JP2783303B2 - ノッチ付ウエハの周辺部露光装置 - Google Patents
ノッチ付ウエハの周辺部露光装置Info
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- JP2783303B2 JP2783303B2 JP4809192A JP4809192A JP2783303B2 JP 2783303 B2 JP2783303 B2 JP 2783303B2 JP 4809192 A JP4809192 A JP 4809192A JP 4809192 A JP4809192 A JP 4809192A JP 2783303 B2 JP2783303 B2 JP 2783303B2
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- Japan
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- light source
- notch
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外周部にＶ字形のノッ
チが形成された半導体ウエハの表面に塗布されたフォト
レジストのうちウエハ周辺部のフォトレジストを除去す
るためにウエハ周辺部を露光するノッチ付ウエハの周辺
部露光装置に関する。
チが形成された半導体ウエハの表面に塗布されたフォト
レジストのうちウエハ周辺部のフォトレジストを除去す
るためにウエハ周辺部を露光するノッチ付ウエハの周辺
部露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】フォトレジストが塗布されたウエハを取
り扱う際、ウエハ周辺部のフォトレジストが取り扱い装
置に付着、乾燥し、塵埃となって飛散することにより、
ウエハ表面や取り扱い装置を汚染するおそれがあること
が知られている。そこで、フォトレジスト、特にポジ型
フォトレジストが塗布されたウエハ表面にパターンを形
成する前、あるいは形成した後にウエハ周辺部を露光し
て、その部分のフォトレジストを除去している。
り扱う際、ウエハ周辺部のフォトレジストが取り扱い装
置に付着、乾燥し、塵埃となって飛散することにより、
ウエハ表面や取り扱い装置を汚染するおそれがあること
が知られている。そこで、フォトレジスト、特にポジ型
フォトレジストが塗布されたウエハ表面にパターンを形
成する前、あるいは形成した後にウエハ周辺部を露光し
て、その部分のフォトレジストを除去している。
【０００３】この種の露光装置として、例えば特開平２
−１０１７３４号公報に開示されたものがある。以下、
図１６を参照して説明する。図１６の（ａ）は従来例に
係る露光装置の平面図、（ｂ）は正面図である。
−１０１７３４号公報に開示されたものがある。以下、
図１６を参照して説明する。図１６の（ａ）は従来例に
係る露光装置の平面図、（ｂ）は正面図である。
【０００４】図中、符号Ｗは半導体ウエハであり、ウエ
ハＷにはオリエンテーションフラットＯＦと呼ばれる直
線状の切り欠きが形成されている。ウエハＷは、ステッ
ピングモータ等の駆動源１００で回転駆動される回転台
１０１に吸着保持されている。１０２は、ＣＣＤライン
センサ等を備えた光学系であり、この光学系１０２は、
ウエハＷの半径方向（Ｘ−Ｘ方向）に移動可能な移動テ
ーブル１０３に搭載されている。回転台１０１を挟んで
光学系１０２に対向する位置に露光用光源１０４があ
り、この露光用光源１０４はウエハＷの半径方向（Ｘ−
Ｘ方向）と接線方向（Ｙ−Ｙ方向）に移動可能な移動テ
ーブル１０５上に搭載されている。
ハＷにはオリエンテーションフラットＯＦと呼ばれる直
線状の切り欠きが形成されている。ウエハＷは、ステッ
ピングモータ等の駆動源１００で回転駆動される回転台
１０１に吸着保持されている。１０２は、ＣＣＤライン
センサ等を備えた光学系であり、この光学系１０２は、
ウエハＷの半径方向（Ｘ−Ｘ方向）に移動可能な移動テ
ーブル１０３に搭載されている。回転台１０１を挟んで
光学系１０２に対向する位置に露光用光源１０４があ
り、この露光用光源１０４はウエハＷの半径方向（Ｘ−
Ｘ方向）と接線方向（Ｙ−Ｙ方向）に移動可能な移動テ
ーブル１０５上に搭載されている。
【０００５】この露光装置によれば、ウエハＷを回転駆
動しながら、光学系１０２によってウエハＷの周縁を検
出し、その検出信号のレベルが常に一定になるように移
動テーブル１０３の位置を変位制御する。この移動テー
ブル１０３の移動量データを露光用光源１０４の移動テ
ーブル１０５に与え、光学系１０２の変位に追随して露
光用光源１０４を変位させることにより、ウエハＷの周
辺を一定幅で露光している。
動しながら、光学系１０２によってウエハＷの周縁を検
出し、その検出信号のレベルが常に一定になるように移
動テーブル１０３の位置を変位制御する。この移動テー
ブル１０３の移動量データを露光用光源１０４の移動テ
ーブル１０５に与え、光学系１０２の変位に追随して露
光用光源１０４を変位させることにより、ウエハＷの周
辺を一定幅で露光している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。最近、半導体ウエハの大型化に伴い、オリエンテ
ーションフラットに替えて、ウエハ周辺部にＶ字形のノ
ッチが形成されたウエハが使用され始めている。このよ
うなノッチ付ウエハの周辺露光を従来装置で行うと、ノ
ッチ部分で露光領域がウエハ内部に食い込むため、素子
形成領域のフォトレジスト（回路パターン）が除去され
てしまい、その部分の素子が不良になるという問題が生
じる。図１７は、この様子を示したもので、図中、Ｎは
Ｖ字形のノッチ、符号Ａで示したハッチング領域は露光
領域、符号Ｂで示した破線領域内は素子形成領域であ
る。
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。最近、半導体ウエハの大型化に伴い、オリエンテ
ーションフラットに替えて、ウエハ周辺部にＶ字形のノ
ッチが形成されたウエハが使用され始めている。このよ
うなノッチ付ウエハの周辺露光を従来装置で行うと、ノ
ッチ部分で露光領域がウエハ内部に食い込むため、素子
形成領域のフォトレジスト（回路パターン）が除去され
てしまい、その部分の素子が不良になるという問題が生
じる。図１７は、この様子を示したもので、図中、Ｎは
Ｖ字形のノッチ、符号Ａで示したハッチング領域は露光
領域、符号Ｂで示した破線領域内は素子形成領域であ
る。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、Ｖ字形のノッチが形成された半導体ウ
エハの周辺露光にあたり、ノッチ部分で露光領域がウエ
ハ内部に食い込まないようにしたノッチ付ウエハの周辺
部露光装置を提供することを目的としている。
たものであって、Ｖ字形のノッチが形成された半導体ウ
エハの周辺露光にあたり、ノッチ部分で露光領域がウエ
ハ内部に食い込まないようにしたノッチ付ウエハの周辺
部露光装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、本発明は、外周部にノッチが形成され、フォトレジ
ストが塗布されたウエハを回転させつつ、露光ビームで
前記ウエハの周辺を露光するノッチ付ウエハの周辺部露
光装置であって、ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動
手段と、前記ウエハ回転駆動手段を回転駆動制御する回
転駆動制御手段と、ウエハの周辺位置を検出する一次元
イメージセンサと、前記一次元イメージセンサからの周
辺位置データを各サンプリング点の変位角度に対応付け
て記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された周辺
位置データに基づき、ノッチ領域を検出するノッチ領域
検出手段と、露光ビームを照射する光源と、前記光源と
ウエハとの位置関係を相対的に変位させる光源変位手段
と、前記記憶手段から周辺位置データを順に読み出し、
当該サンプリング点が前記ノッチ領域検出手段によって
検出されたノッチ領域内に入っていない場合は、その周
辺位置データに基づいて前記光源変位手段を制御するこ
とにより、前記光源でウエハの周辺部を所定幅で露光
し、当該サンプリング点がノッチ領域内に入っている場
合は、当該サンプリング点の周辺位置データを無視し、
