JP2775444B2 - 帯鋼板の酸洗装置 - Google Patents
帯鋼板の酸洗装置Info
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- JP2775444B2 JP2775444B2 JP63287136A JP28713688A JP2775444B2 JP 2775444 B2 JP2775444 B2 JP 2775444B2 JP 63287136 A JP63287136 A JP 63287136A JP 28713688 A JP28713688 A JP 28713688A JP 2775444 B2 JP2775444 B2 JP 2775444B2
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- Japan
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- pickling
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- strip
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は帯板の酸洗装置に関し、特に薄鋼板を複数の
酸洗槽に浸漬させながら前槽から後槽へと連続的に通過
せしめていく連続酸洗装置の酸洗槽の構造に関する。
酸洗槽に浸漬させながら前槽から後槽へと連続的に通過
せしめていく連続酸洗装置の酸洗槽の構造に関する。
（従来技術） 近年の熱間圧延鋼板の酸洗装置では、酸洗槽を複数個
ライン方向に並べて配置し、各酸洗装置内で帯鋼板を停
止することなく連続的に各槽を通過させていく方式がと
られる。このような連続酸洗装置の槽型式として深浸漬
式、タービュラントセル式、シャロー式などのものが知
られている。いずれも帯鋼板の走行に伴なって槽の出口
側から大量の液が持ち出されるので、これの対策として
酸循環ポンプを設けて液面維持を図ったもの、あるいは
槽の入、出側にシールロールを設け、槽前後壁上端とシ
ールロール間に帯鋼板を通過させるとともに液面を前記
シールロールよりも高くなるように保持したもの（例え
ば特願昭62−142801号）等が開発されている。
ライン方向に並べて配置し、各酸洗装置内で帯鋼板を停
止することなく連続的に各槽を通過させていく方式がと
られる。このような連続酸洗装置の槽型式として深浸漬
式、タービュラントセル式、シャロー式などのものが知
られている。いずれも帯鋼板の走行に伴なって槽の出口
側から大量の液が持ち出されるので、これの対策として
酸循環ポンプを設けて液面維持を図ったもの、あるいは
槽の入、出側にシールロールを設け、槽前後壁上端とシ
ールロール間に帯鋼板を通過させるとともに液面を前記
シールロールよりも高くなるように保持したもの（例え
ば特願昭62−142801号）等が開発されている。
（発明が解決しようとする課題） 従来の連続酸洗設備で深浸漬式のものは各槽内で帯鋼
板を液中深く垂れ下らせるので多量の処理液量を必要と
し、また帯鋼板の速度変動により槽内でカテナリが上下
に揺れ、酸洗むらが生じる問題がある。シャロー式の場
合は浅底で全長の長い槽を用いるので液量が少なくても
すむ利点はあるものの、走行する帯鋼板に引きつけられ
て酸液が後方へ移動して槽内液面の勾配が生じ、槽入側
の液面が下がって安定した酸洗作業ができなくなるとい
う問題がある。特に近年の高速処理化に伴なって帯鋼板
の速度が速くなると、第６図に示すように酸洗槽７の入
側において液面20から20′への低下があると図示Ｄの広
い範囲で帯鋼板１の干上がりが生じ、所定浸漬長が得ら
れなくなる。従来のように酸循環ポンプを用いても酸液
の持ち出し量は大きく、大容量のポンプを駆動するため
の電力消費が大となり、酸洗コストがかかる。シールロ
ールを設けて液面を高く維持する場合は、その部分での
帯鋼板の干上がりは防止されるが、それだけ液量が多く
必要であり、また液の流出量も大きく、同様の大容量の
ポンプを必要とするといった問題があった。
板を液中深く垂れ下らせるので多量の処理液量を必要と
し、また帯鋼板の速度変動により槽内でカテナリが上下
に揺れ、酸洗むらが生じる問題がある。シャロー式の場
合は浅底で全長の長い槽を用いるので液量が少なくても
すむ利点はあるものの、走行する帯鋼板に引きつけられ
て酸液が後方へ移動して槽内液面の勾配が生じ、槽入側
の液面が下がって安定した酸洗作業ができなくなるとい
