JP2849008B2 - カラー液晶表示装置 - Google Patents
カラー液晶表示装置Info
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- crystal display
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタを用い
て複数種類の色彩表示を行うカラー液晶表示装置に関
し、さらに詳しくはカラーフィルタを被覆する有機オー
バコート膜上に形成されるＩＴＯ膜の密着力を向上させ
たカラー液晶表示装置に関する。
て複数種類の色彩表示を行うカラー液晶表示装置に関
し、さらに詳しくはカラーフィルタを被覆する有機オー
バコート膜上に形成されるＩＴＯ膜の密着力を向上させ
たカラー液晶表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来のカラー液晶表示装置６３
の断面図である。カラー液晶表示装置６３が備える一対
の透光性基板５１，５１ａのうち、基板５１ａの一方表
面には、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜から成る複数
の帯状の透明電極５６ａが互いに平行に形成され、その
上には配向膜５７ａが形成される。基板５１の一方表面
にはカラーフィルタ５２がほぼ全面にわたって形成され
ている。このカラーフィルタ５２は、赤色、緑色および
青色の帯状のカラーフィルタを交互にまたは前記３色の
矩形状のカラーフィルタをモザイク状に配置して形成さ
れている。さらに、このカラーフィルタ５２上にアクリ
ル系あるいはポリイミド系の樹脂から成る有機オーバコ
ート膜５３を形成して平滑化した後、スパッタ法などに
よってＩＴＯ膜から成る透明電極５６を形成し、さらに
その上に配向膜５７が形成される。以上のような透光性
基板５１，５１ａに挟まれた部分に液晶材料６０とプラ
スチック製のスペーサ６８とが封入され、シール部材５
９によって封止される。前記透光性基板５１，５１ａの
相互に反対側表面にはそれぞれ偏光板６１，６１ａが配
置される。
の断面図である。カラー液晶表示装置６３が備える一対
の透光性基板５１，５１ａのうち、基板５１ａの一方表
面には、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜から成る複数
の帯状の透明電極５６ａが互いに平行に形成され、その
上には配向膜５７ａが形成される。基板５１の一方表面
にはカラーフィルタ５２がほぼ全面にわたって形成され
ている。このカラーフィルタ５２は、赤色、緑色および
青色の帯状のカラーフィルタを交互にまたは前記３色の
矩形状のカラーフィルタをモザイク状に配置して形成さ
れている。さらに、このカラーフィルタ５２上にアクリ
ル系あるいはポリイミド系の樹脂から成る有機オーバコ
ート膜５３を形成して平滑化した後、スパッタ法などに
よってＩＴＯ膜から成る透明電極５６を形成し、さらに
その上に配向膜５７が形成される。以上のような透光性
基板５１，５１ａに挟まれた部分に液晶材料６０とプラ
スチック製のスペーサ６８とが封入され、シール部材５
９によって封止される。前記透光性基板５１，５１ａの
相互に反対側表面にはそれぞれ偏光板６１，６１ａが配
置される。
【０００３】このカラー液晶表示装置６３には、駆動用
ＬＳＩ（Large Scale Integratedcircuit；大規模集積
回路）６４が実装されたＴＡＢ（Tape Automated Bondi
ng）６２が端子部分６６ｂに接続される。
ＬＳＩ（Large Scale Integratedcircuit；大規模集積
回路）６４が実装されたＴＡＢ（Tape Automated Bondi
ng）６２が端子部分６６ｂに接続される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般にカラーフィルタ
５２を用いるカラー液晶表示装置６３では、色むらやコ
ントラストむらを防止する上で特にカラーフィルタ５２
表面の平滑性を保つことが重要である。そこで、カラー
フィルタ５２の表面をアクリル系あるいはポリイミド系
樹脂から成る有機オーバコート膜５３で被覆して平滑化
した後に、スパッタ法などによってＩＴＯ膜５６を膜付
けして透明電極を形成する方法が用いられている。
５２を用いるカラー液晶表示装置６３では、色むらやコ
ントラストむらを防止する上で特にカラーフィルタ５２
表面の平滑性を保つことが重要である。そこで、カラー
フィルタ５２の表面をアクリル系あるいはポリイミド系
