JP3093849B2 - 可撓性積層圧電素子 - Google Patents
可撓性積層圧電素子Info
- Publication number
- JP3093849B2 JP3093849B2 JP03356667A JP35666791A JP3093849B2 JP 3093849 B2 JP3093849 B2 JP 3093849B2 JP 03356667 A JP03356667 A JP 03356667A JP 35666791 A JP35666791 A JP 35666791A JP 3093849 B2 JP3093849 B2 JP 3093849B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode layer
- piezoelectric
- piezoelectric element
- electrode
- laminated piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、全体として可撓性を有
するポリマー系積層圧電素子に関する。
するポリマー系積層圧電素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】分極処理した弗化ビニリデン系樹脂（以
下、代表的にＰＶＤＦと称する）をはじめとするポリマ
ー圧電体は、セラミックス圧電体と比較して、（１）可
撓性が大きく、薄膜化、大面積化、長尺化が容易で任意
の形状、形態のものを作ることができる；（２）静水圧
圧電ひずみ定数ｄh は同等またはそれ以下であるが、誘
電率εが小さいために、ｄh ／εで定まる静水圧電圧出
力係数（ｇh 定数）は極めて大となり、従って感度特性
が優れる；（３）低密度、低弾性であるため、音響イン
ピーダンス（音速×密度）が、水や生体の値に近く、従
って水や生体と素子との間での反射が少なく、効率のよ
いエネルギー伝播が可能である等の特性を有する。この
ような特性を生かして、ポリマー圧電体は、スピーカ
ー、マイクロホン、超音波探触子、ハイドロフォン、震
動計、ひずみ計、血圧計、バイモルフファン等の、一般
に電気−機械（音響）変換素子あるいは焦電変換素子と
して、広汎な用途への適用が提案され、あるいは実用化
されている。
下、代表的にＰＶＤＦと称する）をはじめとするポリマ
ー圧電体は、セラミックス圧電体と比較して、（１）可
撓性が大きく、薄膜化、大面積化、長尺化が容易で任意
の形状、形態のものを作ることができる；（２）静水圧
圧電ひずみ定数ｄh は同等またはそれ以下であるが、誘
電率εが小さいために、ｄh ／εで定まる静水圧電圧出
力係数（ｇh 定数）は極めて大となり、従って感度特性
が優れる；（３）低密度、低弾性であるため、音響イン
ピーダンス（音速×密度）が、水や生体の値に近く、従
って水や生体と素子との間での反射が少なく、効率のよ
いエネルギー伝播が可能である等の特性を有する。この
ような特性を生かして、ポリマー圧電体は、スピーカ
ー、マイクロホン、超音波探触子、ハイドロフォン、震
動計、ひずみ計、血圧計、バイモルフファン等の、一般
に電気−機械（音響）変換素子あるいは焦電変換素子と
して、広汎な用途への適用が提案され、あるいは実用化
されている。
【０００３】 フィルム状またはシート状のポリマー圧
電体（以下、包括的に、「ポリマー圧電体フィルム」と
称する。）を素子化するに際しては、通常その両面に電
極を設ける。この際に、電極としては、ポリマー圧電体
の、配向−分極等により付与された圧電特性をも含めた
耐熱性が、１００℃前後であることを考慮して、一般に
銅、アルミニウム等の蒸着電極あるいは接着剤により貼
付したこれら金属の箔電極が用いられている。またこの
ようにして形成した圧電素子の複数を積層して積層圧電
素子を形成することも知られている。しかし、金属の箔
電極を適用した素子にあっては、その柔軟性は大きく低
下し、ポリマー圧電体それ自体がもつ可撓性が十分に生
かされず、可撓性に起因する耐衝撃性、取り扱いの容易
さなどの利点が得られない結果となる。
電体（以下、包括的に、「ポリマー圧電体フィルム」と
称する。）を素子化するに際しては、通常その両面に電
極を設ける。この際に、電極としては、ポリマー圧電体
の、配向−分極等により付与された圧電特性をも含めた
耐熱性が、１００℃前後であることを考慮して、一般に
銅、アルミニウム等の蒸着電極あるいは接着剤により貼
付したこれら金属の箔電極が用いられている。またこの
ようにして形成した圧電素子の複数を積層して積層圧電
素子を形成することも知られている。しかし、金属の箔
電極を適用した素子にあっては、その柔軟性は大きく低
下し、ポリマー圧電体それ自体がもつ可撓性が十分に生
かされず、可撓性に起因する耐衝撃性、取り扱いの容易
さなどの利点が得られない結果となる。
【０００４】
【発明が解決すべき課題】本発明の主要な目的は、ポリ
マー圧電体の優れた可撓性をそれ程損なうことなく、剛
性の異なる電極の組合せにより特性の改善された可撓性
積層圧電素子を提供することにある。特に、可撓性の受
波素子にあっては、その可撓性の故に素子に曲げ応力が
加わると変形ノイズが発生する。本発明の別の目的は、
この変形ノイズを有効に抑制し得る構成を有する可撓性
積層圧電素子を提供することにある。
マー圧電体の優れた可撓性をそれ程損なうことなく、剛
性の異なる電極の組合せにより特性の改善された可撓性
積層圧電素子を提供することにある。特に、可撓性の受
波素子にあっては、その可撓性の故に素子に曲げ応力が
加わると変形ノイズが発生する。本発明の別の目的は、
この変形ノイズを有効に抑制し得る構成を有する可撓性
積層圧電素子を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等の研究によれ
ば、一対のポリマー圧電体フィルム間に中央電極層を設
け更に外側電極層で挾持して積層圧電素子を形成するに
際して、中央電極層の剛性を外側電極層に比べて相対的
に高めることにより、曲げ応力に対して固い中央電極層
が確実に中立軸又は中立面となって対称に変形するよう
になる。そのため、素子の曲げ変形において変形の対称
性が向上すること；そして、全体としての可撓性も良好
に維持され、加えてスピーカー、マイクロホン、超音波
探触子、ハイドロフォン、血圧計等の一般に送受波素子
としての使用における代表的な特性値である静水圧圧電
ひずみ定数ｄh の本質的な向上が得られること；更に
は、一対のポリマー圧電体フィルムの分極方向を考慮す
れば、受波素子としての上述の変形ノイズ抑制特性も他
の構成の素子に比べて有意に優れていること、などが見
出された。
ば、一対のポリマー圧電体フィルム間に中央電極層を設
け更に外側電極層で挾持して積層圧電素子を形成するに
際して、中央電極層の剛性を外側電極層に比べて相対的
に高めることにより、曲げ応力に対して固い中央電極層
が確実に中立軸又は中立面となって対称に変形するよう
になる。そのため、素子の曲げ変形において変形の対称
