JP2998248B2 - 角速度センサ装置 - Google Patents
角速度センサ装置Info
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- JP2998248B2 JP2998248B2 JP3060034A JP6003491A JP2998248B2 JP 2998248 B2 JP2998248 B2 JP 2998248B2 JP 3060034 A JP3060034 A JP 3060034A JP 6003491 A JP6003491 A JP 6003491A JP 2998248 B2 JP2998248 B2 JP 2998248B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばセラミック圧電素
子を使用した音叉構造振動型角速度センサを駆動し、角
速度に比例した電圧を出力するための角速度センサ装置
に関するものである。
子を使用した音叉構造振動型角速度センサを駆動し、角
速度に比例した電圧を出力するための角速度センサ装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の角速度センサ装置を図面に基づき
説明する。図６は従来の角速度センサ装置の構成を示す
ブロック図であり、１は第１の増幅器、２は整流器、３
は平滑回路、４は第２の増幅器、５は第３の増幅器、６
は位相検波器、７は平滑回路、８は直流増幅器、９は音
叉構造振動型角速度センサをそれぞれ示すものである。
説明する。図６は従来の角速度センサ装置の構成を示す
ブロック図であり、１は第１の増幅器、２は整流器、３
は平滑回路、４は第２の増幅器、５は第３の増幅器、６
は位相検波器、７は平滑回路、８は直流増幅器、９は音
叉構造振動型角速度センサをそれぞれ示すものである。
【０００３】音叉構造振動型角速度センサ装置は、モニ
タ用圧電素子１０２の表面電荷を増幅する第１の増幅器
１と、この出力電圧を整流する整流器２と、この整流器
２の出力電圧を平滑する平滑回路３と、この平滑回路３
の出力電圧値が高くなると増幅度が低下し、低くなると
増幅度が高くなるように構成された第２の増幅器４とに
よって駆動用圧電素子１０１に印加される電圧振幅が制
御され、音叉は一定振幅で音叉振動するように構成され
ている。
タ用圧電素子１０２の表面電荷を増幅する第１の増幅器
１と、この出力電圧を整流する整流器２と、この整流器
２の出力電圧を平滑する平滑回路３と、この平滑回路３
の出力電圧値が高くなると増幅度が低下し、低くなると
増幅度が高くなるように構成された第２の増幅器４とに
よって駆動用圧電素子１０１に印加される電圧振幅が制
御され、音叉は一定振幅で音叉振動するように構成され
ている。
【０００４】また、第１，第２の検知用圧電素子１０
３，１０４の表面電極には印加される角速度に応じて電
荷が生じる。この電荷は第３の増幅器５で増幅され、位
相検波器６で音叉振動の周期で位相検波されて角速度に
比例した電圧が得られる。この電圧は直流増幅器８によ
って直流増幅されて出力されるように構成されたもので
あった。
３，１０４の表面電極には印加される角速度に応じて電
荷が生じる。この電荷は第３の増幅器５で増幅され、位
相検波器６で音叉振動の周期で位相検波されて角速度に
比例した電圧が得られる。この電圧は直流増幅器８によ
って直流増幅されて出力されるように構成されたもので
あった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】音叉構造振動型角速度
センサは、音叉振動方向と直交する方向に発生する角速
度に応じた信号を利用することを基本原理とするもので
あるがゆえに、どうしても音叉振動に起因するモレ信号
成分が発生しやすい。
センサは、音叉振動方向と直交する方向に発生する角速
度に応じた信号を利用することを基本原理とするもので
あるがゆえに、どうしても音叉振動に起因するモレ信号
成分が発生しやすい。
【０００６】例えば、駆動用圧電素子１０１と第１の検
知用圧電素子１０３との直交精度及びモニタ用圧電素子
１０２と第２の検知用圧電素子１０４との直交精度バラ
ツキにより、角速度信号がゼロの時でも第３の増幅器５
の入力端に音叉振動による電荷が生じる。
知用圧電素子１０３との直交精度及びモニタ用圧電素子
