JP2530853B2

JP2530853B2 - 液晶表示素子の製造方法

Info

Publication number: JP2530853B2
Application number: JP62147588A
Authority: JP
Inventors: 哲夫福島; 孝夫井上; 敬之介金島
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1987-06-12
Filing date: 1987-06-12
Publication date: 1996-09-04
Anticipated expiration: 2011-09-04
Also published as: US4923552A; JPS63311227A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は液晶テレビジョンなどに用いる液晶表示素子
の製造方法に関するものである。

従来の技術近年、マイコン等を内蔵した機器の増加に伴ない、簡
易な表示用デバイスとして、マトリックス型表示器に対
するニーズが高まっている。また、コンピュータ端末表
示、あるいは高品位テレビジョン等においては、高精細
度化が進められており、このため液晶を用いたディスプ
レイ装置においても、高密度の電極パターンピッチが要
求されていて、ガラス基板間に封じ込められる液晶層の
厚さも薄くされなければならない。

従来、液晶パネルの間隙の制御は、所定径のスペーサ
を一方の基板上に分散した後に所定の方法により上下基
板を貼り合わせ、その後、鉄ブロックのようなもので荷
重をかけながら所定温度にて、あるいはUV光を照射し
て、シール樹脂を硬化させて行っている。

あるいは、より均一なギャップを形成するために、第
６図に示すように、鉄ブロック等のかわりに、熱収縮性
フィルム製の袋１に、アライメント後の基板2,3の挿入
し、真空パックあるいは加熱を行って、均一な圧力を基
板に負荷する方法や、第７図に示すように、加圧槽４に
アライメント後の基板2,3を入れて、シリコンゴム等で
成形された仕切部材５を固定し、ポンプ６により加圧槽
４内に水，油等の加圧流体を流入させ、基板2,3を加圧
した状態で、熱硬化、あるいは水銀灯７によるUV照射に
よって、UV硬化させる方法も提案されている。

発明が解決しようとする問題点上記のような方法では、幾つかの問題点があり、必ず
しも、均一なパネル間隙，アライメント情報が得られ
ず、歩留りを悪化させている。熱収縮性フィルム製の袋
を用いる方法での問題点は、（１）熱収縮性フィルム製の袋に挿入する際に、２枚
の基板のアライメントずれが生じる。

（２）熱収縮性フィルム製の袋に挿入後、真空パック
を行なう際に、基盤のアライメントずれが生じる。また
このときのずれを少なくするためには、治具が必要であ
り、工数も多くかかる。

（３）熱収縮性フィルムの添加剤等により、加熱時に
基板の電極を傷める。

（４）袋への挿入と、硬化後の袋からの取出しの工程
は作業タクトが長く、ライン化も難しい。

（５）基板一組につき、一枚の袋が必要であり、コス
ト高である。

（６）真空パックの際に、急激な減圧をすると第８図
に示すように、基板間に介在するギャップ材としてのビ
ーズが液晶注入口部から飛散することがあり、ギャップ
のむらを生じる。尚、このギャップのむらは、Na線を照
射することにより、図示の如く干渉縞で組察できる。

等が挙げられる。

また、加圧流体を用いて加圧する方法の問題点は、（７）シリコンゴム製の仕切部材を固定する際に、２
枚の基板のアライメントずれが発生する。

（８）仕切部材の固定後、加圧流体が流入する際にも
アライメントずれが発生する。

（９）装置のシール構造を充分考慮する必要があるた
め、装置が大がかりになり、コスト高になる。

（10）一枚毎に、加圧流体の流入，排出をする必要が
あるため、作業タクトが長い。

（11） UV照射をする場合、基板上に有機染料等を含む
フィルターが形成されていると、有機染料が変質，分解
してしまうこともある。

等が挙げられる。

問題点を解決するための手段上記問題点を解決するために、本発明の第１の発明
は、アライメント装置で、第２電極基板を上側の吸着治
具に吸着し、第１電極基板を下側の吸着治具に吸着し
て、両基板を吸着治具を相対移動させて略々位置ずれが
起らない程度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行
って仮組液晶パネルを得、その後、仮組液晶パネルを、
減圧可能な筐体内にあり、アライメント装置の下側の吸
着治具と等しい吸着パターンを有する吸着固定台に固定
し、透明なプラスチックシートを上から重ね、吸着固定
台とプラスチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶
パネルの真空加圧を行い、加圧圧着されたシール剤を光
硬化することにより、液晶パネルを得るという液晶表示
素子の製造方法を提供するものである。

