JP3090088B2 - クリーンルームのファンフィルタユニット - Google Patents
クリーンルームのファンフィルタユニットInfo
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- JP3090088B2 JP3090088B2 JP09131285A JP13128597A JP3090088B2 JP 3090088 B2 JP3090088 B2 JP 3090088B2 JP 09131285 A JP09131285 A JP 09131285A JP 13128597 A JP13128597 A JP 13128597A JP 3090088 B2 JP3090088 B2 JP 3090088B2
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造分野
などに適用する垂直層流型クリーンルームの天井側に配
備し、清浄エアをクリーンルームの室内に向けてダウン
フローさせるように送気するファンフィルタユニットに
関する。
などに適用する垂直層流型クリーンルームの天井側に配
備し、清浄エアをクリーンルームの室内に向けてダウン
フローさせるように送気するファンフィルタユニットに
関する。
【０００２】
【従来の技術】頭記の垂直層流型クリーンルームとし
て、室内の天井側に除塵用フィルタを組み込んだファン
フィルタユニットを配置するとともに、床面をフリーア
クセスフロアで構築し、空調ユニットからサプライエア
ダクトを通じて送気されてきた外気，およびクリーンル
ームの循環エアを前記ファンフィルタユニットに組み込
んだ除塵用の高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ，ＵＬ
ＰＡフィルタなど）で除塵，清浄化した上でクリーンル
ームの室内に向けてダウンフローするようにした構成が
周知である。
て、室内の天井側に除塵用フィルタを組み込んだファン
フィルタユニットを配置するとともに、床面をフリーア
クセスフロアで構築し、空調ユニットからサプライエア
ダクトを通じて送気されてきた外気，およびクリーンル
ームの循環エアを前記ファンフィルタユニットに組み込
んだ除塵用の高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ，ＵＬ
ＰＡフィルタなど）で除塵，清浄化した上でクリーンル
ームの室内に向けてダウンフローするようにした構成が
周知である。
【０００３】一方、室内に半導体製造ラインを構築した
クリーンルームでは、半導体製造プロセス工程に配した
ケミカルステーションなどで使用するフッ酸，塩酸など
の各種薬品のガス（ケミカルステーションなどで発生す
る薬品ガスは排気ラインを通じて、無害化処理した上で
大気中に放出しているが、微量のガスがクリーンルーム
の室内に漏れ出る）、クリーンルームの構築建材から発
生する有機ガス、外気から取り込んだエアに含まれてい
る窒素酸化物（ＮＯｘ），硫黄酸化物（ＳＯｘ）、高性
能フィルタを構成するガス繊維がフッ化水素ガスにより
腐食されて発生する酸化ボロンの極微粒子などを含む各
種の有害ガス、および作業員の人体から発散するアンモ
ニアガスなどがクリーンルームのエア中に混在してお
り、これら有害ガス（ケミカル・コンタミネーション）
が循環エアとともにクリーンルームの室内に送風される
と、ガスの性状によってはクリーンルーム室内の作業員
の人体が被害を受けるのみならず、プロセス工程によっ
ては半導体の膜質を劣化させるような悪影響を与える。
クリーンルームでは、半導体製造プロセス工程に配した
ケミカルステーションなどで使用するフッ酸，塩酸など
の各種薬品のガス（ケミカルステーションなどで発生す
る薬品ガスは排気ラインを通じて、無害化処理した上で
大気中に放出しているが、微量のガスがクリーンルーム
の室内に漏れ出る）、クリーンルームの構築建材から発
生する有機ガス、外気から取り込んだエアに含まれてい
る窒素酸化物（ＮＯｘ），硫黄酸化物（ＳＯｘ）、高性
能フィルタを構成するガス繊維がフッ化水素ガスにより
腐食されて発生する酸化ボロンの極微粒子などを含む各
種の有害ガス、および作業員の人体から発散するアンモ
ニアガスなどがクリーンルームのエア中に混在してお
り、これら有害ガス（ケミカル・コンタミネーション）
が循環エアとともにクリーンルームの室内に送風される
と、ガスの性状によってはクリーンルーム室内の作業員
の人体が被害を受けるのみならず、プロセス工程によっ
ては半導体の膜質を劣化させるような悪影響を与える。
【０００４】このことから、クリーンルームでは、高性
能な除塵と併せてクリーンルームの室内に送気する循環
エアから前記した各種の有害ガスを除去するエア清浄技
術の確立が重要テーマとしてクローズアップされてお
り、その有害ガス除去手段として活性炭などを吸収剤と
するガス吸着フィルタ、さらには前記フィルタに助剤と
して金属塩化物，金属酸化物を添加して対象ガスを選択
的に除去するガス吸着フィルタを採用してクリーンルー
ムのエア換気系に配備し、クリーンルームのエア循環中
に有害ガスを吸着除去するようにしたものが一部のクリ
ーンルームに採用されており、一例として格子構造状活
性炭のガス吸着フィルタ，および該ガス吸着フィルタを
エア換気系に組み込んだクリーンルームが特公平７−９
６９３８号公報で公知である。
能な除塵と併せてクリーンルームの室内に送気する循環
エアから前記した各種の有害ガスを除去するエア清浄技
術の確立が重要テーマとしてクローズアップされてお
り、その有害ガス除去手段として活性炭などを吸収剤と
するガス吸着フィルタ、さらには前記フィルタに助剤と
して金属塩化物，金属酸化物を添加して対象ガスを選択
的に除去するガス吸着フィルタを採用してクリーンルー