性が向上すること；そして、全体としての可撓性も良好
に維持され、加えてスピーカー、マイクロホン、超音波
探触子、ハイドロフォン、血圧計等の一般に送受波素子
としての使用における代表的な特性値である静水圧圧電
ひずみ定数ｄh の本質的な向上が得られること；更に
は、一対のポリマー圧電体フィルムの分極方向を考慮す
れば、受波素子としての上述の変形ノイズ抑制特性も他
の構成の素子に比べて有意に優れていること、などが見
出された。
【０００６】 本発明は、このような知見に基づくもの
であり、より詳しくは、剛性の大な中央電極層を一対の
ポリマー圧電体フィルム（上記定義のように「シート」
を含む）で挾持し、更に剛性の相対的に小な外側電極層
で挾持してなる全体として可撓性の積層圧電素子を提供
するものである。
であり、より詳しくは、剛性の大な中央電極層を一対の
ポリマー圧電体フィルム（上記定義のように「シート」
を含む）で挾持し、更に剛性の相対的に小な外側電極層
で挾持してなる全体として可撓性の積層圧電素子を提供
するものである。
【０００７】
【作用】中央電極層の剛性を一対の外側電極層に比して
相対的に高めることにより変形の対称性が向上するこ
と、更に静水圧圧電ひずみ定数ｄh の本質的な向上が得
られたことは、本発明者等にとっても意外な事であった
が、後者の理由は以下のように推定される。圧電体のｄ
h と、各要素方向圧電ひずみ定数ｄ31（面方向ｘ）、ｄ
32（面方向ｙ）およびｄ33（厚さ方向ｚ）の間には、ｄ
h ＝ｄ31＋ｄ32＋ｄ33の関係がある。ここで、一般的に
ポリマー圧電体においては、ｄ31＞０、ｄ32＞０、ｄ33
＜０かつ｜ｄ33｜＞ｄ31＋ｄ32の関係にある。従って、
ｄh にはｄ33が支配的であるが、本発明のように中央電
極層の剛性を高めることは、その両側のポリマー圧電体
フィルムの厚さ方向変形を阻害することなく、面方向変
形を抑制する（ｄ31→０、ｄ32→０）こととなり、ｄh
はｄ33に近付き、絶対値として増加する。更に、一対の
ポリマー圧電体フィルムの分極方向を逆向きとして受波
素子を構成すれば、一対のポリマー圧電体フィルムの変
形による電気出力が前述の向上した変形対称性のために
相殺されて、静水圧ひずみ出力のみが選択的に取り出さ
れることとなる。
相対的に高めることにより変形の対称性が向上するこ
と、更に静水圧圧電ひずみ定数ｄh の本質的な向上が得
られたことは、本発明者等にとっても意外な事であった
が、後者の理由は以下のように推定される。圧電体のｄ
h と、各要素方向圧電ひずみ定数ｄ31（面方向ｘ）、ｄ
32（面方向ｙ）およびｄ33（厚さ方向ｚ）の間には、ｄ
h ＝ｄ31＋ｄ32＋ｄ33の関係がある。ここで、一般的に
ポリマー圧電体においては、ｄ31＞０、ｄ32＞０、ｄ33
＜０かつ｜ｄ33｜＞ｄ31＋ｄ32の関係にある。従って、
ｄh にはｄ33が支配的であるが、本発明のように中央電
極層の剛性を高めることは、その両側のポリマー圧電体
フィルムの厚さ方向変形を阻害することなく、面方向変
形を抑制する（ｄ31→０、ｄ32→０）こととなり、ｄh
はｄ33に近付き、絶対値として増加する。更に、一対の
ポリマー圧電体フィルムの分極方向を逆向きとして受波
素子を構成すれば、一対のポリマー圧電体フィルムの変
形による電気出力が前述の向上した変形対称性のために
相殺されて、静水圧ひずみ出力のみが選択的に取り出さ
れることとなる。
【０００８】
【発明の具体的説明】従来、一般的に採用されていた積
層圧電素子は、図１に断面構造を示すように、それぞれ
両面に金属蒸着等による表面電極層２を設けた一対のポ
リマー圧電体フィルム１を接着剤層３等により貼合せた
構造を有し、それぞれの電極２には適当な治具あるいは
半田接合等により入出力のための電気的結線が施され
る。
層圧電素子は、図１に断面構造を示すように、それぞれ
両面に金属蒸着等による表面電極層２を設けた一対のポ
リマー圧電体フィルム１を接着剤層３等により貼合せた
構造を有し、それぞれの電極２には適当な治具あるいは
半田接合等により入出力のための電気的結線が施され
る。
【０００９】これに対し、図２は本発明の一実施例に従
う積層圧電素子の断面図であり、該積層圧電素子は、片
側に表面（外側）電極層として蒸着電極２を設けた一対
のポリマー圧電体フィルム１を、その電極層２形成面と
は逆側の面で接着剤３を介して剛性の中央電極層４と接
合してなるものである。必要に応じて、ポリマー圧電体
フィルム１の接着剤３との接触面側に電極層２を設ける
ようにしてもよい。
う積層圧電素子の断面図であり、該積層圧電素子は、片
側に表面（外側）電極層として蒸着電極２を設けた一対
のポリマー圧電体フィルム１を、その電極層２形成面と
は逆側の面で接着剤３を介して剛性の中央電極層４と接
合してなるものである。必要に応じて、ポリマー圧電体
フィルム１の接着剤３との接触面側に電極層２を設ける
ようにしてもよい。
【００１０】ポリマー圧電体フィルム１を構成するポリ
マー圧電体としては、比較的高い耐熱性を有するシアン
化ビニリデン−酢酸ビニル共重合体が好適に用いられる
ほか、優れた圧電特性のフッ化ビニリデン系樹脂圧電体
が好ましく、なかでも圧電性発現に適したβ型結晶化の
ために一軸延伸の必要なフッ化ビニリデン（ＶＤＦ）単
独重合体に比べて、通常の結晶条件化でβ型結晶化の可
能なＶＤＦ系共重合体（例えば優位量のＶＤＦと劣位量
のフッ化ビニル（ＶＦ）、トリフルオロエチレン（Ｔｒ
ＦＥ）あるいはテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）との
共重合体）が好ましく、更には優位量（特に７０〜８０
モル％）のＶＤＦと劣位量（特に３０〜２０モル％）の
ＴｒＦＥとの共重合体がもっとも好ましく用いられる。
マー圧電体としては、比較的高い耐熱性を有するシアン
化ビニリデン−酢酸ビニル共重合体が好適に用いられる
ほか、優れた圧電特性のフッ化ビニリデン系樹脂圧電体
が好ましく、なかでも圧電性発現に適したβ型結晶化の
ために一軸延伸の必要なフッ化ビニリデン（ＶＤＦ）単
独重合体に比べて、通常の結晶条件化でβ型結晶化の可
能なＶＤＦ系共重合体（例えば優位量のＶＤＦと劣位量
のフッ化ビニル（ＶＦ）、トリフルオロエチレン（Ｔｒ
ＦＥ）あるいはテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）との
共重合体）が好ましく、更には優位量（特に７０〜８０
モル％）のＶＤＦと劣位量（特に３０〜２０モル％）の
ＴｒＦＥとの共重合体がもっとも好ましく用いられる。
【００１１】これらポリマー圧電体材料は、溶融押出等
により成膜後、必要に応じて一軸延伸あるいは軟化温度
以下での熱処理、軟化温度以下での電界印加により分極
処理に付される。ポリマー圧電体フィルム１は、２０〜
２０００μｍ程度、特に１００〜１０００μｍの厚さを
有することが好ましい。フィルムの厚さが２０μｍ未満
では、用途によっては十分な送受波感度が得られない場
合がある。また、逆に２０００μｍを超えると、フィル
