JP2023049556A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数に分割されたマッフルにおける、隣り合うマッフルの境界からの雰囲気ガスの漏洩等を抑制することができる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置は、ワークＷを熱処理するための熱処理空間Ｓが内部に形成されたセラミック製のマッフル１１と、マッフル１１を覆う金属製のカバー３０と、を備え、マッフル１１が、複数に分割されており、複数に分割されたマッフルが熱処理空間Ｓを繋ぐように並べられて配置されている。カバー３０は、複数に分割されたマッフルにおける、隣り合うマッフルの境界Ｋ１を覆う複数の主カバー３１と、複数の主カバー３１を架橋する副カバー３２と、を含む。【選択図】図３

Description

本発明は、熱処理装置に関する。

特許文献１には、セラミック製チューブの外側を金属製シェルで覆ったレトルトを備え、セラミック製チューブ内でワークを軸方向に搬送しつつ熱処理するように構成された熱処理炉が開示されている。この熱処理炉では、セラミック製チューブが軸方向において複数の分割体に分割され、複数の分割体が１つの金属製シェル内に挿入されている。

特開２０１５－８３９１９号公報

特許文献１に記載された熱処理炉では、セラミック製チューブの隣り合う分割体の境界に隙間を完全になくすことは容易でなく、この隙間から雰囲気ガスが漏れたり外部のガスが浸入したりする可能性がある。一方、複数の分割体は、金属製シェルによって覆われているので、隙間からの雰囲気ガスの漏洩等はある程度抑制される。しかしながら、金属製シェルはセラミック製チューブに比べ熱変形しやすい。さらに、金属製シェルは１つの長い筒体により構成されている。そして、その筒体は、複数の分割体の全てを覆っているので体積が大きい。筒体の体積が大きくなると、その分、熱によって筒体が大きく反りやすくなる。よって、金属製シェルの熱による変形量は大きくなる。そのため、セラミック製チューブから金属製シェルが部分的に浮き上がり、隙間を十分に塞ぐことができなくなる恐れがある。

本発明は、複数に分割されたマッフルにおける、隣り合うマッフルの境界からの雰囲気ガスの漏洩等を抑制することができる熱処理装置を提供することを目的とする。

（１）本発明は、ワークを熱処理するための熱処理空間が内部に形成されたセラミック製のマッフルと、前記マッフルを覆う金属製のカバーと、を備え、前記マッフルが、複数に分割されており、複数に分割されたマッフルが熱処理空間を繋ぐように並べられて配置されている、熱処理装置において、
前記カバーは、前記複数に分割されたマッフルにおける、隣り合うマッフルの境界を覆う主カバーと、
複数の前記主カバーを架橋する副カバーと、を含むことを特徴とする。

上記構成によれば、複数に分割されたマッフルが主カバー及び副カバーによって覆われる。すなわち、カバーは、主カバーと副カバーとに分割されており、単一カバーあたりの面積が小さくなる。そのため、カバーが分割されていない場合と比較して、主カバー及び副カバーの熱による変形を抑制することができる。そのため、主カバーのマッフルからの浮き上がりを抑え、境界からマッフル外への雰囲気ガスの漏洩やマッフル内への外部ガスの浸入を抑制することができる。また、カバーは、複数の主カバーを架橋する副カバーを有している。そのため、主カバーは副カバーによって外側から押さえられる。これによって、主カバーのマッフルからの浮き上がりがより抑えられる。

（２）好ましくは、少なくとも１つの前記主カバーが複数の前記境界を覆っている。
このような構成によって、１つの境界に対して１つの主カバーが配置される場合と比較して、カバー全体の数量を少なくできる。

（３）好ましくは、熱処理装置が、前記主カバーと、前記副カバーとの相対移動を制限する保持機構を備えている。
このような構成によって、主カバーと副カバーとの重合が外れるのを抑制することができる。

