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JP3202668B2 - Method for manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents

Method for manufacturing solid electrolytic capacitor

Info

Publication number
JP3202668B2
JP3202668B2 JP28870497A JP28870497A JP3202668B2 JP 3202668 B2 JP3202668 B2 JP 3202668B2 JP 28870497 A JP28870497 A JP 28870497A JP 28870497 A JP28870497 A JP 28870497A JP 3202668 B2 JP3202668 B2 JP 3202668B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive polymer
polymer compound
solid electrolytic
layer
electrolytic capacitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP28870497A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11121281A (en
Inventor
正樹 藤原
Original Assignee
富山日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富山日本電気株式会社 filed Critical 富山日本電気株式会社
Priority to JP28870497A priority Critical patent/JP3202668B2/en
Publication of JPH11121281A publication Critical patent/JPH11121281A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3202668B2 publication Critical patent/JP3202668B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G11/00Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
    • H01G11/22Electrodes
    • H01G11/30Electrodes characterised by their material
    • H01G11/48Conductive polymers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G11/00Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
    • H01G11/54Electrolytes
    • H01G11/56Solid electrolytes, e.g. gels; Additives therein

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  • Materials Engineering (AREA)
  • Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は固体電解コンデンサ
の製造方法に関し、特に導電性高分子化合物を固体電解
質とする固体電解コンデンサの製造方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor, and more particularly to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor using a conductive polymer compound as a solid electrolyte.

【0002】[0002]

【従来の技術】固体電解コンデンサは、通常、アルミニ
ウムやタンタル等の弁作用金属の微粉末を成型、焼結し
て得られる多孔質焼結体を陽極とし、その焼結体の孔内
部および外表面に電気化学的陽極酸化等により誘電体酸
化皮膜を形成し、さら対向電極となる陰極を引き出すた
めに酸化皮膜上に密接して固体電解質を介在させる。
2. Description of the Related Art Generally, a solid electrolytic capacitor is formed by molding and sintering a fine powder of a valve metal such as aluminum or tantalum, and the resulting porous sintered body is used as an anode. A dielectric oxide film is formed on the surface by electrochemical anodic oxidation or the like, and a solid electrolyte is interposed in close contact with the oxide film to draw out a cathode serving as a counter electrode.

【0003】この固体電解質は誘電体酸化皮膜全面と陰
極との間を電気的に接続し誘電体酸化皮膜の持つ静電容
量を引き出す機能を有する。さらに言えば、誘電体酸化
皮膜内部に欠陥を有し電気的短絡が生じた場合に、この
欠陥を修復する機能を併せ持つことが必要である。
This solid electrolyte has the function of electrically connecting the entire surface of the dielectric oxide film and the cathode to draw out the capacitance of the dielectric oxide film. In addition, when an electrical short circuit occurs due to a defect inside the dielectric oxide film, it is necessary to have a function of repairing the defect.

【0004】前記の要求に合致する固体電解質として、
従来、二酸化マンガンや7,7,8,8−テトラシアノ
キノジメタン錯塩(TCNQ錯塩)が幅広く用いられて
きたが、二酸化マンガンを用いたものは、その比抵抗が
低くないために高周波領域でのインピーダンス、等価直
列抵抗(以降、ESRという)、或いは誘電損失角の正
接(以下、tanδという)が高い。一方、TCNQ錯
塩を固体電解質に用いたものは、インピーダンス、ES
R、tanδがかなり低いものの、TCNQ錯塩の熱分
解温度が低いことに起因して耐熱性に乏しく、高温雰囲
気下で上記の特性値を長期間持続できないという欠点が
あった。
[0004] As a solid electrolyte meeting the above requirements,
Conventionally, manganese dioxide and 7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane complex salt (TCNQ complex salt) have been widely used. However, those using manganese dioxide are not used in a high frequency region because their specific resistance is not low. , The equivalent series resistance (hereinafter referred to as ESR), or the tangent of the dielectric loss angle (hereinafter referred to as tan δ) is high. On the other hand, when the TCNQ complex salt was used for the solid electrolyte, impedance, ES
Although R and tan δ are considerably low, there is a drawback that the heat resistance is poor due to the low thermal decomposition temperature of the TCNQ complex salt, and the above characteristic values cannot be maintained for a long time in a high-temperature atmosphere.

【0005】しかし、近年、高分子化学の分野に於いて
新規な固体電解質材料の開発が活発に行なわれた結果、
ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリフ
ランなど、π電子を有する共役系高分子化合物に電子供
与性や電子吸引性を有する化合物(ドーパント)を添加
して導電性を付与した導電性高分子化合物が開発され、
これらを固体電解質として用いる固体電解コンデンサが
数多く提唱されている。例えば、酸化剤を用いた化学酸
化重合法によってピロールモノマーを誘電体酸化皮膜上
で重合させ、ドーパントを添加したポリピロールを導電
性高分子化合物層とした後、グラファイト層、銀塗料層
を順次形成する製造方法が開発されている。
However, in recent years, in the field of polymer chemistry, new solid electrolyte materials have been actively developed, and as a result,
Conductive polymer compounds have been developed in which conjugated polymer compounds having π electrons, such as polypyrrole, polyaniline, polythiophene, and polyfuran, are added with a compound (dopant) having an electron-donating or electron-withdrawing property to impart conductivity.
Many solid electrolytic capacitors using these as a solid electrolyte have been proposed. For example, a pyrrole monomer is polymerized on a dielectric oxide film by a chemical oxidation polymerization method using an oxidizing agent, and a polypyrrole to which a dopant is added is used as a conductive polymer compound layer, and then a graphite layer and a silver paint layer are sequentially formed. Manufacturing methods have been developed.

【0006】ところが、この方法によると固体電解質と
しての導電性高分子化合物層は薄く、陽極としての焼結
体との嵌合を十分に確保することが出来ない。さらに、
得られた導電性高分子化合物層の外表面が平滑であるた
めに導電性高分子化合物層とグラファイト層との嵌合が
弱い。そのため、高周波領域でのESR或いはtanδ
が大きいという問題があった。
However, according to this method, the conductive polymer compound layer as the solid electrolyte is thin, and it is not possible to sufficiently secure the fitting with the sintered body as the anode. further,
Since the outer surface of the obtained conductive polymer compound layer is smooth, the fitting between the conductive polymer compound layer and the graphite layer is weak. Therefore, ESR or tan δ in the high frequency region
There was a problem that was large.

