JP2751376B2 - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
- Publication number
- JP2751376B2 JP2751376B2 JP10819289A JP10819289A JP2751376B2 JP 2751376 B2 JP2751376 B2 JP 2751376B2 JP 10819289 A JP10819289 A JP 10819289A JP 10819289 A JP10819289 A JP 10819289A JP 2751376 B2 JP2751376 B2 JP 2751376B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light receiving
- solid
- imaging device
- state imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
本発明は、ビデオカメラ又は医療用各種カメラ等の撮
影装置に使用される固体撮像素子に関するものである。
影装置に使用される固体撮像素子に関するものである。
一般に、この種の固体撮像素子は、種々の構成のもの
が知られており、基本的には例えば半導体ウエハから切
断したチップ状のシリコン基板上に多数個の受光素子群
を有し、その上面を透明な樹脂皮膜で覆ったものと、受
光素子群の上面に赤色、緑色及び青色からなる3色の色
相をずらして積層したカラーフィルター層を有する構成
のものとが知られている。更に、前記受光素子群の一部
をアルミニウム皮膜で被覆した構成のものも知られてい
る。いずれにしても、固体撮像素子の表面には表面層が
形成され、保護機能を付与した構成になっている。 例えば、アルミニウム皮膜を有し、且つカラーフィル
タ層を有する固体撮像素子としては、第4〜5図に示し
た構成を有している。同図において、1は例えば半導体
ウエハから所定の大きさに切断されたシリコン基板であ
り、該基板に多数の受光素子群2が設けられており、該
受光素子群の一部に所定厚さのアルミニウム皮膜3がフ
レーム状に被覆され、該アルミニウム皮膜3で囲まれた
内側に複数の色相のカラーフィルタ層4が設けられてい
る。前記アルミニウム皮膜3は、受光素子群2の一部を
遮光するために施されるものであり、この遮光された受
光素子群と前記カラーフィルタ層4で覆われている受光
素子群との間の電位差を見て、カラーフィルタ層4で覆
われている受光素子群が受光したかどうかを判定するよ
うになっている。 又、前記カラーフィルタ層4は、一般的に第5図に示
したようにして形成されている。即ち、アルミニウム皮
膜3が被覆された基板1上に第1層目の色相5を形成す
るためにゼラチンをスピンコートし、第1層目の色相と
して残す部分が露光される所定のパターンマスクを使用
して露光し現像すると、部分的に受光素子に対応する部
分が残り、その残った部分を公知の染色手段により例え
ば赤色に染色して第1層目の色相を形成する。次に透明
な樹脂をスピンコートして中間層6を形成し、表面を略
平坦にしてから第2層目の色相7を前記同様にして形成
する。この第2層目の色相7は緑色である。更に、前記
同様にして中間層8及び第3層目の青色の色相9が形成
され、その表面に保護を兼ねた透明な樹脂による表面層
10がスピンコートされている。尚、11は基板に設けられ
た複数の電極である。 そして、実際に使用される場合には、その1例として
第6図に示したようにして使用される。即ち、前記固体
撮像素子に所定のリード線12を接続し、所定のケース13
で全体を覆い、且つ該ケースの前面側、つまり固体撮像
素子の受光部側に、例えばガラス板等の透明な板材14を
施蓋して使用される。
が知られており、基本的には例えば半導体ウエハから切
断したチップ状のシリコン基板上に多数個の受光素子群
を有し、その上面を透明な樹脂皮膜で覆ったものと、受
光素子群の上面に赤色、緑色及び青色からなる3色の色
相をずらして積層したカラーフィルター層を有する構成
のものとが知られている。更に、前記受光素子群の一部
をアルミニウム皮膜で被覆した構成のものも知られてい
る。いずれにしても、固体撮像素子の表面には表面層が
形成され、保護機能を付与した構成になっている。 例えば、アルミニウム皮膜を有し、且つカラーフィル
タ層を有する固体撮像素子としては、第4〜5図に示し
た構成を有している。同図において、1は例えば半導体
ウエハから所定の大きさに切断されたシリコン基板であ
り、該基板に多数の受光素子群2が設けられており、該
受光素子群の一部に所定厚さのアルミニウム皮膜3がフ
