JP3227249B2 - イメージセンサ - Google Patents
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ファクシミリ、イメー
ジスキャナー、複写機等の画像情報処理装置に用いられ
るイメージセンサに関し、特に、可視光だけではなく非
可視光領域の光信号を電気信号に変換するイメージセン
サに関連する。
ジスキャナー、複写機等の画像情報処理装置に用いられ
るイメージセンサに関し、特に、可視光だけではなく非
可視光領域の光信号を電気信号に変換するイメージセン
サに関連する。
【0002】
【背景技術の説明】従来のイメージセンサである固体撮
像装置としては電荷結合素子(CCD)型、MOS型或
いは発明者大見忠弘及び田中信義に付与された米国特許
第4791469の号明細書に記載されている光トラン
ジスタのエミッタに容量負荷を接続した増幅型の装置が
知られている。
像装置としては電荷結合素子(CCD)型、MOS型或
いは発明者大見忠弘及び田中信義に付与された米国特許
第4791469の号明細書に記載されている光トラン
ジスタのエミッタに容量負荷を接続した増幅型の装置が
知られている。
【0003】最近ではその用途も多様化しており、新し
い機能をもつ固体撮像装置が要求されている。
い機能をもつ固体撮像装置が要求されている。
【0004】例えば、複写機の高画質化、カラー化に加
えて、目に見えない画像の認識し、それを再生し記録す
ることが要求されてきている。そのような画像すなわち
非可視光画像としては例えば、赤外線を吸収する特性を
もつインクで形成された画像等がある。
えて、目に見えない画像の認識し、それを再生し記録す
ることが要求されてきている。そのような画像すなわち
非可視光画像としては例えば、赤外線を吸収する特性を
もつインクで形成された画像等がある。
【0005】
【発明が解決しようとする技術課題】一般に非可視光を
検出するセンサは個別デバイスであり画像等の検出を、
可視光検出用のセンサと併せて用いるには何らかの新し
い設計思想が必要となる。
検出するセンサは個別デバイスであり画像等の検出を、
可視光検出用のセンサと併せて用いるには何らかの新し
い設計思想が必要となる。
【0006】本発明者らは基本的な設計思想としてま
ず、可視光検出用のセンサと非可視光検出用のセンサと
をモノリシックに1つの半導体チップに収めるという技
術を見い出した。
ず、可視光検出用のセンサと非可視光検出用のセンサと
をモノリシックに1つの半導体チップに収めるという技
術を見い出した。
【0007】しかしながら、上記技術には更なる改善の
余地か残されている。
余地か残されている。
【0008】
【発明の目的】本発明の目的は可視光領域から非可視光
領域に亘る広い波長領域での光信号検知が良好に行え信
号処理が比較的容易に行える小型のイメージセンサを提
供することにある。
領域に亘る広い波長領域での光信号検知が良好に行え信
号処理が比較的容易に行える小型のイメージセンサを提
供することにある。
【0009】上記本発明の目的は、可視光領域の光信号
を電気信号に変換する複数の光電変換要素と、非可視光
領域の光信号を電気信号に変換する複数の光電変換要素
と、がアレイ状に配列されているイメージセンサであっ
て、前記可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数
の光電変換要素は、その受光部に赤外カットフィルター
と、カラーフィルターとが積層されて形成されており、
前記非可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数の
光電変換要素は、その受光部に、多結晶シリコン層と青
色フィルターとの積層構造、又は、赤色フィルターと青
色フィルターとの積層構造を有する可視光カットフィル
ターが形成されていることを特徴とするイメージセンサ
によって達成される。また、上記目的は、可視光領域と
非可視光領域との光信号を得るために必要な波長領域の
光で原稿を照明する照明手段と、前記原稿より得られる
可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数の光電変
換要素と、前記原稿より得られる非可視光領域の光信号
を電気信号に変換する複数の光電変換要素と、がアレイ
状に配列されており、前記可視光領域の光信号を電気信
号に変換する複数の光電変換要素は、その受光部に赤外
カットフィルターと、カラーフィルターとが積層されて
形成されており、前記非可視光領域の光信号を電気信号
に変換する複数の光電変換要素は、その受光部に、多結
晶シリコン層と青色フィルターとの積層構造、又は、赤
色フィルターと青色フィルターとの積層構造を有する可
視光カットフィルターが形成されている撮像手段と、を
具備することを特徴とする画像情報処理装置により達成
される。さらに、上記目的は、可視光領域と非可視光領
域との光信号を得るために必要な波長領域の光で原稿を
照明する照明手段と、前記原稿より得られる可視光領域
の光信号を第1の電気信号に変換する複数の光電変換要
素と、前記原稿より得られる非可視光領域の光信号を第
2の電気信号に変換する複数の光電変換要素と、がアレ
イ状に配列されており、前記可視光領域の光信号を電気
信号に変換する複数の光電変換要素は、その受光部に赤
外カットフィルターと、カラーフィルターとが積層され
て形成されており、前記非可視光領域の光信号を電気信
号に変換する複数の光電変換要素は、その受光部に可視
光カットフィルターが形成されている撮像手段と、前記
第1の電気信号に基づき画像を形成する画像形成手段
と、前記第2の電気信号から前記原稿が非可視光の特定
パターンを有するか否かを判別する判別手段と、前記判
別手段の出力に基づいて前記画像形成手段の動作を制御
