JP2023147550A - 拡張保持リング - Google Patents

Abstract

【課題】リング本体の円環形状の維持とリング状リップの柔軟性とを両立することが可能な拡張保持リングを提供する。【解決手段】リング本体１２と、リング本体１２よりも軟質材料により形成されたリング状リップ１４であり、リング本体１２の外周面１２Ａに着脱自在に装着可能であり、リング本体１２の外周面１２Ａから外側に向かって突出したリング状リップ１４と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、拡張保持リングに係り、特に半導体ウェーハが貼り付けられたダイシングテープを拡張状態で保持するための拡張保持リングに関する。

従来、半導体チップ（以下、チップと言う。）の製造にあたり、例えば、レーザ照射等によりその内部に分割予定ラインが予め加工された半導体ウェーハ（以下、ウェーハと言う。）を、分割予定ラインに沿って個々のチップに分割（個片化とも言う。）するワーク分割装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

ウェーハは、ダイシングテープに貼付されており、ダイシングテープはフレームに外周部が固定されている。ワーク分割装置は、エキスパンドリングによってダイシングテープを拡張してウェーハを個々のチップに分割し、その後、拡張保持リングによってダイシングテープを拡張状態で保持する。

特開２０２１－１７６２０１号公報

例えば、リング本体とリング状リップとが一体構造の拡張保持リングでは、ダイシングテープを拡張したときのリング本体の円環形状の維持とリング状リップの柔軟性とを両立させることが困難であり得る。

すなわち、リング本体を円環形状に維持するためには、剛性の高い、例えば硬質の樹脂を適用する必要があるが、そうすると、リング状リップも硬くなるためダイシングテープの拡張時にダイシングテープが破損するという問題がある。そこで、ダイシングテープの破損防止対策として、リング状リップの厚さを薄くしてリング状リップの剛性を低くすることが考えられるが、そうすると、リング状リップの使用寿命が短くなるという問題ある。また、他の破損防止対策として、剛性の低い軟質の樹脂を適用することが考えられるが、そうすると、張力の大きいダイシングテープではリング本体の円環形状を維持できず、拡張保持リングがフレームから脱落し得る。

本発明は、このような問題に鑑みて成されたものであり、リング本体の円環形状の維持とリング状リップの柔軟性とを両立することが可能な拡張保持リングを提供することを目的とする。

本発明の拡張保持リングは、本発明の目的を達成するために、フレームに外周部が固定されたテープを拡張状態で保持するための拡張保持リングであって、リング本体と、リング本体よりも軟質材料により形成されたリング状リップであり、リング本体の外周面に着脱自在に装着可能であり、リング本体の外周面から外側に向かって突出したリング状リップと、を備える。

本発明の一形態は、リング状リップの外径は、フレームの内径よりも大きいことが好ましい。

本発明の一形態は、リング本体は金属製であり、リング状リップは樹脂製であることが好ましい。

本発明の一形態は、リング本体は、リング本体の外周部に沿って形成された環状凹状部を有し、リング状リップは、環状凹状部に挿入配置される環状本体部を有することが好ましい。

本発明の一形態は、リング状リップの中心軸の方向における環状本体部の寸法は環状凹状部の寸法よりも小さいことが好ましい。

本発明の一形態は、リング本体の外表面にはフッ素樹脂コーティング層が設けられることが好ましい。

本発明の一形態は、リング状リップは、リング本体とは異なる色彩が付されていることが好ましい。

本発明の一形態は、リング状リップは、リング状リップの種類に応じて異なる色彩が付されていることが好ましい。

本発明の一形態は、リング本体の内周面には、リング本体の中心軸に対して斜めに傾いたテーパ面が形成されていることが好ましい。

本発明の一形態は、リング本体の中心軸の方向におけるリング本体の寸法は、テープの要求拡張率に応じて定められることが好ましい。

本発明によれば、リング本体の円環形状の維持とリング状リップの柔軟性とを両立することが可能となる。

実施形態に係る拡張保持リングの全体斜視図である。 図１に示した拡張保持リングの組立斜視図である。 図１に示した拡張保持リングの断面図である。 ダイシングテープを備えたウェーハユニットの説明図である。 ワーク分割装置の概略構成を示した説明図である。 リング本体に対してリップ本体が傾動している状態を示した断面図である。 拡張保持リングを搬送する搬送装置の全体斜視図である。 図７に示した搬送装置の要部拡大図である。 搬送装置によって拡張保持リングが保持された要部拡大図である。 搬送された拡張保持リングとエキスパンドリングとの位置関係を示した要部拡大図である。 拡張保持リングが不正姿勢で保持された場合の要部拡大図である。 テーパ面に吸着される吸着パッドを示した説明図である。 拡張保持リングの他の形態を示した断面図である。