１０２と第２の検知用圧電素子１０４との直交精度バラ
ツキにより、角速度信号がゼロの時でも第３の増幅器５
の入力端に音叉振動による電荷が生じる。
【０００７】この電荷は位相検波器６を通過する時に完
全に除去することができるが、この電荷は角速度によっ
て生ずる電荷に対し非常に大きな値であるために位相検
波を行う前の第３の増幅器５で増幅度を上げることがで
きず、したがって位相検波を行った後の直流増幅器８の
増幅度を上げる必要があり、これによって位相検波器６
のスイッチングスピードの変動により出力電圧が不安定
になったり、直流増幅器８のオフセット変動による出力
電圧の温度変化によるドリフトの発生などによる性能バ
ラツキが大きく、出力信号にリップルやノイズなどの悪
影響を与えるという課題を有したものであった。
全に除去することができるが、この電荷は角速度によっ
て生ずる電荷に対し非常に大きな値であるために位相検
波を行う前の第３の増幅器５で増幅度を上げることがで
きず、したがって位相検波を行った後の直流増幅器８の
増幅度を上げる必要があり、これによって位相検波器６
のスイッチングスピードの変動により出力電圧が不安定
になったり、直流増幅器８のオフセット変動による出力
電圧の温度変化によるドリフトの発生などによる性能バ
ラツキが大きく、出力信号にリップルやノイズなどの悪
影響を与えるという課題を有したものであった。
【０００８】本発明は上記課題を解決し、性能の安定を
図った角速度センサ装置の提供を目的とするものであ
る。
図った角速度センサ装置の提供を目的とするものであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明による角速度センサ装置は、音叉構造の角速度
センサと、この角速度センサのモニタ用圧電素子の表面
電極に生ずる電荷を入力とする第１の増幅器と、この第
１の増幅器の出力電圧を入力とする反転増幅器と、この
反転増幅器の出力電圧を入力とし前記駆動用圧電素子の
駆動用電圧を可変調整して出力する第２の増幅器と、こ
の角速度センサの第１と第２の検知用圧電素子の表面電
極に生ずる電荷を入力としこの電荷量に比例した電圧を
出力する第３の増幅器と、この第３の増幅器の出力電圧
を音叉振動のタイミングによって位相検波する位相検波
器と、この位相検波器の出力信号を平滑する平滑回路
と、この平滑回路の出力電圧を直流増幅する直流増幅器
と、前記第１の増幅器の出力端子もしくは前記反転増幅
器の出力端子のいずれかと前記第３の増幅器の入力端子
との間に抵抗素子もしくは容量素子を接続した構成とし
たものである。
に本発明による角速度センサ装置は、音叉構造の角速度
センサと、この角速度センサのモニタ用圧電素子の表面
電極に生ずる電荷を入力とする第１の増幅器と、この第
１の増幅器の出力電圧を入力とする反転増幅器と、この
反転増幅器の出力電圧を入力とし前記駆動用圧電素子の
駆動用電圧を可変調整して出力する第２の増幅器と、こ
の角速度センサの第１と第２の検知用圧電素子の表面電
極に生ずる電荷を入力としこの電荷量に比例した電圧を
出力する第３の増幅器と、この第３の増幅器の出力電圧
を音叉振動のタイミングによって位相検波する位相検波
器と、この位相検波器の出力信号を平滑する平滑回路
と、この平滑回路の出力電圧を直流増幅する直流増幅器
と、前記第１の増幅器の出力端子もしくは前記反転増幅
器の出力端子のいずれかと前記第３の増幅器の入力端子
との間に抵抗素子もしくは容量素子を接続した構成とし
たものである。
【００１０】
【作用】この構成によって第３の増幅器の入力信号に含
まれる音叉振動によるモレ信号成分を打ち消すことが可
能となり、これにより第３の増幅器の増幅度を上げるこ
とが可能となる。
まれる音叉振動によるモレ信号成分を打ち消すことが可
能となり、これにより第３の増幅器の増幅度を上げるこ
とが可能となる。
【００１１】すなわち、音叉振動によるモレ信号成分は
音叉振動電圧を増幅している第１の増幅器の出力電圧と
同位相もしくは１８０°位相のズレた信号成分である。
音叉振動電圧を増幅している第１の増幅器の出力電圧と
同位相もしくは１８０°位相のズレた信号成分である。
【００１２】このため、同位相の場合には、この信号を
反転増幅した信号をモレ信号の大小に応じて一定量加え
てやればモレ信号を打ち消すことが可能であり、第１の
増幅器の出力電圧と１８０°位相のズレた信号成分であ