レーム状に被覆され、該アルミニウム皮膜3で囲まれた
内側に複数の色相のカラーフィルタ層4が設けられてい
る。前記アルミニウム皮膜3は、受光素子群2の一部を
遮光するために施されるものであり、この遮光された受
光素子群と前記カラーフィルタ層4で覆われている受光
素子群との間の電位差を見て、カラーフィルタ層4で覆
われている受光素子群が受光したかどうかを判定するよ
うになっている。 又、前記カラーフィルタ層4は、一般的に第5図に示
したようにして形成されている。即ち、アルミニウム皮
膜3が被覆された基板1上に第1層目の色相5を形成す
るためにゼラチンをスピンコートし、第1層目の色相と
して残す部分が露光される所定のパターンマスクを使用
して露光し現像すると、部分的に受光素子に対応する部
分が残り、その残った部分を公知の染色手段により例え
ば赤色に染色して第1層目の色相を形成する。次に透明
な樹脂をスピンコートして中間層6を形成し、表面を略
平坦にしてから第2層目の色相7を前記同様にして形成
する。この第2層目の色相7は緑色である。更に、前記
同様にして中間層8及び第3層目の青色の色相9が形成
され、その表面に保護を兼ねた透明な樹脂による表面層
10がスピンコートされている。尚、11は基板に設けられ
た複数の電極である。 そして、実際に使用される場合には、その1例として
第6図に示したようにして使用される。即ち、前記固体
撮像素子に所定のリード線12を接続し、所定のケース13
で全体を覆い、且つ該ケースの前面側、つまり固体撮像
素子の受光部側に、例えばガラス板等の透明な板材14を
施蓋して使用される。
前記従来例においては、固体撮像素子の表面が透明な
樹脂皮膜、即ち表面層10によって覆われた構成であっ
て、その表面層10により表面の保護機能は有している。
しかしながら、前記表面層10は表面の電極部分を除く全
域に亘って被覆しており、当然のことながらアルミニウ
ム皮膜3の上面も中間層6,8及び表面層10で被覆されて
いる。この様な状態で使用すると、矢印aで示したよう
に、外部からの光が前記アルミニウム皮膜3で反射し、
更に板材14で反射して受光部側に入射する現象、即ち乱
反射の現象が生じ、それによって誤動作を行う虞があ
り、画像処理に不都合を生ずる。従って、従来例におい
ては使用時における乱反射の除去に課題を有している。
樹脂皮膜、即ち表面層10によって覆われた構成であっ
て、その表面層10により表面の保護機能は有している。
しかしながら、前記表面層10は表面の電極部分を除く全
域に亘って被覆しており、当然のことながらアルミニウ
ム皮膜3の上面も中間層6,8及び表面層10で被覆されて
いる。この様な状態で使用すると、矢印aで示したよう
に、外部からの光が前記アルミニウム皮膜3で反射し、
更に板材14で反射して受光部側に入射する現象、即ち乱
反射の現象が生じ、それによって誤動作を行う虞があ
り、画像処理に不都合を生ずる。従って、従来例におい
ては使用時における乱反射の除去に課題を有している。
前記従来例の課題を解決する具体的手段として本発明
は、基板上の受光部と電極部とを除く表面全部を遮光膜
で被覆したことを特徴とする固体撮像素子を提供するも
のであって、更に前記遮光膜は、前記基板上の受光部に
カラーフィルター層を設けたものにおいては、該カラー
フィルター層と電極部とを除く表面全部を被覆し、もし
くはカラーフィルターに遮光部(ブラックストライプも
しくはブラックマトリックス)を除くカラーフィルター
層と電極部とを除く表面全部を被覆し、且つその遮光膜
は感光性の樹脂をスピンコートし、パターンマスクを用
いて露光.現像した後黒色に染色するものであり、黒色
の遮光膜の形成によって入光する光の乱反射現象が解消
されるのである。また、アルミニウム皮膜と略同一の厚
さで透明樹脂層を形成することにより、アルミニウム皮
膜の段差を解消しているため、該アルミニウム皮膜上に
形成される遮光膜を所望部の形状で形成されているた
め、遮光精度がより一層増す。尚、理想的には以上の通
りであるが、実際にはアンプ部等のように、検査などの
用途で遮光できない場合もある。
は、基板上の受光部と電極部とを除く表面全部を遮光膜
で被覆したことを特徴とする固体撮像素子を提供するも
のであって、更に前記遮光膜は、前記基板上の受光部に
カラーフィルター層を設けたものにおいては、該カラー
フィルター層と電極部とを除く表面全部を被覆し、もし
くはカラーフィルターに遮光部(ブラックストライプも
しくはブラックマトリックス)を除くカラーフィルター
層と電極部とを除く表面全部を被覆し、且つその遮光膜
は感光性の樹脂をスピンコートし、パターンマスクを用
