JP2820163B2 - 液晶セルのセル厚測定装置 - Google Patents
液晶セルのセル厚測定装置Info
- Publication number
- JP2820163B2 JP2820163B2 JP2312779A JP31277990A JP2820163B2 JP 2820163 B2 JP2820163 B2 JP 2820163B2 JP 2312779 A JP2312779 A JP 2312779A JP 31277990 A JP31277990 A JP 31277990A JP 2820163 B2 JP2820163 B2 JP 2820163B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal cell
- measured
- cell
- compensating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 液晶セルのセル厚測定装置に関し、 簡便に且つ正確に微細な領域のセル厚でも測定できる
ようにすることを目的とし、 被測定液晶セルに対して光学的作用を補償するような
補償液晶セルを被測定液晶セルに対向して配置し、これ
らを偏光方向の直交する偏光子及び検光子で挟持し、該
補償液晶セルに電圧を印加する電源と、該偏光子側に設
けた光源と、該検光子側に設けた透過光量検出手段とを
備え、該補償液晶セルに印加する電圧を変化させながら
該透過光量検出手段により透過光量を検出し、透過光量
が最低となる電圧を求めることにより被測定液晶セルの
セル厚を測定するようにした構成とする。
ようにすることを目的とし、 被測定液晶セルに対して光学的作用を補償するような
補償液晶セルを被測定液晶セルに対向して配置し、これ
らを偏光方向の直交する偏光子及び検光子で挟持し、該
補償液晶セルに電圧を印加する電源と、該偏光子側に設
けた光源と、該検光子側に設けた透過光量検出手段とを
備え、該補償液晶セルに印加する電圧を変化させながら
該透過光量検出手段により透過光量を検出し、透過光量
が最低となる電圧を求めることにより被測定液晶セルの
セル厚を測定するようにした構成とする。
本発明は液晶セルのセル厚測定装置に関する。
液晶表示パネルは、一対の基板の間に液晶を封入した
液晶セルからなるものであり、これらの基板の対向面に
それぞれ設けた電極に電圧を印加することによって画像
形成を行うものである。液晶表示パネルでは、表示色や
視角特性などの表示特性がセル厚（封入された液晶の厚
さ）に大きく依存しており、品質の向上を図る上でセル
厚を精度よく測定することが必要である。
液晶セルからなるものであり、これらの基板の対向面に
それぞれ設けた電極に電圧を印加することによって画像
形成を行うものである。液晶表示パネルでは、表示色や
視角特性などの表示特性がセル厚（封入された液晶の厚
さ）に大きく依存しており、品質の向上を図る上でセル
厚を精度よく測定することが必要である。
従来、液晶セルのセル厚測定は第８図に示すような装
置で行われていた。第８図において、液晶セル１に対し
て光学的作用を補償するような補償液晶セル２が設けら
れていた。被測定液晶セル１は一対の平行な基板1a,1b
の間に液晶1cを封入したものである。補償液晶セル２は
同様に基板2a,2bの間に液晶2cを封入してなるものであ
るが、一対の基板2a,2bが平行でなく、微小な角度でく
さび形をなすように形成されたものである。内部に封入
された液晶は同じ種類であるが、光学的作用を補償する
ように配列を変えてある。例えばツイストネマティック
（TN）型の液晶を含む液晶セルの場合には、補償液晶セ
ル２の液晶のツイスト方向は液晶セル１の液晶のツイス
ト方向に対して逆方向に形成されていた。
置で行われていた。第８図において、液晶セル１に対し
て光学的作用を補償するような補償液晶セル２が設けら
れていた。被測定液晶セル１は一対の平行な基板1a,1b
の間に液晶1cを封入したものである。補償液晶セル２は
同様に基板2a,2bの間に液晶2cを封入してなるものであ
るが、一対の基板2a,2bが平行でなく、微小な角度でく
さび形をなすように形成されたものである。内部に封入
された液晶は同じ種類であるが、光学的作用を補償する
ように配列を変えてある。例えばツイストネマティック
（TN）型の液晶を含む液晶セルの場合には、補償液晶セ
ル２の液晶のツイスト方向は液晶セル１の液晶のツイス
ト方向に対して逆方向に形成されていた。
このような液晶セル１と補償液晶セル２は対向して配
置され、補償液晶セル２及び被測定液晶セル１の両側に
偏光方向の直交する偏光子３及び検光子４が配置され
る。偏光子３の下方に光源を設け偏光子３を通った偏光
を被測定液晶セル１及び補償液晶セル２を透過させ、透
過光を検光子４の上方から観察するものである。
置され、補償液晶セル２及び被測定液晶セル１の両側に