当該サンプリング点の近傍にあるサンプリング点の周辺
位置データに基づいて前記光源変位手段を制御すること
により、前記光源でノッチ領域を露光する光源変位制御
手段と、を備えたものである。
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、本発明は、外周部にノッチが形成され、フォトレジ
ストが塗布されたウエハを回転させつつ、露光ビームで
前記ウエハの周辺を露光するノッチ付ウエハの周辺部露
光装置であって、ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動
手段と、前記ウエハ回転駆動手段を回転駆動制御する回
転駆動制御手段と、ウエハの周辺位置を検出する一次元
イメージセンサと、前記一次元イメージセンサからの周
辺位置データを各サンプリング点の変位角度に対応付け
て記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された周辺
位置データに基づき、ノッチ領域を検出するノッチ領域
検出手段と、露光ビームを照射する光源と、前記光源と
ウエハとの位置関係を相対的に変位させる光源変位手段
と、前記記憶手段から周辺位置データを順に読み出し、
当該サンプリング点が前記ノッチ領域検出手段によって
検出されたノッチ領域内に入っていない場合は、その周
辺位置データに基づいて前記光源変位手段を制御するこ
とにより、前記光源でウエハの周辺部を所定幅で露光
し、当該サンプリング点がノッチ領域内に入っている場
合は、当該サンプリング点の周辺位置データを無視し、
当該サンプリング点の近傍にあるサンプリング点の周辺
位置データに基づいて前記光源変位手段を制御すること
により、前記光源でノッチ領域を露光する光源変位制御
手段と、を備えたものである。
【０００９】
【作用】本発明の作用は次のとおりである。回転駆動制
御手段は、所定の回転変位角度へ回転駆動手段を回転す
るように制御し、それら回転変位角度ごとに、一次元イ
メージセンサによってウエハの周辺位置が検出される。
各周辺位置データは各々のサンプリング点の変位角度に
対応付けて記憶手段に記憶される。ノッチ領域検出手段
は、前記記憶手段に記憶された周辺位置データに基づ
き、ノッチ領域を検出する。露光ビームによってウエハ
の周辺を露光する際、光源変位制御手段は、記憶手段か
ら周辺位置データを順に読み出すとともに、当該サンプ
リング点がノッチ領域検出手段によって検出されたノッ
チ領域に入っているかどうかを判断する。そのサンプリ
ング点がノッチ領域に入っていない場合は、その周辺位
置データに基づいて光源変位手段を制御することによ
り、光源でウエハの周辺部を所定幅で露光する。一方、
サンプリング点がノッチ領域に入っている場合は、その
サンプリング点の周辺位置データを無視し、そのサンプ
リング点の近傍にあってノッチ領域に入っていないサン
プリング点の周辺位置データに基づいて前記光源変位手
段を制御することにより、光源でノッチ領域を露光す
る。すなわち、ノッチ領域に入っているサンプリング点
の周辺位置データが無視されるので、ノッチ領域で露光
ビームがウエハ内部に食い込んで露光することがなくな
る。
御手段は、所定の回転変位角度へ回転駆動手段を回転す
るように制御し、それら回転変位角度ごとに、一次元イ
メージセンサによってウエハの周辺位置が検出される。
各周辺位置データは各々のサンプリング点の変位角度に
対応付けて記憶手段に記憶される。ノッチ領域検出手段
は、前記記憶手段に記憶された周辺位置データに基づ
き、ノッチ領域を検出する。露光ビームによってウエハ
の周辺を露光する際、光源変位制御手段は、記憶手段か
ら周辺位置データを順に読み出すとともに、当該サンプ
リング点がノッチ領域検出手段によって検出されたノッ
チ領域に入っているかどうかを判断する。そのサンプリ
ング点がノッチ領域に入っていない場合は、その周辺位
置データに基づいて光源変位手段を制御することによ
り、光源でウエハの周辺部を所定幅で露光する。一方、
サンプリング点がノッチ領域に入っている場合は、その
サンプリング点の周辺位置データを無視し、そのサンプ
リング点の近傍にあってノッチ領域に入っていないサン
プリング点の周辺位置データに基づいて前記光源変位手
段を制御することにより、光源でノッチ領域を露光す
る。すなわち、ノッチ領域に入っているサンプリング点
の周辺位置データが無視されるので、ノッチ領域で露光
ビームがウエハ内部に食い込んで露光することがなくな
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１は、実施例に係るノッチ付ウエハの周辺部
露光装置の概略構成を示したブロック図、図２は露光部
の正面図、図３は露光部の平面図である。
明する。図１は、実施例に係るノッチ付ウエハの周辺部
露光装置の概略構成を示したブロック図、図２は露光部
の正面図、図３は露光部の平面図である。
【００１１】図２および図３において、符号Ｗは半導体
ウエハであり、その周辺部にウエハ位置決めの基準とな
るＶ字形のノッチＮが形成されている。１は、ウエハＷ
を吸着保持するテーブルであり、このテーブル１はウエ
ハ回転駆動手段としてのステッピングモータ２によって
正逆回転駆動される。３は、ウエハＷの周辺位置を検出
する一次元イメージセンサとしてのＣＣＤラインセンサ
であり、このＣＣＤラインセンサ３の上方に周辺位置検
出用の光源４および光学系５が設けられている。
ウエハであり、その周辺部にウエハ位置決めの基準とな
るＶ字形のノッチＮが形成されている。１は、ウエハＷ
を吸着保持するテーブルであり、このテーブル１はウエ
ハ回転駆動手段としてのステッピングモータ２によって
正逆回転駆動される。３は、ウエハＷの周辺位置を検出
する一次元イメージセンサとしてのＣＣＤラインセンサ
であり、このＣＣＤラインセンサ３の上方に周辺位置検
出用の光源４および光学系５が設けられている。
【００１２】テーブル１を挟んでＣＣＤラインセンサ３
と対向する位置に光源１５がある。光源１５は螺軸１６
に螺合されており、この螺軸１６に連結された光源変位
手段としてのステッピングモータ１７によって、光源１
５がウエハＷの半径方向に変位可能になるように構成さ
れている。
と対向する位置に光源１５がある。光源１５は螺軸１６
に螺合されており、この螺軸１６に連結された光源変位
手段としてのステッピングモータ１７によって、光源１
５がウエハＷの半径方向に変位可能になるように構成さ
れている。
【００１３】図１を参照する。ＣＣＤラインセンサ３は
ＣＣＤ駆動回路６によって、ステッピングモータ２の回
転とは無関係（非同期）に連続的にウエハＷの周辺位置
を検出しており、その検出信号は信号処理回路７に逐次
与えられる。ＣＣＤラインセンサ３からの検出信号に基
づき、信号処理回路７は光源４からの照射光を受光した
ＣＣＤラインセンサ３の画素数に比例したアナログ信号
を出力する。このアナログ信号はＡ／Ｄ変換器８および
比較器９1 〜９5 に与えられる。ＣＰＵ１０は、Ａ／Ｄ
変換器８にデータ取り込みタイミング信号ａを与え、こ
のタイミング信号ａに基づいて前記入力アナログ信号が
デジタル信号に変換される。このデジタル信号は、ウエ
ハＷの周辺位置データとしてＣＰＵ１０を介してＲＡＭ
１１に記憶される。
ＣＣＤ駆動回路６によって、ステッピングモータ２の回
転とは無関係（非同期）に連続的にウエハＷの周辺位置
を検出しており、その検出信号は信号処理回路７に逐次
与えられる。ＣＣＤラインセンサ３からの検出信号に基
づき、信号処理回路７は光源４からの照射光を受光した
ＣＣＤラインセンサ３の画素数に比例したアナログ信号
を出力する。このアナログ信号はＡ／Ｄ変換器８および
比較器９1 〜９5 に与えられる。ＣＰＵ１０は、Ａ／Ｄ
変換器８にデータ取り込みタイミング信号ａを与え、こ
のタイミング信号ａに基づいて前記入力アナログ信号が
デジタル信号に変換される。このデジタル信号は、ウエ
ハＷの周辺位置データとしてＣＰＵ１０を介してＲＡＭ
１１に記憶される。
【００１４】比較器９1 〜９5 は、電圧ＶREF を分圧し
て得られたそれぞれ固有の基準電圧を一方入力として与
えられており、各基準電圧と信号処理回路７からのアナ
ログ信号とを比較することにより、ウエハＷの周縁がＣ
ＣＤラインセンサ３のどの領域に位置しているかを検出
するためのものである。すなわち、図４に示すように、
ＣＣＤラインセンサ３の受光領域を例えば、５つの領域
Ａ1 〜Ａ5 に仮想的に分割し、ウエハＷの周縁が領域Ａ