ムの可撓性が損なわれ、更に曲げ変形に対してフィルム
の剛性が支配的となることがあり好ましくない。また分
極に高電圧が必要となるため縁面放電が発生し分極処理
が極めて困難となる。
により成膜後、必要に応じて一軸延伸あるいは軟化温度
以下での熱処理、軟化温度以下での電界印加により分極
処理に付される。ポリマー圧電体フィルム１は、２０〜
２０００μｍ程度、特に１００〜１０００μｍの厚さを
有することが好ましい。フィルムの厚さが２０μｍ未満
では、用途によっては十分な送受波感度が得られない場
合がある。また、逆に２０００μｍを超えると、フィル
ムの可撓性が損なわれ、更に曲げ変形に対してフィルム
の剛性が支配的となることがあり好ましくない。また分
極に高電圧が必要となるため縁面放電が発生し分極処理
が極めて困難となる。
【００１２】ポリマー圧電体フィルム１の電極２との接
触面および／または接着剤３との接触面は、予め、粗面
化しておくことも好ましい。
触面および／または接着剤３との接触面は、予め、粗面
化しておくことも好ましい。
【００１３】本発明における外側電極２は、銅、アルミ
ニウム、銀、亜鉛、錫、ニッケル、金等の良導電性金属
の蒸着により、例えば厚さが０．０１〜０．２μｍ、特
に０．０２〜０．１μｍの範囲で形成することが好まし
い。また外側電極２をメッキ、特に無電解メッキで厚さ
が１０〜１００μｍ程度に形成することもできる。
ニウム、銀、亜鉛、錫、ニッケル、金等の良導電性金属
の蒸着により、例えば厚さが０．０１〜０．２μｍ、特
に０．０２〜０．１μｍの範囲で形成することが好まし
い。また外側電極２をメッキ、特に無電解メッキで厚さ
が１０〜１００μｍ程度に形成することもできる。
【００１４】中央電極層４の剛性は、例えば外側電極層
２（あるいは後述の溶射電極層５）の各々の剛性の４倍
以上であることが好ましく、一般にこのような中央電極
層としては、例えば、銅、アルミニウム、錫、亜鉛、
金、銀、白金等の良導電性の金属の厚さ６〜２００μ
ｍ、特に２０〜１２０μｍの箔が好ましく用いられる。
２（あるいは後述の溶射電極層５）の各々の剛性の４倍
以上であることが好ましく、一般にこのような中央電極
層としては、例えば、銅、アルミニウム、錫、亜鉛、
金、銀、白金等の良導電性の金属の厚さ６〜２００μ
ｍ、特に２０〜１２０μｍの箔が好ましく用いられる。
【００１５】なお、本発明でいう剛性とは、材料のヤン
グ率と断面二次モーメントの積として表現される量であ
る。ここで、断面二次モーメントは、Ｗ×Ｄ3 ／１２で
定義される量で、ＷとＤはそれぞれ材料の幅と厚みであ
る。従って、同一ヤング率、同一幅における比較では、
電極の剛性はその厚みの３乗によって対比される。
グ率と断面二次モーメントの積として表現される量であ
る。ここで、断面二次モーメントは、Ｗ×Ｄ3 ／１２で
定義される量で、ＷとＤはそれぞれ材料の幅と厚みであ
る。従って、同一ヤング率、同一幅における比較では、
電極の剛性はその厚みの３乗によって対比される。
【００１６】接着剤層３は、導電性粒子を分散させた導
電性の接着剤により形成することもできるが、より接着
強度の優れるエポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエ
ステル系樹脂、ブタジエン系樹脂、プロピレン系樹脂、
アクリル系樹脂等の接着剤により５〜４０μｍ程度の厚
さの層として形成することが好ましい。
電性の接着剤により形成することもできるが、より接着
強度の優れるエポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエ
ステル系樹脂、ブタジエン系樹脂、プロピレン系樹脂、
アクリル系樹脂等の接着剤により５〜４０μｍ程度の厚
さの層として形成することが好ましい。
【００１７】図３は、本発明の好ましい一態様に従い、
図２の蒸着電極層２の代りに溶射電極層５を外側電極層
として形成した例を示す。これ以外の点は、実質的に図
２の例と同様である。但し、溶射における耐熱性を考慮
して、ポリマー圧電体フィルム１の厚さは２００μｍ以
上、特に３００μｍ以上であることが好ましい。
図２の蒸着電極層２の代りに溶射電極層５を外側電極層
として形成した例を示す。これ以外の点は、実質的に図
２の例と同様である。但し、溶射における耐熱性を考慮
して、ポリマー圧電体フィルム１の厚さは２００μｍ以
上、特に３００μｍ以上であることが好ましい。
【００１８】蒸着電極層２の代りに、溶射電極層５を設
けることの利点としては、電極にリード線を半田接合す
る際にまたはその後の素子の取扱いの際などに半田周辺
部で生じる電極の亀裂や剥がれなどの不都合が少ないこ
とに加えて、蒸着電極層２に比べて剛性が多少大きく、
積層圧電素子全体としての可撓性を損なわない範囲で、
ｄh を向上する効果も認められる。
けることの利点としては、電極にリード線を半田接合す
る際にまたはその後の素子の取扱いの際などに半田周辺
部で生じる電極の亀裂や剥がれなどの不都合が少ないこ
とに加えて、蒸着電極層２に比べて剛性が多少大きく、
積層圧電素子全体としての可撓性を損なわない範囲で、
ｄh を向上する効果も認められる。
【００１９】 溶射電極５の材料としては、銅、アルミ
ニウム、亜鉛等が挙げられるが、中でも、比較的低温で
の溶射が可能であり、且つ半田接合性に優れた電極膜を
与える亜鉛または、亜鉛と銅等との合金が好ましく用い
られる。溶射被覆電極５の厚さは、良好な半田付性を与
え、圧電素子の可撓性を損なわない範囲で選択できる
が、一般に１０〜１００μｍ、特に２０〜５０μｍの範
囲で設定するのが好ましい。
ニウム、亜鉛等が挙げられるが、中でも、比較的低温で
の溶射が可能であり、且つ半田接合性に優れた電極膜を
与える亜鉛または、亜鉛と銅等との合金が好ましく用い
られる。溶射被覆電極５の厚さは、良好な半田付性を与
え、圧電素子の可撓性を損なわない範囲で選択できる
が、一般に１０〜１００μｍ、特に２０〜５０μｍの範
囲で設定するのが好ましい。
【００２０】電極５の形成に用いる溶射方法は、ポリマ
ー圧電体フィルム１の圧電特性を本質的に損なわないよ
うに、ポリマー圧電体フィルム１を過度に熱しないもの
であることが必要であり、線材アーク溶射あるいはガス
溶射（プラズマ溶射）が用いられ得る。特に、線材アー
ク溶射は、他の溶射方法に比べポリマー圧電体フィルム
１への熱負荷が少なく、好ましい実施形態であるが、そ
の場合でも溶射処理は圧電体フィルム１を必要に応じて
強制冷却された回転体上に置き、前記熱負荷を制御しな
がら行なうのが好ましい。
ー圧電体フィルム１の圧電特性を本質的に損なわないよ
うに、ポリマー圧電体フィルム１を過度に熱しないもの
であることが必要であり、線材アーク溶射あるいはガス
溶射（プラズマ溶射）が用いられ得る。特に、線材アー
ク溶射は、他の溶射方法に比べポリマー圧電体フィルム
１への熱負荷が少なく、好ましい実施形態であるが、そ
の場合でも溶射処理は圧電体フィルム１を必要に応じて
強制冷却された回転体上に置き、前記熱負荷を制御しな
がら行なうのが好ましい。