また本発明の第２の発明は両基板をアライメント装置
を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起こらない程
度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮組液
晶パネルを得、その後仮組液晶パネルを透明なプラスチ
ックシートの供給ロールと巻き取りロールの間に配置さ
れた減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチ
ックシートと仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台と
プラスチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶パネ
ルの真空加圧を行い、加圧圧着されたシール剤を光硬化
することにより、液晶パネルを得、その後新しい液晶パ
ネルを真空加圧する際は、巻き取りロールを回転させ、
基板上部に変形のないプラスチックシート面を配置して
仮組液晶パネルの真空加圧を行ない液晶パネルを得る液
晶表示素子の製造方法を提供するものである。

また本発明の第３の発明は両基板をアライメント装置
を用いて位置合わせを行い、略々位置ずれが起らない程
度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮組液晶
パネルを得、その後仮組液晶パネルを減圧可能な筐体内
の吸着固定台に固定し、プラスチックシートと仮組液晶
パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの
間をゆるやかに１〜160Torr程度まで減圧し、その後に1
Torr以下に減圧する２段階以上又は、２種以上の減圧速
度で減圧して仮組液晶パネルの真空加圧を行い、その後
接着剤の硬化を行うという液晶パネルの製造方法を提供
するものである。

作用本発明の第１の発明の作用は、アライメント装置で、
第２電極基板を上側の吸着治具に吸着し、第１電極基板
を下側の吸着治具に吸着して、両基板を吸着治具を相対
移動させて略々位置ずれが起らない程度にシール剤を介
して重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、そ
の後、仮組液晶パネルを、減圧可能な筐体内にあり、ア
ライメント装置の下側の吸着治具と等しい吸着パターン
を有する吸着固定台に固定し、透明なプラスチックシー
トを上から重ね、吸着固定台とプラスチックシートの間
を真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加
圧圧着されたシール剤を光硬化するので、アライメント
をした際の下側基板の吸着による変形と、真空吸引によ
り加圧圧着する場合の下側基板の吸着による変形が等し
いため、真空吸引の際、液晶パネルの吸着パターンによ
るパネル変形量，変形形状が同じと考えられアライメン
トずれがほとんど発生しない。

本発明の第２の発明の作用は両基板をアライメント装
置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない程
度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行って仮組液
晶パネルを得、その後仮組液晶パネルを透明なプラスチ
ックシートの供給ロールと巻き取りロールの間に配設さ
れた減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチ
ックシートと仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台と
プラスチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶パネ
ルの真空加圧を行い、加圧吸着されたシール剤を光硬化
することにより、液晶パネルを得、その後新しい液晶パ
ネルを真空加圧する際は、巻き取りロールを回転させ、
基板上部に変形のないプラスチックシート面を配置し
て、仮組液晶パネルの真空加圧を行うので、袋への挿入
と、硬化後の袋からの取り出しの工程は不要となり、作
業工数は少なくて済む。また、１組のパネルを製造する
のに袋に較べ、プラスチックシートの方が、袋加工費用
及び１面のシートが不用なために安価である。また、常
に変形のないプラスチックシートによる加圧ができるた
め、加圧条件が安定し、アライメントずれも小さくな
る。

本発明の第３の発明の作用は、両基板をアライメント
装置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起らない
程度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行って仮組液
晶パネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧可能な筐
体内の吸着固定台に固定しプラスチックシートと仮組液
晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシート
の間をゆるやかに１〜160Torr程度まで減圧し、その後
に1Torr以下に減圧する２段階以上又は、２種以上の減
圧速度で減圧して仮組液晶パネルの真空加圧を行ない、
その後接着剤の硬化を行なうので、両基板が略々ギャッ
プ材に接するまでゆるやかに減圧され、急激な圧力の変
化がないため、真空減圧を際の基板のアライメントずれ
が発生しにくい。また、ギャップ材に基板が接してから
高速に吸引又は高真空減圧をするため、減圧の際にギャ
ップ材が液晶注入口部から飛散することがなくなり、ギ
ャップむらも発生しない。