れば第１の増幅器の出力電圧をモレ信号の大小に応じて
一定量加えてやればモレ信号を打ち消すことが可能とな
るものである。
反転増幅した信号をモレ信号の大小に応じて一定量加え
てやればモレ信号を打ち消すことが可能であり、第１の
増幅器の出力電圧と１８０°位相のズレた信号成分であ
れば第１の増幅器の出力電圧をモレ信号の大小に応じて
一定量加えてやればモレ信号を打ち消すことが可能とな
るものである。
【００１３】
【実施例】以下、本発明による角速度センサ装置の一実
施例を図面に基づいて説明する。
施例を図面に基づいて説明する。
【００１４】まず音叉構造振動型角速度センサについて
図３〜図５を用いて説明する。図３は本発明による角速
度センサの構成を示す斜視図であり、主に４つの圧電素
子からなる駆動素子１０１，モニタ素子１０２，第１及
び第２の検知素子１０３，１０４で構成され、駆動素子
１０１と第１の検知素子１０３とを接合部１０５で直交
接合した第１の振動ユニット１０９と、モニタ素子１０
２と第２の検知素子１０４とを接合部１０６で直交接合
した第２の振動ユニット１１０とを連結板１０７で連結
し、この連結板１０７を支持棒１０８で一点支持した音
叉構造に構成されている。なお、上記４つの圧電素子１
０１〜１０４はそれぞれ金属振動体により構成された音
叉に圧電体を接合して構成されたものである。
図３〜図５を用いて説明する。図３は本発明による角速
度センサの構成を示す斜視図であり、主に４つの圧電素
子からなる駆動素子１０１，モニタ素子１０２，第１及
び第２の検知素子１０３，１０４で構成され、駆動素子
１０１と第１の検知素子１０３とを接合部１０５で直交
接合した第１の振動ユニット１０９と、モニタ素子１０
２と第２の検知素子１０４とを接合部１０６で直交接合
した第２の振動ユニット１１０とを連結板１０７で連結
し、この連結板１０７を支持棒１０８で一点支持した音
叉構造に構成されている。なお、上記４つの圧電素子１
０１〜１０４はそれぞれ金属振動体により構成された音
叉に圧電体を接合して構成されたものである。
【００１５】このように構成された角速度センサの駆動
素子１０１に正弦波電圧信号を与えると、逆圧電効果に
より第１の振動ユニット１０９が振動を始め、音叉振動
により第２の振動ユニット１１０も振動を開始する。従
ってモニタ素子１０２の圧電効果によってモニタ素子１
０２表面に発生する電荷は駆動素子１０１へ印加してい
る正弦波電圧信号に比例する。このモニタ素子１０２に
発生する電荷を検出し、これが一定振幅になるように駆
動素子１０１へ印加する正弦波電圧信号をコントロール
することにより安定した音叉振動を得ることができる。
素子１０１に正弦波電圧信号を与えると、逆圧電効果に
より第１の振動ユニット１０９が振動を始め、音叉振動
により第２の振動ユニット１１０も振動を開始する。従
ってモニタ素子１０２の圧電効果によってモニタ素子１
０２表面に発生する電荷は駆動素子１０１へ印加してい
る正弦波電圧信号に比例する。このモニタ素子１０２に
発生する電荷を検出し、これが一定振幅になるように駆
動素子１０１へ印加する正弦波電圧信号をコントロール
することにより安定した音叉振動を得ることができる。
【００１６】この角速度センサ９が角速度に比例した出
力を発生させるメカニズムを図４及び図５を用いて説明
する。
力を発生させるメカニズムを図４及び図５を用いて説明
する。
【００１７】図４は上記図３に示した角速度センサ９を
上からみた状態を示すもので、速度υで振動している第
１の検知素子１０３に角速度ωの回転が加わると、第１
の検知素子１０３には『コリオリの力』が生じる。この
『コリオリの力』は速度υに垂直で大きさは２ｍυωで
ある。第１の検知素子１０３は音叉振動をしているの
で、ある時点で速度υで振動しているとすれば、第２の
検知素子１０４は速度−υで振動しており『コリオリの
力』は−２ｍυωである。よって第１，第２の検知素子
１０３，１０４は図５のように互いに『コリオリの力』
が働く方向に変形し、第１，第２の検知素子表面には圧
電効果によって電荷が生じる。
上からみた状態を示すもので、速度υで振動している第
１の検知素子１０３に角速度ωの回転が加わると、第１
の検知素子１０３には『コリオリの力』が生じる。この
『コリオリの力』は速度υに垂直で大きさは２ｍυωで
ある。第１の検知素子１０３は音叉振動をしているの
