JP2020191579A - 振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】導通の信頼性を向上させることができる振動素子用圧電片を提供する。【解決手段】板形状を有している水晶片１２１において、薄部１２１ａは、第１平面１２４Ａ及び第２平面１２４Ｂを有している。第１平面１２４Ａは、水晶片１２１の厚み方向の一方側に面している。第２平面１２４Ｂは、厚み方向の他方側に面している。厚部１２１ｃは、第３平面１２６Ａ及び第４平面１２６Ｂを有している。第３平面１２６Ａは、前記一方側に面しており、第１平面１２４Ａよりも前記一方側に位置している。第４平面１２６Ｂは、前記他方側に面している。第３平面１２６Ａの薄部１２１ａ側の縁部１２６Ａａに、第３平面１２６Ａに対して厚み方向の前記他方側に窪んでいるとともに、平面視で縁部１２６Ａａにおいて薄部１２１ａ側から厚部１２１ｃ側へ窪んでいる第１凹部１２８Ａが位置している。【選択図】図３

Description

本開示は、振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電デバイスに関する。

圧電デバイスとして、例えば、水晶振動子及び水晶発振器が知られている。これらの圧電デバイスは、交流電圧の印加によって振動する振動素子を有している。振動素子は、板状の圧電片（例えば水晶片）と、圧電片の１対の主面（板形状の最も広い面。板形状の表裏。以下、同様。）に設けられた１対の励振電極とを有している。１対の励振電極は、圧電片に交番電圧を印加する。

特許文献１及び２では、板状の圧電片の形状として、平面視において互いに異なる領域を構成する、薄部及び厚部を有する形状を開示している。これらの文献において、薄部は、励振電極が設けられる部位であり、平板状である。厚部は、薄部に対して外周側に位置しており、薄部よりも厚い。

特許文献１では、圧電片をパッケージに接合する接合材を収容する凹部又は段差部を厚部に形成することを提案している。凹部は、平面視において厚部の縁部から離れている。また、段差部は、厚部としての凸部を形成することによって構成されている。また、特許文献２では、薄部と厚部との間に振動の伝搬を抑制するスリットを形成することを提案している。スリットは、平面視において厚部の縁部を切り欠いている。

特開２００９−１７１５９１号公報 特開２０１８−１１０４４７号公報

導通の信頼性を向上させることができる振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電デバイスが提供されることが待たれる。

本開示の一態様に係る振動素子用圧電片は、板形状を有している圧電片であって、平面視において前記板形状の一部の領域を含んでいる薄部と、平面視において前記板形状の他の一部の領域を含んでいる、前記薄部よりも厚い厚部と、を有しており、前記薄部は、前記板形状の厚み方向の一方側に面している第１平面と、前記厚み方向の他方側に面している第２平面と、を有しており、前記厚部は、前記厚み方向の前記一方側に面しており、前記第１平面よりも前記一方側に位置している第３平面と、前記厚み方向の前記他方側に面している第４平面と、を有しており、前記第３平面の前記薄部側の第１縁部に、前記第３平面に対して前記厚み方向の前記他方側へ窪んでいるとともに、平面視で前記第１縁部において前記薄部側から前記厚部側へ窪んでいる第１凹部が位置している。

本開示の一態様に係る圧電振動素子は、上記振動素子用圧電片と、前記板形状の前記厚み方向の前記一方側に面している第１面に少なくとも位置している第１金属パターンと、前記板形状の前記厚み方向の前記他方側に面している第２面に少なくとも位置している第２金属パターンと、を有しており、前記第１金属パターンは、前記第１凹部の内面を経由して前記第１平面から前記第３平面に跨っている部分を有している。

本開示の一態様に係る圧電デバイスは、上記圧電振動素子と、前記第１面又は前記第２面である第１対向面と対向している第２対向面を有している基体と、前記第１対向面と前記第２対向面との間に介在して両者を接合している接合材と、前記基体に接合されて前記圧電振動素子を密閉している蓋体と、を有している。

上記の構成によれば、例えば、導通の信頼性を向上させることができる。

本実施形態に係る水晶デバイスの斜視図。 図１のII−II線における断面図。 図１の水晶デバイスの水晶素子の斜視図。 図３の水晶素子の水晶片の一部拡大側面図。 図３の水晶素子の水晶片の平面図。 図５の領域VIを拡大して示す斜視図。 図５のVII−VII線における断面図。 図８（ａ）、図８（ｂ）、図８（ｃ）及び図８（ｄ）は水晶素子の製造方法の一例を示す模式的な断面図。 図９（ａ）、図９（ｂ）及び図９（ｃ）は厚部に係る変形例を示す模式的な平面図。 図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は水晶素子の構成に係る変形例を示す模式的な断面図。 図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は実装構造に係る変形例を示す模式的な断面図。