実施例以下、本発明の第１の実施例の液晶表示素子の製造方
法について、第１図（ａ）〜（ｂ）を参照しながら説明
する。第１図（ａ）は、本発明の第１実施例におけるア
ライメント装置の斜視図であり、９は第２電極基板、10
は第１電極基板、11は第２電極基板の吸着治具、12は第
１電極基板の吸着治具、13は第１電極基板位置決めピ
ン、14はアライメント用対物レンズ、15はエアー加圧用
スリット、16は吸着溝、17は加圧用エア供給口、18は第
２電極基板用減圧口、19は第１電極基板用減圧口であ
る。第１図（ｂ）は、実施例における基板接着硬化装置
の斜視図であり、20は重ね合せ後の仮組液晶パネルの吸
着固定台、21は仮組液晶パネルの位置決め部材、22は基
板接着硬化装置の筐体、23は加圧用プラスチックシー
ト、24は加圧用プラスチックシート固定用部材、25は紫
外線照射ランプである。26は減圧用排気口、27は減圧用
排気穴、28はシート固定用部材によりシートを固定する
ための溝部である。

接着，硬化，ギャップ形成を行う場合は、まず第２電
極基板９を吸着治具11に吸着し、対物レンズ14を通し
て、第２電極基板９の位置を認識し、次に第１電極基板
10を吸着治具12に吸着させ、第１電極基板10の位置を認
識して、第２電極基板９との位置ずれを算出し、そのデ
ータに基づいて、X,Y,O方向へそれぞれ動かし、アライ
メントを行う。そして第２電極基板９の吸着治具11を降
下させて、二枚の基板を略々、位置ずれがおこらないよ
うに重ね合せ、第２電極基板９の吸着を切って、エアー
加圧用スリット15からエアーを吹き出して加圧を行な
う。次に貼り合わせれた仮組液晶パネルを加圧硬化装置
の筐体22内の基板の吸着固定台20に移載し、加圧用プラ
スチックシート23をかぶせ、シート固定用部材24を用い
てシートを固定し、接着硬化装置の筐体22の内部の吸着
固定台20とプラスチックシート23の間を真空吸引して減
圧し、基板に均一な力を与えた状態で、紫外線照射ラン
プ25によりUV照射を行い接着剤の硬化を行う。

第１図（ｃ）は本発明の接着硬化装置の正面図であ
り、両基板9,10を吸着固定台20に固定したところであ
る。第１図（ｄ）は本発明による液晶パネルの製造工程
と、従来例による液晶パネルの製造工程を比較したもの
であり、大幅な製造工数の削減ができる。

以上のように本実施例によれば、両基板の位置合せ、
重ね合せ、加圧後に、シートを重ねて減圧を行ない、均
一に基板を加圧した状態で、UV光を照射して、加圧圧着
されたシール剤を光硬化することにより、袋への挿入の
工程と、真空パックの工程がなくなるため、アライメン
トずれが起こりにくく、工数も少なくて済む。また熱収
縮性フィルムの加熱により、基板の電極をいためること
もなくなる。

次に、本発明の第２実施例について説明する。第２図
（ａ）は、アライメント装置の第１電極基板10の吸着治
具12の斜視図であり、29は吸着パターン、30は減圧穴、
31は、移載用フォークのための切欠き部である。接着硬
化装置の吸着固定台20の吸着パターンも同じパターンに
形成されている。

この第２実施例の動作は、第１実施例に記載するよう
なアライメント装置と、その吸着治具12と同じ吸着パタ
ーンを有する吸着固定台20を有する接着硬化装置を用い
て、第１実施例と同様に両基板9,10の位置合せ、重ね合
せ、加圧、接着硬化装置への移載、シート固定、そして
減圧による基板の均一な加圧中にUV照射を行ない接着剤
の硬化を行なうのである。