【0007】これらの問題を解決する技術として、特開
平7−94368号公報には図5に示すごとく、誘電体
酸化皮膜2上に化学酸化重合により内部導電性高分子化
合物層5を形成した後に、グラファイト等の導電性粉末
7を混在させ表面に凹凸を設けた外部導電性高分子化合
物層6を形成し、さらにグラファイト層8、銀塗料層9
を順次形成してなる固体電解コンデンサおよびその製造
方法が開示されている。
As a technique for solving these problems, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-94368 discloses a method of forming an inner conductive polymer compound layer 5 on a dielectric oxide film 2 by chemical oxidation polymerization as shown in FIG. A conductive powder 7 of graphite or the like is mixed therein to form an external conductive polymer compound layer 6 having irregularities on its surface, and further a graphite layer 8 and a silver paint layer 9
Are sequentially formed, and a method for manufacturing the same is disclosed.

【0008】図6は、この固体電解コンデンサの一連の
製造工程をまとめたフローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart summarizing a series of manufacturing steps of the solid electrolytic capacitor.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
方法で作製した導電性高分子化合物層を固体電解質とす
る固体電解コンデンサは、次のような問題点がある。
However, the solid electrolytic capacitor using the conductive polymer compound layer produced by the above method as a solid electrolyte has the following problems.

【0010】即ち、第一の問題点は、実装時の熱衝撃に
よるESRおよびtanδの増大である。その原因は、
外部導電性高分子化合物層やグラファイト層の機械的強
度が必ずしも十分でなく、またその内部導電性高分子化
合物層とグラファイト層との嵌合、接着力も十分でない
ために、熱衝撃によりそれらの層間が剥離しやすいため
である。
That is, the first problem is an increase in ESR and tan δ due to thermal shock during mounting. The cause is
The mechanical strength of the outer conductive polymer compound layer and the graphite layer is not always sufficient, and the fitting and adhesion between the inner conductive polymer compound layer and the graphite layer are not sufficient. Is easy to peel off.

【0011】第二の問題点は、実装時の熱応力による漏
れ電流の増大である。その原因は上述の方法によると弁
作用金属の焼結体からなる陽極体の外表面に均一な厚み
の外部導電性高分子化合物層を形成するのが困難であ
り、部分的に厚みの不足した部位に於いて誘電体酸化皮
膜の機械的な損傷を誘発しやすいためである。特に陽極
体のエッジ部分において、外部導電性高分子化合物層の
厚みが不足しやすく、漏れ電流が増大しやすい。
The second problem is an increase in leakage current due to thermal stress during mounting. The cause is that, according to the above-described method, it is difficult to form an outer conductive polymer compound layer having a uniform thickness on the outer surface of the anode body made of a sintered body of a valve action metal, and the thickness is partially insufficient. This is because mechanical damage to the dielectric oxide film is likely to be induced at the site. In particular, the thickness of the outer conductive polymer compound layer tends to be insufficient at the edge portion of the anode body, and the leakage current tends to increase.

【0012】第三の問題点は、固体電解コンデンサの実
用温湿度条件下、特に高温雰囲気下での使用に伴なうE
SR、tanδの急激な増大である。その原因は、前述
のごとく、内部導電性高分子化合物層、導電性高分子化
合物層およびグラファイト層間の嵌合が弱いため、3者
の間に剥がれや隙間を生じやすく、これらが酸素および
水分の侵入経路となり、高温高湿雰囲気下での導電性高
分子化合物層全体の酸化劣化が著しく加速され、抵抗値
が急激に増大するためと考えられる。
The third problem is that the solid electrolytic capacitor is required to be used under the condition of practical temperature and humidity, especially under a high temperature atmosphere.
This is a sharp increase in SR and tan δ. As described above, as described above, since the fitting between the inner conductive polymer compound layer, the conductive polymer compound layer, and the graphite layer is weak, peeling or gaps are easily generated between the three members, and these are likely to cause oxygen and moisture. This is considered to be due to a penetration path, in which the oxidative deterioration of the entire conductive polymer compound layer under a high-temperature and high-humidity atmosphere is remarkably accelerated, and the resistance value increases rapidly.

【0013】本発明の目的は、従来技術の上記課題を解
決することにより、初期特性および信頼性に優れた固体
電解コンデンサの製造方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor having excellent initial characteristics and reliability by solving the above-mentioned problems of the prior art.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の固体電解コンデ
ンサの製造方法は、弁作用金属粉末の焼結体からなり陽
極表面に酸化皮膜を形成する工程と、その酸化皮膜上に
密接して化学酸化重合により第一の導電性高分子化合物
層を形成する工程、導電性高分子化合物懸濁水溶液に浸
漬し、前記第一の導電性高分子化合物層上に第二の導電
性高分子化合物層を形成する工程と、グラファイト粉末
含有懸濁水溶液に浸漬し、前記第二の導電性高分子化合
物層上にグラファイト層を形成後、銀塗料層を形成し、
陰極層を形成する工程を含むことで構成される。
A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to the present invention comprises a step of forming an oxide film on a surface of an anode made of a sintered body of valve metal powder, and a step of forming an oxide film on the oxide film in close contact with the oxide film. A step of forming a first conductive polymer compound layer by oxidative polymerization, immersing in a conductive polymer compound suspension aqueous solution, and a second conductive polymer compound layer on the first conductive polymer compound layer Forming a, and dipped in a graphite powder-containing suspension aqueous solution, after forming a graphite layer on the second conductive polymer compound layer, to form a silver paint layer,
It is configured to include a step of forming a cathode layer.

【0015】ここで、前記導電性高分子化合物懸濁水溶
液と前記グラファイト粉末含有懸濁水溶液には水溶性接
着剤を含有させることで、前記第二の導電性高分子化合
物層と前記第一の導電性高分子化合物層、および第二の
導電性高分子化合物層と前記グラファイト層との嵌合と
接着力を向上することができる。
Here, the second conductive polymer compound layer and the first conductive polymer compound layer are mixed with each other by adding a water-soluble adhesive to the conductive polymer compound aqueous suspension and the graphite powder-containing suspension aqueous solution. The fitting and adhesion between the conductive polymer compound layer and the second conductive polymer compound layer and the graphite layer can be improved.

