JP2025502285A - 真空グリッパ、グリッパへの漏れを検知する方法ならびにグリッパを使用した自動化されたプロセスおよびその使用 - Google Patents

Abstract

漏れ検知が強化された吸引領域を有する真空グリッパ、そのような真空グリッパ内への周囲の流体の漏れを検知する方法、グリッパ内への周囲の流体の漏れを検知する方法、およびシート形成された対象物を真空グリッパと係合させることを含む自動化された動作が開示される。
【選択図】図１

Description

本発明は、真空グリッパに関し、より詳細には、漏れ検知が強化された吸引領域を有する真空グリッパ、そのような真空グリッパ内への周囲の流体の漏れを検知する方法、および例えば積載動作などシート形成された対象物を真空グリッパと係合させることを含む自動化されたプロセスにおける真空グリッパの使用に関する。

吸引グリッパは、真空グリッパとも呼ばれ、当分野で知られており、例えば、基本的に平坦な表面を有するシート形成された対象物を持ち上げるために従来から使用されている。１つのタイプの吸引グリッパは、真空源に接続された内部真空チャンバと処理されるべき対象物と係合するその吸引領域内にいくつかの吸引孔とを有するハウジングを備え、これらの穴は、グリッパ内の真空チャンバと流体接続している。

グリッパによって係合されるべき対象物がグリッパの吸着面と適切に位置合わせされない場合に問題が生じる可能性がある。そのような場合、特に自動化された動作では、対象物は、意図しない向きで、以前に放出された対象物上に積み重ねられるなどして放出される可能性がある。別の問題は、グリッパによって係合されるべき対象物の一部または領域がしわをつけられるかまたは折り畳まれている場合に生じ得る。これは、例えば、結果として得られた積層内に不均一な積層および／または望ましくない隙間をもたらす可能性がある。

対象物の不正確な位置合わせ、またはしわがつけられたまたは折り畳まれた対象物の領域を検知できることが望ましい。

本発明の目的は、上記の問題の一方または両方を克服する真空グリッパを提供することである。

本発明によれば、請求項１のプリアンブルの、シート形成された対象物１００をつかみ、内部１次真空チャンバ２５と内部１次真空チャンバ２５を真空源１７に接続するための開口部１５とグリッパ本体２０内の圧力を感知するように構成された圧力センサ３３に接続するための開口部３０とシート形成された対象物１００と係合するための吸引領域Ａ２、Ａ１と吸引領域Ａ１、Ａ２に設けられた少なくとも１つの吸引孔３とを有する本体２０を備える、真空グリッパ１０について、上記の目的は、本体２０が流量制限部３７を介して内部１次真空チャンバ２５と流体連通している２次内部真空チャンバ３５をさらに備え、前記少なくとも１つの吸引孔３が２次内部真空チャンバ３５の吸引領域Ａ２に設けられ、流量制限部３７の断面積のサイズが少なくとも１つの穴３のうちの１つの穴の断面積のサイズと同様であり、圧力センサ３３に接続するための開口部３０が２次内部真空チャンバ３５内に設けられるということで特徴付けられた特徴によって達成されている。したがって、圧力センサ３３は、グリッパ本体２０の２次内部真空チャンバ３５内の圧力を感知するように構成される。

したがって、一態様では、本発明は、上述の真空グリッパに関する。

別の態様では、本発明は、シート形成された対象物１００をつかむための真空グリッパ１０内への周囲の流体の漏れを検知する方法であって、シート形成された対象物１００を真空グリッパ１０と係合させるステップと、シート形成された対象物１００が真空グリッパ１０と係合している間に、グリッパ１０の内部真空チャンバ３５内の圧力を内部真空チャンバ３５に接続された圧力センサ３３を使用して監視するステップと、監視された圧力を所定の所望の圧力と比較するステップと、所定の許容可能な最大圧力よりも高い監視圧力を確定するステップとを含み、グリッパ１０が、１次内部真空チャンバ２５と、２次内部真空チャンバ３５とを備え、それらチャンバが、流量制限部３７を介して互いに流体接続され、監視された圧力が、２次内部真空チャンバ３５内の圧力である、方法に関する。