する制御手段と、を具備することを特徴とする画像情報
処理装置により達成される。
を電気信号に変換する複数の光電変換要素と、非可視光
領域の光信号を電気信号に変換する複数の光電変換要素
と、がアレイ状に配列されているイメージセンサであっ
て、前記可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数
の光電変換要素は、その受光部に赤外カットフィルター
と、カラーフィルターとが積層されて形成されており、
前記非可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数の
光電変換要素は、その受光部に、多結晶シリコン層と青
色フィルターとの積層構造、又は、赤色フィルターと青
色フィルターとの積層構造を有する可視光カットフィル
ターが形成されていることを特徴とするイメージセンサ
によって達成される。また、上記目的は、可視光領域と
非可視光領域との光信号を得るために必要な波長領域の
光で原稿を照明する照明手段と、前記原稿より得られる
可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数の光電変
換要素と、前記原稿より得られる非可視光領域の光信号
を電気信号に変換する複数の光電変換要素と、がアレイ
状に配列されており、前記可視光領域の光信号を電気信
号に変換する複数の光電変換要素は、その受光部に赤外
カットフィルターと、カラーフィルターとが積層されて
形成されており、前記非可視光領域の光信号を電気信号
に変換する複数の光電変換要素は、その受光部に、多結
晶シリコン層と青色フィルターとの積層構造、又は、赤
色フィルターと青色フィルターとの積層構造を有する可
視光カットフィルターが形成されている撮像手段と、を
具備することを特徴とする画像情報処理装置により達成
される。さらに、上記目的は、可視光領域と非可視光領
域との光信号を得るために必要な波長領域の光で原稿を
照明する照明手段と、前記原稿より得られる可視光領域
の光信号を第1の電気信号に変換する複数の光電変換要
素と、前記原稿より得られる非可視光領域の光信号を第
2の電気信号に変換する複数の光電変換要素と、がアレ
イ状に配列されており、前記可視光領域の光信号を電気
信号に変換する複数の光電変換要素は、その受光部に赤
外カットフィルターと、カラーフィルターとが積層され
て形成されており、前記非可視光領域の光信号を電気信
号に変換する複数の光電変換要素は、その受光部に可視
光カットフィルターが形成されている撮像手段と、前記
第1の電気信号に基づき画像を形成する画像形成手段
と、前記第2の電気信号から前記原稿が非可視光の特定
パターンを有するか否かを判別する判別手段と、前記判
別手段の出力に基づいて前記画像形成手段の動作を制御
する制御手段と、を具備することを特徴とする画像情報
処理装置により達成される。
【0010】
【作用】本発明によれば、可視光用の光電変換要素と非
可視光用の光電変換要素とがインラインに配列されるの
で、両光信号の検知が小型の装置で容易に行える。
可視光用の光電変換要素とがインラインに配列されるの
で、両光信号の検知が小型の装置で容易に行える。
【0011】
【好適な実施態様の説明】図1は本発明の一実施態様を
説明する為の模式的上面図である。このイメージセンサ
1の主面側には可視光領域の光信号を電気信号に変換す
る光電変換要素(R、G、B)と非可視光領域の光信号
を電気信号に変換する光電変換要素(IR)がほぼ一直
線状に並んでいる。従って、非可視光領域と可視光領域
との広い範囲での光信号の検出を行うことができ、高性
能なイメージセンサが得られる。
説明する為の模式的上面図である。このイメージセンサ
1の主面側には可視光領域の光信号を電気信号に変換す
る光電変換要素(R、G、B)と非可視光領域の光信号
を電気信号に変換する光電変換要素(IR)がほぼ一直
線状に並んでいる。従って、非可視光領域と可視光領域
との広い範囲での光信号の検出を行うことができ、高性
能なイメージセンサが得られる。
【0012】本発明の光電変換要素としてはホトダイオ
ードやホトトランジスタのような光起電力素子または光
導電素子が好適に用いられる。
ードやホトトランジスタのような光起電力素子または光
導電素子が好適に用いられる。
【0013】そして、可視光領域の光信号を電気信号に
変換する光電変換要素としては、可視光領域の光信号の
みを選択的に吸収することのできる材料からなる要素又
は、可視光領域を透過し非可視光領域のうち他の光電変
換要素での光電変換に用いられる波長領域の光を遮断す
るフィルタを具えた要素が用いられる。
変換する光電変換要素としては、可視光領域の光信号の
みを選択的に吸収することのできる材料からなる要素又
は、可視光領域を透過し非可視光領域のうち他の光電変
換要素での光電変換に用いられる波長領域の光を遮断す
るフィルタを具えた要素が用いられる。
【0014】具体的には白黒信号を得る為には、可視光
領域としての400nmから700nmに亘る波長領域
に選択的な感度をもつように、要素の構成材料を選択す
るか、上記波長領域の光を選択的に透過するフィルター
を要素に具備させる。
領域としての400nmから700nmに亘る波長領域
に選択的な感度をもつように、要素の構成材料を選択す
るか、上記波長領域の光を選択的に透過するフィルター
を要素に具備させる。
【0015】又、可視光領域のなかでも特定の領域の光
信号を得る為にはその特定の領域に選択的に感度をもつ
材料で要素を構成するか、該特定の領域の光を選択的に
透過するフィルターを要素に具備させる。
信号を得る為にはその特定の領域に選択的に感度をもつ
材料で要素を構成するか、該特定の領域の光を選択的に
透過するフィルターを要素に具備させる。
【0016】そして、例えば赤色(R)、緑色(G)、
青色(B)のようなカラー信号を得る為には、R領域
