JP2796502B2 - ウェーハ収納容器のウェーハ抑え - Google Patents
ウェーハ収納容器のウェーハ抑えInfo
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハを損傷、
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェーハ収納容器は、例えば図５
に示すような構造をしていて、ウェーハＷを内箱ａに収
納した後、内箱ａを容器本体ｂに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材ｃを装着する。他方、蓋体ｄの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片ｅが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えｆを装着した後、蓋体ｄを容器本体ｂ
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えｆで各ウェーハ
Ｗの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えｆに代えて、図６に示すよ
うに蓋体ｇの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えｈとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハＷの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図７に示すように弓状弾性片ｉを支持枠ｊの
内面両側で固設したウェーハ抑えとし、弓状弾性片ｉの
中央部で各ウェーハＷの上縁部を弾性的に支持する方
法、図８に示すように蓋体ｋの内面中央部の支持枠と、
これに相対して設けられた１対の係止片ｍと、その両側
よりに設けられた片持ち梁状の弾性片ｎとからなる、ウ
ェーハ抑えを用いて、係止片ｍでウェーハＷの上縁部を
支持すると共に、弾性片ｎの先端部が上方へ曲がること
でウェーハＷの斜め上縁部を弾性的に支持する方法など
が知られている。
に示すような構造をしていて、ウェーハＷを内箱ａに収
納した後、内箱ａを容器本体ｂに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材ｃを装着する。他方、蓋体ｄの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片ｅが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えｆを装着した後、蓋体ｄを容器本体ｂ
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えｆで各ウェーハ
Ｗの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えｆに代えて、図６に示すよ
うに蓋体ｇの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えｈとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハＷの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図７に示すように弓状弾性片ｉを支持枠ｊの
内面両側で固設したウェーハ抑えとし、弓状弾性片ｉの
中央部で各ウェーハＷの上縁部を弾性的に支持する方
法、図８に示すように蓋体ｋの内面中央部の支持枠と、
これに相対して設けられた１対の係止片ｍと、その両側
よりに設けられた片持ち梁状の弾性片ｎとからなる、ウ
ェーハ抑えを用いて、係止片ｍでウェーハＷの上縁部を
支持すると共に、弾性片ｎの先端部が上方へ曲がること
でウェーハＷの斜め上縁部を弾性的に支持する方法など
が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図５、図６お
よび図８に示すウェーハ抑えはいずれも一端だけが蓋体
または支持枠に固定された垂直または片持ち梁状の弾性
片でウェーハＷを支持する構造になっているため、弾性
片の撓み部分がクリープ変形を起こし易く、とくにウェ
ーハを長期間保管すると、クリープ変形によって弾性片
の反発力が低下し、ウェーハ保持力が弱まって輸送中に
ウェーハが回転したりガタついたりして擦れが発生し、
ウェーハまたはウェーハ抑えの摩耗による発塵でウェー
ハが汚染される可能性が大きかった。その点、図７に示