ムのエア換気系に配備し、クリーンルームのエア循環中
に有害ガスを吸着除去するようにしたものが一部のクリ
ーンルームに採用されており、一例として格子構造状活
性炭のガス吸着フィルタ，および該ガス吸着フィルタを
エア換気系に組み込んだクリーンルームが特公平７−９
６９３８号公報で公知である。
【０００５】図４(a),(b) は前記公報に開示されている
クリーンルーム換気系の略示構成図である。図４(a) に
おいて、１はクリーンルーム、１ａはクリーンルーム１
のフリーアクセスフロア、２はクリーンルーム１の床面
上に据付けた例えば半導体の生産設備、３はクリーンル
ームの天井側に敷き詰めて配置した除塵用フィルタ（Ｈ
ＥＰＡフィルタ，ないしＵＬＰＡフィルタ）、４は室外
に設置した空調ユニット、５はエア循環用の送風ユニッ
ト、６はガス吸着フィルタであり、該ガス吸着フィルタ
６をクリーンルーム１の床面下から引出して空調ユニッ
ト４，送風ユニット５に通じる換気ダクトにそれぞれ介
装し、クリーンルーム全体でエアを循環送風する換気の
過程でエア中の有害ガスをガス吸着フィルタ６で吸着除
去するようにしている。
クリーンルーム換気系の略示構成図である。図４(a) に
おいて、１はクリーンルーム、１ａはクリーンルーム１
のフリーアクセスフロア、２はクリーンルーム１の床面
上に据付けた例えば半導体の生産設備、３はクリーンル
ームの天井側に敷き詰めて配置した除塵用フィルタ（Ｈ
ＥＰＡフィルタ，ないしＵＬＰＡフィルタ）、４は室外
に設置した空調ユニット、５はエア循環用の送風ユニッ
ト、６はガス吸着フィルタであり、該ガス吸着フィルタ
６をクリーンルーム１の床面下から引出して空調ユニッ
ト４，送風ユニット５に通じる換気ダクトにそれぞれ介
装し、クリーンルーム全体でエアを循環送風する換気の
過程でエア中の有害ガスをガス吸着フィルタ６で吸着除
去するようにしている。
【０００６】また、図４(b) の構成では、クリーンルー
ム１の天井側に並べて配置した多数台のファンフィルタ
ユニット７に対し、図５(a) に詳細構造を示すように、
各ユニット７ごとに送風ファン７ａ，除塵用フィルタ７
ｂを組み込んだユニットケース７ｃの側壁面に開口した
エア吸込口７ｄにガス吸着フィルタ６を組み込んでい
る。
ム１の天井側に並べて配置した多数台のファンフィルタ
ユニット７に対し、図５(a) に詳細構造を示すように、
各ユニット７ごとに送風ファン７ａ，除塵用フィルタ７
ｂを組み込んだユニットケース７ｃの側壁面に開口した
エア吸込口７ｄにガス吸着フィルタ６を組み込んでい
る。
【０００７】一方、ファンフィルタユニット７として、
図５(b) で示すように、ユニットケース７ｃの上面側
に、送風ファン７ａのエア吸込口７ｄを覆うようにガス
吸着フィルタ６を装着した構成のものも知られている。
図５(b) で示すように、ユニットケース７ｃの上面側
に、送風ファン７ａのエア吸込口７ｄを覆うようにガス
吸着フィルタ６を装着した構成のものも知られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したフ
ァンフィルタユニットの従来構成では、クリーンルーム
の清浄作業エリアからの有害ガスの除去性，およびファ
ンフィルタユニットの配置，メンテナンスに関して次記
のような問題点が残る。すなわち、 (1) 図４(a) に示すセントラル型のクリーンルームにお
いて、クリーンルーム１の室内を複数の清浄作業エリア
Ａ，Ｂ，Ｃに間仕切りした上で各清浄作業エリアごとに
異なるプロセス作業を行う場合には、そのプロセス作業
で使用する薬品などの種類によって性状の異なる有害ガ
スが発生する。これに対して、ガス吸着フィルタ６は各
清浄作業エリアＡ，Ｂ，Ｃに対して共通な換気通路に集
中して設置されているため、ガス吸着フィルタの種類
（アルカリ性ガス除去用，酸化ガス除去用，あるいは有
機ガス除去用など）を、各清浄作業エリアごとに発生す
る有害ガスに合わせる、あるいはエア中からその清浄作
業エリアで行うプロセスに有害なガスを除去するように
選択的に使い分けることができない。
ァンフィルタユニットの従来構成では、クリーンルーム
の清浄作業エリアからの有害ガスの除去性，およびファ
ンフィルタユニットの配置，メンテナンスに関して次記
のような問題点が残る。すなわち、 (1) 図４(a) に示すセントラル型のクリーンルームにお
いて、クリーンルーム１の室内を複数の清浄作業エリア
Ａ，Ｂ，Ｃに間仕切りした上で各清浄作業エリアごとに
異なるプロセス作業を行う場合には、そのプロセス作業
で使用する薬品などの種類によって性状の異なる有害ガ
スが発生する。これに対して、ガス吸着フィルタ６は各
清浄作業エリアＡ，Ｂ，Ｃに対して共通な換気通路に集
中して設置されているため、ガス吸着フィルタの種類
（アルカリ性ガス除去用，酸化ガス除去用，あるいは有
機ガス除去用など）を、各清浄作業エリアごとに発生す
る有害ガスに合わせる、あるいはエア中からその清浄作
業エリアで行うプロセスに有害なガスを除去するように
選択的に使い分けることができない。
【０００９】(2) 一方、図４(b) ，図５(a) に示す分散
型のクリーンルームでは、ガス吸着フィルタ６を各ファ
ンフィルタユニット７ごとに、そのユニットケース７ｃ
の側面に開口したエア吸込口７ｄに組み込んでいる。こ
のために、クリーンルーム１の天井側に多数台のファン
フィルタユニット７を並べて据付ける場合に、隣接する
ユニット７の間を離間してユニット相互間にエア吸込み
スペース，ガス吸着フィルタ６のメンテナンス用スペー
スを確保する必要があり、このためにファンフィルタユ
ニット７の配置が制約されて増設などが困難である。
型のクリーンルームでは、ガス吸着フィルタ６を各ファ
ンフィルタユニット７ごとに、そのユニットケース７ｃ
の側面に開口したエア吸込口７ｄに組み込んでいる。こ
のために、クリーンルーム１の天井側に多数台のファン
