JP3084020B1 - レンズの蒸着装置 - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 簡単な構成によって、被成膜体の複数の被成
膜面をそれぞれ成膜に適した方向に正確に向けて高品質
の成膜ができるようにした成膜装置及びレンズの蒸着装
置を提供する。 【解決手段】 真空容器１内の下部に蒸着源２を配する
と共に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを
保持するレンズ保持機構１０を配したレンズの蒸着装置
において、レンズ保持機構１０が、水平旋回フレーム１
１と多数のレンズホルダユニット２０とからなる。レン
ズホルダユニット２０には、初期位置と反転位置との間
で回動可能とされたレンズホルダと、レンズホルダを弾
性体の力で初期位置から反転位置まで回動させる反転機
構と、レンズホルダを初期位置に位置決め係止する初期
位置係止手段と、レンズホルダを反転位置に位置決め係
止する反転位置係止手段とが装備されている。更に、初
期位置係止手段の係止を水平旋回フレームの旋回動作を
利用して解除する係止解除機構５０を具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、眼鏡レン
ズ等の被成膜体に反射防止膜その他の蒸着膜等を形成す
るために使用する成膜装置及びレンズの蒸着装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】眼鏡レンズに反射防止膜を形成する場合
等には、当然のことながら、レンズの両面に反射防止膜
を形成する必要がある。又、例えば、各種の光学フィル
ターやプリズム等にフィルター作用を行う多層膜や反射
防止膜等を形成する場合にも必要な各面に所定の薄膜を
形成する必要がある。ここで、眼鏡レンズに対しての反
射防止膜の形成には、通常、真空容器を用いた蒸着装置
が採用されている。この場合、レンズの両面に反射防止
膜を形成する上での時間短縮の要請等から、レンズの片
面に反射防止膜を形成した後に、真空雰囲気を破らず
に、真空容器内でレンズを反転させて、他の面に反射防
止膜を形成するのが好ましい。

【０００３】そのために、真空容器内でレンズを反転さ
せることのできる反転機構を具備した蒸着装置が開発さ
れている。

【０００４】特開平１０−６８０６４号公報には、真空
容器の上部にモータ駆動式の反転機構を装備し、その反
転機構に対して、各レンズホルダに設けた回転軸を着脱
自在に装着し、反転機構で各レンズホルダを回転させる
ことにより、レンズホルダに保持されたレンズを反転さ
せるようにした蒸着装置が開示されている。

【０００５】また、米国特許５１３８９７４号公報に
は、真空容器の上部に設けたレンズ保持用のドームを複
数の扇形の部品に分割し、この分割した扇型の部品を、
ドームの中心部に設けたモータ駆動式の反転機構で回転
させることにより、扇形の部品に保持されたレンズを反
転させるようにした蒸着装置が開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、眼鏡レンズ
などの光学レンズに反射防止膜を形成するような場合に
は、同一物を大量に生産できるよう精密に膜を形成する
必要がある。そのためには、蒸着源に対するレンズの保
持姿勢を一定に保つことが重要である。

【０００７】この点、上記公報に記載の蒸着装置では、
１個のモータ駆動式の反転機構によって全部のレンズを
反転させるようにしているため、個々のレンズホルダや
扇形部品の取り付け状態によっては、反転した際のレン
ズの保持姿勢に狂いが出る可能性がある。即ち、個別に
セットされる全部のレンズの保持姿勢を１つの反転機構
で制御することは非常に難しく、結果的に、レンズ毎に
保持姿勢が微妙に違ってしまう可能性がある。また、上
記公報の蒸着装置では、モータの回転で直接レンズを反
転させるようにしているため、反転駆動のための機構が
複雑になるという問題もある。

【０００８】また、特に前者の公報に記載の装置の場合
は、レンズホルダを１つずつ真空容器内の反転機構に装
着しなくてはならないから、レンズホルダのセットをク
リーンブース内で行うことができず、レンズにゴミが付
着する可能性が高いという問題もあった。