す弓状弾性片ｉは両側で保持されているためクリープ変
形のおそれはないが、構造的にウェーハの上面全体を覆
う状態になるため、このウェーハ抑えが邪魔になって、
容器に収納したウェーハの枚数を蓋体の外側から確認す
ることができず、作業性を著しく損ねるという不都合が
あった。さらに、ウェーハＷの形状には、基準位置を示
す方式として、図６に示すような頂部の一部にだけ切り
欠きのあるノッチ式Ｗ1 と、図８に示すような上部がフ
ラットになったオリフラ式Ｗ2 とがあるため、ウェーハ
抑えの形状によっては両方式の保持力に差が生じ、一方
では満足しても他方ではウェーハの回転やガタつきによ
る発塵汚染が生ずるという問題があった。したがって、
本発明の目的は、クリープ変形を起こしたり、作業性を
損ねることがなく、しかもウェーハの形状が変わっても
保持力に影響を与えることのないウェーハ収納容器のウ
ェーハ抑えを提供するものである。
よび図８に示すウェーハ抑えはいずれも一端だけが蓋体
または支持枠に固定された垂直または片持ち梁状の弾性
片でウェーハＷを支持する構造になっているため、弾性
片の撓み部分がクリープ変形を起こし易く、とくにウェ
ーハを長期間保管すると、クリープ変形によって弾性片
の反発力が低下し、ウェーハ保持力が弱まって輸送中に
ウェーハが回転したりガタついたりして擦れが発生し、
ウェーハまたはウェーハ抑えの摩耗による発塵でウェー
ハが汚染される可能性が大きかった。その点、図７に示
す弓状弾性片ｉは両側で保持されているためクリープ変
形のおそれはないが、構造的にウェーハの上面全体を覆
う状態になるため、このウェーハ抑えが邪魔になって、
容器に収納したウェーハの枚数を蓋体の外側から確認す
ることができず、作業性を著しく損ねるという不都合が
あった。さらに、ウェーハＷの形状には、基準位置を示
す方式として、図６に示すような頂部の一部にだけ切り
欠きのあるノッチ式Ｗ1 と、図８に示すような上部がフ
ラットになったオリフラ式Ｗ2 とがあるため、ウェーハ
抑えの形状によっては両方式の保持力に差が生じ、一方
では満足しても他方ではウェーハの回転やガタつきによ
る発塵汚染が生ずるという問題があった。したがって、
本発明の目的は、クリープ変形を起こしたり、作業性を
損ねることがなく、しかもウェーハの形状が変わっても
保持力に影響を与えることのないウェーハ収納容器のウ
ェーハ抑えを提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の上記ウェーハ抑
えは、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された各ウ
ェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、直方
形をした支持枠と、この内のウェーハの配列方向に平行
な相対する二辺に、それぞれの基部が連設された２条の
対向する整列した板バネ状の弾性部材とからなり、各弾
性部材は基部から互いに垂線に対し２〜５°内側に傾い
た角度で下降した後、Ｒを描いて50〜70°の勾配で内方
へ上昇し、次いで垂線に対し２〜５°内側に傾いた角度
で上昇して先端部に至るＵ字状に屈曲すると共に、幅方
向が櫛状に分岐してそれぞれの先端部が蓋体の底面に設
けられた係止部において底面に接して係合されてなるも
のである。また上記ウェーハ抑えは、蓋体の底面に装着
されて、内箱に収納された各ウェーハの上縁を弾性的に
支持するウェーハ抑えが、直方形をした支持枠と、この
内のウェーハの面方向に平行な相対する二辺に、それぞ
れの基部と先端部とが両側部で、基部を外側に先端部を
内側にして連設され、それぞれの中程が幅方向に櫛状に
分岐している２条の整列した板バネ状の弾性部材とから
なり、各弾性部材は、基部から互いに垂線に対し２〜５
°内側に傾いた角度で下降した後、Ｒを描いて50〜70°
の勾配で内方へ上昇し、次いで垂線に対し２〜５°内側
に傾いた角度で上昇して先端部に至る、Ｕ字状に屈曲し
たものからなっていてもよい。
えは、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された各ウ
ェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、直方
形をした支持枠と、この内のウェーハの配列方向に平行
な相対する二辺に、それぞれの基部が連設された２条の
対向する整列した板バネ状の弾性部材とからなり、各弾
性部材は基部から互いに垂線に対し２〜５°内側に傾い
た角度で下降した後、Ｒを描いて50〜70°の勾配で内方
へ上昇し、次いで垂線に対し２〜５°内側に傾いた角度
で上昇して先端部に至るＵ字状に屈曲すると共に、幅方
