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JP3161010B2 - Solder appearance inspection method - Google Patents

Solder appearance inspection method

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Publication number
JP3161010B2
JP3161010B2 JP07072392A JP7072392A JP3161010B2 JP 3161010 B2 JP3161010 B2 JP 3161010B2 JP 07072392 A JP07072392 A JP 07072392A JP 7072392 A JP7072392 A JP 7072392A JP 3161010 B2 JP3161010 B2 JP 3161010B2
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JP
Japan
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lead
light receiving
edge
solder
laser beam
Prior art date
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JP07072392A
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Japanese (ja)
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JPH05272933A (en
Inventor
浩文 松崎
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Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
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Publication of JPH05272933A publication Critical patent/JPH05272933A/en
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は電子部品のリードを基板
に接着する半田の外観検査方法に係り、レーザ光を受光
部側へ良好に反射させながら、半田の形状を計測するよ
うにしたものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting the appearance of solder for bonding a lead of an electronic component to a substrate and measuring the shape of the solder while satisfactorily reflecting a laser beam toward a light receiving portion. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICやLSIあるいはTABチップなど
の電子部品のリードを、半田により基板に接着した後、
この半田付状態の良否を判断する半田の外観検査が行わ
れる。
2. Description of the Related Art After bonding leads of electronic components such as ICs, LSIs or TAB chips to a substrate by soldering,
An appearance inspection of the solder is performed to determine the quality of the soldered state.

【0003】図8はレーザ光による従来の外観検査手段
を示すものであって、図中、1は電子部品の本体、2,
2’は本体1から延出するリード、3はリード2を基板
4の回路パターン7上に接着する半田、5はレーザ照射
器、6は受光部である。
FIG. 8 shows a conventional appearance inspection means using a laser beam. In the figure, reference numeral 1 denotes a main body of an electronic component;
2 'is a lead extending from the main body 1, 3 is a solder for bonding the lead 2 to the circuit pattern 7 of the substrate 4, 5 is a laser irradiator, and 6 is a light receiving section.

【0004】この従来の方法は、次のように行なわれ
る。まずレーザ光Lが、リード2の受光部6の反対側の
エッジE’から受光部6側のエッジEまでを完全に横断
するように、レーザ光Lをスキャンニング(方向N1)
させて、その反射光L’を受光部6に受光することによ
り、リード2のセンターAを求める。
[0004] This conventional method is performed as follows. First, the laser beam L is scanned (direction N1) so that the laser beam L completely traverses from the edge E 'on the lead 2 opposite to the light receiving section 6 to the edge E on the light receiving section 6 side.
Then, the center A of the lead 2 is obtained by receiving the reflected light L ′ in the light receiving section 6.

【0005】次いでこのセンターAを通るリード2の長
さ方向N2にレーザ光Lをスキャンニングさせて、その
反射光L’を受光部6に受光することにより、この方向
N2に沿った半田3の形状を計測し、その結果に基づい
て、半田3の形状の良否を判断する。
Then, the laser beam L is scanned in the length direction N2 of the lead 2 passing through the center A, and the reflected light L 'is received by the light receiving portion 6, so that the solder 3 along the direction N2 is formed. The shape is measured, and the quality of the shape of the solder 3 is determined based on the result.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、リード2の
断面は一般にかまぼこ状であって、その上面2aはアー
チ状に湾曲している。しかも、その曲率が常に一定にな
っているわけではないし、リード個々によっても、この
上面2aの形状にばらつきがある。
By the way, the cross section of the lead 2 is generally in a semicylindrical shape, and its upper surface 2a is curved in an arch shape. Moreover, the curvature is not always constant, and the shape of the upper surface 2a varies depending on the lead.

