JP2659581B2 - リニアモータ装置におけるエアギャップの調整装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、一次側及び二次側導体を構成する固定子
及び可動子によって構成し、一次側導体に供給される駆
動電源により可動子を固定子の軸線に沿って走行駆動す
るようにしたリニアモータ装置に関し、特に、固定子と
可動子間の所定エアギャップを確保するための技術に関
するものである。さらに、本発明は、リニアモータ装置
を駆動装置とするエレベータ装置に関するものである。

［従来の技術］ 特開昭59−64490には、リニアモータを駆動源とする
エレベータ装置が提案されている。このエレベータ装置
においては、建物に取り付けた一次側ステータと、この
ステータに近接し、昇降篭又はカウンターウエイトを懸
架し、ステータの磁力により上下方向に駆動されてリニ
アモータの二次導体として機能する少くとも一本のテー
プ状金属体を具えた、所謂平板状形リニアモータが用い
られている。

また、特開昭57−121568には、中空円筒形に形成した
一次側コイルとこの一次側コイルに貫通した導体によっ
て構成された所謂円筒形（トロイダル型）リニアモータ
を用いたエレベータ装置が示されている。

［発明の解決しようとする課題］ いずれの場合においても、リニアモータの一次側及び
二次側を構成する固定子と可動子の対向面間には、所定
のエアギャップが確保されていなければならない。ま
た、地震等によって、可動子と固定子に相対変位が生じ
た場合、可動子と固定子の接触により破損、断線等が懸
念される。

固定子と可動子間の最小エアギャップを確保する目的
のみを考慮すれば、ある種のスペーサを用いて固定子と
可動子の相対動作を規制すれば、少なくとも、固定子と
可動子の接触は回避することが可能である。しかしなが
ら、リニアモータをエレベータの駆動源として用いた場
合、スペーサと固定子間の、駆動子走行中における接触
による走行ノイズを発生する恐れがあり、この摺動音に
よって、エレベータ昇降篭の乗り心地を悪化させてしま
う恐れがある。

そこで、本発明の目的は、走行時における走行ノイズ
が低減でき、しかも最小エアギャップをいかなる運転状
態でも確実に確保することの出来るエアギャップの調整
装置を提供しようとするものである。

さらに、本発明の他の目的は、固定子に付着する塵
埃、金属粉等を拭掃出来るようにした、リニアモータの
エアギャップの調整装置を提供しようとするものであ
る。

［問題点を解決するための手段］ そこで、本発明の第一の構成によれば、所定の走行軸
線にそって配設され、一次側又は二次側導体として機能
する固定子と、該固定子に所定間隔のエアギャップを存
して対向するとともに二次側又は一次側導体として機能
する可動子とで構成され、一次側導体として機能する固
定子又は可動子に対して供給される駆動電源を磁気駆動
力に変換して、可動子を前記走行軸線に沿って走行させ
るようにしたリニアモータ装置において、前記可動子の
少なくとも軸線方向一側端部又は端部近傍に、前記固定
子の可動子対向面に滑動接触する接触部を有する弾性体
を離脱可能に取り付けて、該弾性体によって前記エアギ
ャップを所定の最小間隙以上に維持することを特徴とす
るリニアモータ装置のエアギャップ調整装置が提供され
る。

また、本発明の第二の構成によれば、昇降路内に配設
され、所定走行軸線にそって走行する昇降篭と、該昇降
篭とロープを介して連結され前記昇降篭の走行軸線と実
質的に平行な走行軸線に沿って走行するカウンタウエイ
トと、前記昇降篭と前記カウンタウエイトの少なくとも
一方を走行駆動するエレベータ装置の駆動装置とによっ
て構成されたエレベータ装置において、前記駆動装置
は、所定の走行軸線にそって配設され、一次側又は二次
側導体として機能する固定子と、該固定子に所定間隔の
エアギャップを存して対向するとともに二次側又は一次
側導体として機能する可動子とで構成され、一次側導体
として機能する固定子又は可動子に対して供給される駆
動電源を磁気駆動力に変換して、可動子を前記走行軸線
に沿って走行させるようにしたリニアモータ装置で構成
されており、該リニアモータ装置は前記可動子の少なく
とも軸線方向一側端部又は端部近傍に、前記固定子の可
動子対向面に滑動接触する接触部を有する弾性体を離脱
可能に取り付けて、該弾性体によって前記エアギャップ
を所定の最小間隙以上に維持するように構成したことを
特徴とするエレベータ駆動用リニアモータ装置のエアギ
ャップ調整装置が提供される。