(例えば580nmから700nmの波長領域)に選択
的な感度をもつ要素(R要素)、G領域(例えば480
nmから580nmの波長領域)に選択的な感度をもつ
要素(G要素)及びB領域(例えば400nmから48
0nmの波長領域)に選択的な感度をもつ要素(B要
素)の複数の種類の要素を用いる。
青色(B)のようなカラー信号を得る為には、R領域
(例えば580nmから700nmの波長領域)に選択
的な感度をもつ要素(R要素)、G領域(例えば480
nmから580nmの波長領域)に選択的な感度をもつ
要素(G要素)及びB領域(例えば400nmから48
0nmの波長領域)に選択的な感度をもつ要素(B要
素)の複数の種類の要素を用いる。
【0017】勿論この場合も、材料自体が上記R、G、
B各領域の光を選択的に吸収するもの、即ち選択感度を
もつもので各要素を構成してもよいし、R、G、Bの全
ての領域に感度をもつ要素に各R、G、B領域の光をそ
れぞれ選択的に透過するフィルターを具備させて各要素
を構成する。
B各領域の光を選択的に吸収するもの、即ち選択感度を
もつもので各要素を構成してもよいし、R、G、Bの全
ての領域に感度をもつ要素に各R、G、B領域の光をそ
れぞれ選択的に透過するフィルターを具備させて各要素
を構成する。
【0018】図2はフィルターの代表的な透過光の分光
特性を示すグラフであり、縦軸の相対感度が可視光の透
過率に対応する。材料の選択により各要素に選択的な感
度をもたせる場合には例えば、図2に示すような相対感
度にあたる光吸収特性をもつ材料を用いて各要素を形成
する。
特性を示すグラフであり、縦軸の相対感度が可視光の透
過率に対応する。材料の選択により各要素に選択的な感
度をもたせる場合には例えば、図2に示すような相対感
度にあたる光吸収特性をもつ材料を用いて各要素を形成
する。
【0019】又、本発明における、可視光領域、非可視
光領域更にはR、G、Bの各波長領域は、波長の値によ
って明確に区別されるものではなく、本発明に用いられ
る光電変換要素は必要な各信号を得る為に紫外、青色、
緑色、赤色、赤外各光を必要な量だけ光電変換し、不要
な光を実質的に光電変換しないように構成されていれば
よい。
光領域更にはR、G、Bの各波長領域は、波長の値によ
って明確に区別されるものではなく、本発明に用いられ
る光電変換要素は必要な各信号を得る為に紫外、青色、
緑色、赤色、赤外各光を必要な量だけ光電変換し、不要
な光を実質的に光電変換しないように構成されていれば
よい。
【0020】一方、非可視光領域の光信号を電気信号に
変換する光電変換要素としては、例えば紫外線又は赤外
線に対して選択的な感度をもつ要素が用いられる。この
場合も、材料自体が非可視光領域の光に対して選択的な
感度をもつもので要素を構成するか、該非可視光領域を
含む広い波長領域に感度を有する材料に非可視光領域の
光に対して選択的な透過率をもつフィルターを組み合わ
せて構成することが望ましい。
変換する光電変換要素としては、例えば紫外線又は赤外
線に対して選択的な感度をもつ要素が用いられる。この
場合も、材料自体が非可視光領域の光に対して選択的な
感度をもつもので要素を構成するか、該非可視光領域を
含む広い波長領域に感度を有する材料に非可視光領域の
光に対して選択的な透過率をもつフィルターを組み合わ
せて構成することが望ましい。
【0021】例えば、図3は上記フィルターの代表的な
透過光の分光特性を示すグラフであり、縦軸の相対感度
が非可視光の透過率に対応している。ここでは、赤外領
域(例えば750nm以上の波長領域)に選択的な感度
を有するフィルターの例を挙げているがこれに限定され
ることはない。
透過光の分光特性を示すグラフであり、縦軸の相対感度
が非可視光の透過率に対応している。ここでは、赤外領
域(例えば750nm以上の波長領域)に選択的な感度
を有するフィルターの例を挙げているがこれに限定され
ることはない。
【0022】本発明の固体撮像装置は、図1に示したよ
うにR、G、B、IRの各要素をライン状に周期的に配
列してカラーラインセンサを構成することができる。好
ましくは、カラー信号としての解像度における1画像が
それぞれR領域に選択的な感度を有する要素(R要
素)、G領域に選択的な感度を有する要素(G要素)、
B領域に選択的な感度を有する要素(B要素)、非可視
光領域に選択的な感度を有する要素(IR要素)を含む
ように構成する。
うにR、G、B、IRの各要素をライン状に周期的に配
列してカラーラインセンサを構成することができる。好
ましくは、カラー信号としての解像度における1画像が
それぞれR領域に選択的な感度を有する要素(R要
素)、G領域に選択的な感度を有する要素(G要素)、
B領域に選択的な感度を有する要素(B要素)、非可視
光領域に選択的な感度を有する要素(IR要素)を含む
ように構成する。
【0023】検出すべき光信号を発生するものとして
は、3次元映像又は2次元像があり、2次元像の代表的
な例は原稿などの平面画像である。従って原稿の画像を
読み取るようなシステムに用いる場合には原稿面を照明
する為の照明手段を設けることが望ましい。このような
照明手段としては、発光ダイオードやキセノンランプ、
ハロゲンランプ等の光源がある。図4に光源の代表的な
発光分布特性を示す。光源としては検出すべき光信号に
応じて必要な波長領域の光を発生するものであればよ
く、図4の特性をもつものに限定されることはない。少
なくとも図4に示すような特性の光を発生する光源を用
いれば、R、G、B及び非可視光領域としての赤外光を
得ることかできる。
は、3次元映像又は2次元像があり、2次元像の代表的
な例は原稿などの平面画像である。従って原稿の画像を
読み取るようなシステムに用いる場合には原稿面を照明
する為の照明手段を設けることが望ましい。このような