【0016】前記懸濁水溶液中の水溶性接着剤として
は、ポリアクリロニトリル、メチルセルロース、ポリビ
ニルアルコール、メタクリル酸メチルおよびそれらの誘
導体を用いることができる。
As the water-soluble adhesive in the aqueous suspension, polyacrylonitrile, methyl cellulose, polyvinyl alcohol, methyl methacrylate and derivatives thereof can be used.

【0017】前記水溶性接着剤は、所望の粉末を純水中
に分散した懸濁水溶液を容易に調製でき、乾燥して水分
を除去することにより、低温短時間で厚みの均一な塗膜
が得られる。また、純水の添加量を調整し、固形分の濃
度を変えることにより厚付けが可能となり、所望の厚み
の塗膜を最小の処理回数で得られるという利点もある。
The water-soluble adhesive can be easily prepared as an aqueous suspension in which a desired powder is dispersed in pure water, and dried to remove water, whereby a coating film having a uniform thickness can be formed at a low temperature in a short time. can get. Further, by adjusting the amount of pure water added and changing the concentration of the solid content, it is possible to form a thick film, and there is an advantage that a coating film having a desired thickness can be obtained with a minimum number of treatments.

【0018】この水溶性接着剤を用いる方法により、前
記第二の導電性高分子化合物層、前記グラファイト層の
強度、およびこれら層間の嵌合を強化出来る。なお、前
記第二の導電性高分子化合層と前記グラファイト層の形
成に用いる水溶性接着剤は同一の化合物でなくても構わ
ない。
By using the water-soluble adhesive, the strength of the second conductive polymer compound layer and the graphite layer, and the fitting between these layers can be enhanced. The water-soluble adhesive used for forming the second conductive polymer compound layer and the graphite layer does not have to be the same compound.

【0019】本発明における前記第一の導電性高分子化
合物層としては、ピロール、アニリン、チオフェン、さ
らにフラン等の環状有機化合物のモノマー、およびそれ
らの誘導体の重合体を用いることができる。これらの重
合体は化学酸化重合によって形成するのが好適である。
その理由は、弁作用金属の焼結体の空孔内部は微細に拡
面化されており、電解酸化重合では、通電時に空孔内部
と外表面に電位差を生じやすく、誘電体酸化皮膜全体に
わたり、均一に導電性高分子化合物層を密接させること
が困難なためである。
In the present invention, as the first conductive polymer compound layer, a polymer of a cyclic organic compound monomer such as pyrrole, aniline, thiophene, and furan, and a polymer of a derivative thereof can be used. These polymers are preferably formed by chemical oxidative polymerization.
The reason for this is that the inside of the pores of the sintered body of the valve action metal is finely enlarged, and in electrolytic oxidation polymerization, a potential difference is easily generated between the inside of the pores and the outer surface when electricity is applied, and the entire surface of the dielectric oxide film This is because it is difficult to uniformly and closely contact the conductive polymer compound layer.

【0020】本発明における第二の導電性高分子化合物
層形成用の懸濁水溶液中の導電性高分子化合物として
は、前記第一の導電性高分子化合物層と同様にピロー
ル、アニリン、チオフェン、フラン、およびそれらの誘
導体の重合体を用いる。なお、第一の導電性高分子化合
層と第二の導電性高分子化合物層とは同一の化合物でな
くても構わない。
The conductive polymer compound in the aqueous suspension solution for forming the second conductive polymer compound layer in the present invention includes pyrrole, aniline, thiophene, and the like as in the first conductive polymer compound layer. Polymers of furan and their derivatives are used. Note that the first conductive polymer compound layer and the second conductive polymer compound layer need not be the same compound.

【0021】本発明は上記のように導電性高分子化合物
層を二層構造とし、誘電体酸化皮膜に密接する第一の導
電性高分子化合物層を化学酸化重合によって形成し、次
に、予め重合された後にドーパントをドープして導電性
を発現せしめた導電性高分子化合物の粉末と水溶性接着
剤とを混合した懸濁水溶液に浸漬し、引き上げて所定温
度で乾燥することにより、グラファイト層との嵌合強化
用の凹凸を表面に有する第二の導電性高分子化合物層を
形成した。さらにグラファイト粉末と水溶性接着剤とを
混合した懸濁水溶液に浸漬し、引き上げて所定温度で乾
燥し、グラファイト層を形成することにより、固体電解
コンデンサの実装時の熱衝撃や実用温湿度条件下、特に
高温雰囲気下でのESR、tanδ、および漏れ電流の
増大を抑制できる。
According to the present invention, the conductive polymer compound layer has a two-layer structure as described above, and the first conductive polymer compound layer which is in close contact with the dielectric oxide film is formed by chemical oxidation polymerization. After being polymerized, it is immersed in a suspension aqueous solution in which a conductive polymer compound powder doped with a dopant to exhibit conductivity by being doped with a water-soluble adhesive, pulled up, and dried at a predetermined temperature to obtain a graphite layer. A second conductive polymer compound layer having on its surface irregularities for strengthening the fitting was formed. Furthermore, it is immersed in an aqueous suspension of a mixture of graphite powder and a water-soluble adhesive, pulled up and dried at a predetermined temperature to form a graphite layer. In particular, an increase in ESR, tan δ, and leakage current in a high-temperature atmosphere can be suppressed.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0023】図1は本発明の実施の形態の固体電解コン
デンサの製造方法を説明するための固体電解コンデンサ
の模式的断面図であり、(a)は全体断面図、(b)は
(a)の固体電解コンデンサの誘電体酸化皮膜部の拡大
断面図である。
FIGS. 1A and 1B are schematic sectional views of a solid electrolytic capacitor for illustrating a method of manufacturing a solid electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is an overall sectional view, and FIG. FIG. 3 is an enlarged sectional view of a dielectric oxide film portion of the solid electrolytic capacitor of FIG.

【0024】まず、弁作用金属粉末の焼結体からなる陽
極である弁作用金属1を陽極酸化し、その焼結体表面の
細孔壁面に沿って誘電体酸化皮膜2を形成する。この誘
電体酸化被膜2の表面に、第一の導電性高分子化合物層
3を化学酸化重合によって形成し、コンデンサ素子を製
作する。
First, the valve action metal 1 which is an anode made of a sintered body of the valve action metal powder is anodized to form a dielectric oxide film 2 along the pore wall surface of the sintered body. A first conductive polymer compound layer 3 is formed on the surface of the dielectric oxide film 2 by chemical oxidation polymerization to manufacture a capacitor element.