好ましい実施形態では、所定の許容可能な最大圧力よりも高いとグリッパ１０の２次内部真空チャンバ３５内の監視された圧力が確定された場合、本発明の方法は中断される。

本発明の方法および本発明の真空グリッパは、好ましくは、多数のシート形成された対象物１００を互いの上に積層する用途など、シート形成された対象物１００を係合させることを含む自動化された動作において使用することができる。

本発明のさらなる実施形態および利点は、以下の詳細な説明および添付の特許請求の範囲から明らかになるであろう。

本明細書で使用される「流量制限部」という用語は、１次真空チャンバ２５を２次真空チャンバ３５と流体接続する開放通路を指すことを意図している。１次真空チャンバ２５を２次真空チャンバ３５と流体接続するために、開放通路は常に開いているべきであり、通路を閉じるためなどの可動部品を備えてはならない。

吸引領域Ａ１、Ａ２を有するグリッパ本体２０を備える本発明によるグリッパ１０の実施形態を示す。図３Ａに示すように、図１のグリッパは、多数の吸引孔３が設けられた１次真空チャンバ２５と、多数の吸引孔３が各々設けられた２つの２次真空チャンバ３５とを有する。図１に示すグリッパはまた、エジェクタ１７と、圧力センサ３３に接続するための２つの開口部３０とを備える。図１では、１つの接続部および圧力センサ３３のみが示されており、もう一方の接続部および圧力センサ３３は、説明のために取り除かれている。図１はまた、多数の穴５３および非浸透性接着裏材６５を有する圧縮性発泡シート５０と、このシートはグリッパ１０の吸引領域Ａ１、Ａ２に取り付けることができ、多数の穴６３を有する補強シート６０と、このシートは圧縮性発泡シート５０に取り付けることができ、グリッパによって係合される２つの高感度部７０を有するシート形成された対象物１００とを示す。 図１のグリッパのエジェクタ１７に接続された開口部１５を有する、図１のグリッパ１０のグリッパ本体２０を示す。 図２のグリッパ本体２０の断面Ａ－Ａに沿った図を示し、多数の吸引孔３が設けられた１次真空チャンバ２５と、多数の吸引孔３が各々設けられた２つの２次真空チャンバ３５とを見ることができる。図２に示す開口部１５は１次真空チャンバ２５に入り、図２に示す開口部３０はそれぞれの２次真空チャンバ３５に入る。 図３Ａに示すグリッパ本体２０の断面Ｂ－Ｂに沿った断面図を示す。２つの２次チャンバ３５の排気中に、流量制限部３７ならびに穴３９および流路３８をそれぞれ通る流体の流れは、図３Ｂに矢印で示されている。 吸引領域Ａ１、Ａ２を示す、図２に示すグリッパ本体２０の底面図である。図４はまた、開口部３９および流路３８の詳細図Ｃを示しており、関連する２次チャンバ３５の排気中に、流路３８を介して穴３９を通って流れる流体の流れは、断面Ｂ－Ｂに沿った図において実線矢印で示されている。 図４のグリッパ本体２０の断面Ｃ－Ｃに沿った図および詳細図Ｄを示し、図５の左２次チャンバ３５の排気中の流体の流れが実線矢印で示されている。 グリッパ本体２０、圧縮性発泡シート５０、および補強シート６０の下方からの斜視図である。 グリッパ１０が対象物１００を係合した底面図を示し、対象物の高感度部７０は、補強シート６０に設けられた穴６３のうちの１つを覆わないように折り畳まれており、補強シートの穴６３は、グリッパ本体の下にある吸引領域Ａ２に設けられた対応する穴３と位置合わせされている。周囲の流体は、補強シート６０のこの覆われていない穴６３から流れ、穴６３から発泡シート５０の対応する下にある穴５３にさらに流入し、穴５３からグリッパ本体の吸引領域Ａ２の下にある穴３にさらに流入し、それによって前記穴３が設けられている２次真空チャンバ３５に入る。