さらに、本発明の第三の構成によれば、所定の走行軸
線にそって配設され、一次側又は二次側導体として機能
する円筒状の固定子と、該円筒状固定子に対して同心円
状に配設されるとともに所定間隔のエアギャップを存し
て対向し、さらに二次側又は一次側導体として機能する
環状可動子とで構成され、一次側導体として機能する固
定子又は可動子に対して供給される駆動電源を磁気駆動
力に変換して、可動子を前記走行軸線に沿って走行させ
るようにしたトロイダル型リニアモータ装置において、
前記可動子の少なくとも軸線方向一側端部又は端部近傍
に、前記固定子の可動子対向面の略全周に滑動接触する
接触部を有する弾性体を離脱可能に取り付けて、該弾性
体によって前記エアギャップを所定の最小間隙以上に維
持することを特徴とするリニアモータ装置のエアギャッ
プ調整装置が提供される。

またさらに、本発明の第四の構成によれば、昇降路内
に配設され、所定走行軸線にそって走行する昇降篭と、
該昇降篭とロープを介して連結され前記昇降篭の走行軸
線と実質的に平行な走行軸線に沿って走行するカウンタ
ウエイトと、前記昇降篭と前記カウンタウエイトの少な
くとも一方を走行駆動するエレベータ装置の駆動装置と
によって構成されたエレベータ装置において、前記駆動
装置は、所定の走行軸線にそって配設され、一次側又は
二次側導体として機能する円筒状固定子と、該円筒状固
定子に対して同心円状でかつ所定間隔のエアギャップを
存して対向するとともに二次側又は一次側導体として機
能する環状可動子とで構成され、一次側導体として機能
する固定子又は可動子に対して供給される駆動電源を磁
気駆動力に変換して、可動子を前記走行軸線に沿って走
行させるようにしたトロイダル型リニアモータ装置で構
成されており、該リニアモータ装置は前記可動子の少な
くとも軸線方向一側端部又は端部近傍に、前記固定子の
可動子対向面全周に滑動接触する接触部を有する弾性体
を離脱可能に取り付けて、該弾性体によって前記エアギ
ャップを所定の最小間隙以上に維持するように構成した
ことを特徴とするエレベータ駆動用リニアモータ装置の
エアギャップ調整装置が提供される。

なお、上記の第一乃至第四の構成において、前記の弾
性体の前記固定子接触部には、拭掃材が添着することが
望ましい。また、望ましくは、前記弾性体に添着された
拭掃材が、フェルト又はこれに類する織布又は不織布で
ある。

また、本発明の好適な構成によれば、前記弾性体は、
環状の金属性ステイ部材に接着されており、前記ステイ
部材は、前記可動子のケーシングに着脱自在に取り付け
ればよい。前記弾性体の前記固定子対向面には、一以上
の可動子の軸線と直行する方向に、前記弾性体の全長に
亙って延びる突出部が形成されており、この突出部の頂
部が前記接触部を構成する。さらに、前記弾性体は、中
空の環状部材によって形成されており、前記弾性体の中
空室内には気相又液相の流体が封入する。

前記弾性体は、軟質ゴム、発泡ウレタン等の軟質弾性
材料で形成されている。

［作用］ 上記の第一乃至第四の構成において、弾性体は、常時
固定子との接触を保持しつつ可動子とともに走行する。
なお、リニアモータ装置においては、通電中は固定子と
可動子間に誘電磁界が発生しているので、固定子と可動
子の間の相対変位量がエアギャップを所定の最小間隔以
下に縮小する程度となることはないので、通常の走行状
態において、弾性体は、単に固定子の対向面に接触を維
持する程度の力で固定子に当たっていればよいので、こ
の弾性体の存在が、可動子の走行抵抗となることは殆ど
ないものである。

また、弾性体の接触部に、フェルト等の織布、不織布
等の拭掃材を添着することによって、弾性体と固定子表
面の接触による騒音レベルが低減できるとともに、固定
子表面に付着する、塵埃、固定子の摩耗による金属粉等
を拭掃することが出来る。