【0025】次に、このコンデンサ素子を導電性高分子
化合物懸濁水溶液に浸漬し、第一の導電性高分子化合物
層3上に、第二の導電性高分子化合物層4を形成する。
ここで、第二の導電性高分子化合物層4形成のための導
電性高分子化合物懸濁水溶液としては、導電性高分子化
合物の粉末と水溶性接着剤とを混合した懸濁水溶液が使
用される。この液に浸漬し引き上げて所定温度で乾燥す
ることにより第二の導電性高分子化合物層が形成され
る。第二の導電性高分子化合物層4の外表面には導電性
高分子化合物粉末からなる凹凸を多数有しているため、
この上に形成するグラファイト層との嵌合を向上するこ
とができる。
Next, the capacitor element is immersed in an aqueous solution of a conductive polymer compound suspension to form a second conductive polymer compound layer 4 on the first conductive polymer compound layer 3.
Here, as the conductive polymer compound suspension aqueous solution for forming the second conductive polymer compound layer 4, a suspension solution obtained by mixing a conductive polymer compound powder and a water-soluble adhesive is used. You. The second conductive polymer compound layer is formed by immersing in this liquid, pulling it up, and drying it at a predetermined temperature. Since the outer surface of the second conductive polymer compound layer 4 has many irregularities made of the conductive polymer compound powder,
The fit with the graphite layer formed thereon can be improved.

【0026】更に、グラファイト粉末含有懸濁水溶液に
前記コンデンサ素子を浸漬し、第二の導電性高分子化合
物層4の外表面を覆い隠すように、グラファイト層8を
形成する。
Further, the capacitor element is immersed in a graphite powder-containing aqueous suspension to form a graphite layer 8 so as to cover the outer surface of the second conductive polymer compound layer 4.

【0027】前記懸濁水溶液内の水溶性接着剤として
は、ポリアクリロニトリル、メチルセルロース、ポリビ
ニルアルコール、メタクリル酸メチルおよびそれらの誘
導体を用いるのが好適である。これら水溶性接着剤の混
合比率は特に厳密に限定されるものではないが、抵抗
値、接着力、作業性および各種信頼性評価の結果から
0.5〜3wt.%が最も好ましい。その混合比率が
0.5wt.%未満であると接着力が若干弱く、3w
t.%を超えて添加すると、抵抗値が増大する傾向が認
められた。
As the water-soluble adhesive in the aqueous suspension, it is preferable to use polyacrylonitrile, methylcellulose, polyvinyl alcohol, methyl methacrylate and derivatives thereof. The mixing ratio of these water-soluble adhesives is not particularly strictly limited, but from the results of resistance value, adhesive strength, workability and various reliability evaluations, 0.5 to 3 wt. % Is most preferred. When the mixing ratio is 0.5 wt. %, The adhesive strength is slightly weak and 3 w
t. %, There was a tendency for the resistance to increase.

【0028】次いで、グラファイト層8上に銀塗料層9
を順次形成し、陰極層を形成する。
Next, a silver paint layer 9 is formed on the graphite layer 8.
Are sequentially formed to form a cathode layer.

【0029】更に、従来公知の方法により電極端子10
を取り付け外装樹脂11で外装を施して、図1の固体電
解コンデンサが製造される。図2は、これら一連の製造
工程をまとめたフローチャートである。
Further, the electrode terminals 10 are formed by a conventionally known method.
Is mounted with an exterior resin 11 to produce the solid electrolytic capacitor of FIG. FIG. 2 is a flowchart summarizing the series of manufacturing steps.

【0030】[0030]

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。なお各実施例とも上記の実施のの形態における弁作
用金属としては直径1mm、長さ1mmの円柱状のタン
タル微粉末の焼結体を用いた。この焼結体の陽極酸化後
のCV積(粉末1gあたりの静電容量と陽極酸化電圧と
の積)は48000μF・V/gであった。
The present invention will be described below in more detail with reference to examples. In each of the embodiments, a sintered body of columnar fine tantalum powder having a diameter of 1 mm and a length of 1 mm was used as the valve metal in the above embodiment. The CV product (product of capacitance per gram of powder and anodic oxidation voltage) of the sintered body after anodization was 48000 μF · V / g.

【0031】実施例1 タンタル微粉末焼結体ペレットを0.2Mの硝酸水溶液
中において、60Vで陽極酸化して、誘電体酸化皮膜2
を形成した。このペレットを、0.1Mドデシルベンゼ
ンスルフオン酸第二鉄のメタノ−ル溶液に1分間浸漬
し、0.1Mピロールモノマーのメタノール溶液に1分
間浸漬した後、室温で15分間保持して化学酸化重合と
ドーピングとを同時に行なった。これら酸化剤の含浸、
重合・ドービングの一連の操作を15回繰り返すことに
より、第一の導電性高分子化合物層3としてのポリピロ
ールを誘電体酸化皮膜上に密接するように形成した。
Example 1 A tantalum fine powder sintered body pellet was anodized at 60 V in a 0.2 M aqueous nitric acid solution to form a dielectric oxide film 2.
Was formed. This pellet was immersed in a 0.1 M solution of ferric dodecylbenzenesulfonate in methanol for 1 minute, immersed in a methanol solution of 0.1 M pyrrole monomer for 1 minute, and then kept at room temperature for 15 minutes to perform chemical oxidation. Polymerization and doping were performed simultaneously. Impregnation of these oxidants,
By repeating a series of operations of polymerization and doping 15 times, polypyrrole as the first conductive polymer compound layer 3 was formed so as to be in close contact with the dielectric oxide film.

【0032】次に、重合溶液としてピロール:0.1
M,2−ナフタレンスルフオン酸:0.2M,硝酸第二
鉄:0.2Mとなるように混合したメタノール溶液を調
製し、−40℃以下に保持し、十分に攪拌した。その
後、この溶液を室温下で5時間放置して、化学酸化重合
させた。さらに、メタノールを用いて過剰のピロール、
2−ナフタレンスルフォン酸および硝酸第二鉄を除去し
た後、室温で24時間乾燥することにより粉末状のボリ
ピロールを得た。
Next, as a polymerization solution, pyrrole: 0.1
A methanol solution was prepared by mixing so that M, 2-naphthalenesulfonic acid: 0.2 M and ferric nitrate: 0.2 M, kept at −40 ° C. or lower, and sufficiently stirred. Thereafter, the solution was left at room temperature for 5 hours to undergo chemical oxidation polymerization. In addition, excess pyrrole using methanol,
After removing 2-naphthalene sulfonic acid and ferric nitrate, the resultant was dried at room temperature for 24 hours to obtain powdered boropyrrole.