以下、添付図面に従って本発明に係る拡張保持リングの実施形態について説明する。

図１は、実施形態に係る拡張保持リング１０の全体斜視図であり、図２は、図１に示した拡張保持リング１０の組立斜視図である。また、図３は、図１に示した拡張保持リング１０の断面図である。

図１乃至図３に示すように、実施形態の拡張保持リング１０は、リング本体１２とリング状リップ１４とを備えている。リング本体１２は、本発明のリング本体の一例であり、リング状リップ１４は、本発明のリング状リップの一例である。まず、拡張保持リング１０によって拡張状態で保持されるテープの一例について説明する。

図４は、ウェーハユニット２の一例を示す説明図であり、図４のＩＶＡはウェーハユニット２の斜視図、図４のＩＶＢはウェーハユニット２の断面図である。このウェーハユニット２は、上記の拡張保持リング１０によって拡張状態で保持されるダイシングテープ（テープに相当）４を備えている。

図４に示すように、ウェーハユニット２は、ウェーハ１、フィルム状接着材３、ダイシングテープ４及びフレーム５を有している。ウェーハ１は、表面に粘着層が形成された厚さ１００μｍ程度のダイシングテープ４に、フィルム状接着材３を介して貼付されている。ダイシングテープ４は、剛性のあるリング状のフレーム５に外周部が固定されている。また、ダイシングテープ４は、ウェーハ１が貼付される平面視円形状の中央部領域４Ａと、中央部領域４Ａの外縁部（ウェーハ１の外縁部）とフレーム５の内縁部との間の平面視ドーナツ形状の環状部領域４Ｂと、を有している。ウェーハ１は、ウェーハユニット２の状態でワーク分割装置５０（図５参照）に搬入され、ワーク分割装置５０によって個々のチップ６に分割される。

図５は、ワーク分割装置５０の概略構成を示した説明図である。以下、ワーク分割装置５０によるチップ分割動作について簡単に説明する。

まず、図５のＶＡで示すように、ウェーハユニット２のフレーム５をワーク分割装置５０のフレーム固定部５２に固定する。次に、エキスパンドリング５４を上昇させてダイシングテープ４の裏面（ウェーハ１が貼付されている表面とは反対側の面）側からダイシングテープ４の環状部領域４Ｂを突き上げる。このエキスパンドリング５４の上昇動作によってダイシングテープ４が拡張され、ウェーハ１が個々のチップ６（図５のＶＢ参照）に分割される。なお、環状部領域４Ｂを突き上げるエキスパンドリング５４の上面には、環状部領域４Ｂとの間の摩擦力を低減するためのローラ５６が回動自在に設けられている。

次に、図５のＶＢで示すように、拡張保持リング１０を上昇させて、リング状リップ１４をフレーム５の表面５Ａに環状部領域４Ｂを介して嵌合させる（図５のＶＣ参照）。この拡張保持リング１０の上昇動作によって、ダイシングテープ４が拡張状態で保持される。次に、図５のＶＣに示すように、エキスパンドリング５４を下降させる。このとき、ダイシングテープ４は、エキスパンドリング５４による拡張は解除されるが、拡張保持リング１０のリング状リップ１４がフレーム５の表面５Ａに嵌合されているので、弛むことなく拡張状態で保持される。

図１乃至図３に戻って、実施形態の拡張保持リング１０について引き続き説明する。拡張保持リング１０は、既述したようにリング本体１２とリング状リップ１４とを備えている。

