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JP2810604B2 - Manufacturing method of multilayer printed wiring board - Google Patents

Manufacturing method of multilayer printed wiring board

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Publication number
JP2810604B2
JP2810604B2 JP5004589A JP458993A JP2810604B2 JP 2810604 B2 JP2810604 B2 JP 2810604B2 JP 5004589 A JP5004589 A JP 5004589A JP 458993 A JP458993 A JP 458993A JP 2810604 B2 JP2810604 B2 JP 2810604B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
printed wiring
wiring board
hole
metal foil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP5004589A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06216528A (en
Inventor
武司 加納
秀雄 中西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP5004589A priority Critical patent/JP2810604B2/en
Publication of JPH06216528A publication Critical patent/JPH06216528A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2810604B2 publication Critical patent/JP2810604B2/en
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、高密度配線を目的とす
るプラスチック多層プリント配線板の製造方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a plastic multilayer printed wiring board for high-density wiring.

【0002】[0002]

【従来の技術】多層プリント配線板は高密度配線を目的
として提供されているものであり、例えば図6のように
して製造されている。すなわち先ず図6(a)のよう
に、両面に回路15を設けると共にスルーホール16に
よってこの両面の回路15を導通接続して作成したプリ
ント配線板17をプリプレグ18を介して重ね、さらに
プリント配線板17の外側に銅箔等の金属箔19をプリ
プレグ18を介して重ね、これを加熱加圧して積層成形
することによって、図6(b)のようにプリプレグ18
による絶縁接着層18aによってプリント配線板17及
び金属箔19を積層一体化して多層板20を作成し、そ
してこの多層板20に表裏に貫通するスルーホール21
をドリル加工等して設けると共にスルーホール21の内
周にスルーホールメッキ22を施し、さらに金属箔19
をエッチング処理等のプリント加工をして回路23を形
成することによって、図6(c)のようにプリント配線
板17に設けられた内層の回路15と外層の回路23と
をスルーホール21によって導通接続した多層プリント
配線板を製造することができる。
2. Description of the Related Art A multilayer printed wiring board is provided for the purpose of high-density wiring, and is manufactured, for example, as shown in FIG. First, as shown in FIG. 6 (a), a printed circuit board 17 formed by providing circuits 15 on both sides and conductingly connecting the circuits 15 on both sides by through holes 16 is superimposed via a prepreg 18 and further printed wiring boards. A metal foil 19 such as a copper foil is laid over the outside of the prepreg 17 via a prepreg 18, and the prepreg 18 is heated and pressed to form a laminate, as shown in FIG.
The printed wiring board 17 and the metal foil 19 are laminated and integrated by the insulating adhesive layer 18a formed by the above method to form a multilayer board 20, and through holes 21 penetrating through the multilayer board 20 from front to back.
Is provided by drilling or the like, and the inner periphery of the through hole 21 is plated with a through hole 22.
The circuit 23 is formed by performing a printing process such as an etching process on the printed circuit board 17 so that the circuit 15 of the inner layer and the circuit 23 of the outer layer provided on the printed wiring board 17 are electrically connected by the through hole 21 as shown in FIG. A connected multilayer printed wiring board can be manufactured.