【0033】次に、この粉末状のポリピロールを25w
t.%、水溶性接着剤としてのポリビニルアルコールを
1.5wt.%、純水(残部)を73.5wt%の組成
に混合した懸濁水溶液を調製し、このものに、前記第一
の導電性高分子化合物層形成後のペレットを3秒間浸漬
し引き上げて、120℃で15分間乾燥させることによ
り、第二の導電性高分子化合物層としてのポリピロール
の厚膜を形成した。
Next, this powdery polypyrrole was added to 25 w
t. %, 1.5 wt.% Of polyvinyl alcohol as a water-soluble adhesive. %, Pure water (remainder) was mixed to a composition of 73.5 wt% to prepare a suspension aqueous solution, and the pellet after forming the first conductive polymer compound layer was immersed in the aqueous solution for 3 seconds and pulled up. By drying at 120 ° C. for 15 minutes, a thick film of polypyrrole was formed as a second conductive polymer compound layer.

【0034】更に、グラファイト粉末(平均粒径約0.
3μm)10wt%、ポリビニルアルコール1.5wt
%、純水(残部)88.5wt%の組成に混合した懸濁
水溶液を調製し、このものに、前記第二の導電性高分子
化合物層形成後のペレットを3秒間浸漬し引き上げて、
120℃で15分間乾燥させることにより、グラファイ
ト層を形成せしめた。
Further, a graphite powder (having an average particle size of about 0.
3 μm) 10 wt%, polyvinyl alcohol 1.5 wt
%, Pure water (remainder): 88.5 wt%, a suspension aqueous solution was prepared, and the pellet after the formation of the second conductive polymer compound layer was immersed in the aqueous solution for 3 seconds and pulled up.
By drying at 120 ° C. for 15 minutes, a graphite layer was formed.

【0035】更にこのグラファイト層上に銀塗料層を形
成し、電極端子を引き出した後、外装樹脂で封止し固体
電解コンデンサを完成させた。
Further, a silver paint layer was formed on the graphite layer, and after extracting the electrode terminals, it was sealed with an exterior resin to complete a solid electrolytic capacitor.

【0036】実施例2 実施例1と同様の方法で誘電体酸化皮膜の形成まで行な
った。このペレットを0.1M、2−ペルオキソ二硫酸
アンモニウム水溶液に1分間浸漬し、次に0.1Mアニ
リンモノマー水溶液に1分間浸漬して、室温で15分間
乾燥させることにより、前記誘電体酸化皮膜の上に密接
して脱ドープ状態のポリアニリンを形成した。次に、こ
のものを0.1M p−トルエンスルフォン酸のエタノ
ール溶液に1時間浸漬してポリアニリンにドーピングを
行ない、導電性を付与した。これら酸化剤の含浸、アニ
リンモノマーとの接触、ド− ピングからなる一連の操
作を10回繰り返して第一の導電性高分子化合物層とし
てのポリピロールを前記誘電体酸化皮膜上に密接するよ
うに形成した。
Example 2 The procedure up to the formation of the dielectric oxide film was carried out in the same manner as in Example 1. The pellet was immersed in a 0.1 M aqueous solution of 2-peroxodisulfate for 1 minute, then immersed in a 0.1 M aqueous solution of aniline monomer for 1 minute, and dried at room temperature for 15 minutes. To form undoped polyaniline. Next, this was immersed in an ethanol solution of 0.1 M p-toluenesulfonic acid for 1 hour to dope polyaniline to impart conductivity. A series of operations including the impregnation of the oxidizing agent, the contact with the aniline monomer, and the doping was repeated 10 times to form polypyrrole as the first conductive polymer compound layer so as to be in close contact with the dielectric oxide film. did.

【0037】次に、実施例1と同様の方法により調製し
たポリピロール粉末を含む懸濁水溶液に第一の導電性高
分子化合物層を形成後のペレットを浸漬し、引き上げ
て、120℃で15分間乾燥させることにより、第二の
導電性高分子化合物層としてのポリピロールの厚膜を形
成せしめた。
Next, the pellet after forming the first conductive polymer compound layer was immersed in an aqueous suspension containing polypyrrole powder prepared in the same manner as in Example 1, pulled up, and pulled up at 120 ° C. for 15 minutes. By drying, a thick film of polypyrrole as a second conductive polymer compound layer was formed.

【0038】更に、実施例1と同様の方法により、グラ
ファイト層、銀塗料層を順次形成した後、電極端子を取
り出し、外装樹脂で封止して固体電解コンデンサを完成
させた。
Further, after a graphite layer and a silver paint layer were sequentially formed in the same manner as in Example 1, the electrode terminals were taken out and sealed with an exterior resin to complete a solid electrolytic capacitor.

【0039】実施例3 実施例1、2と同様の方法で誘電体酸化皮膜の形成まで
行なった。次に、0.1M チオフェン/0.1M ク
エン酸/0.1M p−トルエンスルフォン酸/0.2
M硝酸第二鉄となるようなエタノール溶液を調製し、−
50℃に保持した。このものに、誘電体酸化皮膜形成後
のペレットを1分間浸漬した後引き上げ、室温で1時間
保持して化学酸化重合を行なった。さらに、エタノール
を用いて余分なチオフェン、クエン酸、P−トルエンス
ルフォン酸、硝酸第二鉄を除去した。以上の重合溶液浸
漬、室温乾燥、エタノール洗浄の一連の操作を8回繰り
替えすことにより、前記誘電体酸化皮膜の上に密接して
第一の導電性高分子化合物層としてのドーピング状態の
ポリチオフェン膜を形成した。次に、実施例1と同様の
方法により調製したポリピロール粉末を含む懸濁水溶液
に第一の導電性高分子化合物層を形成後のペレットを浸
漬し、引き上げて、120℃で、5分間乾燥させること
により、第二の導電性高分子化合物層としてのポリピロ
ールの厚膜を形成せしめた。
Example 3 The procedure up to the formation of the dielectric oxide film was carried out in the same manner as in Examples 1 and 2. Next, 0.1M thiophene / 0.1M citric acid / 0.1M p-toluenesulfonic acid / 0.2M
Prepare an ethanol solution to be M ferric nitrate,
It was kept at 50 ° C. The pellet after the formation of the dielectric oxide film was immersed therein for 1 minute, pulled up, and kept at room temperature for 1 hour to carry out chemical oxidation polymerization. Further, excess thiophene, citric acid, P-toluenesulfonic acid, and ferric nitrate were removed using ethanol. By repeating the above series of operations of immersion of the polymerization solution, drying at room temperature, and washing with ethanol eight times, the doped polythiophene film as the first conductive polymer compound layer closely contacts the dielectric oxide film. Was formed. Next, the pellet after forming the first conductive polymer compound layer is immersed in an aqueous suspension containing polypyrrole powder prepared in the same manner as in Example 1, pulled up, and dried at 120 ° C. for 5 minutes. As a result, a thick film of polypyrrole was formed as the second conductive polymer compound layer.