う問題がある。特に近年の高速処理化に伴なって帯鋼板
の速度が速くなると、第６図に示すように酸洗槽７の入
側において液面20から20′への低下があると図示Ｄの広
い範囲で帯鋼板１の干上がりが生じ、所定浸漬長が得ら
れなくなる。従来のように酸循環ポンプを用いても酸液
の持ち出し量は大きく、大容量のポンプを駆動するため
の電力消費が大となり、酸洗コストがかかる。シールロ
ールを設けて液面を高く維持する場合は、その部分での
帯鋼板の干上がりは防止されるが、それだけ液量が多く
必要であり、また液の流出量も大きく、同様の大容量の
ポンプを必要とするといった問題があった。
本発明は、酸液の流出量が少なく槽全長にわたって常
時所定の液深が得られ、これによって酸液循環ポンプの
容量が小さくてすみ、省エネルギ効果を上げ得る帯板の
酸洗装置を提供することにある。
時所定の液深が得られ、これによって酸液循環ポンプの
容量が小さくてすみ、省エネルギ効果を上げ得る帯板の
酸洗装置を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明による帯鋼板の酸洗装置は、帯板の走行ライン
に沿って配置された複数の酸洗槽に対してその出口側の
槽上縁に、該帯板を該槽上縁に押し付けるシールロール
を設けるとともに入口側の槽上縁の近傍に、かつ、入口
側槽上縁からの酸液のオーバーフローに対向する方向か
ら槽内へ向けて酸液を噴射する酸液供給用ヘッダを付加
し、さらに各酸洗槽の前記入口側と前記出口側とをつな
ぐ返流路を形成し、帯板の走行に伴なって槽出口側へ移
動しかつ液面が高くなった酸液が前記返流路を通って液
面の低い槽入口側へ流れるようにしたものである。
に沿って配置された複数の酸洗槽に対してその出口側の
槽上縁に、該帯板を該槽上縁に押し付けるシールロール
を設けるとともに入口側の槽上縁の近傍に、かつ、入口
側槽上縁からの酸液のオーバーフローに対向する方向か
ら槽内へ向けて酸液を噴射する酸液供給用ヘッダを付加
し、さらに各酸洗槽の前記入口側と前記出口側とをつな
ぐ返流路を形成し、帯板の走行に伴なって槽出口側へ移
動しかつ液面が高くなった酸液が前記返流路を通って液
面の低い槽入口側へ流れるようにしたものである。
（実施例） 次に、本発明を実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の第１の実施例によるシャロー式酸洗
装置の側面断面図である。本実施例の酸洗装置は、酸洗
槽が帯鋼板１の走行ライン方向に沿って２〜５槽連なっ
て構成されるが、第１図ではそのうちの１槽のみを示し
てある。酸洗槽７は内面にレンガライニング８が施され
ており、その上側に該ライニングの保護および帯鋼板１
の傷付き防止のために保護スキッド９が取り付けられて
いる。前述の如く複数個連なる各酸洗槽７の前端および
後端の上縁部にスキッド10が設けられ、図示実施例では
後端（槽出口）側スキッド10の上方に該スキッド10に対
してわずかな隙間を有して、大径のシールロール５が軸
支されている。また隣接した各酸洗槽７の間に一対のリ
ンガーロール2,5が設けられ、このリンガーロール2,5に
よって帯鋼板１の表面に付着した酸液を絞り取るように
なっている。各酸洗槽７の入口側および出口側でかつ槽
上縁部スキッド10の外側にそれぞれ液戻り口11が設けら
れ、これらの液戻り口11が配管12を介して酸液回収タン
ク13に連通されている。さらに、各酸洗槽７の入口側お
よび出口側の槽上縁部スキッド10の上端近くから槽内へ
向って酸液を噴射供給する酸液供給用ヘッダ14が設けら
れ、前記酸液回収タンク13から酸液循環ポンプ15により
熱交換器16を介して酸液４が槽内に供給される。槽側部
の適切な位置に酸液のオーバーフロー口17が設けられて
いる。
装置の側面断面図である。本実施例の酸洗装置は、酸洗
槽が帯鋼板１の走行ライン方向に沿って２〜５槽連なっ
て構成されるが、第１図ではそのうちの１槽のみを示し
てある。酸洗槽７は内面にレンガライニング８が施され
ており、その上側に該ライニングの保護および帯鋼板１
の傷付き防止のために保護スキッド９が取り付けられて
いる。前述の如く複数個連なる各酸洗槽７の前端および
後端の上縁部にスキッド10が設けられ、図示実施例では
後端（槽出口）側スキッド10の上方に該スキッド10に対
してわずかな隙間を有して、大径のシールロール５が軸
支されている。また隣接した各酸洗槽７の間に一対のリ
ンガーロール2,5が設けられ、このリンガーロール2,5に
