JP3282699B2 - 基板搬送載置機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、基板検査装置におい
て、基板を搬送して載置台に載置する機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルの素材として使用される方形
のガラス基板や、これより製作されたマスク基板など
は、表面に欠陥や付着異物などがあると品質が低下する
ので、基板検査装置により表面が検査されている。図４
は基板検査装置の基本構成を示す。基板検査装置は、ベ
ースＢ上に、図示のように配列された、被検査の基板１
と検査済み基板１を、それぞれを収容するカセット１a,
１b と、基板１を搬送するロボット機構２、これを載置
する載置台３、および載置台３の上部に設けた検査光学
系４とにより構成され、ロボット機構２は、昇降機構2
1，回転機構22，駆動機構23、およびロボットハンド24
よりなる。検査においては、ロボットハンド24は、カセ
ット１a 内の被検査の基板１をチャックし、９０度回転
して載置台３の位置に停止し、ついで下降して基板１が
載置台３に位置決めして載置される。載置された基板１
は検査光学系４により検査され、検査が終了した基板１
は、ロボットハンド24により上記の逆順に搬送されてカ
セット１b に収納される。

【０００３】さて、液晶パネルには種々のサイズがあ
り、従って素材のガラス基板またはマスク基板のサイズ
にも各種がある。これに対して上記の載置台３は１種の
サイズに固定されており、各種のサイズの基板に対して
は、それぞれに対応する載置台を用意し、これらが交換
して使用されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】最近における液晶パネ
ルの需要の増加に伴って、被検査の基板１は数量が増大
しており、これらの各種のサイズに対する載置台３の交
換には、かなりの時間を要するので検査スループットは
良好でなく、また交換作業には塵埃が発生して基板に付
着し、その品質を劣化する問題がある。さらに、上記の
ロボット機構２の搬送手順は、被検査の基板１を載置台
３に載置した後、検査終了までその位置に待機し、終了
後、カセット１b まで搬送して収納するもので、これま
たスループットが良好でないなど、種々の欠点があり、
これらの各欠点を解消することが要請されている。この
発明は上記に鑑みてなされたもので、検査スループット
を向上した基板搬送載置機構を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成する基板搬送載置機構であって、前記の基板検査装
置のロボット機構と検査光学系の間に設けた中継台と、
検査光学系に対向して設けたフレキシブル載置台とによ
り構成される。中継台は、基板の対応する２辺をチャッ
クする２本のチャックアームを有する２組のチャック部
と、２組のチャック部を昇降し、水平面内で回動する昇
降回動機構、および２組のチャック部の両チャックアー
ムを、別個に、互いに接近または離間する移動機構より
なる。また、フレキシブル載置台は、各種のサイズの基
板の、それぞれの２辺に対応する複数の段差と複数の傾
斜面を有し、互いに対向した固定ブロックと移動ブロッ
ク、および移動ブロックを押圧して、両ブロックの傾斜
面に載置された基板の２辺の側面を、両段差に当接させ
る押圧機構よりなる。

【０００６】

【作用】上記の基板搬送載置機構の中継台においては、
ロボットハンドにチャックされている基板に対して、一
方のチャック部の２本のチャックアームが、移動機構に
より互いに接近して基板の２辺をチャックする。ついで
２組のチャック部は、昇降回動機構により水平面内を１
８０°回動し、基板をチャックしたチャック部はフレキ
シブル載置台に対して下降し、その両チャックアームが
移動機構により互いに離間して基板を解放し、フレキシ
ブル載置台に載置する。フレキシブル載置台において
は、各種のサイズの基板は、それぞれの２辺が、まず、
固定ブロックと移動ブロックの対応する両傾斜面に載置
され、ついで、押圧機構により移動ブロックを押圧する
と、傾斜面に載置された基板は、その２辺の側面が対応
する両段差に当接して位置決めされ、これに対向した検
査光学系により検査される。この場合、両傾斜面に載置
された基板は、その側面の下側エッジのみが傾斜面に接
触しているので、基板が押圧されて移動するとき、エッ
ジ以外の部分は傾斜面と摩擦せず、従ってこの部分に摩
擦キズが付かないことが有利である。上記のように、フ
レキシブル載置台は各種のサイズの基板に共通に使用さ
れるので、従来の載置台のように、サイズごとの交換が
不必要でスループットが向上し、さらにこれに伴う発塵
の問題が解消される。次に、上記による基板の検査中
は、他方のチャック部はロボットハンドに対応している
ので、これがロボットハンドより次位の基板をチャック
して待機し、当該基板の検査が終了すると両チャック部
は１８０°回動し、次位の基板はフレキシブル載置台に
位置決めして載置されて検査され、検査済みの基板はロ
ボットハンドに渡される。この待機方式により、検査装
置の稼働率と検査スループットがともに向上する。