フィルタユニット７を並べて据付ける場合に、隣接する
ユニット７の間を離間してユニット相互間にエア吸込み
スペース，ガス吸着フィルタ６のメンテナンス用スペー
スを確保する必要があり、このためにファンフィルタユ
ニット７の配置が制約されて増設などが困難である。
【００１０】(3) また、図５(b) に示すファンフィルタ
ユニット７の構成は、ユニットのエア吸込口７ｄがユニ
ットケース７ｃの上面側に開口しているので前項(2) の
ようなユニットを設置する上でのスペース制約が生じな
い反面、クリーンルームの稼働中にファンフィルタユニ
ット７に組み込んだ送風ファン７ａを点検する場合に
は、ユニットケース７ｃの上面を覆っているガス吸着フ
ィルタ６を取り外す必要があって作業に手間がかかる。
ユニット７の構成は、ユニットのエア吸込口７ｄがユニ
ットケース７ｃの上面側に開口しているので前項(2) の
ようなユニットを設置する上でのスペース制約が生じな
い反面、クリーンルームの稼働中にファンフィルタユニ
ット７に組み込んだ送風ファン７ａを点検する場合に
は、ユニットケース７ｃの上面を覆っているガス吸着フ
ィルタ６を取り外す必要があって作業に手間がかかる。
【００１１】(4) さらに、図５(b) の構成では、ファン
フィルタユニット７をクリーンルーム１の天井側に据付
けたままの状態でメンテナンス作業を行う場合に、ユニ
ットの上面側に敷設したガス吸着フィルタ６が障害物と
なって作業員がユニットケース７ｃの上を自由に渡り歩
いて移動することができない。そのために、クリーンル
ームの天井側にメンテナンス作業用の専用通路を設ける
必要があって設備費が嵩む。
フィルタユニット７をクリーンルーム１の天井側に据付
けたままの状態でメンテナンス作業を行う場合に、ユニ
ットの上面側に敷設したガス吸着フィルタ６が障害物と
なって作業員がユニットケース７ｃの上を自由に渡り歩
いて移動することができない。そのために、クリーンル
ームの天井側にメンテナンス作業用の専用通路を設ける
必要があって設備費が嵩む。
【００１２】この発明は上記の点に鑑みなされたもので
あり、クリーンルームの天井側に配置したファンフィル
タユニットを対象に、そのメンテナンス性の改善を図る
とともに、クリーンルーム内に区画した清浄作業エリア
のレイアウト変更，増設にもフレキシブルに対応でき、
かつ各清浄作業エリアごとに有害ガスを選択的に除去で
きるようしたファンフィルタユニットを提供することを
目的とする。
あり、クリーンルームの天井側に配置したファンフィル
タユニットを対象に、そのメンテナンス性の改善を図る
とともに、クリーンルーム内に区画した清浄作業エリア
のレイアウト変更，増設にもフレキシブルに対応でき、
かつ各清浄作業エリアごとに有害ガスを選択的に除去で
きるようしたファンフィルタユニットを提供することを
目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の第一発明によれば、垂直層流型クリーン
ルームの天井側に配置し、清浄エアを室内に向けてダウ
ンフローさせるクリーンルームのファンフィルタユニッ
トであり、送風ファンを内蔵したユニットケースの下面
に除塵用の高性能フィルタを備えたものにおいて、各ユ
ニットごとに、エア中の有害ガスを除去するマット状の
ガス吸着フィルタを、除塵用フィルタの上面側に並べて
ユニットケース内に組み込んだクリーンルームのファン
フィルタユニットであって、ユニットケースの上面に、
送風ファンのエア吸込口，およびガス吸着フィルタを出
し入れするためのカバー付き点検口を開口し、かつガス
吸着フィルタを左右に振り分けて敷設するとともに、ユ
ニットケースの上面にはエア吸込口を挟んでその左右両
側に各フィルタに対応するフィルタ点検口を開口したこ
ととする。ここで各ファンフィルタユニットに組み込む
ガス吸着フィルタを、そのユニット下の清浄作業エリア
で行うプロセスに有害なガスの性状に合わせて、アルカ
リ性ガス除去用，酸性ガス除去用，有機系ガス除去用の
各種フィルタから選択して採用することが好適である。
かかる構成により、ファンフィルタユニットに組み込ん
だ送風ファンを点検する際には、ガス吸着フィルタをユ
ニットケース内に敷設したままで作業を行うことがで
き、しかもユニットケースの上面側には障害物が無いの
で、作業員はファンフィルタユニットのユニットケース
の上を自由に渡り歩いて移動することができる。さら
に、吸音機能を有するガス吸着フィルタを送風ファンの
下面側に敷設したことで、ユニットケースの開放面を通
してクリーンルームの室内に伝搬するファンの騒音（風
切り音）を減衰させることができ、これによりファンフ
ィルタユニットの低騒音化が図れる。その他、クリーン
ルームのエア清浄度の向上、室内に据え付けた生産設備
の配置変更などに伴うファンフィルタユニットの増設，
移動にも柔軟に対応できる。さらに、ガス吸着フィルタ
を点検，交換する場合でも、送風ファンをユニットケー
スに組み込んだままで、その上面に開口する点検口を通
じてガス吸着フィルタを出し入れすることができる。さ
らに、本発明の第二発明によれば、垂直層流型クリーン
ルームの天井側に配置し、清浄エアを室内に向けてダウ
ンフローさせるクリーンルームのファンフィルタユニッ
トであり、送風ファンを内蔵したユニットケースの下面
に除塵用の高性能フィルタを備えたものにおいて、クリ
ーンルーム内に間仕切りした特定の清浄作業エリアに対
応するファンフィルタユニットの集合体を包囲して、そ
の上面側に共通プレナムチャンバーを配置するととも
に、該プレナムチャンバーに開口した循環エア取入口に
その清浄作業エリアに有害なガスを除去するガス吸着フ
ィルタを設けたこととする。ここで、プレナムチャンバ
ーに組み込むガス吸着フィルタを、特定の清浄作業エリ
アで行うプロセスに有害なガスの性状に合わせて、アル