照明手段としては、発光ダイオードやキセノンランプ、
ハロゲンランプ等の光源がある。図4に光源の代表的な
発光分布特性を示す。光源としては検出すべき光信号に
応じて必要な波長領域の光を発生するものであればよ
く、図4の特性をもつものに限定されることはない。少
なくとも図4に示すような特性の光を発生する光源を用
いれば、R、G、B及び非可視光領域としての赤外光を
得ることかできる。
【0024】以下に図5、7、10、11に示すフィル
ターの積層構成が好ましく用いられ、その場合の光電変
換要素としてはR、G、B、IRがそれぞれ平行な独立
した4つのラインでモノリシックに構成されていてもよ
い。
ターの積層構成が好ましく用いられ、その場合の光電変
換要素としてはR、G、B、IRがそれぞれ平行な独立
した4つのラインでモノリシックに構成されていてもよ
い。
【0025】
【実施例】以下、本発明の各実施例について詳述する
が、本発明はこれらの各実施例に限定されるものではな
く、本発明の目的が達成されるものであれば、その範囲
内での各構成要素の置換や材料の選択等の変更が可能で
ある。
が、本発明はこれらの各実施例に限定されるものではな
く、本発明の目的が達成されるものであれば、その範囲
内での各構成要素の置換や材料の選択等の変更が可能で
ある。
【0026】(実施例1)図5は、実施例1によるイメ
ージセンサとしての固体撮像装置を模式的に示す断面図
である。
ージセンサとしての固体撮像装置を模式的に示す断面図
である。
【0027】1つのSi基板100上に形成された光電
変換要素としてのフォトダイオード101〜104の上
には、本発明による機能を実現するためのフィルタが形
成されている。
変換要素としてのフォトダイオード101〜104の上
には、本発明による機能を実現するためのフィルタが形
成されている。
【0028】フォトダイオード101〜103は可視光
領域の光信号をフォトダイオード104は非可視光領域
としての赤外領域の光信号を各々吸収し光キャリアを発
生する。その為にフォトダイオード101〜103の上
には赤外カット用のフィルタ105が形成されている。
赤外カットフィルタ105は、例えば光の干渉を利用し
た方式で製造することができる。つまりSiO2 の様な
低屈折率物質とTiO2 の様な高屈折率物質を薄膜状に
交互に積層して、例えば図6に示す様な特性を実現させ
る。このようなフィルタ105は所望の領域上のみに形
成すべく所望のパターンに加工する。赤外カットフィル
タ105の上には、フォトダイオード101〜103の
各々に対応するように可視光領域のうちR領域、G領域
及びB領域の光を透過するR、G、Bフィルタ106〜
108が各々形成されている。R、G、Bフィルタ10
6〜108は、例えば光の選択吸収を利用した方式によ
り製造することかできる。すなわち感光性を有する染色
性の樹脂を用い、あらかじめパターンを形成した後に、
色素にて染色する“染色フィルタ”や、色素を感光性樹
脂中に混合し、これを用いフォトリソグラフィーのみで
着色樹脂パターンを形成する“着色レジストフィルタ
ー”などであり、例えば図2に示す様な各々の可視領域
の分光特性が得られる。
領域の光信号をフォトダイオード104は非可視光領域
としての赤外領域の光信号を各々吸収し光キャリアを発
生する。その為にフォトダイオード101〜103の上
には赤外カット用のフィルタ105が形成されている。
赤外カットフィルタ105は、例えば光の干渉を利用し
た方式で製造することができる。つまりSiO2 の様な
低屈折率物質とTiO2 の様な高屈折率物質を薄膜状に
交互に積層して、例えば図6に示す様な特性を実現させ
る。このようなフィルタ105は所望の領域上のみに形
成すべく所望のパターンに加工する。赤外カットフィル
タ105の上には、フォトダイオード101〜103の
各々に対応するように可視光領域のうちR領域、G領域
及びB領域の光を透過するR、G、Bフィルタ106〜
108が各々形成されている。R、G、Bフィルタ10
6〜108は、例えば光の選択吸収を利用した方式によ
り製造することかできる。すなわち感光性を有する染色
性の樹脂を用い、あらかじめパターンを形成した後に、
色素にて染色する“染色フィルタ”や、色素を感光性樹
脂中に混合し、これを用いフォトリソグラフィーのみで
着色樹脂パターンを形成する“着色レジストフィルタ
ー”などであり、例えば図2に示す様な各々の可視領域
の分光特性が得られる。
【0029】一方フォトダイオード104の上には、赤
外領域の情報を読み取るために、可視光カツトフィルタ
109が形成される。可視光カットフィルタ109とし
ては、前記した光の干渉を利用した方式や光の選択吸収
を利用した方式により同様に実現することかできるが、
本実施例では、Rフィルタ110とBフィルタ111を
重ねて形成することで、例えば図3に示したような分光
特性を実現している。
外領域の情報を読み取るために、可視光カツトフィルタ
109が形成される。可視光カットフィルタ109とし
ては、前記した光の干渉を利用した方式や光の選択吸収
を利用した方式により同様に実現することかできるが、
本実施例では、Rフィルタ110とBフィルタ111を
重ねて形成することで、例えば図3に示したような分光
特性を実現している。
【0030】図5ではR要素、G要素、B要素及びIR
要素を1つづつ有する固体撮像素子を一例に挙げている
が、これを1画素として複数アレイ状に配列することで
図1に示したような固体撮像装置を構成する。
要素を1つづつ有する固体撮像素子を一例に挙げている
が、これを1画素として複数アレイ状に配列することで
図1に示したような固体撮像装置を構成する。
【0031】(実施例2)図7は実施例2によるイメー
ジセンサとしての固体撮像装置を示す模式的断面図であ
る。
ジセンサとしての固体撮像装置を示す模式的断面図であ
る。