【００２１】 上記においては、図２および図３を参照
して本発明の積層圧電素子の好ましい態様を説明した
が、本発明の範囲内で、各種の変形が可能なことは容易
に理解できよう。例えば、図２および図３の例における
蒸着電極層２あるいは溶射電極層５の代りに、導電性ゴ
ム層を、可撓性の外側電極層として用いることもでき
る。また、図２および図３の外側電極層２または５の外
側に、一面に電極層を設けたポリマー圧電体フィルム１
を好ましくは複数層積層して多層としてもよい。一方、
中央電極層４は、前述の金属箔に限らず、相対的に大な
る剛性が確保される範囲でそれぞれのポリマー圧電体フ
ィルム面に形成された溶射電極を接着剤で張り合わせた
構成であってもよい。
して本発明の積層圧電素子の好ましい態様を説明した
が、本発明の範囲内で、各種の変形が可能なことは容易
に理解できよう。例えば、図２および図３の例における
蒸着電極層２あるいは溶射電極層５の代りに、導電性ゴ
ム層を、可撓性の外側電極層として用いることもでき
る。また、図２および図３の外側電極層２または５の外
側に、一面に電極層を設けたポリマー圧電体フィルム１
を好ましくは複数層積層して多層としてもよい。一方、
中央電極層４は、前述の金属箔に限らず、相対的に大な
る剛性が確保される範囲でそれぞれのポリマー圧電体フ
ィルム面に形成された溶射電極を接着剤で張り合わせた
構成であってもよい。
【００２２】なお図４〜図８は、本発明外の積層圧電素
子の各種積層構造を示すものであり、図中の符号１〜５
で示した部分は、図１〜図３で説明した対応符号部分と
同様である。
子の各種積層構造を示すものであり、図中の符号１〜５
で示した部分は、図１〜図３で説明した対応符号部分と
同様である。
【００２３】本発明の積層圧電素子を、例えば受波素子
として用いる場合、図３に対応して図９に示すように、
一対のポリマー圧電体フィルム１に施した分極方向ｐが
互いに逆向きとなるように配置し、一対の外側電極層５
からの導線ＡおよびＣを短絡接続し、中央電極層４から
の導線Ｂとの間での出力を、例えば電圧計６により測定
できるような配置を採ることが好ましい。これにより、
積層圧電素子に例えば曲げ応力が加えられたとしても、
一対のポリマー圧電体フィルム１からの電気出力、即
ち、端子ＡＢ間およびＡＣ間出力が相殺されて、静水圧
圧電ひずみ出力におけるノイズとしては現れにくくな
る。
として用いる場合、図３に対応して図９に示すように、
一対のポリマー圧電体フィルム１に施した分極方向ｐが
互いに逆向きとなるように配置し、一対の外側電極層５
からの導線ＡおよびＣを短絡接続し、中央電極層４から
の導線Ｂとの間での出力を、例えば電圧計６により測定
できるような配置を採ることが好ましい。これにより、
積層圧電素子に例えば曲げ応力が加えられたとしても、
一対のポリマー圧電体フィルム１からの電気出力、即
ち、端子ＡＢ間およびＡＣ間出力が相殺されて、静水圧
圧電ひずみ出力におけるノイズとしては現れにくくな
る。
【００２４】なお、本発明の中央電極層４の剛性効果に
よる静水圧圧電ひずみ定数ｄh の増加は、受波感度のみ
ならず送波感度の増加をももたらすものである。
よる静水圧圧電ひずみ定数ｄh の増加は、受波感度のみ
ならず送波感度の増加をももたらすものである。
【００２５】また、上記においては、本発明の積層圧電
素子の送受波素子としての有用性を特に説明してきた
が、本発明は、その中央電極層の剛性による対称な振動
特性を利用したバイモルフファン等の電気−機械変換素
子としても有用である。この場合、例えば、図３に対応
して図１０に示すように、一対のポリマー圧電体フィル
ムに施した分極方向ｐが同一方向となるように配置し、
交流電源７から電圧を印加することにより剛性な中央電
極層４を中立軸として上下に対称な団扇の扇風運動に似
た動作を繰り返す。
素子の送受波素子としての有用性を特に説明してきた
が、本発明は、その中央電極層の剛性による対称な振動
特性を利用したバイモルフファン等の電気−機械変換素
子としても有用である。この場合、例えば、図３に対応
して図１０に示すように、一対のポリマー圧電体フィル
ムに施した分極方向ｐが同一方向となるように配置し、
交流電源７から電圧を印加することにより剛性な中央電
極層４を中立軸として上下に対称な団扇の扇風運動に似
た動作を繰り返す。
【００２６】
【実施例および比較例】図１〜図８に示す積層構造を有
する積層圧電素子（積層したポリマー圧電体フィルム１
の分極方向は図９と同様に互いに逆向きとした）を、そ
れぞれ以下のようにして作製し、特性評価を行った。
する積層圧電素子（積層したポリマー圧電体フィルム１
の分極方向は図９と同様に互いに逆向きとした）を、そ
れぞれ以下のようにして作製し、特性評価を行った。
【００２７】（対照例）まず、ポリマー圧電体フィルム
１の基礎特性を測定するために、アルミニウム（Ａｌ）
蒸着フィルムを形成した。
１の基礎特性を測定するために、アルミニウム（Ａｌ）
蒸着フィルムを形成した。
【００２８】すなわち、ＶＤＦ／ＴｒＦＥ（７５／２５
モル比）共重合体（呉羽化学工業製）をダイス温度２６
５℃でシート押出しし、１２５℃で１３時間の熱処理
後、７５ＭＶ／ｍの電界下、１２３℃での保持時間５
分、昇降時間を含めて全１時間の分極処理を行い、厚さ
５００μｍのポリマー圧電体フィルム１を得、更に２０
ｍｍ幅でマシン方向（ＭＤ）にスリットして長さ１２０
ｍのサンプルフィルムを得た。次いで、このサンプルフ
ィルムについてその長さ方向の両端部１０ｍｍを電極空
白部として両面に０．０３μｍのＡｌ蒸着層を形成し、
図１１のように配線してｄh 定数を測定した（測定法は
後記）。
モル比）共重合体（呉羽化学工業製）をダイス温度２６
５℃でシート押出しし、１２５℃で１３時間の熱処理
後、７５ＭＶ／ｍの電界下、１２３℃での保持時間５
分、昇降時間を含めて全１時間の分極処理を行い、厚さ
５００μｍのポリマー圧電体フィルム１を得、更に２０
ｍｍ幅でマシン方向（ＭＤ）にスリットして長さ１２０
ｍのサンプルフィルムを得た。次いで、このサンプルフ
ィルムについてその長さ方向の両端部１０ｍｍを電極空
白部として両面に０．０３μｍのＡｌ蒸着層を形成し、
図１１のように配線してｄh 定数を測定した（測定法は
後記）。
【００２９】図１〜図８の素子の作製に先立ち、上記構
成のＡｌ蒸着サンプル圧電体フィルムを各２枚用意し、
それぞれｄh 定数を測定した。
成のＡｌ蒸着サンプル圧電体フィルムを各２枚用意し、
それぞれｄh 定数を測定した。
【００３０】（図１の素子：比較例）上記対照例のＡｌ
蒸着サンプル圧電体フィルムの２枚を、スチレン・ブタ
ジエン共重合体（ＳＢＲ）を主成分とする接着剤（住友
スリーエム（株）製「ＳＧ４６９３」）の厚さ約２０μ
ｍの層３により接着して図１の素子を得た。
蒸着サンプル圧電体フィルムの２枚を、スチレン・ブタ
ジエン共重合体（ＳＢＲ）を主成分とする接着剤（住友
スリーエム（株）製「ＳＧ４６９３」）の厚さ約２０μ
ｍの層３により接着して図１の素子を得た。