カリ性ガス除去用，酸性ガス除去用，有機系ガス除去用
の各種フィルタから選択して採用することが好ましい。
めに、本発明の第一発明によれば、垂直層流型クリーン
ルームの天井側に配置し、清浄エアを室内に向けてダウ
ンフローさせるクリーンルームのファンフィルタユニッ
トであり、送風ファンを内蔵したユニットケースの下面
に除塵用の高性能フィルタを備えたものにおいて、各ユ
ニットごとに、エア中の有害ガスを除去するマット状の
ガス吸着フィルタを、除塵用フィルタの上面側に並べて
ユニットケース内に組み込んだクリーンルームのファン
フィルタユニットであって、ユニットケースの上面に、
送風ファンのエア吸込口，およびガス吸着フィルタを出
し入れするためのカバー付き点検口を開口し、かつガス
吸着フィルタを左右に振り分けて敷設するとともに、ユ
ニットケースの上面にはエア吸込口を挟んでその左右両
側に各フィルタに対応するフィルタ点検口を開口したこ
ととする。ここで各ファンフィルタユニットに組み込む
ガス吸着フィルタを、そのユニット下の清浄作業エリア
で行うプロセスに有害なガスの性状に合わせて、アルカ
リ性ガス除去用，酸性ガス除去用，有機系ガス除去用の
各種フィルタから選択して採用することが好適である。
かかる構成により、ファンフィルタユニットに組み込ん
だ送風ファンを点検する際には、ガス吸着フィルタをユ
ニットケース内に敷設したままで作業を行うことがで
き、しかもユニットケースの上面側には障害物が無いの
で、作業員はファンフィルタユニットのユニットケース
の上を自由に渡り歩いて移動することができる。さら
に、吸音機能を有するガス吸着フィルタを送風ファンの
下面側に敷設したことで、ユニットケースの開放面を通
してクリーンルームの室内に伝搬するファンの騒音（風
切り音）を減衰させることができ、これによりファンフ
ィルタユニットの低騒音化が図れる。その他、クリーン
ルームのエア清浄度の向上、室内に据え付けた生産設備
の配置変更などに伴うファンフィルタユニットの増設，
移動にも柔軟に対応できる。さらに、ガス吸着フィルタ
を点検，交換する場合でも、送風ファンをユニットケー
スに組み込んだままで、その上面に開口する点検口を通
じてガス吸着フィルタを出し入れすることができる。さ
らに、本発明の第二発明によれば、垂直層流型クリーン
ルームの天井側に配置し、清浄エアを室内に向けてダウ
ンフローさせるクリーンルームのファンフィルタユニッ
トであり、送風ファンを内蔵したユニットケースの下面
に除塵用の高性能フィルタを備えたものにおいて、クリ
ーンルーム内に間仕切りした特定の清浄作業エリアに対
応するファンフィルタユニットの集合体を包囲して、そ
の上面側に共通プレナムチャンバーを配置するととも
に、該プレナムチャンバーに開口した循環エア取入口に
その清浄作業エリアに有害なガスを除去するガス吸着フ
ィルタを設けたこととする。ここで、プレナムチャンバ
ーに組み込むガス吸着フィルタを、特定の清浄作業エリ
アで行うプロセスに有害なガスの性状に合わせて、アル
カリ性ガス除去用，酸性ガス除去用，有機系ガス除去用
の各種フィルタから選択して採用することが好ましい。
【００１４】かかる構成により、ファンフィルタユニッ
トに組み込んだ送風ファンを点検する際には、ガス吸着
フィルタをユニットケース内に敷設したままで作業を行
うことができ、しかもユニットケースの上面側には障害
物がないので、作業員はファンフィルタユニットのユニ
ットケースの上を自由に渡り歩いて移動することができ
る。さらに、吸音機能を有するガス吸着フィルタを送風
ファンの下面側に敷設したことで、ユニットケースの開
放面を通してクリーンルームの室内に伝搬するファンの
騒音（風切り音）を減衰させることができ、これにより
ファンフィルタユニットの低騒音化が図れる。そのほ
か、クリーンルームのエア清浄度のグレードアョプ、室
内に据付けた生産設備の配置変更などに伴うファンフィ
ルタユニットの増設，移動、並びにクリーンルーム内に
仕切った各清浄作業エリアごとにファンフィルタユニッ
トに組み込んだガス吸着フィルタの種類（ガス吸着特
性）の選択にもフレシキブルに対応できる。
トに組み込んだ送風ファンを点検する際には、ガス吸着
フィルタをユニットケース内に敷設したままで作業を行
うことができ、しかもユニットケースの上面側には障害
物がないので、作業員はファンフィルタユニットのユニ
ットケースの上を自由に渡り歩いて移動することができ
る。さらに、吸音機能を有するガス吸着フィルタを送風
ファンの下面側に敷設したことで、ユニットケースの開
放面を通してクリーンルームの室内に伝搬するファンの
騒音（風切り音）を減衰させることができ、これにより
ファンフィルタユニットの低騒音化が図れる。そのほ
か、クリーンルームのエア清浄度のグレードアョプ、室
内に据付けた生産設備の配置変更などに伴うファンフィ
ルタユニットの増設，移動、並びにクリーンルーム内に
仕切った各清浄作業エリアごとにファンフィルタユニッ
トに組み込んだガス吸着フィルタの種類（ガス吸着特
性）の選択にもフレシキブルに対応できる。
【００１５】(2) また、この発明によれば、前記構成に
おいて、ユニットケースの上面に、送風ファンのエア吸
込口，およびガス吸着フィルタを出し入れするためのカ
バー付き点検口を開口する（請求項３）ものとし、具体
的にはガス吸着フィルタを左右に振り分けて敷設すると
ともに、ユニットケースの上面にはエア吸込口を挟んで
その左右両側に各フィルタに対応する点検口を開口する
（請求項４）。
おいて、ユニットケースの上面に、送風ファンのエア吸
込口，およびガス吸着フィルタを出し入れするためのカ
バー付き点検口を開口する（請求項３）ものとし、具体
的にはガス吸着フィルタを左右に振り分けて敷設すると
ともに、ユニットケースの上面にはエア吸込口を挟んで