樹脂から成る有機オーバコート膜５３で被覆して平滑化
した後に、スパッタ法などによってＩＴＯ膜５６を膜付
けして透明電極を形成する方法が用いられている。
【０００５】このような方法で作成された液晶表示装置
６３では、カラーフィルタ５２とＩＴＯ膜５６との間に
有機オーバコート膜５３が介在するため、その表面への
ＩＴＯ膜５６の形成は２５０℃以下程度の温度で、Ａｒ
＋Ｏ2雰囲気下の条件においてスパッタ法などによって
行われる。しかしながらこの条件下では有機オーバコー
ト膜５３の表面が酸化反応などによって変質するなどの
原因で、有機オーバコート膜５３とＩＴＯ膜５６との間
の密着力が著しく低下し、ＩＴＯ膜５６の剥離・ひび割
れが発生し易い。そのため、ＩＴＯ膜５６の端子部分６
６ｂと駆動用ＬＳＩ６４が実装されたＴＡＢ６２との接
続における信頼性が確保できないという課題を有してい
る。
６３では、カラーフィルタ５２とＩＴＯ膜５６との間に
有機オーバコート膜５３が介在するため、その表面への
ＩＴＯ膜５６の形成は２５０℃以下程度の温度で、Ａｒ
＋Ｏ2雰囲気下の条件においてスパッタ法などによって
行われる。しかしながらこの条件下では有機オーバコー
ト膜５３の表面が酸化反応などによって変質するなどの
原因で、有機オーバコート膜５３とＩＴＯ膜５６との間
の密着力が著しく低下し、ＩＴＯ膜５６の剥離・ひび割
れが発生し易い。そのため、ＩＴＯ膜５６の端子部分６
６ｂと駆動用ＬＳＩ６４が実装されたＴＡＢ６２との接
続における信頼性が確保できないという課題を有してい
る。
【０００６】本発明の目的は、ＩＴＯ膜の密着力を向上
させることができるカラー液晶表示装置を提供すること
である。
させることができるカラー液晶表示装置を提供すること
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、一対の透光性
基板間に液晶層を介在し、一方基板上にカラーフィルタ
が形成され、前記カラーフィルタ上には有機保護膜とＩ
ＴＯ膜とが形成されるカラー液晶表示装置において、前
記有機保護膜と前記ＩＴＯ膜との間に介在されるシリコ
ンまたは金属の窒化物膜と、前記シリコンまたは金属の
窒化物膜と前記ＩＴＯ膜との間に介在されるシリコンま
たは金属の酸化物膜とを有することを特徴とするカラー
液晶表示装置である。
基板間に液晶層を介在し、一方基板上にカラーフィルタ
が形成され、前記カラーフィルタ上には有機保護膜とＩ
ＴＯ膜とが形成されるカラー液晶表示装置において、前
記有機保護膜と前記ＩＴＯ膜との間に介在されるシリコ
ンまたは金属の窒化物膜と、前記シリコンまたは金属の
窒化物膜と前記ＩＴＯ膜との間に介在されるシリコンま
たは金属の酸化物膜とを有することを特徴とするカラー
液晶表示装置である。
【０００８】
【作用】本発明に従えば、一対の透光性基板間に液晶層
が介在し、一方の基板上の全面にカラーフィルタが形成
され、前記カラーフィルタ上にはカラーフィルタ表面を
平滑化するための有機保護膜が形成される。
が介在し、一方の基板上の全面にカラーフィルタが形成
され、前記カラーフィルタ上にはカラーフィルタ表面を
平滑化するための有機保護膜が形成される。
【０００９】有機保護膜とＩＴＯ膜との間において、有
機保護膜上にシリコンまたは金属の窒化物膜と酸化物膜
とがこの順序で配置される。このようなシリコンまたは
金属の窒化物膜と酸化物膜との２層が、有機保護膜とＩ
ＴＯ膜との間に介在されることによって、ＩＴＯ膜の密
着力が高まり、ＩＴＯ膜の剥離やひび割れをより確実に
防止することができる。
機保護膜上にシリコンまたは金属の窒化物膜と酸化物膜
とがこの順序で配置される。このようなシリコンまたは
金属の窒化物膜と酸化物膜との２層が、有機保護膜とＩ
ＴＯ膜との間に介在されることによって、ＩＴＯ膜の密
着力が高まり、ＩＴＯ膜の剥離やひび割れをより確実に
防止することができる。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の一実施例のカラー液晶表示
装置１３の断面図である。カラー液晶表示装置１３が備
える一対の透光性基板１，１ａのうち、一方基板１ａ上
にＳｉＯxなどのシリコンまたは金属の酸化物膜５ａを
形成した後、ＩＴＯ膜６ａを成膜し、ＩＴＯ膜６ａをパ
ターニングして複数の帯状の透明電極を形成する。さら
にその上には、配向膜７ａが形成される。
装置１３の断面図である。カラー液晶表示装置１３が備
える一対の透光性基板１，１ａのうち、一方基板１ａ上
にＳｉＯxなどのシリコンまたは金属の酸化物膜５ａを
形成した後、ＩＴＯ膜６ａを成膜し、ＩＴＯ膜６ａをパ