【0032】実施例1と異なる点は赤外領域の光信号を
電気信号に変換する光電変換要素の構成であり、他は実
施例1と同様の構成を有する。
電気信号に変換する光電変換要素の構成であり、他は実
施例1と同様の構成を有する。
【0033】フォトダイオード104の上には多結晶シ
リコン層(p−Si層)113とBフィルタ112とが
積層されている。このBフィルタは図5におけるBフィ
ルタ108と同じものであり、図8に示すような分光特
性を示す。
リコン層(p−Si層)113とBフィルタ112とが
積層されている。このBフィルタは図5におけるBフィ
ルタ108と同じものであり、図8に示すような分光特
性を示す。
【0034】一方、p−Si層113はその厚みを変え
ることにより500nm以下の波長領域での特性(吸収
特性)を所望の特性にすることができるので、図9に示
すような可視光カットの特性をフィルタ109にもたせ
ることができる。
ることにより500nm以下の波長領域での特性(吸収
特性)を所望の特性にすることができるので、図9に示
すような可視光カットの特性をフィルタ109にもたせ
ることができる。
【0035】(実施例3)図10は実施例3によるイメ
ージセンサとしての固体撮像装置を示す模式的断面図で
ある。
ージセンサとしての固体撮像装置を示す模式的断面図で
ある。
【0036】実施例1と異なる点は赤外領域の光信号を
電気信号に変換する光電変換要素の構成及びフィルタ1
05とフィルタ107の配置であり、他は実施例1と同
様の構成を有する。
電気信号に変換する光電変換要素の構成及びフィルタ1
05とフィルタ107の配置であり、他は実施例1と同
様の構成を有する。
【0037】フォトダイオード104の上にはRフィル
タ114とBフィルタ115とが積層されている。この
Rフィルタ114、Bフィルタ115は図5におけるR
フィルタ106、Bフィルタ108とそれぞれ同じもの
であり、図8に示すようなものとほぼ同様な分光特性を
示す。
タ114とBフィルタ115とが積層されている。この
Rフィルタ114、Bフィルタ115は図5におけるR
フィルタ106、Bフィルタ108とそれぞれ同じもの
であり、図8に示すようなものとほぼ同様な分光特性を
示す。
【0038】(実施例4)図11は実施例4によるイメ
ージセンサとしての固体撮像装置を示す模式的断面図で
ある。
ージセンサとしての固体撮像装置を示す模式的断面図で
ある。
【0039】実施例1と異なる点はフィルタ106、1
07、108、110、111の配設位置であり、その
他の構成は実施例1と同じ構成である。
07、108、110、111の配設位置であり、その
他の構成は実施例1と同じ構成である。
【0040】ここでは、各フィルタができるだけ精度よ
くフォトダイオードの上の形成できるように、IRフィ
ルタ105とGフィルタ107、Bフィルタ108、1
11との間に平坦化された層116が設けられている。
層116の平坦面上には上記フィルタ107、108、
111が隣接して形成されており、その上には別の平坦
化された層117が設けられている。層117の平坦面
上にはRフィルタ106、110が離間して設けられて
いる。そして、Rフィルタ106、110の上には同様
の平坦化された層118が形成され平坦な光入射面を形
成している。
くフォトダイオードの上の形成できるように、IRフィ
ルタ105とGフィルタ107、Bフィルタ108、1
11との間に平坦化された層116が設けられている。
層116の平坦面上には上記フィルタ107、108、
111が隣接して形成されており、その上には別の平坦
化された層117が設けられている。層117の平坦面
上にはRフィルタ106、110が離間して設けられて
いる。そして、Rフィルタ106、110の上には同様
の平坦化された層118が形成され平坦な光入射面を形
成している。
【0041】これらの層116、117、118として
は例えば屈折率が1.49程の透明膜が用いられる。
は例えば屈折率が1.49程の透明膜が用いられる。
【0042】(走査回路)以上説明したイメージセンサ
としての固体撮像装置は、光電変換要素を含む画素アレ
イと共に読出し回路としての走査回路が同一基板上に一
体的に集積された集積回路として構成することが望まし
い。このような走査回路としては、CCD型のシフトレ
ジスタ、CCD型の転送ゲート、トランジスタを用いた
シフトレジスタ、トランジスタを用いた転送ゲートが単
独或いは適宜組み合わされて用いられる。又、必要に応
じて光電変換された電気信号を蓄積する蓄積容量が設け
られてもよい。
としての固体撮像装置は、光電変換要素を含む画素アレ
イと共に読出し回路としての走査回路が同一基板上に一
体的に集積された集積回路として構成することが望まし
い。このような走査回路としては、CCD型のシフトレ
ジスタ、CCD型の転送ゲート、トランジスタを用いた
シフトレジスタ、トランジスタを用いた転送ゲートが単
独或いは適宜組み合わされて用いられる。又、必要に応
じて光電変換された電気信号を蓄積する蓄積容量が設け
られてもよい。
【0043】図12の構成では、図1で示した各フォト
ダイオードの信号をCCDレジスタへ転送した後、例え
ばR、G、B、IRの順にシリアル形式で信号が順次読
み出される。
ダイオードの信号をCCDレジスタへ転送した後、例え
ばR、G、B、IRの順にシリアル形式で信号が順次読
み出される。
【0044】図13は別の構成であり、各フォトダイオ
ードの信号のうち、R、G、B信号は可視用CCDレジ
スタIR信号は反対側の赤外用CCDレジスタへ各々転
送した後、R、G、Bのシリアル形式出力とIR出力が
個別に並列読出しされる。
ードの信号のうち、R、G、B信号は可視用CCDレジ
スタIR信号は反対側の赤外用CCDレジスタへ各々転
送した後、R、G、Bのシリアル形式出力とIR出力が
個別に並列読出しされる。