向が櫛状に分岐してそれぞれの先端部が蓋体の底面に設
けられた係止部において底面に接して係合されてなるも
のである。また上記ウェーハ抑えは、蓋体の底面に装着
されて、内箱に収納された各ウェーハの上縁を弾性的に
支持するウェーハ抑えが、直方形をした支持枠と、この
内のウェーハの面方向に平行な相対する二辺に、それぞ
れの基部と先端部とが両側部で、基部を外側に先端部を
内側にして連設され、それぞれの中程が幅方向に櫛状に
分岐している２条の整列した板バネ状の弾性部材とから
なり、各弾性部材は、基部から互いに垂線に対し２〜５
°内側に傾いた角度で下降した後、Ｒを描いて50〜70°
の勾配で内方へ上昇し、次いで垂線に対し２〜５°内側
に傾いた角度で上昇して先端部に至る、Ｕ字状に屈曲し
たものからなっていてもよい。
【０００５】以下、本発明のウェーハ収納容器のウェー
ハ抑えについて、例示した図１〜図３に基づいて詳細に
説明する。図１はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
もので、図（ａ）は蓋体を嵌合する前の状態での縦断面
説明図、図（ｂ）は蓋体を嵌合した後の状態での部分縦
断面説明図である。図２は図１（ａ）における蓋体の底
面説明図である。図３はウェーハ抑えの別の実施態様を
示す説明図である。上記各図において、１はウェーハＷ
を収納する内箱、２はこの内箱１を収納・係止する容器
本体、３は蓋体、４は本発明のウェーハ抑えである。ウ
ェーハ抑え４は、直方形をした支持枠５と、その内のウ
ェーハの配列方向に平行な相対する二辺に、それぞれの
基部Ａが連設され、基部Ａから下方内側にＵ字状に屈曲
する（Ｂ〜Ｄ）と共に幅方向が櫛状に分岐し、先端部Ｅ
が蓋体３の底面に設けられた係止部において底面に接し
て係合されている、左右対称の整列した板バネ構造の弾
性部材６とからなり、支持枠５の周縁が蓋体３の底面の
適所に設けられた係止部７と嵌合することで、蓋体３に
着脱自在に装着されている。また、８は蓋体３を容器本
体２に被せたときに、容器本体２の開口周縁で係止する
ための係止部、９は弾性部材６の（各櫛刃部分の）Ｃ位
置の両側に設けられた突縁で、この間にそれぞれのウェ
ーハＷの周縁を挿入・支持する。なお、この挿入・支持
機構は各櫛刃部分に沿う縦溝とすることもできる。
ハ抑えについて、例示した図１〜図３に基づいて詳細に
説明する。図１はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
もので、図（ａ）は蓋体を嵌合する前の状態での縦断面
説明図、図（ｂ）は蓋体を嵌合した後の状態での部分縦
断面説明図である。図２は図１（ａ）における蓋体の底
面説明図である。図３はウェーハ抑えの別の実施態様を
示す説明図である。上記各図において、１はウェーハＷ
を収納する内箱、２はこの内箱１を収納・係止する容器
本体、３は蓋体、４は本発明のウェーハ抑えである。ウ
ェーハ抑え４は、直方形をした支持枠５と、その内のウ
ェーハの配列方向に平行な相対する二辺に、それぞれの
基部Ａが連設され、基部Ａから下方内側にＵ字状に屈曲
する（Ｂ〜Ｄ）と共に幅方向が櫛状に分岐し、先端部Ｅ
が蓋体３の底面に設けられた係止部において底面に接し
て係合されている、左右対称の整列した板バネ構造の弾
性部材６とからなり、支持枠５の周縁が蓋体３の底面の
適所に設けられた係止部７と嵌合することで、蓋体３に
着脱自在に装着されている。また、８は蓋体３を容器本
体２に被せたときに、容器本体２の開口周縁で係止する
ための係止部、９は弾性部材６の（各櫛刃部分の）Ｃ位
置の両側に設けられた突縁で、この間にそれぞれのウェ
ーハＷの周縁を挿入・支持する。なお、この挿入・支持
機構は各櫛刃部分に沿う縦溝とすることもできる。
【０００６】ウェーハ抑え４は、弾性部材６の先端部Ｅ
が蓋体３の底面に設けられた係止部において底面に接し
て係合され、弾性部材６が蓋体３に対し基部Ａと先端部
Ｅの２ケ所で両持ち梁の状態になっているため、ウェー
ハＷを収納した内箱１を容器本体２に入れて蓋体３を被
せたときに、弾性部材６がウェーハＷに小さな力で接触
し、ウェーハＷの周側縁を内箱１の内側壁に設けられた
縦溝の中心に誘導する。さらに、蓋体３を押し込んで完
全に容器本体２に被せたときは、左右一対の弾性部材
６、６はそれぞれのＣ位置下面でウェーハＷを左右斜め
上縁より弾性的に保持すると共に、基部Ａと先端部Ｅの
２個所で蓋体３に支持されることになる［図１（ｂ）参
照］ため、弾性部材６の変形が分散され、ウェーハ抑え
４の耐久力が向上する。
が蓋体３の底面に設けられた係止部において底面に接し