ターニングして複数の帯状の透明電極を形成する。さら
にその上には、配向膜７ａが形成される。
【００１１】また、基板１上にはカラーフィルタ２がほ
ぼ全面にわたって設けられている。このカラーフィルタ
２は、赤色、緑色および青色の帯状のカラーフィルタを
交互にまたは前記３色の矩形状のカラーフィルタをモザ
イク状に配列して形成されている。さらに、このカラー
フィルタ２上にアクリル系あるいはポリイミド系の樹脂
から成る有機オーバコート膜３を形成して平滑化した
後、ＳｉＮxなどのシリコンまたは金属の窒化物膜４を
全面にわたって厚さ１０〜１０００Åに形成した後、さ
らにＳｉＯx、ＡｌＯx、ＴｉＯx などのシリコンまたは
金属の酸化物膜５も全面にわたって厚さ１０〜１０００
Åに形成する。その上にＩＴＯ膜６が成膜されて透明電
極が形成され、さらにその上に配向膜７が形成される。
ぼ全面にわたって設けられている。このカラーフィルタ
２は、赤色、緑色および青色の帯状のカラーフィルタを
交互にまたは前記３色の矩形状のカラーフィルタをモザ
イク状に配列して形成されている。さらに、このカラー
フィルタ２上にアクリル系あるいはポリイミド系の樹脂
から成る有機オーバコート膜３を形成して平滑化した
後、ＳｉＮxなどのシリコンまたは金属の窒化物膜４を
全面にわたって厚さ１０〜１０００Åに形成した後、さ
らにＳｉＯx、ＡｌＯx、ＴｉＯx などのシリコンまたは
金属の酸化物膜５も全面にわたって厚さ１０〜１０００
Åに形成する。その上にＩＴＯ膜６が成膜されて透明電
極が形成され、さらにその上に配向膜７が形成される。
【００１２】以上のような透明基板１，１ａに挟まれた
空間に液晶材料１０とプラスチック製のスペーサ８とが
封入され、シール部材９によって封止される。前記透光
性基板１，１ａの相互に反対側表面にはそれぞれ偏光板
１１，１１ａが配置される。このカラー液晶表示装置１
３には駆動用ＬＳＩ１４が実装されたＴＡＢ１２が端子
部分１６ｂへ接続される。
空間に液晶材料１０とプラスチック製のスペーサ８とが
封入され、シール部材９によって封止される。前記透光
性基板１，１ａの相互に反対側表面にはそれぞれ偏光板
１１，１１ａが配置される。このカラー液晶表示装置１
３には駆動用ＬＳＩ１４が実装されたＴＡＢ１２が端子
部分１６ｂへ接続される。
【００１３】ＩＴＯ膜６，６ａを形成する前に成膜され
るシリコンまたは金属の酸化物膜５，５ａおよびシリコ
ンまたは金属の窒化物膜４の成膜条件の一例を説明す
る。シリコンまたは金属の酸化物膜５，５ａは、Ｓｉを
ターゲット材料とし、導入ガスとしてＡｒおよびＯ2を
用いて、スパッタ真空度が１．０×１０-3ｔｏｒｒの中
で基板温度を２２０℃とした条件下でたとえば２００Å
の厚さにスパッタ蒸着される。また、シリコンまたは金
属の窒化物膜４は、Ｓｉをターゲット材料とし、導入ガ
スとしてＮ2を用いてスパッタ真空度が９．０×１０-4
ｔｏｒｒの中で基板温度を２２０℃とした条件下でたと
えば１５０Åの厚さにスパッタ蒸着される。
るシリコンまたは金属の酸化物膜５，５ａおよびシリコ
ンまたは金属の窒化物膜４の成膜条件の一例を説明す
る。シリコンまたは金属の酸化物膜５，５ａは、Ｓｉを
ターゲット材料とし、導入ガスとしてＡｒおよびＯ2を
用いて、スパッタ真空度が１．０×１０-3ｔｏｒｒの中
で基板温度を２２０℃とした条件下でたとえば２００Å
の厚さにスパッタ蒸着される。また、シリコンまたは金
属の窒化物膜４は、Ｓｉをターゲット材料とし、導入ガ
スとしてＮ2を用いてスパッタ真空度が９．０×１０-4
ｔｏｒｒの中で基板温度を２２０℃とした条件下でたと
えば１５０Åの厚さにスパッタ蒸着される。
【００１４】なお、ＩＴＯ膜６の膜付けを行う前にシリ
コンまたは金属の酸化物膜４の膜付けを行う場合には、
両方の膜付けが同一チャンバ内で連続スパッタ処理を施
すことによって行われる。
コンまたは金属の酸化物膜４の膜付けを行う場合には、
両方の膜付けが同一チャンバ内で連続スパッタ処理を施
すことによって行われる。
【００１５】本実施例のカラー液晶表示装置１３と従来
のカラー液晶表示装置６３とを気温６０℃、相対湿度９
５％の条件下において、時間の経過によるＩＴＯ膜６の
端子部分１６ｂとＴＡＢ１２、およびＩＴＯ膜５６の端
子部分６６ｂとＴＡＢ６２との接続信頼性の違いを比較
した結果を表１に示す。
のカラー液晶表示装置６３とを気温６０℃、相対湿度９
５％の条件下において、時間の経過によるＩＴＯ膜６の
端子部分１６ｂとＴＡＢ１２、およびＩＴＯ膜５６の端
子部分６６ｂとＴＡＢ６２との接続信頼性の違いを比較