【０００９】本発明は、上記事情を考慮し、簡単な構成
によって、被成膜体の複数の被成膜面をそれぞれ成膜に
適した方向に正確に向けて高品質の成膜ができるように
した成膜装置及びレンズの蒸着装置を提供することを目
的とする。

【００１０】上述の改題を解決するための手段として第
１の手段は、真空容器内の下部に蒸着源を配すると共
に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを保持
するレンズ保持機構を配したレンズの蒸着装置におい
て、前記レンズ保持機構は、前記真空容器に装備された
駆動機構の旋回部に着脱自在に装着されて該駆動機構に
より水平旋回さられる水平旋回フレームと、該水平旋回
フレームに該フレームの周方向に沿って間隔的に取り付
けられた多数のレンズホルダユニットとを有し、前記レ
ンズホルダユニットは、レンズ両面を露出させた状態で
レンズを保持する開口部を持ち、且つ、保持したレンズ
の片面を下に向けた初期位置と他方の片面を下に向けた
反転位置との間で回動可能とされたレンズホルダと、こ
のレンズホルダに取り付けられて該レンズホルダを所期
位置から反転位置に回動する軸である反転軸と、この反
転軸と一体回転するように該反転軸に取り付けられた位
置決めカムと、この位置決めカムを初期位置及び反転位
置でそれぞれ位置決めして係止する初期位置係止手段及
び反転位置係止手段と、前記反転軸にギアセットを介し
て反転方向に回転力を与える渦巻きバネと、前記初期位
置での係止を解除する係止解除手段とを有し、前記位置
決めカムは、半円を越えた大きさにカットされた横断面
を有する半円柱部と、この半円柱部の円弧面の周方向一
端部に径方向外方に突出するように設けられた板状に近
い三角柱部とを有し、前記初期位置係止手段は、前記位
置決めカムの三角柱部の一方の面を当接して初期位置の
位置決めをする初期位置ストッパブロックとこの初期位
置ストッパブロックに回動可能に取付られた略トの字形
をなしたストッパアームとを有し、このストッパアーム
は下端がストッパブロックに回動自在に取付られた直線
アーム部とこの直線アーム部の側部に斜めに突き出した
斜めアーム部とを有し、この斜めアーム部を前記位置決
めカムの三角柱部の他方の面に当接させて前記三角柱部
を前記初期位置ストッパブロックとの間に挟むようにし
て位置決めする機構を有するものであり、前記反転位置
係止手段は、前記位置決めカムの三角柱部の他方の面を
当接して反転方向への回転を止めて位置決めする反転位
置ストッパブロックと、前記位置決めカムが反転位置に
あるときこの位置決めカムの半円柱部の平面部に当接し
て位置決めカムが反転方向と逆の方向に回転するのを止
めるストッパ板とを有し、このストッパ板と前記反転位
置ストッパブロックとの間に前記三角柱部を挟むように
して位置決めする機構を有するものであり、前記係止解
除手段は、前記ストッパアームの直線アーム部の上部に
前記旋回方向と反対方向の力を加えて該ストッパアーム
を回動させて斜めアーム部の前記三角柱への当接を解除
する機構を有するものであるレンズの蒸着装置である。

【００１１】

【００１２】

【００１３】

【００１４】

【００１５】

【００１６】

【００１７】

【００１８】

【００１９】

【００２０】

【００２１】

【００２２】

【００２３】

【００２４】

【００２５】

【００２６】

【００２７】

【００２８】

【００２９】

【００３０】

【００３１】

【００３２】

【００３３】

【００３４】

【００３５】

【００３６】

【００３７】

【００３８】第２の手段は、前記レンズホルダユニット
は、前記被蒸着レンズの複数の被蒸着面のうち、蒸着に
適した方向に向いている面を除く面を覆うカバーを有す
ることを特徴とする第１の手段にかかるレンズの蒸着装
置である。第３の手段は、前記水平旋回フレームに、前
記レンズホルダユニットがそれぞれ着脱自在に取り付け
られていることを特徴とする第１及び第２の手段にかか
るレンズの蒸着装置である。第４の手段は、前記レンズ
ホルダが、２枚の眼鏡レンズを１組として装着し得る２
つの開口部を備えていることを特徴とする第１〜第３の
いずれかの手段にかかるレンズの蒸着装置である。