以下、実施形態に係る水晶デバイスについて、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同様に、図面相互の寸法比率等についても必ずしも一致していない。

（水晶デバイスの概略構成）
図１は、実施形態に係る水晶デバイス１００の斜視図である。図２は、II−II線における断面図である。なお、水晶デバイス１００は、いずれの方向が上下方向又は水平方向とされてもよいが、以下の説明では、便宜上、図１及び図２の紙面上方を上方として、上面等の用語を用いることがある。

水晶デバイス１００は、例えば、全体として略直方体形状となっている電子部品である。水晶デバイスの寸法は、適宜な大きさとされてよい。一例を挙げると、長辺又は短辺の長さは、０．６ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であり、上下方向の厚さは、０．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下である。水晶デバイス１００は、例えば、その下面を不図示の実装基体（例えば回路基板）の上面に対向させて表面実装される。

水晶デバイス１００は、例えば、一定の周波数で信号強度（例えば電圧及び／又は電流）が振動する発振信号の生成に寄与する振動子として構成されている。水晶デバイス１００は、例えば、発振信号の生成に利用される振動を生じる水晶素子１２０と、水晶素子１２０をパッケージングしているパッケージ１０３とを有している。

パッケージ１０３は、例えば、水晶素子１２０を支持する基体１１０と、基体１１０に接合されて水晶素子１２０を封止する蓋体１３０とを有している。水晶素子１２０は、例えば、導電性接着剤１４０によって基体１１０に接合されて支持されている。パッケージ１０３の内部空間は、例えば、真空とされ、又は適当なガス（例えば、窒素）が封入されている。

基体１１０は、例えば、水晶素子１２０を収容する凹部を有する形状とされている。別の観点では、基体１１０は、平板状の基板部１１０ａと、基板部１１０ａの上面の縁部に沿って設けられている枠部１１０ｂとを有している。基板部１１０ａおよび枠部１１０ｂからなる基体１１０は、セラミック材料等の絶縁材料からなる。蓋体１３０は、例えば、金属から構成され、枠部１１０ｂの上面にシーム溶接等により接合される。

パッケージ１０３は、水晶素子１２０と、水晶デバイス１００が実装される不図示の実装基体とを電気的に接続するための導体を有している。例えば、パッケージ１０３は、水晶素子１２０を実装するための搭載パッド１１１と、水晶デバイス１００を実装基体に実装するための実装端子１１２と、両者を接続する不図示の配線導体とを有している。

搭載パッド１１１は、基板部１１０ａの上面に位置する導電層により構成されている。実装端子１１２は、基板部１１０ａの下面に位置する導電層により構成されている。不図示の配線導体は、基板部１１０ａを上下に貫通する貫通導体を含んで構成されている。これらの導体の材料は、例えば、金属である。

水晶素子１２０は、導電性接着剤１４０によって搭載パッド１１１に接合されている。これにより、水晶素子１２０は、基体１１０に支持されているとともに、パッケージ１０３に電気的に接続されている。より詳細には、水晶素子１２０は、例えば、その一端側において搭載パッド１１１と接合されて、片持ち梁状に支持されている。導電性接着剤１４０は、例えば、金属からなるフィラーを混ぜ込んだ熱硬化性樹脂によって構成されている。

実装端子１１２は、例えば、不図示の実装基体のパッドとはんだによって接合される。これにより、水晶デバイス１００は、実装基体に支持されるとともに電気的に接続される。

（水晶素子の概略構成）
図３は、水晶素子１２０の斜視図である。なお、図中の＋Ｙ´方向は、図２の紙面上方に対応しており、＋Ｘ方向は、図２の紙面右方に対応している。ただし、図示の例の水晶素子１２０は、概略、Ｘ軸に平行な中心線に関して１８０°回転対称の構成であり、＋Ｙ´方向が図２の紙面下方（基板部１１０ａ側）に対応していてもよい。また、Ｘ軸の正負と、水晶素子１２０の形状との対応関係は、図示の対応関係と逆であっても構わない。