した結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】表１に示されるように、高温多湿といった
悪条件下では、従来例のものは比較的早い時期から断線
などの異常が発生しているのに対し、本実施例のものは
その２倍の時間が経過しても１台の異常も発生していな
い。したがってＩＴＯ膜６の端子部分１６ｂとＴＡＢ１
２との接続信頼性が格段に向上している。
悪条件下では、従来例のものは比較的早い時期から断線
などの異常が発生しているのに対し、本実施例のものは
その２倍の時間が経過しても１台の異常も発生していな
い。したがってＩＴＯ膜６の端子部分１６ｂとＴＡＢ１
２との接続信頼性が格段に向上している。
【００１８】さらに従来のカラー液晶表示装置６３と本
実施例のカラー液晶表示装置１３とを４０℃で３ｗｔ％
のＮａＯＨ溶液に浸し、時間の経過によるＩＴＯ膜６，
５６の変化について比較した結果を表２に示す。
実施例のカラー液晶表示装置１３とを４０℃で３ｗｔ％
のＮａＯＨ溶液に浸し、時間の経過によるＩＴＯ膜６，
５６の変化について比較した結果を表２に示す。
【００１９】
【表２】
【００２０】表２に示されるように、従来のものにおい
ては有機オーバコート膜５３の表面がＮａＯＨによって
酸化反応を起こして変質するため、有機オーバコート膜
５３とＩＴＯ膜５６との間の密着力が著しく低下し、Ｉ
ＴＯ膜５６の剥離が発生しているのに対し、本実施例の
ものでは、１枚の剥離も確認されておらず、シリコンま
たは金属の窒化物膜４とシリコンまたは金属の酸化物膜
５とによって密着力が格段に向上している。
ては有機オーバコート膜５３の表面がＮａＯＨによって
酸化反応を起こして変質するため、有機オーバコート膜
５３とＩＴＯ膜５６との間の密着力が著しく低下し、Ｉ
ＴＯ膜５６の剥離が発生しているのに対し、本実施例の
ものでは、１枚の剥離も確認されておらず、シリコンま
たは金属の窒化物膜４とシリコンまたは金属の酸化物膜
５とによって密着力が格段に向上している。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、カラー液
晶表示装置の透光性基板上に形成された有機保護膜とＩ
ＴＯ膜との間にシリコンまたは金属の窒化物膜を介在さ
せたことによって、有機保護膜の酸化反応などによるＩ
ＴＯ膜の剥離やひび割れの発生が防止され、ＩＴＯ膜の
密着力が格段に向上する。
晶表示装置の透光性基板上に形成された有機保護膜とＩ
ＴＯ膜との間にシリコンまたは金属の窒化物膜を介在さ
せたことによって、有機保護膜の酸化反応などによるＩ
ＴＯ膜の剥離やひび割れの発生が防止され、ＩＴＯ膜の
密着力が格段に向上する。
【００２２】また本発明によれば、前記シリコンまたは
金属の窒化物膜と前記ＩＴＯ膜との間にシリコンまたは
金属の酸化物膜を介在させたことによって、さらにＩＴ
Ｏ膜の密着力が向上する。
金属の窒化物膜と前記ＩＴＯ膜との間にシリコンまたは
金属の酸化物膜を介在させたことによって、さらにＩＴ
Ｏ膜の密着力が向上する。
【００２３】本発明によれば、有機保護膜とＩＴＯ膜と
の間に、シリコンまたは金属の窒化物膜と酸化物膜と
が、この順序で形成して介在され、したがってＩＴＯ膜
の密着力が高まり、ＩＴＯ膜の剥離およびひび割れをよ
り確実に防止することができる。
の間に、シリコンまたは金属の窒化物膜と酸化物膜と
が、この順序で形成して介在され、したがってＩＴＯ膜
の密着力が高まり、ＩＴＯ膜の剥離およびひび割れをよ
り確実に防止することができる。
【図１】本発明の一実施例のカラー液晶表示装置１３の
断面図である。
断面図である。
【図２】従来例のカラー液晶表示装置６３の断面図であ
る。
る。
１，１ａ 透光性基板 ２ カラーフィルタ ３ 有機オーバコート膜 ４ シリコンまたは金属の窒化物膜 ５，５ａ シリコンまたは金属の酸化物膜 ６，６ａ，６ｂ ＩＴＯ膜 １２ ＴＡＢ １３ カラー液晶表示装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小倉 優美 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−140704（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02F 1/1335 505 G02F 1/1343 G02F 1/1333 505
Claims (1)
- 【請求項１】 一対の透光性基板間に液晶層を介在し、
一方基板上にカラーフィルタが形成され、前記カラーフ
ィルタ上には有機保護膜とＩＴＯ膜とが形成されるカラ
ー液晶表示装置において、 前記有機保護膜と前記ＩＴＯ膜との間に介在されるシリ