第２図（ｂ）と第２図（ｃ）は、その動作を具体的に
示すもので、第２図（ｂ）は本発明の第２実施例であ
り、第２図（ｃ）は比較例である。

９は第２電極基板、10は第１電極基板、11はアライメ
ント装置の上側吸着台、12はアライメント装置の下側吸
着台、23は真空減圧による加圧のためのプラスチックシ
ート、29は吸着パターン、20はアライメント装置の下側
吸着治具12と同じ吸着パターン29を有する接着硬化装置
の吸着固定台である。20aは任意の吸着パターン29aを有
する吸着固定台である。第２図（ｂ）の工程１におい
て、第１電極基板10はある一定の変形した状態にある
が、工程２で示されるように吸着治具12に固定される
と、変形の絶対量は少なくなるが、吸着パターンに応じ
た一定の変形をする。工程３では、アライメント後の上
側吸着治具11に吸着された第２電極基板９をシール剤9a
を介して重ね合せ、一定の加圧力で加圧されたところで
ある。工程４では重ね合わされた両基板を、吸着治具12
から一旦はずし、接着硬化装置の吸着固定台20に移載し
て、プラスチックシート23を重ね減圧を行ない、加圧を
行った状態を示している。一方、第２図（ｃ）の工程で
は、工程１〜３は、第２図（ｂ）と全く同様であるが、
工程４では接着硬化装置の吸着固定台20aの吸着パター
ン29aが、アライメント装置の下側吸着治具12の吸着パ
ターン29と違っている。

ここに示す第１電極基板10は1mm程度の厚みで30cm²程
度の面積であるが、一定時間吸着されると、その吸着を
切ってもしばらくの間、その形状を維持する特性がある
ため、接着硬化装置への移載時に第１電極基板10はほと
んど変形しない。第２図（ｂ）では移載後に同じ吸着パ
ターン29で吸着するので、変形は工程３の状態と全く同
じである。そのため、真空加圧時のアライメントずれは
小さい。一方、第２図（ｃ）では、工程４において、吸
着パターンが違うため第１電極基板10の変形がおこり、
そのためにアライメントずれの発生量が、第２図（ｂ）
の工程より多くなることがある。

以上のように本実施例によれば、アライメント装置の
第１電極基板の吸着テーブルの吸着パターンと、前記接
着硬化装置の吸着固定台の吸着パターンが等しいので、
アライメントをした時の第１電極基板の吸着による変形
と、接着硬化装置内で加圧、UV硬化する時の第１電極基
板の吸着による変形がほぼ等しいため、接着硬化装置内
で減圧する際のアライメントずれがほとんど発生しな
い。

次に、本発明の第３実施例について、第３図（ａ）〜
（ｃ）を用いて説明する。第３図（ａ）は本実施例にお
ける基板接着硬化装置の斜視図である。第３図（ａ）に
おいて、32はゴムパッキン、33はプラスチックシート供
給ロール、34は同巻き取りロール、35はプラスチックシ
ートのテンションコントローラ、36は減圧用排気口、37
はプラスチックシートである。

接着，硬化，ギャップ形成を行なう場合は、第１の実
施例と同様に、位置合せ，重ね合せ，加圧を行い、プラ
スチックシート37をゆるめて貼り合せた基板9,10を移載
し、巻き取りロール34をＡ方向に回転させ、テンション
コントローラー35で設定されたテンションでプラスチッ
クシート37を固定する。ここでプラスチックシート37と
基板9,10は接触していない。次に、接着硬化装置の筐体
22内を減圧して、基板9,10に均一な力を負荷した状態
で、紫外線照射ランプ25により、UV照射を行い、接着剤
の硬化をする。硬化の終了後には、プラスチックシート
37は変形していて、再使用すると、真空減圧時の圧力の
分布が変るため、巻き取りロール34をＡ方向に回転さ
せ、未使用の部分を、筐体22の上部に送っておく。

以上のように本実施例によれば、プラスチックシート
の巻き取りロールと供給ロールが設けられているため、
従来の袋への挿入と硬化後の袋からの取出しの工程が不
要となり、作業工数が少なくてすむ。またアライメント
ずれも少ない。また、１組のパネルを製造する際には、
プラスチックの袋に較べ、プラスチックシートを用いる
方が安価である。