【0007】またこのため上記従来手段では、レーザ光
Lを上記N1方向にスキャンニングした場合、殊にリー
ド2の受光部6と反対側のエッジE’付近に照射された
レーザ光が、矢印aで示すように隣りのリード2’に2
次反射されて、その2次反射光aが受光部6に入射しや
すい。したがって、図9に示すように計測値を示す曲線
が大きくばたついて多数の凹凸部ができ、この曲線のみ
によっては、一体どの凸部が受光部6側のエッジEを示
すものであるか、にわかに判断しかねる場合が多い。こ
のことは、コンピュータを用いて、エッジEの位置を人
手を介さず求め、このエッジEを基準にリード2の長手
方向のスキャンニングをして、半田の自動外観検査を行
なう場合に大きなネックになるものである。
For this reason, according to the above-mentioned conventional means, when the laser beam L is scanned in the N1 direction, the laser beam radiated particularly near the edge E 'of the lead 2 on the side opposite to the light receiving section 6 is directed to the arrow a. As shown in the figure, 2
The second reflected light a is easily reflected on the light receiving section 6. Therefore, as shown in FIG. 9, the curve indicating the measured value largely fluctuates, and a large number of uneven portions are formed. Only this curve indicates which convex portion indicates the edge E on the light receiving portion 6 side, It is often difficult to judge quickly. This is a large bottleneck when a computer is used to determine the position of the edge E without manual intervention, scan the lead 2 in the longitudinal direction based on the edge E, and perform an automatic solder appearance inspection. It becomes.

【0008】そこで本発明は、上記従来手段の問題点を
解消し、半田の形状を良好に計測できる方法を提供する
ことを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the conventional means and to provide a method capable of favorably measuring the shape of solder.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】このために本発明は、本
体から延出するリードに向けて上方からレーザ光を照射
するレーザ照射器と、このリードからの反射光をこのリ
ードの斜め上方にて受光する受光部により、半田の外観
を検査するものであって、前記リードの上面の中央部に
前記レーザ光のスタート位置を設定し、このレーザ光を
前記レーザ照射器から前記受光部側へ向かう方向にスキ
ャンニングして、前記リードのこの受光部側のエッジを
検出するプロセスと、このエッジとこのリードのセンタ
ーの間にオフセット点を設定するプロセスと、上記オフ
セット点を通るリードの長さ方向にレーザ光をスキャン
ニングして、このリードの先端部に接着された半田の形
状を計測するプロセスを構成する。
For this purpose, the present invention provides a laser irradiator for irradiating a laser beam from above toward a lead extending from a main body, and a reflected light from this lead obliquely above the lead. A light receiving unit for receiving and receiving the light, inspects the appearance of the solder, sets a start position of the laser light at the center of the upper surface of the lead, and sends the laser light from the laser irradiator to the light receiving unit side. A process of scanning in the direction of the lead to detect the edge of the lead on the light receiving portion side, a process of setting an offset point between the edge and the center of the lead, and a length of the lead passing through the offset point. A laser beam is scanned in the direction to measure the shape of the solder adhered to the tip of the lead.

【0010】[0010]

【作用】上記構成によれば、レーザ光が、リードの受光
部反対側のエッジ付近に、照射されることはなく、上記
2次反射を回避して、計測値のばたつきを軽減すること
ができる。
According to the above construction, the laser beam is not irradiated near the edge of the lead on the side opposite to the light receiving portion, and the secondary reflection can be avoided to reduce the flutter of the measured value. .

【0011】[0011]

【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0012】図1は本発明に係る半田の外観検査手段を
示すものである。その構成は図8に示した従来手段とほ
ぼ同様のものであり、同一符号を付すことにより構成の
説明を省略する。なお、本手段では、レーザ光Lがリー
ド2に向けて垂直上方から照射できるように、レーザ照
射器5が配設され、このリード2からの反射光L’をリ
ード2の斜め上方にて受光する受光部6が設けられる。
FIG. 1 shows a solder appearance inspection means according to the present invention. The configuration is almost the same as the conventional means shown in FIG. 8, and the description of the configuration is omitted by attaching the same reference numerals. In this means, a laser irradiator 5 is provided so that the laser beam L can be irradiated from above vertically to the lead 2, and the reflected light L ′ from this lead 2 is received obliquely above the lead 2. A light receiving unit 6 is provided.