コンまたは金属の窒化物膜と、 前記シリコンまたは金属の窒化物膜と前記ＩＴＯ膜との
間に介在されるシリコンまたは金属の酸化物膜とを有す
ることを特徴とするカラー液晶表示装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4294541A JP2849008B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | カラー液晶表示装置 |
| KR1019930023239A KR0139172B1 (ko) | 1992-11-02 | 1993-11-01 | 컬러 액정표시장치 |
| CN93119823A CN1034296C (zh) | 1992-11-02 | 1993-11-02 | 彩色液晶显示装置 |
| US08/144,445 US5488497A (en) | 1992-11-02 | 1993-11-02 | Color liquid crystal device with organic smoothing layer over ITO separated by an oxide layer and a nitride layer |
| TW082109141A TW311989B (ja) | 1992-11-02 | 1993-11-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4294541A JP2849008B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | カラー液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148618A JPH06148618A (ja) | 1994-05-27 |
| JP2849008B2 true JP2849008B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=17809126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4294541A Expired - Lifetime JP2849008B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | カラー液晶表示装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5488497A (ja) |
| JP (1) | JP2849008B2 (ja) |
| KR (1) | KR0139172B1 (ja) |
| CN (1) | CN1034296C (ja) |
| TW (1) | TW311989B (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6693694B2 (en) * | 1999-05-14 | 2004-02-17 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electro-optic display device with reduced electrical asymmetry |
| US6348420B1 (en) | 1999-12-23 | 2002-02-19 | Asm America, Inc. | Situ dielectric stacks |
| KR100415611B1 (ko) * | 2001-05-24 | 2004-01-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법과 이를 이용한 배향막재생방법 |
| JP2003021826A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Ｉｔｏ被膜付き基板及びその製造方法 |
| US7086917B2 (en) * | 2002-08-12 | 2006-08-08 | National Research Council Of Canada | Photoresist mask/smoothing layer ensuring the field homogeneity and better step-coverage in OLED displays |
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