JP3055414B2 - 超音波アクチュエータ - Google Patents
超音波アクチュエータInfo
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- JP3055414B2 JP3055414B2 JP6313251A JP31325194A JP3055414B2 JP 3055414 B2 JP3055414 B2 JP 3055414B2 JP 6313251 A JP6313251 A JP 6313251A JP 31325194 A JP31325194 A JP 31325194A JP 3055414 B2 JP3055414 B2 JP 3055414B2
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- Japan
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- vibrator
- vibration
- base plate
- ultrasonic actuator
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子の合成振動を
利用した超音波モータ等の超音波アクチュエータに関
し、特に振動子の保持構造に関する。
利用した超音波モータ等の超音波アクチュエータに関
し、特に振動子の保持構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の超音波アクチュエータの概
略の構成を示す分解斜視図、図５は同じく振動子と可動
レールとの構成を示す平面図、図６は超音波アクチュエ
ータの動作原理を説明するための平面図である。これら
の図において、２０は全周均一に板厚方向に分極された
圧電セラミックスによってリング状に形成された振動子
であって、中央孔２０ａが設けられているとともに、表
裏に二対の扇形状の電極２１ａ，２１ｂが形成され、こ
れら電極２１ａ，２１ｂ間に別の二対の電極２１ｃが形
成されている。２２は電極２１ｃに対応した振動子２０
の周面に対向するように固着された断面が矩形状の伝達
部材で、加工し易く、かつ耐摩耗性にすぐれ、しかも所
定の摩擦伝達力が得られるエンジニアリングプラスチッ
クで形成されている。
略の構成を示す分解斜視図、図５は同じく振動子と可動
レールとの構成を示す平面図、図６は超音波アクチュエ
ータの動作原理を説明するための平面図である。これら
の図において、２０は全周均一に板厚方向に分極された
圧電セラミックスによってリング状に形成された振動子
であって、中央孔２０ａが設けられているとともに、表
裏に二対の扇形状の電極２１ａ，２１ｂが形成され、こ
れら電極２１ａ，２１ｂ間に別の二対の電極２１ｃが形
成されている。２２は電極２１ｃに対応した振動子２０
の周面に対向するように固着された断面が矩形状の伝達
部材で、加工し易く、かつ耐摩耗性にすぐれ、しかも所
定の摩擦伝達力が得られるエンジニアリングプラスチッ
クで形成されている。
【０００３】４０は前記伝達部材２２に弱い圧接力によ
り当接している一対の対向する可動レールで、図示を省
略したガイド機構によって、Ａ−Ｂ方向に移動自在とな
るように支持されている。１９は弾性部材で形成された
中央孔１９ａが設けられたリング状の一対のマットであ
る。３５はねじ孔３５ａが螺設されたベース板、３６は
前記中央孔２０ａ，１９ａの内径よりも小なる外径を有
しフランジ部３６ａが形成され、フランジ部３６ａまで
の高さが前記両マット１９と振動子２０の合計の厚みよ
りもやや小なるカラー部材、３７はねじである。
り当接している一対の対向する可動レールで、図示を省
略したガイド機構によって、Ａ−Ｂ方向に移動自在とな
るように支持されている。１９は弾性部材で形成された
中央孔１９ａが設けられたリング状の一対のマットであ
る。３５はねじ孔３５ａが螺設されたベース板、３６は
前記中央孔２０ａ，１９ａの内径よりも小なる外径を有
しフランジ部３６ａが形成され、フランジ部３６ａまで
の高さが前記両マット１９と振動子２０の合計の厚みよ
りもやや小なるカラー部材、３７はねじである。
