JP2849491B2

JP2849491B2 - Ｘ線断層撮影方法とその装置

Info

Publication number: JP2849491B2
Application number: JP3095164A
Authority: JP
Inventors: 美保子吉井; 洋哉越柴
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1991-04-25
Filing date: 1991-04-25
Publication date: 1999-01-20
Anticipated expiration: 2014-01-20
Also published as: JPH04326266A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、透過Ｘ線による試料の
断層撮影方法とその装置に係わり、特に回路基板の内部
構造の計測に好適とされたＸ線断層撮影方法とその装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】これまで、透過Ｘ線により試料内部のあ
る着目焦点面での断層像を検出する装置としては、米国
特許４９２６４５２に記載のものが知られている。これ
による場合、収束電子線をタ−ゲット上で走査すること
によってＸ線を走査する一方、試料を透過したＸ線を検
出する検出器を収束電子線と同期させて走査することに
よって、その試料内部のある着目焦点面での断層像が、
焦点面以外での像がぼかされた状態で検出されるように
なっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術による場合、収束電子線がタ−ゲット上で走査され、
Ｘ線が走査されていることから、どうしても試料上に照
射されるＸ線源径を小さく絞り得ず、これがために断層
像はぼけた状態として検出されるものとなっている。

【０００４】本発明の第１の目的は、試料内部の焦点面
での断層像は鮮明に、しかもその焦点面以外での像はぼ
かされた状態として検出可とされたＸ線断層撮影方法を
供するにある。本発明の第２の目的は、試料内部の焦点
面での断層像は鮮明に、しかもその焦点面以外での像は
ぼかされた状態として検出可とされたＸ線断層撮影装置
を供するにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的は、基本
的には、固定Ｘ線源に対し試料を所定の回転軸周りに位
置可変、姿勢状態不変として回転駆動する際に、その試
料からの透過Ｘ線を所定に検出処理することによって、
その試料内部焦点面での断層像を得ることで達成され
る。上記第２の目的は、基本的には、固定Ｘ線源に対し
試料を所定の回転軸周りに位置可変、姿勢状態不変とし
て回転駆動する際に、その試料からの透過Ｘ線を所定に
検出処理すべく構成することで達成される。

【０００６】

【作用】固定Ｘ線源に対し試料を所定の回転軸周りに位
置可変、姿勢状態不変として回転駆動せしめる一方、試
料回転駆動位置各々でその試料からの透過Ｘ線を検出す
るようにすれば、それら回転駆動位置各々では試料内部
焦点面での像は常時Ｘ線検出面上では同一位置として検
出されるが、試料内部焦点面以外での面での像はＸ線検
出面上では相異なる位置として検出されることから、試
料回転駆動位置各々で検出された透過Ｘ線像を累積加算
処理、あるいは累積蓄積処理する場合は、試料内部焦点
面以外の面での断層像はぼかされた状態として、試料内
部焦点面での断層像が鮮明に検出され得るものである。

【０００７】

【実施例】以下、本発明を図１から図９により説明す
る。先ず本発明を具体的に説明する前に、そのＸ線断層
撮像原理について簡単ながら説明すれば、図１はそのＸ
線断層撮影原理を示したものである。これによる場合、
焦点面（試料内部に存在）１およびフィルム２を同期を
とって同一回転軸周りに回転駆動されるが、図２はその
際での試料の回転運動を平面として示したものである。
図示のように、試料３は固定Ｘ線源４を含む回転軸周り
に一定の半径を以て回転駆動されるが、その中心位置は
円周上に存在するものとして可変とされているも、姿勢
状態は不変として回転駆動されるものとなっている。こ
のような事情は試料３と同期して回転駆動されるフィル
ム２でも同様となっている。したがって、以上の如くに
して試料３およびフィルム２が同一回転軸周りに同期し
て回転駆動されるとすれば、焦点面１上での点Ｃはフィ
ルム２上では常時同一位置に撮影されるも、焦点面１上
には存在しない他の点Ａ、Ｂはフィルム２上では同一位
置には撮影されないというものである。このことは、点
Ａ、Ｂはぼかされた状態として、焦点面１での断層像が
得られることを意味している。しかも、その際、試料３
へのＸ線の入射角を変更可とすべく、試料３の回転半径
が可変に設定される場合は、焦点面１での断層像が焦点
深度可変として得られるものである。