本発明によれば、複数に分割されたマッフルにおける、隣り合うマッフルの境界からの雰囲気ガスの漏洩等を抑制することができる。

本発明の第１実施形態に係る熱処理装置の概略図である。 図１のＡ－Ａ線における断面図である。 図２のＢ－Ｂ線におけるマッフル及びカバーの断面図である。 マッフル及びカバーを示す概略的な斜視図である。 （ａ）は、図３のＣ部におけるカバーの断面図、（ｂ）は、（ａ）のＤ矢視図である。 図３のＥ部におけるカバーの断面図である。 図２のＦ部におけるマッフル及びカバーの断面図である。 本発明の第２実施形態におけるカバーを示す断面図である。 本発明の第３実施形態における保持機構を示す断面図である。

以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る熱処理装置の概略図である。図２は、図１のＡ－Ａ線における断面図である。図３は、図２のＢ－Ｂ線におけるマッフルの断面図である。
本実施形態の熱処理装置は、連続熱処理炉１０である。連続熱処理炉１０は、複数のワークＷを順次搬送しつつ、熱処理するものである。なお、以下の説明において、ワークＷの搬送方向を符号Ｘで示し、ワークＷの搬送方向Ｘに直交するマッフル１１の幅方向を符号Ｙで示し、方向Ｘ，Ｙに直交する上下方向を符号Ｚで示す。

連続熱処理炉１０は、マッフル１１、搬送装置１２、断熱壁１３、加熱装置１４、ガス供給管１５、及びカバー３０等を有している。
マッフル１１は、筒形状に形成され、内部に熱処理空間Ｓを有している。マッフル１１は、ワークＷの搬送方向Ｘに長く形成され、熱処理空間Ｓも同方向Ｘに延びている。したがって、ワークＷは、マッフル１１の長手方向に搬送される。以下の説明では、マッフル１１の長手方向にも符号Ｘを付すことがある。

マッフル１１は、底部２１と、一対の側壁部２２と、天井部２３とを有する。底部２１、側壁部２２、及び天井部２３で囲まれた空間が熱処理空間Ｓとされている。

マッフル１１の底部２１は、平坦な上面２１ａを有している。一対の側壁部２２は、マッフル１１の幅方向Ｙにおける底部２１の両端部から上方へ直線状に延びている。天井部２３は、一対の側壁部２２の上端部同士に跨るように設けられている。

本実施形態のマッフル１１は、側壁部２２及び天井部２３が一体となり、これらと底部２１とが別体で構成されている。一対の側壁部２２の下端は、底部２１の上面２１ａに接している。また、本実施形態のマッフル１１は、非金属製の耐熱材料であるセラミックにより形成されている。セラミックとは、非金属・無機物の固体材料であり、鉄、アルミ、銅などの金属材料、プラスチックや木材などの有機材料以外が該当する。より具体的には、セラミックとして代表的な、陶磁器・耐火物（耐火煉瓦）・ガラス・セメントなどオールドセラミックや、ニューセラミック（ファインセラミック）が該当する。

マッフル１１は、複数に分割されている。具体的に、マッフル１１は、複数の分割体４０からなり、複数の分割体４０をワークＷの搬送方向Ｘに並べることによって構成されている。この分割体４０は、底部２１を構成する下側分割体１１Ａと、側壁部２２及び天井部２３を構成する上側分割体１１Ｂとからなる。

図１に示すように、ワークＷの搬送方向Ｘにおけるマッフル１１の両端部、言い換えると、マッフル１１におけるワークＷの入口部と出口部との比較的温度の低い領域には、筒型又は門型の金属チャンバ１８が接続されている。

搬送装置１２は、マッフル１１内の熱処理空間ＳにおいてワークＷをマッフル１１の長手方向Ｘに搬送する。本実施形態では、複数（例えば、３個）の搬送装置１２が、マッフル１１の幅方向Ｙに間隔をあけて並べて配置されている。本実施形態の搬送装置１２は、搬送チェーン１２ａと、スプロケット１２ｂ、１２ｃとを有するチェーンコンベアである。チェーン１２ａは、マッフル１１の底部２１の上面２１ａに設けられたレール２１ｂ上を移動する。チェーン１２ａは、駆動スプロケット１２ｂ及び従動スプロケット１２ｃに巻き掛けられ、マッフル１１内を長手方向Ｘに移動する。チェーン１２ａ上には、ワークＷを載せるためのトレイＴが設けられている。本実施形態では、複数枚のトレイＴが上下方向Ｚに間隔をあけて積層され、各トレイＴにワークＷが載置される。搬送装置１２は、ベルトコンベアやローラコンベア等の他形式のものであってもよい。