水晶素子１２０は、板状の水晶片１２１と、水晶片１２１に設けられている第１金属パターン１２３Ａ及び第２金属パターン１２３Ｂ（以下、「金属パターン１２３」といい、両者を区別しないことがある。）とを有している。１対の金属パターン１２３によって水晶片１２１に電圧が印加されることによって水晶素子１２０は振動する。なお、板状は、例えば、互いに反対側に面する１対の面が他の面よりも広い形状ということができる。

水晶片１２１は、例えば、いわゆるＡＴカット板によって構成されている。すなわち、水晶においてＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光軸）からなる直交座標系ＸＹＺを、Ｘ軸回りに３０°以上５０°以下（一例として、３５°１５′）回転させて直交座標系ＸＹ´Ｚ´を定義したとき、水晶片１２１は、ＸＺ´平面に基本的に平行な１対の主面（第１面１２１ｅ及び第２面１２１ｆ）を有する板状である。

水晶片１２１は、例えば、平面視において互いに異なる領域を構成している、薄部１２１ａ、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃを有している。薄部１２１ａは、発振信号の生成に寄与する振動を生じる部分であり、ＸＺ´平面に平行な平板状である。厚部１２１ｃは、例えば、基体１１０への接合に利用される部分であり、薄部１２１ａよりも厚い。中間部１２１ｂは、薄部１２１ａと厚部１２１ｃとの間の部分であり、厚部１２１ｃ側ほど厚くなっている。

１対の金属パターン１２３それぞれは、例えば、薄部１２１ａに電圧を印加する励振電極１２３ａ、外部から電圧が印加される引出部１２３ｂ、及び励振電極１２３ａと引出部１２３ｂとを接続する配線１２３ｃを有している。１対の励振電極１２３ａは、例えば、薄部１２１ａの両主面に設けられている。１対の引出部１２３ｂは、厚部１２１ｃの少なくとも下面において（図示の例では上面においても）２つ並んで設けられている。配線１２３ｃは、水晶片１２１の主面及び側面等に設けられている。金属パターン１２３は、金属等からなる導電性材料により形成されている。

水晶素子１２０は、薄部１２１ａを基板部１１０ａの上面に対向させて、基体１１０の凹部内に収容される。１対の引出部１２３ｂは、基体１１０の基板部１１０ａに設けられている１対の搭載パッド１１１に１対の導電性接着剤１４０により接着される。１対の励振電極１２３ａは、１対の配線１２３ｃ、１対の引出部１２３ｂおよび１対の導電性接着剤１４０によって、基体１１０に設けられている１対の搭載パッド１１１と電気的に接続されている。ひいては、１対の励振電極１２３ａは、基板部１１０ａに設けられている実装端子１１２のいずれか２つと電気的に接続されている。

上記の２つの実装端子１１２は、不図示の発振回路によって交番電圧が印加される。ひいては、１対の励振電極１２３ａによって薄部１２１ａに交番電圧が印加される。これにより、薄部１２１ａは、いわゆる厚み滑り振動を生じる。この振動は、発振回路によって発振信号の生成に利用される。このとき、発振回路は、例えば、水晶片１２１の厚み滑り振動のうち基本波振動を利用する。

（水晶片の概略形状）
図４は、水晶片１２１の一部を拡大して示す側面図である。なお、図４は、後述する第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂ等が設けられていない部分の断面図と捉えられても構わない。

図３及び図４に示す水晶片１２１（その全体）の平面形状等は適宜に設定されてよい。図示の例では、水晶片１２１の平面形状は、Ｚ´軸及びＸ軸に平行な辺を有する矩形状とされている。水晶片１２１の他の平面形状としては、例えば、円形及び楕円形を挙げることができる。また、矩形の４辺のうちいずれか１つ以上を外側に膨らむ曲線状（例えば円弧）にした形状を挙げることができる。

なお、矩形は、正方形及び狭義の長方形を含む。また、矩形又は矩形状というとき、特に断りが無い限り、角部が面取りされているなど、厳密に正方形又は長方形でなくてもよいものとする。水晶片１２１の平面形状以外の他の形状の説明においても同様である。

水晶片１２１の平面形状において、Ｘ軸方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）が長手方向であってもよいし（図示の例）、Ｚ´軸方向が長手方向であってもよいし、Ｚ´軸方向の長さとＸ軸方向の長さとが同等であってもよい。図示の例では、水晶片１２１は、Ｘ軸方向を長手方向としている。換言すれば、水晶片１２１は、Ｘ軸に平行な長辺と、Ｚ´軸に平行な短辺とを有している。