偏光方向の直交する偏光子３及び検光子４が配置され
る。偏光子３の下方に光源を設け偏光子３を通った偏光
を被測定液晶セル１及び補償液晶セル２を透過させ、透
過光を検光子４の上方から観察するものである。
第８図の装置では、偏光子３を通った光は一定の方行
の偏光P1であり、この偏光P1は被測定液晶セル１を通る
ときに液晶のツイスト方向に従って例えばP2のように90
度旋光する。被測定液晶セル１を出て補償液晶セル２に
入射した偏光P2は、被測定液晶セル１を通るときとは逆
のツイスト方向に従ってP3のように旋光する。このよう
に、補償液晶セル２は被測定液晶セル１の旋光を打ち消
すように作用し、この旋光の打ち消しの程度は被測定液
晶セル１の厚さと補償液晶セル２の厚さの関係に依存す
る。もし被測定液晶セル１と補償液晶セル２のセル厚が
同じであれば、補償液晶セル２を通ったときの偏光の旋
回量は被測定液晶セル１を通ったときの偏光の旋回量と
大きさが同じで方向が逆のものとなり、補償液晶セル23
を出射する偏光P3は偏光子３を通って被測定液晶セル１
に入射する前の偏光P1と同じになる。検光子４は偏光子
３とは直交する偏光のみを透過させるものであり、補償
液晶セル２から検光子４に向かう偏光P4（P1）を透過さ
せない。補償液晶セル２はくさび形をなすように形成さ
れているので、傾斜に沿って、被測定液晶セル１の厚さ
と同じ厚さの地点があり、その地点の両側は被測定液晶
セル１の厚さよりも大きく、あるいは小さくなってい
く。従って、第９図に示されるように、検光子４を上か
ら見ると、被測定液晶セル１の厚さと同じになる補償液
晶セル２の地点に黒いすじＢが生じる。従って、補償液
晶セル２の基準点の厚さを予め測定しておけば、被測定
液晶セル１を補償液晶セル２に重ねるだけで、簡便にセ
ル圧の測定を行うことができる。
の偏光P1であり、この偏光P1は被測定液晶セル１を通る
ときに液晶のツイスト方向に従って例えばP2のように90
度旋光する。被測定液晶セル１を出て補償液晶セル２に
入射した偏光P2は、被測定液晶セル１を通るときとは逆
のツイスト方向に従ってP3のように旋光する。このよう
に、補償液晶セル２は被測定液晶セル１の旋光を打ち消
すように作用し、この旋光の打ち消しの程度は被測定液
晶セル１の厚さと補償液晶セル２の厚さの関係に依存す
る。もし被測定液晶セル１と補償液晶セル２のセル厚が
同じであれば、補償液晶セル２を通ったときの偏光の旋
回量は被測定液晶セル１を通ったときの偏光の旋回量と
大きさが同じで方向が逆のものとなり、補償液晶セル23
を出射する偏光P3は偏光子３を通って被測定液晶セル１
に入射する前の偏光P1と同じになる。検光子４は偏光子
３とは直交する偏光のみを透過させるものであり、補償
液晶セル２から検光子４に向かう偏光P4（P1）を透過さ
せない。補償液晶セル２はくさび形をなすように形成さ
れているので、傾斜に沿って、被測定液晶セル１の厚さ
と同じ厚さの地点があり、その地点の両側は被測定液晶
セル１の厚さよりも大きく、あるいは小さくなってい
く。従って、第９図に示されるように、検光子４を上か
ら見ると、被測定液晶セル１の厚さと同じになる補償液
晶セル２の地点に黒いすじＢが生じる。従って、補償液
晶セル２の基準点の厚さを予め測定しておけば、被測定
液晶セル１を補償液晶セル２に重ねるだけで、簡便にセ
ル圧の測定を行うことができる。
しかし、上記したような装置では、被測定液晶セル１
の厚さが変動すると黒いすじＢのできる地点が変動し、
黒いすじＢのできる地点と補償液晶セル２の基準点との
関係がずれてセル厚を正確に測定することが難しいとい
う問題があった。また、上記したような装置では、被測
定液晶セル１の厚さを画素に相当するような微小な地点
毎に測定するのには不向きであった。
の厚さが変動すると黒いすじＢのできる地点が変動し、
黒いすじＢのできる地点と補償液晶セル２の基準点との
関係がずれてセル厚を正確に測定することが難しいとい
う問題があった。また、上記したような装置では、被測
定液晶セル１の厚さを画素に相当するような微小な地点
毎に測定するのには不向きであった。
本発明は簡便に且つ正確に微細な領域のセル厚でも測
定できる液晶表示セルのセル厚測定装置を提供すること
を目的とするものである。
定できる液晶表示セルのセル厚測定装置を提供すること
を目的とするものである。
本発明の液晶セルのセル厚測定装置は、被測定液晶セ
ルに対して光学的作用を補償するような補償液晶セルを
被測定液晶セルに対向して配置し、該被１定液晶セル及
び補償液晶セルの両側に偏光方向の直交する偏光子及び
検光子を配置し、さらに該補償液晶セルに電圧を印加す
る電源と、該偏光子側に設けた光源と、該検光子側に設
けた透過光量検出手段とを備え、該補償液晶セルに印加
する電圧を変化させながら該透過光量検出手段により透
過光量を検出し、透過光量が最低となる電圧を求めるこ