［実 施 例］ 以下に、本発明の好適実施例によるリニアモータ装置
を用いたエレベータ装置を添付する図面を参照しながら
説明する。

第１図は、本発明の好適実施例によるリニアモータ装
置を動力源として用いるエレベータ装置の構成を示して
いる。図示の構成によれば、昇降路内に一対のガイドレ
ール7a、7bが相互に平行に設けられ、昇降篭４はこのガ
イドレール7a、7bにガイドローラ９を嵌合させて、この
ガイドレールにそって走行する。昇降篭４は、全面に入
り口開口4aが形成され、この入り口開口4aを、ドア4bに
よって開閉する構成となっている。

昇降路内には更にもう一対のガイドレール8a、8bが、
ガイドレール7a、7bと平行に設けられている。このガイ
ドレール8a、8bには、昇降篭４と、上部支持フレーム12
に回転可能に支承されたシーブ５に捲回されたロープ６
を介して接続されたカウンタウエイトユニット３が案内
されている。

カウンタウエイトユニット３は、ガイドレール8a、8b
に嵌合するガイドローラ3bによってガイドレールに沿っ
て走行するカウンタウエイトフレーム3aと、このカウン
タウエイトフレームに搭載されたウエイト２、及び緊急
停止及びフロア停止用のブレーキユニット16とで構成さ
れている。第１図に示すように、ウエイト２は、カウン
タウエイトフレーム3aの幅方向両側に分割配置されてお
り、このカウンタウエイトフレームの幅方向中央部に
は、カウンタウエイトユニット３を走行駆動することに
よって、昇降篭４を昇降駆動するリニアモータ装置の一
次側可動子として機能するコイルユニット１が固定取り
付けされている。このコイルユニット１は、図示しない
給電ケーブルに接続され、周知の制御回路より供給され
る駆動電源によって励起されて誘電磁界を発生する。

本実施例において、コイルユニット１は、環状筒型に
形成されており、コイルユニットの中央孔には、リニア
モータの二次側固定子を構成するカラム10が挿通されて
いる。このカラム10は、上端を上部支持フレーム12に、
枢支部材13を介して回動可能に取り付けられ、下端を弾
性支持部材14を介して、弾性的に張力を付与されて、通
常垂直状態に保持されているとともに、張力を越える外
力が入力されたときに側方向に上端の枢支点を中心に回
動可能に支持されている。

なお、カウンタウエイトフレーム3aの上下端部の少な
くとも一方には、コイルユイット１とカラム10の対向面
に形成されるエアギャップが、所定の最小間隙以下とな
った時に、これを検出して、異常検出信号を発生するギ
ャップセンサ16が取り付けられている。

なお、図示の実施例においては、リニアモータ装置の
一次側コイルを可動子としてカウンタウエイトフレーム
に搭載し、二次側の固定子をカラムとした構成となって
いるが、逆に固定子を一次側導体で構成し、可動子を二
次側導体で構成することも可能である。また、図示の実
施例においては、リニアモータ装置を、カウンタウエイ
ト側に搭載して、カウンタウエイトユニット３を走行駆
動することによって、間接的に昇降篭４を走行駆動する
ように構成されているが、リニアモータ装置を昇降篭側
に設けて、昇降篭を直接駆動することが可能である。し
かしながら、可動子の重量をウエイトの一部と利用でき
る点で、図示の構成のように、リニアモータ装置をカウ
ンタウエイト側に搭載することが好ましい。

第１図に示すように、コイルユニット１の上下端部に
は、弾性体ユニット15が配設されている。この弾性体ユ
ニット15は、第２図及び第３図に示すように、外側の金
属性スリーブ15aと、軟質ゴム部材、発泡ウレタン部材
等の軟質弾性部材で形成した弾性体15b及び内側のフェ
ルト等の織布、不織布等の布材で形成する拭掃部材15c
で構成されている。弾性体ユニット15は、カラム10の全
周を包囲しており、拭掃部材15cを常時カラム表面に弾
性的に接触、滑動させている。

弾性体15bは、通常状態では単に拭掃部材15cとカラム
10の表面の接触を維持するための弾性力を付与するのみ
であり、従って、拭掃部材とカラムの接触抵抗が、カウ
ンタウエイトユニットの走行時の、走行抵抗は、非常に
小さく、ほぼ無視しうる範囲となっている。一方、弾性
体15は、カラム10とコイルユニット１の相対変位を規制
して、所定の最小エアギャップを確保出来るようになっ
ている。

