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JP2996131B2 - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

薄膜磁気ヘッドの製造方法

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JP2996131B2
JP2996131B2 JP7066714A JP6671495A JP2996131B2 JP 2996131 B2 JP2996131 B2 JP 2996131B2 JP 7066714 A JP7066714 A JP 7066714A JP 6671495 A JP6671495 A JP 6671495A JP 2996131 B2 JP2996131 B2 JP 2996131B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浮上型薄膜磁気ヘッド
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】浮上型
薄膜磁気ヘッドを製造する場合、そのスライダとして要
求される長さ（スライダの前後方向の長さ）に等しい厚
さを有するウエハ（基板）を選び、そのウエハ上に磁
極、コイル及び保護膜等からなる多数の磁気ヘッド素子
（読み書き変換素子）を薄膜技術で形成する。その後、
このウエハを各矩形ブロック（バー）が単列に整列した
複数の磁気ヘッド素子を含むように分割して、レール形
成等のスライダの形状加工を行うことにより、最終的な
磁気ヘッドを得る。このような磁気ヘッド製造方法、特
にスライダの形成方法は、例えば特開平３−２９５０１
７号公報等から公知である。
【０００３】近年、この種の磁気ヘッドスライダは小型
化の一途をたどり、スライダの長さもこれまでの３．２
ｍｍ（ＩＤＥＭＡ規格における７０％スライダ）又は
２．０ｍｍ（ＩＤＥＭＡ規格における５０％スライダ）
からさらに小さくなって、１．２５ｍｍ（ＩＤＥＭＡ規
格における３０％スライダ）若しくは１．０ｍｍ、又は
それ以下とすることも検討されている。
【０００４】スライダの長さをこのように短くするため
には、従来技術によれば、ウエハの厚さをそれに応じて
薄くする必要がある。しかしながら、ウエハを薄板化す
ると、その反りが大きくなって、スライダ形成時の寸法
精度を大幅に悪化させるという問題が生じる。
【０００５】図５には、スライダ加工すべく、単列に整
列した複数の磁気ヘッド素子５０を各々が含むようにウ
エハから切り出した矩形ブロック（バー）５１が示され
ている。ウエハをこのような薄い（厚さｔ＝０．３ｍｍ
の ）単列のバー５１に分割してスライダ加工する場
合、磁気ヘッドのギャップ深さ方向（図５のＺ方向）へ
曲りが発生することが、従来より重大な問題となってい
る。即ち、ギャップ深さがヘッドの電磁変換特性を決定
する重要な要素であり、ギャップ深さ方向への曲りによ
ってこの変換特性に大きなばらつきが発生して歩留低下
を招いてしまうのである。
【０００６】ギャップ深さ方向への曲りを防止する１つ
の従来技術として、加熱した後、徐々に冷却するという
エージングによる方法が、前述した特開平３−２９５０
１７号公報に記載されている。
【０００７】ギャップ深さ方向への曲りを防止する他の
従来技術として、各バーが２重列に整列した複数の磁気
ヘッド素子を含むようにウエハの分割を行う方法が特開
平４−２８９５１１号公報に記載されている。
【０００８】このような従来技術によれば、ギャップ深
さ方向（図５のＺ方向）への曲りはある程度防止でき
る。しかしながら、前述したようにスライダの小型化に
伴うウエハの薄板化により、従来では全く問題とならな
かったウエハの厚み方向（図５のＹ方向）の曲りが非常
に大きな問題となってきている。図６は、図５に示した
バー５１のＸ方向の長さ（ｍｍ）に対するＹ方向の曲り
（μｍ）の変化を表わしている。同図において、実線は
ウエハの厚みＬがＬ＝２．０ｍｍの場合でありＹ方向の
曲りが比較的小さいが、破線はウエハの厚みＬがＬ＝
１．２ｍｍと薄い場合でありＹ方向の曲りがかなり大き
くなっている。
【０００９】即ち、これまではウエハの厚みが２ｍｍ以
上と比較的厚く、ウエハの厚み方向の曲りが小さかった
のでさほど問題は生じていなかった。しかしながら、ス
ライダの長さが、即ちウエハの厚みが２ｍｍ以下、例え
ば１．２ｍｍの小型スライダを製造するに当ってこの方
向の曲りが初めて問題となり、その解決策は未だ見い出
されていない。ウエハの厚み方向に曲りが生じると、そ
の後のレール形成工程においてレール寸法精度を著しく