いて露光.現像した後黒色に染色するものであり、黒色
の遮光膜の形成によって入光する光の乱反射現象が解消
されるのである。また、アルミニウム皮膜と略同一の厚
さで透明樹脂層を形成することにより、アルミニウム皮
膜の段差を解消しているため、該アルミニウム皮膜上に
形成される遮光膜を所望部の形状で形成されているた
め、遮光精度がより一層増す。尚、理想的には以上の通
りであるが、実際にはアンプ部等のように、検査などの
用途で遮光できない場合もある。
次に本発明を図示の実施例により更に詳しく説明す
る。尚、理解を容易にするため従来例と同一部分には同
一符号を付してその詳細を省略する。 第1〜2図においては、1はシリコン基板であり、該
基板に多数の受光素子群2が設けられており、該受光素
子群の一部に所定厚さのアルミニウム皮膜3がフレーム
状に被覆され、該アルミニウム皮膜3で囲まれた内側に
複数の色相のカラーフィルタ層4が設けられている。 前記カラーフィルタ層4は、第2図に示したよう形成
されている。このカラーフィルタ層4を形成するに先立
って、前記アルミニウム皮膜3で囲まれた内側に略同じ
厚さの透明な樹脂層15を形成し、前記カラーフィルタ層
4が形成される領域において、アルミニウム皮膜3と基
板1との間の段差を実質的になくしてから、カラーフィ
ルタ層4を形成する。この様にアルミニウム皮膜3と透
明な樹脂層15とを同一厚さに形成することで、その透明
な樹脂層15の上部に光学的に優れたカラーフィルタ層4
が形成できるのである。この透明な樹脂層15の形成に当
たっては、前記所定厚さのアルミニウム皮膜3がフレー
ム状に被覆された後に、感光性の透明な樹脂をスピンコ
ートし、カラーフィルタ層4が形成される領域のみが露
光するパターンマスクを使用して露光し、次に現像して
カラーフィルタ層4が形成される領域にのみ透明な樹脂
層15を形成する。 このようにして形成された透明な樹脂層15の上部に従
来例と同様な手段によりカラーフィルタ層4が形成され
る。即ち、アルミニウム皮膜3と透明な樹脂層15の上部
に第1層目の色相7を形成するためにゼラチンをスピン
コートし、第1層目の色相として残す部分が露光される
所定のパターンマスクを使用して露光し現像すると、部
分的に受光素子に対応する部分が残る。その残った部分
を公知の染色手段により緑色に染色して第1層目の色相
7を形成し、その上部に透明な樹脂をスピンコートして
中間層6を形成し、表面を略平坦にする。 次に前記同様の手段により第2層目の色相5を形成す
る。この第2層目の色相5は赤色である。更に、前記同
様にして中間層8及び第3層目の青色の色相9が順次積
層して形成され、その表面に保護を兼ねた表面層10がス
ピンコートされる。 このように、カラーフィルタ層4が形成される領域に
透明な樹脂層15を形成することによって、アルミニウム
皮膜3と基板1との間の段差をなくし、その透明な樹脂
層15の上部に色相及び中間層を順次積層することによ
り、特にアルミニウム皮膜3の境界部分に近接して形成
される色相の厚みが全体的に均一になり、該色相を通過
する光の屈折率に大きな変化がなくなり、光学的に優れ
たカラーフィルタ層となるのである。 次に、前記表面層10の上部に感光性の樹脂をスピンコ
ートして、所定厚さの皮膜を形成し、前記カラーフィル
タ層4の遮光所望部以外の領域、アンプ部17及び電極11
の部分を除いて、他の全部の表面が露光されるパターン
マスクを使用して露光し、その後現像することにより前
記カラーフィルター層4の遮光所望部以外の領域、アン
プ部17及び電極11の部分の皮膜が除去される。そして、
残った皮膜部分を黒色に染色することで黒色の遮光膜16
が形成されるのである。この遮光膜16は、前記アルミニ
ウム皮膜3に対応する部分に形成できれば充分である
が、この場合に、前記遮光所望部以外の領域と云うの
は、例えばカラーフィルター層4を形成する各色相に対
応する部分であり、この部分の皮膜が除去されることに
より、各色相の境界部分に対応する皮膜、即ち遮光部16
a(ブラックストライプもしくはブラックマトリック
ス)も同時に形成できることも意味するのである。 尚、前記アルミニウム皮膜3の厚みは6000〜11000Å
であり、前記緑色及び赤色の色相7,5並びに、前記遮光
膜16の染色前の厚みは10000〜13000Åで、染色後の厚み
が15000〜16000Åとなる。又、前記青色の色相9は、染
色前の厚みが約4000Åであり、染色後の厚みは約6000Å
となっている。更に、各中間層6,8及び表面層10の厚み
は10000〜11000Åである。 このように構成された本発明の固体撮像素子を、従来