【０００４】このような構成において、下方のマット１
９、振動子２０および上方のマット１９を順にベース３
５に載置し、それぞれの中央孔１９ａ，２０ａ内にカラ
ー部材３６を挿通させ、ねじ３７をカラー部材３６内に
挿通させて、ねじ孔３５ａにねじ込むことによって、フ
ランジ部３６ａによって振動子２０は、マット１９を介
して、ベース３５とフランジ部３６ａとに挟持される。
このとき、カラー部材３６のフランジ部３６ａまでの高
さが前記両マット１９と振動子２０の合計の厚みよりも
やや小に形成されているので、振動子２０は、両マット
１９の弾性変形して、弱い圧接力によって厚み方向の動
きが規制されている。電極２１ａ，２１ｂは高周波電源
４１，４２によって接続されており、相互に時間的位相
差Φ＝９０°もしくは−９０°異なる高周波電圧ｓｉｎ
ωｔ、ｃｏｎωｔが印加されるように構成されている。
９、振動子２０および上方のマット１９を順にベース３
５に載置し、それぞれの中央孔１９ａ，２０ａ内にカラ
ー部材３６を挿通させ、ねじ３７をカラー部材３６内に
挿通させて、ねじ孔３５ａにねじ込むことによって、フ
ランジ部３６ａによって振動子２０は、マット１９を介
して、ベース３５とフランジ部３６ａとに挟持される。
このとき、カラー部材３６のフランジ部３６ａまでの高
さが前記両マット１９と振動子２０の合計の厚みよりも
やや小に形成されているので、振動子２０は、両マット
１９の弾性変形して、弱い圧接力によって厚み方向の動
きが規制されている。電極２１ａ，２１ｂは高周波電源
４１，４２によって接続されており、相互に時間的位相
差Φ＝９０°もしくは−９０°異なる高周波電圧ｓｉｎ
ωｔ、ｃｏｎωｔが印加されるように構成されている。
【０００５】次に、このような構成の超音波アクチュエ
ータの動作について説明する。高周波電源４１，４２に
よって位相差Φ＝９０°の高周波電圧ｓｉｎωｔ、ｃｏ
ｎωｔを振動子２０の各電極２１ａ，２１ｂに印加する
と、振動子２０が伸縮し、その内径／外径がある値
（０．２７）のとき径方向にラジアル振動（Ｒ、１）
と、非軸対称面内振動（１、１）の多重モード振動が同
時に起きる。ラジアル振動は図６（ａ）に示すように、
径方向に伸縮するモードで、一方、非軸対称面内振動は
同図（ｂ）に示すように図中上下方向の振動軸Ｏ−Ｏに
沿って伸縮する面内屈曲振動モードで、これら両モード
が振動子２０に付与されると、これら両モードの振動が
合成されて、電極２１ｃ、すなわち伝達部材２２に対応
した振動子２０の対向する周面に、同図（ｃ）に示すよ
うに、互いに反対方向に回転する楕円動作が発生する。
この楕円動作は、伝達部材２２を介して両可動レール４
０，４０に伝達されて、両可動レール４０，４０を図中
Ｂ方向に移動させる直進動作として取り出すことができ
る。なお、電極２１ｃは、振動子２０の温度特性による
変化を補正するためのモニター用の電極であって、この
電極２１ｃから振動によって発生する電圧を取り出し、
電極２１ａ，２１ｂから供給する電圧または周波数を変
えて修正するものである。
ータの動作について説明する。高周波電源４１，４２に
よって位相差Φ＝９０°の高周波電圧ｓｉｎωｔ、ｃｏ
ｎωｔを振動子２０の各電極２１ａ，２１ｂに印加する
と、振動子２０が伸縮し、その内径／外径がある値
（０．２７）のとき径方向にラジアル振動（Ｒ、１）
と、非軸対称面内振動（１、１）の多重モード振動が同
時に起きる。ラジアル振動は図６（ａ）に示すように、
径方向に伸縮するモードで、一方、非軸対称面内振動は
同図（ｂ）に示すように図中上下方向の振動軸Ｏ−Ｏに
沿って伸縮する面内屈曲振動モードで、これら両モード
が振動子２０に付与されると、これら両モードの振動が
合成されて、電極２１ｃ、すなわち伝達部材２２に対応
した振動子２０の対向する周面に、同図（ｃ）に示すよ
うに、互いに反対方向に回転する楕円動作が発生する。
この楕円動作は、伝達部材２２を介して両可動レール４
０，４０に伝達されて、両可動レール４０，４０を図中
Ｂ方向に移動させる直進動作として取り出すことができ
る。なお、電極２１ｃは、振動子２０の温度特性による
変化を補正するためのモニター用の電極であって、この
電極２１ｃから振動によって発生する電圧を取り出し、