【0003】このようにプリント配線板17や金属箔1
9を積層成形して多層プリント配線板を製造する方法の
他に、両面金属箔張り積層板を用いて先ずその片面に金
属箔のプリント加工で第1層の回路を形成し、この第1
層の回路の上に第1層の感光性絶縁層を積層してホトビ
アホールを明け、この第1層の感光性絶縁層の上に銅メ
ッキなどの金属メッキを化学メッキ等でおこなった後に
この金属メッキをプリント加工して第2層の回路を形成
し、さらにこの第2層の回路の上に第2層の感光性絶縁
層を積層してホトビアホールを明け、次に表裏に貫通し
てスルーホールをドリルであけると共に銅メッキなどの
金属メッキを化学メッキ等でおこなうようにして、回路
を複数層設けるようにした多層プリント配線板の製造法
も提案されている。
As described above, the printed wiring board 17 and the metal foil 1
In addition to the method of producing a multilayer printed wiring board by laminating and molding the same, a circuit of the first layer is formed by printing a metal foil on one side using a double-sided metal foil-clad laminate.
A first photosensitive insulating layer is laminated on the circuit of the layer, a photo via hole is opened, and a metal plating such as copper plating is performed on the first photosensitive insulating layer by chemical plating or the like. Metal plating is printed to form a second layer circuit, and a second layer of photosensitive insulating layer is laminated on the second layer circuit to form a photovia hole, and then penetrate both sides. A method of manufacturing a multilayer printed wiring board in which a plurality of circuits are provided by drilling through holes and performing metal plating such as copper plating by chemical plating or the like has also been proposed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし前者の方法で
は、内層の回路と外層の回路とは表裏に貫通して設けた
スルーホールによって導通接続しているために、この表
裏に貫通するスルーホールが数多く必要となり、この結
果配線密度や実装密度が低下することになるという問題
があった。
However, in the former method, the circuit in the inner layer and the circuit in the outer layer are electrically connected by through holes provided on the front and back surfaces. A large number is required, and as a result, there is a problem that the wiring density and the mounting density are reduced.

【0005】また後者の方法では、回路を金属メッキで
形成するアディティブ法で回路形成することになるため
に、回路の接着強度が低く回路の信頼性が低いという問
題があった。本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、スルーホールの本数を低減することができ、また
回路の信頼性が低下することもない多層プリント配線板
を提供することを目的とするものである。
In the latter method, since the circuit is formed by an additive method of forming the circuit by metal plating, there is a problem that the adhesive strength of the circuit is low and the reliability of the circuit is low. The present invention has been made in view of the above points, and has as its object to provide a multilayer printed wiring board that can reduce the number of through holes and does not reduce the reliability of a circuit. It is.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明に係る多層プリン
ト配線板の第一の製造方法は、プリント配線板1の回路
2の未貫通ビアホール6の底になる部分の表面に金メッ
キを施した後、プリント配線板1の回路2を形成した表
面に、貫通孔3を設けたプリプレグ4と貫通孔3を設け
た金属箔5とを両貫通孔3を合わせてこの順に重ね、こ
れを加熱加圧成形してプリント配線板1にプリプレグ4
を介して金属箔5を積層すると共にプリプレグ4と金属
箔5の貫通孔3によってプリント配線板1の回路2が底
になる未貫通ビアホール6を形成し、未貫通ビアホール
6の内周にスルーホールメッキ7を施すと共に上記金属
箔5をプリント加工して回路8を形成して、この回路8
とプリント配線板1の上記回路2とを未貫通ビアホール
6によって導通接続して成ることを特徴とするものであ
る。
A first method of manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention is a method for manufacturing a circuit of a printed wiring board 1.
The surface of the bottom portion of the non-penetrating via hole 6
After the application, the prepreg 4 provided with the through-hole 3 and the metal foil 5 provided with the through-hole 3 are superimposed on the surface of the printed wiring board 1 on which the circuit 2 is formed, with the two through-holes 3 aligned in this order. This is heated and pressed to form a prepreg 4 on the printed wiring board 1.
A metal foil 5 is laminated through the prepreg 4 and a through hole 3 of the metal foil 5 forms a non-penetrating via hole 6 in which the circuit 2 of the printed wiring board 1 becomes a bottom. The circuit 8 is formed by plating 7 and printing the metal foil 5.
That the composed and the circuit 2 of the printed wiring board 1 and electrically connected by non-through via hole 6 is characterized in.