その左右両側に各フィルタに対応する点検口を開口する
（請求項４）。
【００１６】かかる構成により、ガス吸着フィルタを点
検，交換する場合でも、送風ファンをユニットケース内
に組み込んだままで、その上面に開口する点検口を通じ
てガス吸着フィルタを出し入れすることができる。 (3) さらに、この発明によれば、前記とは別な形態で、
クリーンルーム内に間仕切りした特定な清浄作業エリア
に対応するファンフィルタユニットの集合体を包囲し
て、そのユニット集合体の上面側に共通なプレナムチャ
ンバーを備えるとともに、該プレナムチャンバーに開口
した循環エア取入口にガス吸着フィルタを設け（請求項
５）、ここで前記のプレナムチャンバーに組み込むガス
吸着フィルタを、特定の清浄作業エリアのプロセスに有
害なガスの性状に合わせて、アルカリ性ガス除去用，酸
性ガス除去用，有機系ガス除去用の各種フィルタから選
択して採用する（請求項６）ようにした構成がある。
検，交換する場合でも、送風ファンをユニットケース内
に組み込んだままで、その上面に開口する点検口を通じ
てガス吸着フィルタを出し入れすることができる。 (3) さらに、この発明によれば、前記とは別な形態で、
クリーンルーム内に間仕切りした特定な清浄作業エリア
に対応するファンフィルタユニットの集合体を包囲し
て、そのユニット集合体の上面側に共通なプレナムチャ
ンバーを備えるとともに、該プレナムチャンバーに開口
した循環エア取入口にガス吸着フィルタを設け（請求項
５）、ここで前記のプレナムチャンバーに組み込むガス
吸着フィルタを、特定の清浄作業エリアのプロセスに有
害なガスの性状に合わせて、アルカリ性ガス除去用，酸
性ガス除去用，有機系ガス除去用の各種フィルタから選
択して採用する（請求項６）ようにした構成がある。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例の形態を
図面に基づいて説明する。なお、実施例の図中で図４，
図５に対応する同一部材には同じ符号が付してある。 〔実施例１〕図１，図２はこの発明の請求項１〜４に対
応する実施例を示すものである。すなわち、クリーンル
ーム１は間仕切り部材８を介して複数の清浄作業エリア
Ａ，Ｂ，Ｃに区画されており、その天井側には、建屋の
天井壁から吊り金具を介して敷設したレール状支持フレ
ームの上に多数台のファンフィルタユニット７が碁盤目
状に並べて配置されている。なお、９は空調ユニット４
から引出してファンフィルタユニット７の上方に配管し
たサプライエアダクトである。
図面に基づいて説明する。なお、実施例の図中で図４，
図５に対応する同一部材には同じ符号が付してある。 〔実施例１〕図１，図２はこの発明の請求項１〜４に対
応する実施例を示すものである。すなわち、クリーンル
ーム１は間仕切り部材８を介して複数の清浄作業エリア
Ａ，Ｂ，Ｃに区画されており、その天井側には、建屋の
天井壁から吊り金具を介して敷設したレール状支持フレ
ームの上に多数台のファンフィルタユニット７が碁盤目
状に並べて配置されている。なお、９は空調ユニット４
から引出してファンフィルタユニット７の上方に配管し
たサプライエアダクトである。
【００１８】ここで、ファンフィルタユニット７は、図
２(a),(b) で示すように、送風ファン７ａを内蔵し，下
面側に除塵用フィルタ７ｂ（ＨＥＰＡフィルタ，または
ＵＬＰＡフィルタ）を装着した鋼板製（耐食性の高いス
テンレス鋼）になる箱形のユニットケース７ｃに対し、
除塵用フィルタ７ｂの上方に並べて送風ファン７ａとの
間のスペースにマット状のガス吸着フィルタ６が組み込
まれている。また、ガス吸着フィルタ６は左右に振り分
けてユニットケース７ｃの中に敷設されており、かつユ
ニットケース７ｃの上面側には送風ファン７ａに通じる
エア吸込口７ｄを挟んでケースの左右両サイドに前記し
たガス吸着フィルタ６を出入するための点検口７ｅを開
口し、この点検口７ｅをカバー７ｆで覆っている。な
お、７ｇはユニットケース７ｃから引出した送風ファン
７ａの配線コード、１０はファンフィルタユニット７の
据付け用フレーム、１１はフレーム１０の吊り下げ金具
である。
２(a),(b) で示すように、送風ファン７ａを内蔵し，下
面側に除塵用フィルタ７ｂ（ＨＥＰＡフィルタ，または
ＵＬＰＡフィルタ）を装着した鋼板製（耐食性の高いス
テンレス鋼）になる箱形のユニットケース７ｃに対し、
除塵用フィルタ７ｂの上方に並べて送風ファン７ａとの
間のスペースにマット状のガス吸着フィルタ６が組み込
まれている。また、ガス吸着フィルタ６は左右に振り分
けてユニットケース７ｃの中に敷設されており、かつユ
ニットケース７ｃの上面側には送風ファン７ａに通じる
エア吸込口７ｄを挟んでケースの左右両サイドに前記し
たガス吸着フィルタ６を出入するための点検口７ｅを開
口し、この点検口７ｅをカバー７ｆで覆っている。な
お、７ｇはユニットケース７ｃから引出した送風ファン
７ａの配線コード、１０はファンフィルタユニット７の
据付け用フレーム、１１はフレーム１０の吊り下げ金具
である。
【００１９】一方、前記のガス吸着フィルタ６は、ポリ
ウレタンフォームなどのオープン・ポーラスな素材で作
られた厚さ２０mm程度の低圧力損失のマットを担体とし
て、直径約０．５mmの活性炭を分散担持させた構造にな
り、吸着ガスを中和反応により化学的に吸収するよう
に、吸着対象ガスの性状に合わせて例えば燐酸を助剤と
して少量添加したアルカリ性ガス除去用、炭酸カリウム
を添加した酸性ガス除去用，および助剤無添加の有機系
ガス除去用として、仕様の異なる３種類のガス吸着フィ
ルタが用意されている。そして、各ファンフィルタユニ
ット７ごとに組み込むガス吸着フィルタ６は、クリーン
ルーム１の室内に区画した清浄作業エリアＡ，Ｂ，Ｃ
（図１参照）ごとに、その清浄作業エリアで行うプロセ
スに有害なガス成分に合わせて、前記仕様から選択した