て係合され、弾性部材６が蓋体３に対し基部Ａと先端部
Ｅの２ケ所で両持ち梁の状態になっているため、ウェー
ハＷを収納した内箱１を容器本体２に入れて蓋体３を被
せたときに、弾性部材６がウェーハＷに小さな力で接触
し、ウェーハＷの周側縁を内箱１の内側壁に設けられた
縦溝の中心に誘導する。さらに、蓋体３を押し込んで完
全に容器本体２に被せたときは、左右一対の弾性部材
６、６はそれぞれのＣ位置下面でウェーハＷを左右斜め
上縁より弾性的に保持すると共に、基部Ａと先端部Ｅの
２個所で蓋体３に支持されることになる［図１（ｂ）参
照］ため、弾性部材６の変形が分散され、ウェーハ抑え
４の耐久力が向上する。
【０００７】弾性部材の形状は、図３に示すように、基
部Ａから互いに垂線に対し２〜５°内側に傾いた角度で
下降した（Ｂ位置）後、Ｒを画いて50〜70°の勾配で内
方へ上昇し（Ｃ位置）、その後さらに、垂線に対し２〜
５°内側に傾いた角度で上昇し（Ｄ位置）先端部Ｅに至
る、下方内側の角がとれたＵ字状をしていること、とく
には図３に記載の数値からなる形状をしていることが好
ましく、これによればウェーハＷと弾性部材16との接触
面積が大きくなり、ウェーハ抑え14の耐久性が一層向上
する。このため弾性部材16の厚みを 0.5〜 3.0mmの範囲
に薄くできる利点もある。ウェーハ抑え14には、支持枠
15の両側部に上記の形状の弾性部材16を設けると共に中
央部に左右１対の係止片17を設けてもよい。これによれ
ば上部がフラットになったオリフラ式のウェーハＷを収
納する場合に、より有効に保持することができる。
部Ａから互いに垂線に対し２〜５°内側に傾いた角度で
下降した（Ｂ位置）後、Ｒを画いて50〜70°の勾配で内
方へ上昇し（Ｃ位置）、その後さらに、垂線に対し２〜
５°内側に傾いた角度で上昇し（Ｄ位置）先端部Ｅに至
る、下方内側の角がとれたＵ字状をしていること、とく
には図３に記載の数値からなる形状をしていることが好
ましく、これによればウェーハＷと弾性部材16との接触
面積が大きくなり、ウェーハ抑え14の耐久性が一層向上
する。このため弾性部材16の厚みを 0.5〜 3.0mmの範囲
に薄くできる利点もある。ウェーハ抑え14には、支持枠
15の両側部に上記の形状の弾性部材16を設けると共に中
央部に左右１対の係止片17を設けてもよい。これによれ
ば上部がフラットになったオリフラ式のウェーハＷを収
納する場合に、より有効に保持することができる。
【０００８】図４は本発明のウェーハ抑えの更に別の実
施態様を、蓋体の内面に装着した状態で示す底面図であ
る。このウェーハ抑え24は、図２に示したウェーハ抑え
４に比べて、直方形をした支持枠25と、左右対称の整列
した板バネ状の弾性部材26とからなる点について共通す
るものの、２条の板バネ状の弾性部材26が、支持枠25の
ウェーハの面方向に平行な相対する二辺に、それぞれの
基部Ａと先端部Ｅとが両側部で、基部を外側に先端部を
内側にして連設され、その中程は下方にＵ字状に屈曲す
ると共に、垂下部Ｂの途中から上昇部Ｄの途中までの間
で幅方向が櫛状に分岐したものからなる点が相違してい
る。この実施態様は蓋体３の底面が凹凸形状をしていた
り、弾性部材26の先端部を蓋体３の底面に接して配設す
ることが困難な場合に有効な構造で、弾性部材26の先端
部を支持枠25に連結することで、蓋体３の底面に弾性部
材26の先端部を係合させたのと同じ効果が得られる。本
発明によるウェーハ抑え４、14、24には、透明または着
色無地の、ＰＥ、ＰＰなどのポリオレフィン、ＡＢＳ、
ＰＳ、ＰＣ、ＰＢＴなどの熱可塑性樹脂およびポリエス
テル系、ポリオレフィン系、ポリスチレン系などの熱可
塑性エラストマーが用いられる。
施態様を、蓋体の内面に装着した状態で示す底面図であ
る。このウェーハ抑え24は、図２に示したウェーハ抑え
４に比べて、直方形をした支持枠25と、左右対称の整列
した板バネ状の弾性部材26とからなる点について共通す
るものの、２条の板バネ状の弾性部材26が、支持枠25の
ウェーハの面方向に平行な相対する二辺に、それぞれの
基部Ａと先端部Ｅとが両側部で、基部を外側に先端部を
内側にして連設され、その中程は下方にＵ字状に屈曲す
ると共に、垂下部Ｂの途中から上昇部Ｄの途中までの間
で幅方向が櫛状に分岐したものからなる点が相違してい
る。この実施態様は蓋体３の底面が凹凸形状をしていた
り、弾性部材26の先端部を蓋体３の底面に接して配設す
ることが困難な場合に有効な構造で、弾性部材26の先端
部を支持枠25に連結することで、蓋体３の底面に弾性部
材26の先端部を係合させたのと同じ効果が得られる。本
発明によるウェーハ抑え４、14、24には、透明または着