よって帯鋼板１の表面に付着した酸液を絞り取るように
なっている。各酸洗槽７の入口側および出口側でかつ槽
上縁部スキッド10の外側にそれぞれ液戻り口11が設けら
れ、これらの液戻り口11が配管12を介して酸液回収タン
ク13に連通されている。さらに、各酸洗槽７の入口側お
よび出口側の槽上縁部スキッド10の上端近くから槽内へ
向って酸液を噴射供給する酸液供給用ヘッダ14が設けら
れ、前記酸液回収タンク13から酸液循環ポンプ15により
熱交換器16を介して酸液４が槽内に供給される。槽側部
の適切な位置に酸液のオーバーフロー口17が設けられて
いる。
第１図の実施例では酸洗槽７の入口側および出口側近
傍の槽底部を槽本体の外部で連通する返流管３が設けら
れている。この返流管３は槽入口側と出口側の液面高さ
が常に等しくなるように出口側から入口側へ酸液４を戻
す作用を果たす。即ち帯鋼板１が酸液中に浸されながら
槽内を移動すると、この帯鋼板の流れに引きつられて液
も槽出口側へ流され、その結果液面に勾配が生ずる。し
かし前述のように本発明では帯鋼板１の槽内通過路と分
離した形態で槽前後部が返流管３でつながれているの
で、出口側へ流れて液面の高くなった酸液は返流管３内
を通って液面の低い入口側へ流れ、これによって液面の
勾配が修正され、帯鋼板に速度変動があっても所定浸漬
深さが得られ、第６図で述べたような槽入口側での干上
がりが生じない。なお第１図でＡは返流管のない場合の
運転時の液面、Ｂは停止時の液面を示している。
傍の槽底部を槽本体の外部で連通する返流管３が設けら
れている。この返流管３は槽入口側と出口側の液面高さ
が常に等しくなるように出口側から入口側へ酸液４を戻
す作用を果たす。即ち帯鋼板１が酸液中に浸されながら
槽内を移動すると、この帯鋼板の流れに引きつられて液
も槽出口側へ流され、その結果液面に勾配が生ずる。し
かし前述のように本発明では帯鋼板１の槽内通過路と分
離した形態で槽前後部が返流管３でつながれているの
で、出口側へ流れて液面の高くなった酸液は返流管３内
を通って液面の低い入口側へ流れ、これによって液面の
勾配が修正され、帯鋼板に速度変動があっても所定浸漬
深さが得られ、第６図で述べたような槽入口側での干上
がりが生じない。なお第１図でＡは返流管のない場合の
運転時の液面、Ｂは停止時の液面を示している。
第１図の実施例では返流管３を酸洗槽７の下側に配置
した例を示したが、第２図（ａ），（ｂ）に示すように
酸洗槽７の外側の両側方に返流管23を挿入口近傍から出
口近傍にかけて連結するように設けてもよい。またこれ
らの実施例ではいずれも返流管3,23を槽７の外側に配置
し、該槽に形成した接続口にボルト等で固着するように
したが、第３図（ａ），（ｂ）に示す実施例のように、
槽７内における帯鋼板１と槽内壁との間を該帯鋼板の流
れ方向に沿って仕切るような一対の仕切板33を槽入口近
くから出口近くへかけて槽底壁に形成してもよい。仕切
板33の上縁は液面20よりも若干高くなるようにし、また
各仕切板33の前後端を槽内壁に対して開放状態にし、こ
れによって帯鋼板１に引きつられて槽出口側へ移動した
酸液４が仕切板33の後流側端部から該仕切板33と槽内壁
7aとの間を通って槽入口側へ戻るようにしてもよい。前
述した返流管3,23の中空部および仕切板33と槽内壁との
間が酸液の返流路43となる。第３図（ａ），（ｂ）の場
合、返流路43内の液は帯鋼板１の走行に伴なう粘性で帯
鋼板に引きつられることがなく、帯鋼板１の走行により
もたらされた槽入口側、出口側の液面レベル差を解消す
るように槽出口側から入口側へと逆流する。なお第２図
（ａ），（ｂ）の実施例で返流管23を連結する酸洗槽側
部の接続口を槽のオーバーフロー口と兼用させてもよ
い。この場合、オーバーフロー口の高さを入口側、出口
側で同じ高さとしてもよいが、出口側を入口側より高い
位置に形成し、これに対応して返流管23に勾配を設ける
ことにより液の流れは一層スムーズとなる。
した例を示したが、第２図（ａ），（ｂ）に示すように
酸洗槽７の外側の両側方に返流管23を挿入口近傍から出
口近傍にかけて連結するように設けてもよい。またこれ
らの実施例ではいずれも返流管3,23を槽７の外側に配置
し、該槽に形成した接続口にボルト等で固着するように
したが、第３図（ａ），（ｂ）に示す実施例のように、
槽７内における帯鋼板１と槽内壁との間を該帯鋼板の流
れ方向に沿って仕切るような一対の仕切板33を槽入口近
くから出口近くへかけて槽底壁に形成してもよい。仕切