【0007】また本発明に係る多層プリント配線板の第
二の製造方法は、プリント配線板1の回路2の未貫通ビ
アホール6の底になる部分の表面に金メッキを施した
後、プリント配線板1の回路2を形成した表面に、貫通
孔3を設けたプリプレグ4と外面に金属箔5を張り貫通
孔3を設けた積層板9とを両貫通孔3を合わせてこの順
に重ね、これを加熱加圧成形してプリント配線板1にプ
リプレグ4を介して積層板9を積層すると共にプリプレ
グ4と積層板9の貫通孔3によってプリント配線板1の
回路2が底になる未貫通ビアホール6を形成し、未貫通
ビアホール6の内周にスルーホールメッキ7を施すと共
に上記積層板9の金属箔5をプリント加工して回路8を
形成して、この回路8とプリント配線板1の上記回路2
とを未貫通ビアホール6によって導通接続して成ること
を特徴とするものである。
[0007] The second method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the non-through-bi of the circuit 2 of the printed wiring board 1
Gold plating was applied to the surface of the bottom of the hole 6
Thereafter, a prepreg 4 having a through-hole 3 provided on the surface of the printed wiring board 1 on which the circuit 2 is formed and a laminated board 9 having a metal foil 5 provided on the outer surface thereof and having the through-hole 3 are combined with each other. The laminates 9 are stacked in this order, and are heated and pressed to form a laminate 9 on the printed wiring board 1 via the prepreg 4, and the circuit 2 of the printed wiring board 1 becomes the bottom by the through holes 3 of the prepreg 4 and the laminate 9. A circuit 8 is formed by forming a non-penetrating via hole 6, applying a through-hole plating 7 to the inner periphery of the non-penetrating via hole 6 and printing the metal foil 5 of the laminated board 9. The above circuit 2 of 1
Are electrically connected to each other by a non-penetrating via hole 6.

【0008】[0008]

【作用】内層回路となるプリント配線板1の回路2と金
属箔5から作成される外層回路となる回路8とは未貫通
ビアホール6で導通接続され、回路2,8を接続するた
めに表裏に貫通するスルーホールを数多く用いる必要が
なくなる。またプリント配線板1の回路2の未貫通ビア
ホール6の底になる部分の表面に金メッキを施すので、
金メッキがプリント配線板1の回路2のレジスト層とな
って、回路8を形成する際のプリント加工で用いるエッ
チング液が未貫通ビアホール6を通してプリント配線板
1の回路2に作用しないようにすることができる。
The circuit 2 of the printed wiring board 1 serving as the inner layer circuit and the circuit 8 serving as the outer layer circuit formed from the metal foil 5 are electrically connected to each other through a non-penetrating via hole 6. There is no need to use a large number of through holes. Since subjected to gold plating on the surface of the areas of the bottom of the blind via hole 6 of the circuit 2 of the printed wiring board 1,
The gold plating serves as a resist layer of the circuit 2 of the printed wiring board 1 so that the etching solution used in the printing process for forming the circuit 8 does not act on the circuit 2 of the printed wiring board 1 through the non-penetrating via hole 6. it can.

【0009】[0009]

【実施例】以下本発明を実施例によって詳述する。図1
は本発明の第一の製造方法の一実施例を示すものであ
る。プリント配線板1は両面に銅箔等の金属箔を張った
エポキシ樹脂積層板等を用い、その一方の片面に回路2
を形成すると共に他方の片面を金属箔25として形成し
たものである。そしてこのプリント配線板1の回路2を
形成した表面に図1(a)のようにプリプレグ4を介し
て金属箔5を重ねる。プリプレグ4はガラス布等の基材
にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸して乾燥するこ
とによって調製したものを使用することができるもので
あり、プリプレグ4には複数箇所において貫通孔3が設
けてある。また金属箔5としては銅箔等を用いることが
できるものであり、プリプレグ4に設けた箇所と同じ箇
所において貫通孔3が設けてある。プリプレグ4と金属
箔5とは両者の貫通孔3を一致させて合わせた状態でプ
リント配線板1に重ねられるものである。
The present invention will be described below in detail with reference to examples. FIG.
Shows an embodiment of the first manufacturing method of the present invention. The printed wiring board 1 uses an epoxy resin laminated board or the like in which a metal foil such as a copper foil is stretched on both sides, and a circuit 2 is provided on one side thereof.
And the other side is formed as a metal foil 25. Then, a metal foil 5 is overlaid on the surface of the printed wiring board 1 on which the circuit 2 is formed via a prepreg 4 as shown in FIG. The prepreg 4 may be a material prepared by impregnating a base material such as a glass cloth with a thermosetting resin such as an epoxy resin and drying. The prepreg 4 has through holes 3 at a plurality of locations. It is provided. Copper foil or the like can be used as the metal foil 5, and the through hole 3 is provided at the same location as the location provided on the prepreg 4. The prepreg 4 and the metal foil 5 are stacked on the printed wiring board 1 in a state where the through holes 3 of the prepreg 4 and the metal foil 5 are aligned.