で、ある時点で速度υで振動しているとすれば、第２の
検知素子１０４は速度−υで振動しており『コリオリの
力』は−２ｍυωである。よって第１，第２の検知素子
１０３，１０４は図５のように互いに『コリオリの力』
が働く方向に変形し、第１，第２の検知素子表面には圧
電効果によって電荷が生じる。
【００１８】 ここでυは音叉振動によって生じる運動であり、音叉振動が υ＝ａ・ｓｉｎω0ｔ ａ：音叉振動の振幅 ω0：音叉振動の周期 であるとすれば、『コリオリの力』は Ｆc＝ａ・ω・ｓｉｎω0ｔ となり、角速度ω及び音叉振幅ａに比例しており、第
１，第２の検知素子１０３，１０４を面方向に変形させ
る力となる。
１，第２の検知素子１０３，１０４を面方向に変形させ
る力となる。
【００１９】従って第１，第２の検知素子１０３，１０
４の表面電荷量Ｑは Ｑ∝ａ・ω・ｓｉｎω0ｔ となり音叉振幅ａが一定にコントロールされているとす
れば、 Ｑ∝ω・ｓｉｎω0ｔ となり第１，第２の検知素子１０３，１０４に発生する
表面電荷量Ｑは角速度ωに比例した出力として得られ、
この信号をω0ｔで同期検波すれば角速度ωに比例した
直流信号が得られる。
４の表面電荷量Ｑは Ｑ∝ａ・ω・ｓｉｎω0ｔ となり音叉振幅ａが一定にコントロールされているとす
れば、 Ｑ∝ω・ｓｉｎω0ｔ となり第１，第２の検知素子１０３，１０４に発生する
表面電荷量Ｑは角速度ωに比例した出力として得られ、
この信号をω0ｔで同期検波すれば角速度ωに比例した
直流信号が得られる。
【００２０】なお、このセンサに角速度以外の並進運動
を与えても第１の検知素子１０３と第２の検知素子１０
４の２つの素子表面には同極性の電荷が生ずるため、直
流信号に変換時、互いに打ち消しあって出力は出ないよ
うになっている。
を与えても第１の検知素子１０３と第２の検知素子１０
４の２つの素子表面には同極性の電荷が生ずるため、直
流信号に変換時、互いに打ち消しあって出力は出ないよ
うになっている。
【００２１】図１は本発明による角速度センサ装置の一
実施例を示すものであり、図１は本発明の角速度センサ
装置の構成を示すブロック図であり、１は第１の増幅
器、２は整流器、３は平滑回路、４は第２の増幅器、５
は第３の増幅器、６は位相検波器、７は平滑回路、８は
直流増幅器、９は音叉構造振動型の角速度センサ、１０
は反転増幅器、１１は容量素子をそれぞれ示すものであ
る。
実施例を示すものであり、図１は本発明の角速度センサ
装置の構成を示すブロック図であり、１は第１の増幅
器、２は整流器、３は平滑回路、４は第２の増幅器、５
は第３の増幅器、６は位相検波器、７は平滑回路、８は
直流増幅器、９は音叉構造振動型の角速度センサ、１０
は反転増幅器、１１は容量素子をそれぞれ示すものであ
る。
【００２２】また、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）は前記
図１に示すブロック図における各部分の出力電圧を示す
出力波形図であり、（ａ）は第１の増幅器１の出力電
圧、（ｂ）は反転増幅器１０の出力電圧、（ｃ）の破線
は第３の増幅器５に入力される角速度信号に比例した振
幅で音叉振動周期と同周期の電荷、実線は音叉振動のモ
レ信号成分の電荷である。この音叉振動のモレ信号成分
は前記した通り角速度センサの組立上の角度ズレによっ
て生じ、その振幅量はズレの大きさに比例し、位相は角
度ズレが９０°に対し（＋）側か（−）側によって１８
０°異なった位相となるものである。
図１に示すブロック図における各部分の出力電圧を示す
出力波形図であり、（ａ）は第１の増幅器１の出力電
圧、（ｂ）は反転増幅器１０の出力電圧、（ｃ）の破線
は第３の増幅器５に入力される角速度信号に比例した振
幅で音叉振動周期と同周期の電荷、実線は音叉振動のモ
レ信号成分の電荷である。この音叉振動のモレ信号成分
は前記した通り角速度センサの組立上の角度ズレによっ
て生じ、その振幅量はズレの大きさに比例し、位相は角
度ズレが９０°に対し（＋）側か（−）側によって１８
０°異なった位相となるものである。
【００２３】従って、あらかじめ角速度センサ単品ごと
にモレ信号成分の位相と大きさを測定し、このモレ信号
成分を打ち消すために最適な容量素子もしくは抵抗素子
１１を選択し、モレ信号成分の位相の極性により第１の
増幅器１の出力端子もしくは反転増幅器１０の出力端子