板33の上縁は液面20よりも若干高くなるようにし、また
各仕切板33の前後端を槽内壁に対して開放状態にし、こ
れによって帯鋼板１に引きつられて槽出口側へ移動した
酸液４が仕切板33の後流側端部から該仕切板33と槽内壁
7aとの間を通って槽入口側へ戻るようにしてもよい。前
述した返流管3,23の中空部および仕切板33と槽内壁との
間が酸液の返流路43となる。第３図（ａ），（ｂ）の場
合、返流路43内の液は帯鋼板１の走行に伴なう粘性で帯
鋼板に引きつられることがなく、帯鋼板１の走行により
もたらされた槽入口側、出口側の液面レベル差を解消す
るように槽出口側から入口側へと逆流する。なお第２図
（ａ），（ｂ）の実施例で返流管23を連結する酸洗槽側
部の接続口を槽のオーバーフロー口と兼用させてもよ
い。この場合、オーバーフロー口の高さを入口側、出口
側で同じ高さとしてもよいが、出口側を入口側より高い
位置に形成し、これに対応して返流管23に勾配を設ける
ことにより液の流れは一層スムーズとなる。
第１図の実施例に関して述べた酸液供給用ヘッダ14は
同図のように１つの槽に対して入口側パスライン上方、
パスライン下方および出口側パスラインの上方、同パス
ライン下方の４箇所にそれぞれオーバーフローする流れ
に対向するように設けられる。これによって帯鋼板１の
走行とともに酸液回収タンク13へ流れ出ようとする液の
量を少なくすることができる。なお出口側パスライン上
方位置には本実施例ではシールロール５が設置されてい
るのでオーバーフロー量は比較的少なく、場合によって
はこの位置の酸液供給用ヘッダは省略することもでき
る。シールロール５とこの後流側のリンガーロール６と
の関係は、第４図に拡大して示すようにシールロール５
下面とリンガーロール６の挾圧面との間に高さＨの差を
設け、これによって帯鋼板１がシールロール６の下面に
接して走行するようにし、帯鋼板１の上面からのオーバ
ーフロー量が極力少なくなるようにするのがよい。
同図のように１つの槽に対して入口側パスライン上方、
パスライン下方および出口側パスラインの上方、同パス
ライン下方の４箇所にそれぞれオーバーフローする流れ
に対向するように設けられる。これによって帯鋼板１の
走行とともに酸液回収タンク13へ流れ出ようとする液の
量を少なくすることができる。なお出口側パスライン上
方位置には本実施例ではシールロール５が設置されてい
るのでオーバーフロー量は比較的少なく、場合によって
はこの位置の酸液供給用ヘッダは省略することもでき
る。シールロール５とこの後流側のリンガーロール６と
の関係は、第４図に拡大して示すようにシールロール５
下面とリンガーロール６の挾圧面との間に高さＨの差を
設け、これによって帯鋼板１がシールロール６の下面に
接して走行するようにし、帯鋼板１の上面からのオーバ
ーフロー量が極力少なくなるようにするのがよい。
次に、第１図の実施例では、通常この種の酸洗槽７に
設けられる槽上面全体の外カバー21のほかに、入口側ス
キッドの近くから出口側シールロール５直前の位置まで
のびる内カバー22が設けられている。第５図に示すよう
に内カバー22は上方に突出した長孔24をもつ吊手部材25
が固着され、外カバー21の裏面に設けられた軸26が前記
長孔24に挿入され、これによって内カバー22が外カバー
21に上下動可能に吊り下げられている。さらに酸洗槽７
の側部には、内カバー22と外カバー21との間の空間27に
連通するヒュームダクト28が槽長手方向に沿って伸長す
るように形成され、酸洗作業中に各槽７で発生した塩酸
ヒュームが内外カバー間の空間27からヒュームダクト28
を通って槽長手方向端部から排出されるようになってい
る。このような内カバー22を槽上端に接する如く設ける
ことにより槽内の塩酸ヒュームの発生量が少なくなり、
この塩酸ヒューム量の減少により全必要熱量のうちの約
15％を占めるヒューム熱損失を５％前後に抑えることが
できる。
設けられる槽上面全体の外カバー21のほかに、入口側ス
キッドの近くから出口側シールロール５直前の位置まで
のびる内カバー22が設けられている。第５図に示すよう
に内カバー22は上方に突出した長孔24をもつ吊手部材25
が固着され、外カバー21の裏面に設けられた軸26が前記
長孔24に挿入され、これによって内カバー22が外カバー
21に上下動可能に吊り下げられている。さらに酸洗槽７
の側部には、内カバー22と外カバー21との間の空間27に
連通するヒュームダクト28が槽長手方向に沿って伸長す