【0010】このようにプリント配線板1にプリプレグ
4と金属箔5をこの順に重ねた後、加熱加圧成形をして
積層成形をおこなうことによって、図1(b)に示すよ
うにプリプレグ4による絶縁接着層4aでプリント配線
板1に金属箔5を積層することができる。このように積
層をおこなうにあたって、プリプレグ4と金属箔5の貫
通孔3によって、プリント配線板1の回路2が底面とな
る未貫通のビアホール6が形成されることになる。ここ
で、プリント配線板1の回路2のうち、この未貫通ビア
ホール6の底面となる部分の表面には金メッキを施して
おく
As described above, the prepreg 4 and the metal foil 5 are stacked on the printed wiring board 1 in this order, and then heated and pressed to form a laminate, thereby forming the prepreg 4 as shown in FIG. The metal foil 5 can be laminated on the printed wiring board 1 with the insulating adhesive layer 4a. In stacking in this manner, the prepreg 4 and the through hole 3 of the metal foil 5 form an unpenetrated via hole 6 having the circuit 2 of the printed wiring board 1 as a bottom surface. Here, of the circuit 2 of the printed wiring board 1, gold plating is applied to the surface of the portion to be the bottom surface of the non-penetrating via hole 6.
Put .

【0011】上記のようにプリント配線板1に金属箔5
を積層した後、無電解メッキや電解メッキをおこなって
未貫通ビアホール6の内周にスルーホールメッキ7を施
した後、金属箔5にエッチング等のプリント加工をおこ
なって回路8を形成する。このようにプリント配線板1
に設けた内層回路となる回路2と外層回路としての回路
8を具備する図1(c)のような多層プリント配線板を
作成することができるものであり、プリント配線板1の
下面の金属箔25を同時にプリント加工して回路26を
形成するようにしてもよい。そして、プリント配線板1
の内層回路となる回路2は外層回路となる回路8とスル
ーホールメッキ7を介して導通接続されるものであり、
未貫通ビアホール6によって多層プリント配線板の表面
に導出させることができるものである。ここで、金属箔
5にエッチング等のプリント加工をおこなって回路8を
形成する際に、エッチング液が未貫通ビアホール6を通
してプリント配線板1の回路2に作用することになる
が、回路2の未貫通ビアホール6の底になる部分の表面
には上記のように金メッキが施してあるので、この金メ
ッキがレジスト層となって回路2がエッチング液に侵さ
れるおそれはない。従って、エッチングをおこなうにあ
たって未貫通ビアホール6をエッチングレジストで塞ぐ
ような必要はなくなる。
As described above, the metal foil 5 is formed on the printed wiring board 1.
Then, the circuit 8 is formed by performing electroless plating or electrolytic plating to apply through-hole plating 7 to the inner periphery of the non-penetrating via hole 6, and then performing printing such as etching on the metal foil 5. Thus, the printed wiring board 1
A multilayer printed wiring board as shown in FIG. 1C having the circuit 2 serving as an inner layer circuit and the circuit 8 serving as an outer layer circuit provided on the printed wiring board 1 can be formed. 25 may be printed at the same time to form the circuit 26. And the printed wiring board 1
The circuit 2 serving as the inner layer circuit is electrically connected to the circuit 8 serving as the outer layer circuit through the through-hole plating 7.
The non-penetrating via hole 6 can be led out to the surface of the multilayer printed wiring board. Here, when the circuit 8 is formed by performing a printing process such as etching on the metal foil 5, the etchant acts on the circuit 2 of the printed wiring board 1 through the non-penetrating via hole 6. Since the surface of the bottom portion of the through via hole 6 is plated with gold as described above, there is no possibility that the gold plating becomes a resist layer and the circuit 2 is attacked by the etching solution. Therefore, it is not necessary to cover the non-penetrating via hole 6 with the etching resist when performing the etching.