1 に位置していれば、比較器９1 が『Ｈ』レベルの信号
を出力し、領域Ａ2 に位置していれば、比較器９1 ，９
2 がともに『Ｈ』レベルの信号を出力するというように
なっている。
て得られたそれぞれ固有の基準電圧を一方入力として与
えられており、各基準電圧と信号処理回路７からのアナ
ログ信号とを比較することにより、ウエハＷの周縁がＣ
ＣＤラインセンサ３のどの領域に位置しているかを検出
するためのものである。すなわち、図４に示すように、
ＣＣＤラインセンサ３の受光領域を例えば、５つの領域
Ａ1 〜Ａ5 に仮想的に分割し、ウエハＷの周縁が領域Ａ
1 に位置していれば、比較器９1 が『Ｈ』レベルの信号
を出力し、領域Ａ2 に位置していれば、比較器９1 ，９
2 がともに『Ｈ』レベルの信号を出力するというように
なっている。
【００１５】ノッチＮがＣＣＤラインセンサ３を横切る
とき、比較器９1 〜９5 の出力信号ｍは固有の変化を呈
するので、この変化を捉えることにより、ノッチＮを検
出することができる。後に詳述するように、ＣＰＵ１０
は、ウエハＷのステップ送り中に複数回にわたって各比
較器９1 〜９5 にストローブ信号ｂを出力することによ
って、各時点で比較器９1 〜９5 の出力信号ｍを読み取
り、これらの出力信号ｍに基づいて、ウエハＷのノッチ
ＮがＣＣＤラインセンサ３を横切ったかどうかを判断す
る。したがって、比較器９1 〜９5 およびＣＰＵ１０
は、本発明において、ウエハのノッチを検出する監視手
段に相当する。
とき、比較器９1 〜９5 の出力信号ｍは固有の変化を呈
するので、この変化を捉えることにより、ノッチＮを検
出することができる。後に詳述するように、ＣＰＵ１０
は、ウエハＷのステップ送り中に複数回にわたって各比
較器９1 〜９5 にストローブ信号ｂを出力することによ
って、各時点で比較器９1 〜９5 の出力信号ｍを読み取
り、これらの出力信号ｍに基づいて、ウエハＷのノッチ
ＮがＣＣＤラインセンサ３を横切ったかどうかを判断す
る。したがって、比較器９1 〜９5 およびＣＰＵ１０
は、本発明において、ウエハのノッチを検出する監視手
段に相当する。
【００１６】ＣＰＵ１０、パルス発生回路１２およびカ
ウンタ１３は、ステッピングモータ２のステップ送りを
制御する回転駆動制御手段に相当する。パルス発生回路
１２は、ＣＰＵ１０から回転方向制御信号とともに与え
られた回転数データｃに基づき、モータ駆動回路１４に
所要個数のパルス信号を出力する。また、パルス発生回
路１２は、モータ駆動回路１４へ出力したパルス数を計
数する図示しない内部カウンタを備え、ＣＰＵ１０から
のラッチ信号ｄを与えられることにより、前記内部カウ
ンタの計数値をラッチする。前記計数値、すなわち、ス
テップ送り開始からラッチ信号入力時点までに出力した
パルスの個数（以下、積算パルスデータという）ｅはＣ
ＰＵ１０に与えられる。カウンタ１３は、ＣＰＵ１０か
ら前記回転数データｃをプリセットされるプログラマブ
ルカウンタで、パルス発生回路１２から回転数データｃ
に対応した個数のパルス信号が出力されたときに、カウ
ントアップ信号ｆをＣＰＵ１０に出力する。
ウンタ１３は、ステッピングモータ２のステップ送りを
制御する回転駆動制御手段に相当する。パルス発生回路
１２は、ＣＰＵ１０から回転方向制御信号とともに与え
られた回転数データｃに基づき、モータ駆動回路１４に
所要個数のパルス信号を出力する。また、パルス発生回
路１２は、モータ駆動回路１４へ出力したパルス数を計
数する図示しない内部カウンタを備え、ＣＰＵ１０から
のラッチ信号ｄを与えられることにより、前記内部カウ
ンタの計数値をラッチする。前記計数値、すなわち、ス
テップ送り開始からラッチ信号入力時点までに出力した
パルスの個数（以下、積算パルスデータという）ｅはＣ
ＰＵ１０に与えられる。カウンタ１３は、ＣＰＵ１０か
ら前記回転数データｃをプリセットされるプログラマブ
ルカウンタで、パルス発生回路１２から回転数データｃ
に対応した個数のパルス信号が出力されたときに、カウ
ントアップ信号ｆをＣＰＵ１０に出力する。
【００１７】光源１５をウエハＷの半径方向に駆動する
ステッピングモータ１７は、本発明における光源変位手
段に相当している。また、ＣＰＵ１０は、本発明におけ
る光源変位制御手段としての機能を備えている。後述す
るように、ＣＰＵ１０は、ＲＡＭ１１に記憶された各サ
ンプリング点の周辺位置データに基づき、光源１５を変
位させるための回転数データｇを算出し、この回転数デ
ータｇをパルス発生回路１８に与える。パルス発生回路
１８は、前記回転数データｇに対応した個数のパルスを
モータ駆動回路１９に出力する。これによりステッピン
グモータ１７が駆動され、光源１５が変位する。
ステッピングモータ１７は、本発明における光源変位手
段に相当している。また、ＣＰＵ１０は、本発明におけ
る光源変位制御手段としての機能を備えている。後述す
るように、ＣＰＵ１０は、ＲＡＭ１１に記憶された各サ
ンプリング点の周辺位置データに基づき、光源１５を変
位させるための回転数データｇを算出し、この回転数デ
ータｇをパルス発生回路１８に与える。パルス発生回路
１８は、前記回転数データｇに対応した個数のパルスを
モータ駆動回路１９に出力する。これによりステッピン
グモータ１７が駆動され、光源１５が変位する。
【００１８】また、ＣＰＵ１０は、上記した如くステッ
プ送り停止時に一次元イメージセンサからの周辺位置デ
ータを取り込むタイミングを付与するデータ取り込みタ
イミング制御手段としての機能のほか、記憶手段として
のＲＡＭ１１に記憶された周辺位置データに基づいて、
ウエハＷのノッチ領域を算出するノッチ領域算出手段と
しての機能も備えており、この機能については、後述す
る動作説明において詳述する。
プ送り停止時に一次元イメージセンサからの周辺位置デ
ータを取り込むタイミングを付与するデータ取り込みタ
イミング制御手段としての機能のほか、記憶手段として
のＲＡＭ１１に記憶された周辺位置データに基づいて、
ウエハＷのノッチ領域を算出するノッチ領域算出手段と
しての機能も備えており、この機能については、後述す
る動作説明において詳述する。
【００１９】次に、図５に示したフローチャートを参照
して、本実施例装置の動作を説明する。テーブル１にウ
エハＷがセットされると、ＣＰＵ１０はＡ／Ｄ変換器８
に対して、周辺位置データの取り込みタイミング信号ａ
を出力する。これにより、変位角度（以下、θアドレス
ともいう）が０°のサンプリング点、すなわち、ＣＣＤ
ラインセンサ３に最初に対向していた点の周辺位置デー
タがＣＰＵ１０を介してＲＡＭ１１に記憶される（ステ
ップＳ１）。
して、本実施例装置の動作を説明する。テーブル１にウ
エハＷがセットされると、ＣＰＵ１０はＡ／Ｄ変換器８
に対して、周辺位置データの取り込みタイミング信号ａ
を出力する。これにより、変位角度（以下、θアドレス
ともいう）が０°のサンプリング点、すなわち、ＣＣＤ
ラインセンサ３に最初に対向していた点の周辺位置デー
タがＣＰＵ１０を介してＲＡＭ１１に記憶される（ステ
ップＳ１）。
【００２０】最初の周辺位置データが取り込まれると、
ＣＰＵ１０は、パルス発生回路１２に対して、ウエハＷ
を粗いピッチでステップ送りするための回転数データｃ
を回転方向制御信号とともに与える。ここでは、例えば
９°のステップ送り角度に対応した『５００パルス』の
回転数データｃが与えられる。この回転数データｃは、
カウンタ１３にも与えられプリセットされる。これによ
りパルス発生回路１２から回転数データｃに対応した個
数のパルス信号が出力されて、ステッピングモータ２が
駆動される結果、ウエハＷが粗いピッチでステップ送り
される（ステップＳ２）。
ＣＰＵ１０は、パルス発生回路１２に対して、ウエハＷ
を粗いピッチでステップ送りするための回転数データｃ
を回転方向制御信号とともに与える。ここでは、例えば
９°のステップ送り角度に対応した『５００パルス』の
回転数データｃが与えられる。この回転数データｃは、
カウンタ１３にも与えられプリセットされる。これによ
りパルス発生回路１２から回転数データｃに対応した個
数のパルス信号が出力されて、ステッピングモータ２が
駆動される結果、ウエハＷが粗いピッチでステップ送り
される（ステップＳ２）。
【００２１】ウエハＷが粗いピッチでステップ送りされ
ている間、ＣＰＵ１０は所定時間ごと（例えば、１ｍse
c ごと）に割り込み処理を行って、比較器９1 〜９5 の
出力を取り込んでノッチＮの有無を検出し、ノッチＮが