【０００７】

【実施例】図１〜図３は、この発明の一実施例を示し、
図１は基板搬送載置機構１０の構成を示す斜視外観図、
図２は中継台５の詳細図、図３はフレキシブル載置台６
の詳細図である。図１において、基板搬送載置機構１０
は、前記した図４における両カセット１a,１b と、ロボ
ット機構２、および検査光学系４を具備する。この発明
においては、ロボット機構２と検査光学系４の間に中継
台５を、また検査光学系４の下部に従来の載置台３の代
わりに、フレキシブル載置台６をそれぞれ設ける。中継
台５は、昇降機構51と、回動機構52、移動機構53、２本
のボールねじ54a,54b 、および、２本のチャックアーム
551 を有する２組のチャック部55a,55b よりなる。両チ
ャック部55a,55b はともに、昇降機構51により昇降し、
回動機構52により水平面内で回動する。各チャックアー
ム（以下単にアームという）551 は、図２(a) に示すよ
うに、各ボールねじ54a,54b にそれぞれ歯合し、各ボー
ルねじ54a,54b は、中央よりの両側は逆ねじとされ、移
動機構53の２個のモータ（Ｍ）により別個に回転し、こ
れらに歯合した両アーム551,551 は、各チャック部55a,
55b ごとに独立して、互いに接近しまたは離間する。ま
た、各アーム551 の下面には、チャックローラ56が２個
づつ取り付けられ、各チャックローラー56は、図２(b)
に示すように、基板１のエッジが嵌入する溝561 を有
し、基板１は両側の溝561 に挟持されて安定にチャック
される。次にフレキシブル載置台６は、２条のガイドレ
ール62a,62b を有する固定板61と、モータ63によりガイ
ドレール62a,62b に沿ってＸ方向に移動する移動板64、
移動板64に固定された固定ブロック65a 、これに対向
し、押圧機構66によりＹ方向に移動する移動ブロック65
b よりなる。両ブロック65a,65b には、各種のサイズの
基板に対応して、図３に示すように、複数段（例えば３
段）の段差651 と、各段差ごとの傾斜面652 がそれぞれ
形成される。