リング状リップ１４は、リング本体１２よりも軟質材料により形成されている。リング状リップ１４は、後述するように、リング本体１２の外周面１２Ａに着脱自在に装着可能であり、リング本体１２の外周面１２Ａから外側に向かって突出されている。また、リング状リップ１４の外径は、フレーム５の開口５Ｂ（図３参照）の内径よりも大きく構成されている。このような構成により、本例のリング状リップ１４は、図５に示したフレーム５の開口５Ｂを通過する場合、開口５Ｂの内縁部に押圧され弾性変形して縮径する。そして、開口５Ｂを通過した場合、元の形状に弾性復帰して拡径し、フレーム５の表面５Ａに環状部領域４Ｂを介して嵌合する（図５のＶＣ参照）。

リング本体１２は、一例として金属製である。リング本体１２を構成する金属材料としては、一例としてアルミニウムを挙げることができるが、アルミニウムに限定されるものではなく、ダイシングテープ４の拡張時（図５のＶＢの状態）及び拡張保持時（図５のＶＣの状態）に変形しにくい剛性の高い金属材料であれば適用可能である。リング状リップ１４は、一例として樹脂製である。リング状リップ１４を構成する樹脂材料としては、一例としてポリプロピレンを挙げることができるが、ポリプロピレンに限定されるものではなく、ダイシングテープ４の拡張時（図５のＶＢの状態）に弾性変形しやすい柔軟性を有する樹脂材料であれば適用可能である。

図３に示すように、リング本体１２の外表面にはフッ素樹脂コーティング層１６が設けられている。このフッ素樹脂コーティング層１６によって、リング本体１２の上面１２Ｂ（環状部領域４Ｂを突き上げる面）と環状部領域４Ｂ（図５参照）との間の摩擦力を低減することができる。その結果、図５のＶＢで示すように、拡張保持リング１０による環状部領域４Ｂの突き上げ時に、リング本体１２の上面１２Ｂに対して環状部領域４Ｂが滑りやすくなるので、ダイシングテープ４が破損することを防止することができる。

図３に示すように、リング本体１２は、リング本体１２の外周面１２Ａに沿って形成された環状凹状部１８を有する。そして、リング状リップ１４は、環状凹状部１８に挿入配置される環状本体部２０を有している。すなわち、本例のリング状リップ１４は、環状本体部２０を環状凹状部１８に挿入配置する構成によりリング本体１２に着脱自在に装着される。

リング状リップ１４は、上記の環状本体部２０と、環状本体部２０の外周面２０Ａから外側に向かって突出形成されて、フレーム５の表面５Ａに嵌合可能なリップ部２２と、有している。

図３において、フレーム５に対する拡張保持リング１０の挿入方向を上方向とした場合、リップ部２２は、環状本体部２０との連結部から下方の先端部に向けて拡径する形状に形成されている。このようなリップ部２２を有する拡張保持リング１０によれば、拡張保持リング１０の挿入方向（上方向）への移動ではフレーム５を通過可能で、開口５Ｂを通過した後の逆方向（下方向）への移動はフレーム５を通過不能である。

上記の如く構成された実施形態の拡張保持リング１０によれば、以下のメリットがある。すなわち、リング状リップ１４をリング本体１２よりも軟質材料によって形成し、且つリング本体１２の外周面１２Ａに着脱自在に装着可能な構成としたので、ダイシングテープ４の拡張時（図５のＶＢの状態）においてリング本体１２の円環形状の維持とリング状リップ１４の柔軟性とを両立することが可能となる。なお、図５のＶＢでは、エキスパンドリング５４によって拡張された後、拡張保持リング１０によって更に拡張されたダイシングテープ４が示されている。つまり、ダイシングテープ４の張力が最も高くなった状態が示されている。

また、リング本体１２を金属製としたので、リング本体１２の円環形状が維持しやすくなる。これにより、張力の大きなダイシングテープ４に適用した場合でも、拡張保持リング１０がフレーム５から脱落することを防止できる。また、リング状リップ１４を樹脂製としたので、リング状リップ１４が変形しやすくなる。これにより、ダイシングテープ４の拡張時にダイシングテープ４が破損することを抑えることができる。