なお、カラム10とコイルユニット１の相対変位の規制
を確実とするために、弾性体15bを軟質弾性体と硬質弾
性体を組み合わせて用いて、カラムとコイルユニットの
相対変位量が、所定の最小エアギャップ以下となる前
に、硬質弾性体によって、これを確実に規制するように
することも可能である。

第４図及び第５図に示すように、金属性スリーブ15a
は、一対の半円状金属片151、152の各一端を枢軸153に
捲回して形成した、ヒンジ部を中心に回動可能とし、こ
の金属片の内面に弾性体15bを加硫接着等によって接着
した構成となっている。金属片151、152の他端部には、
接合フランジ154、155が設けられており、この接合フラ
ンジ154及び155を突き合わせ、ボルト156締めすること
によって、カラムの外周面に、拭掃部材15cを接触した
状態で巻き付けることが出来るようになっている。この
構成によれば、弾性体ユニットのコイルユニットへの脱
着を容易とすることが出来る。

また、金属性スリーブ15aの上下方向のコイルユニッ
トに対向する辺縁部には、複数の係止フック157が形成
されており、この係止フックを、コイルユニットのカバ
ー1aの上下端部に突出形成されたフランジ1bに突出する
ボルト1cに係合させ、このボルトにナット1dを締結し
て、弾性体ユニット15とコイルユニット１のカバー1aと
連結している。

なお、第７図及び第８図に示す変形例のように、弾性
体ユニット15の構成は、種々の変形、変更が可能であ
り、図示の実施例の主要な構成要素を変更しない、いか
なる実施例をも包含するものである。ちなみに、第７図
の変形例においては、弾性体15bにＶ字状の切り込み溝1
58を形成して、拭掃部材15cを、軸方向に複数に分割し
て形成することによって、カラム外周面との接触面積を
減少させて、カウンタウエイトユニット３の走行時にお
ける走行抵抗を更に減少するとともに、拭掃部材15cの
カラム外周面の摺動によって発生する走行音を減少する
ことが可能となる。

また、第８図の例においては、弾性体15bと拭掃部材1
5c間に、凹凸159を形成して、対向する弾性体と拭掃部
材間の結合を強化して、拭掃部材の剥離を防止すること
も出来る。

一方、上記の各実施例においては、弾性体を中実に形
成した例を示したが、これに変えて、第９図に示すよう
に、これを中空に構成し、要すれば、中空室内に、空
気、作動液等の流体を封入して、カラムとコイルユニッ
トの相対変位力を減衰するように構成することも可能で
ある。第９図の構成においては、弾性体15bに外側解放
の溝160を形成して、この外側解放部を金属性スリーブ1
5aで閉塞して、中空室161を形成するとともに、この中
空室内に、熱伝導率の高い流体を封入し、かつスリーブ
を蛇腹状に構成して、流体及び弾性体による振動減衰効
果とともに放熱効果を付与すれば、コイルユニット及び
カラムを効果的に冷却することが出来るものとなる。

次に、第２図乃至第６図に示す弾性体ユニット15の作
用について説明する。

周知のように、コイルユニットの電磁コイル１の内側
表面は、１乃至数mm程度のエアギャップＬを存してカラ
ム10の外表面に対向しなければならない。コイル１に駆
動電源が供給されている状態では、コイル１によって、
カラム10の周囲に発生する誘導磁界が、円周方向各部に
おいてほぼ一定となるため、コイル内面とカラム10の外
周面の円周方向各部のエアギャップＬはほぼ一定となっ
ており、従って、通常走行状態では、弾性体ユニット15
の拭掃部材15cはほぼ均一な押圧力でカラム10の周面に
接触されている。カラム10には、一次側コイル１の励起
による誘導磁界が作用するため、静電気がコイルユニッ
ト通過後も残存するため、塵埃、磁性金属粉等が付着し
やすくなる。弾性体ユニット15の走行方向前側に位置す
る拭掃部材15cは、これらの塵埃、金属粉等を拭掃しな
がらカラム10周面を摺動するので、これらの塵埃、金属
粉等によるコイルとカラムの対向部分における塵埃、金
属粉等の誘導磁界に対する影響、及びコイル、カラムの
損傷を未然に防止することが出来るようになる。