電極２１ａ，２１ｂから供給する電圧または周波数を変
えて修正するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の超音波アクチュエータにおいては、振動子２０
の厚み方向の動きをマット１９全体で規制するようにし
ている。このようにマット１９全体による面接触で振動
子を押圧した構造としているので、振動子２０の振動を
抑制し、このため可動レール４０の移動が円滑かつ、充
分に得られないといった問題があった。
た従来の超音波アクチュエータにおいては、振動子２０
の厚み方向の動きをマット１９全体で規制するようにし
ている。このようにマット１９全体による面接触で振動
子を押圧した構造としているので、振動子２０の振動を
抑制し、このため可動レール４０の移動が円滑かつ、充
分に得られないといった問題があった。
【０００７】したがって、本発明は上記した従来の問題
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、円滑かつ充分な動作が得られる超音波アクチュエー
タを提供することにある。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、円滑かつ充分な動作が得られる超音波アクチュエー
タを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係る超音波アクチュエータは、中央孔を有
するリング状の振動子と、この振動子を載置するベース
板と、前記振動子の厚み方向を挟むようにして配設され
た中央孔を有する一対のリング状の弾性部材と、前記振
動子および弾性部材の中央孔を貫通して前記ベース板に
取り付けられ、前記一対の弾性部材を前記ベース板と挟
持するフランジ部を備えたカラー部材とからなり、前記
振動子に２相の高周波電圧を供給してラジアル振動と非
軸対称面内振動との合成による多重モード振動を発生さ
せ、前記振動子周面に当接する被作動部材を変位させる
超音波アクチュエータにおいて、前記カラー部材のフラ
ンジ部とベース板とに、互いに対向して突設され、前記
弾性部材を圧接する突起を設ける。
に、本発明に係る超音波アクチュエータは、中央孔を有
するリング状の振動子と、この振動子を載置するベース
板と、前記振動子の厚み方向を挟むようにして配設され
た中央孔を有する一対のリング状の弾性部材と、前記振
動子および弾性部材の中央孔を貫通して前記ベース板に
取り付けられ、前記一対の弾性部材を前記ベース板と挟
持するフランジ部を備えたカラー部材とからなり、前記
振動子に２相の高周波電圧を供給してラジアル振動と非
軸対称面内振動との合成による多重モード振動を発生さ
せ、前記振動子周面に当接する被作動部材を変位させる
超音波アクチュエータにおいて、前記カラー部材のフラ
ンジ部とベース板とに、互いに対向して突設され、前記
弾性部材を圧接する突起を設ける。
【０００９】
【作用】本発明によれば、振動子全体を圧接することが
なく、振動子の振動を抑制することがない。
なく、振動子の振動を抑制することがない。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。図１は本発明に係る超音波アクチュエータの要部
の分解斜視図である。同図において、従来技術と同一の
構成については同一の符号を付し、詳細な説明は省略す
る。同図において、３５はＡＢＳ樹脂で形成された断面
多角形状のベースで、中央にねじ孔３５ａが螺設され、
周りに４個のピン３５ｂが一体に突設されている。３６
はポリカーボネイト樹脂で形成されたカラー部材で、フ
ランジ部３６ａの下面には、ピン３５ｂに対応した位置
に４個のピン３６ｂが一体に突設されている。カラー部
材３６のフランジ部３６ｂの下面までの高さからピン３
５ｂおよび３６ｂの高さを減じた長さが、一対のマット
１９の厚みに振動子２０の厚みを加えた長さよりもやや
小となるように形成されている。
する。図１は本発明に係る超音波アクチュエータの要部
の分解斜視図である。同図において、従来技術と同一の
構成については同一の符号を付し、詳細な説明は省略す
る。同図において、３５はＡＢＳ樹脂で形成された断面
多角形状のベースで、中央にねじ孔３５ａが螺設され、