【0013】さて、まずリード2の上面2aの中央部C
にレーザ光Lのスタート位置Sを設定する(図1一部拡
大図参照)。このスタート位置Sは、中央部C内におい
て適当に設定することができるが、隣接するリード2’
による2次反射を確実に防止すべく、センターAよりも
受光部6側に設定することが望ましい。このように中央
部C内にスタート位置Sを設定することとしたので、図
2に示すように、設定されたスタート位置S(実線参
照)から、実際に計測する際の位置S’(鎖線参照)が
若干受光部6の反対側(矢印N3方向)にずれてしまっ
ても、レーザ光Lが受光部6の反対側のエッジE’付近
に照射されることはない。しかも、レーザ照射器5はリ
ード2に垂直上方からレーザ光Lを照射するようにして
あるので、レーザ光Lが隣接するリード2’により2次
反射されて、受光部6に入射するおそれはほとんどな
い。
First, the central portion C of the upper surface 2a of the lead 2
Is set to the start position S of the laser beam L (see FIG. 1 partially enlarged view). The start position S can be appropriately set in the central portion C, but the adjacent lead 2 ′
In order to surely prevent the secondary reflection due to light, it is desirable to set the position closer to the light receiving unit 6 than the center A. As described above, since the start position S is set in the central portion C, as shown in FIG. 2, a position S ′ (see a dashed line) at the time of actual measurement from the set start position S (see a solid line). ) Is slightly shifted to the opposite side (in the direction of the arrow N3) of the light receiving unit 6, the laser light L is not irradiated near the edge E 'on the opposite side of the light receiving unit 6. In addition, since the laser irradiator 5 irradiates the lead 2 with the laser light L from vertically above, there is almost no possibility that the laser light L is secondarily reflected by the adjacent lead 2 ′ and enters the light receiving section 6. Absent.

【0014】次にレーザ光Lを、レーザ照射器5から受
光部6側へ向かう方向(矢印N1方向)にスキャンニン
グする。すなわち、レーザ光Lはスタート位置Sからエ
ッジEを通り過ぎリード2から離れる。図3(a)は、
このスキャンニングにより得られた計測値のグラフを例
示するものである。なお図3(a)においてPはスキャ
ンニングの終点を示す。なおこのグラフにおいて、スタ
ート点Sと終点Pの中央がエッジEの位置になるように
しておく。
Next, the laser beam L is scanned in the direction from the laser irradiator 5 toward the light receiving section 6 (the direction of the arrow N1). That is, the laser beam L passes through the edge E from the start position S and leaves the lead 2. FIG. 3 (a)
FIG. 5 illustrates a graph of measured values obtained by this scanning. In FIG. 3A, P indicates the end point of the scanning. In this graph, the center of the start point S and the end point P is set to the position of the edge E.

【0015】さて、受光部6の反対側のエッジE’をス
キャンニングの対象外とし、隣接するリード2’からの
2次反射を回避しても、図3(a)に例示するように計
測値に凹凸があらわれることが多い。次に、図3(b)
〜(c)、図4、図5、図7を参照しながら、リード2
の受光部6側のエッジEを検出するプロセスを説明す
る。まず、この計測値に対し、移動平均法によるスムー
ジングを行い(図7のステップ4)、細かな凹凸部を取
り除いた滑らかな曲線とする(図3(b))。次に、こ
の曲線の凸点(図3(c)の△)と凹点(図3(c)の
▽)とを抽出する(図7のステップ5)。この凸点、凹
点は簡単な計算により求めることができるが、凸点、凹
点の個数を適当な数に収めるために、ある点を計算対象
とするときに、その点の前後の数点をも計算に入れ、あ
る程度勾配を平均化しながら計算すると良い。なお、ス
タート位置Sの次に凸点がある場合には、スタート点S
を凹点とし、終点Pの直前に凸点がある場合には、終点
Pを凹点とする。ここで、図3(c)において、D1,
D2,D3は凹点、U1,U2,U3,U4は凸点であ
る。
Now, even if the edge E 'on the opposite side of the light receiving section 6 is excluded from the scanning and the secondary reflection from the adjacent lead 2' is avoided, the measurement is performed as illustrated in FIG. Values often have irregularities. Next, FIG.
To FIG. 4, FIG. 5, FIG.
The process of detecting the edge E on the light receiving section 6 side will be described. First, the measured values are smoothed by the moving average method (Step 4 in FIG. 7) to obtain a smooth curve from which fine irregularities are removed (FIG. 3B). Next, a convex point (△ in FIG. 3C) and a concave point (▽ in FIG. 3C) of the curve are extracted (Step 5 in FIG. 7). These convex points and concave points can be obtained by a simple calculation. Should be included in the calculation, and the calculation should be performed while averaging the gradient to some extent. If there is a convex point next to the start position S, the start point S
Is a concave point, and if there is a convex point immediately before the end point P, the end point P is a concave point. Here, in FIG.
D2 and D3 are concave points, and U1, U2, U3 and U4 are convex points.