【００３９】上述の第１の手段によれば、前記初期位置
係止手段が、位置決めカムの三角柱部をストッパアーム
の斜めアーム部と初期位置ストッパブロックとの間に挟
むようにして位置決めする機構を有し、かつ、反転位置
係止手段が、位置決めカムの三角柱部を反転位置ストッ
パブロックと位置決めカムが反転方向と逆の方向に回転
するのを止めるストッパ板との間に挟むようにして位置
決めする機構を有するものであることから、初期位置及
び反転位置での位置決めをコンパクトな構造で極めて正
確かつ確実に行うことを可能にしている。また、第２の
手段によれば、前記レンズホルダユニットは、前記被蒸
着レンズの複数の被蒸着面のうち、蒸着に適した方向に
向いている面を除く面を覆うカバーを有することから、
１つの面に蒸着している間に他の面に異物が付着するお
それを防止するできる。さらに、第３の手段によれば、
前記水平旋回フレームに、前記レンズホルダユニットが
それぞれ着脱自在に取り付けられているので、レンズの
交換がやりやすくなる。また、レンズに応じたタイプの
レンズホルダユニットを自由に選択して取り付けること
ができるようになる。第４の手段によれば、前記レンズ
ホルダが、２枚の眼鏡レンズを１組として装着し得る２
つの開口部を備えていることから、眼鏡レンズに対する
蒸着工程を極めて効率よくかつ歩留まりよく行うことを
可能にする。すなわち、通常、眼鏡レンズは、２枚１組
で少量多品種生産されることを常とし、これらをもしバ
ラバラにレンズホルダにセットすると、セットした位置
を正確に記録しておかなければならない。この点、この
発明の装置では、２枚１組の眼鏡レンズを１個のレンズ
ホルダに装着できるようにしている。従って、１組の眼
鏡レンズごとにレンズホルダを用意することで、特に記
録しないでも、取り扱いが容易になる。また、同じレン
ズホルダに１組の眼鏡レンズをセットできることから、
各組の眼鏡レンズ毎に蒸着条件を揃えることもできる。

【００４０】

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。この実施の形態は、本発明を、眼
鏡レンズ等のレンズに保護膜等の薄膜を成膜するレンズ
蒸着装置に適用した例である。以下図面を参照にしなが
ら本実施の形態にかかるレンズ蒸着装置を説明する。

【００４２】図１は実施形態のレンズ蒸着装置の概略構
成を示す側断面図である。図１に示される蒸着装置は、
真空容器１内の下部に蒸着源２を配すると共に、真空容
器１内の上部に、蒸着膜形成対象のレンズを保持するレ
ンズ保持機構１０を配したものである。

【００４３】レンズ保持機構１０は、真空容器１の天井
部に装備された駆動機構３の旋回部４に着脱自在に装着
されて該駆動機構３により水平旋回させられるドーム形
の水平旋回フレーム１１と、図２に示すように、水平旋
回フレーム１１に該フレーム１１の周方向に沿って間隔
的に取り付けられた多数のレンズホルダユニット２０と
により構成されている。水平旋回フレーム１１は、中央
上側に配したボス部１２の上端１２ａを駆動機構３の旋
回部４に係合することで、該旋回部４により保持されて
いる。また、レンズホルダユニット２０は、水平旋回フ
レーム１１にそれぞれ着脱自在に取り付けられている。

【００４４】各レンズホルダユニット２０は、長円形状
の枠材２１と、該枠材２１の長手方向の一端に一体的に
延設された基板２２と、枠材２１の内部に配されて蒸着
対象の眼鏡レンズ１００を保持すると共に初期位置から
反転位置まで反転駆動されるレンズホルダ２３と、レン
ズホルダ２３の上側を覆うカバー２５と、レンズホルダ
２３を反転駆動するために基板２２上に装備された反転
機構組立部３０とから構成されている。