本発明は、真空グリッパ１０内の１次真空チャンバ２５から２次真空チャンバ３５を分離し、流量制限部３７によってそれぞれ２つの分離された真空チャンバ間の流体連通を制限することに基づいており、１次真空チャンバは真空源に接続されている。２次真空チャンバ３５と１次真空チャンバ２５との間の流体連通は、流量制限部３７を介した連通に制限される。２次真空チャンバに対応する吸引領域Ａ２は、１つ以上の吸引孔３を有する。流量制限部の断面積を適切に選択することにより、グリッパの動作中の２次真空チャンバ３５内の圧力は、単に吸引領域Ａ２の単一の吸引孔３が被係合対象物１００によって覆われていないにすぎない場合でも１次真空チャンバ内の圧力よりも著しく高くなる。２次真空チャンバ３５に接続され、前記チャンバ内の圧力を感知するように構成された圧力センサ３３は、２次真空チャンバ３５内の高い圧力を感知する。流量制限部の断面積は、一般に、少なくとも１つの穴３のうちの１つの穴の断面積の±５０％、典型的には±２５％、好ましくは±１０％の範囲内にあると考えられる。

本発明の吸引領域Ａ２は、好ましくは、対象物の取り扱い中に屈曲性を増強するのに適した部分などの対象物１００の高感度部７０と接触し係合するために使用される。対象物１００は、複数のそのような高感度部７０を有する。したがって、一実施形態では、本発明のグリッパは複数の吸引領域Ａ２を有し、そのような追加の吸引領域Ａ２の各々は、対応する追加の流量制限部３７を介して１次真空チャンバ２５と連通する追加の２次真空チャンバ３５に対応する。

本発明のグリッパ１０の一実施形態では、１次真空チャンバ２５は、吸引領域Ａ１に１つ以上の吸引孔３を有する。そのような実施形態では、吸引領域Ａ１が、通常、グリッパに吸引力の大部分を供給する。したがって、そのような実施形態では、吸引領域Ａ１は、吸引領域Ａ２よりも大きいことが多い。また、そのような実施形態では、吸引領域Ａ２に設けられた吸引孔３の断面積は、通常、吸引領域Ａ１に設けられた吸引孔３の断面積よりも小さい。

代替的な実施形態では、グリッパ１０の１次真空チャンバ２５は吸引孔３を有さず、代わりに、真空源１７が接続されている１次真空チャンバは、ある数の２次真空チャンバ３５と相当する数の流量制限部３７を介して流体接続しているだけである。このような実施形態では、グリッパの吸引領域は、２次真空チャンバ３５の数に対応した数の吸引領域Ａ２を備えるだけである。

原則として、所与の内部２次真空チャンバ３５に対して、とりわけ、より信頼性の高い動作および漏れの検知に対するより良好な感度のために、複数の流量制限部３７が設けられ得るが、各１つの内部２次真空チャンバ３５に対してただ１つの流量制限部３７が設けられることが好ましい。

内部２次真空チャンバ３５の数は、１次真空チャンバ２５の数と比較して全体の容積が大きくなりすぎない限り原則として限定されず、圧力センサの数を適度に少なく保つことができる。例えば、内部２次真空チャンバ３５の数は、２、３、４、５、６、７、８または９チャンバなど、１～１０の範囲内が考えられる。一般に、１つ、２つまたは３つの内部２次真空チャンバ３５を有する実施形態が好ましい。

各内部２次真空チャンバ３５に対して、前記内部２次真空チャンバ内の圧力を感知するために、圧力センサ３３が設けられている。例えば冗長性のために、任意の所与の内部２次真空チャンバに複数の圧力センサ３３を設けることができるが、本発明の真空グリッパ１０の複雑さを低減するために、各内部２次真空チャンバ３５にただ１つの圧力センサが設けられることが好ましい。