一方、昇降篭が所定フロアで停止し、従ってカウンタ
ウエイトユニット３も対応する位置に停止した状態で
は、コイル１への給電が停止され、誘導磁界は消滅して
いるので、コイルユニット３とカラムの間に相対変位を
生じることがあるが、カウンタウエイトユニットが、ロ
ープに懸架されており、ガイドローラユニット3bの作用
とともに相当精度の高い垂直度が得られており、一方、
カラム10も、弾性支持部材14の張力によって、相当精度
の垂直度が得られるので、コイルユニット３とカラム10
間に生じる相対変位は、極僅かであり、この状態におい
ても弾性体に座屈を生じるほどの押圧力は作用しない。

また、地震等の外的要因によって、カラム10及び／又
はカウンタウエイトユニット３に外力が作用して、通常
値を越える押圧力が、弾性体15bに作用した場合、弾性
体が、この振動エネルギを吸収するとともに、カラムと
コイルの相対変位量を所定振動幅以下に規制するので、
カラムとコイルの接触を防止することが出来る。

なお、コイル1dへの駆動電源の供給によって、カウン
タウエイトユニット３が、走行している状態において、
拭掃部材15cは、カラムに摺動接触状態を維持するが、
この拭掃部材をフェルト等の比較的柔らかい布製材料で
構成することによって、摺動音が効果的に吸収され、走
行ノイズ発生の発生を最小限とすることが出来る。

また、上記した好適実施例においては、弾性体ユニッ
トをコイルユニットに対する取り付け、取り外しを容易
としたもので、定期点検、メンテナンスを容易とするこ
とが出来る。

［効果］ 上記のように、本発明の好適実施例によれば、カラム
とコイル間の所定エアギャップの保持を確実とし、か
つ、走行時の走行ノイズ発生を最小限とすることが出来
る。

また、本発明の付帯的な効果として、カラムに付着す
る塵埃、金属粉等を効率的に除去でき、しかも、例えば
第９図の構成のようにカラム及びコイルの冷却をも行う
ことが可能である。

なお、上記の構成では、弾性体ユニットのカラム接触
面に布部材を添着した構成を示したが、これに変えて合
成樹脂製等の平面軸受部材を用いて、カラムとコイルユ
ニット間の、走行抵抗をさらに低減するとともに、走行
ノイズをさらに低減することも可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の好適実施例によるリニアモータ装置
を用いて駆動されるエレベータ装置の概略をしめす斜視
図、 第２図は、本発明の好適実施例によるリニアモータ装置
及びエアギャップ調整装置を示す斜視図、 第３図は、第２図の主要部の断面図、 第４図は、エアギャップ調整装置をコイルユニットより
取り外した状態の部分斜視図、 第５図は、エアギャップ調整装置をコイルユニットより
取り外す要領を示すための解放状態で示す斜視図、 第６図は、エアギャップ調整装置とコイルユニットの連
結構造の一例を示す斜視図、及び 第７図乃至第９図は、エアギャップ調整装置の変形例を
しめす断面図である。 ３……コイルユニット 10……カラム 15……弾性体ユニット 15a……金属性スリーブ 15b……弾性体 15c……拭掃部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｋ 41/025 Ｂ６０Ｌ 13/02 Ａ