【０００８】図３はまた、そのような原理にもとづくＸ
線断層撮影装置の一例での原理的構成を示したものであ
る。これによる場合、ターゲット６はこれに収束状態に
ある電子線５が照射されることによって、固定Ｘ線源４
として機能するものとなっている。電子線５の照射によ
ってターゲット６で発生されるＸ線は試料３を介し、既
述のフィルム２相当のＸ線検出器７で２次元画像として
検出されるが、Ｘ線検出器７はこれ自体が回転駆動され
ることはなく、その代りに試料３の所定回転駆動位置各
々に対応して、同一円周上に複数設けられたものとなっ
ている。したがって、試料３が所定回転駆動位置各々に
順次回転駆動されれば、それら回転駆動位置各々に対応
して設けられているＸ線検出器７各々では順次Ｘ線透過
像が、試料３内部の焦点面１での断層像として検出され
得るものである。しかしながら、それら断層像各々では
焦点面１以外の面での画像はまだぼかされていないこと
から、焦点面１以外の面での画像をぼかすべくそれら断
層像は画像加算回路８で順次累積加算されるものとなっ
ている。この累積加算により焦点面１以外の面での画像
はぼかされた状態として、焦点面１での断層像が鮮明に
得られた上、モニタ１０上に表示され得るものである。
なお、本例では、Ｘ線検出器７は２個設けられている
が、Ｘ線検出器７は一般に２個以上、円周上に等円周角
度状に設けられるものとなっている。

【０００９】以上、本発明に係るＸ線断層撮影原理やＸ
線断層撮影装置の原理的構成について説明した。次に、
本発明によるＸ線断層撮影装置を具体的に説明すれば、
図４はその一例での具体的構成を示したものである。こ
れによると、電子照射系においては、高熱状態にあるフ
ィラメント１３で発生された電子は加速管１４によって
加速された上、収束レンズ１５によって収束された電子
線としてターゲット６上に照射されるようになってい
る。これによりターゲット６からはＸ線が発生されるも
のである。なお、その際、発生されるＸ線の波長は電子
線の加速電圧に依存し、また、試料によっては適切なＸ
線の波長があることからすれば、加速電圧は可変である
こと望ましく、その可変範囲は１０〜２００ｋＶに設定
されれば十分である。また、ターゲット６の材料として
は、重元素かつ高融点のものが望ましく、例えばタング
ステンが好適である。更に、ターゲット６で発生される
熱によってターゲット６自体が溶融されるのを防止すべ
く、ターゲット６からの熱は冷却棒（材質は銅など、高
熱伝導率の金属が適当）３０を介しタンク３２中の冷却
媒体３１、例えば液体窒素に逃すなどの配慮が必要とな
っている。一方、電子照射系は真空雰囲気中におかれる
べく、真空容器内部に収容されるようになっている。真
空容器内部はバルブ２３を介し真空ポンプ２２によって
排気されることで、電子照射系は真空雰囲気中におかれ
るわけであるが、その際、ターゲット６は真空と大気を
隔てる真空容器の一部として構成可能となっている。し
かし、ターゲット６自体はその厚さが薄いことがＸ線像
の分解能を向上せしめる上で必要となっている。これ
は、その厚さが薄い程にＸ線発生領域は小さくなって点
光源に近づくことから、その分Ｘ線像の分解能は向上さ
れるからである。したがって、ターゲット６自体の機械
的強度と分解能の向上、といった相反する要求を適当に
満足するためには、真空と大気を隔てるＸ線取り出し窓
をターゲット６とは別個に設けたり、あるいは試料室も
真空雰囲気中におくことが考えられるものとなってい
る。