好ましい実施形態では、グリッパは、２次内部真空チャンバ３５および１次真空チャンバ２５と流体連通している流路３８を有する。流路は、グリッパの吸引領域の表面に設けられた２つの開口部３９を有し、その開口部３９の一方は２次内部チャンバ３５に入り、開口部３９の他方は１次真空チャンバ２５に入る。閉鎖手段によって開口部３９および流路３８を閉鎖すると、流路３８および閉鎖手段を備えた流量制限部３７が形成される。開口部３９の閉鎖は、例えば、不浸透性部分が開口部３９を覆うように配置することができる不浸透性部分を有する接着シートによって達成することができる。そのような流路３８および穴３９は、図３、図４および図５により詳細に示されている。流路３８および穴３９を有するそのような実施形態は、積層造形によって製造されることに特に適している。また、そのような実施形態は、流路３８、および場合によっては穴３９を単に拡大することなどによって、流量制限部３７のその後の調整をより容易にすることが可能となる。また、そのような制限部３７は、単に閉鎖手段を取り外すことならびに流路３８および穴３９を検査することによって、例えば制限部３７の汚染または目詰まりの可能性のための検査および清掃をより容易にすることが可能となる。流路３８は、１つ以上の交換可能な部分（図示せず）を備えることができ、その１つ以上の部分を特定のより小さいまたはより大きい断面積を有する別の部分と交換するだけで流路３８の断面積を調整することを可能にする。

非浸透性接着シート６５は、例えば、グリッパをわずかに異なる形状の対象物と係合するように適合させるため、および／またはグリッパの吸引領域の表面に設けられた１つ以上の開口部３９を閉鎖するためなど、グリッパの全体的な吸引領域に設けられた吸引孔３のパターンを変更するために、吸引面の所望の穴３を閉鎖するための手段として使用することができる。理解されるように、そのようなシートは、グリッパの所望の有効な穴３に対応する開口部を有する。

圧縮性発泡シート５０は、例えば、グリッパの特定の限定された可撓性を実現するために、例えば、取り扱い対象の水平方向に向けられた対象物とグリッパの水平方向の位置合わせにおける小さな非平行の不完全さに対する交差を提供するために、および／または、一般に反応しやすい対象物１００および／または反応しやすい表面を有する対象物１００がグリッパ１０によって取り扱われる場合などに、対象物１００とのより扱いやすく柔軟で曲げやすい接触を提供するために、グリッパと共に使用することができる。発泡シート５０の取り付けおよび交換の容易さを向上させるために、前記シートは、好ましくは接着層を備える。接着層は、発泡シート５０の不浸透性裏材６５上に設けられることが好ましい。発泡シート５０の不浸透性裏材６５は、好ましくは、上述の接着シートとして機能することができる。発泡シート５０は、２次内部真空チャンバ３５の吸引領域Ａ２の１つ以上の穴３に対応する１つ以上の穴５３を有する。また、吸引領域Ａ１が存在する場合、発泡シート５０は、１次内部真空チャンバ２５の吸引領域Ａ１の１つ以上の穴３に対応する１つ以上の穴５３を有する。圧縮性発泡シートの発泡体の材料は重要ではない。適切な材料は、例えばＥＰＤＭなどのエチレンプロピレンゴムである。発泡シート５０の厚さおよび材料は、対象物１００と係合するときに実質的に圧縮され得るように選択されるべきである。

圧縮性発泡シート５０と共に、好ましくは補強シート６０が使用される。補強シートは、基本的に発泡シートを覆うべきである。補強シートは、２次内部真空チャンバ３５の吸引領域Ａ２の穴３に対応する１つ以上の穴６３を有する。好ましくは、補強シートは、例えば交換可能であるように、接着層によって発泡シート５０に取り付けられる。補強シート６０の材料は重要ではなく、取り扱う対象物の材料と適合するように選択することができる。一例として、補強シートに一般的に適した材料はポリカーボネート（ＰＣ）である。