【0012】次に、必要に応じてさらに貫通孔3を設け
たプリプレグ4と金属箔5を上記と同様にプリント配線
板1に重ねて加熱加圧成形して図1(d)のように金属
箔5を積層すると共に未貫通ビアホール6を形成し、表
裏に貫通するスルーホール27をドリル加工等で設けた
後に、未貫通ビアホール6の内周にスルーホールメッキ
7を、スルーホール27の内周にスルーホールメッキ2
8をそれぞれ施すと共に、金属箔5にエッチング等のプ
リント加工をおこなって回路8を形成することによっ
て、図1(e)のような4層回路構成の多層プリント配
線板を作成することができる。この多層プリント配線板
にあって、プリント配線板1に設けた内層の回路2は外
層の回路8に未貫通スルーホールで導通接続されている
ために、回路2,8を導通させるためのスルーホール2
7を表裏に貫通させて多数設けるような必要はない。
Next, if necessary, a prepreg 4 provided with a through hole 3 and a metal foil 5 are stacked on the printed wiring board 1 in the same manner as described above, and heated and pressed to form a metal as shown in FIG. After laminating the foil 5 and forming the non-penetrating via hole 6, and forming a through-hole 27 penetrating on the front and back sides by drilling or the like, the through-hole plating 7 is applied to the inner periphery of the non-penetrating via hole 6, and the inner periphery of the through-hole 27 is formed. Through-hole plating 2
8 and print processing such as etching on the metal foil 5 to form the circuit 8, a multilayer printed wiring board having a four-layer circuit configuration as shown in FIG. 1 (e) can be produced. In this multilayer printed wiring board, the inner circuit 2 provided on the printed wiring board 1 is electrically connected to the outer layer circuit 8 through a non-through through hole, so that a through hole for conducting the circuits 2 and 8 is provided. 2
It is not necessary to provide a large number 7 through the front and back.

【0013】図2は本発明の他の実施例を示すものであ
り、このものではプリント配線板1として回路2を多層
に設けた多層プリント配線板1aを用いるようにして、
6層回路構成の多層プリント配線板として作成するよう
にしてある。図3は本発明の第二の製造方法の一実施例
を示すものであり、図3(a)のようにプリント配線板
1に貫通孔3を設けたプリプレグ4と貫通孔3を設けた
積層板9とを重ねるようにしてある。積層板9としては
外側に銅箔等の金属箔5を積層したエポキシ樹脂積層板
などを用いることができるものであり、貫通孔3を一致
させて合わせた状態でプリント配線板1にプリプレグ4
と積層板9をこの順に重ねた後、加熱加圧成形をして積
層成形をおこなうことによってプリント配線板1に積層
板9を積層することができ、このように積層をおこなう
にあたって、プリプレグ4と積層板9の貫通孔3によっ
てプリント配線板1の回路2が底面となる未貫通のビア
ホール6が形成される。そして、表裏に貫通するスルー
ホール27をドリル加工等で設けた後に、未貫通ビアホ
ール6の内周にスルーホールメッキ7を、スルーホール
27の内周にスルーホールメッキ28をそれぞれ施すと
共に、積層板9の金属箔5にエッチング等のプリント加
工をおこなって回路8を形成することによって、図3
(b)のように多層プリント配線板を作成することがで
きる。図3の実施例ではプリント配線板1として回路2
を多層に設けた多層プリント配線板1aを用いるように
してある。
FIG. 2 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, a multilayer printed wiring board 1a having a multilayer circuit 2 is used as a printed wiring board 1.
It is designed to be made as a multilayer printed wiring board having a six-layer circuit configuration. FIG. 3 shows an embodiment of the second manufacturing method of the present invention. As shown in FIG. 3A, a prepreg 4 having a through hole 3 in a printed wiring board 1 and a laminate having a through hole 3 are provided. The plate 9 is overlapped. As the laminate 9, an epoxy resin laminate or the like in which a metal foil 5 such as a copper foil is laminated on the outside can be used, and the prepreg 4 is attached to the printed wiring board 1 with the through holes 3 aligned and aligned.
After laminating the laminated board 9 in this order, the laminated board 9 can be laminated on the printed wiring board 1 by performing heat and pressure molding and laminating. In performing such lamination, the prepreg 4 and The non-penetrating via hole 6 having the bottom surface of the circuit 2 of the printed wiring board 1 is formed by the through hole 3 of the laminated board 9. Then, after forming through holes 27 penetrating on the front and back sides by drilling or the like, a through hole plating 7 is applied to the inner periphery of the unpenetrated via hole 6, and a through hole plating 28 is applied to the inner periphery of the through hole 27. The circuit 8 is formed by performing a printing process such as etching on the metal foil 5 of FIG.
A multilayer printed wiring board can be produced as shown in FIG. In the embodiment shown in FIG.
Are used in a multilayer printed wiring board 1a.