断熱壁１３は、図２に示すように、マッフル１１の下方に配置された下部断熱壁１３ａ、マッフル１１の幅方向Ｙにおける両側に配置された側部断熱壁１３ｂ、マッフル１１の上方に上部断熱壁１３ｃを有している。マッフル１１は、下部断熱壁１３ａ、側部断熱壁１３ｂ及び上部断熱壁１３ｃで囲まれた空間に配置されている。断熱壁１３は、例えばセラミックファイバーを用いて厚肉板状に成形された断熱材により構成することができる。

加熱装置１４は、マッフル１１の下方に配置されたヒーターを有している。加熱装置１４は、マッフル１１を外側から加熱し、マッフル１１内の熱処理空間Ｓを所定の温度に昇温する。加熱装置１４としては、電気抵抗加熱式のものやガス燃焼加熱式のものを用いることができる。加熱装置１４の配置や形式は特に限定されるものではなく、例えば、マッフル１１の幅方向Ｙにおける側方や、マッフル１１の上方等に配置されていてもよい。加熱装置１４は、断熱壁１３に埋設されていてもよい。

ガス供給管１５は、マッフル１１内にガスを供給することによって所定の雰囲気を生成する。本実施形態では、例えば窒素ガスが用いられる。ガス供給管１５は、マッフル１１の底部２１の上面２１ａを這うように配置されている。具体的に、ガス供給管１５は、底部２１の上面２１ａに載置され、当該上面２１ａによって下方から支持されている。

ガス供給管１５は、ワークＷの搬送方向Ｘに延びている。ガス供給管１５は、マッフル１１の幅方向Ｙにおける搬送装置１２の両外側と、隣り合う搬送装置１２の間とに、それぞれ設けられている。したがって、本実施形態では、合計４本のガス供給管１５がマッフル１１内に設けられている。ガス供給管１５の外周面には、ガスを吐出するための吐出口が形成されている。吐出口は、ワークＷの搬送方向Ｘに間隔をあけて複数形成されている。マッフル１１の幅方向Ｙにおける搬送装置１２の両外側に配置されたガス供給管１５には、同方向Ｙの内側に位置するワークＷに向けて斜め上方へガスを吐出するように吐出口が形成されている。隣り合う搬送装置１２の間に配置された各ガス供給管１５には、それぞれマッフル１１の幅方向Ｙの両側に配置されたワークＷに向けて斜め上方へガスを吐出するように吐出口が形成されている。

隣り合う搬送装置１２の間に配置された２本のガス供給管１５のうち、一方のガス供給管１５には、ガス導入管１６が隣接して配置されている。本実施形態では、マッフル１１の幅方向Ｙにおけるガス供給管１５の両側に、２本のガス導入管１６が隣接して配置されている。このガス導入管１６は、マッフル１１内における所定のガスの濃度等を検出するために、マッフル１１内のガスを導入し、マッフル１１外へ送るために用いられる。

図４は、マッフル及びカバーを示す概略的な斜視図である。
図２～図４に示すように、カバー３０は、マッフル１１を外側から覆っている。具体的に、カバー３０は、マッフル１１の側壁部２２と天井部２３とを外側から覆っている。したがって、カバー３０は、側壁部２２を覆う部分３０ａと天井部２３を覆う部分３０ｂとによって、下方が開放したコの字状に形成されている。カバー３０は、耐熱性を有する金属、例えば、インコネル６０１（「インコネル」は登録商標）等のニッケル合金や、ＳＵＳ３１０，ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼によって形成されている。

カバー３０は、主カバー３１と、副カバー３２とを含む。主カバー３１と副カバー３２とは、それぞれ複数設けられている。主カバー３１と副カバー３２とは、ワークＷの搬送方向Ｘに交互に配置されている。したがって、複数の主カバー３１は、ワークＷの搬送方向Ｘに間隔をあけて配置され、複数の副カバー３２は、ワークＷの搬送方向Ｘに間隔をあけて配置されている。ワークＷの搬送方向Ｘに並べて配置された主カバー３１の間隔は、熱によって主カバー３１が伸びたときに互いに干渉しない間隔とされる。ワークＷの搬送方向Ｘに並べて配置された副カバー３２の間隔は、熱によって副カバー３２が伸びたときに互いに干渉しない間隔とされる。

各主カバー３１は、マッフル１１の隣り合う分割体４０の境界Ｋ１を覆っている。具体的に、主カバー３１は、ワークＷの搬送方向Ｘにおける分割体４０の長さよりも、やや長い同方向Ｘの長さを有し、各分割体４０の両側に位置する２つ境界Ｋ１を跨ぎ、この２つの境界Ｋ１を外側から覆っている。そのため、主カバー３１は、分割体４０の境界Ｋ１からマッフル１１内の雰囲気ガスが漏洩したり、外部のガスがマッフル１１内に浸入したりするのを抑制している。

各副カバー３２は、ワークＷの搬送方向Ｘに隣り合う主カバー３１に渡って配置されている。言い換えると、副カバー３２は、隣り合う主カバー３１に跨って配置され、両主カバー３１を架橋している。各副カバー３２は、隣接する主カバー３１の端部を外側から覆っている。したがって、主カバー３１と副カバー３２とは、ワークＷの搬送方向Ｘにおける端部において互いに重なり合っている。副カバー３２は、主カバー３１よりも一回り大きく形成され、マッフル１１の外面に対して主カバー３１の厚さ分の隙間をあけて配置されている。

副カバー３２は、主カバー３１の端部を外側から覆うことによって主カバー３１を押さえている。特に、主カバー３１のうちマッフル１１の天井部２３を覆う部分は、副カバー３２の自重により上方から押さえられている。これにより、副カバー３２が主カバー３１にとっての「重し」となり、主カバー３１のマッフル１１からの浮き上がりを抑制することができる。また、主カバー３１のうちマッフル１１の側壁部２２を覆う部分は、副カバー３２によってマッフル１１の幅方向Ｙの外側から押さえられている。これにより、マッフル１１の幅方向Ｙにおいて、主カバー３１が外側へ広がったりマッフル１１から浮き上がったりするのを抑制することができる。そのため、副カバー３２は、主カバー３１が分割体４０の境界Ｋ１を塞ぐ効果を高め、境界Ｋ１からの雰囲気ガスの漏洩及び外部ガスの浸入を効果的に抑制することができる。また、副カバー３２は、隣り合う主カバー３１の間を塞ぐことによってマッフル１１内への外気の浸入をより抑制する。

主カバー３１及び副カバー３２は、マッフル１１全体を外側から覆うことによって、マッフル１１の熱が外部に逃げるのを抑制する。また、主カバー３１及び副カバー３２は、マッフル１１全体の熱のムラを抑制する。主カバー３１及び副カバー３２は、金属製であり、酸素を吸着する性質を有する。そのため、例えば、マッフル１１の内外を窒素ガス等の所定のガスで充満させ、マッフル１１内の雰囲気を低酸素状態に維持したい場合、主カバー３１及び副カバー３２で酸素を吸着することができるので、マッフル１１内の雰囲気を低酸素状態に維持しやすくなる。

カバー３０は、主カバー３１と副カバー３２とに分割して構成されており、単一カバー当たりの体積が小さくなっているので、全体を１つのカバーで構成する場合に比べて各カバー３１，３２の熱による変形を小さくすることができる。そのため、分割体４０の境界Ｋ１から主カバー３１が浮き上がるのを抑制することができる。同様に、副カバー３２の熱による変形を小さくすることができるため、副カバー３２が主カバー３１から浮き上がるのを抑え、副カバー３２が主カバー３１を押さえる効果を確保することができる。