例と同様に使用した例を第3図に示してある。同図にお
いて、前記固体撮像素子に所定のリード線12を接続し、
所定のケース13で全体を覆い、且つ該ケースの前面側、
つまり固体撮像素子の受光部側に、ガラス板等の透明な
板材14を施蓋して使用に供される。このように使用され
ても、入射する外光の内、受光部即ちカラーフィルタ層
4を除く他の部分に入射する光aが、例えばアルミニウ
ム皮膜3に対応する部分に入射しても、前記黒色の遮光
膜16により吸収されて、乱反射が全く生じなくなり、受
光素子の誤動作が全面的に解消できるのである。
る。尚、理解を容易にするため従来例と同一部分には同
一符号を付してその詳細を省略する。 第1〜2図においては、1はシリコン基板であり、該
基板に多数の受光素子群2が設けられており、該受光素
子群の一部に所定厚さのアルミニウム皮膜3がフレーム
状に被覆され、該アルミニウム皮膜3で囲まれた内側に
複数の色相のカラーフィルタ層4が設けられている。 前記カラーフィルタ層4は、第2図に示したよう形成
されている。このカラーフィルタ層4を形成するに先立
って、前記アルミニウム皮膜3で囲まれた内側に略同じ
厚さの透明な樹脂層15を形成し、前記カラーフィルタ層
4が形成される領域において、アルミニウム皮膜3と基
板1との間の段差を実質的になくしてから、カラーフィ
ルタ層4を形成する。この様にアルミニウム皮膜3と透
明な樹脂層15とを同一厚さに形成することで、その透明
な樹脂層15の上部に光学的に優れたカラーフィルタ層4
が形成できるのである。この透明な樹脂層15の形成に当
たっては、前記所定厚さのアルミニウム皮膜3がフレー
ム状に被覆された後に、感光性の透明な樹脂をスピンコ
ートし、カラーフィルタ層4が形成される領域のみが露
光するパターンマスクを使用して露光し、次に現像して
カラーフィルタ層4が形成される領域にのみ透明な樹脂
層15を形成する。 このようにして形成された透明な樹脂層15の上部に従
来例と同様な手段によりカラーフィルタ層4が形成され
る。即ち、アルミニウム皮膜3と透明な樹脂層15の上部
に第1層目の色相7を形成するためにゼラチンをスピン
コートし、第1層目の色相として残す部分が露光される
所定のパターンマスクを使用して露光し現像すると、部
分的に受光素子に対応する部分が残る。その残った部分
を公知の染色手段により緑色に染色して第1層目の色相
7を形成し、その上部に透明な樹脂をスピンコートして
中間層6を形成し、表面を略平坦にする。 次に前記同様の手段により第2層目の色相5を形成す
る。この第2層目の色相5は赤色である。更に、前記同
様にして中間層8及び第3層目の青色の色相9が順次積
層して形成され、その表面に保護を兼ねた表面層10がス
ピンコートされる。 このように、カラーフィルタ層4が形成される領域に
透明な樹脂層15を形成することによって、アルミニウム
皮膜3と基板1との間の段差をなくし、その透明な樹脂
層15の上部に色相及び中間層を順次積層することによ
り、特にアルミニウム皮膜3の境界部分に近接して形成
される色相の厚みが全体的に均一になり、該色相を通過
する光の屈折率に大きな変化がなくなり、光学的に優れ
たカラーフィルタ層となるのである。 次に、前記表面層10の上部に感光性の樹脂をスピンコ
ートして、所定厚さの皮膜を形成し、前記カラーフィル
タ層4の遮光所望部以外の領域、アンプ部17及び電極11
の部分を除いて、他の全部の表面が露光されるパターン
マスクを使用して露光し、その後現像することにより前
記カラーフィルター層4の遮光所望部以外の領域、アン
プ部17及び電極11の部分の皮膜が除去される。そして、
残った皮膜部分を黒色に染色することで黒色の遮光膜16
が形成されるのである。この遮光膜16は、前記アルミニ
ウム皮膜3に対応する部分に形成できれば充分である
が、この場合に、前記遮光所望部以外の領域と云うの
は、例えばカラーフィルター層4を形成する各色相に対
応する部分であり、この部分の皮膜が除去されることに
より、各色相の境界部分に対応する皮膜、即ち遮光部16
a(ブラックストライプもしくはブラックマトリック
ス)も同時に形成できることも意味するのである。 尚、前記アルミニウム皮膜3の厚みは6000〜11000Å
であり、前記緑色及び赤色の色相7,5並びに、前記遮光
膜16の染色前の厚みは10000〜13000Åで、染色後の厚み
が15000〜16000Åとなる。又、前記青色の色相9は、染
色前の厚みが約4000Åであり、染色後の厚みは約6000Å
となっている。更に、各中間層6,8及び表面層10の厚み
は10000〜11000Åである。 このように構成された本発明の固体撮像素子を、従来