周りに４個のピン３５ｂが一体に突設されている。３６
はポリカーボネイト樹脂で形成されたカラー部材で、フ
ランジ部３６ａの下面には、ピン３５ｂに対応した位置
に４個のピン３６ｂが一体に突設されている。カラー部
材３６のフランジ部３６ｂの下面までの高さからピン３
５ｂおよび３６ｂの高さを減じた長さが、一対のマット
１９の厚みに振動子２０の厚みを加えた長さよりもやや
小となるように形成されている。
【００１１】このような構成において、ベース３５のピ
ン３５ｂ上に下方のマット１９を載置し、その上に振動
子２０および上方のマット１９を載置したのち、カラー
部材３６をそれぞれの中央孔１９ａ，２０ａ内に挿通さ
せ、ねじ３７をカラー部材内を挿通させてねじ孔３５ａ
にねじ込むことにより、振動子２０を表裏から挟持して
いる一対のマット１９，１９には、上下から４対のピン
３５ｂ，３６ｂが点接触により押圧することとなる。こ
のため、弾性部材であるマット１９，１９は、ピン３５
ｂ，３６ｂにより押圧された部分が弾性変形して、この
弾性変形した部位によって振動子２０が点接触により挟
持される。なお、図示を省略しているが、前記伝達部材
２２には上述した従来技術と同様に一対の対向する可動
レール４０，４０が弱い圧接力により当接している。
ン３５ｂ上に下方のマット１９を載置し、その上に振動
子２０および上方のマット１９を載置したのち、カラー
部材３６をそれぞれの中央孔１９ａ，２０ａ内に挿通さ
せ、ねじ３７をカラー部材内を挿通させてねじ孔３５ａ
にねじ込むことにより、振動子２０を表裏から挟持して
いる一対のマット１９，１９には、上下から４対のピン
３５ｂ，３６ｂが点接触により押圧することとなる。こ
のため、弾性部材であるマット１９，１９は、ピン３５
ｂ，３６ｂにより押圧された部分が弾性変形して、この
弾性変形した部位によって振動子２０が点接触により挟
持される。なお、図示を省略しているが、前記伝達部材
２２には上述した従来技術と同様に一対の対向する可動
レール４０，４０が弱い圧接力により当接している。
【００１２】次に、このような構成における動作を説明
する。上述した従来技術と同様に、高周波電源によって
位相差Φ＝９０°の高周波電圧ｓｉｎωｔ、ｃｏｎωｔ
を振動子２０の各電極２１ａ，２１ｂに印加すると、振
動子２０に、ラジアル振動（Ｒ、１）と、非軸対称面内
振動（１、１）の多重モード振動が同時に起き、これら
両モードの振動が合成されて、伝達部材２２に対応した
振動子２０の対向する周面に、互いに反対方向に回転す
る楕円動作が発生する。この楕円動作により、両可動レ
ール４０，４０（図示せず）が移動する。
する。上述した従来技術と同様に、高周波電源によって
位相差Φ＝９０°の高周波電圧ｓｉｎωｔ、ｃｏｎωｔ
を振動子２０の各電極２１ａ，２１ｂに印加すると、振
動子２０に、ラジアル振動（Ｒ、１）と、非軸対称面内
振動（１、１）の多重モード振動が同時に起き、これら
両モードの振動が合成されて、伝達部材２２に対応した
振動子２０の対向する周面に、互いに反対方向に回転す
る楕円動作が発生する。この楕円動作により、両可動レ
ール４０，４０（図示せず）が移動する。
【００１３】このとき、振動子２０を表裏から挟持して
いる一対のマット１９，１９には、上下から４対のピン
３６ｂ，３５ｂが点接触により押圧しており、弾性部材
であるマット１９，１９は、ピン３６ｂ，３５ｂにより
押圧された部分が弾性変形して、この弾性変形した部位
によって振動子２０が挟持されるので、振動子２０も点
接触によってマット１９，１９で挟持される。このた
め、従来のように面接触で挟持された場合と比較して、
振動子２０全体の振動を抑制することなく、振動子２０
に発生する振動を妨げることがないので、可動レール４
０（図示せず）の円滑な移動と充分な移動量が得られる
とともに、部品点数を大幅に削減することができ、構成
が簡易となり、組立も容易となる。
いる一対のマット１９，１９には、上下から４対のピン
３６ｂ，３５ｂが点接触により押圧しており、弾性部材
であるマット１９，１９は、ピン３６ｂ，３５ｂにより
押圧された部分が弾性変形して、この弾性変形した部位
によって振動子２０が挟持されるので、振動子２０も点