主カバー３１と副カバー３２とは、ワークＷの搬送方向Ｘにおける長さが略同一とされている。そのため、両者は熱による変形量が略同じとなっている。すなわち、主カバー３１と、副カバー３２とは、熱によって反り浮き上がる虞がある範囲も略同じと想定できるため、副カバー３２が主カバー３１を押さえるのに必要となる各カバー３１、３２の重なり代を管理しやすくなる。ひいては、各カバー３１、３２同士の隙間も抑制され、マッフル１１とカバー３０との隙間が生じることを抑制することができる。

図５（ａ）は、図３のＣ部におけるカバーの断面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＤ矢視図である。
主カバー３１と副カバー３２とは、ワークＷの搬送方向Ｘにおける相対移動が制限されている。具体的に、主カバー３１の端部の外面には、棒状の突起５１が上方に突出して設けられている。副カバー３２の端部には、突起５１が挿入される孔５２が形成されている。孔５２は、ワークＷの搬送方向Ｘに長い長孔とされている。本実施形態では、主カバー３１及び副カバー３２のうち、マッフル１１の天井部２３を覆う部分３０ｂに突起５１及び孔５２が設けられている。ただし、主カバー３１及び副カバー３２のうち、マッフル１１の側壁部２２を覆う部分３０ａに突起５１及び孔５２が設けられていてもよい。

主カバー３１と副カバー３２とは、熱によってワークＷの搬送方向Ｘに伸長した場合に、孔５２の長さの範囲内で相対移動が許容されるとともに、孔５２の長さを超える範囲では、ワークＷの搬送方向Ｘの相対移動が制限される。そして、この相対移動の制限によって、主カバー３１と副カバー３２とが重なり合った状態が保持されるとともに、主カバー３１が隣り合う分割体４０の境界Ｋ１を覆った状態が保持される。そのため、境界Ｋ１からの雰囲気ガスの漏洩等が抑制される。ここにおいて、突起５１及び孔５２は、主カバー３１が隣り合う分割体４０の境界Ｋ１を覆った状態が保持する保持機構５０を構成している。また、保持機構５０によって、主カバー３１及び副カバー３２がマッフル１１を外側から覆った状態も保持されるため、マッフル１１の熱が外部に逃げることを抑制することができる。

保持機構５０の孔５２の長さ（主カバー３１及び副カバー３２の相対移動量）は、主カバー３１と副カバー３２との重なり代の大きさや、主カバー３１及び副カバー３２の熱による伸び量等に応じて、主カバー３１及び副カバー３２が重なった状態、及び、主カバー３１が境界Ｋ１を覆った状態が保持されるように設定される。

図６は、図３のＥ部におけるカバーの断面図である。
ワークＷの搬送方向Ｘの端部に配置される主カバー３１は、一端が副カバー３２に保持機構５０を介して連結されるが、他端はマッフル１１の入口部と出口部とに接続された金属チャンバ１８に固定される。具体的に、金属チャンバ１８の外面には棒状の突起５３が上方に突出して設けられ、主カバー３１の端部には、突起５３が挿入される孔５４が形成されている。孔５４は、突起５３の径よりも僅かに大きい内径を有する丸孔とされている。したがって、孔５４が形成された主カバー３１は、実質的に金属チャンバ１８に固定される。このように、ワークＷの搬送方向Ｘの両端に配置される主カバー３１を同方向Ｘに固定することによって、その間に配置される他の主カバー３１及び副カバー３２の移動量を制限することができ、主カバー３１と、副カバー３２との重合が外れることを抑制することができる。さらに、これらのカバー３１，３２の移動の累積によって各主カバー３１が分割体４０の境界Ｋ１からずれてしまうのを抑制することができる。