例と同様に使用した例を第3図に示してある。同図にお
いて、前記固体撮像素子に所定のリード線12を接続し、
所定のケース13で全体を覆い、且つ該ケースの前面側、
つまり固体撮像素子の受光部側に、ガラス板等の透明な
板材14を施蓋して使用に供される。このように使用され
ても、入射する外光の内、受光部即ちカラーフィルタ層
4を除く他の部分に入射する光aが、例えばアルミニウ
ム皮膜3に対応する部分に入射しても、前記黒色の遮光
膜16により吸収されて、乱反射が全く生じなくなり、受
光素子の誤動作が全面的に解消できるのである。
以上説明したように本発明に係る固体撮像素子は、基
板上の受光部と電極部とを除く表面全部を遮光膜で被覆
した構成にすることによって、固体撮像素子の受光部以
外に入射した外光が、前記遮光膜で吸収され、受光部近
傍における外光による乱反射がなくなって、誤動作を生
じさせないと云優れた効果を奏する。 又、前記遮光膜は、前記基板上の受光部にカラーフィ
ルター層を設けたものにおいても、該カラーフィルター
層と電極部とを除く表面全部を被覆してあるので、それ
によって前記同様に受光部近傍における乱反射現象を解
消させ、誤動作を生じさせないと云う優れた効果を奏す
る。そして、前記遮光膜は平滑面上の所望箇所に形成さ
れているため、外光の入射を必要とする所のみとするこ
とができる。 更に、前記遮光膜は感光性の樹脂をスピンコートし、
パターンマスクを用いて露光.現像した後黒色に染色す
るものであり、遮光膜の形成が正確に且つ簡単に形成で
きると云う優れた効果も奏する。 更に又、カラーフィルター層の遮光所望部に遮光部
(ブラックストライプもしくはブラックマトリックス)
を形成する場合には、前記遮光膜と同時に形成すること
ができ、工程を増やすことなく簡単に実施することがで
きるなどの種々の優れた効果も奏する。
板上の受光部と電極部とを除く表面全部を遮光膜で被覆
した構成にすることによって、固体撮像素子の受光部以
外に入射した外光が、前記遮光膜で吸収され、受光部近
傍における外光による乱反射がなくなって、誤動作を生
じさせないと云優れた効果を奏する。 又、前記遮光膜は、前記基板上の受光部にカラーフィ
ルター層を設けたものにおいても、該カラーフィルター
層と電極部とを除く表面全部を被覆してあるので、それ
によって前記同様に受光部近傍における乱反射現象を解
消させ、誤動作を生じさせないと云う優れた効果を奏す
る。そして、前記遮光膜は平滑面上の所望箇所に形成さ
れているため、外光の入射を必要とする所のみとするこ
とができる。 更に、前記遮光膜は感光性の樹脂をスピンコートし、
パターンマスクを用いて露光.現像した後黒色に染色す
るものであり、遮光膜の形成が正確に且つ簡単に形成で
きると云う優れた効果も奏する。 更に又、カラーフィルター層の遮光所望部に遮光部
(ブラックストライプもしくはブラックマトリックス)
を形成する場合には、前記遮光膜と同時に形成すること
ができ、工程を増やすことなく簡単に実施することがで
きるなどの種々の優れた効果も奏する。
第1図は本発明に係る固体撮像素子の平面図、第2図は
第1図のII−II線に沿う略示的拡大断面図、第3図は同
固体撮像素子の1使用例を示す略示的断面図、第4図は
従来例の固体撮像素子の平面図、第5図は第4図のV−
V線に沿う略示的拡大断面図、第6図は同従来例の固体
撮像素子の1使用例を示す略示的断面図である。 1……基板、2……受光素子群 3……アルミニウム皮膜 4……カラーフィルタ層 5……赤色の色相、6,8……中間層 7……緑色の色相、9……青色の色相 10……表面層、11……電極 12……リード線、13……ケース 14……透明な板材、15……透明な樹脂層 16……遮光膜、16a……遮光部 17……アンプ部
第1図のII−II線に沿う略示的拡大断面図、第3図は同
固体撮像素子の1使用例を示す略示的断面図、第4図は
従来例の固体撮像素子の平面図、第5図は第4図のV−
V線に沿う略示的拡大断面図、第6図は同従来例の固体
撮像素子の1使用例を示す略示的断面図である。 1……基板、2……受光素子群 3……アルミニウム皮膜 4……カラーフィルタ層 5……赤色の色相、6,8……中間層 7……緑色の色相、9……青色の色相 10……表面層、11……電極 12……リード線、13……ケース 14……透明な板材、15……透明な樹脂層 16……遮光膜、16a……遮光部 17……アンプ部
フロントページの続き 合議体 審判長 張谷 雅人 審判官 橋本 武 審判官 河口 雅英 (56)参考文献 特開 昭63−161667(JP,A) 特開 昭60−261278(JP,A) 特開 昭60−32487(JP,A) 特開 昭60−10671(JP,A) 特開 昭55−19885(JP,A)