【００３１】 （図２の素子：実施例） 上記対照例による一対のＡｌ蒸着サンプル圧電体フィル
ムの片側Ａｌ蒸着電極２をそれぞれエタノールにより除
去し、それぞれを、厚さ約２０μｍの図１の素子と同じ
接着剤層３を両面に設けた厚さ約７０μｍの銅（Ｃｕ）
箔電極４の両面に接着して図２の素子を得た。
ムの片側Ａｌ蒸着電極２をそれぞれエタノールにより除
去し、それぞれを、厚さ約２０μｍの図１の素子と同じ
接着剤層３を両面に設けた厚さ約７０μｍの銅（Ｃｕ）
箔電極４の両面に接着して図２の素子を得た。
【００３２】 （図３の素子：実施例） 上記対照例による一対のＡｌ蒸着サンプル圧電体フィル
ムの両側Ａｌ蒸着電極２をそれぞれ除去して２枚のポリ
マー圧電体フィルム１を得、それぞれを、厚さ約２０μ
ｍの図１の素子と同じ接着剤層３を両面に設けた厚さ約
７０μｍのＣｕ箔電極４の両面に接着後、更にこのよう
にして貼付したポリマー圧電体フィルム１の他方の面を
粒度♯６０のアルミナ系研磨剤で表面をサンドブラスト
して粗面化後、電気溶線式溶射機（加藤メタリコン
（株）製、電極式金属溶射機Ｅ型）を用い、エアー圧力
５ｋｇ／ｃｍ2 、電圧１５Ｖの条件で溶射を行ない厚さ
約４０μｍの亜鉛溶射電極５を形成して、図３の素子を
得た。
ムの両側Ａｌ蒸着電極２をそれぞれ除去して２枚のポリ
マー圧電体フィルム１を得、それぞれを、厚さ約２０μ
ｍの図１の素子と同じ接着剤層３を両面に設けた厚さ約
７０μｍのＣｕ箔電極４の両面に接着後、更にこのよう
にして貼付したポリマー圧電体フィルム１の他方の面を
粒度♯６０のアルミナ系研磨剤で表面をサンドブラスト
して粗面化後、電気溶線式溶射機（加藤メタリコン
（株）製、電極式金属溶射機Ｅ型）を用い、エアー圧力
５ｋｇ／ｃｍ2 、電圧１５Ｖの条件で溶射を行ない厚さ
約４０μｍの亜鉛溶射電極５を形成して、図３の素子を
得た。
【００３３】 （図４〜図８の素子：比較例） 更に、それぞれ上記対照例による２枚のＡｌ蒸着サンプ
ル圧電体フィルムを用い、上記図１〜図３の素子の形成
法に準じて、必要に応じてＡｌ蒸着電極２を除去後、厚
さ約２０μｍの図１の素子と同じ接着剤層３による厚さ
約７０μｍのＣｕ箔電極４の貼付あるいは厚さ約４０μ
ｍの亜鉛溶射電極５の形成を行ない、図４〜図８に示す
素子を得た。
ル圧電体フィルムを用い、上記図１〜図３の素子の形成
法に準じて、必要に応じてＡｌ蒸着電極２を除去後、厚
さ約２０μｍの図１の素子と同じ接着剤層３による厚さ
約７０μｍのＣｕ箔電極４の貼付あるいは厚さ約４０μ
ｍの亜鉛溶射電極５の形成を行ない、図４〜図８に示す
素子を得た。
【００３４】次いで上記で得られた図１〜図８の素子に
ついて、更に例えば図１の素子について図１２として示
すように結線を行ない、上層圧電体フィルム（端子ＡＢ
間）または下層圧電体フィルム（端子ＢＣ間）において
それぞれｄh 定数を測定した。なお、材料の銅、亜鉛、
アルミニウムのヤング率は、それぞれ約１１０、９７、
６８×１０9 ニュートン（Ｎ）／ｍ2 である。
ついて、更に例えば図１の素子について図１２として示
すように結線を行ない、上層圧電体フィルム（端子ＡＢ
間）または下層圧電体フィルム（端子ＢＣ間）において
それぞれｄh 定数を測定した。なお、材料の銅、亜鉛、
アルミニウムのヤング率は、それぞれ約１１０、９７、
６８×１０9 ニュートン（Ｎ）／ｍ2 である。
【００３５】また、上記図１〜図８の素子のそれぞれに
ついて、ｄh 定数、たわみ荷重特性、および、ノイズ特
性（キャンセル効果）の測定を行なった。各測定方法は
以下の通りである。、 ｄh 定数測定：耐圧容器に入れたシリコン油中に試料素
子を浸漬し、容器に窒素ガス源から圧力Ｐ（ニュートン
（Ｎ）／ｍ2 ）を加えながら試料の電荷量Ｑ（クーロン
（Ｃ））を測定する。そして、ゲージ圧２ｋｇ／ｃｍ2
近辺での圧力上昇ｄＰに対する電荷の増加量ｄＱを得、
下式で計算した。
ついて、ｄh 定数、たわみ荷重特性、および、ノイズ特
性（キャンセル効果）の測定を行なった。各測定方法は
以下の通りである。、 ｄh 定数測定：耐圧容器に入れたシリコン油中に試料素
子を浸漬し、容器に窒素ガス源から圧力Ｐ（ニュートン
（Ｎ）／ｍ2 ）を加えながら試料の電荷量Ｑ（クーロン
（Ｃ））を測定する。そして、ゲージ圧２ｋｇ／ｃｍ2
近辺での圧力上昇ｄＰに対する電荷の増加量ｄＱを得、
下式で計算した。
【００３６】ｄh ＝（ｄＱ／ｄＰ）／Ａ 単位は、Ｃ／Ｎである。ここで、Ａは電極面積（ｍ2 ）
である。
である。
【００３７】たわみ荷重：図１３に示すように試料素子
を間隔４ｃｍの二支点で支え、支点の中心で試料に５ｍ
ｍ／分の速度で荷重Ｗを加えて２ｍｍたわませるのに要
した１ｃｍ幅当たりの荷重値を求め、たわみ荷重（ｋｇ
／ｃｍ）とした。
を間隔４ｃｍの二支点で支え、支点の中心で試料に５ｍ
ｍ／分の速度で荷重Ｗを加えて２ｍｍたわませるのに要
した１ｃｍ幅当たりの荷重値を求め、たわみ荷重（ｋｇ
／ｃｍ）とした。
【００３８】 ノイズ特性：図１〜図８の素子の各々に
ついて、素子の一方の端部の前記電極空白部を固定した
支点として、他端が振幅約１０ｍｍとなるように振動さ
せた時の端子ＡＣ−Ｂ間（例えば図３の素子について図
９に示すようにＡＣ間を短絡）および端子Ａ−Ｂ間（端
子Ｂ−Ｃ間を開放）と端子Ｂ−Ｃ間（Ａ−Ｂ間を開放）
における出力をディジタルオシロスコープ（ＤＬ−２２
４０型、横河電機（株））により測定した。そして、そ
の出力波形のオシログラフから出力電圧のピーク値の平
均を求め、端子ＡＣ−Ｂ間の出力平均／端子Ａ−Ｂ間の
出力平均および端子Ｂ−Ｃ間の出力平均のうち大きい方
の値の比が１／４以上を×、１／６以上１／４未満を
△、１／６未満を◯とした。
ついて、素子の一方の端部の前記電極空白部を固定した
支点として、他端が振幅約１０ｍｍとなるように振動さ
せた時の端子ＡＣ−Ｂ間（例えば図３の素子について図
９に示すようにＡＣ間を短絡）および端子Ａ−Ｂ間（端
子Ｂ−Ｃ間を開放）と端子Ｂ−Ｃ間（Ａ−Ｂ間を開放）
における出力をディジタルオシロスコープ（ＤＬ−２２
４０型、横河電機（株））により測定した。そして、そ
の出力波形のオシログラフから出力電圧のピーク値の平
均を求め、端子ＡＣ−Ｂ間の出力平均／端子Ａ−Ｂ間の
出力平均および端子Ｂ−Ｃ間の出力平均のうち大きい方
の値の比が１／４以上を×、１／６以上１／４未満を
△、１／６未満を◯とした。
【００３９】
【表１】
【００４０】 上表の結果より明らかな通り、Ａｌ蒸着
圧電体フィルム単層での対照値と積層された圧電素子と
して測定された値（表の上層、下層）とを対比して見た
場合、剛性の大な中央電極層４を有する図２、３、５〜
７の素子は顕著なｄh 定数の増加を示している。しか
し、実施例に相当する図２および図３の素子が、小なる
たわみ荷重で代表される良好な可撓性を維持し、且つ良
好なノイズキャンセル効果を示すのに対して、図５〜７
の素子は顕著なたわみ荷重の増加を示し、また図５およ
び６の素子では良好なノイズキャンセル効果も得られな
い。また、図１の素子は素材の剛性の点で上下対称であ
るにもかかわらず、十分なノイズキャンセル効果は得ら