色無地の、ＰＥ、ＰＰなどのポリオレフィン、ＡＢＳ、
ＰＳ、ＰＣ、ＰＢＴなどの熱可塑性樹脂およびポリエス
テル系、ポリオレフィン系、ポリスチレン系などの熱可
塑性エラストマーが用いられる。
【０００９】
【作用】多数のウェーハＷを収納した内箱１を、容器本
体２内に収納・係止する。一方、蓋体３の底面に本発明
のウェーハ抑え４を装着した後、蓋体３を容器本体２に
被せ、その開口周縁で嵌合・係止する。このとき、容器
内ではウェーハ抑え４が弾性部材６の先端部Ｅと基部Ａ
の２ケ所で両持ち梁の状態となって変形が分散され、ウ
ェーハ抑え４の耐久力が向上すると共に、弾性部材６の
Ｃ位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持
し、ウェーハＷのがたつきによる発塵を防止する。
体２内に収納・係止する。一方、蓋体３の底面に本発明
のウェーハ抑え４を装着した後、蓋体３を容器本体２に
被せ、その開口周縁で嵌合・係止する。このとき、容器
内ではウェーハ抑え４が弾性部材６の先端部Ｅと基部Ａ
の２ケ所で両持ち梁の状態となって変形が分散され、ウ
ェーハ抑え４の耐久力が向上すると共に、弾性部材６の
Ｃ位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持
し、ウェーハＷのがたつきによる発塵を防止する。
【００１０】
【発明の効果】本発明のウェーハ収納容器のウェーハ抑
えによれば、下記の効果を奏する。 1)従来のものよりもクリープ変形が少なく、ウェーハ保
持力の低下が少なくなり、長期保管後の輸送においても
パーティクルの発生を抑制することができる。 2)弾性部材が両側に２列に設けられているので、中央部
からの収納されているウェーハの透視・確認が容易であ
る。 3)ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同
じ保持力が安定的に付与される。
えによれば、下記の効果を奏する。 1)従来のものよりもクリープ変形が少なく、ウェーハ保
持力の低下が少なくなり、長期保管後の輸送においても
パーティクルの発生を抑制することができる。 2)弾性部材が両側に２列に設けられているので、中央部
からの収納されているウェーハの透視・確認が容易であ
る。 3)ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同
じ保持力が安定的に付与される。
【図１】ウェーハを収納する本体と本発明のウェーハ抑
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図（ａ）は蓋
体を嵌合する前の状態での縦断面説明図、図（ｂ）は蓋
体を嵌合した後の状態での部分縦断面説明図である。
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図（ａ）は蓋
体を嵌合する前の状態での縦断面説明図、図（ｂ）は蓋
体を嵌合した後の状態での部分縦断面説明図である。
【図２】図１（ａ）に示した本発明のウェーハ抑えの詳
細を示す蓋体の底面説明図である。
細を示す蓋体の底面説明図である。
【図３】本発明のウェーハ抑えの別の実施態様を示す正
面説明図である。
面説明図である。
【図４】本発明のウェーハ抑えの別の実施態様を、蓋体
の内面に装着した状態で示す底面図である。
の内面に装着した状態で示す底面図である。
【図５】従来のウェーハ収納容器の一例を示す分解斜視
図である。
図である。
【図６】従来のウェーハ収納容器の他の例を示す縦断面
図である。
図である。
【図７】従来のウェーハ抑えの別の例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図８】従来のウェーハ収納容器の更に別の例を示すも
ので、図（ａ）は蓋体を嵌合する前の状態での縦断面
図、図（ｂ）は蓋体を嵌合した後の状態での部分縦断面
図ある。
ので、図（ａ）は蓋体を嵌合する前の状態での縦断面
図、図（ｂ）は蓋体を嵌合した後の状態での部分縦断面
図ある。
１‥内箱、 ２‥容器本体、 ３‥蓋体、 ４、14、24‥ウェーハ抑
え、 ５、15、25‥支持枠、 ６、16、26‥弾性
部材、 ７、８‥係止部、 ９‥突縁、 17‥係止片、 Ａ‥基部、 Ｂ‥垂下部、 Ｃ‥斜め上昇部、 Ｄ‥上昇部、 Ｅ‥先端部、 Ｗ‥ウェーハ、 Ｗ1 ‥ノッチ式ウェ
ーハ、 Ｗ2 ‥オリフラ式ウェーハ。
え、 ５、15、25‥支持枠、 ６、16、26‥弾性
部材、 ７、８‥係止部、 ９‥突縁、 17‥係止片、 Ａ‥基部、 Ｂ‥垂下部、 Ｃ‥斜め上昇部、 Ｄ‥上昇部、 Ｅ‥先端部、 Ｗ‥ウェーハ、 Ｗ1 ‥ノッチ式ウェ