とにより被測定液晶セルのセル厚を測定するようにした
ことを特徴とするものである。
ルに対して光学的作用を補償するような補償液晶セルを
被測定液晶セルに対向して配置し、該被１定液晶セル及
び補償液晶セルの両側に偏光方向の直交する偏光子及び
検光子を配置し、さらに該補償液晶セルに電圧を印加す
る電源と、該偏光子側に設けた光源と、該検光子側に設
けた透過光量検出手段とを備え、該補償液晶セルに印加
する電圧を変化させながら該透過光量検出手段により透
過光量を検出し、透過光量が最低となる電圧を求めるこ
とにより被測定液晶セルのセル厚を測定するようにした
ことを特徴とするものである。
上記構成においては、補償液晶セルに印加する電圧を
変化させると、補償液晶セルの光透過特性が変化する。
そこで、被測定液晶セル及び補償液晶セルを透過する透
過光量を検出すると、印加電圧に応じて透過光量も変化
する。透過光量は被測定液晶セル及び補償液晶セルの構
成に応じて下に凸のパターンを示し、最低値を有する。
そこで、透過光量が最低となる電圧を求めることにより
被測定液晶セルのセル厚を測定する。なお、印加電圧と
被測定液晶セルのセル厚との関係は予め準備しておくこ
とができる。
変化させると、補償液晶セルの光透過特性が変化する。
そこで、被測定液晶セル及び補償液晶セルを透過する透
過光量を検出すると、印加電圧に応じて透過光量も変化
する。透過光量は被測定液晶セル及び補償液晶セルの構
成に応じて下に凸のパターンを示し、最低値を有する。
そこで、透過光量が最低となる電圧を求めることにより
被測定液晶セルのセル厚を測定する。なお、印加電圧と
被測定液晶セルのセル厚との関係は予め準備しておくこ
とができる。
第１図から第３図において、実施例の液晶セルのセル
厚測定装置は、ツイストネマティック（TN）型の液晶を
含む被測定液晶セル10に対して、ツイスト方向が逆のツ
イストネマティック（TN）型の液晶を含む補償液晶セル
12を備える。補償液晶セル12のセル厚は被測定液晶セル
10のセル厚とほぼ等しいようになっているが、必ずしも
厳密に等しい必要はない。第２図に示されるように、被
測定液晶セル10は例えば一対の平行な透明基板10a,10b
と、両基板10a,10bの間に封入された液晶10cとからな
る。両基板10a,10bの対向の面、すなわち内面にはそれ
ぞれ画像形成のための電極10d,10eが形成され、下方の
基板10aの電極10dは画素数だけ設けられたものであり、
上方の基板10bの電極10eはこれらの電極10dに対して共
通のITOのベタ電極膜である。下方の基板10aは薄膜トラ
ンジスタ（TFT）を作り込んだアクティブマトリクス基
板として構成することができ、この場合、各電極10dは
各トランジスタに接続される。また、カラー液晶表示パ
ネルを構成する場合には、上方の基板10bにカラーフィ
ルタを設け、その上に電極10eを設ける。さらに、廃坑
膜10f,10gがそれぞれの基板10a,10bに液晶10cと接する
ように配置される。一方、第３図に示されるように、補
償液晶セル12も同様に一対の平行な透明基板12a,12b
と、両基板12a,12bの間に封入された液晶12cとからな
る。ただし、電極12d,12eはともにITOのベタ電極膜であ
る。配向膜12f,12gがそれぞれの基板12a,12bに液晶12c
と接するように配置される。
厚測定装置は、ツイストネマティック（TN）型の液晶を
含む被測定液晶セル10に対して、ツイスト方向が逆のツ
イストネマティック（TN）型の液晶を含む補償液晶セル
12を備える。補償液晶セル12のセル厚は被測定液晶セル
10のセル厚とほぼ等しいようになっているが、必ずしも
厳密に等しい必要はない。第２図に示されるように、被
測定液晶セル10は例えば一対の平行な透明基板10a,10b
と、両基板10a,10bの間に封入された液晶10cとからな
る。両基板10a,10bの対向の面、すなわち内面にはそれ
ぞれ画像形成のための電極10d,10eが形成され、下方の
基板10aの電極10dは画素数だけ設けられたものであり、
上方の基板10bの電極10eはこれらの電極10dに対して共
通のITOのベタ電極膜である。下方の基板10aは薄膜トラ
ンジスタ（TFT）を作り込んだアクティブマトリクス基
板として構成することができ、この場合、各電極10dは
各トランジスタに接続される。また、カラー液晶表示パ
ネルを構成する場合には、上方の基板10bにカラーフィ
ルタを設け、その上に電極10eを設ける。さらに、廃坑
膜10f,10gがそれぞれの基板10a,10bに液晶10cと接する
ように配置される。一方、第３図に示されるように、補
償液晶セル12も同様に一対の平行な透明基板12a,12b
と、両基板12a,12bの間に封入された液晶12cとからな
る。ただし、電極12d,12eはともにITOのベタ電極膜であ