接触によってマット１９，１９で挟持される。このた
め、従来のように面接触で挟持された場合と比較して、
振動子２０全体の振動を抑制することなく、振動子２０
に発生する振動を妨げることがないので、可動レール４
０（図示せず）の円滑な移動と充分な移動量が得られる
とともに、部品点数を大幅に削減することができ、構成
が簡易となり、組立も容易となる。
【００１４】図２は本発明の第２の実施例を示す要部の
分解斜視図である。この第２の実施例では、上述した第
１の実施例に設けたピン３５ｂおよびピン３６ｂの替わ
りに、一対のマット１９に突起１９ｂを一体に突設した
ものである。すなわち、下方のマット１９の表面に、上
方に突設した突起１９ｂを、また、上方のマット１９の
裏面に、下方に突設した突起１９ｂをそれぞれ設けたも
のである。
分解斜視図である。この第２の実施例では、上述した第
１の実施例に設けたピン３５ｂおよびピン３６ｂの替わ
りに、一対のマット１９に突起１９ｂを一体に突設した
ものである。すなわち、下方のマット１９の表面に、上
方に突設した突起１９ｂを、また、上方のマット１９の
裏面に、下方に突設した突起１９ｂをそれぞれ設けたも
のである。
【００１５】このような構成とすることにより、振動子
２０は、これらマット１９の突起１９ｂの点接触によっ
て、挟持されるので、上述した第１の実施例と同様な作
用効果があるとともに、マット１９の突起１９ｂによっ
て直接振動子２０を点接触で押圧するので、確実な点接
触が得られ、可動レールの円滑な移動と充分な移動量が
より確実に得られる。
２０は、これらマット１９の突起１９ｂの点接触によっ
て、挟持されるので、上述した第１の実施例と同様な作
用効果があるとともに、マット１９の突起１９ｂによっ
て直接振動子２０を点接触で押圧するので、確実な点接
触が得られ、可動レールの円滑な移動と充分な移動量が
より確実に得られる。
【００１６】図３は本発明の第３の実施例を示す要部の
分解斜視図である。この第３の実施例では、上述した第
２の実施例における突起１９ｂの向きを反対にした点が
異なる。すなわち、下方のマット１９の裏面に、下方に
突設した突起１９ｂを、また、上方のマット１９の表面
に、上方に突設した突起１９ｂをそれぞれ設けたもので
ある。このような構成においても、それぞれの突起１９
ｂは、ベース３５およびカラー部材３６のフランジ部３
６ａによって押圧され、その部位のマットが弾性変形す
ることにより、振動子２０が点接触によりマット１９に
より挟持される。
分解斜視図である。この第３の実施例では、上述した第
２の実施例における突起１９ｂの向きを反対にした点が
異なる。すなわち、下方のマット１９の裏面に、下方に
突設した突起１９ｂを、また、上方のマット１９の表面
に、上方に突設した突起１９ｂをそれぞれ設けたもので
ある。このような構成においても、それぞれの突起１９
ｂは、ベース３５およびカラー部材３６のフランジ部３
６ａによって押圧され、その部位のマットが弾性変形す
ることにより、振動子２０が点接触によりマット１９に
より挟持される。
【００１７】なお、上述した実施例では、直線状に移動
する可動レール４０を用いたリニア型超音波アクチュエ
ータの例を挙げたが、これに限定されることなく、被作
動部材を回転自在に支持したロータとすることによっ
て、ロータの回転を出力とする超音波モータに適用でき
ることはいうまでのないことである。
する可動レール４０を用いたリニア型超音波アクチュエ
ータの例を挙げたが、これに限定されることなく、被作
動部材を回転自在に支持したロータとすることによっ
て、ロータの回転を出力とする超音波モータに適用でき
ることはいうまでのないことである。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、中
央孔を有するリング状の振動子と、この振動子を載置す
るベース板と、前記振動子の厚み方向を挟むようにして
配設された中央孔を有する一対のリング状の弾性部材
と、前記振動子および弾性部材の中央孔を貫通して前記
ベース板に取り付けられ、前記一対の弾性部材を前記ベ
ース板と挟持するフランジ部を備えたカラー部材とから
なり、前記振動子に２相の高周波電圧を供給してラジア
