置の試験装置は、固体撮像装置から取り込んだ読み出し
信号を処理して複数系統のアナログの試験用信号を生成
する、複数系統の信号処理部と、これらの信号処理部が
出力した前記試験用信号を取り込み、所定の順序にした
がって順次出力するマルチプレクス部と、このマルチプ
レクス部が出力した前記アナログ試験用信号を取り込
み、所定の特性を測定する一系統の判定部と、を備え、
前記一系統の判定部が、前記マルチプレクス部から入力
された前記アナログ試験用信号をデジタル信号に変換す
る一系統のアナログ／デジタル変換器を有する、ことを
特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て、ＣＣＤセンサの試験装置を例にとって、図１〜図３
を用いて説明する。
て、ＣＣＤセンサの試験装置を例にとって、図１〜図３
を用いて説明する。
【００１２】図１は、本実施形態に係るＣＣＤセンサの
試験装置の構成を概念的に示すブロック図である。
試験装置の構成を概念的に示すブロック図である。
【００１３】同図に示したように、本実施形態の試験装
置１１０において、バッファ１１１，１１２の入力端
は、それぞれ、図示しない入力端子を介して、第１のＣ
ＣＤリニアセンサ１０１および第２のＣＣＤリニアセン
サ１０２に接続される。また、これらのバッファ１１
１，１１２の出力端は、クランプ・サンプルホールド回
路１１３，１１４（本発明の「信号処理部」に相当す
る）の信号入力端子（図示せず）に接続されている。こ
れらのクランプ・サンプルホールド回路１１３，１１４
の信号出力端子（図示せず）は、マルチプレクス回路１
１５の入力端子Ａ，Ｂに接続されている。さらに、マル
チプレクス回路１１５の出力端子（図示せず）は、アン
プ１１６を介して、判定部１２０内のＡ／Ｄコンバータ
１２１に入力される。そして、このＡ／Ｄコンバータ１
２１の出力信号は、メモリ１２２に書込データとして入
力される。また、このメモリ１２２からの読出データ
は、信号判定回路１２３に取り込まれる。
置１１０において、バッファ１１１，１１２の入力端
は、それぞれ、図示しない入力端子を介して、第１のＣ
ＣＤリニアセンサ１０１および第２のＣＣＤリニアセン
サ１０２に接続される。また、これらのバッファ１１
１，１１２の出力端は、クランプ・サンプルホールド回
路１１３，１１４（本発明の「信号処理部」に相当す
る）の信号入力端子（図示せず）に接続されている。こ
れらのクランプ・サンプルホールド回路１１３，１１４
の信号出力端子（図示せず）は、マルチプレクス回路１
１５の入力端子Ａ，Ｂに接続されている。さらに、マル
チプレクス回路１１５の出力端子（図示せず）は、アン
プ１１６を介して、判定部１２０内のＡ／Ｄコンバータ
１２１に入力される。そして、このＡ／Ｄコンバータ１
２１の出力信号は、メモリ１２２に書込データとして入
力される。また、このメモリ１２２からの読出データ
は、信号判定回路１２３に取り込まれる。
【００１４】図２は、クランプ・サンプルホールド回路
１１３の内部構成を概略的に示すブロック図である。
１１３の内部構成を概略的に示すブロック図である。
【００１５】同図に示したように、このクランプ・サン
プルホールド回路１１３，１１４において、クランプ回
路２０２には、バッファ１１１からの信号（第１のＣＣ
Ｄリニアセンサ１０１からの読出信号）がコンデンサ２
０１を介して入力されるとともに、基準電圧（クランプ
電圧）とクランプパルスが入力される。また、サンプル
ホールド回路２０４には、クランプ回路２０２の出力信
号が反転ゲート２０３を介して入力されるとともに、サ
ンプリング信号が入力される。
プルホールド回路１１３，１１４において、クランプ回
路２０２には、バッファ１１１からの信号（第１のＣＣ
Ｄリニアセンサ１０１からの読出信号）がコンデンサ２
０１を介して入力されるとともに、基準電圧（クランプ
電圧）とクランプパルスが入力される。また、サンプル
ホールド回路２０４には、クランプ回路２０２の出力信
号が反転ゲート２０３を介して入力されるとともに、サ
ンプリング信号が入力される。