補強シート６０はまた、吸引領域Ａ２内の所望の吸引孔３および対応する穴５３を閉鎖するために使用することができる。それにより、１つの補強シート６０を吸引領域Ａ２内の他の所望の吸引孔３および対応する穴５３を閉鎖する別の補強シート６０と交換することによって、本発明のグリッパは、わずかに異なる幾何学的形状を有する、および／または高感度部７０の異なる位置を有する対象物をつかむように都合よく適応させることができる。

好ましい実施形態では、グリッパ本体２０は、吸引領域Ａ１、Ａ２の周りに隆起周辺部（図示せず）、吸引領域Ａ１、Ａ２の周辺部に沿った隆起案内要素（図示せず）を有するか、または吸引領域Ａ１、Ａ２は、グリッパ本体２０の底部の凹部（図示せず）に収容されて、前記凹部に圧縮性発泡シート５０および補強シート６０を収容することができる。そのような隆起周辺部、隆起案内要素、または凹部により、圧縮性発泡シート５０および補強シート６０のグリッパ本体２０への位置合わせをより容易にすることが可能となる。

原則として、所与の単一の２次内部真空チャンバ３５に複数の流量制限部３７を使用することができる。しかしながら、このような実施形態は好ましくない。

本発明の真空グリッパ１０は、好ましくは一点の真空接続部１５を有するだけである。

真空源１７として、好ましくは、図１に示すようなエジェクタが使用される。エジェクタが真空源として使用される場合、そのようなエジェクタは、好ましくは、グリッパ本体２０などグリッパ１０に取り付けられる。インジェクタなどの分散した真空源を使用することにより、グリッパへの真空の開始と終了は、中央真空源が使用されているときと比較してはるかに迅速に達成することができる。また、グリッパに近い分散した真空源を使用することによって、真空チューブが本質的に必要とされないため、排気される体積が減少する。

好ましい実施形態では、圧力センサ３３は、図１に示すような真空スイッチの形態をとる。真空スイッチは、真空スイッチが接続されている２次内部真空チャンバ３５内の圧力が所定の許容可能な最大圧力よりも高い場合に信号を供給するように構成されることが好ましい。このようにして生成された信号は、周囲の流体の前記２次内部真空チャンバ３５内への漏れが検知されたことに対応する。

２次内部真空チャンバ３５は比較的小さくしておくことが好ましいが、それは、漏れがある場合、大きな容積を有するチャンバよりも小さな容積を有するチャンバで圧力がより迅速かつより明瞭に影響を受けるからである。これにより、１つの穴３を通り前記チャンバに流体が漏れることによる２次内部真空チャンバ３５内の圧力変化をより確実に検知することができる。

本発明のグリッパ１０は、シート１００、特に高感度部７０を有するシートなどのシート形成された対象物の取り扱いに適している。対象物１００の高感度部７０は、例えば、対象物１００の残りの部分の厚さと比較して厚さが減少した部分であってもよい。一例として、約５～１５μｍの範囲内で減少した厚さは、本発明のグリッパでうまく処理されている。本発明のグリッパは、好ましくは自動化されたプロセスにおいて、シートを互いに積み重ねて使用するのに特に適している。シートは、例えば、電極、電極アセンブリ、膜電極アセンブリの一部を形成することができる。

本発明のグリッパによって取り扱うことができるシート形成された対象物１００の他の例は、電池絶縁膜などの電気絶縁膜または箔、炭素繊維シート、例えばソーラーパネル用のウェハのシリコンウェハまたはシート、および薄いラベルである。