る。配向膜12f,12gがそれぞれの基板12a,12bに液晶12c
と接するように配置される。
このような被測定液晶セル10と補償液晶セル12は対向
して配置される。この場合、被測定液晶セル10と補償液
晶セル12を接触するように重ねて配置することもでき、
あるいは接触しないように隙間を開けて配置することも
できる。さらに、被測定液晶セル10の下方には偏光子14
が配置され、補償液晶セル12の上方には検光子16が配置
される。検光子16は偏光子14に対してクロスニコルの関
係で、即ち透過する偏光方向が直交するように配置され
る。偏光子14の下方には光源18が設けられ、検光子16の
上方には透過光量検出手段20が配置される。透過光量検
出手段20は例えばフォトダイオードやフォトマル等によ
り構成する。
して配置される。この場合、被測定液晶セル10と補償液
晶セル12を接触するように重ねて配置することもでき、
あるいは接触しないように隙間を開けて配置することも
できる。さらに、被測定液晶セル10の下方には偏光子14
が配置され、補償液晶セル12の上方には検光子16が配置
される。検光子16は偏光子14に対してクロスニコルの関
係で、即ち透過する偏光方向が直交するように配置され
る。偏光子14の下方には光源18が設けられ、検光子16の
上方には透過光量検出手段20が配置される。透過光量検
出手段20は例えばフォトダイオードやフォトマル等によ
り構成する。
さらに、補償液晶セル12に電圧を印加する電源22が設
けられ、この電源22は補償液晶セル12の上下の電極12d,
12eに接続される。セル厚の測定時には、被測定液晶セ
ル10の電極10d,10eには電圧を印加しない。
けられ、この電源22は補償液晶セル12の上下の電極12d,
12eに接続される。セル厚の測定時には、被測定液晶セ
ル10の電極10d,10eには電圧を印加しない。
このような構成において、光源18から偏光子14を通っ
た光は一定の方行の偏光P1であり、この偏光P1は被測定
液晶セル10を通るときに液晶のツイスト方向に従ってP2
のように90度旋光する。さらに、被測定液晶セル10を出
て補償液晶セル12に入射した偏光P2は、低測定液晶セル
10を通るときとは逆のツイスト方向に従ってP3のように
旋光する。このような。補償液晶セル12は被測定液晶セ
ル１の旋光を打ち消すように作用し、この旋光の打ち消
し程度は被測定液晶セル10の厚さと補償液晶セル12の厚
さの関係に依存する。従来技術のセル厚の測定では、補
償液晶セル12の基準厚さにより被測定液晶セル10のセル
厚を定めていたが、本発明では、補償液晶セル12圧に印
加する電圧を変化させながら透過光量検出手段20により
透過光量を検出し、透過光量が最低となる電圧を求める
ことにより被測定液晶セル10のセル厚を測定する。
た光は一定の方行の偏光P1であり、この偏光P1は被測定
液晶セル10を通るときに液晶のツイスト方向に従ってP2
のように90度旋光する。さらに、被測定液晶セル10を出
て補償液晶セル12に入射した偏光P2は、低測定液晶セル
10を通るときとは逆のツイスト方向に従ってP3のように
旋光する。このような。補償液晶セル12は被測定液晶セ
ル１の旋光を打ち消すように作用し、この旋光の打ち消
し程度は被測定液晶セル10の厚さと補償液晶セル12の厚
さの関係に依存する。従来技術のセル厚の測定では、補
償液晶セル12の基準厚さにより被測定液晶セル10のセル
厚を定めていたが、本発明では、補償液晶セル12圧に印
加する電圧を変化させながら透過光量検出手段20により
透過光量を検出し、透過光量が最低となる電圧を求める
ことにより被測定液晶セル10のセル厚を測定する。
このために、第６図に示されるように、透過光量検出
手段20の出力を受け、且つ電源22に制御出力を送るコン
ピュータ制御装置24を設けるのが好ましい。なお、第６
図は本発明を顕微鏡26を利用して実施する実施例を示す
図であり、第１図の被測定液晶セル10、補償液晶セル1
2、偏光子14、及び検光子16がアッセンブリ100としてホ
ルダ28に支持され、このホルダ28が顕微鏡26のステージ
30に取りつけられるようになっている。ステージ30は上
下方向及び水平方向に移動可能である。光源18は顕微鏡
26のベース部に取りつけられ、透過光量検出手段20は顕
微鏡26の接眼レンズ32に取りつけられる。また、電源は
補償液晶セル12の上下の電極12d,12eに電圧を印加す
る。このようにして、被測定液晶セル10の微小な領域で
もセル厚の測定を行うことができる。
手段20の出力を受け、且つ電源22に制御出力を送るコン
ピュータ制御装置24を設けるのが好ましい。なお、第６
図は本発明を顕微鏡26を利用して実施する実施例を示す
図であり、第１図の被測定液晶セル10、補償液晶セル1
2、偏光子14、及び検光子16がアッセンブリ100としてホ