また、図３に示すように、実施形態の拡張保持リング１０は、拡張保持リング１０の厚み方向におけるリング状リップ１４の環状本体部２０の寸法ａが環状凹状部１８の寸法ｂよりも小さく構成されている。この構成を採用することにより、リップ部２２の弾性変形量を少量に抑えることが可能となる。なお、拡張保持リング１０の厚み方向とリング状リップ１４の中心軸Ｃの方向は同方向である。

具体的に説明すると、図６に示す拡張保持リング１０の断面図の如く、フレーム５の開口５Ｂを通過中（弾性変形中）のリング状リップ１４は、フレーム５の内縁部に相対的に押圧される。そうすると、リング状リップ１４は、環状凹状部１８の外周端１８Ａに当接している、環状本体部２０の外周エッジ部２０Ｂを支点として矢印Ａで示す方向（下方向）に傾動していく。そして、リップ部２２は、上記の傾動に追従しながら同じく矢印Ａで示す方向に弾性変形されていき、開口５Ｂを通過したところで元の形状に弾性復帰してフレーム５の表面５Ａに嵌合する。

ここで、図３及び図６に示した本例の構成に対して、例えば、環状本体部２０の寸法ａと環状凹状部１８の寸法ｂとが等しい拡張保持リングの場合、上述した環状本体部２０の傾動動作（環状本体部２０の矢印Ａで示す方向の傾動）は行われない。このため、開口５Ｂを通過中のリップ部２２の弾性変形量は、図６に示したリップ部２２の弾性変形量に環状本体部２０の傾動動作量を加えた量となるので、大きなが負荷がリップ部２２にかかってしまう。そこで、実施形態の拡張保持リング１０は、環状本体部２０の寸法ａを環状凹状部１８の寸法ｂよりも小さくした構成を採用したので、リップ部２２の弾性変形量を少量に抑えることが可能となり、その結果、リング状リップ１４の使用寿命を延ばすことができる。また、上記の構成を採用することにより、リップ部２２からダイシングテープ４にかかる負荷を軽減することができるので、ダイシングテープ４の破損を抑えることができる。

また、実施形態の拡張保持リング１０は、リング本体１２にリング状リップ１４が着脱自在な構成を採用しているので、ワーク分割装置５０（図５参照）において拡張保持リング１０が繰り返し使用され、その繰り返しの使用により、リップ部２２が摩耗したり塑性変形したりしてリップ部２２が使用限界に達した場合であっても、リング状リップ１４をリング本体１２から取り外し、新たなリング状リップ１４と交換することができる。したがって、実施形態の拡張保持リング１０によれば、リング状リップ１４のみを交換すればよいので、リング本体とリング状リップとが一体の拡張保持リングと比較して、交換にかかるコストを削減することができる。

上記のようにリング状リップ１４は、リップ部２２に使用限界がある。その場合、例えばリング状リップ１４を製造ロット毎に管理可能であれば、その製造ロットで製造されたものの１つに使用限界が生じた場合、その製造ロットで製造された全てのリング状リップ１４について使用限界に達したと判断することができる。

そこで、実施形態の拡張保持リング１０では、リング状リップ１４にリング本体１２とは異なる色彩が付されている。例えば、リング本体１２が黒色の場合、リング状リップ１４は青色の色彩が付されている。そして、リング状リップ１４は、リング状リップ１４の製造ロット毎に異なる色彩が付されている。これにより、リング状リップ１４に付された色彩を見ることにより、そのリング状リップ１４の製造ロットを認識することができる。その結果、使用限界を超えたリング状リップ１４が発見された場合、そのリング状リップ１４と同じ製造ロットで製造された他の全てのリング状リップ１４（つまり、拡張保持リング１０）の使用を直ちに停止することができる。これにより、拡張保持リング１０がフレーム５から脱落するという事象の発生を未然に防止ことができる。なお、リング状リップ１４に色彩を付す方法としては、リング状リップ１４の樹脂材料に顔料を添加する方法を挙げることができる。

また、図３に示すように、実施形態の拡張保持リング１０は、リング本体１２の内周面１２Ｃに、リング本体１２の中心軸Ｃに対して斜めに傾いたテーパ面２４が形成されている。図３において、フレーム５に対する拡張保持リング１０の挿入方向を上方向とした場合、テーパ面２４は、リング本体１２の開口部１３（図９参照）を上部から下部に向けて拡径する方向に傾斜している。このテーパ面２４は、後述するように拡張保持リング１０を搬送する際に有効利用される。以下、拡張保持リング１０を搬送する搬送装置の一例を説明する。