シート形成された対象物１００は、通常可撓性がある。

シート形成された対象物１００は、典型的には、最大２ｍｍ、好ましくは１ｍｍ以下、例えば５μｍ～５００μｍの厚さを有することができる。

シート形成された対象物１００は、プラスチックもしくはゴムなどのポリマー材料、または金属材料、またはそれらの組み合わせで作ることができる。

例えば自動化された動作において２次内部真空チャンバ３５内で高すぎる圧力が検知された場合、これは典型的には、シート形成された対象物１００の高感度部７０がグリッパの吸引領域Ａ２と正しく位置合わせされていないこと、および／またはグリッパと現在係合しているシート形成された対象物１００の高感度部７０にしわまたは折り畳みが存在すること、または高感度部７０の角などの部分が、周囲の流体により対象物１００を移動させる間に周囲の流体、典型的には周囲空気の相対的な作用などによって、対象物１００の取り扱い中に曲げられる可能性があるため、図７に示すように、吸引面Ａ２の１つ以上の穴３が高感度部７０によってもはや覆われないことに起因し得る。２次内部真空チャンバ３５内で高すぎる圧力が検知されると、自動化された動作は停止されることが好ましい。自動化された動作が停止されたとき、オペレータは、正しく位置合わせされていない、しわがついた、折り畳まれた、または他の欠陥のあるシートを都合よく取り除き、その後、自動化されたプロセスを再開または継続することができる。

１０ 真空グリッパ
１００ 係合されるシート形成された対象物
２０ 真空グリッパ本体
２５ 内部１次真空チャンバ
１５ １次真空チャンバを真空に接続するための開口部
１７ 真空源
３０ 圧力センサに接続するための開口部
３３ 圧力センサ
Ａ２ ２次内部真空チャンバの吸引領域
Ａ１ １次真空チャンバの吸引領域
３ 吸引孔
３５ ２次内部真空チャンバ
３７ 流量制限部
３８ 流路
３９ 流路への吸引領域の開口部
５０ 圧縮性発泡シート
５３ （発泡シート５０の）１つ以上の穴
６０ 補強シート
６３ （補強シート６０の）１つ以上の穴
６５ 非浸透性裏材
７０ シート形成された対象物１００の高感度部

Claims (15)