【００１６】なお、クランプ・サンプルホールド回路１
１４の内部構成も、図２とまったく同様であるので、説
明を省略する。
１４の内部構成も、図２とまったく同様であるので、説
明を省略する。
【００１７】次に、図１および図２に示した試験装置の
動作について、図３のタイミングチャートを用いて説明
する。
動作について、図３のタイミングチャートを用いて説明
する。
【００１８】図３において、（ａ）は第１のＣＣＤリニ
アセンサ１０１からの読出信号の波形を示している。こ
の第１のＣＣＤリニアセンサ１０１からの読出信号（以
下、単に「読出信号」と記す）は、バッファ１１１を介
して、クランプ・サンプルホールド回路１１３に入力さ
れる。そして、このクランプ・サンプルホールド回路１
１３内のコンデンサ２０１を介して、クランプ回路２０
２に入力される。クランプ回路２０２は、クランプパル
スがＯＮの期間の読出信号を基準電圧に固定する。この
ようにしてクランプ処理がなされた試験用信号は、反転
ゲート２０３で反転された後、サンプルホールド回路２
０４に入力される。そして、図３（ｄ）に示したような
サンプリング信号を用いてサンプリングされる。これに
より（ｄ1 ）に示したような波形を得ることができる。
サンプリングされた信号は、試験用信号Ｄ1 として、サ
ンプルホールド回路２０４から出力される。
アセンサ１０１からの読出信号の波形を示している。こ
の第１のＣＣＤリニアセンサ１０１からの読出信号（以
下、単に「読出信号」と記す）は、バッファ１１１を介
して、クランプ・サンプルホールド回路１１３に入力さ
れる。そして、このクランプ・サンプルホールド回路１
１３内のコンデンサ２０１を介して、クランプ回路２０
２に入力される。クランプ回路２０２は、クランプパル
スがＯＮの期間の読出信号を基準電圧に固定する。この
ようにしてクランプ処理がなされた試験用信号は、反転
ゲート２０３で反転された後、サンプルホールド回路２
０４に入力される。そして、図３（ｄ）に示したような
サンプリング信号を用いてサンプリングされる。これに
より（ｄ1 ）に示したような波形を得ることができる。
サンプリングされた信号は、試験用信号Ｄ1 として、サ
ンプルホールド回路２０４から出力される。
【００１９】また、第２のＣＣＤリニアセンサ１０２か
らの読出信号（図３（ｂ）参照）も、これと同様の信号
処理をクランプ・サンプルホールド回路１１４によって
施され、試験用信号Ｄ2 が出力される。
らの読出信号（図３（ｂ）参照）も、これと同様の信号
処理をクランプ・サンプルホールド回路１１４によって
施され、試験用信号Ｄ2 が出力される。
【００２０】マルチプレクス回路１１５は、クランプ・
サンプルホールド回路１１３から出力された試験用信号
Ｄ1 を入力端子Ａから、クランプ・サンプルホールド回
路１１４から出力された試験用信号Ｄ2 を入力端子Ｂか
ら、それぞれ入力する。また、このマルチプレクス回路
１１５は、図３（ｅ）に示したようなマルチプレクスパ
ルスを入力する。そして、このマルチプレクスパルスが
ハイレベルの間は入力端子Ａから入力した試験用信号Ｄ
1 を、マルチプレクスパルスがローレベルの間は入力端
子Ｂから入力した試験用信号Ｄ2 を、それぞれ出力す
る。
サンプルホールド回路１１３から出力された試験用信号
Ｄ1 を入力端子Ａから、クランプ・サンプルホールド回
路１１４から出力された試験用信号Ｄ2 を入力端子Ｂか
ら、それぞれ入力する。また、このマルチプレクス回路
１１５は、図３（ｅ）に示したようなマルチプレクスパ
ルスを入力する。そして、このマルチプレクスパルスが
ハイレベルの間は入力端子Ａから入力した試験用信号Ｄ
1 を、マルチプレクスパルスがローレベルの間は入力端
子Ｂから入力した試験用信号Ｄ2 を、それぞれ出力す
る。
【００２１】マルチプレクス回路１１５から出力された
試験用信号Ｄ1 ，Ｄ2 は、アンプ１１５で増幅された
後、判定部１２０内のＡ／Ｄコンバータ１２１に入力さ
れて、デジタル信号に変換される。そして、このＡ／Ｄ
コンバータ１２１の出力信号は、メモリ１２２に順次記
憶される。図３（ｆ）に、メモリ１２２に書き込まれる