【0016】上記凸点U1,U2,U3,U4のうちの
いずれかが、エッジEの位置を示す凸点である。次に、
コンピュータなどを用いてこれらの凸点のうちいずれが
エッジEを示すものかを自動的に決定する際に有利な手
段を説明する。この手段は、図7のステップ6〜ステッ
プ11に示すように複数のパラメータH(i),X
(i),Y(i),Z(i)を計算し、これらの和S
(i)を求めて評価点表(図5)を作成し、評価点S
(i)により、上記凸点U1,U2,U3,U4のうち
のいずれの凸点が、エッジEに対するものであるかを決
定するものである。
One of the convex points U1, U2, U3, U4 is a convex point indicating the position of the edge E. next,
Advantageous means for automatically determining which of these convex points indicates the edge E using a computer or the like will be described. This means includes a plurality of parameters H (i), X as shown in steps 6 to 11 in FIG.
(I), Y (i), Z (i) are calculated, and their sum S
(I) is obtained, and an evaluation score table (FIG. 5) is created.
According to (i), it is determined which of the convex points U1, U2, U3, and U4 is the one corresponding to the edge E.

【0017】図7のステップ6の高さパラメータH
(i)は、図4(a)に示すように、基準線B.L.
(例えば計測値のグラフの横軸)からの、凸点U1,U
2,U3,U4の高さH1,H2,H3,H4と、リー
ド2のチップデータ(既知)のエッジEの高さHを比
べ、最もエッジEの高さHに近いものを求めるものであ
る。具体的には、 H(i)=(|H−Hi|/H)×K1 (但し、K1は重み係数、i=1,2,3,4) を計算し、H(i)が最小であれば求める凸点である確
からしさが大であると評価する。
The height parameter H in step 6 of FIG.
(I) shows the reference line B. as shown in FIG. L.
(For example, the horizontal axis of the graph of measured values)
The heights H1, H2, H3, H4 of U2, U3, U4 and the height H of the edge E of the chip data (known) of the lead 2 are compared, and the height H closest to the height H of the edge E is obtained. . Specifically, H (i) = (| H−Hi | / H) × K1 (where K1 is a weighting factor, i = 1, 2, 3, 4), and H (i) is minimized. If there is any, it is evaluated that the certainty of the required convex point is large.

【0018】同様に、図7のステップ7の位置パラメー
タX(i)は、図4(b)に示すように、スタート位置
Sと終点Pとの中心線S.L.(上述のように、スター
ト位置Sと終点Pを設定する際に、この線S.L.上に
エッジEが位置するようになっている)からの凸点U
1,U2,U3,U4までの距離X1,X2,X3,X
4を求め、 X(i)=Xi×K2 (但し、K2は重み係数、i=1,2,3,4) により求められる。X(i)が最小であれば上記確から
しさが大と評価する。
Similarly, as shown in FIG. 4B, the position parameter X (i) in step 7 in FIG. L. (As described above, when setting the start position S and the end point P, the edge E is positioned on this line SL.)
Distance X1, X2, X3, X to 1, U2, U3, U4
X (i) = Xi × K2 (where K2 is a weighting factor, i = 1, 2, 3, 4). If X (i) is the minimum, the above-mentioned certainty is evaluated as large.

【0019】また図7のステップ8の、次の凹点に対す
る落差パラメータY(i)は、図4(c)の各距離Y
1,Y2,Y3を求め、 Y(i)=(|H−Yi|/H)×K3 (但し、K3は重み係数、i=1,2,3) により求められる。
The drop parameter Y (i) for the next concave point in step 8 in FIG. 7 is the distance Y in FIG.
1, Y2, Y3, and Y (i) = (| H−Yi | / H) × K3 (where K3 is a weighting coefficient, i = 1, 2, 3).

【0020】さらに図7のステップ9の、直前の凹点に
対する落差パラメータZ(i)は、図4(d)の各距離
Z1,Z2,Z3,Z4を求め、 Z(i)=(Zi/H)×K4 (但し、K4は重み係数、i=1,2,3,4)に代入
して求められる。上記パラメータY(i)、Z(i)も
最小であれば上記確からしさが大と評価する。
Further, as for the drop parameter Z (i) for the immediately preceding concave point in step 9 in FIG. 7, the distances Z1, Z2, Z3, Z4 in FIG. 4 (d) are obtained, and Z (i) = (Zi / H) × K4 (where K4 is a weighting factor, i = 1, 2, 3, 4) and is obtained. If the parameters Y (i) and Z (i) are also minimum, it is evaluated that the certainty is large.