1. シート形成された対象物（１００）をつかみ、
   内部１次真空チャンバ（２５）と、
   前記１次真空チャンバ（２５）を真空源（１７）に接続するための開口部（１５）と、
   グリッパ本体内の圧力を感知するように構成された圧力センサ（３３）に接続するための開口部（３０）と、
   シート形成された対象物（１００）と係合するための吸引領域（Ａ２，Ａ１）と、
   前記吸引領域（Ａ１，Ａ２）に設けられた少なくとも１つの吸引孔（３）と
   を有する本体（２０）を備える真空グリッパ（１０）において
   前記本体（２０）が、流量制限部（３７）を介して前記１次真空チャンバ（２５）と流体連通している２次内部真空チャンバ（３５）をさらに備え、
   前記少なくとも１つの吸引孔（３）が、前記２次内部真空チャンバ（３５）の吸引領域（Ａ２）に設けられ、
   前記流量制限部（３７）の断面積のサイズが、前記少なくとも１つの吸引孔（３）のうちの１つの穴の断面積のサイズと同様であり、圧力センサ（３３）に接続するための前記開口部（３０）が、前記２次内部真空チャンバ（３５）内に設けられる
   ことを特徴とする
   真空グリッパ（１０）。
2. 前記流量制限部（３７）の断面積のサイズが、前記少なくとも１つの吸引孔（３）のうちの１つの穴の断面積のサイズ以下である、請求項１に記載の真空グリッパ（１０）。
3. 前記真空源（１７）がエジェクタであり、好ましくは前記グリッパ本体（２０）に取り付けられている、請求項１または２に記載の真空グリッパ（１０）。
4. 前記２次内部真空チャンバ（３５）および前記１次真空チャンバ（２５）と流体連通する流路（３８）を有し、前記流路が、前記吸引領域（Ａ１およびＡ２）の表面にそれぞれ設けられた２つの開口部（３９）を有し、前記流路（３８）が、前記開口部（３９）および前記流路（３８）の封止時に流量制限部（３７）を形成することができる、請求項１から３のいずれか一項に記載の真空グリッパ（１０）。
5. 前記吸引領域（Ａ１，Ａ２）を本質的に覆う圧縮性発泡シート（５０）をさらに備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の真空グリッパ（１０）。
6. 前記圧縮性発泡シート（５０）が、前記２次内部真空チャンバ（３５）の前記吸引領域（Ａ２）の１つ以上の穴（３）に対応する１つ以上の穴（５３）を有し、好ましくは、前記発泡シート（５０）が、交換可能であるように接着剤によって前記吸引領域（Ａ１，Ａ２）に取り付けられる、請求項５に記載の真空グリッパ（１０）。
7. 前記発泡シート（５０）を本質的に覆い、前記２次内部真空チャンバ（３５）の前記吸引領域（Ａ２）の穴（３）に対応する１つ以上の穴（６３）を有する補強シート（６０）をさらに備え、好ましくは、前記補強シートが、交換可能であるように接着剤によって前記発泡シート（５０）に取り付けられる、請求項５または６に記載の真空グリッパ（１０）。
8. 前記多孔性発泡シート（５０）が、所望の吸引孔（３）および／または開口部（３９）を覆って密封するための接着性の非浸透性裏材（６５）を有する、請求項５または６に記載の真空グリッパ（１０）。
9. 前記１次真空チャンバ（２５）の前記吸引領域（Ａ１）が、多数の吸引孔（３）を有し、好ましくは、前記穴が、前記１次真空チャンバ（２５）の前記吸引領域（Ａ１）にわたって均一に分布している、請求項１から８のいずれか一項に記載の真空グリッパ（１０）。
10. 前記２次内部真空チャンバ（３５）の前記吸引領域（Ａ２）が、多数の吸引孔（３）を有し、好ましくは、前記穴が、前記２次内部真空チャンバ（３５）の前記吸引領域（Ａ２）にわたって均一に分布している、請求項１から９のいずれか一項に記載の真空グリッパ（１０）。
11. 前記流量制限部（３７）の断面積のサイズが、前記２次内部真空チャンバ（３５）の前記吸引領域（Ａ２）にわたって分布する前記多数の吸引孔（３）のうちの最小の穴（３）の断面積のサイズ以下である、請求項１０に記載の真空グリッパ（１０）。
12. 各々が流量制限部（３７）を介して前記１次真空チャンバ（２５）に接続され、各々が少なくとも１つの吸引孔（３）を有する吸引領域（Ａ２）を有する１つ以上の追加の２次内部真空チャンバ（３５）を備え、前記流量制限部（３７）の断面積が、前記それぞれの吸引領域（Ａ２）に設けられた前記少なくとも１つの吸引孔（３）のうちの１つの穴（３）の断面積に相当する、請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空グリッパ（１０）。
13. シート形成された対象物（１００）をつかむための真空グリッパ（１０）内への周囲の流体の漏れを検知する方法であって、
    シート形成された対象物（１００）を真空グリッパ（１０）と係合させるステップと、
    前記シート形成された対象物（１００）が前記真空グリッパ（１０）と係合している間に、前記グリッパ（１０）の内部真空チャンバ（３５）内の圧力を、前記内部真空チャンバ（３５）に接続された圧力センサ（３３）を使用して監視するステップと、
    監視された前記圧力を所定の所望の圧力と比較するステップと、
    所定の許容可能な最大圧力よりも高い監視圧力を確定するステップと
    を含む方法において、
    前記グリッパ（１０）が、１次内部真空チャンバ（２５）と２次内部真空チャンバ（３５）とを備え、前記チャンバが、流量制限部（３７）を介して互いに流体接続され、監視された前記圧力が、前記２次内部真空チャンバ（３５）内の圧力であることを特徴とする、
    方法。
14. 前記所定の許容可能な最大圧力よりも高いと前記グリッパ（１０）の前記２次内部真空チャンバ（３５）内の監視された圧力が確定された場合、前記方法が中断される、請求項１３に記載の方法。
15. 多数のシート（１００）を互いに積み重ねる積載動作において、前記積載動作が、好ましくは自動化されている、請求項１に記載のグリッパの使用。