【００４５】枠材２１は、図２に示すように、長円の長
軸方向を水平旋回フレーム１１の半径方向に向けた姿勢
で、基板２２により水平旋回フレーム１１に着脱自在に
取り付けられている。すなわち、図示しないが、例え
ば、水平旋回フレーム１１に取り付け用のピン及びビス
を固定して設け、これらピン及びビスに嵌合する取り付
け孔を基板２２に設け、該基板２２の取り付け孔を上記
ピン及びビスに嵌合させ、さらに必要に応じて同様の取
り付け孔を設けた押さえ板を重ねて上記ビスにナットを
ねじ込んで固定するようになっている。また、上記枠材
２１の内部に、枠材２１よりもやや小さい長円形の板状
に形成されたレンズホルダ２３が収容されている。従っ
て、レンズホルダユニット２０は水平旋回フレーム１１
に放射状に取り付けられている。

【００４６】図３、図４はレンズホルダユニット２０の
一部を省略して示す拡大図である。また、図５はレンズ
ホルダユニット２０に装備された反転機構組立部３０の
原理構造を一部省略して示す斜視図である。

【００４７】図４に示すように、長円形のレンズホルダ
２３には、その長手方向に並べて、２つの円形の開口部
２３ａ、２３ａが設けられている。これら２つの開口部
２３ａ、２３ａは、レンズ両面を露出させた状態で、２
枚１組の眼鏡レンズ１００を着脱自在に保持するための
ものである。眼鏡レンズ１００の保持方法としては、図
示しないが、例えば、開口部２３ａの円形の回りに等間
隔で３カ所に板バネ等を用いた弾性保持機構を設け、眼
鏡レンズ１００の外周側面の３カ所で点接触や線接触あ
るいは面接触で眼鏡レンズ１００を押さえることによっ
て保持する方法等がある。また、円形のレンズホルダ２
３の長軸方向の両端には、長い反転軸２６と短い反転軸
２７とが一体に突設されている。

【００４８】長い反転軸２６は、枠材２１に設けた貫通
孔２１ａを挿通して基板２２の上方にまで延びている。
また、短い反転軸２７は、枠材２１の内面に設けた凹部
２１ｂに嵌まっている。このように、両端の反転軸２
６、２７が枠材２１の貫通孔２１ａと凹部２１ｂに支持
されていることにより、レンズホルダ２３は、図３
（ｂ）中の矢印で示すように、反転軸２６、２７を軸と
して回動できるようになっている。ここでは、保持した
眼鏡レンズ１００の片面を下に向けた初期位置と、他方
の片面を下に向けた反転位置との間で回動可能となって
いる。

【００４９】長い反転軸２６は、図４に示すように、基
板２２上に装備した反転機構組立部３０に取り込まれて
いる。反転機構組立部３０内において、長い反転軸２６
は軸受部材３１、３２により回転自在に支持されてい
る。また、この反転軸２６と平行に駆動軸３３が、軸受
部材３１、３２により回転自在に支持されている。

【００５０】図５に示すように、駆動軸３３には渦巻き
バネ（弾性体）３４が巻き付けられている。渦巻きバネ
３４は、その外周側の一端３４ａが基板２２上に固着さ
れ、その内周側の一端３４ｂが駆動軸３３に固着されて
いる。それにより、渦巻きバネ３４の弾性力によって、
駆動軸３３には、図５の手前から見て左回りしようとす
る回転力が付与されている。

【００５１】また、この駆動軸３３には小ギヤ３５が取
り付けられており、反転軸２６には大ギヤ３６が取り付
けられている。小ギヤ３５と大ギヤ３６は噛み合ってお
り、このギヤセットの噛み合いにより、前記渦巻きバネ
３４によって駆動軸３３に付与された回転力が、拡大さ
れた上で、反転軸２６に図５の手前から見て右回りの回
転力として伝達されている。従って、小さいバネ力の渦
巻きバネ３４を用いることができる。

【００５２】また、反転軸２６には、該反転軸２６と一
体回転するように位置決めカム４０が取り付けられてい
る。位置決めカム４０は、半円を超えた大きさにカット
された横断面を有する半円柱部４０ａと、板体に近い形
態の三角柱部４０ｂとを一体に結合した異形柱状体とし
て構成されている。