ガス吸着フィルタを採用するものとする。例えば、外気
中に含まれているＮＯx,ＳＯｘなどがクリーンルーム内
に行うプロセスの生産品にダメージを与えるおそれのあ
る清浄作業エリアでは、酸性ガス除去用のガス吸着フィ
ルタを有機性ガス除去用のガス吸着フィルタと組合せて
使用し、別な清浄作業エリアで例えばアンモニアがダメ
ージの原因となるエリア領域ではアルカリ性ガス除去用
のガス吸着フィルタを有機性ガス除去用のガス吸着フィ
ルタと組合せて採用する。
ウレタンフォームなどのオープン・ポーラスな素材で作
られた厚さ２０mm程度の低圧力損失のマットを担体とし
て、直径約０．５mmの活性炭を分散担持させた構造にな
り、吸着ガスを中和反応により化学的に吸収するよう
に、吸着対象ガスの性状に合わせて例えば燐酸を助剤と
して少量添加したアルカリ性ガス除去用、炭酸カリウム
を添加した酸性ガス除去用，および助剤無添加の有機系
ガス除去用として、仕様の異なる３種類のガス吸着フィ
ルタが用意されている。そして、各ファンフィルタユニ
ット７ごとに組み込むガス吸着フィルタ６は、クリーン
ルーム１の室内に区画した清浄作業エリアＡ，Ｂ，Ｃ
（図１参照）ごとに、その清浄作業エリアで行うプロセ
スに有害なガス成分に合わせて、前記仕様から選択した
ガス吸着フィルタを採用するものとする。例えば、外気
中に含まれているＮＯx,ＳＯｘなどがクリーンルーム内
に行うプロセスの生産品にダメージを与えるおそれのあ
る清浄作業エリアでは、酸性ガス除去用のガス吸着フィ
ルタを有機性ガス除去用のガス吸着フィルタと組合せて
使用し、別な清浄作業エリアで例えばアンモニアがダメ
ージの原因となるエリア領域ではアルカリ性ガス除去用
のガス吸着フィルタを有機性ガス除去用のガス吸着フィ
ルタと組合せて採用する。
【００２０】かかる構成で、クリーンルームの稼働時に
は、図１の矢印で表すように、空調ユニット４からサプ
ライエアダクト９を経て天井側に吐出し供給されたエア
が各ファンフィルタユニット７を通じて室内にダウンフ
ローし、床面側のフリーアクセスフロア１ａを透過して
再び空調ユニット４に還流するように循環送風され、こ
の送風過程で循環エア中に浮遊している塵埃などの微小
粒子が除塵用フィルタ７ｂで捕集される同時に、循環エ
ア中に含まれている有害ガス（クリーンルーム室内のプ
ロセスで発生した薬品ガス，大気側から取り込んだ外気
中の大気汚染物質など）がガス吸着フィルタ６に吸着さ
れ、これにより有害ガスの汚染なしにクリーンルーム１
の各清浄作業エリアの環境が高度な清浄状態に保持され
る。
は、図１の矢印で表すように、空調ユニット４からサプ
ライエアダクト９を経て天井側に吐出し供給されたエア
が各ファンフィルタユニット７を通じて室内にダウンフ
ローし、床面側のフリーアクセスフロア１ａを透過して
再び空調ユニット４に還流するように循環送風され、こ
の送風過程で循環エア中に浮遊している塵埃などの微小
粒子が除塵用フィルタ７ｂで捕集される同時に、循環エ
ア中に含まれている有害ガス（クリーンルーム室内のプ
ロセスで発生した薬品ガス，大気側から取り込んだ外気
中の大気汚染物質など）がガス吸着フィルタ６に吸着さ
れ、これにより有害ガスの汚染なしにクリーンルーム１
の各清浄作業エリアの環境が高度な清浄状態に保持され
る。
【００２１】また、ガス吸着フィルタ６の吸着機能はガ
ス吸着の進行に伴って低下することから、定期的にファ
ンフィルタユニット７を点検，交換する必要がある。こ
のメンテナンス作業時には、前記した点検口７ｅのカバ
ー７ｆを外した上で、ガス吸着フィルタ６を図示の鎖線
で表すように点検口７ｅを通じて出し入れする。一方、
送風ファン７ａを点検する場合には、ガス吸着フィルタ
６はユニットケース７ｃに組み込んだまま、エア吸込口
７ｅのカバーを外すことでユニットケース７ｃに内蔵し
た送風ファン７ａを自由に点検できる。しかも、この場
合に作業者はクリーンルーム１の天井側に吊り下げて配
列したファンフィルタユニット７の鋼板製ユニットケー
ス７ｂの上面を自由に渡り歩いて点検箇所に移動するこ
とが可能である。
ス吸着の進行に伴って低下することから、定期的にファ
ンフィルタユニット７を点検，交換する必要がある。こ
のメンテナンス作業時には、前記した点検口７ｅのカバ
ー７ｆを外した上で、ガス吸着フィルタ６を図示の鎖線
で表すように点検口７ｅを通じて出し入れする。一方、
送風ファン７ａを点検する場合には、ガス吸着フィルタ
６はユニットケース７ｃに組み込んだまま、エア吸込口
７ｅのカバーを外すことでユニットケース７ｃに内蔵し
た送風ファン７ａを自由に点検できる。しかも、この場
合に作業者はクリーンルーム１の天井側に吊り下げて配
列したファンフィルタユニット７の鋼板製ユニットケー
ス７ｂの上面を自由に渡り歩いて点検箇所に移動するこ
とが可能である。
【００２２】〔実施例２〕図３は本発明の請求項５，６
に対応する実施例を示すものである。この実施例におい
ては、クリーンルーム１の室内に区画して仕切った清浄
作業エリアＡ，Ｂ，Ｃのうちの特定の清浄作業エリア、
例えばエリアＢの天井側に配置した複数台のファンフィ
ルタユニット７をブロック単位として、そのユニット集
合体の周域を包囲するように循環エアの吸込側にプレナ
ムチャンバー１２を構築するとともに、該チャンバー１
２の側面に開口した数カ所のエア取入れ口にガス吸着フ
ィルタ６を着脱可能に装着し、チャンバー内に並ぶ個々
のファンフィルタユニット７にはガス吸着フィルタは設
けない構成とする。なお、清浄作業エリアＡ，Ｃについ
ては、その天井側に設置したファンフィルタユニット７
については、先記実施例１でのべたように個々のユニッ
トごとにガス吸着フィルタ６が組み込まれている。
に対応する実施例を示すものである。この実施例におい
ては、クリーンルーム１の室内に区画して仕切った清浄
作業エリアＡ，Ｂ，Ｃのうちの特定の清浄作業エリア、