れていない。これは、図１の素子には明確な中立軸がな
いためと考えられる。
圧電体フィルム単層での対照値と積層された圧電素子と
して測定された値（表の上層、下層）とを対比して見た
場合、剛性の大な中央電極層４を有する図２、３、５〜
７の素子は顕著なｄh 定数の増加を示している。しか
し、実施例に相当する図２および図３の素子が、小なる
たわみ荷重で代表される良好な可撓性を維持し、且つ良
好なノイズキャンセル効果を示すのに対して、図５〜７
の素子は顕著なたわみ荷重の増加を示し、また図５およ
び６の素子では良好なノイズキャンセル効果も得られな
い。また、図１の素子は素材の剛性の点で上下対称であ
るにもかかわらず、十分なノイズキャンセル効果は得ら
れていない。これは、図１の素子には明確な中立軸がな
いためと考えられる。
【００４１】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、比較
的剛性の大な中央電極層を一対のポリマー圧電体フィル
ムで挾持し、更に剛性の小な外側電極層で挾持した構造
を採ることにより、全体として良好な可撓性を維持しつ
つ、静水圧圧電ひずみ定数ｄhで代表される良好な圧電
特性および対称な振動特性を有する積層圧電素子が得ら
れ、また一対のポリマー圧電体フィルムに付与する分極
方向を互いに逆向きとすることにより良好なノイズキャ
ンセル特性も得られる。
的剛性の大な中央電極層を一対のポリマー圧電体フィル
ムで挾持し、更に剛性の小な外側電極層で挾持した構造
を採ることにより、全体として良好な可撓性を維持しつ
つ、静水圧圧電ひずみ定数ｄhで代表される良好な圧電
特性および対称な振動特性を有する積層圧電素子が得ら
れ、また一対のポリマー圧電体フィルムに付与する分極
方向を互いに逆向きとすることにより良好なノイズキャ
ンセル特性も得られる。
【図１】比較積層圧電素子の模式断面図。
【図２】本発明の積層圧電素子の一実施例の模式断面
図。
図。
【図３】本発明の積層圧電素子の他の実施例の模式断面
図。
図。
【図４】比較積層圧電素子の模式断面図。
【図５】比較積層圧電素子の模式断面図。
【図６】比較積層圧電素子の模式断面図。
【図７】比較積層圧電素子の模式断面図。
【図８】比較積層圧電素子の模式断面図。
【図９】受波素子として構成した本発明の積層圧電素子
の一実施例の模式断面図。
の一実施例の模式断面図。
【図１０】バイモルフ振動子として構成した本発明の積
層圧電素子の一実施例の模式断面図。
層圧電素子の一実施例の模式断面図。
【図１１】単層圧電素子についてのｄh 定数測定状態を
示す模式断面図。
示す模式断面図。
【図１２】積層圧電素子の各層についてのｄh 定数測定
状態を示す模式断面図。
状態を示す模式断面図。
【図１３】たわみ荷重測定法を示す模式図。
１：ポリマー圧電体フィルム ２：蒸着電極層 ３：接着剤層 ４：中央電極層及び／又は金属箔 ５：溶射電極層 ６：電圧計 ７：交流電源
Claims (5)
- 【請求項１】 剛性の大な中央電極層を一対のポリマー
圧電体フィルムまたはシートで挾持し、更に剛性の相対
的に小な外側電極層で挾持してなる全体として可撓性の
積層圧電素子。 - 【請求項２】 中央電極層が金属箔電極からなりその両
面に前記一対のポリマー圧電体フィルムまたはシートが
接着剤により貼付されてなる請求項１に記載の素子。 - 【請求項３】 外側電極層が蒸着被覆電極からなる請求
項１または２に記載の素子。 - 【請求項４】 外側電極層が溶射被覆電極からなる請求
項１または２に記載の素子。 - 【請求項５】 前記一対のポリマー圧電体フィルムまた
はシートは、それらの分極方向が互いに逆向きとなるよ
うに配置されてなる請求項１〜４のいずれかに記載の素
子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03356667A JP3093849B2 (ja) | 1991-08-09 | 1991-12-26 | 可撓性積層圧電素子 |
| US07/925,279 US5288551A (en) | 1991-08-09 | 1992-08-06 | Flexible piezoelectric device |
| EP19920113422 EP0528279B1 (en) | 1991-08-09 | 1992-08-06 | Flexible piezoelectric device |
| DE69215599T DE69215599T2 (de) | 1991-08-09 | 1992-08-06 | Biegsame piezoelektrische Vorrichtung |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-70619 | 1991-08-09 | ||
| JP7061991 | 1991-08-09 | ||
| JP03356667A JP3093849B2 (ja) | 1991-08-09 | 1991-12-26 | 可撓性積層圧電素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06216422A JPH06216422A (ja) | 1994-08-05 |
| JP3093849B2 true JP3093849B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=26411749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03356667A Expired - Lifetime JP3093849B2 (ja) | 1991-08-09 | 1991-12-26 | 可撓性積層圧電素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3093849B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009079154A2 (en) * | 2007-11-23 | 2009-06-25 | Drexel University | Lead-free piezoelectric ceramic films and a method for making thereof |
| US8481335B2 (en) | 2006-11-27 | 2013-07-09 | Drexel University | Specificity and sensitivity enhancement in cantilever sensing |
| US8562546B2 (en) | 2008-05-16 | 2013-10-22 | Drexel University | System and method for evaluating tissue |