図７は、図２のＦ部におけるマッフル及びカバーの断面図である。
図７に示すように、主カバー３１において、マッフル１１の側壁部２２を覆う部分３０ａは、側壁部２２と底部２１との境界Ｋ２を外側から覆っている。そのため、当該境界Ｋ２からの雰囲気ガスの漏洩や境界Ｋ２からの外部ガスの浸入を抑制することができる。

図８は、本発明の第２実施形態におけるカバーを示す断面図である。
本実施形態では、複数の主カバー３１が、それぞれ隣り合う分割体４０の一つの境界Ｋ１を覆っている。したがって、各主カバー３１は、上記第１実施形態の主カバー３１に比べて、ワークＷの搬送方向Ｘにおける長さが短くなっている。また、主カバー３１に重なり合う副カバー３２は、ワークＷの搬送方向Ｘに隣り合うもの同士の間隔が狭くなっている。

本実施形態においても、上記実施形態と同様の作用効果を奏する。また、本実施形態では、複数の主カバー３１が、それぞれ隣り合う分割体４０の一つの境界Ｋ１を覆うようになっている。そのため、主カバー３１は、最低限一つの境界Ｋ１の周辺のみを覆えばよいので、第１実施形態よりワークＷの搬送方向Ｘにおける長さを短く形成できる。よって、主カバー３１は、第１実施形態の主カバー３１よりも面積を小さくすることができ、第１実施形態の主カバー３１と比較して熱による変形量を小さくすることができる。そのため、主カバー３１の分割体４０からの浮き上がりをより抑え、境界Ｋ１からマッフル１１外への雰囲気ガスの漏洩やマッフル１１内への外部ガスの浸入を抑制することができる。

図９は、本発明の第３実施形態における保持機構を示す断面図である。
本実施形態では、保持機構５０の形態が上記実施形態とは異なっている。
本実施形態では、副カバー３２の端部の内面に、棒状の突起５５が下方に突出して設けられている。突起５５の突出量は、主カバー３１の厚さよりも小さい。主カバー３１の端部の外面には、突起５５が挿入される溝５６が形成されている。溝５６は、ワークＷの搬送方向Ｘに長い長溝とされている。

したがって、本実施形態においても、主カバー３１と副カバー３２とのワークＷの搬送方向Ｘにおける相対移動が溝５６の長さの範囲で制限され、主カバー３１と副カバー３２とが重なり合う状態が保持されるとともに、主カバー３１が境界Ｋ１を覆った状態が保持される。

本実施形態において、溝５６は、主カバー３１を貫通する孔に変更することができる。また、図５に示す第１実施形態において、突起５１の突出量を副カバー３２の厚さよりも小さくし、孔５２を副カバー３２の下面に形成された溝（長溝）に変更することができる。

以上、説明した実施形態に係る連続熱処理炉１０は、搬送されているワークＷを熱処理するための熱処理空間Ｓが内部に形成された非金属製のマッフル１１と、マッフル１１の外側を覆う金属製のカバー３０とを備える。マッフル１１は、少なくとも３つの分割体４０（例えば、図３及び図８において並べて配置された３つの分割体；以下、これらを「第１分割体」、「第２分割体」、「第３分割体」ともいう）を有する。これらの第１～第３分割体４０は、ワークＷの搬送方向Ｘに並べられている。カバー３０は、第１分割体４０と第２分割体４０との境界Ｋ１を覆う主カバー（以下、「第１主カバー」ともいう）３１と、第２分割体４０と第３分割体４０との境界Ｋ１を覆う主カバー（以下、「第２主カバー」ともいう）３１とを有している。このような構成によって、分割体４０の複数の境界Ｋ１が、複数の主カバー３１によって覆われることになる。そのため、カバー３０は、複数の主カバー３１に分割され、単一カバーあたりの面積が小さくなる。そのため、カバー３０が分割されていない場合と比較して、各主カバー３１の熱による変形を抑制することができる。これにより、各主カバー３１のマッフル１１からの浮き上がりを抑え、境界Ｋ１からマッフル１１外への雰囲気ガスの漏洩やマッフル１１内への外部ガスの浸入を抑制することができる。