るように形成され、酸洗作業中に各槽７で発生した塩酸
ヒュームが内外カバー間の空間27からヒュームダクト28
を通って槽長手方向端部から排出されるようになってい
る。このような内カバー22を槽上端に接する如く設ける
ことにより槽内の塩酸ヒュームの発生量が少なくなり、
この塩酸ヒューム量の減少により全必要熱量のうちの約
15％を占めるヒューム熱損失を５％前後に抑えることが
できる。
（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、帯鋼板の流路と
分離して酸洗槽の出口側から入口側へ酸液の返流路を形
成し、帯鋼板の走行に伴なう液面の高低差を前記返流路
で平坦化することにより、酸洗槽全長にわたって所定の
液深が確保でき、とりわけ槽入口側での干上がりが起ら
ず、安定した酸洗作業を実施することができる。実施例
のように酸液供給用ヘッダとシールロールを併用して実
施することにより、液面の高低差はさらに小さくなり、
帯鋼板の速度200m/min.で酸液の流出量は従来の約1/2に
減少させることができ、流出量の減少に伴ない酸液循環
ポンプ容量および酸液量自体も軽減でき、省エネルギ化
が達成される。内カバーによる塩酸ヒュームの減少とと
もに全体として高効率、省エネルギ効果の連続酸洗装置
が得られる。
分離して酸洗槽の出口側から入口側へ酸液の返流路を形
成し、帯鋼板の走行に伴なう液面の高低差を前記返流路
で平坦化することにより、酸洗槽全長にわたって所定の
液深が確保でき、とりわけ槽入口側での干上がりが起ら
ず、安定した酸洗作業を実施することができる。実施例
のように酸液供給用ヘッダとシールロールを併用して実
施することにより、液面の高低差はさらに小さくなり、
帯鋼板の速度200m/min.で酸液の流出量は従来の約1/2に
減少させることができ、流出量の減少に伴ない酸液循環
ポンプ容量および酸液量自体も軽減でき、省エネルギ化
が達成される。内カバーによる塩酸ヒュームの減少とと
もに全体として高効率、省エネルギ効果の連続酸洗装置
が得られる。
第１図は本発明の第１の実施例による酸洗装置の側面断
面図、第２図（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施例の
概略的な上面図および横断面図、第３図（ａ），（ｂ）
は本発明のさらに第３の実施例の概略的な上面図および
横断面図、第４図は本発明における槽出口部分のシール
ロールとリンガーロール部分の概略的な拡大側面図、第
５図は内カバーを設けた本発明の実施例の横断面図、第
６図は従来の酸洗槽の入口部分における帯鋼板の干上が
り状態を示した側面断面図である。 １……帯鋼板、2,6……リンガーロール、 3,23……返流管、５……シールロール、 ７……酸洗槽、14……酸液供給用ヘッダ、 21……外カバー、22……内カバー、 33……仕切板、43……返流路。
面図、第２図（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施例の
概略的な上面図および横断面図、第３図（ａ），（ｂ）
は本発明のさらに第３の実施例の概略的な上面図および
横断面図、第４図は本発明における槽出口部分のシール
ロールとリンガーロール部分の概略的な拡大側面図、第
５図は内カバーを設けた本発明の実施例の横断面図、第
６図は従来の酸洗槽の入口部分における帯鋼板の干上が
り状態を示した側面断面図である。 １……帯鋼板、2,6……リンガーロール、 3,23……返流管、５……シールロール、 ７……酸洗槽、14……酸液供給用ヘッダ、 21……外カバー、22……内カバー、 33……仕切板、43……返流路。
Claims (1)
- 【請求項１】帯板の走行ラインに沿って配置された複数
の酸洗槽に対してその出口側の槽上縁に、該帯板を該槽
上縁に押し付けるシールロールを設けるとともに入口側
の槽上縁の近傍に、かつ、入口側槽上縁からの酸液のオ
ーバーフローに対向する方向から槽内へ向けて酸液を噴
射する酸液供給用ヘッダを付加し、さらに各酸洗槽の前
記入口側と前記出口側とをつなぐ返流路を形成したこと