【００１０】さて、電子線照射によってターゲット６か
らはＸ線が発生されるが、そのＸ線は回転駆動状態にあ
る試料３を介し、電子光学系の一部を構成している光電
変換膜（例えば金、銀等の金属、ＣｓＩ，ＫＣｌ，Ｃｓ
Ｂｒなどの薄膜）１６上に照射されるようになってい
る。試料３はステージ１１上に載置されているが、ステ
ージ１１が駆動回路１２によって回転駆動されること
で、試料３は回転駆動状態におかれているものである。
その際、ステ−ジ１１はＸ線透過型とされていることか
ら、その存在によりＸ線の光路が妨げられることはない
ものである。何れにしても、試料３からの透過Ｘ線が光
電変換膜１６上に照射されれば、光電効果によって光電
変換膜１６におけるＸ線照射領域からは光電子が光電子
像として発生されるものである。このようにして、光電
変換膜１６上に発生された光電子像はその後、レンズ
（静電型、磁界型の何れでも使用可）１８により蛍光板
１９上に結像されるが、その際、駆動回路１２によるス
テ−ジ１１の回転駆動走査に同期させて、同じく駆動回
路１２によってコイル１７を駆動するようにすれば、光
電変換膜１６上の各位置での光電子像が順次蛍光板１９
上に結像されることで、試料３内部の断層像が得られる
ものである。なお、電子光学系も真空雰囲気中に収容さ
れるべく、そのための真空容器はバルブ２４を介し真空
ポンプ２２によって排気されることで、電子光学系は真
空雰囲気中におかれるようになっている。その際に、真
空と大気を隔てる隔壁の一部として、光電変換膜１６や
蛍光板１９が利用され得るものとなっている。

【００１１】以上のようにして、蛍光板１９では光電子
像が光学像に変換されているが、蛍光板１９としては、
電子が照射されると蛍光を発生する蛍光体、例えばＰ−
４６やＹＡＧ(Yttrium Aluminium Garnet)、ＹＡＰ(Ytt
rium Aluminium Pero-vskite)の単結晶が好適となって
いる。蛍光板１９での光学像はレンズ２０を介しＴＶカ
メラ２１で検出された上、モニタ１０で観察可能とされ
ているが、その際用いられるレンズ２０としては、開口
数が大きく明るいもの、例えば、顕微鏡用の対物レンズ
が好適とされ、また、ＴＶカメラ２１には高感度が要求
されるので、例えば、ＳＩＴ(Silicon intensifier Tar
get Tube)カメラが好適となっている。

【００１２】図５，図６はまた、以上のＸ線断層撮影装
置でＸ線を高感度に検出可能とするためのＸ線検出部
（電子光学系）の構成をそれぞれ示したものである。一
般に電子線励起により発生されるＸ線は微弱であること
から、試料３からの透過Ｘ線は高感度に検出される必要
があるものとなっている。図４に示した構成では、ＴＶ
カメラ２１として高感度なものを使用することで、結果
的に試料３からの透過Ｘ線が高感度に検出されている
が、図５に示す例では、蛍光板１９への光電子は先ずマ
イクロチャネルプレート３３によって光電子像が増倍さ
れた上、蛍光板１９で光学像に変換されるようになって
いる。この場合にも、ＴＶカメラ２１には高感度なもの
を使用するのが望ましいものとなっている。また、図６
による場合には、光電変換膜１６上の光電子像はレンズ
１８を介してマイクロチャネルプレート３３で結像、増
倍された上、ＣＣＤや撮像管などの２次元センサ３４に
よって検出されるようになっている。

【００１３】図７は図３に示した本発明に係るＸ線断層
撮影装置の原理的構成をより具体化した、本発明による
Ｘ線断層撮影装置の他の例での具体的構成を示したもの
である。図４に示すものと実質的に異なる点は、試料３
を透過されたＸ線が円周上に配置された２次元のＸ線検
出器７で選択的に検出されるようになっていることであ
る。この場合、Ｘ線検出器７としては、Ｘ線イメージ・
インテンシファイヤとＴＶカメラとの組合せ、あるいは
Ｘ線撮像管などが用いられるようになっている。その
際、同期回路２９では駆動回路１２による試料３の回転
駆動と、切替スイッチ３５でのスイッチ切替との同期が
とられるようになっている。これにより試料３が１回転
駆動される間に、複数のＸ線検出器７各々では試料３を
透過されたＸ線が２次元的に順次検出された上、切替ス
イッチ３５より得られるものである。切替スイッチ３５
を介し順次得られるＸ線像は画像加算回路８で累積加算
された後、画像処理装置９で焦点面以外のぼかされた像
は消去されることで、１つのＸ線断層撮影像としてモニ
タ１０上に表示されるものとなっている。