| US8722427B2 (en) | 2009-10-08 | 2014-05-13 | Drexel University | Determination of dissociation constants using piezoelectric microcantilevers |
| US8741663B2 (en) | 2008-03-11 | 2014-06-03 | Drexel University | Enhanced detection sensitivity with piezoelectric sensors |
| US8927259B2 (en) | 2006-11-28 | 2015-01-06 | Drexel University | Piezoelectric microcantilever sensors for biosensing |
| US9618497B2 (en) | 2004-05-24 | 2017-04-11 | Drexel University | All electric piezoelectric finger sensor (PEFS) for soft material stiffness measurement |
| CN106575698B (zh) * | 2014-08-18 | 2020-05-01 | 株式会社村田制作所 | 压电传感器以及弯曲检测传感器 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4354549B2 (ja) * | 1998-08-28 | 2009-10-28 | 株式会社産機 | 搬送装置の駆動素子 |
| JP2000332313A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜圧電型バイモルフ素子及びその応用 |
| JP2005347364A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 伸縮可能な圧電素子 |
| JP4427665B2 (ja) * | 2004-07-28 | 2010-03-10 | 国立大学法人広島大学 | 曲げ変形センサおよび変形測定装置 |
| WO2009037920A1 (ja) * | 2007-09-18 | 2009-03-26 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | ポリウレア樹脂組成物、有機圧焦電体膜、その形成方法、超音波振動子、超音波探触子、及び超音波医用画像診断装置 |
| JP5338681B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2013-11-13 | コニカミノルタ株式会社 | 有機圧電材料、その製造方法、それを用いた超音波振動子及び超音波探触子 |
| JP5407871B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2014-02-05 | コニカミノルタ株式会社 | 有機圧電材料、その製造方法、それを用いた超音波振動子及び超音波探触子 |
| WO2009113432A1 (ja) * | 2008-03-14 | 2009-09-17 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 有機圧電材料、それを用いた超音波振動子、その製造方法、超音波探触子及び超音波医用画像診断装置 |
| US8981625B2 (en) | 2009-04-14 | 2015-03-17 | Konica Minolta Medical & Graphics, Inc. | Organic piezoelectric material, ultrasound probe, and ultrasound image detector |
| US8968591B2 (en) | 2009-05-25 | 2015-03-03 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Organic piezoelectric material, ultrasound transducer, ultrasound probe, and ultrasound medical diagnostic imaging system |
| CN107615030B (zh) | 2015-05-29 | 2020-05-01 | 株式会社村田制作所 | 压电膜传感器以及保持状态检测装置 |
| CN113043582B (zh) * | 2019-12-26 | 2023-03-31 | 中国科学技术大学 | 一种提高聚合物材料压电响应的方法 |
| KR20210085954A (ko) | 2019-12-31 | 2021-07-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 플렉서블 진동 필름 및 이를 구비한 표시 장치 |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP03356667A patent/JP3093849B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9945835B2 (en) | 2004-05-24 | 2018-04-17 | Drexel University | All electric piezoelectric finger sensor (PEFS) for soft material stiffness measurement |
| US9618497B2 (en) | 2004-05-24 | 2017-04-11 | Drexel University | All electric piezoelectric finger sensor (PEFS) for soft material stiffness measurement |
| US8481335B2 (en) | 2006-11-27 | 2013-07-09 | Drexel University | Specificity and sensitivity enhancement in cantilever sensing |
| US8927259B2 (en) | 2006-11-28 | 2015-01-06 | Drexel University | Piezoelectric microcantilever sensors for biosensing |
| US9274087B2 (en) | 2006-11-28 | 2016-03-01 | Drexel University | Piezoelectric microcantilever sensors for biosensing |