例えばエリアＢの天井側に配置した複数台のファンフィ
ルタユニット７をブロック単位として、そのユニット集
合体の周域を包囲するように循環エアの吸込側にプレナ
ムチャンバー１２を構築するとともに、該チャンバー１
２の側面に開口した数カ所のエア取入れ口にガス吸着フ
ィルタ６を着脱可能に装着し、チャンバー内に並ぶ個々
のファンフィルタユニット７にはガス吸着フィルタは設
けない構成とする。なお、清浄作業エリアＡ，Ｃについ
ては、その天井側に設置したファンフィルタユニット７
については、先記実施例１でのべたように個々のユニッ
トごとにガス吸着フィルタ６が組み込まれている。
【００２３】ここで、プレナムチャンバー１２に装備し
たガス吸着フィルタ６は、清浄作業エリアＢで行うプロ
セスに有害な対象ガスの性状に合わせて、アルカリ性ガ
ス除去用，酸性ガス除去用，有機系ガス除去用の各種フ
ィルタから選択したものを採用するものとする。かかる
構成で、清浄作業エリアＢについて、クリーンルーム１
の稼働中には循環エアがプレナムチャンバー１２に取り
込まれた後に、チャンバー内に並ぶ各ファンフィルタユ
ニット７を通じて清浄エアが室内にダウンフローするよ
うに送気される。また、この送気過程で、プレナムチャ
ンバー１２に取り込まれる循環エアに混在している特定
な有害ガス（エリアＢのプロセス有害なガス）がガス吸
着フィルタ６により集中的に除去される。
たガス吸着フィルタ６は、清浄作業エリアＢで行うプロ
セスに有害な対象ガスの性状に合わせて、アルカリ性ガ
ス除去用，酸性ガス除去用，有機系ガス除去用の各種フ
ィルタから選択したものを採用するものとする。かかる
構成で、清浄作業エリアＢについて、クリーンルーム１
の稼働中には循環エアがプレナムチャンバー１２に取り
込まれた後に、チャンバー内に並ぶ各ファンフィルタユ
ニット７を通じて清浄エアが室内にダウンフローするよ
うに送気される。また、この送気過程で、プレナムチャ
ンバー１２に取り込まれる循環エアに混在している特定
な有害ガス（エリアＢのプロセス有害なガス）がガス吸
着フィルタ６により集中的に除去される。
【００２４】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明第一発明に
よれば、以下の効果を奏する。 １）ファンフィルタユニットに組み込んだ送風ファンを
点検する場合には、ガス吸着フィルタをユニットケース
を取り外さずに作業を進めることができ、しかも作業員
はファンフィルタユニットのユニットケースの上を自由
に渡り歩いて作業が行える。 ２）送風ファンの下面側に敷設したガス吸着フィルタが
吸音材として機能し、ユニットケースの開放面を通して
クリーンルームの室内に伝搬するファンの騒音（風切り
音）を減衰させることができ、これによりファンフィル
タユニットの低騒音化が図れる。 ３）クリーンルームのエア清浄度の向上、室内に据え付
けた生産設備の配置変更などに伴うファンフィルタユニ
ットの増設，移動にも柔軟に対応できる。 ４）ガス吸着フィルタを点検，交換する場合でも、送風
ファンをユニットケース内に組み込んだままで、その上
面に開口する点検口を通じてガス吸着フィルタを出し入
れすることができる。さらに、本発明第二発明によれ
ば、以下の効果を奏する。 ５）クリーンルーム内の各清浄作業エリアに対して個別
にガス吸着フィルタの種類を選択できるとともに、各フ
ァンフィルタユニットごとガス吸着フィルタを組み込ん
だ構成と比べて、特定エリアに配したガス吸着フィルタ
の数が少なくて済み、これによりコストパフォーマンス
性が向上する。
よれば、以下の効果を奏する。 １）ファンフィルタユニットに組み込んだ送風ファンを
点検する場合には、ガス吸着フィルタをユニットケース
を取り外さずに作業を進めることができ、しかも作業員
はファンフィルタユニットのユニットケースの上を自由
に渡り歩いて作業が行える。 ２）送風ファンの下面側に敷設したガス吸着フィルタが
吸音材として機能し、ユニットケースの開放面を通して
クリーンルームの室内に伝搬するファンの騒音（風切り
音）を減衰させることができ、これによりファンフィル
タユニットの低騒音化が図れる。 ３）クリーンルームのエア清浄度の向上、室内に据え付
けた生産設備の配置変更などに伴うファンフィルタユニ
ットの増設，移動にも柔軟に対応できる。 ４）ガス吸着フィルタを点検，交換する場合でも、送風
ファンをユニットケース内に組み込んだままで、その上
面に開口する点検口を通じてガス吸着フィルタを出し入
れすることができる。さらに、本発明第二発明によれ
ば、以下の効果を奏する。 ５）クリーンルーム内の各清浄作業エリアに対して個別
にガス吸着フィルタの種類を選択できるとともに、各フ
ァンフィルタユニットごとガス吸着フィルタを組み込ん
だ構成と比べて、特定エリアに配したガス吸着フィルタ
の数が少なくて済み、これによりコストパフォーマンス
性が向上する。
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【図１】本発明の実施例１に対応するクリーンルームの
全体構成図
全体構成図
【図２】図１におけるファンフィルタユニットの詳細構
造図であり、(a) は縦断面図、(b) は平面図
造図であり、(a) は縦断面図、(b) は平面図
【図３】本発明の実施例２に対応するクリーンルームの
全体構成図
全体構成図
【図４】従来におけるクリーンルーム換気系の略示構成
図であり、(a),(b) はそれぞれ集中型，分散型の換気系
統図
図であり、(a),(b) はそれぞれ集中型，分散型の換気系
統図
【図５】クリーンルームの天井側に配置したファンフィ
ルタユニットの従来構成図であり、(a) は図４(b) に採
用したファンフィルタユニットの断面図、(b) は(a) と
異なるファンフィルタユニットの断面図