ルダ28に支持され、このホルダ28が顕微鏡26のステージ
30に取りつけられるようになっている。ステージ30は上
下方向及び水平方向に移動可能である。光源18は顕微鏡
26のベース部に取りつけられ、透過光量検出手段20は顕
微鏡26の接眼レンズ32に取りつけられる。また、電源は
補償液晶セル12の上下の電極12d,12eに電圧を印加す
る。このようにして、被測定液晶セル10の微小な領域で
もセル厚の測定を行うことができる。
第４図は、補償液晶セル12に印加する電圧と透過光量
検出手段20により検出される透過光量の関係を示す図で
ある。第４図から明らなように、印加電圧を増加するに
つれて、透過光量が減少していき、所定の電圧値VLで最
低になり、それから急激に増加していく。この所定の電
圧値VLは被測定液晶セル10の厚さに対応して定められる
ものであり、以下その詳細について説明する。
検出手段20により検出される透過光量の関係を示す図で
ある。第４図から明らなように、印加電圧を増加するに
つれて、透過光量が減少していき、所定の電圧値VLで最
低になり、それから急激に増加していく。この所定の電
圧値VLは被測定液晶セル10の厚さに対応して定められる
ものであり、以下その詳細について説明する。
ここで、Δｎ（Δｎ＝ne−no）を液晶の屈折率異方性
とし、ｄを液晶の厚さ（セル厚）とする。被測定液晶セ
ル19を表すものに添え字１を付し、補償液晶セル12を表
すものに添え字２を付す。補償液晶セル12に電圧を印加
すると、液晶分子が次第に立っていくが、個々の液晶分
子の立ち角は基板の近傍と基板間の中央部とで差があ
り、通常は立ち角の平均値＜cos2θ＞が使用される。補
償液晶セル12に電圧を印加したときの実質的な複屈折
は、Δn2・d2・＜cos2θ＞である。
とし、ｄを液晶の厚さ（セル厚）とする。被測定液晶セ
ル19を表すものに添え字１を付し、補償液晶セル12を表
すものに添え字２を付す。補償液晶セル12に電圧を印加
すると、液晶分子が次第に立っていくが、個々の液晶分
子の立ち角は基板の近傍と基板間の中央部とで差があ
り、通常は立ち角の平均値＜cos2θ＞が使用される。補
償液晶セル12に電圧を印加したときの実質的な複屈折
は、Δn2・d2・＜cos2θ＞である。
そして、Δn1・d1＝Δn2・d2・＜cos2θ＞が成立する
場合、被測定液晶セル10と補償液晶セル12の旋光が同じ
で打ち消し合い、透過光量が特定の最低値VLになる。従
って、透過光量が特定の最低値VLを示せば、被測定液晶
セル10と補償液晶セル12のセル厚が同じかどうかは分か
らないが、各セルの旋光が同じであることを意味する。
上記式においては、Δn1,Δn2,d2は既知であり、d1,＜c
os2θ＞が未知である。従って、＜cos2θ＞が分かれ
ば、d1が分かることになる。本発明の原理は、＜cos2θ
＞が補償液晶セル12の印加電圧に対応して定められるこ
とに基づくものであり、＜cos2θ＞と印加電圧の関係を
予め準備する。
場合、被測定液晶セル10と補償液晶セル12の旋光が同じ
で打ち消し合い、透過光量が特定の最低値VLになる。従
って、透過光量が特定の最低値VLを示せば、被測定液晶
セル10と補償液晶セル12のセル厚が同じかどうかは分か
らないが、各セルの旋光が同じであることを意味する。
上記式においては、Δn1,Δn2,d2は既知であり、d1,＜c
os2θ＞が未知である。従って、＜cos2θ＞が分かれ
ば、d1が分かることになる。本発明の原理は、＜cos2θ
＞が補償液晶セル12の印加電圧に対応して定められるこ
とに基づくものであり、＜cos2θ＞と印加電圧の関係を
予め準備する。
この関係を代表する１例が第５図に示されている。＜
cos2θ＞を直接に用いる代わりに、＜cos2θ＞に定数と
してのΔn2・d2を掛けたΔn2・d2・＜cos2θ＞を使用す
ることができ、Δn2・d2・＜cos2θ＞はΔn1・d1と等し
い。ここでは、最初にΔn1・d1から＜cos2θ＞と印加電
圧の関係を示すようなデータを準備する。まず、Δn1・
d1の分かっている基準液晶セルを数点準備し、各基準液
晶セルを第１図の被測定液晶セル10の代わりに補償液晶
セル12に重ねて、電圧を印加しながら透過光量を測定
し、透過光量が最低となる所定の電圧値VLをそれぞれ求
める。第５図の各丸印は各基準液晶セルの所定の電圧値
VLをグラフ上に書き込み、これら所定の電圧値VLをプロ
ットして一般的に適用可能な直線または曲線を得る。
cos2θ＞を直接に用いる代わりに、＜cos2θ＞に定数と
してのΔn2・d2を掛けたΔn2・d2・＜cos2θ＞を使用す
ることができ、Δn2・d2・＜cos2θ＞はΔn1・d1と等し
い。ここでは、最初にΔn1・d1から＜cos2θ＞と印加電
圧の関係を示すようなデータを準備する。まず、Δn1・
d1の分かっている基準液晶セルを数点準備し、各基準液