【0014】図4は本発明によって作成した多層プリン
ト配線板をパッケージ基板Aとして用いた半導体装置の
一例を示すものであり、この実施例では、パッケージ基
板Aの下面に凹所30を設けて凹所30内にICチップ
等の半導体チップ31を搭載すると共に回路2,8と半
導体チップ31とをワイヤーボンディング32で接続
し、さらにリードフレームのリード33を回路2に接続
することによって、QFP型半導体装置として形成する
ようにしてある。
FIG. 4 shows an example of a semiconductor device using a multilayer printed wiring board prepared according to the present invention as a package substrate A. In this embodiment, a concave portion 30 is provided on the lower surface of the package substrate A to form a concave portion. A semiconductor chip 31 such as an IC chip is mounted in the place 30, and the circuits 2, 8 and the semiconductor chip 31 are connected by wire bonding 32, and furthermore, the leads 33 of the lead frame are connected to the circuit 2. It is designed to be formed as a device.

【0015】図5の実施例では、パッケージ基板Aに表
裏に貫通して開口部34を設けると共にこの開口部34
を金属板などの放熱板35で覆い、放熱板35に接着し
て半導体チップ31を開口部34内に搭載すると共に回
路2,8と半導体チップ31とをワイヤーボンディング
32で接続し、さらに端子ピン36の基部をスルーホー
ル27に差し込んで端子ピン36をパッケージ基板Aか
ら突出させるように取り付けることによって、PGA型
半導体装置として形成するようにしてある。
In the embodiment shown in FIG. 5, an opening 34 is provided in the package substrate A so as to penetrate the package substrate A from front to back.
Is covered with a heat radiating plate 35 such as a metal plate, the semiconductor chip 31 is mounted in the opening 34 by bonding to the heat radiating plate 35, and the circuits 2, 8 and the semiconductor chip 31 are connected by wire bonding 32. By inserting the base of the terminal 36 into the through hole 27 and attaching the terminal pins 36 so as to protrude from the package substrate A, a PGA type semiconductor device is formed.

【0016】[0016]