【0040】更に、実施例1と同様の方法により、グラ
ファイト層、銀塗料層を順次形成せしめた後、電極端子
を取り出し、外装樹脂で封止して固体電解コンデンサを
完成させた。
Further, after a graphite layer and a silver paint layer were sequentially formed in the same manner as in Example 1, the electrode terminals were taken out and sealed with an exterior resin to complete a solid electrolytic capacitor.

【0041】実施例4 実施例1と同様の条件で、第二の導電性高分子化合物層
の形成までの操作を行なった。次に、グラファイト粉末
(平均粒径約0.3μm)10wt.%、カルボキシメ
チルセルロース0.8wt.%、純水(残部)89.2
wt.%の組成に混合した懸濁水溶液を調製し、このも
のに、前記第二の導電性高分子化合物層形成後のペレッ
トを3秒間浸漬し引き上げて、100℃で5分間乾燥さ
せることにより、グラファイト層を形成した。
Example 4 An operation up to the formation of the second conductive polymer layer was performed under the same conditions as in Example 1. Next, graphite powder (average particle size: about 0.3 μm) 10 wt. %, Carboxymethylcellulose 0.8 wt. %, Pure water (remainder) 89.2
wt. % Of the suspension is prepared, and the pellet after forming the second conductive polymer compound layer is immersed in the suspension for 3 seconds, pulled up, and dried at 100 ° C. for 5 minutes to obtain graphite. A layer was formed.

【0042】更に銀塗料層を形成し、電極端子を引き出
した後、外装樹脂で封止し固体電解コンデンサを完成さ
せた。
Further, a silver paint layer was formed, and after the electrode terminals were drawn out, they were sealed with an exterior resin to complete a solid electrolytic capacitor.

【0043】比較例 特開平7−94368号公報にて公知の製造方法にて製
作される固体電解コンデンサを代表的な比較例として説
明する。
Comparative Example A solid electrolytic capacitor manufactured by a known method in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-94368 will be described as a representative comparative example.

【0044】本発明の上記実施例と同様のペレット、同
様の方法により誘電体酸化皮膜を形成した。このペレッ
トを0.1Mドデシルベンゼンスルフォン酸第二鉄のエ
タノール溶液に1分間浸漬し、0.1Mピロールモノマ
ーのメタノール溶液に1分間浸漬した後、室温で10分
間保持し化学酸化重合とドーピングを同時に行なった。
以上の酸化剤の含浸、ピロールモノマーとの接触、重合
・ドーピングからなる一連の操作をを10回繰り返し
て、誘電体酸化皮膜に密接して、内部導電性高分子化合
物層としてのポリピロールを形成した。
A dielectric oxide film was formed by the same pellets and the same method as in the above embodiment of the present invention. The pellet was immersed in a 0.1 M solution of ferric dodecylbenzenesulfonate in ethanol for 1 minute, immersed in a methanol solution of 0.1 M pyrrole monomer for 1 minute, and kept at room temperature for 10 minutes to simultaneously carry out chemical oxidation polymerization and doping. Done.
A series of operations including the above-described impregnation of the oxidizing agent, contact with the pyrrole monomer, and polymerization / doping was repeated 10 times to form a polypyrrole as an internal conductive polymer layer in close contact with the dielectric oxide film. .

【0045】次に従来公知の方法により調製した有機溶
剤に可溶なポリアニリン粉末5gを導電性粉末として用
い、N−メチル−2−ピロリドン95g中に少量ずつ加
え、溶解させて溶液とした。前記の内部導電性高分子化
合物層形成後のペレットを当該溶液中に1分間保持した
後、硫酸水溶液に30分間浸漬することによりドーピン
グして、導電性粉末としてのポリピロール粉末を含む外
部導電性高分子化合物層としてのポリアニリンを形成し
た。
Next, 5 g of a polyaniline powder soluble in an organic solvent prepared by a conventionally known method was used as a conductive powder, and the solution was added little by little to 95 g of N-methyl-2-pyrrolidone to form a solution. The pellet after the formation of the inner conductive polymer compound layer is held in the solution for 1 minute, and then immersed in a sulfuric acid aqueous solution for 30 minutes to dope the outer conductive layer containing polypyrrole powder as a conductive powder. Polyaniline was formed as a molecular compound layer.

【0046】更に、その上に有機バインダー分を含まな
いグラファイト層、銀塗料層を順次形成し、電極端子を
引き出した後、外装樹脂で封止して比較例の固体電解コ
ンデンサを完成させた。
Further, a graphite layer containing no organic binder and a silver paint layer were sequentially formed thereon, and after the electrode terminals were drawn out, they were sealed with an exterior resin to complete a solid electrolytic capacitor of a comparative example.