（薄部）
薄部１２１ａは、平面視において、少なくとも水晶片１２１の内側の領域を含んでいる。ここでいう内側の領域は、水晶片１２１の外縁から離れている領域である。より詳細には、例えば、薄部１２１ａは、水晶片１２１の平面視における図心（中心）を含む領域を含んでいてよい。確認的に記載すると、図心は、その点を通る任意の軸に対する断面一次モーメントが０になる点である。

薄部１２１ａの平面形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、薄部１２１ａの平面形状は、Ｚ´軸及びＸ軸に平行な辺を有する矩形状とされている。薄部１２１ａの他の平面形状としては、例えば、円形及び楕円形を挙げることができる。また、矩形の４辺のうちいずれか１つ以上を外側に膨らむ曲線状（例えば円弧）にした形状を挙げることができる。

薄部１２１ａの平面形状において、Ｘ軸方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）が長手方向であってもよいし、Ｚ´軸方向が長手方向であってもよいし（図示の例）、Ｚ´軸方向の長さとＸ軸方向の長さとが同等であってもよい。図示の例では、薄部１２１ａは、Ｚ´軸方向を長手方向としている。換言すれば、薄部１２１ａは、Ｚ´軸方向に平行な長辺と、Ｘ軸に平行な短辺とを有している。

薄部１２１ａは、例えば、水晶片１２１の面積（平面透視における面積）のうち、比較的広い部分を占めている。例えば、薄部１２１ａは、水晶片１２１の面積の１／２以上を占めている。ただし、薄部１２１ａは、水晶片１２１の面積の１／２未満を占めるだけであってもよい。

薄部１２１ａは、ＸＺ´平面に平行な平板状であるから、ＸＺ´平面に平行な主面（第１平面１２４Ａ及び第２平面１２４Ｂ）を有している。第１平面１２４Ａは、＋Ｙ´側（水晶片１２１の厚み方向の一方側）に面しており、Ｙ´軸（厚み方向）に直交している。第２平面１２４Ｂは、−Ｙ´側（水晶片１２１の厚み方向の他方側）に面しており、Ｙ´軸（厚み方向）に直交している。別の観点では、第１平面１２４Ａ及び第２平面１２４Ｂは互いに平行である。

（厚部）
厚部１２１ｃは、平面視において水晶片１２１の外周側の領域の少なくとも一部を含んでいる。別の観点では、厚部１２１ｃは、中間部１２１ｂを挟んで薄部１２１ａの外縁の少なくとも一部と隣り合っている。厚部１２１ｃと薄部１２１ａの外縁とが隣り合う長さ（薄部１２１ａの外縁に沿う方向の長さ）は、後述の変形例（図９（ａ）〜図９（ｃ））からも理解されるように適宜に設定されてよい。図示の例では、厚部１２１ｃは、矩形状の薄部１２１ａの１辺に亘って薄部１２１ａと隣り合っている。

厚部１２１ｃと薄部１２１ａとが中間部１２１ｂを挟んで隣り合う方向は、Ｘ軸方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）であってもよいし（図示の例）、Ｚ´軸方向であってもよい。また、別の観点では、上記隣り合う方向は、薄部１２１ａの短手方向であってもよいし（図示の例）、薄部１２１ａの長手方向であってもよい。さらに、上記隣り合う方向と水晶片１２１の長手方向との関係も任意である。

厚部１２１ｃの平面形状（本段落においては概略形状。例えば、後述する第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂ等を無視したときの形状。）及び寸法等は適宜に設定されてよい。例えば、厚部１２１ｃは、一定の幅で薄部１２１ａの外縁に沿うような形状であってもよいし（図示の例）、薄部１２１ａ側の縁部の形状と、薄部１２１ａとは反対側の縁部の形状とが互いに異なるような形状であってもよい。図示の例では、厚部１２１ｃは、薄部１２１ａの１辺に平行な長辺を有する矩形状とされている。

厚部１２１ｃと薄部１２１ａとが中間部１２１ｂを挟んで互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ´軸方向）において、厚部１２１ｃは、薄部１２１ａに対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ軸方向）における厚部１２１ｃの長さも任意である。図示の例では、厚部１２１ｃのＸ軸方向の長さは、薄部１２１ａのＸ軸方向の長さよりも短い。