検出された場合には、その近辺の周辺位置データを細か
くサンプリングし、その結果に基づいてノッチＮの位置
を算出する（ステップＳ３）。以下、図６に示したフロ
ーチャートを参照して、この処理の手順を詳しく説明す
る。
ている間、ＣＰＵ１０は所定時間ごと（例えば、１ｍse
c ごと）に割り込み処理を行って、比較器９1 〜９5 の
出力を取り込んでノッチＮの有無を検出し、ノッチＮが
検出された場合には、その近辺の周辺位置データを細か
くサンプリングし、その結果に基づいてノッチＮの位置
を算出する（ステップＳ３）。以下、図６に示したフロ
ーチャートを参照して、この処理の手順を詳しく説明す
る。
【００２２】ＣＰＵ１０は、逐次取り込んだ比較器９1
〜９5 の出力信号ｍ（ｍ1 ，ｍ2 ，ｍ3 ，…）を内部レ
ジスタＲ（Ｒ１，Ｒ２，…）に順にセットする（ステッ
プＳ３１）。ここでは、最初に取り込まれた出力信号ｍ
1 が内部レジスタＲ１にセットされ、次に取り込まれた
出力信号ｍ2 が内部レジスタＲ２にセットされる。そし
て、内部レジスタＲ１にセットされたデータ〔Ｒ１〕
と、内部レジスタＲ２にセットされたデータ〔Ｒ２〕の
大小を比較する（ステップＳ３２）。データ〔Ｒ２〕が
データ〔Ｒ１〕よりも大きい場合は、次のステップＳ３
３に進み、レジスタＲ３にセットされたデータ〔Ｒ３〕
（すなわち、出力信号ｍ3 ）と、前記データ〔Ｒ２〕
（出力信号ｍ2 ）の大小を比較し、データ〔Ｒ３〕がデ
ータ〔Ｒ２〕よりも小さい場合には、ノッチＮが検出さ
れたものとして、ステップＳ３７に進む。
〜９5 の出力信号ｍ（ｍ1 ，ｍ2 ，ｍ3 ，…）を内部レ
ジスタＲ（Ｒ１，Ｒ２，…）に順にセットする（ステッ
プＳ３１）。ここでは、最初に取り込まれた出力信号ｍ
1 が内部レジスタＲ１にセットされ、次に取り込まれた
出力信号ｍ2 が内部レジスタＲ２にセットされる。そし
て、内部レジスタＲ１にセットされたデータ〔Ｒ１〕
と、内部レジスタＲ２にセットされたデータ〔Ｒ２〕の
大小を比較する（ステップＳ３２）。データ〔Ｒ２〕が
データ〔Ｒ１〕よりも大きい場合は、次のステップＳ３
３に進み、レジスタＲ３にセットされたデータ〔Ｒ３〕
（すなわち、出力信号ｍ3 ）と、前記データ〔Ｒ２〕
（出力信号ｍ2 ）の大小を比較し、データ〔Ｒ３〕がデ
ータ〔Ｒ２〕よりも小さい場合には、ノッチＮが検出さ
れたものとして、ステップＳ３７に進む。
【００２３】なお、ノッチ検出手段としては、比較器９
1 〜９5 に限定されるのもではなく、例えば、前記Ａ／
Ｄ変換器８のデジタル信号を演算処理（例えば、ＣＣＤ
ラインセンサ３から出力されるＣＣＤラインセンサ３の
画素数に比例したアナログ信号をＡ／Ｄ変換器８がデジ
タル変換した信号を、ＣＰＵがあるデジタル値以上であ
るか以下であるか判別するようなソフト的手法）するよ
うに、ＣＰＵにその機能を受け持たせてもよい。
1 〜９5 に限定されるのもではなく、例えば、前記Ａ／
Ｄ変換器８のデジタル信号を演算処理（例えば、ＣＣＤ
ラインセンサ３から出力されるＣＣＤラインセンサ３の
画素数に比例したアナログ信号をＡ／Ｄ変換器８がデジ
タル変換した信号を、ＣＰＵがあるデジタル値以上であ
るか以下であるか判別するようなソフト的手法）するよ
うに、ＣＰＵにその機能を受け持たせてもよい。
【００２４】図７を参照して、ステップＳ３２，Ｓ３３
のノッチ検出処理を具体的に説明する。図７中のＰ1 ，
Ｐ2 ，Ｐ3 ，…は、ＣＰＵ１０が比較器９1 〜９5 の出
力信号ｍを割り込み処理によって取り込むタイミングを
示しており、ｍ1 ，ｍ2 ，ｍ3 ，…が各タイミング
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，…でＣＰＵ１０に取り込まれた比較
器９1 〜９5 の出力信号に相当している。ノッチＮがＣ
ＣＤラインセンサ３を横切るとき、比較器９1 〜９5 の
出力信号ｍは、ｍ2 ＞ｍ1 、ｍ3 ＜ｍ2 の関係を満たす
ように変化する。したがって、上述のように、内部レジ
スタＲ１，Ｒ２，Ｒ３の内容を比較することにより、ノ
ッチＮを検出することができる。
のノッチ検出処理を具体的に説明する。図７中のＰ1 ，
Ｐ2 ，Ｐ3 ，…は、ＣＰＵ１０が比較器９1 〜９5 の出
力信号ｍを割り込み処理によって取り込むタイミングを
示しており、ｍ1 ，ｍ2 ，ｍ3 ，…が各タイミング
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，…でＣＰＵ１０に取り込まれた比較
器９1 〜９5 の出力信号に相当している。ノッチＮがＣ
ＣＤラインセンサ３を横切るとき、比較器９1 〜９5 の
出力信号ｍは、ｍ2 ＞ｍ1 、ｍ3 ＜ｍ2 の関係を満たす
ように変化する。したがって、上述のように、内部レジ
スタＲ１，Ｒ２，Ｒ３の内容を比較することにより、ノ
ッチＮを検出することができる。
【００２５】ステップＳ３２で、〔Ｒ２〕＞〔Ｒ１〕の
関係を満足しない場合は、ステップＳ３４に進み、レジ
スタＲ２のデータ〔Ｒ２〕（出力信号ｍ2 ）をレジスタ
Ｒ１にセットする。そして、ステップＳ３２に戻り、次
に取り込まれた出力信号ｍ3をレジスタＲ２にセットし
て、データ〔Ｒ１〕とデータ〔Ｒ２〕の大小の比較を繰
り返し行う。
関係を満足しない場合は、ステップＳ３４に進み、レジ
スタＲ２のデータ〔Ｒ２〕（出力信号ｍ2 ）をレジスタ
Ｒ１にセットする。そして、ステップＳ３２に戻り、次
に取り込まれた出力信号ｍ3をレジスタＲ２にセットし
て、データ〔Ｒ１〕とデータ〔Ｒ２〕の大小の比較を繰
り返し行う。
【００２６】ステップＳ３３で、〔Ｒ３〕＜〔Ｒ２〕の
関係を満足しない場合は、ステップＳ３５に進み、レジ
スタＲ４にセットされたデータ〔Ｒ４〕（出力信号
ｍ4 ）とレジスタＲ３のデータ〔Ｒ３〕（出力信号
ｍ3 ）の大小関係を判断する。データ〔Ｒ４〕がデータ
〔Ｒ３〕よりも小さい場合には、ノッチＮが検出された
ものとして、ステップＳ３７に進む。
関係を満足しない場合は、ステップＳ３５に進み、レジ
スタＲ４にセットされたデータ〔Ｒ４〕（出力信号
ｍ4 ）とレジスタＲ３のデータ〔Ｒ３〕（出力信号
ｍ3 ）の大小関係を判断する。データ〔Ｒ４〕がデータ
〔Ｒ３〕よりも小さい場合には、ノッチＮが検出された
ものとして、ステップＳ３７に進む。
【００２７】図８を参照して、ステップＳ３５における
ノッチ検出処理を具体的に説明する。比較器９1 〜９5
の出力信号ｍの取り込みタイミングによっては、図８に
示すように、ｍ2 ＞ｍ1 、ｍ3 ＞ｍ2 となる場合もあ
る。このような場合、出力信号ｍ3 とｍ4 の大小関係を
判断し、ｍ4 ＜ｍ3 であれば、ノッチＮがＣＣＤライン
センサ３を横切ったことになる。そこで、上述のように
ステップＳ３３で、〔Ｒ3 〕＜〔Ｒ2 〕の関係を満たさ
ない場合は、更にステップＳ３５で、データ〔Ｒ4 〕と
〔Ｒ3 〕の大小関係を判断しているのである。
ノッチ検出処理を具体的に説明する。比較器９1 〜９5
の出力信号ｍの取り込みタイミングによっては、図８に
示すように、ｍ2 ＞ｍ1 、ｍ3 ＞ｍ2 となる場合もあ
る。このような場合、出力信号ｍ3 とｍ4 の大小関係を
判断し、ｍ4 ＜ｍ3 であれば、ノッチＮがＣＣＤライン
センサ３を横切ったことになる。そこで、上述のように
ステップＳ３３で、〔Ｒ3 〕＜〔Ｒ2 〕の関係を満たさ
ない場合は、更にステップＳ３５で、データ〔Ｒ4 〕と
〔Ｒ3 〕の大小関係を判断しているのである。
【００２８】ステップＳ３５で、〔Ｒ4 〕＜〔Ｒ3 〕の
関係を満足しない場合（例えば、ウエハＷが偏心してテ
ーブル１に載置されている場合で、ノッチＮが検出され
ていないとき）は、ステップＳ３６に進み、レジスタＲ
４のデータ〔Ｒ4 〕（出力信号ｍ4 ）をレジスタＲ１に
セットする。そして、ステップＳ３２に戻り、次に取り
込まれた出力信号ｍ5 をレジスタＲ２にセットして、デ
ータ〔Ｒ１〕とデータ〔Ｒ２〕の大小の比較を繰り返し
行う。
関係を満足しない場合（例えば、ウエハＷが偏心してテ
ーブル１に載置されている場合で、ノッチＮが検出され
ていないとき）は、ステップＳ３６に進み、レジスタＲ
４のデータ〔Ｒ4 〕（出力信号ｍ4 ）をレジスタＲ１に
セットする。そして、ステップＳ３２に戻り、次に取り
込まれた出力信号ｍ5 をレジスタＲ２にセットして、デ
ータ〔Ｒ１〕とデータ〔Ｒ２〕の大小の比較を繰り返し
行う。
【００２９】ノッチＮを検出すると、ステップＳ３７に
おいて、ＣＰＵ１０はパルス発生回路１２にラッチ信号
ｄを出力する。これにより、パルス発生回路１２は、設