ルタユニットの従来構成図であり、(a) は図４(b) に採
用したファンフィルタユニットの断面図、(b) は(a) と
異なるファンフィルタユニットの断面図
１ クリーンルーム １ａ フリーアクセスフロア ４ 空調ユニット ６ ガス吸着フィルタ ７ ファンフィルタユニット ７ａ 送風ファン ７ｂ 除塵用フィルタ ７ｃ ユニットケース ７ｄ ガス吸込口 ７ｅ ガス吸着フィルタの点検口 ７ｆ 点検口のカバー １２ プレナムチャンバー Ａ，Ｂ，Ｃ 清浄作業エリア
Claims (4)
- 【請求項１】垂直層流型クリーンルームの天井側に配置
し、清浄エアを室内に向けてダウンフローさせるクリー
ンルームのファンフィルタユニットであり、送風ファン
を内蔵したユニットケースの下面に除塵用の高性能フィ
ルタを備えたものにおいて、各ユニットごとに、エア中
の有害ガスを除去するマット状のガス吸着フィルタを、
除塵用フィルタの上面側に並べてユニットケース内に組
み込んだクリーンルームのファンフィルタユニットであ
って、 ユニットケースの上面に、送風ファンのエア吸込口，お
よびガス吸着フィルタを出し入れするためのカバー付き
点検口を開口し、 かつガス吸着フィルタを左右に振り分けて敷設するとと
もに、ユニットケースの上面にはエア吸込口を挟んでそ
の左右両側に各フィルタに対応するフィルタ点検口を開
口したことを特徴とするクリーンルームのファンフィル
タユニット。 - 【請求項２】請求項１記載のファンフィルタユニットに
おいて、各ファンフィルタユニットに組み込むガス吸着
フィルタを、そのユニット下の清浄作業エリアで行うプ
ロセスに有害なガスの性状に合わせて、アルカリ性ガス
除去用，酸性ガス除去用，有機系ガス除去用の各種フィ
ルタから選択して採用することを特徴とするクリーンル
ームのファンフィルタユニット。 - 【請求項３】垂直層流型クリーンルームの天井側に配置
し、清浄エアを室内に向けてダウンフローさせるクリー
ンルームのファンフィルタユニットであり、送風ファン
を内蔵したユニットケースの下面に除塵用の高性能フィ
ルタを備えたものにおいて、クリーンルーム内に間仕切
りした特定の清浄作業エリアに対応するファンフィルタ
ユニットの集合体を包囲して、その上面側に共通プレナ
ムチャンバーを配置するとともに、該プレナムチャンバ
ーに開口した循環エア取入口にその清浄作業エリアに有
害なガスを除去するガス吸着フィルタを設けたことを特
徴とするクリーンルームのファンフィルタユニット。 - 【請求項４】請求項３記載のファンフィルタユニットに
おいて、プレナムチャンバーに組み込むガス吸着フィル
タを、特定の清浄作業エリアで行うプロセスに有害なガ
スの性状に合わせて、アルカリ性ガス除去用，酸性ガス
除去用，有機系ガス除去用の各種フィルタから選択して
採用することを特徴とするクリーンルームのファンフィ
ルタユニット。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09131285A JP3090088B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-05-21 | クリーンルームのファンフィルタユニット |
| US08/957,944 US6033301A (en) | 1997-02-07 | 1997-10-27 | Fan filter unit and a clean room for using the same |
| GB9802305A GB2321862A (en) | 1997-02-07 | 1998-02-03 | Fan filter unit with separate access means to ventilation fan and gas absorption filter |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2470697 | 1997-02-07 | ||
| JP9-24706 | 1997-02-07 | ||
| JP09131285A JP3090088B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-05-21 | クリーンルームのファンフィルタユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10277339A JPH10277339A (ja) | 1998-10-20 |
| JP3090088B2 true JP3090088B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=26362273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09131285A Expired - Lifetime JP3090088B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-05-21 | クリーンルームのファンフィルタユニット |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6033301A (ja) |
| JP (1) | JP3090088B2 (ja) |
| GB (1) | GB2321862A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE513093C2 (sv) * | 1997-06-27 | 2000-07-03 | Flaekt Ab | Fläktmodul för renrumstillämpningar |
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