図７は、拡張保持リング１０を搬送する搬送装置７０の全体斜視図であり、図８は、図７に示した搬送装置７０の要部拡大図である。図７及び図８に示すように、搬送装置７０は、搬送アーム７２と、３つのチャッキング機構部７４と、を備えている。

図７に示すように、各チャッキング機構部７４は、搬送アーム７２に連結されたブラケット７６を有しており、各ブラケット７６は、搬送アーム７２の保持支点Ｐを中心として放射状に延設されている。図８に示すように、各ブラケット７６の先端側には、シリンダ８０が取り付けられており、各シリンダ８０のピストン８２の先端にクランプ爪７８が取り付けられている。

各クランプ爪７８は、図７に示した保持支点Ｐを中心とする同心円上に等間隔（１２０度間隔）で配置されており、図８に示したピストン８２の伸縮動作により上記同心円の半径方向に沿って往復移動する。ピストン８２の伸長動作により各クランプ爪７８が図８に示した位置（退避位置）から半径方向外側に移動されて、図９に示す位置（保持位置）に位置したところで、各クランプ爪７８が拡張保持リング１０のテーパ面２４に押圧当接される。この動作によって、拡張保持リング１０が各チャッキング機構部７４に保持（チャッキング）される。そして、拡張保持リング１０は、搬送アーム７２の搬送動作によって、例えば、図１０に示すエキスパンドリング５４の上方位置まで搬送される。

図１０は、搬送された拡張保持リング１０とエキスパンドリング５４との位置関係を示した要部拡大図である。図１０に示すように、拡張保持リング１０がエキスパンドリング５４の上方位置まで搬送されると、図９に示した保持位置にある各クランプ爪７８が、ピストン８２の収縮動作により半径方向内側に移動されて図８に示した退避位置に位置する。この動作により、各チャッキング機構部７４による拡張保持リング１０の保持（チャッキング）が解除されて、拡張保持リング１０がエキスパンドリング５４に向けて落下する。

図１０に示すように、エキスパンドリング５４には、複数のローラ５６を有するローラーリング９０と、ローラーリング９０の外径よりも大きい外径を有するローラーリング受け部９２とが備えられており、上記の落下した拡張保持リング１０はローラーリング受け部９２の上面９２Ａに着座する。ローラーリング受け部９２には、不図示の着座センサ（例えば３箇所）が設けられており、着座センサによって拡張保持リング１０が正しく上面９２Ａに着座しているか否かが検知される。なお、ローラーリング受け部９２を有するエキスパンドリング５４を備えたワーク分割装置の場合は、エキスパンドリング５４の上昇動作と共に拡張保持リング１０も上昇されて、エキスパンドリング５４と共同してダイシングテープ４を拡張する。

ところで、図７乃至図９で示した搬送装置７０では、各チャッキング機構部７４によって拡張保持リング１０が正しい姿勢で保持されているか否かが検知されている。正しい姿勢とは、図１０に示したエキスパンドリング５４に正しくセットされるための姿勢であり、ここでは図８及び図９に示した姿勢（リップ部２２が下方に向けて垂れている姿勢）が正しい姿勢となる。この正しい姿勢に対して、天地逆の図１１に示す不正な姿勢（リップ部２２が上方に向けて伸びている姿勢）では、拡張保持リング１０をエキスパンドリング５４に正しくセットすることができないため、不正姿勢の拡張保持リング１０を保持した場合には、それを検知して拡張保持リング１０の搬送を停止する必要がある。そこで、搬送装置７０では、拡張保持リング１０のテーパ面２４を利用して、上記の不正姿勢を検知している。以下、不正姿勢を検知するための検知装置の一例について簡単に説明する。

本例の検知装置としては、吸着圧センサ（不図示）とシリンダセンサ（不図示）とを用いて不正姿勢を検知する構成が採用されている。具体的に説明すると、図１２に示すように、チャッキング機構部７４は、ピストン８２によってクランプ爪７８（図８参照）と一体に動作する吸着パッド８４を有している。この吸着パッド８４は、クランプ爪７８がテーパ面２４に押圧当接された場合、テーパ面２４に吸着可能な位置に設けられている。吸着パッド８４がテーパ面２４に吸着すると、吸着パッド８４とテーパ面２４との間に負圧が発生し、その負圧を上記の吸着圧センサによって検出している。