定されたパルス数に対し、発振開始からラッチ信号ｄを
入力するまでの積算パルスデータｅを内部回路にラッチ
し、これをＣＰＵ１０に送る（ステップＳ３８ａ）。Ｃ
ＰＵ１０は、ラッチ信号ｄを出力した後、回転数データ
ｃの出力を一時的に中止する。その結果、パルス発生回
路１２は、当該粗ステップ送りのパルス（ここでは、５
００−ｅ個のパルス）を出力した後、パルスの出力を停
止するので、ウエハＷの粗ステップ送りが中断される
（ステップＳ３８ｂ）。図９はこの様子を示している。
すなわち、図中、θi は粗ステップ送りの開始位置、Ｐ
0 はノッチＮを検出した位置（前記ステップＳ３７に移
行したタイミングに相当する）、θi+1 は粗ステップ送
りを中断した位置である。
おいて、ＣＰＵ１０はパルス発生回路１２にラッチ信号
ｄを出力する。これにより、パルス発生回路１２は、設
定されたパルス数に対し、発振開始からラッチ信号ｄを
入力するまでの積算パルスデータｅを内部回路にラッチ
し、これをＣＰＵ１０に送る（ステップＳ３８ａ）。Ｃ
ＰＵ１０は、ラッチ信号ｄを出力した後、回転数データ
ｃの出力を一時的に中止する。その結果、パルス発生回
路１２は、当該粗ステップ送りのパルス（ここでは、５
００−ｅ個のパルス）を出力した後、パルスの出力を停
止するので、ウエハＷの粗ステップ送りが中断される
（ステップＳ３８ｂ）。図９はこの様子を示している。
すなわち、図中、θi は粗ステップ送りの開始位置、Ｐ
0 はノッチＮを検出した位置（前記ステップＳ３７に移
行したタイミングに相当する）、θi+1 は粗ステップ送
りを中断した位置である。
【００３０】このようにステップＳ３７から、ステップ
Ｓ３８ａとステップＳ３８ｂの一連の動作により、粗ス
テップ送りの停止位置が、粗ステップ送り時の慣性のた
めに、ノッチＮを検出した位置Ｐ0 から不安定にずれて
も、本実施例では、後述するように積算パルスデータｅ
を利用することで、ノッチ検出位置Ｐ0 へ正確に停止す
ることができる。
Ｓ３８ａとステップＳ３８ｂの一連の動作により、粗ス
テップ送りの停止位置が、粗ステップ送り時の慣性のた
めに、ノッチＮを検出した位置Ｐ0 から不安定にずれて
も、本実施例では、後述するように積算パルスデータｅ
を利用することで、ノッチ検出位置Ｐ0 へ正確に停止す
ることができる。
【００３１】粗ステップ送りが中断されると、ＣＰＵ１
０はパルス発生回路１２に、粗ステップ送りのパルス数
から積算パルスデータｅを差し引いた回転数データ（５
００−ｅ）を、逆方向に回転させる回転方向制御信号と
ともに与える。これにより、ウエハＷが逆回転して、ノ
ッチＮを検出した位置Ｐ0 で停止する（ステップＳ３
９）。
０はパルス発生回路１２に、粗ステップ送りのパルス数
から積算パルスデータｅを差し引いた回転数データ（５
００−ｅ）を、逆方向に回転させる回転方向制御信号と
ともに与える。これにより、ウエハＷが逆回転して、ノ
ッチＮを検出した位置Ｐ0 で停止する（ステップＳ３
９）。
【００３２】その後、ＣＰＵ１０は、パルス発生回路１
２に予め定められた微小回転数データ（本実施例では、
１４パルス）を設定し、ウエハＷを逆回転方向に細かく
ステップ送りしながら、各ステップ送り位置での周辺位
置データをサンプリングして、ＲＡＭ１１に記憶する
（ステップＳ４０）。図９中の、符号ｎ1 ，ｎ2 ，…，
ｎ10は、前記ノッチ位置検出のために細かく設定された
サンプリング位置を示しており、Ｄ1 〜Ｄ10は各サンプ
リング位置ｎ1 〜ｎ10で採取されたウエハＷのノッチ領
域の周辺位置データに対応している。
２に予め定められた微小回転数データ（本実施例では、
１４パルス）を設定し、ウエハＷを逆回転方向に細かく
ステップ送りしながら、各ステップ送り位置での周辺位
置データをサンプリングして、ＲＡＭ１１に記憶する
（ステップＳ４０）。図９中の、符号ｎ1 ，ｎ2 ，…，
ｎ10は、前記ノッチ位置検出のために細かく設定された
サンプリング位置を示しており、Ｄ1 〜Ｄ10は各サンプ
リング位置ｎ1 〜ｎ10で採取されたウエハＷのノッチ領
域の周辺位置データに対応している。
【００３３】予め定められた個数の周辺位置データＤ1
〜Ｄ10を採取し終わると、ＣＰＵ１０は、ＲＡＭ１１に
記憶したこれらの周辺位置データから、次のようにして
ノッチ位置を算出する（ステップＳ４１）。以下、図１
０を参照して説明する。図１０は、サンプリング位置ｎ
1 を原点として、縦軸に周辺位置データを割り当て、横
軸に各サンプリング位置を割り当てている。以下、この
グラフ上にプロットされた各点をサンプリング点と呼
び、その座標をＮi （ｘi ，ｙi ）で表す。
〜Ｄ10を採取し終わると、ＣＰＵ１０は、ＲＡＭ１１に
記憶したこれらの周辺位置データから、次のようにして
ノッチ位置を算出する（ステップＳ４１）。以下、図１
０を参照して説明する。図１０は、サンプリング位置ｎ
1 を原点として、縦軸に周辺位置データを割り当て、横
軸に各サンプリング位置を割り当てている。以下、この
グラフ上にプロットされた各点をサンプリング点と呼
び、その座標をＮi （ｘi ，ｙi ）で表す。
【００３４】ＣＰＵ１０は、隣接するサンプリング点の
周辺位置データの差分、すなわち、Δｙ＝ｙi −ｙi-1
を順に算出し、最大ΔｙMAX （正の最大差分）と最小Δ
ｙMI N （負の最大差分）となる隣接するサンプリング点
をそれぞれ求める。変位量が同じである場合には、ｉの
大きい方のサンプリング点を選択する。
周辺位置データの差分、すなわち、Δｙ＝ｙi −ｙi-1
を順に算出し、最大ΔｙMAX （正の最大差分）と最小Δ
ｙMI N （負の最大差分）となる隣接するサンプリング点
をそれぞれ求める。変位量が同じである場合には、ｉの
大きい方のサンプリング点を選択する。
【００３５】ΔｙMAX となる二つのサンプリング点
Ｎn ，Ｎn-1 を通る直線を求めると、この直線は“数
１”によって表される。
Ｎn ，Ｎn-1 を通る直線を求めると、この直線は“数
１”によって表される。
【００３６】
【数１】
【００３７】“数１”において、『０．４４』は、隣接
するサンプリング位置間の距離をｍｍ単位で示してい
る。
するサンプリング位置間の距離をｍｍ単位で示してい
る。
【００３８】同様に、ΔｙMIN となる二つのサンプリン
グ点Ｎm-1 ，Ｎm を通る直線を求めると、この直線は
“数２”によって表される。
グ点Ｎm-1 ，Ｎm を通る直線を求めると、この直線は
“数２”によって表される。
【００３９】
【数２】
【００４０】次に、“数１”，“数２”で表された二つ
の直線の交点を求めると、そのｘ座標は“数３”によっ
て表される。この交点をノッチＮの頂点の位置とみな
す。
の直線の交点を求めると、そのｘ座標は“数３”によっ
て表される。この交点をノッチＮの頂点の位置とみな
す。
【００４１】
【数３】
【００４２】上述のようにして求められたノッチＮの座
標ｘC を、ノッチ検出位置Ｐ0 （図１０の座標の原点）
を基準とした移動パルス数ＰC に変換する。本実施例で
は、ウエハＷの１回転が２００００パルスに相当し、ウ
エハＷの半径ｒが１００ｍｍであるので、移動パルスＰ
C は“数４”によって表される。
標ｘC を、ノッチ検出位置Ｐ0 （図１０の座標の原点）
を基準とした移動パルス数ＰC に変換する。本実施例で
は、ウエハＷの１回転が２００００パルスに相当し、ウ
エハＷの半径ｒが１００ｍｍであるので、移動パルスＰ
C は“数４”によって表される。
【００４３】
【数４】
【００４４】次に、ノッチ開始点とノッチ終了点を次の
ようにして求める。まず、二つのサンプリング点Ｎm+1
とＮm+2 を通る直線を“数５”によって求める。
ようにして求める。まず、二つのサンプリング点Ｎm+1
とＮm+2 を通る直線を“数５”によって求める。
【００４５】
【数５】
【００４６】“数５”で表された直線と、“数１”で表
された直線との交点が、ノッチ開始点であり、その位置
ｘS は“数６”で表される。
された直線との交点が、ノッチ開始点であり、その位置
ｘS は“数６”で表される。
【００４７】
【数６】
【００４８】また、“数５”で表された直線と、“数
２”で表された直線との交点が、ノッチ終了点であり、
その位置ｘE は“数７”で表される。
２”で表された直線との交点が、ノッチ終了点であり、
その位置ｘE は“数７”で表される。
【００４９】
【数７】
【００５０】“数６”，“数７”で求められた位置
ｘS ，ｘE を、ノッチ頂点からの移動パルス数ＰS ，Ｐ
