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JP2727368B2 - Ｘｙテーブル - Google Patents

Ｘｙテーブル

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JP2727368B2
JP2727368B2 JP2000025A JP2590A JP2727368B2 JP 2727368 B2 JP2727368 B2 JP 2727368B2 JP 2000025 A JP2000025 A JP 2000025A JP 2590 A JP2590 A JP 2590A JP 2727368 B2 JP2727368 B2 JP 2727368B2
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JP
Japan
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upper table
feed
drive
base
lower table
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JP2000025A
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信人 山崎
稔 鳥畑
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Shinkawa Ltd
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Shinkawa Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はXYテーブルに関する。
［従来の技術］ 例えば、半導体組立装置の製造に用いるボンデイング
装置は、平面二次元方向に移動するXYテーブル上にボン
デイングヘッドが搭載されている。前記XYテーブルは、
平面二次元方向の一方に移動可能な下部テーブルと、こ
の下部テーブル上に設けられ平面二次元方向の他方に移
動可能な上部テーブルとを備えている。
従来、下部テーブルの送りねじ等の送り駆動手段に上
部テーブルの送りに対して生じる力が負荷として加わる
ことにより下部テーブルの送り系に悪影響を与えること
を防止するため、例えば特公昭59−52540号公報、特公
平１−41466号公報に開示されたXYテーブルが知られて
いる。
この構造は、上部テーブルの送りのために、上部テー
ブルの送り方向と同一の方向に移動可能な上部テーブル
駆動機構が下部テーブル及び上部テーブルの側方に隣接
する形で配置されている。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、上部テーブル駆動機構が下部テーブ
ル及び上部テーブルの側方に隣接する形で配置されてい
るので、特にボンデイング装置に用いた場合にはXYテー
ブルの設置面積が増えるという問題点があった。
本発明の目的は、設置面積の少ない小型なXYテーブル
を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、基台に設けられ平面二次元方向の一方に
移動可能な下部テーブルと、この下部テーブル上に設け
られ平面二次元方向の他方に移動可能な上部テーブル
と、この上部テーブルの上方を跨いで前記基台に設けら
れた架台に支持され、前記上部テーブルの上方を該上部
テーブルの移動方向に沿って直線的に移動可能な上部テ
ーブル駆動台と、前記下部テーブルの送り駆動手段と、
前記上部テーブル駆動台の送り駆動手段と、前記上部テ
ーブル駆動台の移動を前記上部テーブルに伝達すると共
に、前記上部テーブルが前記下部テーブルの移動方向に
移動可能に前記上部テーブルと前記上部テーブル駆動台
とを連結する連結手段とを備えた構成により達成され
る。
［作用］ 下部テーブルは該下部テーブルの送り駆動手段によっ
て平面二次元方向の一方の方向（Ｘ方向）に送られる。
上部テーブルは下部テーブルに載架されているので、下
部テーブルのＸ方向の動作に伴って移動する。また上部
テーブル駆動台の送り駆動手段によって上部テーブル駆
動台が平面二次元方向の他方の方向（Ｙ方向）に送られ
る。上部テーブル駆動台のＹ方向の動きは連結手段を介
して上部テーブルに伝達される。即ち、下部テーブルの
Ｘ方向の送りと上部テーブル駆動台のＹ方向の送りとに
よって上部テーブルは任意の平面二次元方向に移動させ
られる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。基台１
の上面には架台２が固定されており、架台２には、互い
に平行で、かつ図中Ｘ方向に延在して配置された一対の
ガイドレール３、３が固定されている。一対のガイドレ
ール３、３の内側には、ボール又はローラ４、４を介し
て直線的に移動可能に下部テーブル５が支持されてい
る。下部テーブル５の上面には、同様に互いに平行で前
記ガイドレール３、３と直交する図中Ｙ方向に延在して
配置された一対のガイドレール６、６が固定されてい
る。一対のガイドレール６、６の内側には、ボール又は
ローラ７、７を介して下部テーブル５の移動方向と直交
するＹ方向に直線的に移動可能に上部テーブル８が支持
されている。
また基台１の上面には、前記上部テーブル８を跨ぐよ
うに架台15が固定されており、架台15の上部には、上部
テーブル８の移動方向（Ｙ方向）と同一方向に延在して
互いに平行に配置された一対のガイドレール16、16が固
定されている。一対のガイドレール16、16の内側にはボ
ール又はローラ17、17を介して上部テーブル駆動台18が