【発明の効果】上記のように本発明は、プリント配線板
の回路を形成した表面に、貫通孔を設けたプリプレグと
貫通孔を設けた金属箔とを両貫通孔を合わせてこの順に
重ね、これを加熱加圧成形してプリント配線板にプリプ
レグを介して金属箔を積層すると共にプリプレグと金属
箔の貫通孔によってプリント配線板の回路が底になる未
貫通ビアホールを形成し、未貫通ビアホールの内周にス
ルーホールメッキを施すと共に上記金属箔をプリント加
工して回路を形成して、この回路とプリント配線板の上
記回路とを未貫通ビアホールによって導通接続するよう
にしたので、内層回路となるプリント配線板の回路と金
属箔から作成される外層回路となる回路とは未貫通ビア
ホールで導通接続されるものであり、プリント配線板の
回路を表面に引き出すために表裏に貫通するスルーホー
ルを数多く用いる必要がなくなるものである。また、回
路はこのように金属箔を積層してプリント加工して作成
できるために、回路を金属メッキで形成するアディティ
ブ法の場合のような回路の信頼性が低下することもなく
なるものである。
As described above, according to the present invention, a prepreg provided with a through-hole and a metal foil provided with a through-hole are superimposed in this order on the surface of the printed wiring board on which the circuit is formed, with both the through-holes aligned. This is heated and pressed to form a metal foil on the printed wiring board via the prepreg, and a non-penetrating via hole in which the circuit of the printed wiring board is formed by the through hole of the prepreg and the metal foil is formed. A circuit is formed by applying through-hole plating to the inner periphery and printing the above metal foil to form a circuit, and the circuit and the circuit of the printed wiring board are electrically connected by a non-penetrating via hole, so that an inner layer circuit is formed. The circuit of the printed wiring board and the circuit that is the outer layer circuit made of metal foil are electrically connected by non-through via holes, and the circuit of the printed wiring board is drawn to the surface. Are those necessary to use a large number of through holes is not necessary to penetrate the front and back Sutame. Further, since the circuit can be formed by laminating the metal foils and printing as described above, the reliability of the circuit does not decrease as in the case of the additive method in which the circuit is formed by metal plating.

【0017】またこのように、プリント配線板に貫通孔
を設けたプリプレグと金属箔とを重ねて積層する代わり
に、貫通孔を設けたプリプレグと外面に金属箔を張り貫
通孔を設けた積層板とを両貫通孔を合わせてプリント配
線板に積層するようにしても、同様に内層回路となるプ
リント配線板の回路と金属箔から作成される外層回路と
なる回路とは未貫通ビアホールで導通接続されるもので
あり、同様の効果を得ることができるものである。さら
にプリント配線板の回路の未貫通ビアホールの底になる
部分の表面に金メッキを施すので、金メッキがプリント
配線板の回路のレジスト層となって、回路を形成する際
のプリント加工で用いるエッチング液が未貫通ビアホー
ルを通してプリント配線板の回路に作用しないようにす
ることができ、回路がエッチング液で侵されないように
することができると共にエッチングを行なうにあたって
未貫通ビアホールをエッチングレジストで塞ぐ必要がな
くなるものである。
In addition, instead of laminating a prepreg having a through hole and a metal foil on a printed wiring board by laminating them, a prepreg having a through hole and a laminated plate having a metal foil provided on the outer surface and having a through hole are provided. Even when the printed circuit board is laminated with the both through holes aligned, the circuit of the printed circuit board that is also the inner layer circuit and the circuit that is the outer layer circuit made of metal foil are electrically connected with the non-through via hole And the same effect can be obtained. Since further subjected to gold plating on the surface of the blind become the bottom portion of the via hole of the circuit of the printed wiring board, the gold plating is a resist layer of a circuit of a printed wiring board, the etching solution used in the printing process for forming the circuit Can be prevented from acting on the circuit of the printed wiring board through the unpenetrated via hole, the circuit can be prevented from being attacked by the etchant, and it is not necessary to cover the nonpenetrated via hole with an etching resist when performing etching. It is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第一の製造方法の一実施例を示すもの
であり、(a)乃至(e)はそれぞれ断面図である。
FIG. 1 shows one embodiment of a first manufacturing method of the present invention, and (a) to (e) are cross-sectional views, respectively.

【図2】同上の他の実施例の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of another embodiment of the above.

【図3】本発明の第二の製造方法の一実施例を示すもの
であり、(a),(b)は断面図である。
FIG. 3 shows one embodiment of the second manufacturing method of the present invention, and (a) and (b) are cross-sectional views.