【００１４】図８は本発明によるＸ線断層撮影装置の更
に異なる他の例での具体的構成を示したものである。本
例では試料３を透過されたＸ線が蛍光板２５で光学像に
変換された上、円周上に配されたレンズ２６群およびシ
ャッタ２７群を介しＴＶカメラ２１によって検出される
ようになっていることである。同期回路２９によって駆
動回路１２、ステージ１１を介し試料３は回転駆動され
る一方、試料３が所定の回転駆動位置各々に順次回転駆
動される度に、その回転駆動位置に応じたシャッタが開
かれることで、蛍光板２５上の所定の回転駆動位置各々
に応じた光学像は順次ＴＶカメラ２１によって累積蓄積
されているものである。複数の光学像の累積加算により
１つのＸ線断層撮影像が焦点面以外の像がぼかされた状
態として得られた上、モニタ１０上に表示可とされてい
るものである。

【００１５】図９は本発明によるＸ線断層撮影装置の更
に異なる他の例での構成を示したものである。これによ
る場合、試料３はステ−ジ１１を介し回転駆動されてい
るが、試料３を透過されたＸ線は試料３の所定回転駆動
位置各々に応じて、固定されたＸ線検出器７上の相異な
る領域で２次元的に検出されるようになっている。即
ち、図７に示す構成では、複数のＸ線検出器７が要され
ているが、本例では検出面が大とされた、固定Ｘ線検出
器７上で透過Ｘ線像が検出されるものとなっている。画
像処理装置３６では、恰もＸ線検出器７が試料３と同期
して回転駆動されたかの如くに、検出された透過Ｘ線像
が収集、蓄積された上、画像加算回路８では収集された
透過Ｘ線像が累積加算されるようになっている。累積加
算された透過Ｘ線像からは画像処理装置９によって焦点
面以外でのぼかされた像が消去された上、モニタ１０上
に焦点面での１つの断層像として表示されるものとなっ
ている。

【００１６】以上、本発明によるＸ線断層撮影方法とそ
の装置について説明した。しかしながら、Ｘ線断層撮影
像を得る方法としては、以上の他にも考えられるものと
なっている。例えば試料とＸ線検出手段とを同期をとっ
て傾斜せしめたり、平行状態を維持した状態で、試料と
Ｘ線検出手段とを相互に逆方向に同期をとって直線駆動
するようにしても、Ｘ線断層撮影像が所望の状態として
得られるからである。因みに、試料とＸ線検出手段とを
同期をとって傾斜せしめることで、Ｘ線断層撮影像を得
る方法について説明すれば以下のようである。

【００１７】即ち、図１０はそのＸ線断層撮影原理を示
したものである。図示のように、試料内部の焦点面１と
フィルム２は同期して傾斜されているが、この場合にも
焦点面１上での点Ｃは傾斜状態如何によることなくフィ
ルム２上の同一位置に撮影されるが、焦点面１上には存
在しない他の点Ａ，Ｂは傾斜状態に応じた位置に撮影さ
れ、傾斜状態如何によることなくフィルム２上の同一位
置に撮影され得ないものとなっている。この結果とし
て、焦点面１以外での像はぼかされた状態で、焦点面１
でのＸ線断層撮影像が得られるものである。図１１はま
た、そのＸ線断層撮影原理にもとづくＸ線断層撮影装置
の原理的構成を示したものである。図示のように、試料
内部の焦点面１とＸ線検出器７とは同期して傾斜されて
いるが、各傾斜状態で試料を透過されたＸ線はＸ線検出
器７によって透過Ｘ線像が２次元に検出されているが、
それら透過Ｘ線像が画像加算回路８で累積加算されるこ
とによって、焦点面１以外での像はぼかされた状態で、
焦点面１でのＸ線断層撮影像が得られた上、モニタ１０
上に表示されるようになっている。更に、図１２はその
具体的構成を示したものである。図示のように、駆動回
路１２によって試料３とＸ線検出器７は同期して傾斜さ
れており、傾斜状態が更新される度に、Ｘ線検出器７で
順次検出、蓄積される透過Ｘ線像は画像加算回路８で累
積加算されるものとなっている。累積加算された透過Ｘ
線像は画像処理装置９で焦点面以外でのぼかされた像が
消去されることで、モニタ１０上には焦点面１でのＸ線
断層撮影像が表示されるものとなっている。