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の走行軸線にそって配設され、一次側
   又は二次側導体として機能する固定子と、該固定子に所
   定間隔のエアギャップを存して対向するとともに二次側
   又は一次側導体として機能する可動子とで構成され、一
   次側導体として機能する固定子又は可動子に対して供給
   される駆動電源を磁気駆動力に変換して、可動子を前記
   走行軸線に沿って走行させるようにしたリニアモータ装
   置において、前記可動子の少なくとも軸線方向一側端部
   又は端部近傍に、前記固定子の可動子対向面に滑動接触
   する接触部を有する弾性体を離脱可能に取り付けて、該
   弾性体によって前記エアギャップを所定の最小間隙以上
   に維持することを特徴とするリニアモータ装置のエアギ
   ャップ調整装置。
2. 【請求項２】昇降路内に配設され、所定走行軸線にそっ
   て走行する昇降篭と、該昇降篭とロープを介して連結さ
   れ前記昇降篭の走行軸線と実質的に平行な走行軸線に沿
   って走行するカウンタウエイトと、前記昇降篭と前記カ
   ウンタウエイトの少なくとも一方を走行駆動するエレベ
   ータ装置の駆動装置とによって構成されたエレベータ装
   置において、前記駆動装置は、所定の走行軸線にそって
   配設され、一次側又は二次側導体として機能する固定子
   と、該固定子に所定間隔のエアギャップを存して対向す
   るとともに二次側又は一次側導体として機能する可動子
   とで構成され、一次側導体として機能する固定子又は可
   動子に対して供給される駆動電源を磁気駆動力に変換し
   て、可動子を前記走行軸線に沿って走行させるようにし
   たリニアモータ装置で構成されており、該リニアモータ
   装置は前記可動子の少なくとも軸線方向一側端部又は端
   部近傍に、前記固定子の可動子対向面に滑動接触する接
   触部を有する弾性体を離脱可能に取り付けて、該弾性体
   によって前記エアギャップを所定の最小間隙以上に維持
   するように構成したことを特徴とするエレベータ駆動用
   リニアモータ装置のエアギャップ調整装置。
3. 【請求項３】所定の走行軸線にそって配設され、一次側
   又は二次側導体として機能する円筒状の固定子と、該円
   筒状固定子に対して同心円状に配設されるとともに所定
   間隔のエアギャップを存して対向し、さらに二次側又は
   一次側導体として機能する環状可動子とで構成され、一
   次側導体として機能する固定子又は可動子に対して供給
   される駆動電源を磁気駆動力に変換して、可動子を前記
   走行軸線に沿って走行させるようにしたトロイダル型リ
   ニアモータ装置において、前記可動子の少なくとも軸線
   方向一側端部又は端部近傍に、前記固定子の可動子対向
   面の略全周に滑動接触する接触部を有する弾性体を離脱
   可能に取り付けて、該弾性体によって前記エアギャップ
   を所定の最小間隙以上に維持することを特徴とするリニ
   アモータ装置のエアギャップ調整装置。
4. 【請求項４】昇降路内に配設され、所定走行軸線にそっ
   て走行する昇降篭と、該昇降篭とロープを介して連結さ
   れ前記昇降篭の走行軸線と実質的に平行な走行軸線に沿
   って走行するカウンタウエイトと、前記昇降篭と前記カ
   ウンタウエイトの少なくとも一方を走行駆動するエレベ
   ータ装置の駆動装置とによって構成されたエレベータ装
   置において、前記駆動装置は、所定の走行軸線にそって
   配設され、一次側又は二次側導体として機能する円筒状
   固定子と、該円筒状固定子に対して同心円状でかつ所定
   間隔のエアギャップを存して対向するとともに二次側又
   は一次側導体として機能する環状可動子とで構成され、
   一次側導体として機能する固定子又は可動子に対して供
   給される駆動電源を磁気駆動力に変換して、可動子を前
   記走行軸線に沿って走行させるようにしたトロイダル型
   リニアモータ装置で構成されており、該リニアモータ装
   置は前記可動子の少なくとも軸線方向一側端部又は端部
   近傍に、前記固定子の可動子対向面全周に滑動接触する
   接触部を有する弾性体を離脱可能に取り付けて、該弾性
   体によって前記エアギャップを所定の最小間隙以上に維
   持するように構成したことを特徴とするエレベータ駆動
   用リニアモータ装置のエアギャップ調整装置。
5. 【請求項５】前記の弾性体の前記固定子接触部には、拭
   掃材が添着されていることを特徴とする請求項第１項乃
   至第４項のいずれかに記載の装置。
6. 【請求項６】前記弾性体に添着された拭掃材が、フェル
   ト又はこれに類する織布又は不織布であることを特徴と
   する請求項第５項記載の装置。
7. 【請求項７】前記弾性体は、環状の金属性スリーブ部材
   に接着されており、前記スリーブ部材は、前記可動子の
   ケーシングに着脱自在に取り付けられることを特徴とす
   る請求項第６項記載の装置。
8. 【請求項８】前記弾性体の前記固定子対向面には、一以
   上の可動子の軸線と直行する方向に、前記弾性体の全長
   に亙って延びる突出部が形成されており、この突出部の
   頂部が前記接触部を構成するようにしたことを特徴とす
   る請求項第１項乃至第７項のいづれかに記載の装置。
9. 【請求項９】前記弾性体は、中空の環状部材によって形
   成されており、前記弾性体の中空室内には気相又液相の
   流体が封入されていることを特徴とする請求項第１項第
   ８項のいづれかに記載の装置。
10. 【請求項１０】前記弾性体は、軟質ゴム、発泡ウレタン
    等の軟質弾性材料で形成されていることを特徴とする請
    求項第１項乃至第９項のいづれかに記載の装置。