【0045】図14は更に別の構成であり、各フォトダ
イオードアレイの信号は、各フォトダイオードに対応す
る各蓄積容量へ同時に転送され一旦蓄積された後、選択
走査回路により順次読出される。この際、蓄積容量から
の出力は、各フォトダイオードごとに独立に行なえるた
め、R、G、B、IRの各信号はパラレル形式で読出す
ことができる。
イオードアレイの信号は、各フォトダイオードに対応す
る各蓄積容量へ同時に転送され一旦蓄積された後、選択
走査回路により順次読出される。この際、蓄積容量から
の出力は、各フォトダイオードごとに独立に行なえるた
め、R、G、B、IRの各信号はパラレル形式で読出す
ことができる。
【0046】図15は更に他の構成であり、可視用の
R、G、B信号と赤外用のIR信号が上下に分けられて
読み出される。
R、G、B信号と赤外用のIR信号が上下に分けられて
読み出される。
【0047】以上説明した各実施例のイメージセンサを
有する画像情報処理装置について説明する。
有する画像情報処理装置について説明する。
【0048】センサ1は原稿のほぼ同一点をそれぞれR
(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)、それに加
え約1000nm付近に感度を有する赤外成分に分解し
て400dpiの画素密度で読み取る。
(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)、それに加
え約1000nm付近に感度を有する赤外成分に分解し
て400dpiの画素密度で読み取る。
【0049】該センサー出力は白色板及び赤外光基準板
を用いて、いわゆるシェーディング補正を施され、各8
bitの画像信号として識別部1001及び画像処理部
1003に入力される。画像処理部1003は一般のカ
ラー複写機で行なわれる変倍、マスキング、OCR等の
処理を行い記録信号であるC、M、Y、Kの4色信号を
生成する。
を用いて、いわゆるシェーディング補正を施され、各8
bitの画像信号として識別部1001及び画像処理部
1003に入力される。画像処理部1003は一般のカ
ラー複写機で行なわれる変倍、マスキング、OCR等の
処理を行い記録信号であるC、M、Y、Kの4色信号を
生成する。
【0050】一方、判別手段としての識別部1001で
は、本発明の特徴とする原稿中の特定パターンの検出を
行ない、その結果を記録制御部1004に出力して必要
に応じて、特定色によるぬりつぶし等、記録信号に加工
を加えて記録部1005で記録紙上に記録し、あるいは
記録動作を中止するなどにより、忠実な画像再生を禁止
する。
は、本発明の特徴とする原稿中の特定パターンの検出を
行ない、その結果を記録制御部1004に出力して必要
に応じて、特定色によるぬりつぶし等、記録信号に加工
を加えて記録部1005で記録紙上に記録し、あるいは
記録動作を中止するなどにより、忠実な画像再生を禁止
する。
【0051】次に本発明で検出しようとする画像パター
ンについて図17、図18を用いて概説する。
ンについて図17、図18を用いて概説する。
【0052】図17は可視領域ではほぼ透過し、800
nm付近の赤外光を吸収する透明色素の分光特性を示し
ており、例えば三井東圧化学(株)のSIR−159等
が代表的である。
nm付近の赤外光を吸収する透明色素の分光特性を示し
ており、例えば三井東圧化学(株)のSIR−159等
が代表的である。
【0053】図18は上記透明赤外吸収色素で構成され
る透明インクを用いて作られたパターン例である。すな
わち、ある特定のすなわち赤外光を反射するインクaで
記録された三角形のパターンの上に1辺が約120μm
の正方形の微小パターンbを上記透明インクを用いて印
刷してある。同パターンは図で示す様に可視域ではほと
んど同色であるためbのパターンは人の目では識別不能
であるが、赤外域において検出が可能となる。尚、以後
の説明の為に1列として約120μmのパターンを図示
したが400dpiでこのbの領域を読めば図示するご
とく約4画素の大きさとなる。尚、該パターンの形成法
は、この例に限定されるものではない。
る透明インクを用いて作られたパターン例である。すな
わち、ある特定のすなわち赤外光を反射するインクaで
記録された三角形のパターンの上に1辺が約120μm
の正方形の微小パターンbを上記透明インクを用いて印
刷してある。同パターンは図で示す様に可視域ではほと
んど同色であるためbのパターンは人の目では識別不能
であるが、赤外域において検出が可能となる。尚、以後
の説明の為に1列として約120μmのパターンを図示
したが400dpiでこのbの領域を読めば図示するご
とく約4画素の大きさとなる。尚、該パターンの形成法
は、この例に限定されるものではない。
【0054】図19を用いてさらに図16の識別部10
01の詳細について説明する。図19の10−1〜10
−4はFIFOで構成される画像データ遅延部であり、
それぞれ32bit(8bit×4成分)の画像データ
を1ライン分づつ遅延する。
01の詳細について説明する。図19の10−1〜10
−4はFIFOで構成される画像データ遅延部であり、
それぞれ32bit(8bit×4成分)の画像データ
を1ライン分づつ遅延する。
【0055】入力画像信号は、まずフリップフロップ1
1−1、11−2で2画素分遅延保持してAの画素デー
タを、メモリ10−1、10−2で2ラインさらに遅延
したCの画素データを、さらにFF11−3、11−4
で2画素分遅延させた注目画素データXを、FF11−
5、11−6で2画素分遅延させたBの画素データを同
様にしてDの画素データをそれぞれ同時に判定部12に
入力する。ここで注目画素位置Xに対するその近傍A、
B、C、D4画素の位置関係は図20のごとくなる。
1−1、11−2で2画素分遅延保持してAの画素デー