【００５３】図６を併せて参照しながら以下説明する。
三角柱部４０ｂは、半円柱部４０ａの円弧面４０ｃの周
方向一端部に、径方向外方に突出するように一体化され
ている。半円柱部４０ａには下面側に位置する円弧面４
０ｃと反対側（上面側）に、カット平面（半円柱を形成
するために円柱を弦でカットした面）があり、そのカッ
ト平面上の三角柱部４０ｂを一体化した側と反対側の略
半分に、カット平面より一段低まった形の切欠部４０ｄ
が形成されている。また、三角柱部４０ｂには、前記カ
ット平面と平行な下面４０ｅと、半円柱部４０ａ側に下
り傾斜した上面４０ｆとがある。

【００５４】位置決めカム４０の三角柱部４０ｂ側の側
方には、初期位置ストッパブロック４２が配置され、こ
のストッパブロック４２に設けたブラケット４６に、
「ト」字形をなしたストッパアーム４１の下端が、ピン
４７で回動可能に結合されている。ストッパアーム４１
は、前記ピン４７で下端がブラケット４６に連結された
直線アーム４１ａと、直線アーム４１ａの側部に斜めに
突き出した斜めアーム４１ｃとを有する。直線アーム４
１ａの上端４１ｂは、斜めアーム４１ｃの付け根よりも
上に延びており、この部分が後で説明する解除操作部と
なっている。

【００５５】位置決めカム４０の反対側の側方には、三
角ピース状の反転位置ストッパブロック４３が配置され
ている。このストッパブロック４３の上面は、斜めの位
置決め面４３ａとなっている。

【００５６】また、前記初期位置ストッパブロック４２
には、位置決めカム４０側を向いた側面に開口したスラ
イド溝４２ａが形成されており、そのスライド溝４２ａ
に、ストッパ板４４が出没方向にスライド自在に挿入さ
れている。このストッパ板４４は、図示しないバネによ
って、位置決めカム４０の円弧面４０ｃに対して押し当
てられている。

【００５７】図６（ａ）に示すように、レンズホルダ２
３が初期位置にあるとき、ストッパブロック４２の上面
に、位置決めカム４０の三角柱部４０ｂの下面４０ｅが
当たり、ストッパアーム４１の斜めアーム４１ｃの下面
が、三角柱部４０ｂの上面４０ｆに当たっている。これ
により、渦巻きバネによって矢印Ｓ方向に回ろうとする
位置決めカム４０は確実に係止され、レンズホルダ２３
が初期位置に位置決めされる。

【００５８】この状態で、ストッパアーム４１を位置決
めカム４０と反対方向（以下、解除方向という）に倒し
て位置決めカム４０の押さえを解放するために、係止解
除機構５０が真空容器１の天井部に固定的に設けられて
いる（図１参照）。この係止解除機構５０は、上下に移
動操作される解除ロッド（解除部材）５１を備えてい
る。水平旋回フレーム１１と一緒に移動するレンズホル
ダユニット２０の移動方向は図中矢印で示すＲ方向であ
り、解除ロッド５１は、下方に下げられると、Ｒ方向に
移動するストッパアーム４１の上端（解除操作部）４１
ｂと干渉して、図６（ｂ）に示すように、ストッパアー
ム４１を解除方向に倒す。また、解除ロッド５１は、上
方に持ち上げられると、ストッパアーム４１の上端４１
ｂと非干渉となる。なお、係止解除機構５０は、ストッ
パアーム４１の上端４１ａの通過軌跡上に位置してお
り、円周方向の最低１ヶ所に配置されている。

【００５９】次に作用を説明する。レンズホルダ２３が
初期位置にあるとき、図６（ａ）に示すように、ストッ
パアーム４１は直立している。このとき、位置決めカム
４０の三角柱部４０ｂが、ストッパアーム４１の斜めア
ーム４１ｃとストッパブロック４２との間に挟持され
る。それにより、渦巻きバネ３４の力でＳ方向に回転し
ようとする位置決めカム４０が、初期位置に確実に位置
決めされて押さえられる。しかも、位置決めカム４０が
Ｓ方向に回転しようとしても、斜めアーム４１ｃの傾斜
面の作用で、ストッパアーム４１には位置決めカム４０
方向に倒れるモーメントが発生することになるので、ス
トッパアーム４１による係止が外れることはない。