晶セルを第１図の被測定液晶セル10の代わりに補償液晶
セル12に重ねて、電圧を印加しながら透過光量を測定
し、透過光量が最低となる所定の電圧値VLをそれぞれ求
める。第５図の各丸印は各基準液晶セルの所定の電圧値
VLをグラフ上に書き込み、これら所定の電圧値VLをプロ
ットして一般的に適用可能な直線または曲線を得る。
そこで、未知のd1の被測定液晶セル10について、被測
定液晶セル10を補償液晶セル12に重ねて、電圧を印加し
ながら透過光量を測定し、透過光量が最低となる所定の
電圧値VLを求め、この所定の電圧値VLを第５図の関係に
適用して未知のΔｎ・d1を求めることができる。例え
ば、第４図に示すように所定の電圧値VLが3.6Vであると
すれば、第５図の所定の電圧値VLが3.6VになるΔn1・d1
は0.505μｍであることが分かる。Δn1は0.09であるこ
とが既知であり、d1は0.505÷0.09から5.6μｍであるこ
とが分かる。このようにして、測定液晶セル10のセル厚
を正確に測定することができる。
定液晶セル10を補償液晶セル12に重ねて、電圧を印加し
ながら透過光量を測定し、透過光量が最低となる所定の
電圧値VLを求め、この所定の電圧値VLを第５図の関係に
適用して未知のΔｎ・d1を求めることができる。例え
ば、第４図に示すように所定の電圧値VLが3.6Vであると
すれば、第５図の所定の電圧値VLが3.6VになるΔn1・d1
は0.505μｍであることが分かる。Δn1は0.09であるこ
とが既知であり、d1は0.505÷0.09から5.6μｍであるこ
とが分かる。このようにして、測定液晶セル10のセル厚
を正確に測定することができる。
第７図は測定液晶セル10のセル厚を測定するための手
順をまとめた図であり、ステップ51において補償液晶セ
ル12に電圧を供給し、ステップ52において検光子16から
の透過光量を検出し、ステップ53において供給電圧と透
過光量の関係をモニターして透過光量が最低になる所定
の電圧値VLを求める。次に、ステップ54において検出さ
れた所定の電圧値VLをデータベースの関係に適用し、Δ
n1・d1を求める。Δn1・d1が分かれば、d1を計算するの
は容易である。
順をまとめた図であり、ステップ51において補償液晶セ
ル12に電圧を供給し、ステップ52において検光子16から
の透過光量を検出し、ステップ53において供給電圧と透
過光量の関係をモニターして透過光量が最低になる所定
の電圧値VLを求める。次に、ステップ54において検出さ
れた所定の電圧値VLをデータベースの関係に適用し、Δ
n1・d1を求める。Δn1・d1が分かれば、d1を計算するの
は容易である。
この実施例では、被測定液晶セル10及び補償液晶セル
12はツイストマネティック（TN）型の液晶を含むもので
ある。しかし、本発明では、ツイストネマティック（T
N）型の液晶以外の液晶、例えばホモジニアス型の液晶
を含む液晶セルにも適用可能である。
12はツイストマネティック（TN）型の液晶を含むもので
ある。しかし、本発明では、ツイストネマティック（T
N）型の液晶以外の液晶、例えばホモジニアス型の液晶
を含む液晶セルにも適用可能である。
以上説明したように、本発明によれば、被測定液晶セ
ルに対して光学的作用を補償するような補償液晶セルを
被測定液晶セルに対向して配置し、該被１定液晶セル及
び補償液晶セルの両側に偏光方向の直交する偏光子及び
検光子を配置し、さらに該補償液晶セルに電圧を印加す
る電源と、該偏光子側に設けた光源と、該検光子側に設
けた透過光量検出手段とを備え、該補償液晶セルに印加
する電圧を変化させながら該透過光量検出手段により透
過光量を検出し、透過光量が最低となる電圧を求めるこ
とにより被測定液晶セルのセル厚を測定する構成にした
ので、電圧値と透過光量を測定することによって簡便に
且つ正確に液晶セルのセル厚を測定することができ、液
晶セルの微小領域であってもセル厚を測定することがで
きる。
ルに対して光学的作用を補償するような補償液晶セルを
被測定液晶セルに対向して配置し、該被１定液晶セル及
び補償液晶セルの両側に偏光方向の直交する偏光子及び
検光子を配置し、さらに該補償液晶セルに電圧を印加す
る電源と、該偏光子側に設けた光源と、該検光子側に設
けた透過光量検出手段とを備え、該補償液晶セルに印加
する電圧を変化させながら該透過光量検出手段により透
過光量を検出し、透過光量が最低となる電圧を求めるこ
とにより被測定液晶セルのセル厚を測定する構成にした
ので、電圧値と透過光量を測定することによって簡便に
且つ正確に液晶セルのセル厚を測定することができ、液
晶セルの微小領域であってもセル厚を測定することがで
きる。
第１図は本発明の実施例を示す図、第２図は第１図の被
測定液晶セルの断面図、第３図は第１図の補償液晶セル
の断面図、第４図は印加電圧と透過光量の関係を示す
図、第５図は透過光量が最低になる電圧とセル厚代替値