また、第３図（ｂ）および（ｃ）は、上記第３実施例
の変形例を示す。第３図（ｂ），（ｃ）において、39は
貼り合せ後の基板の位置決めする吸着固定台41を上下駆
動する駆動装置、38はシールパッキン、40は枠体であ
る。

貼り合せ後の基板9,10を、第３図（ｂ）の状態で位置
決め吸着テーブル41に移載し、駆動装置39によって上下
へ移動させ、枠体40と嵌合させることにより、筐体22を
形成して、減圧を行い、UV照射を行なって、接着剤を硬
化する。以上のような構成にすると、貼り合せ後の基板
の移載が容易となり、工数がより削減できる。

次に、本発明の第４実施例について、第４図を用いて
説明を行う。第４図は、本実施例における基板接着硬化
装置の斜視図である。第４図において、42は石英ガラス
からなるマスク基板、43は特定のパターンで蒸着された
アルミである。

接着，硬化，ギャップ形成を行う場合は、上記第３実
施例と同様に、位置合せ、重ね合せ、エアー加圧を行な
い、プラスチックシート37を固定し、減圧による基板の
均一加圧中に、両基板の上面に特定のパターンでアルミ
43を蒸着された石英ガラスから成るマスク基板42を支持
し、基板上でUV光の一部を遮蔽できるようにして、紫外
線照射装置25によりUV光の照射を行い、接着剤の硬化を
行う。

以上のように本実施例によれば、両基板の上面に特定
のパターンでアルミ蒸着された石英ガラスから成るマス
ク基板42を支持して、基板上でUV光の一部を遮蔽できる
ので、基板上に構成されたカラーフィルタ等の有機染料
が形成されている部分へのUV照射を防ぎ、UV光による有
機染料の変質，分解等を防ぐことができる。

次に、本発明の第５実施例について、第５図（ａ）〜
（ｅ）を用いて説明を行う。第５図（ａ）は、本実施例
における接着硬化装置の斜視図である。第５図（ａ）に
おいて、44はコンバムフィルターでの減圧排気管、45は
真空ポンプでの減圧排気管、46はコンバムフィルター、
C,Dはエアーの流動方向、47は真空ポンプである。

接着，硬化，ギャップの形成を行う場合は、上記第３
実施例と同様に、位置合せ、重ね合せ、加圧を行い、プ
ラスチックシート37をテンションコントローラー35で固
定し、コンバムフィルター46で一旦減圧し、その後に真
空ポンプ47で減圧して、所定の真空度を得る。その状態
で、基板の均一加圧を行いながら、紫外線照射装置25に
より、UV光の照射を行ない、接着剤の硬化を行う。

また、第５図（ｂ）〜（ｅ）に、本実施例の工程を示
している。第５図（ｂ）は、両基板の位置合せを行った
後に、重ね合わせた状態の平面図、第５図（ｃ）は第５
図（ｂ）の断面図、第５図（ｄ）は両基板がギャップ材
に略々接する状態まで、ゆるやかに減圧した状態の断面
図、第５図（ｅ）は、ゆるやかに減圧した後に、1Torr
以下に減圧した状態の断面図であり、48はシール剤、49
は第１電極基板10の上に分散されたギャップ材、50はシ
ール剤48中に分散されたギャップ材、52は若干の弾性変
形をしている、第１電極基板10上に分散されたギャップ
材、53は若干の弾性変形をしている、シール剤中に分散
されたギャップ材である。

第５図（ｃ）の状態から、第５図（ｄ）の状態にする
とき、急激に減圧すると、基板10上に分散されたギャッ
プ材49がシール剤48によって形成された液晶注入口から
飛散することがあるが、これをコンバム等でゆるやかに
減圧するとギャップ材49の飛散は発生しない。そして、
両基板9,10がギャップ材49,50に略々接する状態になっ
た後は、1Torr以下真空ポンプを用いて減圧を行う。