のいずれかを選択して上記端子と第３の増幅器５の入力
端子との間に容量素子もしくは抵抗素子１１を接続する
ことにより前記図２（ｃ）に実線で示すモレ信号成分を
減少させることができる。
にモレ信号成分の位相と大きさを測定し、このモレ信号
成分を打ち消すために最適な容量素子もしくは抵抗素子
１１を選択し、モレ信号成分の位相の極性により第１の
増幅器１の出力端子もしくは反転増幅器１０の出力端子
のいずれかを選択して上記端子と第３の増幅器５の入力
端子との間に容量素子もしくは抵抗素子１１を接続する
ことにより前記図２（ｃ）に実線で示すモレ信号成分を
減少させることができる。
【００２４】このように構成された角速度センサ装置に
おいて、仮に図２（ｃ）に実線で示すモレ信号成分が破
線で示す第３の増幅器５に入力される角速度信号に比例
した振幅で音叉振動周期と同周期の電荷の信号に対し１
０倍の大きさであったとすると、実線のモレ信号成分を
打ち消すことにより第３の増幅器５の増幅度を１０倍に
上げることができ、従来と同感度の出力電圧を得るため
には直流増幅器８の増幅度は１／１０でよいことにな
る。
おいて、仮に図２（ｃ）に実線で示すモレ信号成分が破
線で示す第３の増幅器５に入力される角速度信号に比例
した振幅で音叉振動周期と同周期の電荷の信号に対し１
０倍の大きさであったとすると、実線のモレ信号成分を
打ち消すことにより第３の増幅器５の増幅度を１０倍に
上げることができ、従来と同感度の出力電圧を得るため
には直流増幅器８の増幅度は１／１０でよいことにな
る。
【００２５】この結果、位相検波器６のスイッチングス
ピードによる誤差や直流増幅器８のオフセット変動によ
る誤差が１／１０に縮小され、またノイズ及びリップル
も小さくなる。
ピードによる誤差や直流増幅器８のオフセット変動によ
る誤差が１／１０に縮小され、またノイズ及びリップル
も小さくなる。
【００２６】なお、第３の増幅器５の増幅度を１０倍に
することにより第３の増幅器５のオフセット変動も１０
倍の影響が生じるが、位相検波器６を介した構成とする
ことによりこの影響は除去され、性能の安定化を図るこ
とが可能になる。
することにより第３の増幅器５のオフセット変動も１０
倍の影響が生じるが、位相検波器６を介した構成とする
ことによりこの影響は除去され、性能の安定化を図るこ
とが可能になる。
【００２７】
【発明の効果】本発明による角速度センサ装置は、角速
度がゼロの時に検知用圧電素子に発生し第３の増幅器に
入力する電荷を打ち消すことが可能となり、これにより
位相検波前の増幅段における増幅度を上げることが可能
となり、これにより出力信号に含まれる音叉振動周波数
のリップルの減少、位相検波器のスイッチングスピード
の変動による出力電圧のフラツキや温度ドリフトの低
下、直流増幅器のオフセット変動による出力電圧の温度
ドリフトの低下、出力電圧に含まれるノイズの減少など
の効果を得ることが可能になるものである。
度がゼロの時に検知用圧電素子に発生し第３の増幅器に
入力する電荷を打ち消すことが可能となり、これにより
位相検波前の増幅段における増幅度を上げることが可能
となり、これにより出力信号に含まれる音叉振動周波数
のリップルの減少、位相検波器のスイッチングスピード
の変動による出力電圧のフラツキや温度ドリフトの低
下、直流増幅器のオフセット変動による出力電圧の温度
ドリフトの低下、出力電圧に含まれるノイズの減少など
の効果を得ることが可能になるものである。
【図１】本発明の一実施例における角速度センサ装置の
構成を示すブロック図
構成を示すブロック図
【図２】（ａ）同実施例における第１の増幅器の出力電
圧を示す出力波形図 （ｂ）同実施例における反転増幅器の出力電圧を示す出
力波形図 （ｃ）音叉振動のモレ信号成分の電荷を示す出力波形図
圧を示す出力波形図 （ｂ）同実施例における反転増幅器の出力電圧を示す出
力波形図 （ｃ）音叉振動のモレ信号成分の電荷を示す出力波形図
【図３】同実施例における角速度センサの構成を示す斜
視図
視図
【図４】同実施例における角速度センサの動作を説明す
る主要部平面図
る主要部平面図
【図５】同実施例における角速度センサの動作を説明す
る主要部斜視図
る主要部斜視図
【図６】従来の角速度センサ装置の一例を示すブロック
図
図