【図4】本発明に係る多層プリント配線板を用いたQF
P型半導体装置の断面図である。
FIG. 4 shows a QF using a multilayer printed wiring board according to the present invention.
It is sectional drawing of a P-type semiconductor device.

【図5】本発明に係る多層プリント配線板を用いたPG
A型半導体装置の断面図である。
FIG. 5 shows a PG using the multilayer printed wiring board according to the present invention.
It is sectional drawing of an A-type semiconductor device.

【図6】従来例を示すものであり、(a)乃至(c)は
ぞれぞれ断面図である。
FIG. 6 shows a conventional example, and (a) to (c) are cross-sectional views, respectively.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プリント配線板 2 回路 3 貫通孔 4 プリプレグ 5 金属箔 6 未貫通ビアホール 7 スルーホールメッキ 8 回路 9 積層板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Printed wiring board 2 Circuit 3 Through hole 4 Prepreg 5 Metal foil 6 Non-through via hole 7 Through-hole plating 8 Circuit 9 Laminate board

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 プリント配線板の回路の未貫通ビアホー
ルの底になる部分の表面に金メッキを施した後、プリン
ト配線板の回路を形成した表面に、貫通孔を設けたプリ
プレグと貫通孔を設けた金属箔とを両貫通孔を合わせて
この順に重ね、これを加熱加圧成形してプリント配線板
にプリプレグを介して金属箔を積層すると共にプリプレ
グと金属箔の貫通孔によってプリント配線板の回路が底
になる未貫通ビアホールを形成し、未貫通ビアホールの
内周にスルーホールメッキを施すと共に上記金属箔をプ
リント加工して回路を形成して、この回路とプリント配
線板の上記回路とを未貫通ビアホールによって導通接続
して成ることを特徴とする多層プリント配線板の製造方
法。
1. A non-penetrating via hole for a circuit of a printed wiring board.
After applying gold plating to the surface of the part that will become the bottom of the ル le, the prepreg with the through hole and the metal foil with the through hole are aligned on the surface where the circuit of the printed wiring board is formed Laminate and press-mold this to laminate the metal foil on the printed wiring board via the prepreg, and form a non-penetrating via hole where the circuit of the printed wiring board becomes the bottom by the through hole of the prepreg and the metal foil, and the non-penetration A circuit is formed by plating the metal foil and printing the above metal foil on the inner periphery of the via hole, and this circuit and the above circuit of the printed wiring board are electrically connected by a non-through via hole.
A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, characterized by comprising:
【請求項2】 プリント配線板の回路の未貫通ビアホー
ルの底になる部分の表面に金メッキを施した後、プリン
ト配線板の回路を形成した表面に、貫通孔を設けたプリ
プレグと外面に金属箔を張り貫通孔を設けた積層板とを
両貫通孔を合わせてこの順に重ね、これを加熱加圧成形
してプリント配線板にプリプレグを介して積層板を積層
すると共にプリプレグと積層板の貫通孔によってプリン
ト配線板の回路が底になる未貫通ビアホールを形成し、
未貫通ビアホールの内周にスルーホールメッキを施すと
共に上記積層板の金属箔をプリント加工して回路を形成
して、この回路とプリント配線板の上記回路とを未貫通
ビアホールによって導通接続して成ることを特徴とする
多層プリント配線板の製造方法。
2. A non-penetrating via hole for a circuit of a printed wiring board.
After applying gold plating to the surface of the bottom part of the metal plate, penetrate both the prepreg with a through hole on the surface where the circuit of the printed wiring board is formed and the laminated plate with metal foil on the outer surface and the through hole Align the holes, stack them in this order, heat and press mold them, laminate the laminated board on the printed wiring board via the prepreg, and make the circuit of the printed wiring board the bottom by the through hole of the prepreg and the laminated board. To form
A circuit is formed by applying through-hole plating to the inner periphery of the unpenetrated via hole and printing the metal foil of the laminated board to form a circuit, and this circuit and the circuit of the printed wiring board are electrically connected by the unpenetrated via hole. A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising:
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