との関係を示す図、第６図は顕微鏡に取りつけた実施例
を示す正面図、第７図はセル厚測定手順を示す図、第８
図は従来技術を示す図、第９図は第８図の検光子に生じ
た黒いすじを示す図である。 10……被測定液晶セル、 12……補償液晶セル、 14……偏光子、16……検光子、 18……光源、20……透過光量検出手段、 22……電源。
測定液晶セルの断面図、第３図は第１図の補償液晶セル
の断面図、第４図は印加電圧と透過光量の関係を示す
図、第５図は透過光量が最低になる電圧とセル厚代替値
との関係を示す図、第６図は顕微鏡に取りつけた実施例
を示す正面図、第７図はセル厚測定手順を示す図、第８
図は従来技術を示す図、第９図は第８図の検光子に生じ
た黒いすじを示す図である。 10……被測定液晶セル、 12……補償液晶セル、 14……偏光子、16……検光子、 18……光源、20……透過光量検出手段、 22……電源。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大橋 誠 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−97807（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 G02F 1/13
Claims (3)
- 【請求項１】被測定液晶セル（10）に対して光学的作用
を補償するような補償液晶セル（12）を被測定液晶セル
に対向して配置し、該被測定液晶セル及び補償液晶セル
の両側に偏光方向の直交する偏光子（14）及び検光子
（16）を配置し、さらに該補償液晶セルに電圧を印加す
る電源（22）と、該偏光子側に設けた光源（18）と、該
検光子側に設けた透過光量検出手段（20）とを備え、該
補償液晶セルに印加する電圧を変化させながら該透過光
量検出手段により透過光量を検出し、透過光量が最低と
なる電圧を求めることにより被測定液晶セルのセル厚を
測定するようにした液晶セルのセル厚測定装置。 - 【請求項２】被測定液晶セルがツイストネマティック型
の液晶を含む場合には、ツイストネマティック型の液晶
を含む補償液晶セルを使用する請求項１に記載の液晶セ
ルのセル厚測定装置。 - 【請求項３】被測定液晶セルがホモジニアス型の液晶を
含む場合には、ホモジニアス型の液晶を含む補償液晶セ
ルを使用する請求項１に記載の液晶セルのセル厚測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312779A JP2820163B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 液晶セルのセル厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312779A JP2820163B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 液晶セルのセル厚測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04184207A JPH04184207A (ja) | 1992-07-01 |
| JP2820163B2 true JP2820163B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=18033306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2312779A Expired - Lifetime JP2820163B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 液晶セルのセル厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2820163B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW477897B (en) | 1999-05-07 | 2002-03-01 | Sharp Kk | Liquid crystal display device, method and device to measure cell thickness of liquid crystal display device, and phase difference plate using the method thereof |
-
1990