１ 第１の増幅器 ２ 整流器 ３，７ 平滑回路 ４ 第２の増幅器 ５ 第３の増幅器 ６ 位相検波器 ８ 直流増幅器 ９ 角速度センサ １０ 反転増幅器 １１ 容量素子 １０１ 駆動用圧電素子 １０２ モニタ用圧電素子 １０３ 第１の検知用圧電素子 １０４ 第２の検知用圧電素子 １０５，１０６ 接合部 １０７ 連結板 １０９ 第１の振動ユニット １１０ 第２の振動ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 純威 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−206516（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−297874（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (3)
- 【請求項１】 音叉構造の角速度センサと、この角速度
センサのモニタ用圧電素子の表面電極に生ずる電荷を入
力とする第１の増幅器と、この第１の増幅器の出力電圧
を入力とする反転増幅器と、この反転増幅器の出力電圧
を入力とし駆動用圧電素子の駆動用電圧を可変調整して
出力する第２の増幅器と、前記角速度センサの第１と第
２の検知用圧電素子の表面電極に生ずる電荷を入力とし
この電荷量に比例した電圧を出力する第３の増幅器と、
この第３の増幅器の出力電圧を音叉振動のタイミングに
よって位相検波する位相検波器と、この位相検波器の出
力信号を平滑する平滑回路と、この平滑回路の出力電圧
を直流増幅する直流増幅器と、前記第１の増幅器の出力
端子もしくは前記反転増幅器の出力端子のいずれかと前
記第３の増幅器の入力端子との間に抵抗素子もしくは容
量素子を接続して構成された角速度センサ装置。 - 【請求項２】 角速度センサは駆動用圧電素子と第１の
検知用圧電素子とを互いに直交接合してなる第１の振動
ユニット及びモニタ用圧電素子と第２の検知用圧電素子
とを互いに直交接合してなる第２の振動ユニットからな
り、かつ前記第１、第２の振動ユニットを検知軸に沿っ
て互いに平行になるように前記駆動用圧電素子と前記モ
ニタ用圧電素子の自由端どうしを連結板で連結して音叉
構造とした請求項１記載の角速度センサ装置。 - 【請求項３】 角速度センサが金属振動体により構成さ
れた音叉に圧電体を接合して構成されたものである請求
項２記載の角速度センサ装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP3060034A JP2998248B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 角速度センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3060034A JP2998248B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 角速度センサ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04295716A JPH04295716A (ja) | 1992-10-20 |
| JP2998248B2 true JP2998248B2 (ja) | 2000-01-11 |
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ID=13130387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3060034A Expired - Fee Related JP2998248B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 角速度センサ装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP2998248B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 1991-03-25 JP JP3060034A patent/JP2998248B2/ja not_active Expired - Fee Related
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