を特徴とする帯鋼板の酸洗装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63287136A JP2775444B2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 帯鋼板の酸洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63287136A JP2775444B2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 帯鋼板の酸洗装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02133589A JPH02133589A (ja) | 1990-05-22 |
| JP2775444B2 true JP2775444B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=17713536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63287136A Expired - Lifetime JP2775444B2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 帯鋼板の酸洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2775444B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180030182A (ko) * | 2016-04-27 | 2018-03-21 | 프리메탈스 테크놀로지스 재팬 가부시키가이샤 | 산세 장치 및 그 산세 일시 정지 시 운전 방법 |
| KR20180030664A (ko) * | 2016-04-27 | 2018-03-23 | 프리메탈스 테크놀로지스 재팬 가부시키가이샤 | 산세 장치 |
Families Citing this family (7)
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|---|---|---|---|---|
| JPH07113157B2 (ja) * | 1990-11-15 | 1995-12-06 | 三菱重工業株式会社 | 噴流酸洗槽 |
| JP2785495B2 (ja) * | 1990-12-25 | 1998-08-13 | 住友金属工業株式会社 | 横型酸洗装置 |
| US5179967A (en) * | 1991-08-28 | 1993-01-19 | Nelson Steel | Apparatus for rinsing metal strip |
| BR9904905A (pt) | 1998-03-11 | 2007-02-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | dispositivo de decapagem por ácido |
| AT408765B (de) * | 1999-03-05 | 2002-03-25 | Andritz Ag Maschf | Anlage zur kontinuierlichen behandlung von stahlbändern |
| JP2015160148A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 日本カーボンエンジニアリング株式会社 | 洗浄装置 |
| JP6851522B1 (ja) * | 2020-03-18 | 2021-03-31 | 株式会社大気社 | 表面処理設備 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6279879U (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-21 |
-
1988
- 1988-11-14 JP JP63287136A patent/JP2775444B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180030182A (ko) * | 2016-04-27 | 2018-03-21 | 프리메탈스 테크놀로지스 재팬 가부시키가이샤 | 산세 장치 및 그 산세 일시 정지 시 운전 방법 |
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| JPH02133589A (ja) | 1990-05-22 |
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