【００６０】この状態で、各レンズホルダユニット２０
のレンズホルダ２３に保持された眼鏡レンズ１００の片
面（下側の面）に蒸着を施す。このとき、係止解除機構
５の解除ロッド５１は上方に退避させておく。そして、
必要に応じて水平旋回フレーム１１を旋回させて、蒸着
の均一化を図る。

【００６１】次に、片面の蒸着が終了したら、係止解除
機構５０の解除ロッド５１を下方位置に位置決めし、水
平旋回フレーム１１を回す。そうすると、係止解除機構
５０の位置に到達したレンズホルダユニット２０におい
て、図６（ａ）→（ｂ）→（ｃ）の動作が順に生じる。

【００６２】即ち、まず図６（ａ）の状態から、レンズ
ホルダユニット２０がＲ方向へ移動すると、解除ロッド
５１がストッパアーム４１の上端４１ｂに干渉し、さら
にＲ方向へのユニット２０の移動により、ストッパアー
ム４１が図６（ｂ）のように解除方向へ倒れる。そうす
ると、位置決めカム４０の押さえがとれて、位置決めカ
ム４０がＳ方向へ回り、ストッパ板４４の先端が、位置
決めカム４０の円弧面４０ｃを摺動する。

【００６３】そして、位置決めカム４０が１８０度回転
すると、図６（ｃ）に示すように、位置決めカム４０の
三角柱部４０ｂの斜めの上面４０ｆが、反転位置ストッ
パブロック４３の斜め位置決め面４３ａに当たって止ま
る。このとき、円弧面４０ｃを摺動していたストッパ板
４４が、位置決めカム４０の切欠部４０ｄに係合し、位
置決めカム４０が戻り方向に回転阻止される。そして、
これにより、位置決めカム４０は、反転位置に確実に位
置決め係止される。

【００６４】この状態で、各レンズホルダユニット２０
のレンズホルダ２３に保持された眼鏡レンズ１００の他
方の片面（新たに下側になった面）に蒸着を施す。この
ときも、必要な全てのレンズホルダ２３の反転が終了し
たら、係止解除機構５の解除ロッド５１を上方に退避さ
せて、必要に応じて水平旋回フレーム１１を旋回させる
ことにより、蒸着の均一化を図る。

【００６５】なお、この装置においては、初期位置スト
ッパブロック４２及びストッパアーム４１が初期位置係
止手段に相当し、反転位置ストッパブロック４３及びス
トッパ板４４が反転位置係止手段に相当する。また、渦
巻きバネ３４と小ギヤ３５と大ギヤ３６とが反転機構を
構成している。

【００６６】このようにして蒸着を行う際に、全てのレ
ンズホルダユニット２０に保持された眼鏡レンズ１００
が確実に一定の姿勢に保持されるようになるので、精度
良く均一な蒸着膜をレンズ表面に形成することができ
る。また、各レンズホルダユニット２０には、レンズホ
ルダ２３の反転動作を許容する位置に、眼鏡レンズ１０
０の上面側を保護するカバー２５を設けているので、眼
鏡レンズ１００の上側の面にゴミが付かない。

【００６７】また、反転機構組立部３０には反転のため
の動力源として渦巻きバネ３４を設けているので、各レ
ンズホルダユニット２０毎の構成が単純になっている。

【００６８】また、水平旋回フレーム１１ごと真空容器
１に対して交換することができるので、クリーンブース
内でレンズの脱着作業を行うことができ、レンズに対す
るゴミの付着を減らせる。特に、各レンズホルダユニッ
ト２０自体を水平旋回フレーム１１に着脱自在に取り付
けているので、レンズの交換がやりやすくなる。