【0021】そして、図7のステップ10において、評
価点S(i)=H(i)+X(i)+Y(i)+Z
(i)を計算し、評価点S(i)が最小の凸点を、エッ
ジEに対応する凸点(決定点)とする(図7のステップ
12)。なお、これらのパラメータのうち一部を省略し
ても差支えないし、便宜重み係数K1,K2,K3,K
4を変更してもよい。
Then, in step 10 of FIG. 7, the evaluation point S (i) = H (i) + X (i) + Y (i) + Z
(I) is calculated, and the convex point having the smallest evaluation point S (i) is set as the convex point (decision point) corresponding to the edge E (step 12 in FIG. 7). It is to be noted that some of these parameters may be omitted, and the convenience weighting factors K1, K2, K3, K
4 may be changed.

【0022】次いでこのエッジE(決定点)と、リード
2のセンターAの間にオフセット点Bを設定する(図7
のステップ13)。リード2の横巾はチップデータに含
まれており既知であり、このオフセット点Bは簡単に設
定できる。
Next, an offset point B is set between the edge E (decision point) and the center A of the lead 2 (FIG. 7).
Step 13). The width of the lead 2 is included in the chip data and is known, and the offset point B can be easily set.

【0023】なお、図9(従来手段による計測値のグラ
フ)において、Kは受光部6と反対側のエッジE’によ
るレーザ光の異常反射を示しており、この異常反射のた
めにリード2のセンターAを正確に求めにくいことは、
発明が解決しようとする課題の項で述べた通りである。
In FIG. 9 (graph of measured values by the conventional means), K indicates an abnormal reflection of the laser beam due to the edge E 'on the opposite side to the light receiving section 6, and due to the abnormal reflection, the lead 2 The difficulty in finding center A accurately is
As described in the section of the problem to be solved by the invention.

【0024】次に図1に示すように、上記オフセット点
Bを通るリード2の長さ方向N2にレーザ光Lをスキャ
ンニングさせ、その反射光L’を上記受光部6に受光す
ることにより、このリード2の先端部の半田の形状を計
測する(図7のステップ14)。
Next, as shown in FIG. 1, the laser beam L is scanned in the longitudinal direction N2 of the lead 2 passing through the offset point B, and the reflected light L 'is received by the light receiving section 6, whereby The shape of the solder at the tip of the lead 2 is measured (Step 14 in FIG. 7).

【0025】図6は、このようにして計測されたリード
2の長さ方向N2の縦断形状を示すものであって、図
中、20がリード2の上面形状、30が半田3の上面形
状であり、この上面形状30から半田3の形状の良否を
判断する。
FIG. 6 shows the longitudinal shape of the lead 2 measured in this manner in the longitudinal direction N2. In FIG. 6, reference numeral 20 denotes the upper surface shape of the lead 2, and 30 denotes the upper surface shape of the solder 3. Yes, the shape of the solder 3 is determined from the upper surface shape 30.

【0026】このように本方法によれば、受光部6の反
対側のエッジE’によるレーザ光の2次反射による計測
値の狂いを回避し、エッジEの位置を求めやすくするこ
とができる。しかもエッジEの位置をコンピュータを用
い人手を介しない検査により検出することができ、半田
の外観検査の自動化を促進することができる。
As described above, according to the present method, it is possible to avoid the deviation of the measured value due to the secondary reflection of the laser beam due to the edge E 'on the opposite side of the light receiving section 6, and to easily find the position of the edge E. In addition, the position of the edge E can be detected by inspection using a computer without manual intervention, and automation of the appearance inspection of the solder can be promoted.