【０００８】以下、図１に図２および図３を併用して基
板搬送載置機構１０の動作を説明する。カセット１a に
収容されている被検査の基板１は、従来と同様に、ロボ
ットハンド24にチャックされ、ついで９０度回転する。
一方の、例えばチャック部55aがロボットハンド24に対
応しているとし、その両アーム551,551 を、予め、昇降
機構51により所定の高さまで上昇し、移動機構53によ
り、図２(a) に点線で示すように互いに離間しておく。
これに対してロボットハンド24を、矢印Ｘ₁ のように伸
長して両アーム551,551 の下部に停止し、これらを下降
し、ついで互いに接近すると、それぞれのチャックロー
ラー56が基板１のエッジをチャックし、さらに回動機構
52により両チャック部56a,56b を１８０度回動する。一
方、フレキシブル載置台６は、検査光学系４の下部を定
位置とし、押圧機構66により移動ブロック65b を逆方向
に移動して、固定ブロック65a との間隔を、図３(イ) に
示すように、当該基板１のサイズよりやや広い間隔に設
定する。モータ63により両ブロック65a,65b を基板１の
下部まで移動し、両アーム551,551 を下降して離間させ
ると、基板１の２辺が両ブロック65a,65b の対応する傾
斜面652,652 に載置される。ついで、押圧機構66により
移動ブロック65b を押圧すると、図３(ロ) のように、基
板１の２辺の側面が対応する両段差651,651 に当接して
位置決めされる。位置決めされた基板１は、モータ53に
より検査光学系４の下部に復旧して検査される。上記の
検査中は、反対側のチャック部55b はロボットハンド24
に対応しており、これにチャックされている次位の基板
１は、このチャック部55b にチャックされて待機する。
これに対して前位の基板１は検査が終了すると、チャッ
ク部55aにチャックされて１８０°回動し、ロボットハ
ンド24に渡されてカセット１b に収納され、待機中の次
位の基板１はフレキシブル載置台６に載置されて検査さ
れる。以上の待機方式とフレキシブル載置台とにより、
各種のサイズを有する基板は迅速に搬送されて効率的に
検査される。

【０００９】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明の基板搬
送載置機構においては、２組のチャック部を有する中継
台を設け、一方のチャック部により基板を搬送し、フレ
キシブル載置台に載置して検査し、この検査中に、他方
のチャック部により、ロボットハンドより次位の基板を
受け取る待機方式とし、またフレキシブル載置台は、各
種のサイズの基板に共通に使用され、それぞれを摩擦キ
ズが付くことなく位置決めして載置するもので、従来の
ように、サイズごとの載置台の交換が不必要で、これに
伴う発塵の問題が解消されるとともに、載置台交換の不
必要と待機方式とにより、基板検査装置の稼働率と検査
スループットとを向上する効果には、大きいものがあ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明による基板搬送載置機構の一
実施例の斜視外観図である。

【図２】図２は中継台５の詳細図で、(a) は平面図、
(b) は側面図である。

【図３】図３はフレキシブル載置台６の詳細図である。

【図４】図４は基板検査装置の基本構成図である。

【符号の説明】

１…方形の基板、１a …被検査基板用のカセット、１b
…検査済み基板用のカセット、２…ロボット機構、21…
昇降機構、22…回転機構、23…駆動機構、24…ロボット
ハンド、３…従来の載置台、４…検査光学系、５…中継
台、51…昇降機構、52…回動機構、53…移動機構、54a,
54b …ボールねじ、55a,55b …チャック部、551 …チャ
ックアーム、56…チャックローラー、561 …チャックロ
ーラーの溝、６…フレキシブル載置台、61…固定板、62
a,62b …ガイドレール、63…モータ、94…移動板、65a
…固定ブロック、65b …移動ブロック、651 …段差、65
2 …傾斜面、66…押圧機構、Ｂ…ベース。

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 11/00 H05K 13/04

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】方形の基板をロボット機構により搬送して
   載置台に載置し、検査光学系により検査する基板検査装
   置において、該ロボット機構と検査光学系の間に設けた
   中継台と、該検査光学系に対向して設けたフレキシブル
   載置台とにより構成され、 前記中継台は、前記基板の対応する２辺をチャックする
   ２本のチャックアームを有する２組のチャック部と、該
   ２組のチャック部を昇降し、水平面内で回動する昇降回
   動機構、および該２組のチャック部の両チャックアーム
   を、別個に、互いに接近または離間する移動機構よりな
   り、 前記フレキシブル載置台は、各種のサイズの前記基板
   の、それぞれの前記２辺に対応する複数の段差と複数の
   傾斜面を有し、互いに対向した固定ブロックと移動ブロ
   ック、および該移動ブロックを押圧し、該両ブロックの
   傾斜面に載置された前記基板の２辺の側面を、該両段差
   に当接させる押圧機構よりなることを特徴とする、基板
   搬送載置機構。