【００１８】

【発明の効果】以上のように、請求項１〜５によれば、
試料内部の焦点面での断層像は鮮明に、しかもその焦点
面以外での像はぼかされた状態として検出可とされたＸ
線断層撮影方法が、また、請求項６〜１１による場合
は、試料内部の焦点面での断層像は鮮明に、しかもその
焦点面以外での像はぼかされた状態として検出可とされ
たＸ線断層撮影装置がそれぞれ得られるものとなってい
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係るＸ線断層撮影原理を説明
するための図

【図２】図２は、本発明に係るＸ線断層撮影原理での試
料の回転運動を説明するための図

【図３】図３は、本発明に係るＸ線断層撮影装置の一例
での原理的構成を示す図

【図４】図４は、本発明によるＸ線断層撮影装置の一例
での具体的構成を示す図

【図５】図５は、そのＸ線断層撮影装置におけるＸ線検
出部の他の構成を示す図

【図６】図６は、同じくそのＸ線断層撮影装置における
Ｘ線検出部の他の構成を示す図

【図７】図７は、本発明によるＸ線断層撮影装置の他の
例での具体的構成を示す図

【図８】図８は、同じく本発明によるＸ線断層撮影装置
の他の例での具体的構成を示す図

【図９】図９は、同じく本発明によるＸ線断層撮影装置
の更に異なる他の例での具体的構成を示す図

【図１０】図１０は、本発明に係るＸ線断層撮影原理と
は異なる他のＸ線断層撮影原理を説明するための図

【図１１】図１１は、その他のＸ線断層撮影原理にもと
づくＸ線断層撮影装置の一例での原理的構成を示す図

【図１２】図１２は、その他のＸ線断層撮影原理にもと
づくＸ線断層撮影装置の一例での具体的構成を示す図

【符号の説明】

１…焦点面、２…フィルム、３…試料、４…Ｘ線源、５
…電子線、６…ターゲット、７…Ｘ線検出器、８…画像
加算回路、９…画像処理装置、１０…モニタ、１１…ス
テ−ジ、１２…駆動回路、１３…フィラメント、１４…
加速管、１５…収束レンズ、１６…光電変換膜、１７…
コイル、１８…レンズ、１９…蛍光板、２０…レンズ、
２１…ＴＶカメラ、２２…真空ポンプ、２３…バルブ、
２４…バルブ、２５…蛍光板、２６…レンズ群、２７…
シャッタ群、２８…ドライバ、２９…同期回路、３０…
冷却棒、３１…冷却媒体、３２…タンク、３３…マイク
ロチャネルプレ−ト、３４…２次元センサ、３５…切替
スイッチ、３６…画像処理装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H04N 5/30 - 5/335 G01N 23/00 - 23/227 G01B 15/00 - 15/08