ル振動と非軸対称面内振動との合成による多重モード振
動を発生させ、前記振動子周面に当接する被作動部材を
変位させる超音波アクチュエータであって、前記カラー
部材のフランジ部とベース板とに、互いに対向して突設
され、前記弾性部材を圧接する突起を設けたことによ
り、従来のように面接触で挟持された場合と比較して、
振動子全体の振動を抑制することなく、振動子に発生す
る振動を妨げることがないので、被作動部材の円滑な変
位と充分な変位量が得られるとともに、部品点数を大幅
に削減することができ、構成が簡易となり、組立も容易
となる。
央孔を有するリング状の振動子と、この振動子を載置す
るベース板と、前記振動子の厚み方向を挟むようにして
配設された中央孔を有する一対のリング状の弾性部材
と、前記振動子および弾性部材の中央孔を貫通して前記
ベース板に取り付けられ、前記一対の弾性部材を前記ベ
ース板と挟持するフランジ部を備えたカラー部材とから
なり、前記振動子に２相の高周波電圧を供給してラジア
ル振動と非軸対称面内振動との合成による多重モード振
動を発生させ、前記振動子周面に当接する被作動部材を
変位させる超音波アクチュエータであって、前記カラー
部材のフランジ部とベース板とに、互いに対向して突設
され、前記弾性部材を圧接する突起を設けたことによ
り、従来のように面接触で挟持された場合と比較して、
振動子全体の振動を抑制することなく、振動子に発生す
る振動を妨げることがないので、被作動部材の円滑な変
位と充分な変位量が得られるとともに、部品点数を大幅
に削減することができ、構成が簡易となり、組立も容易
となる。
【００１９】また、本発明によれば、中央孔を有するリ
ング状の振動子と、この振動子を載置するベース板と、
前記振動子の厚み方向を挟むようにして配設された中央
孔を有する一対のリング状の弾性部材と、前記振動子お
よび弾性部材の中央孔を貫通して前記ベース板に取り付
けられ、前記一対の弾性部材を前記ベースと挟持するフ
ランジ部を備えたカラー部材とからなり、前記振動子に
２相の高周波電圧を供給してラジアル振動と非軸対称面
内振動との合成による多重モード振動を発生させ、前記
振動子周面に当接する被作動部材を変位させる超音波ア
クチュエータであって、前記一対の弾性部材の互いに対
応する位置に、弾性部材の厚み方向に突起を突設したこ
とにより、従来のように面接触で挟持された場合と比較
して、振動子全体の振動を抑制することなく、振動子に
発生する振動を妨げることがないので、被作動部材の円
滑な変位と充分な変位量が得られるとともに、弾性部材
の突起によって直接振動子を点接触で押圧するので、確
実な点接触が得られ、被作動部材の円滑な変位と充分な
変位量がより確実に得られる。
ング状の振動子と、この振動子を載置するベース板と、
前記振動子の厚み方向を挟むようにして配設された中央
孔を有する一対のリング状の弾性部材と、前記振動子お
よび弾性部材の中央孔を貫通して前記ベース板に取り付
けられ、前記一対の弾性部材を前記ベースと挟持するフ
ランジ部を備えたカラー部材とからなり、前記振動子に
２相の高周波電圧を供給してラジアル振動と非軸対称面
内振動との合成による多重モード振動を発生させ、前記
振動子周面に当接する被作動部材を変位させる超音波ア
クチュエータであって、前記一対の弾性部材の互いに対
応する位置に、弾性部材の厚み方向に突起を突設したこ
とにより、従来のように面接触で挟持された場合と比較
して、振動子全体の振動を抑制することなく、振動子に
発生する振動を妨げることがないので、被作動部材の円
滑な変位と充分な変位量が得られるとともに、弾性部材
の突起によって直接振動子を点接触で押圧するので、確
実な点接触が得られ、被作動部材の円滑な変位と充分な
変位量がより確実に得られる。
【図１】 本発明に係る超音波アクチュエータの第１の
実施例の要部分解斜視図である。
実施例の要部分解斜視図である。
【図２】 本発明に係る超音波アクチュエータの第２の
実施例の要部分解斜視図である。
実施例の要部分解斜視図である。
【図３】 本発明に係る超音波アクチュエータの第３の
実施例の要部分解斜視図である。
実施例の要部分解斜視図である。
【図４】 従来の超音波アクチュエータの要部分解斜視
図である。