E で表すと、“数８”，“数９”のようになる。
ｘS ，ｘE を、ノッチ頂点からの移動パルス数ＰS ，Ｐ
E で表すと、“数８”，“数９”のようになる。
【００５１】
【数８】
【００５２】
【数９】
【００５３】以上のようにして、図６に示したステップ
Ｓ４１で、ノッチＮの頂点、開始点、終了点を求める
と、ステップＳ４２に進み、ＣＰＵ１０は、パルス発生
回路１２に対して、粗ステップ送りのパルス数から積算
パルスデータｅを差し引いた回転数データ（５００−
ｅ）を、正方向に回転させる回転方向制御信号とともに
与える。これにより、ウエハＷが正方向に回転し、粗ス
テップ送りを中断した位置θi+1 （図９参照）へ戻る。
Ｓ４１で、ノッチＮの頂点、開始点、終了点を求める
と、ステップＳ４２に進み、ＣＰＵ１０は、パルス発生
回路１２に対して、粗ステップ送りのパルス数から積算
パルスデータｅを差し引いた回転数データ（５００−
ｅ）を、正方向に回転させる回転方向制御信号とともに
与える。これにより、ウエハＷが正方向に回転し、粗ス
テップ送りを中断した位置θi+1 （図９参照）へ戻る。
【００５４】上述したステップＳ３の割り込み処理が実
行されると、図５に示したメインのフローに戻る。すな
わち、ＣＰＵ１０は、粗ピッチのステップ送りを開始し
た後、カウンタ１３からのカウントアップ信号ｆを監視
し、この信号ｆを与えられることにより、ステッピング
モータ２が停止したものと判断する（ステップＳ４）。
そして、粗ピッチ送りの停止位置で、Ａ／Ｄ変換器８に
データ取り込みタイミング信号ａを与えることにより、
その位置における周辺位置データをＡ／Ｄ変換器８から
取り込み、そのθアドレスに対応付けてＲＡＭ１１に記
憶する。
行されると、図５に示したメインのフローに戻る。すな
わち、ＣＰＵ１０は、粗ピッチのステップ送りを開始し
た後、カウンタ１３からのカウントアップ信号ｆを監視
し、この信号ｆを与えられることにより、ステッピング
モータ２が停止したものと判断する（ステップＳ４）。
そして、粗ピッチ送りの停止位置で、Ａ／Ｄ変換器８に
データ取り込みタイミング信号ａを与えることにより、
その位置における周辺位置データをＡ／Ｄ変換器８から
取り込み、そのθアドレスに対応付けてＲＡＭ１１に記
憶する。
【００５５】次のステップＳ６で、全ての周辺位置デー
タの取り込み、すなわち、ウエハＷが１回転したかどう
かを判断し、データの取り囲みが完了していなければ、
ステップＳ２に戻って上述した処理を繰り返し、ウエハ
Ｗの全周囲の周辺位置データを採取する。
タの取り込み、すなわち、ウエハＷが１回転したかどう
かを判断し、データの取り囲みが完了していなければ、
ステップＳ２に戻って上述した処理を繰り返し、ウエハ
Ｗの全周囲の周辺位置データを採取する。
【００５６】図１１は採取された周辺位置データを示し
ている。ウエハＷはテーブル１の中心に対して多少偏心
して置かれるのが普通であるから、周辺位置データは基
準位置（ウエハ中心とテーブル中心とが一致していると
きのウエハ円弧部の周辺位置データ）を中心に滑らかに
変換している。なお、図１１中のＮＡ領域はノッチ領域
の周辺位置データを示している。
ている。ウエハＷはテーブル１の中心に対して多少偏心
して置かれるのが普通であるから、周辺位置データは基
準位置（ウエハ中心とテーブル中心とが一致していると
きのウエハ円弧部の周辺位置データ）を中心に滑らかに
変換している。なお、図１１中のＮＡ領域はノッチ領域
の周辺位置データを示している。
【００５７】周辺位置データの採取が完了すると、ステ
ップＳ７に進み、離散的な周辺位置データ間の補間処理
を行う。データサンプリング時のステップ送り角度を十
分小さく設定すれば、補間処理を特に行う必要はない
が、データ採取に要する時間を短縮するために、周辺位
置データ採取のためのステップ送り角度を粗く設定した
場合には、ウエハ周辺に沿った露光ビームのトレースを
滑らかに行うためにデータの補間処理を行うのが好まし
い。
ップＳ７に進み、離散的な周辺位置データ間の補間処理
を行う。データサンプリング時のステップ送り角度を十
分小さく設定すれば、補間処理を特に行う必要はない
が、データ採取に要する時間を短縮するために、周辺位
置データ採取のためのステップ送り角度を粗く設定した
場合には、ウエハ周辺に沿った露光ビームのトレースを
滑らかに行うためにデータの補間処理を行うのが好まし
い。
【００５８】補間処理の方法は、特に限定されないが、
本実施例ではウエハＷの円弧部の周辺位置データについ
ては、図１２に拡大して示すように、隣接するサンプリ
ング点間（ステップ角度９°）を例えば１０等分する
０．９°間隔の補間点を設定し、各補間点の周辺位置デ
ータを直線補間によって算出している。算出された補間
データは、対応した変位角度（θアドレス）に対応つけ
てＲＡＭ１１に記憶される。なお、本実施例では、この
θアドレスを、周辺位置データの採取開始位置を基準と
した移動パルス数で表している。
本実施例ではウエハＷの円弧部の周辺位置データについ
ては、図１２に拡大して示すように、隣接するサンプリ
ング点間（ステップ角度９°）を例えば１０等分する
０．９°間隔の補間点を設定し、各補間点の周辺位置デ
ータを直線補間によって算出している。算出された補間
データは、対応した変位角度（θアドレス）に対応つけ
てＲＡＭ１１に記憶される。なお、本実施例では、この
θアドレスを、周辺位置データの採取開始位置を基準と
した移動パルス数で表している。
【００５９】上述した補間処理を行う際、補間処理の対
象となるサンプリング点がノッチ領域に入っているか否
かを判断する。具体的には、移動パルス数で表された当
該サンプリング点の変位角度が、ＲＡＭ１１に記憶され
ているノッチ領域の開始点ｘS と終了点ｘE の間に入っ
ているがとうかを判断することによって行われる。この
際、ｘS ，ｘE は、周辺位置データの採取開始位置を基
準とした移動パルス数に変換される。当該サンプリング
点がノッチ領域に入っていなければ、上述したように両
サンプリングを１０分割した直線補間を行う。
象となるサンプリング点がノッチ領域に入っているか否
かを判断する。具体的には、移動パルス数で表された当
該サンプリング点の変位角度が、ＲＡＭ１１に記憶され
ているノッチ領域の開始点ｘS と終了点ｘE の間に入っ
ているがとうかを判断することによって行われる。この
際、ｘS ，ｘE は、周辺位置データの採取開始位置を基
準とした移動パルス数に変換される。当該サンプリング
点がノッチ領域に入っていなければ、上述したように両
サンプリングを１０分割した直線補間を行う。
【００６０】一方、当該サンプリング点がノッチ領域に
入っている場合は、次のサンプリング点を選択し、ノッ
チ領域を挟む二つのサンプリング点の間を直線補間して
補間データを求める。例えば、図１１に示した周辺位置
データの場合、変位角度θｉのサンプリング点がノッチ
領域ＮＡに入っているので、この場合は、θi-1 のサン
プリング点と、θi+1 のサンプリング点との間を２０分
割した直線補間を行って、両サンプリング点間の補間デ
ータを求める。図１３は、このような補間処理後の周辺
位置データを示したものである。同図より明らかなよう
に、ノッチ領域ＮＡでは、あたかもノッチＮがないかの
ように周辺位置データが修正されている。
入っている場合は、次のサンプリング点を選択し、ノッ
チ領域を挟む二つのサンプリング点の間を直線補間して
補間データを求める。例えば、図１１に示した周辺位置
データの場合、変位角度θｉのサンプリング点がノッチ
領域ＮＡに入っているので、この場合は、θi-1 のサン
プリング点と、θi+1 のサンプリング点との間を２０分
割した直線補間を行って、両サンプリング点間の補間デ
ータを求める。図１３は、このような補間処理後の周辺
位置データを示したものである。同図より明らかなよう
に、ノッチ領域ＮＡでは、あたかもノッチＮがないかの
ように周辺位置データが修正されている。
【００６１】データの補間処理が完了すると、ステップ
Ｓ８に進み次のようにウエハＷの周辺露光を行う。周辺
位置データのサンプリングのために、ウエハＷが１回転
することにより、ウエハＷは最初のセッティング位置に
戻っている。サンプリング点のθアドレスの基準である
ＣＣＤラインセンサ３の設置位置に対向して光源１５が
設置されているので、露光処理のためにθアドレスが１
８０°のサンプリング点の周辺位置データがＲＡＭ１１
から最初に読み出される。
Ｓ８に進み次のようにウエハＷの周辺露光を行う。周辺