| WO2009079154A3 (en) * | 2007-11-23 | 2009-10-22 | Drexel University | Lead-free piezoelectric ceramic films and a method for making thereof |
| US8241569B2 (en) | 2007-11-23 | 2012-08-14 | Drexel University | Lead-free piezoelectric ceramic films and a method for making thereof |
| US8496870B2 (en) | 2007-11-23 | 2013-07-30 | Drexel University | Lead-free piezoelectric ceramic films and a method for making thereof |
| US8715575B2 (en) | 2007-11-23 | 2014-05-06 | Drexel University | Lead-free piezoelectric ceramic films and a method for making thereof |
| WO2009079154A2 (en) * | 2007-11-23 | 2009-06-25 | Drexel University | Lead-free piezoelectric ceramic films and a method for making thereof |
| US8741663B2 (en) | 2008-03-11 | 2014-06-03 | Drexel University | Enhanced detection sensitivity with piezoelectric sensors |
| US9488622B2 (en) | 2008-03-11 | 2016-11-08 | Drexel University | Enhanced detection sensitivity with piezoelectric microcantilever sensors |
| US8845555B2 (en) | 2008-05-16 | 2014-09-30 | Drexel University | System and method for evaluating tissue |
| US8562546B2 (en) | 2008-05-16 | 2013-10-22 | Drexel University | System and method for evaluating tissue |
| US10076247B2 (en) | 2008-05-16 | 2018-09-18 | Wan Y. Shih | System and method for evaluating tissue |
| US8722427B2 (en) | 2009-10-08 | 2014-05-13 | Drexel University | Determination of dissociation constants using piezoelectric microcantilevers |
| CN106575698B (zh) * | 2014-08-18 | 2020-05-01 | 株式会社村田制作所 | 压电传感器以及弯曲检测传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06216422A (ja) | 1994-08-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3093849B2 (ja) | 可撓性積層圧電素子 | |
| EP0528279B1 (en) | Flexible piezoelectric device | |
| US5153859A (en) | Laminated piezoelectric structure and process of forming the same | |
| US4342936A (en) | High deflection bandwidth product polymeric piezoelectric flexure mode device and method of making same | |
| JP3270527B2 (ja) | 筒状ないし曲面化圧電素子 | |
| US20220103949A1 (en) | Electroacoustic conversion film and electroacoustic converter | |
| JP3160070B2 (ja) | 振動−電気エネルギー変換素子 | |
| JP2011192665A (ja) | Ｐｖｄｆを含む無添加・無延伸の圧電体および圧電センサ | |
| US20230363284A1 (en) | Piezoelectric film | |
| US20230127642A1 (en) | Piezoelectric element | |
| US12069429B2 (en) | Piezoelectric film | |
| JP3105645B2 (ja) | 圧電素子およびその製造方法 | |
| CN114667611A (zh) | 压电元件 | |
| US20220279283A1 (en) | Piezoelectric element | |
| JPH0587974U (ja) | 積層圧電素子 | |
| CN110832653A (zh) | 振动传感器和压电元件 | |
| US20230421964A1 (en) | Piezoelectric film and laminated piezoelectric element | |
| JP3121416B2 (ja) | 可撓性圧電素子 | |
| JPH0774407A (ja) | 圧電性高分子膜、表面波圧電素子および超音波トランスデューサ | |
| WO2022190715A1 (ja) | 圧電フィルム | |
| JPH07160265A (ja) | ギター用圧電変換器 | |
| US20240407266A1 (en) | Piezoelectric element and electroacoustic transducer | |
| JP2002076459A (ja) | 可撓性圧電素子 | |
| US20240260476A1 (en) | Piezoelectric film and laminated piezoelectric element | |
| JPH03224281A (ja) | 圧電積層体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080728 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080728 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 12 |