信号を概念的に示す。図３（ｆ）に示したように、メモ
リ１２２には、第１のＣＣＤリニアセンサ１０１からの
読出信号Ｋ１−１，Ｓ１−１，Ｋ２−１，Ｓ２−１，・
・・（図３（ａ）参照）に対応するデータと、第２のＣ
ＣＤリニアセンサ１０２からの読出信号Ｋ１−２，Ｓ１
−２，Ｋ２−２，Ｓ２−２，・・・（図３（ａ）参照）
に対応するデータとが、交互に書き込まれる。
試験用信号Ｄ1 ，Ｄ2 は、アンプ１１５で増幅された
後、判定部１２０内のＡ／Ｄコンバータ１２１に入力さ
れて、デジタル信号に変換される。そして、このＡ／Ｄ
コンバータ１２１の出力信号は、メモリ１２２に順次記
憶される。図３（ｆ）に、メモリ１２２に書き込まれる
信号を概念的に示す。図３（ｆ）に示したように、メモ
リ１２２には、第１のＣＣＤリニアセンサ１０１からの
読出信号Ｋ１−１，Ｓ１−１，Ｋ２−１，Ｓ２−１，・
・・（図３（ａ）参照）に対応するデータと、第２のＣ
ＣＤリニアセンサ１０２からの読出信号Ｋ１−２，Ｓ１
−２，Ｋ２−２，Ｓ２−２，・・・（図３（ａ）参照）
に対応するデータとが、交互に書き込まれる。
【００２２】信号判定回路１２３は、メモリ１２２に書
き込まれたデータを用いて、信号レベルや信号レベルの
ばらつきを測定する。そして、これらの値が所定の許容
範囲に収まっている場合は、ＣＣＤリニアセンサ１０
１，１０２の出力信号が正常であると判定する。一方、
信号レベルまたは信号レベルのばらつきが所定の許容範
囲に収まっていない場合は、ＣＣＤリニアセンサ１０
１，１０２の出力信号が異常であると判定する。
き込まれたデータを用いて、信号レベルや信号レベルの
ばらつきを測定する。そして、これらの値が所定の許容
範囲に収まっている場合は、ＣＣＤリニアセンサ１０
１，１０２の出力信号が正常であると判定する。一方、
信号レベルまたは信号レベルのばらつきが所定の許容範
囲に収まっていない場合は、ＣＣＤリニアセンサ１０
１，１０２の出力信号が異常であると判定する。
【００２３】このように、本実施形態のＣＣＤセンサの
試験装置によれば、一台の試験装置で２個のＣＣＤリニ
アセンサの試験を行うことができるので、ＣＣＤリニア
センサの試験工程に要する時間を全体として短縮するこ
とができる。
試験装置によれば、一台の試験装置で２個のＣＣＤリニ
アセンサの試験を行うことができるので、ＣＣＤリニア
センサの試験工程に要する時間を全体として短縮するこ
とができる。
【００２４】また、２系統の信号処理部（クランプ・サ
ンプルホールド回路１１３とクランプ・サンプルホール
ド回路１１４）で判定部１２０を共通化しているので、
試験装置が安価となり、製造コストの増大するを防止す
る上で有効である。
ンプルホールド回路１１３とクランプ・サンプルホール
ド回路１１４）で判定部１２０を共通化しているので、
試験装置が安価となり、製造コストの増大するを防止す
る上で有効である。
【００２５】なお、本実施形態では、２個のＣＣＤセン
サを同時に試験できるように構成した試験装置を例にと
って説明したが、３個以上のＣＣＤセンサを同時に試験
するように構成できることはもちろんである。
サを同時に試験できるように構成した試験装置を例にと
って説明したが、３個以上のＣＣＤセンサを同時に試験
するように構成できることはもちろんである。
【００２６】また、本実施形態では、ＣＣＤリニアセン
サの試験に使用する試験装置の場合を例にとって説明し
たが、例えばＣＣＤエリアセンサ等、他の種類の固体撮
像装置の試験装置にも適用できることはもちろんであ
る。
サの試験に使用する試験装置の場合を例にとって説明し
たが、例えばＣＣＤエリアセンサ等、他の種類の固体撮
像装置の試験装置にも適用できることはもちろんであ
る。
【００２７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、短時間で試験を行うことができるＣＣＤセンサの
試験装置を、安価に提供することができる。
れば、短時間で試験を行うことができるＣＣＤセンサの
試験装置を、安価に提供することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る固体撮像装置の試験