上記実施形態では、カバー３０が、第１主カバー３１と第２主カバー３１とに跨って配置され、第１主カバー３１及び第２主カバー３１に外側から重なり合う副カバー３２を有している。そのため、第１、第２主カバー３１が副カバー３２によって外側から押さえられ、隣り合う分割体４０の境界Ｋ１を第１、第２主カバー３１によって覆うことができる。特に、第１、第２主カバー３１は、副カバー３２の自重によって上から押さえられる。そのため、副カバー３２が第１、第２主カバー３１の重しとなり、第１、第２主カバー３１のマッフル１１からの浮き上がりが抑制される。

上記第１実施形態では、マッフル１１が、第３分割体４０とワークＷの搬送方向Ｘに並べて配置される分割体４０（以下、「第４分割体」ともいう）をさらに有し、第２主カバー３１が、第３分割体４０と第４分割体４０との境界Ｋ１をも覆っている。言い換えると、カバー３０は、複数の境界Ｋ１を覆う第２主カバー３１を有している。そのため、第２主カバー３１が１つの境界Ｋ１だけを覆う場合に比べて、カバー３０全体の数を少なくすることができる。

上記実施形態では、連続熱処理炉１０が、第１主カバー３１及び第２主カバー３１と、これらに跨る副カバー３２との相対移動を制限する保持機構５０を備えている。これにより、第１、第２主カバー３１と副カバー３２との重合が外れるのを抑制することができる。さらに、保持機構５０を備えることによって、第１、第２主カバー３１が境界Ｋ１からずれてしまうのを抑制することができる。そのため、マッフル１１から雰囲気ガスが漏洩したり外部ガスがマッフル１１内に浸入したりするのを抑制することができる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内において適宜変更できるものである。

例えば、主カバー３１は、３つ以上の境界Ｋ１を覆うワークＷの搬送方向Ｘにおける長さを有していてもよい。また、カバー３０は、覆うことができる境界Ｋ１の数が異なる複数種類の主カバー３１を備えていてもよい。例えば、マッフル１１の作製のし易さといった製造上などの事由から、個々の分割体４０を小さく形成し、それら分割体４０が多数並べられるような形態であれば、前記したように、複数種類の主カバー３１を組み合わせて配置させることがより有効である。

例えば、マッフル１１は、側壁部２２及び天井部２３と、底部２１とが別体で構成されていたが、これに限定されない。例えば、マッフル１１は、全体が一体であってもよい。また、マッフル１１は、側壁部２２と底部２１とが一体で、これらの天井部２３とが別体であってもよい。また、マッフル１１は、側壁部２２の上下方向Ｚの中間部を境として、上下が別体で構成されていてもよい。

カバー３０は、マッフル１１の側壁部２２及び天井部２３を覆っていたが、いずれか一方を覆うものであってもよい。また、カバー３０は、底部２１を覆うものであってもよい。

１０ ：連続熱処理炉
１１ ：マッフル
３０ ：カバー
３１ ：主カバー
３２ ：副カバー
４０ ：分割体
５０ ：保持機構
Ｋ１ ：境界
Ｋ２ ：境界
Ｓ ：熱処理空間
Ｗ ：ワーク
Ｘ ：搬送方向

Claims (3)

1. ワークを熱処理するための熱処理空間が内部に形成されたセラミック製のマッフルと、前記マッフルを覆う金属製のカバーと、を備え、前記マッフルが、複数に分割されており、複数に分割されたマッフルが熱処理空間を繋ぐように並べられて配置されている、熱処理装置において、
   前記カバーは、前記複数に分割されたマッフルにおける、隣り合うマッフルの境界を覆う主カバーと、
   複数の前記主カバーを架橋する副カバーと、を含むことを特徴とする熱処理装置。
2. 少なくとも１つの前記主カバーが複数の前記境界を覆っている、請求項１に記載の熱処理装置。
3. 前記主カバーと、前記副カバーとの、相対移動を制限する保持機構を備えている、請求項１又は２に記載の熱処理装置。
   

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