また、チャッキング機構部７４は、ピストン８２の伸び量を検出する上記のシリンダセンサを有している。本例のシリンダセンサは、正しい姿勢（図９参照）でクランプ爪７８がテーパ面２４に押圧当接した場合のピストン８２の伸び量をセンサ範囲内に設定し、天地逆の不正姿勢（図１１参照）でクランプ爪７８がテーパ面２４に押圧当接した場合のピストン８２の伸び量をセンサ範囲外に設定している。

具体的に説明すると、図９に示すように、正しい姿勢で保持された場合の拡張保持リング１０のテーパ面２４は、リング本体１２の開口部１３を上部から下部に向けて拡径する方向に傾斜している。そして、図９の正しい姿勢においてクランプ爪７８は、テーパ面２４の上部（開口部１３の小径部）に押圧当接される。一方、図１１に示すように、天地逆の不正姿勢の場合、クランプ爪７８は、図９の小径部の位置よりも下方に位置する大径部に押圧当接される。つまり、ピストン８２の伸び量は、正規の姿勢で保持した場合の伸び量と比較して、天地逆の不正姿勢で保持した場合の伸び量の方が大きくなる。このようにテーパ面２４を利用してピストン８２の伸び量に違いを持たせることにより、上記のとおり、正しい姿勢（図９参照）保持した場合のピストン８２の伸び量をセンサ範囲内に設定し、天地逆の不正姿勢（図１１参照）で保持した場合のピストン８２の伸び量をセンサ範囲外に設定することが可能となっている。

本例の検知装置によれば、正しい姿勢（図９参照）でクランプ爪７８がテーパ面２４に押圧当接した場合、吸着圧センサによって負圧が検出され、シリンダセンサによってピストン８２の伸び量が検出される。すなわち、双方のセンサがＯＮになることから拡張保持リング１０が正しい姿勢で保持されていると判断し、拡張保持リング１０の搬送を許可する。

一方、天地逆の不正姿勢（図１１参照）でクランプ爪７８がテーパ面２４に押圧当接した場合、正しい姿勢（図９参照）でクランプ爪７８がテーパ面２４に押圧当接した場合と比較して、ピストン８２の伸び量が大きくなる。この場合、吸着圧センサでは負圧を検出するものの、シリンダセンサはセンサ範囲外であるので反応しない。つまり、双方のセンサがＯＮにならないため拡張保持リング１０が不正姿勢で保持されていると判断し、拡張保持リング１０の搬送を許可しない。この場合、例えば、ワーク分割装置５０の操作画面にエラーポップアップを表示して警告を行なうことが好ましい。

図３に戻り、拡張保持リング１０について更に説明する。拡張保持リング１０は、拡張保持リング１０の厚み方向（リング状リップ１４の中心軸Ｃの方向）におけるリング本体１２の寸法ｄ（ｄ１）が、ダイシングテープ４の要求拡張率に応じて定められている。

ここで、図１３に示す他の実施形態の拡張保持リング１００を参照して説明する。なお、拡張保持リング１００を説明するにあたり、図３に示した拡張保持リング１０と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付して説明する。

高い拡張率が必要なダイシングテープ４の場合、図１３に示す拡張保持リング１００の如く、寸法ｄがｄ１（図３参照）からｄ２（ｄ１＜ｄ２）に変更されたリング本体１０２が使用される。具体的に説明すると、環状凹状部１８の内面のうちリング状リップ１４が載置される載置面１８Ｂと上面１２Ｂとの間の寸法ｅがｅ１（図３参照）からｅ２（ｅ１＜ｅ２）に変更されたリング本体１０２が使用される。そして、リング状リップ１４については変更なくリング本体１０２の環状凹状部１８に装着される。

図１３に示す拡張保持リング１００によれば、上記の寸法（ｄ２、ｅ２）を有するリング本体１０２を備えているので、高い拡張率が必要なダイシングテープ４に好適である。なお、低い拡張率が要求されるダイシングテープ４の場合は、上記の寸法（ｄ、ｅ）を要求される拡張率に応じて小さくすればよい。