位置データのサンプリングのために、ウエハＷが１回転
することにより、ウエハＷは最初のセッティング位置に
戻っている。サンプリング点のθアドレスの基準である
ＣＣＤラインセンサ３の設置位置に対向して光源１５が
設置されているので、露光処理のためにθアドレスが１
８０°のサンプリング点の周辺位置データがＲＡＭ１１
から最初に読み出される。
【００６２】図３に示すように、光源１５の基準位置Ｃ
とテーブル１の中心Ｏとの距離Ｌ1は予め設定されてい
るので、光源１５を、基準位置Ｃから距離Ｌ1 −Ｌ
0 と、予め定められた露光幅だけ駆動する。ここで、距
離Ｌ0 は、テーブル１の中心ＯからＣＣＤラインセンサ
３の基準位置までの距離をいう。そして、θアドレスが
１８０°のサンプリング点の周辺位置データに基づい
て、露光位置を修正する。
とテーブル１の中心Ｏとの距離Ｌ1は予め設定されてい
るので、光源１５を、基準位置Ｃから距離Ｌ1 −Ｌ
0 と、予め定められた露光幅だけ駆動する。ここで、距
離Ｌ0 は、テーブル１の中心ＯからＣＣＤラインセンサ
３の基準位置までの距離をいう。そして、θアドレスが
１８０°のサンプリング点の周辺位置データに基づい
て、露光位置を修正する。
【００６３】ＣＰＵ１０は、上記のようにして求められ
た露光位置に光源１５を変位させるためにの回転数デー
タｇをパルス発生回路１８に出力する。光源１５の最初
の位置設定が終わると、ＣＰＵ１０は、θアドレスが１
８０°の露光開始点から、０．９°だけウエハＷを回転
させるための回転数データｃをパルス発生回路１２に出
力するとともに、その回転数データｃをカウンタ１３に
プリセットする。これにより、パルス発生回路１２から
回転数データｃに対応する個数のパルス信号が出力され
てウエハＷが０．９°だけ回転変位する。
た露光位置に光源１５を変位させるためにの回転数デー
タｇをパルス発生回路１８に出力する。光源１５の最初
の位置設定が終わると、ＣＰＵ１０は、θアドレスが１
８０°の露光開始点から、０．９°だけウエハＷを回転
させるための回転数データｃをパルス発生回路１２に出
力するとともに、その回転数データｃをカウンタ１３に
プリセットする。これにより、パルス発生回路１２から
回転数データｃに対応する個数のパルス信号が出力され
てウエハＷが０．９°だけ回転変位する。
【００６４】ウエハＷが０．９°回転して、カウンタ１
３がカウントアップすると、ＣＰＵ１０は、θアドレス
が１８０°＋０．９°の補間点の補間データをＣＰＵ１
０から読み出し、このデータに対応する回転数データｇ
をパルス発生回路１８に出力することにより、光源１５
の位置を新たに設定する。以上の処理を繰り返し行うこ
とにより、ウエハＷの全周囲の露光を実行する。
３がカウントアップすると、ＣＰＵ１０は、θアドレス
が１８０°＋０．９°の補間点の補間データをＣＰＵ１
０から読み出し、このデータに対応する回転数データｇ
をパルス発生回路１８に出力することにより、光源１５
の位置を新たに設定する。以上の処理を繰り返し行うこ
とにより、ウエハＷの全周囲の露光を実行する。
【００６５】光源１５の位置制御に用いられる周辺位置
データは、図１３に示したように、ノッチ領域のサンプ
リング点における周辺位置データを無視したもの、すな
わち、あたかもノッチが形成されていないウエハＷであ
るかのように、データ補間時に修正されているので、図
１４に示すように、光源１５がノッチ領域においてウエ
ハＷの内側に食い込むことがない。なお、図１４におい
て、符号Ａは露光領域、Ｂは素子形成領域を示してい
る。
データは、図１３に示したように、ノッチ領域のサンプ
リング点における周辺位置データを無視したもの、すな
わち、あたかもノッチが形成されていないウエハＷであ
るかのように、データ補間時に修正されているので、図
１４に示すように、光源１５がノッチ領域においてウエ
ハＷの内側に食い込むことがない。なお、図１４におい
て、符号Ａは露光領域、Ｂは素子形成領域を示してい
る。
【００６６】なお、上述の実施例では、比較器９1 〜９
5 の出力変化を監視することによりノッチを検出するよ
うに構成したが、本発明におけるノッチ領域検出手段は
これに限定されない。例えば、ステップ送りごとに採取
されてＲＡＭ１１に記憶された周辺位置データの固有の
変化を捉えることにより、ノッチを検出するようにして
もよい。
5 の出力変化を監視することによりノッチを検出するよ
うに構成したが、本発明におけるノッチ領域検出手段は
これに限定されない。例えば、ステップ送りごとに採取
されてＲＡＭ１１に記憶された周辺位置データの固有の
変化を捉えることにより、ノッチを検出するようにして
もよい。
【００６７】また、実施例ではウエハＷの全周囲を一定
幅で露光する場合を例に挙げて説明したが、例えば図１
５に示すように、ウエハ周囲の所定の個所を意図的に幅
広く露光することも可能である。このような特定の個所
Ｅは、ノッチＮの頂点を基準とした角度範囲で予め指定
されるので、ウエハの周辺露光の際に、実施例で求めた
ノッチＮの頂点位置ｘC に基づいて、ノッチＮをＣＣＤ
ラインセンサ３に対向する位置にセッティングし、ノッ
チＮを露光開始点として周辺露光すればよい。この際、
各サンプリング点の周辺位置データのθアドレスは、ノ
ッチＮを基準としたθアドレスに書き直される。
幅で露光する場合を例に挙げて説明したが、例えば図１
５に示すように、ウエハ周囲の所定の個所を意図的に幅
広く露光することも可能である。このような特定の個所
Ｅは、ノッチＮの頂点を基準とした角度範囲で予め指定
されるので、ウエハの周辺露光の際に、実施例で求めた
ノッチＮの頂点位置ｘC に基づいて、ノッチＮをＣＣＤ
ラインセンサ３に対向する位置にセッティングし、ノッ
チＮを露光開始点として周辺露光すればよい。この際、
各サンプリング点の周辺位置データのθアドレスは、ノ
ッチＮを基準としたθアドレスに書き直される。
【００６８】さらに、実施例では、光源１５とウエハＷ
との位置関係を相対的に変位させる光源変位手段とし
て、光源１５をテーブル１の中心に向けて駆動させる機
構を用いたが、光源１５を固定して、テーブル１を水平
変位させるように構成してもよい。
との位置関係を相対的に変位させる光源変位手段とし
て、光源１５をテーブル１の中心に向けて駆動させる機
構を用いたが、光源１５を固定して、テーブル１を水平
変位させるように構成してもよい。
【００６９】また、ステッピングモータ２は、例えば誘
導モータに、回転変位角検出用のロータリエンコーダを
組み合わせたものに代替えしてもよく、必ずしも、ステ
ッピングモータに限定しない。
導モータに、回転変位角検出用のロータリエンコーダを
組み合わせたものに代替えしてもよく、必ずしも、ステ
ッピングモータに限定しない。
【００７０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ウエハの周辺位置データのサンプリング点が
ノッチ領域内に入っていない場合は、その周辺位置デー
タに基づいて光源を変位制御することにより、前記光源
でウエハの周辺部を所定幅で露光し、前記サンプリング
点がノッチ領域内に入っている場合は、そのサンプリン
グ点の周辺位置データを無視し、そのサンプリング点の
近傍にあるサンプリング点の周辺位置データに基づいて
光源を変位制御することによりノッチ領域を露光してい
るので、従来装置のようにノッチ領域において露光ビー
ムがウエハの内部に食い込むことがない。したがって、
ノッチが形成されたウエハであっても、素子形成領域を
露光することなく、ウエハの周辺を所定幅で露光するこ
とができる。
によれば、ウエハの周辺位置データのサンプリング点が
ノッチ領域内に入っていない場合は、その周辺位置デー
タに基づいて光源を変位制御することにより、前記光源
でウエハの周辺部を所定幅で露光し、前記サンプリング
点がノッチ領域内に入っている場合は、そのサンプリン
グ点の周辺位置データを無視し、そのサンプリング点の
近傍にあるサンプリング点の周辺位置データに基づいて
光源を変位制御することによりノッチ領域を露光してい
るので、従来装置のようにノッチ領域において露光ビー
ムがウエハの内部に食い込むことがない。したがって、
ノッチが形成されたウエハであっても、素子形成領域を
露光することなく、ウエハの周辺を所定幅で露光するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例に係るノッチ付ウエハの周辺
部露光装置の概略構成を示したブロック図である。