Claims (4)
- 【請求項1】受光素子及び電極部が形成されている基板
上には、前記受光素子のうち一部の受光素子上に形成さ
れているアルミニウム皮膜と、該アルミニウム皮膜が形
成されていない受光素子からなる受光素子群上に、前記
アルミニウム皮膜と略同一な厚さに形成された透明な樹
脂層とを有しており、該受光素子群上には、複数の色相
のカラーフィルター層が前記透明な樹脂層を介して形成
されており、更に、重ねて形成されている透明な樹脂か
らなる表面層によって、該カラーフィルター層上及びア
ルミニウム皮膜上の全面が略平滑面を構成しており、略
平滑面上において、前記受光素子群上の所望箇所及び前
記電極部とを除く表面全部が遮光膜で被覆されているこ
とを特徴とする固体撮像素子。 - 【請求項2】前記基板上に、アンプ部が形成されている
とともに、該アンプ部上を除いて遮光膜が被覆されてい
ることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。 - 【請求項3】前記複数の色相が可染性樹脂を染色するこ
とによって形成されているとともに、各色相が、透明な
樹脂からなる中間層によって隔てられており、かつ、中
間層が、アルミニウム皮膜上にわたって形成されている
ことを特徴とする請求項1乃至2記載の固体撮像素子。 - 【請求項4】前記遮光膜が、感光性の樹脂をスピンコー
トし、パターンマスクを用いて露光、現像した後黒色に
染色することにより形成されていることを特徴とする請
求項1乃至4記載の固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10819289A JP2751376B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10819289A JP2751376B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 固体撮像素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02285676A JPH02285676A (ja) | 1990-11-22 |
JP2751376B2 true JP2751376B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=14478339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10819289A Expired - Lifetime JP2751376B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2751376B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP3542864B2 (ja) * | 1995-12-18 | 2004-07-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光半導体素子の製造方法 |
US20070058055A1 (en) * | 2003-08-01 | 2007-03-15 | Takumi Yamaguchi | Solid-state imaging device, manufacturing method for solid-state imaging device, and camera using the same |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPS6010671A (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-19 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JPS6032487A (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-19 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP10819289A patent/JP2751376B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02285676A (ja) | 1990-11-22 |
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