以上の如く、上述した各実施形態の拡張保持リング１０、１００は、リング本体１２、１０２にリング状リップ１４が着脱自在に装着可能な構成が採用されているため、リング本体１２は要求拡張率に対応したものが選択使用されるが、リング状リップ１４については共通使用することができる。すなわち、各実施形態の拡張保持リング１０、１００によれば、リング本体１２、１０２の製造用金型のみ要求拡張率に応じたものを揃えておけばよく、リング状リップ１４の製造用金型は１種類で対応できる。

また、上述した各実施形態では、ダイシングテープ４を拡張状態で保持するための拡張保持リング１０、１００について説明したが、この拡張保持リング１０、１００を使用してダイシングテープ４を拡張し、ウェーハ１を個々のチップ毎に分割することも可能である。つまり、拡張保持リング１０、１００にエキスパンドリング５４の機能も付加してもよい。この場合、拡張保持リング１０、１００をウェーハユニット２に対して相対的に上下動させることにより、拡張保持リング１０、１００のリング本体１２、１０２によってダイシングテープ４の環状部領域４Ｂを突き上げる。これにより、拡張保持リング１０、１００によってウェーハ１を個々のチップ６に分割可能となる。その後、拡張保持リング１０、１００によってダイシングテープ４を拡張状態で保持する。

以上、本発明に係る拡張保持リングの一例について説明したが、本発明の技術は実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、いくつかの改良又は変形を行ってもよい。

１…ウェーハ、２…ウェーハユニット、３…フィルム状接着材、４…ダイシングテープ、５…フレーム、１０…拡張保持リング、１２…リング本体、１４…リング状リップ、１６…フッ素樹脂コーティング層、１８…環状凹状部、２０…環状本体部、２２…リップ部、２４…テーパ面、５０…ワーク分割装置、５２…フレーム固定部、５４…エキスパンドリング、５６…ローラ、７０…搬送装置、７２…搬送アーム、７４…チャッキング機構部、７６…ブラケット、７８…クランプ爪、８０…シリンダ、８２…ピストン、８４…吸着パッド、９０…ローラーリング、９２…ローラーリング受け部、１００…拡張保持リング、１０２…リング本体

Claims (10)

1. フレームに外周部が固定されたテープを拡張状態で保持するための拡張保持リングであって、
   リング本体と、
   前記リング本体よりも軟質材料により形成されたリング状リップであり、前記リング本体の外周面に着脱自在に装着可能であり、前記リング本体の外周面から外側に向かって突出したリング状リップと、
   を備える、拡張保持リング。
2. 前記リング状リップの外径は、前記フレームの内径よりも大きい、
   請求項１に記載の拡張保持リング。
3. 前記リング本体は金属製であり、
   前記リング状リップは樹脂製である、
   請求項１又は２に記載の拡張保持リング。
4. 前記リング本体は、前記リング本体の外周部に沿って形成された環状凹状部を有し、
   前記リング状リップは、前記環状凹状部に挿入配置される環状本体部を有する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の拡張保持リング。
5. 前記リング状リップの中心軸の方向における前記環状本体部の寸法は前記環状凹状部の寸法よりも小さい、
   請求項４に記載の拡張保持リング。
6. 前記リング本体の外表面にはフッ素樹脂コーティング層が設けられる、
   請求項１から５のいずれか１項に記載の拡張保持リング。
7. 前記リング状リップは、前記リング本体とは異なる色彩が付されている、
   請求項１から６のいずれか１項に記載の拡張保持リング。
8. 前記リング状リップは、前記リング状リップの種類に応じて異なる色彩が付されている、
   請求項７に記載の拡張保持リング。
9. 前記リング本体の内周面には、前記リング本体の中心軸に対して斜めに傾いたテーパ面が形成されている、
   請求項１から８のいずれか１項に記載の拡張保持リング。
10. 前記リング本体の中心軸の方向における前記リング本体の寸法は、前記テープの要求拡張率に応じて定められる、
    請求項１から９のいずれか１項に記載の拡張保持リング。

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