上部テーブル８の移動方向に沿って移動可能に支持され
ている。
前記上部テーブル８の上面には、下部テーブル５の移
動方向（Ｘ方向）に延在するガイド部材25が固定されて
いる。またガイド部材25の直上にある上部テーブル駆動
台18には、ガイド部材25を挟持するように配設された２
個一対のカムフオロア26、26が回転可能に支承され、上
部テーブル駆動台18の送り動作を上部テーブル８の送り
動作とすることができるようになっている。
架台２には、下部テーブル５の移動方向（Ｘ方向）に
沿って設けられた送りねじ30が軸受31、32によって回転
可能に支持されており、送りねじ30は、図示しない制御
装置によって制御される送りモータ33の出力軸33aとカ
ップリング34によって連結されている。送りねじ30に
は、下部テーブル５に固定された送りナット35に螺合し
ている。従って、送りモータ33の回転によって下部テー
ブル５をＸ方向に移動させることができる。
また架台15の上部には匡体19が固定されており、匡体
19には上部テーブル駆動台18の移動方向（Ｙ方向）に沿
って設けられた送りねじ40が軸受41、42によって回転可
能に支持されている。送りねじ40は図示しない制御装置
によって制御される送りモータ43の出力軸43aとカップ
リング44によって連結されている。送りねじ40には上部
テーブル駆動台18に固定された送りナット45が螺合して
いる。従って、送りモータ43の回転によって上部テーブ
ル駆動台18をＹ方向に移動させることができる。
次にかかる構成よりなるXYテーブルの作用について説
明する。下部テーブル５の送り動作は周知の送りねじ機
構によるもので、送りモータ33が図示しない制御装置か
ら与えられる指令に基づき回転すると、その回転に応じ
た直線量の送りが得られる。上部テーブル８は下部テー
ブル５に載架されているので、下部テーブル５のＸ方向
の動作に伴って移動を行う。前記したように下部テーブ
ル５のＸ方向の移動によって上部テーブル８がＸ方向に
移動し、上部テーブル８に固定されたガイド部材25がＸ
方向に移動しても、ガイド部材25はＸ方向に延在してい
るので、ガイド部材25は該ガイド部材25の延在方向に移
動することになり、カムフォロア26、26は単に回転する
のみで上部テーブル駆動台18をＸ方向に移動させること
はない。
そして、送りモータ43が同様に図示しない制御装置か
ら与えられる指令に基づいて回転すると、周知の送りね
じ機構により上部テーブル駆動台18に所望の直線量の送
りが得られる。この送り動作は、２個のカムフオロア2
6、26及びガイド部材25を介して上部テーブル８を下部
テーブル５に対する直交したＹ方向の移動動作となる。
通常、ボンデイング装置では、ボンデイングヘッドが
XYテーブルの上部テーブル８に設けられており、下部テ
ーブル５によって上部テーブル８のＸ方向の送り動作及
び上部テーブル８のＹ方向の送り動作によって所望のボ
ンデイング作業を行う。
このように、上部テーブル８を送る上部テーブル送り
駆動手段、即ち送りねじ40、送りモータ43、送りナット
45等は、下部テーブル５上に設けられていないので、従
来例と同様に下部テーブル５の送り系に悪影響を与える
ことがない。また上部テーブル８の上方に跨ぐように架
台15が設けられ、この架台15に上部テーブル８を駆動す
る送りねじ40、送りモータ43、送りナット45等の上部テ
ーブル送り駆動手段が設けられた立体的な重ね合せ形で
あるので、XYテーブルの設置面積を最小にすることがで
きる。
なお、上記実施例においては、下部テーブル５及び上
部テーブル駆動台18の送り駆動手段としてねじ機構を用
いた場合について説明したが、特公平１−41466号公報
のように非回転直進する送り駆動手段を用いてもよい。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、上
部テーブルの送り駆動手段を上部テーブルの上方に立体
的に重ね合わせる形で配置してなるので、設置面積が小
さく、小型化される。
【図面の簡単な説明】
図は本発明になるXYテーブルの一実施例を示し、第１図
は正面断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線側面断面図、
第３図は平面図、第４図は第１図のＢ−Ｂ線平面断面図
である。 1:基台、5:下部テーブル、8:上部テーブル、15:架台、1
8:上部テーブル駆動台、25:ガイド部材、26:カムフオロ
ア、30:送りねじ、33:送りモータ、35:送りナット、40:
送りねじ、43:送りモータ、45:送りナット。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基台に設けられ平面二次元方向の一方に移
    動可能な下部テーブルと、この下部テーブル上に設けら
    れ平面二次元方向の他方に移動可能な上部テーブルと、
    この上部テーブルの上方を跨いで前記基台に設けられた
    架台に支持され、前記上部テーブルの上方を該上部テー
    ブルの移動方向に沿って直線的に移動可能な上部テーブ
    ル駆動台と、前記下部テーブルの送り駆動手段と、前記
    上部テーブル駆動台の送り駆動手段と、前記上部テーブ
    ル駆動台の移動を前記上部テーブルに伝達すると共に、
    前記上部テーブルが前記下部テーブルの移動方向に移動
    可能に前記上部テーブルと前記上部テーブル駆動台とを
    連結する連結手段とを備えたXYテーブル。
JP2000025A 1990-01-04 1990-01-04 Ｘｙテーブル Expired - Lifetime JP2727368B2 (ja)

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