悪化させ、製品の大幅な歩留低下を招いてしまう。
【００１０】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解決するものであり、その目的は、スライダを小型
化した場合にも、高い寸法精度でスライダ加工が行え、
歩留の低下を防止できる薄膜磁気ヘッドの製造方法を提
供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明によれ
ば、２ｍｍ以上の厚さを有するウエハ基板の一方の面上
に複数の薄膜磁気ヘッド素子を形成する工程と、複数の
薄膜磁気ヘッド素子を形成したウエハ基板を切断分割し
て、スライダの形状加工を行うスライダ加工工程とを備
えており、上述のスライダ加工工程が、薄膜磁気ヘッド
素子が形成されている面とは反対側部分を切除すること
により該スライダの長さを２ｍｍ未満の所望の長さに加
工する工程を含んでいる薄膜磁気ヘッドの製造方法が提
供される。
【００１２】基板として、２ｍｍ以上の厚さを有するウ
エハ基板を用いて薄膜磁気ヘッド素子を形成し、ウエハ
基板を切断分割した後にスライダ加工する。このスライ
ダ加工時に、薄膜磁気ヘッド素子が形成されている面と
は反対側部分を切除することによりスライダの長さが２
ｍｍ未満の所望の長さとなるようにしているので、小型
スライダを形成する場合にもウエハの厚さ方向への曲り
が増大しない。従って、スライダの小型化を図っても、
スライダ加工におけるレールの寸法精度を高レベルに維
持することができ、歩留の安定した製造を行うことがで
きる。しかも、薄膜磁気ヘッド素子が形成されている面
とは反対側に相当する部分を切除するという簡単な工程
を付加するのみでよいため、製造工程が複雑化すること
も避けられる。
【００１３】スライダ加工工程が、ウエハ基板を、少な
くとも１つの列に整列した複数の薄膜磁気ヘッド素子を
各々が含む矩形ブロックに切断分割する工程と、矩形ブ
ロックの薄膜磁気ヘッド素子が形成されている面とは反
対側部分を切除することによりスライダの長さを所望長
に加工する工程とを含むことが好ましい。
【００１４】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【００１５】図１〜図４は本発明の製造方法の一実施例
における各工程を概略的に説明する図である。
【００１６】本実施例においては、スライダ長が１．２
５ｍｍの小型の薄膜磁気ヘッドを製造するものとする。
図１の（Ａ）に示すように、まず、スライダのこの長さ
より厚い、例えば２．０ｍｍの厚さのウエハ１０を用意
し、その一方の面上に多数の磁気ヘッド素子（読み書き
変換素子）１１を成膜、パターンニング等を含む薄膜技
術で形成する。
【００１７】次いで、図１の（Ｂ）に示すように、この
ウエハ１０をその厚さ方向に切断し、各矩形ブロック
（バー）１２が単列に整列した複数の磁気ヘッド素子１
１を含むように分割する。このように切り出されたバー
１２に対して、図２に示すように、そのＡＢＳ面（浮上
面）１３側にレールを加工形成すると共に最適なギャッ
プ深さとなるようにＡＢＳ面１３の研磨を行う。この状
態では、スライダの長さ（バーの長さ）Ｌは、ウエハの
厚さと同じ２．０ｍｍである。
【００１８】次いで、このバー１２の磁気ヘッド素子形
成面と反対側の部分１２ａを切除することにより、スラ
イダの長さ（バーの長さ）Ｌを１．２５ｍｍとする。こ
の切除後の状態が、図３に示されている。
【００１９】その後、従来技術と同様の工程を行うこと
によって、図４に示すような、個々に切断分離された最
終的なスライダ１４が得られる。
【００２０】なお、以上の実施例では、スライダの長さ
を所望長にするためのバー１２の後方部分１２ａの切除
がＡＢＳ面１３の研磨後に行われている。しかしながら
この切除工程は、ウエハ１０からバー１２への切断分割
後であれば、研磨の前であってもレール形成加工の前に
行ってもよいことは明らかである。
【００２１】このように本実施例によれば、ウエハの厚
さが２．０ｍｍと厚いため、小型スライダを形成する場
合にもウエハの厚さ方向への曲りが増大しない。この点
は、前にも述べたように、図６からも明らかである。即
ち、同図より、ウエハ厚が１．２ｍｍの場合は、ウエハ
厚２．０ｍｍの場合に比して約３倍の曲りのあることが
分かる。これは、磁気ヘッド素子の形成過程で発生した
ウエハの反りがそのままスライダ長さ方向の曲り（Ｙ方
向の曲り）となっているためである。
【００２２】本実施例のごとくスライダ長が１．２５ｍ
ｍの小型の薄膜磁気ヘッドを製造する場合、所定のレー
ル寸法精度を得るには、Ｙ方向の曲りは＋／−３μｍで
なければならない。しかしながら、図６から分かるよう