装置の構成を概念的に示すブロック図である。
装置の構成を概念的に示すブロック図である。
【図２】図１に示したクランプ・サンプルホールド回路
の内部構成を概略的に示すブロック図である。
の内部構成を概略的に示すブロック図である。
【図３】図１に示した試験装置の動作を説明するための
タイミングチャートである。
タイミングチャートである。
【図４】従来の固体撮像装置の試験装置の構成例を概念
的に示すブロック図である。
的に示すブロック図である。
１０１ 第１のＣＣＤリニアセンサ １０２ 第２のＣＣＤリニアセンサ １１０ 試験装置 １１１，１１２ バッファ １１３，１１４ クランプ・サンプルホールド回路 １１５ マルチプレクス回路 １１６ アンプ １２０ 判定部 １２１ Ａ／Ｄコンバータ １２２ メモリ １２３ 信号判定回路 ２０１ コンデンサ ２０２ クランプ回路 ２０３ 反転ゲート ２０４ サンプルホールド回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 27/14 H04N 5/335
Claims (2)
- 【請求項１】固体撮像装置から取り込んだ読み出し信号
を処理して複数系統のアナログの試験用信号を生成す
る、複数系統の信号処理部と、 これらの信号処理部が出力した前記アナログ試験用信号
を取り込み、所定の順序にしたがって順次出力するマル
チプレクス部と、 このマルチプレクス部が出力した前記アナログ試験用信
号を取り込み、所定の特性を測定する一系統の判定部
と、を備え、 前記一系統の判定部が、前記マルチプレクス部から入力
された前記アナログ試験用信号をデジタル信号に変換す
る一系統のアナログ／デジタル変換器を有する、ことを
特徴とする固体撮像装置の試験装置。 - 【請求項２】前記判定部が、前記一系統のアナログ／デ
ジタル変換器から入力したデジタル信号を一時的に記憶
する記憶手段を有することを特徴とする請求項１に記載
の固体撮像装置の試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07794696A JP3305194B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 固体撮像装置の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07794696A JP3305194B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 固体撮像装置の試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09269355A JPH09269355A (ja) | 1997-10-14 |
| JP3305194B2 true JP3305194B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=13648211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07794696A Expired - Fee Related JP3305194B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 固体撮像装置の試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3305194B2 (ja) |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP07794696A patent/JP3305194B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09269355A (ja) | 1997-10-14 |
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