タを、メモリ10−1、10−2で2ラインさらに遅延
したCの画素データを、さらにFF11−3、11−4
で2画素分遅延させた注目画素データXを、FF11−
5、11−6で2画素分遅延させたBの画素データを同
様にしてDの画素データをそれぞれ同時に判定部12に
入力する。ここで注目画素位置Xに対するその近傍A、
B、C、D4画素の位置関係は図20のごとくなる。
【0056】すなわち今注目画素Xが、図18のbの部
分のインクを読んでいたとするならば、上記A、B、
C、Dはいずれも、その周囲に位置するaパターンの画
像を読んでいる事になる。
分のインクを読んでいたとするならば、上記A、B、
C、Dはいずれも、その周囲に位置するaパターンの画
像を読んでいる事になる。
【0057】(判定アルゴリズム)今Aの画素信号を構
成するR成分をAR 、G成分をAG 、B成分をAB 赤外
成分をAIRとし同様にB、C、Dの各画素信号を構成す
るR、G、B、IRの各成分を定義する。そして、同色
成分の平均値YR 、YG 、YB 、YIRを次式で求める。 YR =1/4(AR +BR +CR +DR ) YG =1/4(AG +BG +CG +DG ) YB =1/4(AB +BB +CB +DB ) YIR=1/4(AIR+BIR+CIR+DIR)
成するR成分をAR 、G成分をAG 、B成分をAB 赤外
成分をAIRとし同様にB、C、Dの各画素信号を構成す
るR、G、B、IRの各成分を定義する。そして、同色
成分の平均値YR 、YG 、YB 、YIRを次式で求める。 YR =1/4(AR +BR +CR +DR ) YG =1/4(AG +BG +CG +DG ) YB =1/4(AB +BB +CB +DB ) YIR=1/4(AIR+BIR+CIR+DIR)
【0058】目的のパターンの判定は、それぞれ上式で
求めた平均値Yと注目画素Xの差に従う。すなわち、 ΔR=|YR −XR |、ΔG=|YG −XG |、ΔB=|YB −XB |、ΔI R=YIR−XIR としたとき ΔR<K ΔG<K(K、Lは定数) ΔB<K ΔIR>L が成立すればパターン有りと判定する。
求めた平均値Yと注目画素Xの差に従う。すなわち、 ΔR=|YR −XR |、ΔG=|YG −XG |、ΔB=|YB −XB |、ΔI R=YIR−XIR としたとき ΔR<K ΔG<K(K、Lは定数) ΔB<K ΔIR>L が成立すればパターン有りと判定する。
【0059】すなわち、注目画素が、その周辺画素と比
べて可視域では色味に差が小であり、赤外特性において
定数L以上の差を有すると判断出来る。
べて可視域では色味に差が小であり、赤外特性において
定数L以上の差を有すると判断出来る。
【0060】図21は上記判定アルゴリズムを実施した
ハードウエア例である。加算器121はそれぞれ4画素
分の各色成分を単純加算し、その上位8bit分を出力
し、それぞれYR 、YG 、YB 、YIRを得る。減算器1
22は、それぞれ注目画素信号の各成分との差を求め、
R、G、Bの3成分は、その絶対値を基準信号としての
定数Kと比較器123、124、125で比較する。一
方赤外成分は基準信号としての定数Lと比較器126に
よって比較する。上記各比較器出力がアンドゲート12
7に入力され、その出力端子において、“1”の場合パ
ターンを判定した事になる。
ハードウエア例である。加算器121はそれぞれ4画素
分の各色成分を単純加算し、その上位8bit分を出力
し、それぞれYR 、YG 、YB 、YIRを得る。減算器1
22は、それぞれ注目画素信号の各成分との差を求め、
R、G、Bの3成分は、その絶対値を基準信号としての
定数Kと比較器123、124、125で比較する。一
方赤外成分は基準信号としての定数Lと比較器126に
よって比較する。上記各比較器出力がアンドゲート12
7に入力され、その出力端子において、“1”の場合パ
ターンを判定した事になる。
【図1】本発明の一実施態様による固体撮像装置の模式
的上面図。
的上面図。
【図2】本発明に用いられるカラーフィルターの分光特
性を示す線図。
性を示す線図。
【図3】本発明に用いられる可視光カットフィルターの
分光特性を示す線図。
分光特性を示す線図。
【図4】本発明に用いられる光源の発光特性を示す線
図。
図。
【図5】本発明の実施例1による固体撮像装置の模式的
断面図。
断面図。
【図6】本発明に用いられる赤外カットフィルターの分
光特性を示す線図。
光特性を示す線図。
【図7】本発明の実施例2による固体撮像装置の模式的
断面図。
断面図。
【図8】本発明に用いられる青色フィルターの分光特性
を示す線図。
を示す線図。
【図9】本発明に用いられる別の可視光カットフィルタ
ーの分光特性を示す線図。
ーの分光特性を示す線図。
【図10】本発明の実施例3による固体撮像装置の模式
的断面図。
的断面図。
【図11】本発明の実施例4による固体撮像装置の模式
的断面図。
的断面図。
【図12】本発明に用いられる固体撮像装置の走査回路
の一例を示すブロック図。
の一例を示すブロック図。
【図13】本発明に用いられる固体撮像装置の走査回路
の別の例を示すブロック図。
の別の例を示すブロック図。
【図14】本発明に用いられる固体撮像装置の走査回路
の更に別の例を示すブロック図。
の更に別の例を示すブロック図。
【図15】本発明に用いられる固体撮像装置の走査回路
の他の例を示すブロック図。
の他の例を示すブロック図。
【図16】本発明の画像情報処理装置の制御系のブロッ
ク図。
ク図。
【図17】本発明の画像情報処理装置により読み取るこ
とのできる原稿に用いられる赤外光吸収色素の分光特性
を示す線図。
とのできる原稿に用いられる赤外光吸収色素の分光特性
を示す線図。
【図18】本発明の画像情報処理装置により読み取るこ
とのできる原稿を示す模式図。
とのできる原稿を示す模式図。