【0047】以上の方法により完成した本発明の四種の
固体電解コンデンサ、および比較例の固体電解コンデン
サ各100個を半田浸漬試験(270℃ 10秒浸漬)
に供した。試験前後でのtanδ(1kHzで測定)、
ESR(100KHzで測定)、漏れ電流(LC 定格
電圧、1分値)の分布を図3に比較して示す。比較例の
製造方法により作製した固体電解コンデンサは試験後に
諸特性が著しく劣化したのに対し、本発明の実施例によ
り作製した四種類の固体電解コンデンサは、tanδ、
ESR増大が殆ど認められない。また、漏れ電流の分布
も殆ど変化していない。即ち、本発明の固体電解コンデ
ンサの製造方法によれば、半田実装時に加えられる熱履
歴、熱応力によっても諸特性の劣化がなく、安定した耐
熱特性を有する固体電解コンデンサを提供できることが
確認された。
The four types of solid electrolytic capacitors of the present invention completed by the above-described method and 100 solid electrolytic capacitors of the comparative example were each subjected to a solder immersion test (immersion at 270 ° C. for 10 seconds).
Was served. Tanδ before and after the test (measured at 1 kHz),
The distribution of ESR (measured at 100 KHz) and leakage current (LC rated voltage, 1 minute value) are shown in comparison with FIG. While the solid electrolytic capacitors manufactured by the manufacturing method of the comparative example significantly deteriorated in various characteristics after the test, the four types of solid electrolytic capacitors manufactured by the examples of the present invention had tan δ,
Almost no increase in ESR is observed. Further, the distribution of the leakage current hardly changes. That is, according to the method for manufacturing a solid electrolytic capacitor of the present invention, it was confirmed that a solid electrolytic capacitor having stable heat resistance characteristics without deterioration of various characteristics due to heat history and thermal stress applied at the time of solder mounting can be provided. .

【0048】本発明の実施例に従って作製した四種の固
体電解コンデンサ、および比較例に従って作製した固体
電解コンデンサ各20個を半田浸漬試験(270℃、1
0秒浸漬)に供した後、125℃の熱風雰囲気に放置し
たときのESR(l00KHzで測定)の経時変化を図
4に比較して示す。ここでは半田浸漬後の値を1(初期
値)とし、各サンプル20個のESR変化倍率の平均値
を時間に対してプロットした。
Four types of solid electrolytic capacitors manufactured according to the embodiment of the present invention and 20 solid electrolytic capacitors manufactured according to the comparative example were each subjected to a solder immersion test (270 ° C., 1
FIG. 4 shows a change with time of ESR (measured at 100 KHz) when the sample was left in a hot air atmosphere at 125 ° C. after subjecting the sample to 0 ° immersion. Here, the value after solder immersion was set to 1 (initial value), and the average value of the ESR change magnification of 20 samples was plotted against time.

【0049】図4の結果によれば、従来公知の比較例に
従って作製した固体電解コンデンサは、1000時間経
過後のESRが初期値の9倍にも増大しているのに対
し、本発明の実施例に従って作製した固体電解コンデン
サの場合は、いずれも1000時間経過後のESRが初
期値の2倍未満に収まっており、良好な熱安定性を示し
た。
According to the results shown in FIG. 4, the solid electrolytic capacitor manufactured according to the comparative example of the related art has an ESR after 1000 hours that is nine times as large as the initial value. In the case of the solid electrolytic capacitors manufactured according to the examples, the ESR after the lapse of 1000 hours was less than twice the initial value, showing good thermal stability.

【0050】[0050]

【発明の効果】上記のように本発明は、従来公知の導電
性高分子化合物を用いた固体電解コンデンサが有してい
た課題を解決し、初期特性および信頼性に優れた固体電
解コンデンサの製造方法を提供することが可能となる。
As described above, the present invention solves the problems of a conventional solid electrolytic capacitor using a conductive polymer compound, and produces a solid electrolytic capacitor having excellent initial characteristics and reliability. It is possible to provide a method.

【0051】即ち、従来技術における第一の問題点であ
る実装時の熱履歴によるESRおよびtanδの増大が
抑制される。これは、導電性高分子化合物層を二層構造
とし、素子外周部の第二の導電性高分子化合物層および
グラファイト層を水溶性接着剤からなる懸濁水溶液を用
いて形成しており、ESRおよびtanδ劣化の原因と
なる層間の剥離が抑制されるためである。また、前記第
二の導電性高分子化合物の外表面には導電性高分子化合
物粉末からなる凹凸を多数有しているため、両者の嵌合
は更に確実なものとなる。
That is, an increase in ESR and tan δ due to thermal history during mounting, which is a first problem in the prior art, is suppressed. In this method, the conductive polymer compound layer has a two-layer structure, and the second conductive polymer compound layer and the graphite layer on the outer peripheral portion of the element are formed using a suspension aqueous solution made of a water-soluble adhesive. And delamination between layers which causes tan δ deterioration is suppressed. Further, since the outer surface of the second conductive polymer compound has a large number of irregularities made of the conductive polymer compound powder, the fitting between the two is more reliable.

【0052】さらに、第二の問題点である実装時の熱応
力による漏れ電流の増大を抑制できる。これは、導電性
高分子化合物粉末と水溶性接着剤とを混合した懸濁水溶
液を用いて、このものに素子を浸漬し引き上げて所定温
度で乾燥させることにより、素子外周部に均一かつ十分
な厚みを有する第二の導電性高分子化合物層を形成で
き、実装時の熱応力による誘電体酸化皮膜の機械的な損
傷が抑制されるためである。
Further, an increase in leakage current due to thermal stress during mounting, which is the second problem, can be suppressed. This is achieved by using a suspension aqueous solution in which a conductive polymer compound powder and a water-soluble adhesive are mixed, immersing the element in the suspension, pulling it up, and drying it at a predetermined temperature, so that a uniform and sufficient peripheral part of the element is formed. This is because a second conductive polymer compound layer having a thickness can be formed, and mechanical damage to the dielectric oxide film due to thermal stress during mounting is suppressed.

【0053】また、第三の問題点である固体電解コンデ
ンサの実用温湿度条件下、特に、高温雰囲気下での使用
に伴なうESR、tanδの急激な増大を抑制できる。
この理由は、上述の方法により素子外周部に均一かつ、
十分な厚みを有する第二の導電性高分子化合物層、グラ
ファイト層を順次形成し、両者の嵌合を強化する事によ
り、高温雰囲気下での導電性高分子化合物層全体の抵抗
値増大の原因となる酸素および水分の侵入経路を遮断で
きるためである。
Further, it is possible to suppress the third problem, that is, a sharp increase in ESR and tan δ associated with use of the solid electrolytic capacitor under practical temperature and humidity conditions, particularly under a high temperature atmosphere.
The reason for this is that the above method uniformly and
A second conductive polymer compound layer and a graphite layer having a sufficient thickness are sequentially formed, and the fitting between the two is strengthened, thereby causing an increase in the resistance value of the entire conductive polymer compound layer in a high-temperature atmosphere. This is because it is possible to block the entry path of oxygen and moisture,

【0054】このように、本発明によれば、初期特性お
よび半田実装時の熱安定性に優れ、高温雰囲気下におい
ても、長期にわたり等価直列抵抗値の変化が小さい安定
した性能を有する固体電解コンデンサが得られる。
As described above, according to the present invention, a solid electrolytic capacitor having excellent initial characteristics and thermal stability during solder mounting, and having a stable performance with a small change in equivalent series resistance value over a long period of time even in a high-temperature atmosphere. Is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態の固体電解コンデンサの製
造方法を説明するための固体電解コンデンサの模式的断
面図であり、(a)は全体断面図、(b)は(a)の固
体電解コンデンサの誘電体酸化皮膜部の拡大断面図であ
る。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a solid electrolytic capacitor for describing a method of manufacturing a solid electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention, where (a) is an overall cross-sectional view and (b) is a solid state of (a). It is an expanded sectional view of the dielectric oxide film part of an electrolytic capacitor.