この２段階の減圧コントロールについては、本実施例
のように、コンバムと真空ポンプを併用する方法の他
に、真空ポンプのバルブの制御によっても、行うことは
可能である。

以上のように本実施例によれば、減圧時に、コンバム
フィルターで一旦減圧を行い、その後に真空ポンプによ
る減圧を行うので、急激な圧力の変化がないため、真空
減圧の際の基板のアライメントずれが発生しない。

発明の効果以上、述べたように、本発明の第１の発明によれば、
アライメント装置で、第２電極基板を上側の吸着治具に
吸着し、第１電極基板を下側の吸着治具に吸着して、両
基板を吸着治具を相対移動させて、略々位置ずれが起こ
らない程度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行っ
て仮組液晶パネルを得、その後、仮組液晶パネルを、減
圧可能な筐体内にあり、アライメント装置の下側の吸着
治具と等しい吸着パターンを有する吸着固定台に固定
し、透明なプラスチックシートを上から重ね、吸着固定
台とプラスチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶
パネルの真空加圧を行い、加圧圧着されたシール剤を光
硬化することにより、液晶パネルを得るので、袋への挿入の工程と真空パックによる加圧の工程が不
要となることと、重ね合せ後に加圧を行なうことによ
り、アライメントずれがおこりにくい。

袋への挿入と取出しの工程、熱硬化の工程が不要とな
るため、工数、材料費が少なくて済み、自動化も容易と
なる。

熱収縮性フィルムの加熱により、基板の電極がいため
られることがなくなる。

アライメントをして重ね合せ、加圧した時の第１電
極基板の吸着による変形と、真空加圧を行って光硬化を
行う時の第１電極基板の吸着による変形がほぼ等しいた
め、真空加圧の際のアライメントずれがより小さくな
る。

また、本発明の第２の発明によれば、両基板をアライ
メント装置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起
こらない程度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を行
って仮組液晶パネルを得、その後仮組液晶パネルを透明
なプラスチックシートの供給ロールと巻き取りロールの
間に配設された減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定
し、プラスチックシートと仮組液晶パネルを近接させ、
吸着固定台とプラスチックシートの間を真空吸引して、
仮組液晶パネルの真空加圧を行い、加圧圧着されたシー
ル剤を光硬化することにより、液晶パネルを得、その後
新しい液晶パネルを真空加圧する際は、巻き取りロール
を回転させ、基板上部に変形のないプラスチックシート
面を配置して仮組液晶パネルの真空加圧を行うので、前
記第１の発明の効果〜と同様の効果が得られるとと
もに、常に、変形のないプラスチックシートによる加圧が
できるため、加圧条件が安定し、アライメントずれもよ
り小さくなる。

また、本発明の第３の発明によれば、両基板をアライ
メント装置を用いて位置合せを行い、略々位置ずれが起
こらない程度にシール剤を介して重ね合せ、加圧を行っ
て仮組液晶パネルを得、その後、仮組液晶パネルを減圧
可能な筐体内の吸着固定台に固定し、プラスチックシー
トと仮組液晶パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチ
ックシートの間をゆるやかに１〜160Torr程度まで減圧
し、その後に1Torr以下に減圧する２段階以上又は、２
種以上の減圧速度で減圧して仮組液晶パネルの真空加圧
を行い、その後接着剤の硬化を行うので、前記第１の発
明の効果〜と同様の効果が得られるとともに、両基板が略々ギャップ材に接するまで急激な圧力の
変化がないため、真空減圧の際の基板のアライメントず
れが発生しにくい。