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】固定Ｘ線源からのＸ線が試料を介しＸ線
検出手段で検出されるべく、試料とＸ線検出手段を同一
回転軸周りに相異なる平面内で、かつ位置可変、姿勢状
態不変として、同期して回転駆動することによって、該
試料内部焦点面での断層像が検出されるようにしたＸ線
断層撮影方法。
【請求項２】固定Ｘ線源からのＸ線が試料を介し複数
の固定Ｘ線検出手段で検出されるべく、試料が所定に設
定された回転軸周りに位置可変、姿勢状態不変として順
次一定角度回転駆動される度に、該一定角度回転駆動位
置対応に設けられている固定Ｘ線検出手段によって、該
試料内部焦点面での断層像が検出された上、固定Ｘ線検
出手段各々からの検出断層像が順次累積加算されること
によって、試料内部焦点面での断層像が検出されるよう
にしたＸ線断層撮影方法。
【請求項３】固定Ｘ線源からのＸ線が試料を介し検出
されるべく、試料が所定に設定された回転軸周りに位置
可変、姿勢状態不変として回転駆動される状態で、該試
料を介されたＸ線は一旦光電変換された上、電子光学変
換されることによって、試料内部焦点面での断層像が検
出されるようにしたＸ線断層撮影方法。
【請求項４】固定Ｘ線源からのＸ線が試料を介し検出
されるべく、試料が所定に設定された回転軸周りに位置
可変、姿勢状態不変として順次一定角度回転駆動される
度に、該試料を介されたＸ線は光学像に変換され、試料
の一定回転角度単位の回転駆動位置各々に応じた光学像
は順次累積蓄積されることによって、試料内部焦点面で
の断層像が検出されるようにしたＸ線断層撮影方法。
【請求項５】固定Ｘ線源からのＸ線が試料を介し該試
料内部焦点面での断層像として検出されるべく、試料が
所定に設定された回転軸周りに位置可変、姿勢状態不変
として回転駆動されるに際しては、該試料は可変設定可
とされた回転半径を以て回転駆動されるようにしたＸ線
断層撮影方法。
【請求項６】Ｘ線を発生する固定Ｘ線源と、該Ｘ線源
からの、試料を透過したＸ線の照射によって光電子を発
生する光電変換手段と、該光電変換手段からの光電子を
光学像として結像させる電子光学系と、上記試料を所定
に設定された回転軸周りに位置可変、姿勢状態不変とし
て回転駆動する手段と、上記光電変換手段からの光電子
を試料の回転駆動と同期させて走査する手段と、からな
る構成のＸ線断層撮影装置。
【請求項７】Ｘ線を発生する固定Ｘ線源と、試料を所
定に設定された回転軸周りに位置可変、姿勢状態不変と
して回転駆動する手段と、該試料が一定角度回転駆動さ
れる度に、該一定角度回転駆動位置で試料からの透過Ｘ
線を２次元画像として検出する複数の固定Ｘ線検出手段
と、該Ｘ線検出手段各々からの画像検出出力を順次累積
加算する画像加算手段と、からなる構成のＸ線断層撮影
装置。
【請求項８】Ｘ線を発生する固定Ｘ線源と、試料を所
定に設定された回転軸周りに位置可変、姿勢状態不変と
して回転駆動する手段と、上記固定Ｘ線源からの、試料
を透過したＸ線を光学像に変換する光学像変換手段と、
該変換手段での光学像を共通像検出面上に結像させる複
数の結像手段と、試料の一定角度回転駆動位置各々に応
じた位置で結像手段の光路を開閉する光路開閉手段と、
上記結像手段各々によって順次共通像検出面上に結像さ
れる像を検出する蓄積型検出手段と、からなる構成のＸ
線断層撮影装置。
【請求項９】Ｘ線を発生する固定Ｘ線源と、該Ｘ線源
からの、試料を透過したＸ線の照射によって光電子を発
生する光電変換手段と、該光電変換手段からの光電子を
光学像として結像させる電子光学系と、該光学系に関連
して光電子を増倍させる光電子増倍手段と、上記試料を
所定に設定された回転軸周りに位置可変、姿勢状態不変
として回転駆動する手段と、上記光電変換手段からの光
電子を試料の回転駆動と同期させて走査する手段と、か
らなる構成のＸ線断層撮影装置。
【請求項１０】Ｘ線を発生する固定Ｘ線源と、該Ｘ線
源からの、試料を透過したＸ線の照射によって光電子を
発生する光電変換手段と、該光電変換手段からの光電子
を光学像として結像させる電子光学系と、上記試料を所
定に設定された回転軸周りに位置可変、姿勢状態不変と
して回転駆動する手段と、上記光電変換手段からの光電
子を試料の回転駆動と同期させて走査する手段と、上記
電子光学系で光学像として結像される像を検出する光学
像検出手段と、からなる構成のＸ線断層撮影装置。
【請求項１１】Ｘ線を発生する固定Ｘ線源と、該Ｘ線
源からの、試料を透過したＸ線の照射によって光電子を
発生する光電変換手段と、該光電変換手段からの光電子
を光学像として結像させる電子光学系と、該光学系に関
連して光電子を増倍させる光電子増倍手段と、上記試料
を所定に設定された回転軸周りに位置可変、姿勢状態不
変として回転駆動する手段と、上記光電変換手段からの
光電子を試料の回転駆動と同期させて走査する手段と、
上記電子光学系で光学像として結像される像を検出する
光学像検出手段と、からなる構成のＸ線断層撮影装置。