【００６９】また、２枚１組で眼鏡レンズ１００をレン
ズホルダユニット２０にセットできるので、取り扱いが
容易になる上、各組の眼鏡レンズ１００毎に蒸着条件を
揃えることができる。

【００７０】なお、以上の説明では、眼鏡レンズ等のレ
ンズに保護膜等の薄膜を成膜するレンズ蒸着装置に適用
した実施の形態に基づいて本発明を説明したが、本発明
はこれに限られるものではない。すなわち、例えば、適
用できる成膜の手法としては、蒸着法やスパッタリング
等の化学的又は物理的成膜法であって、成膜物質源から
飛翔させた成膜物質を被成膜体の被成膜面に堆積させる
ことによって該被成膜面に薄膜を形成する方法が全て含
まれる。

【００７１】また、適用できる被成膜体としては、眼鏡
レンズ等の光学レンズのほかに、カラーフィルター等の
光学部品があげられる。また、３面以上の被成膜面を有
するプリズム等の光学部品にも適用可能である。その
他、複数の被成膜面を有し、これら被成膜面に反射防止
膜や偏光膜等の一層又は多層の薄膜を形成するもの全て
に適用できる。３面以上の被成膜面を有するプリズム等
の光学部品に適用する場合には、被成膜体ホルダユニッ
トの姿勢切替機構として、３面以上の被成膜面をそれぞ
れ成膜に適した方向に向けて切り替え固定する機構を備
えたものを採用すればよい。このような機構は、カム機
構を応用して例えば３面のそれぞれに対応して機械的に
位置決めする位置係止手段と、該位置係止手段の係止を
解除する係止解除手段とを有する機構とすればよい。す
なわち、第１面に対応する位置係止手段及びその係止解
除手段と、第２面に対応する位置係止手段及びその係止
解除手段と、第３面の位置係止手段とを設ける。そし
て、第１面の係止を解除すると第２面に切り替わって第
２面の位置係止手段によって係止されるようにし、さら
に、第２面の係止を解除すると、第３面に切り替わって
第３面の位置係止手段によって係止されるようにすれば
よい。

【００７２】さらに、被成膜体ホルダユニット、被成膜
体保持機構、回転フレーム、被成膜体ホルダ、反転機
構、初期位置停止手段、反転位置係止手段及び係止解除
手段についても、上記実施の形態に掲げた例のほかに、
同様の機能を有する他の機構を採用できることは勿論で
ある。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
機械的に精密に位置決めできる位置係止手段を用いたこ
とによって、正確かつ確実な位置決めがなされる。これ
によって、正確・確実にかつ再現性よく各被成膜面を成
膜に適した方向に向けて成膜を行うことができるから、
高品質の成膜を容易に行うことができる。しかも、係止
解除手段によって係止を解除することにより、比較的容
易に姿勢を変えて次の被成膜面を所定の方向に正確に向
けることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の蒸着装置の概略構成を示す
側断面図である。

【図２】図１の蒸着装置におけるレンズ保持機構１０を
上から見た平面図である。

【図３】図１のレンズホルダユニット２０の反転機構組
立部３０を図示省略した要部構成図で、（ａ）は側面
図、（ｂ）は（ａ）図のＩＩＩｂ矢視図である。

【図４】図１のレンズホルダユニットのカバーを外した
状態を示す平面図である。

【図５】図４の点線で囲んだ反転機構組立部３０の原理
構造を示す斜視図である。

【図６】図５の反転機構の動作説明図であり、（ａ）は
レンズホルダが初期位置にあって反転動作が開始する直
前の状態を示す図、（ｂ）は反転動作の途中の状態を示
す図、（ｃ）は反転動作が終了した状態を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ 蒸着源 ３ 駆動機構 ４ 旋回部 １０ レンズ保持機構 １１ 水平旋回フレーム ２０ レンズホルダユニット ２１ 枠材 ２２ 基板 ２３ レンズホルダ ２５ カバー ２６ 長い反転軸 ３０ 反転機構組立部 ３４ 渦巻きバネ（弾性体） ３５ 小ギヤ ３６ 大ギヤ ４０ 位置決めカム ４１ ストッパアーム（初期位置係止手段） ４２ 初期位置ストッパブロック（初期位置係止手段） ４３ 反転位置ストッパブロック（反転位置係止手段） ４４ ストッパ板（反転位置係止手段） ５０ 係止解除機構 ５１ 解除ロッド（解除部材） １００ 眼鏡レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−271935（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−6273（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−128724（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−86125（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−120556（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−37258（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 G02B 1/11