部露光装置の概略構成を示したブロック図である。
【図２】実施例装置の露光部の正面図である。
【図３】実施例装置の露光部の平面図である。
【図４】ＣＣＤラインセンサの分割領域の説明図であ
る。
る。
【図５】実施例装置の動作順序を示したメインフローチ
ャートである。
ャートである。
【図６】実施例装置のノッチ検出処理の詳細を示したフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図７】ノッチ検出処理に伴う割り込み処理のタイミン
グの一例を示した説明図である。
グの一例を示した説明図である。
【図８】ノッチ検出処理に伴う割り込み処理のタイミン
グのその他の例を示した説明図である。
グのその他の例を示した説明図である。
【図９】ノッチ領域の周辺位置データのサンプリング動
作を説明するための図である。
作を説明するための図である。
【図１０】ノッチ位置算出処理の説明図である。
【図１１】各サンプリング点の周辺位置データの模式図
である。
である。
【図１２】サンプリング点間の直線補間処理の説明図で
ある。
ある。
【図１３】補間処理後の周辺位置データの模式図であ
る。
る。
【図１４】実施例装置の周辺露光の態様を示した平面図
である。
である。
【図１５】周辺露光のその他の態様を示した平面図であ
る。
る。
【図１６】従来装置の説明図である。
【図１７】従来装置による周辺露光の状態を示した平面
図である。
図である。
Ｗ…ウエハ Ｎ…ノッチ １…テーブル ２…ステッピングモータ ３…ＣＣＤラインセンサ ４…光源 ５…光学系 ６…ＣＣＤ駆動回路 ７…信号処理回路 ８…Ａ／Ｄ変換器 ９1 〜９5 …比較器 １０…ＣＰＵ １１…ＲＡＭ １２，１８…パルス発生回路 １３…カウンタ １４，１９…モータ駆動回路 １５…光源１５ １６…螺軸 １７…ステッピングモータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−11726（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−45145（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/027
Claims (3)
- 【請求項１】 外周部にノッチが形成され、フォトレジ
ストが塗布されたウエハを回転させつつ、露光ビームで
前記ウエハの周辺を露光するノッチ付ウエハの周辺部露
光装置であって、 ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動手段と、 前記ウエハ回転駆動手段を回転駆動制御する回転駆動制
御手段と、 ウエハの周辺位置を検出する一次元イメージセンサと、 前記一次元イメージセンサからの周辺位置データを各サ
ンプリング点の変位角度に対応付けて記憶する記憶手段
と、 前記記憶手段に記憶された周辺位置データに基づき、ノ
ッチ領域を検出するノッチ領域検出手段と、 露光ビームを照射する光源と、 前記光源とウエハとの位置関係を相対的に変位させる光
源変位手段と、 前記記憶手段から周辺位置データを順に読み出し、当該
サンプリング点が前記ノッチ領域検出手段によって検出
されたノッチ領域内に入っていない場合は、その周辺位
置データに基づいて前記光源変位手段を制御することに
より、前記光源でウエハの周辺部を所定幅で露光し、当
該サンプリング点がノッチ領域内に入っている場合は、
当該サンプリング点の周辺位置データを無視し、当該サ
ンプリング点の近傍にあるサンプリング点の周辺位置デ
ータに基づいて前記光源変位手段を制御することによ
り、前記光源でノッチ領域を露光する光源変位制御手段
と、 を備えたことを特徴とするノッチ付ウエハの周辺部露光
装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のノッチ付ウエハの周辺
部露光装置において、 前記ノッチ領域検出手段は、 前記回転駆動制御手段がウエハ回転駆動手段を粗いピッ
チでステップ送りしているときに、前記一次元イメージ
センサの出力変化を監視することにより、ウエハのノッ
チを検出する監視手段と、 前記ノッチが検出されたことに基づき、前記回転駆動制
御手段がウエハ回転駆動手段を細かいピッチでステップ
送りしているときに、前記一次元イメージセンサで検出
されたノッチ領域の周辺位置データに基づき、ノッチ領
域を算出するノッチ領域算出手段と、 を含むノッチ付ウエハの周辺部露光装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載のノッチ付ウエハの周辺
部露光装置において、 前記光源変位制御手段は、 隣接する二つのサンプリング点が共にノッチ領域に入っ
ていない場合は、両サンプリング点の周辺位置データを
直線補間することにより、両サンプリング点間の補間デ
ータを算出し、この補間データに基づいて前記光源変位
手段を制御することによって、前記光源でウエハの周辺
部を所定幅で露光し、 隣接するサンプリング点の一方がノッチ領域に入ってい
る場合は、ノッチ領域に入っていない近傍サンプリング
を選択し、ノッチ領域を挟む二つのサンプリング点の周
辺位置データを直線補間することにより、両サンプリン
グ点間の補間データを算出し、この補間データに基づい
て前記光源変位手段を制御することによって、前記光源
でノッチ領域を露光するものであるノッチ付ウエハの周
辺部露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4809192A JP2783303B2 (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | ノッチ付ウエハの周辺部露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4809192A JP2783303B2 (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | ノッチ付ウエハの周辺部露光装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7960596A Division JPH0917707A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | ノッチ付ウエハの周辺部露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05217887A JPH05217887A (ja) | 1993-08-27 |
| JP2783303B2 true JP2783303B2 (ja) | 1998-08-06 |
Family
ID=12793650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4809192A Expired - Lifetime JP2783303B2 (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | ノッチ付ウエハの周辺部露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2783303B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4019651B2 (ja) * | 2001-05-21 | 2007-12-12 | ウシオ電機株式会社 | 周辺露光装置 |
| JP3820946B2 (ja) * | 2001-09-17 | 2006-09-13 | ウシオ電機株式会社 | 周辺露光装置 |
| CN115732380B (zh) * | 2022-10-08 | 2023-11-24 | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 | 一种晶圆偏心调节方法、装置及存储介质 |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP4809192A patent/JP2783303B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05217887A (ja) | 1993-08-27 |
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