- 1990-11-20 JP JP2312779A patent/JP2820163B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04184207A (ja) | 1992-07-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW477897B (en) | Liquid crystal display device, method and device to measure cell thickness of liquid crystal display device, and phase difference plate using the method thereof | |
| JP3910352B2 (ja) | プレチルト角検出方法及び検出装置 | |
| EP0498614B1 (en) | A liquid crystal display device | |
| JPH04307312A (ja) | 液晶セルのギャップ厚測定方法 | |
| JPH0769538B2 (ja) | 補償したねじれネマチック液晶表示装置 | |
| JP3399773B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| US6144431A (en) | Liquid crystal display device having at least one phase-different plate between LC element and a polarizer wherein the principal refractive indices of said phase-different plate satisfies na=nc>nb | |
| US20060250547A1 (en) | Optically compensated birefringence (OCB) mode liquid crystal display device | |
| JP3452742B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP3399795B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| US5231522A (en) | Liquid crystal panel capable of indicating black without dependency of visual angle | |
| JP2820163B2 (ja) | 液晶セルのセル厚測定装置 | |
| JP3070181B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP2767382B2 (ja) | 光学補償シート | |
| JP3007524B2 (ja) | 液晶表示装置及び液晶素子 | |
| KR100290267B1 (ko) | 액정표시장치 | |
| JP2898501B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| KR100342956B1 (ko) | 액정 디스플레이 장치 | |
| JP3224124B2 (ja) | 液晶表示素子の評価方法 | |
| JPH1184335A (ja) | 液晶セルパラメータ検出方法及び装置 | |
| JP2877152B2 (ja) | 液晶表示器 | |
| JPH0518860A (ja) | 液晶分子のチルト角測定方法 | |
| JP3792315B2 (ja) | セル厚測定方法、セル厚測定装置、及び液晶表示装置の製造方法 | |
| JP2730537B2 (ja) | 液晶表示素子 | |
| JP2770481B2 (ja) | 液晶表示パネルのセル厚測定方法およびその測定器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070828 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080828 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080828 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090828 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090828 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100828 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110828 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110828 Year of fee payment: 13 |