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内の下部に蒸着源を配すると共
   に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを保持
   するレンズ保持機構を配したレンズの蒸着装置におい
   て、 前記レンズ保持機構は、前記真空容器に装備された駆動
   機構の旋回部に着脱自在に装着されて該駆動機構により
   水平旋回さられる水平旋回フレームと、該水平旋回フレ
   ームに該フレームの周方向に沿って間隔的に取り付けら
   れた多数のレンズホルダユニットとを有し、 前記レンズホルダユニットは、 レンズ両面を露出させた状態でレンズを保持する開口部
   を持ち、且つ、保持したレンズの片面を下に向けた初期
   位置と他方の片面を下に向けた反転位置との間で回動可
   能とされたレンズホルダと、 このレンズホルダに取り付けられて該レンズホルダを初
   期位置から反転位置に回動する軸である反転軸と、 この反転軸と一体回転するように該反転軸に取り付けら
   れた位置決めカムと、この位置決めカムを初期位置及び
   反転位置でそれぞれ位置決めして係止する初期位置係止
   手段及び反転位置係止手段と、 前記反転軸にギアセットを介して反転方向に回転力を与
   える渦巻きバネと、 前記初期位置での係止を解除する係止解除手段とを有
   し、 前記位置決めカムは、半円を越えた大きさにカットされ
   た横断面を有する半円柱部と、この半円柱部の円弧面の
   周方向一端部に径方向外方に突出するように設けられた
   板状に近い三角柱部とを有し、 前記初期位置係止手段は、前記位置決めカムの三角柱部
   の一方の面を当接して初期位置の位置決めをする初期位
   置ストッパブロックとこの初期位置ストッパブロックに
   回動可能に取付られた略トの字形をなしたストッパアー
   ムとを有し、このストッパアームは下端がストッパブロ
   ックに回動自在に取付られた直線アーム部とこの直線ア
   ーム部の側部に斜めに突き出した斜めアーム部とを有
   し、この斜めアーム部を前記位置決めカムの三角柱部の
   他方の面に当接させて前記三角柱部を前記初期位置スト
   ッパブロックとの間に挟むようにして位置決めする機構
   を有するものであり、 前記反転位置係止手段は、前記位置決めカムの三角柱部
   の他方の面を当接して反転方向への回転を止めて位置決
   めする反転位置ストッパブロックと、前記位置決めカム
   が反転位置にあるときこの位置決めカムの半円柱部の平
   面部に当接して位置決めカムが反転方向と逆の方向に回
   転するのを止めるストッパ板とを有し、このストッパ板
   と前記反転位置ストッパブロックとの間に前記三角柱部
   を挟むようにして位置決めする機構を有するものであ
   り、 前記係止解除手段は、前記ストッパアームの直線アーム
   部の上部に前記旋回方向と反対方向の力を加えて該スト
   ッパアームを回動させて斜めアーム部の前記三角柱への
   当接を解除する機構を有するものであるレンズの蒸着装
   置。
2. 【請求項２】 前記レンズホルダユニットは、前記被蒸
   着レンズの複数の被蒸着面のうち、蒸着に適した方向に
   向いている面を除く面を覆うカバーを有することを特徴
   とする請求項１記載のレンズの蒸着装置。
3. 【請求項３】 前記水平旋回フレームに、前記レンズホ
   ルダユニットがそれぞれ着脱自在に取り付けられている
   ことを特徴とする請求項１及び２記載のレンズの蒸着装
   置。
4. 【請求項４】 前記レンズホルダが、２枚の眼鏡レンズ
   を１組として装着し得る２つの開口部を備えていること
   を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレンズの
   蒸着装置。