ーハ、 Ｗ2 ‥オリフラ式ウェーハ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 平６−79152（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−55259（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】蓋体の底面に装着されて、内箱に収納され
た各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
が、直方形をした支持枠と、この内のウェーハの配列方
向に平行な相対する二辺にそれぞれの基部が連設された
２条の対向する整列した板バネ状の弾性部材とからな
り、各弾性部材は基部から互いに垂線に対し２〜５°内
側に傾いた角度で下降した後、Ｒを描いて50〜70°の勾
配で内方へ上昇し、次いで垂線に対し２〜５°内側に傾
いた角度で上昇して先端部に至るＵ字状に屈曲すると共
に、幅方向が櫛状に分岐してそれぞれの先端部が蓋体の
底面に設けられた係止部において底面に接して係合され
てなることを特徴とするウェーハ収納容器のウェーハ抑
え。 - 【請求項２】蓋体の底面に装着されて、内箱に収納され
た各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
が、直方形をした支持枠と、この内のウェーハの面方向
に平行な相対する二辺に、それぞれの基部と先端部とが
両側部で、基部を外側に先端部を内側にして連設され、
それぞれの中程が幅方向に櫛状に分岐している２条の整
列した板バネ状の弾性部材とからなり、各弾性部材は、
基部から互いに垂線に対し２〜５°内側に傾いた角度で
下降した後、Ｒを描いて50〜70°の勾配で内方へ上昇
し、次いで垂線に対し２〜５°内側に傾いた角度で上昇
して先端部に至る、Ｕ字状に屈曲したものからなること
を特徴とするウェーハ収納容器のウェーハ抑え。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24258194A JP2796502B2 (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
| GB9519637A GB2293816B (en) | 1994-10-06 | 1995-09-26 | Wafer carrier with cushioning means |
| FR9511276A FR2725960B1 (fr) | 1994-10-06 | 1995-09-26 | Support de plaquettes, notamment de silicium semi-conducteur |
| KR1019950034154A KR960015841A (ko) | 1994-10-06 | 1995-10-05 | 완충 수단을 갖춘 웨이퍼 캐리어 |
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|---|---|---|---|
| JP24258194A JP2796502B2 (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
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|---|---|
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| JP2796502B2 true JP2796502B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
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Family Applications (1)
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- 1995-09-26 GB GB9519637A patent/GB2293816B/en not_active Expired - Fee Related
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- 1995-10-06 DE DE19537193A patent/DE19537193A1/de not_active Withdrawn
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