【図2】図1の固体電解コンデンサの一連の製造工程を
まとめたフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart summarizing a series of manufacturing steps of the solid electrolytic capacitor of FIG.

【図3】本発明により製造された固体電解コンデンサお
よび比較例の固体電解コンデンサの半田浸漬試験のta
nδ、ESRおよび漏れ電流測定結果である。
FIG. 3 shows a solder immersion test ta of a solid electrolytic capacitor manufactured according to the present invention and a solid electrolytic capacitor of a comparative example.
It is a measurement result of nδ, ESR and leakage current.

【図4】本発明により製造された固体電解コンデンサお
よび比較例の固体電解コンデンサの125℃高温放置に
おけるESRの経時変化の測定結果である。
FIG. 4 is a measurement result of a change over time in ESR of a solid electrolytic capacitor manufactured according to the present invention and a solid electrolytic capacitor of a comparative example when left at a high temperature of 125 ° C.

【図5】従来の導電性高分子化合物の固体電解質を使用
した固体電解コンデンサの拡大模式的断面図であり、
(a)は全体断面図、(b)は(a)の固体電解コンデ
ンサの誘電体酸化皮膜部の拡大断面図である。
FIG. 5 is an enlarged schematic cross-sectional view of a conventional solid electrolytic capacitor using a conductive polymer compound solid electrolyte;
(A) is an overall sectional view, and (b) is an enlarged sectional view of a dielectric oxide film portion of the solid electrolytic capacitor of (a).

【図6】図5の従来の固体電解コンデンサの一連の製造
工程をまとめたフローチャートである。
6 is a flowchart summarizing a series of manufacturing steps of the conventional solid electrolytic capacitor of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 弁作用金属 2 誘電体酸化皮膜 3 第一の導電性高分子化合物層 4 第二の導電性高分子化合物層 5 内部導電性高分子化合物層 6 外部導電性高分子化合物層 7 導電性粉末 8 グラファイト層 9 銀塗料層 10 電極端子 11 外装樹脂 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Valve metal 2 Dielectric oxide film 3 First conductive polymer compound layer 4 Second conductive polymer compound layer 5 Internal conductive polymer compound layer 6 External conductive polymer compound layer 7 Conductive powder 8 Graphite layer 9 Silver paint layer 10 Electrode terminal 11 Exterior resin

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 9/028 H01G 9/04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01G 9/028 H01G 9/04

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 弁作用金属粉末の焼結体からなる陽極表
面に誘電体酸化皮膜を形成する工程と、その酸化皮膜上
に密接して化学酸化重合により第一の導電性高分子化合
物層を形成する工程と、導電性高分子化合物懸濁水溶液
に浸漬し、前記第一の導電性高分子化合物層上に第二の
導電性高分子化合物層を形成する工程と、グラファイト
粉末含有懸濁水溶液に浸漬し、前記第二の導電性高分子
化合物層上にグラファイト層を形成後、銀塗料層を形成
し、陰極層を形成する工程を含むことを特徴する固体電
解コンデンサの製造方法。
1. A step of forming a dielectric oxide film on the surface of an anode made of a sintered body of a valve metal powder, and forming a first conductive polymer compound layer on the oxide film by chemical oxidation polymerization. Forming, immersing in a conductive polymer compound suspension aqueous solution, forming a second conductive polymer compound layer on the first conductive polymer compound layer, and a graphite powder-containing suspension aqueous solution And forming a graphite layer on the second conductive polymer compound layer, then forming a silver paint layer, and forming a cathode layer.
【請求項2】 前記導電性高分子化合物懸濁水溶液が導
電性高分子化合物の粉末と水溶性接着剤とを混合した懸
濁水溶液である請求項1記載の固体電解コンデンサの製
造方法。
2. The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the aqueous conductive polymer compound suspension is an aqueous suspension obtained by mixing a conductive polymer compound powder and a water-soluble adhesive.
【請求項3】 前記導電性高分子化合物懸濁水溶液の導
電性高分子化合物の粉末が、予め重合された後にドーパ
ントをドープして導電性を発現せしめた導電性高分子化
合物の粉末である請求項2記載の固体電解コンデンサの
製造方法。
3. The conductive polymer compound powder in the conductive polymer compound suspension aqueous solution is a conductive polymer compound powder that has been polymerized in advance and then doped with a dopant to exhibit conductivity. Item 3. A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to Item 2.
【請求項4】 前記第一および第二の導電性高分子化合
物層がピロール、アニリン、チオフェン、フラン、およ
びそれらの誘導体の重合体である請求項1記載の固体電
解コンデンサの製造方法。
4. The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein said first and second conductive polymer compound layers are polymers of pyrrole, aniline, thiophene, furan, and derivatives thereof.
【請求項5】 前記グラファイト粉末含有懸濁水溶液が
水溶性接着剤を含有する請求項1,2,3または4記載
の固体電解コンデンサの製造方法。
5. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein said graphite powder-containing suspension aqueous solution contains a water-soluble adhesive.
【請求項6】 前記導電性高分子化合物懸濁水溶液およ
び前記グラファイト粉末含有懸濁水溶液の水溶性接着剤
としてポリアクリロニトリル、メチルセルロース、ポリ
ビニルアルコール、メタクリル酸メチルおよびそれらの
誘導体を使用した請求項2または請求項5記載の固体電
解コンデンサの製造方法。
6. A method according to claim 2, wherein polyacrylonitrile, methylcellulose, polyvinyl alcohol, methyl methacrylate and derivatives thereof are used as a water-soluble adhesive for the aqueous conductive polymer compound suspension and the graphite powder-containing aqueous suspension. A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to claim 5.
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