ギャップ材に、基板が接してから、高真空度にまで
減圧を行なうのでギャップ材が、液晶注入口部から飛散
することがなく、ギャップむらも発生しない。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明の第１実施例を示し、第
１図（ａ）はアライメント装置の斜視図、第１図（ｂ）
は基板接着硬化装置の斜視図、第１図（ｃ）は接着硬化
装置の正面図、第１図（ｄ）は液晶ペネル製造工程のフ
ローチャート、第２図（ａ）〜（ｃ）は本発明の第２実
施例を示し、第２図（ａ）はアライメント装置の下側の
吸着テーブルの斜視図、第２図（ｂ），（ｃ）は本実施
例と比較例の工程図、第３図（ａ）は本発明の第３実施
例における基板接着硬化装置の斜視図、第３図（ｂ），
（ｃ）は本発明の第３実施例の変形例の基板接着硬化装
置の側面図、第４図は本発明の第４実施例における基板
接着硬化装置の斜視図、第５図（ａ）は本発明の第５実
施例における基板接着硬化装置の斜視図、第５図（ｂ）
〜（ｅ）は同実施例の工程を示す図、第６図および第７
図は従来の液晶表示素子の製造方法の説明図、第８図は
同ギャップむらの発生状態図である。９……第２電極基板、10……第１電極基板、11……第１
電極基板の吸着治具、12……第２電極基板の吸着治具、
20……吸着固定台、22……基板接着硬化装置の筐体、23
……プラスチックシート、25……紫外線照射装置、29…
…吸着パターン、33……供給ローラ、34……巻取りロー
ル、42……マスク基板、46……コンバムフィルタ、47…
…真空ポンプ。

フロントページの続き (56)参考文献特開昭59−131（ＪＰ，Ａ) 特開昭59−57221（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−145586（ＪＰ，Ａ) 特開昭54−147847（ＪＰ，Ａ) 特開昭56−111832（ＪＰ，Ａ) 特開昭56−155920（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】第１電極基板と、少なくともシール剤を塗
布形成してなる第２電極基板とを、ギャップ材又はギャ
ップ構造を介して対向させ、両基板を接着する工程にお
いて、アライメント装置で、第２電極基板を上側の吸着
治具に吸着し、第１電極基板を下側の吸着治具に吸着
し、両基板を両吸着治具を相対移動させて略々位置ずれ
が起らない程度にシール剤を介して重ね合わせ、加圧を
行って仮組液晶パネルを得、その後仮組液晶パネルを、
減圧可能な筐体内にあり、アライメント装置の下側の吸
着治具と等しい吸着パターンを有する吸着固定台に固定
し、透明なプラスチックシートを上から重ね、吸着固定
台とプラスチックシートの間を真空吸引して、仮組液晶
パネルの真空加圧を行い加圧圧着されたシール剤を光硬
化することにより、液晶パネルを得る液晶表示素子の製
造方法。
【請求項２】第１電極基板と、少なくともシール剤を塗
布形成してなる第２電極基板とを、ギャップ剤又はギャ
ップ構造を介して対向させ、両基板を接着する工程にお
いて、両基板を、アライメント装置を用いて位置合わせ
を行い、略々位置ずれが起らない程度にシール剤を介し
て重ね合わせ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その
後仮組液晶パネルを透明なプラスチックシートの供給ロ
ールと巻取りロールの間に配置された減圧可能な筐体内
の吸着固定台に固定し、プラスチックシートと仮組液晶
パネルを近接させ、吸着固定台とプラスチックシートの
間を真空吸引して、仮組液晶パネルの真空加圧を行な
い、加圧圧着されたシール剤を光硬化することにより、
液晶パネルを得、その後新しい液晶パネルを真空加圧す
る際は、巻き取りロールを回転させ、基板上部に変形の
ないプラスチックシート面を配置して仮組液晶パネルの
真空加圧を行ない液晶パネルを得る液晶表示素子の製造
方法。
【請求項３】第１電極基板と、少なくともシール剤を塗
布形成してなる第２電極基板とを、ギャップ材又はギャ
ップ構造を介して対向させ、両基板を接着する工程にお
いて、両基板をアライメント装置を用いて位置合せを行
い、略々位置ずれが起らない程度にシール剤を介して重
ね合せ、加圧を行って仮組液晶パネルを得、その後仮組
液晶パネルを減圧可能な筐体内の吸着固定台に固定し、
プラスチックシートと仮組液晶パネルを近接させ、吸着
固定台とプラスチックシートの間をゆるやかに１〜160T
orr程度まで減圧し、その後に1Torr以下に減圧する２段
階以上又は、２種類以上の減圧速度で減圧して仮組液晶
パネルの真空加圧を行ない、その後接着剤の硬化を行な
う液晶表示素子の製造方法。