図である。
【図５】 従来の超音波アクチュエータの要部平面図で
ある。
ある。
【図６】 一般的な超音波アクチュエータの原理を説明
する図で、（ａ）はラジアル振動を示し、（ｂ）は非軸
対称面内振動を示し、（ｃ）は両振動を合成した振動を
示すものである。
する図で、（ａ）はラジアル振動を示し、（ｂ）は非軸
対称面内振動を示し、（ｃ）は両振動を合成した振動を
示すものである。
１９…マット、１９ｂ，３５ｂ，３６ｂ…ピン、２０…
振動子、３６…カラー部材。
振動子、３６…カラー部材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00 - 2/18
Claims (2)
- 【請求項１】 中央孔を有するリング状の振動子と、こ
の振動子を載置するベース板と、前記振動子の厚み方向
を挟むようにして配設された中央孔を有する一対のリン
グ状の弾性部材と、前記振動子および弾性部材の中央孔
を貫通して前記ベース板に取り付けられ、前記一対の弾
性部材を前記ベース板と挟持するフランジ部を備えたカ
ラー部材とからなり、前記振動子に２相の高周波電圧を
供給してラジアル振動と非軸対称面内振動との合成によ
る多重モード振動を発生させ、前記振動子周面に当接す
る被作動部材を変位させる超音波アクチュエータにおい
て、前記カラー部材のフランジ部とベース板とに、互い
に対向して突設され、前記弾性部材を圧接する突起を設
けたことを特徴とする超音波アクチュエータ。 - 【請求項２】 中央孔を有するリング状の振動子と、こ
の振動子を載置するベース板と、前記振動子の厚み方向
を挟むようにして配設された中央孔を有する一対のリン
グ状の弾性部材と、前記振動子および弾性部材の中央孔
を貫通して前記ベース板に取り付けられ、前記一対の弾
性部材を前記ベースと挟持するフランジ部を備えたカラ
ー部材とからなり、前記振動子に２相の高周波電圧を供
給してラジアル振動と非軸対称面内振動との合成による
多重モード振動を発生させ、前記振動子周面に当接する
被作動部材を変位させる超音波アクチュエータにおい
て、前記一対の弾性部材の互いに対応する位置に、弾性
部材の厚み方向に突起を突設したことを特徴とする超音
波アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6313251A JP3055414B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | 超音波アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6313251A JP3055414B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | 超音波アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08168275A JPH08168275A (ja) | 1996-06-25 |
| JP3055414B2 true JP3055414B2 (ja) | 2000-06-26 |
Family
ID=18038953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6313251A Expired - Fee Related JP3055414B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | 超音波アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3055414B2 (ja) |
-
1994
- 1994-12-16 JP JP6313251A patent/JP3055414B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08168275A (ja) | 1996-06-25 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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