【図19】本発明の画像情報処理装置における判別手段
の構成を示すブロック図。
の構成を示すブロック図。
【図20】本発明の画像情報処理装置における判別動作
を説明するための模式図。
を説明するための模式図。
【図21】図19に示した判別手段の詳細な構成を示す
ブロック図。
ブロック図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮脇 守 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−82325(JP,A) 特開 平4−87453(JP,A) 特開 平3−191302(JP,A) 実開 昭60−177571(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 27/14 H04N 1/028 H04N 5/33 H04N 5/335 H04N 9/07
Claims (6)
- 【請求項1】 可視光領域の光信号を電気信号に変換す
る複数の光電変換要素と、非可視光領域の光信号を電気
信号に変換する複数の光電変換要素と、がアレイ状に配
列されているイメージセンサであって、 前記可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数の光
電変換要素は、その受光部に赤外カットフィルターと、
カラーフィルターとが積層されて形成されており、 前記非可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数の
光電変換要素は、その受光部に、多結晶シリコン層と青
色フィルターとの積層構造、又は、赤色フィルターと青
色フィルターとの積層構造を有する可視光カットフィル
ターが形成されていることを特徴とするイメージセン
サ。 - 【請求項2】 前記赤外カットフィルターと前記カラー
フィルターとの間には平坦化層が介在していることを特
徴とする請求項1に記載のイメージセンサ。 - 【請求項3】 前記可視光領域の光信号を電気信号に変
換する複数の光電変換要素は赤色、青色及び緑色の3つ
の色分解信号を発生することを特徴とする請求項1に記
載のイメージセンサ。 - 【請求項4】 前記受光部は光ダイオードまたは光トラ
ンジスタを含むことを特徴とする請求項1に記載のイメ
ージセンサ。 - 【請求項5】 可視光領域と非可視光領域との光信号を
得るために必要な波長領域の光で原稿を照明する照明手
段と、 前記原稿より得られる可視光領域の光信号を電気信号に
変換する複数の光電変換要素と、前記原稿より得られる
非可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数の光電
変換要素と、がアレイ状に配列されており、前記可視光
領域の光信号を電気信号に変換する複数の光電変換要素
は、その受光部に赤外カットフィルターと、カラーフィ
ルターとが積層されて形成されており、前記非可視光領
域の光信号を電気信号に変換する複数の光電変換要素
は、その受光部に、多結晶シリコン層と青色フィルター
との積層構造、又は、赤色フィルターと青色フィルター
との積層構造を有する可視光カットフィルターが形成さ
れている撮像手段と、 を具備することを特徴とする画像情報処理装置。 - 【請求項6】 可視光領域と非可視光領域との光信号を
得るために必要な波長領域の光で原稿を照明する照明手
段と、 前記原稿より得られる可視光領域の光信号を第1の電気
信号に変換する複数の光電変換要素と、前記原稿より得
られる非可視光領域の光信号を第2の電気信号に変換す
る複数の光電変換要素と、がアレイ状に配列されてお
り、前記可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数
の光電変換要素は、その受光部に赤外カットフィルター
と、カラーフィルターとが積層されて形成されており、
前記非可視光領域の光信号を電気信号に変換する複数の
光電変換要素は、その受光部に可視光カットフィルター
が形成されている撮像手段と、 前記第1の電気信号に基づき画像を形成する画像形成手
段と、 前記第2の電気信号から前記原稿が非可視光の特定パタ
ーンを有するか否かを判別する判別手段と、 前記判別手段の出力に基づいて前記画像形成手段の動作
を制御する制御手段と、 を具備することを特徴とする画像情報処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01508593A JP3227249B2 (ja) | 1993-01-01 | 1993-01-01 | イメージセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01508593A JP3227249B2 (ja) | 1993-01-01 | 1993-01-01 | イメージセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06204444A JPH06204444A (ja) | 1994-07-22 |
JP3227249B2 true JP3227249B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=11879011
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01508593A Expired - Fee Related JP3227249B2 (ja) | 1993-01-01 | 1993-01-01 | イメージセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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