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明は本体から延出するリードに向け
て上方からレーザ光を照射するレーザ照射器と、このリ
ードからの反射光をこのリードの斜め上方にて受光する
受光部により、半田の外観を検査するものであって、前
記リードの上面の中央部に前記レーザ光のスタート位置
を設定し、このレーザ光を前記レーザ照射器から前記受
光部側へ向かう方向にスキャンニングして、前記リード
のこの受光部側のエッジを検出するプロセスと、このエ
ッジとこのリードのセンターの間にオフセット点を設定
するプロセスと、上記オフセット点を通るリードの長さ
方向にレーザ光をスキャンニングして、このリードの先
端部に接着された半田の形状を計測するプロセスを構成
したので、レーザ光がリードの受光部反対側のエッジ付
近に、照射されず、隣接するリードによる2次反射を回
避して、求める受光部側のエッジを検出しやすくするこ
とができる。またリードの長さ方向に沿ってレーザ光を
スキャンニングさせて、その反射光を受光部側へ確実に
反射させながら、半田の形状を良好に計測できる。
According to the present invention, a laser irradiator for irradiating a laser beam from above toward a lead extending from a main body and a light receiving portion for receiving reflected light from the lead obliquely above the lead are used for soldering. It is to inspect the appearance of, the start position of the laser light is set at the center of the upper surface of the lead, scanning this laser light in the direction from the laser irradiator toward the light receiving unit side, A process of detecting the edge of the lead on the light receiving portion side, a process of setting an offset point between the edge and the center of the lead, and scanning a laser beam in a length direction of the lead passing through the offset point. Since the process for measuring the shape of the solder adhered to the tip of the lead was configured, the laser light was not irradiated near the edge of the lead opposite to the light receiving section. To avoid secondary reflection by adjacent leads, it is possible to easily detect the light receiving portion side of the edge to be obtained. In addition, the shape of the solder can be satisfactorily measured while scanning the laser beam along the length direction of the lead and reliably reflecting the reflected light toward the light receiving section.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る外観検査手段の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a visual inspection unit according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例に係る断面図FIG. 2 is a cross-sectional view according to one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例に係る計測例の説明図FIG. 3 is an explanatory diagram of a measurement example according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例に係るパラメータの説明図FIG. 4 is an explanatory diagram of parameters according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施例に係る評価点の説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of evaluation points according to one embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施例に係る計測例の説明図FIG. 6 is an explanatory diagram of a measurement example according to one embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施例に係るフローチャートFIG. 7 is a flowchart according to an embodiment of the present invention.

【図8】従来手段の説明図FIG. 8 is an explanatory view of a conventional means.

【図9】従来手段の計測例の説明図FIG. 9 is an explanatory diagram of a measurement example of a conventional means.

【符号の説明】 1 本体 2 リード 2a リードの上面 2’ リード 3 半田 5 レーザ照射器 6 受光部 A リードのセンター B オフセット点 C 中央部 E 受光部側のエッジ L レーザ光 L’ 反射光 N1 受光部側へ向かう方向 N2 リードの長さ方向 S スタート位置[Description of Signs] 1 Main body 2 Lead 2a Upper surface of lead 2 'Lead 3 Solder 5 Laser irradiator 6 Light receiving section A Center of lead B Offset point C Central part E Edge on light receiving section L Laser light L' Reflected light N1 Light receiving Direction toward head N2 Lead length direction S Start position

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/24 G01N 21/956 H05K 3/34 512 H01L 21/66 Continued on the front page (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01B 11/24 G01N 21/956 H05K 3/34 512 H01L 21/66

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】本体から延出するリードに向けて上方から
レーザ光を照射するレーザ照射器と、このリードからの
反射光をこのリードの斜め上方にて受光する受光部によ
り、半田の外観を検査するものであって、前記リードの
上面の中央部に前記レーザ光のスタート位置を設定し、
このレーザ光を前記レーザ照射器から前記受光部側へ向
かう方向にスキャンニングして、前記リードのこの受光
部側のエッジを検出するプロセスと、このエッジとこの
リードのセンターの間にオフセット点を設定するプロセ
スと、上記オフセット点を通るリードの長さ方向にレー
ザ光をスキャンニングして、このリードの先端部に接着
された半田の形状を計測するプロセスと、から成ること
を特徴とする半田の外観検査方法。
1. A solder irradiator for irradiating a laser beam from above toward a lead extending from a main body, and a light receiving portion for receiving reflected light from the lead obliquely above the lead to form an external appearance of the solder. Inspection, setting the start position of the laser beam at the center of the upper surface of the lead,
A process of scanning the laser light in a direction from the laser irradiator toward the light receiving unit to detect an edge of the lead on the light receiving unit side, and an offset point between the edge and the center of the lead. A process of setting, and a process of scanning a laser beam in a length direction of the lead passing through the offset point, and measuring a shape of the solder adhered to a tip portion of the lead. Appearance inspection method.
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