に、ウエハ厚が１．２ｍｍの場合は、約６０％のバーが
この規格からはずれてしまい、これは著しい歩留低下を
もたらす。これに対して本実施例では、図６のウエハ厚
２．０ｍｍの特性から明らかのように、上述の規格をは
ずれるようなＹ方向の曲りは発生せず、このＹ方向の曲
りに起因するスライダ寸法不良は皆無となる。従って、
スライダの小型化を図っても、スライダ加工におけるレ
ールの寸法精度を高レベルに維持することができ、歩留
の安定した製造を行うことができる。しかも、基板の磁
気ヘッド素子形成面とは反対側部分を切除するという簡
単な工程を付加するのみでよいため、製造工程が複雑化
することも避けられる。
【００２３】なお、通常の薄膜磁気ヘッドでは、そのヘ
ッドの識別番号を表すマーカがスライダの磁気ヘッド素
子形成面と反対側面に記載されているが、上述の切除工
程でこのマーカは除去されてしまう。そのため本発明で
は、マーカを、スライダの磁気ヘッド素子形成面に記載
するか、又は磁気ヘッド素子と反対側面に前記切除工程
後に記載することが望ましい。
【００２４】以上述べた実施例は全て本発明を例示的に
示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は
他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができ
る。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等
範囲によってのみ規定されるものである。
【００２５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、２ｍｍ以上の厚さを有するウエハ基板を用いて薄膜
磁気ヘッド素子を形成し、ウエハ基板を切断分割した後
にスライダ加工する。このスライダ加工時に、薄膜磁気
ヘッド素子が形成されている面とは反対側部分を切除す
ることによりスライダの長さが２ｍｍ未満の所望の長さ
となるようにしているので、小型スライダを形成する場
合にもウエハの厚さ方向への曲りが増大しない。従っ
て、スライダの小型化を図っても、スライダ加工におけ
るレールの寸法精度を高レベルに維持することができ、
歩留の安定した製造を行うことができる。しかも、薄膜
磁気ヘッド素子が形成されている面とは反対側部分を切
除するという簡単な工程を付加するのみでよいため、製
造工程が複雑化することも避けられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造方法の一実施例における工程を概
略的に説明する図である。
【図２】本発明の製造方法の一実施例における工程を概
略的に説明する図である。
【図３】本発明の製造方法の一実施例における工程を概
略的に説明する図である。
【図４】本発明の製造方法の一実施例における工程を概
略的に説明する図である。
【図５】ウエハから切り出したバーを示す図である。
【図６】図５に示したバーのＸ方向の長さに対するＹ方
向の曲りの変化を表わす図である。
【符号の説明】
１０ ウエハ １１ 磁気ヘッド素子 １２ バー １２ａ 切除部分 １３ ＡＢＳ面 １４ スライダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/60 G11B 21/21 101 G11B 5/31

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ２ｍｍ以上の厚さを有するウエハ基板の
    一方の面上に複数の薄膜磁気ヘッド素子を形成する工程
    と、複数の薄膜磁気ヘッド素子を形成した該ウエハ基板
    を切断分割して、前記スライダの形状加工を行うスライ
    ダ加工工程とを備えており、該スライダ加工工程が、前
    記薄膜磁気ヘッド素子が形成されている面とは反対側部
    分を切除することにより該スライダの長さを２ｍｍ未満
    の所望の長さに加工する工程を含んでいることを特徴と
    する薄膜磁気ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項２】 前記スライダ加工工程が、前記基板を、
    少なくとも１つの列に整列した複数の磁気ヘッド素子を
    各々が含む矩形ブロックに切断分割する工程と、該矩形
    ブロックの磁気ヘッド素子形成面とは反対側部分を切除
    することにより該スライダの長さを所望長に加工する工
    程とを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
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