厚部１２１ｃは、例えば、薄部１２１ａと同様に、ＸＺ´平面に平行な平板状である。ただし、厚部１２１ｃは、板状と概念できる広さを有しない形状であってもよい。厚部１２１ｃは、薄部１２１ａと同様に、ＸＺ´平面に平行な主面（第３平面１２６Ａ及び第４平面１２６Ｂ）を有している。第３平面１２６Ａは、＋Ｙ´側（水晶片１２１の厚み方向の一方側）に面しており、Ｙ´軸（厚み方向）に直交している。第４平面１２６Ｂは、−Ｙ´側（水晶片１２１の厚み方向の他方側）に面しており、Ｙ´軸（厚み方向）に直交している。別の観点では、第３平面１２６Ａ及び第４平面１２６Ｂは互いに平行である。さらに別の観点では、第３平面１２６Ａ及び第４平面１２６Ｂは、第１平面１２４Ａ及び第２平面１２４Ｂと平行である。

厚部１２１ｃは、既述のように薄部１２１ａよりも厚い。より詳細には、厚部１２１ｃは、薄部１２１ａに対して厚み方向（Ｙ´軸方向）の両側に高くなっている。別の観点では、厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に面している第３平面１２６Ａは、前記一方側に面している第１平面１２４Ａよりも前記一方側に位置している。また、厚み方向の他方側（−Ｙ´側）に面している第４平面１２６Ｂは、前記他方側に面している第２平面１２４Ｂよりも前記他方側に位置している。

厚み方向（Ｙ´軸方向）において、薄部１２１ａの厚部１２１ｃに対する位置は任意である。例えば、第１平面１２４Ａから第３平面１２６Ａまでの厚み方向における高さをＨ１とする。第２平面１２４Ｂから第４平面１２６Ｂまでの厚み方向における高さをＨ２とする。このとき、Ｈ１は、Ｈ２よりも小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、例えば、下記式のいずれかが成り立ってもよい。
２／３×Ｈ２≦Ｈ１≦３／２×Ｈ２
４／５×Ｈ２≦Ｈ１≦６／５×Ｈ２
９／１０×Ｈ２≦Ｈ１≦１１／１０×Ｈ２

（中間部）
中間部１２１ｂは、平面視において薄部１２１ａから厚部１２１ｃまでの領域を含んでいる。別の観点では、中間部１２１ｂは、薄部１２１ａに一体的につながっているとともに、厚部１２１ｃに一体的につながっており、これにより、薄部１２１ａと厚部１２１ｃとをつないでいる。

中間部１２１ｂは、例えば、概略、薄部１２１ａから厚部１２１ｃまでの領域のみからなる（他の領域を殆ど含まない）。また、中間部１２１ｂは、例えば、概略、厚部１２１ｃの薄部１２１ａ側の縁部の全体に亘っている。

従って、既述の、厚部１２１ｃが薄部１２１ａと隣り合う方向（図示の例ではＸ軸方向）、及び厚部１２１ｃが薄部１２１ａの外縁と隣り合う長さ（薄部１２１ａの外縁に沿う方向の長さ。図示の例では薄部１２１ａの１辺に相当する長さ）についての説明は、中間部１２１ｂが薄部１２１ａと隣り合う方向、及び中間部１２１ｂが薄部１２１ａの外縁と隣り合う長さに援用されてよい。

また、中間部１２１ｂの平面形状（本段落においては概略形状。例えば、後述する第１貫通孔１２２等を無視したときの形状。）は、既述の薄部１２１ａ及び厚部１２１ｃの平面形状についての説明から類推可能である。すなわち、薄部１２１ａの縁部の形状の説明は、中間部１２１ｂの薄部１２１ａ側の縁部の形状に援用されてよい。厚部１２１ｃの薄部１２１ａ側の縁部の形状の説明は、中間部１２１ｂの厚部１２１ｃ側の縁部の形状に援用されてよい。図示の例では、中間部１２１ｂの平面形状は、薄部１２１ａの厚部１２１ｃ側の１辺と、厚部１２１ｃの薄部１２１ａ側の１辺とを有する矩形状である。

ただし、中間部１２１ｂは、平面視において、薄部１２１ａと厚部１２１ｃとの間に位置していない部分を有していたり、厚部１２１ｃの薄部１２１ａ側の縁部の全体に亘っていなかったりしてもよい。

中間部１２１ｂの平面視における寸法は適宜に設定されてよい。例えば、厚部１２１ｃと薄部１２１ａとが中間部１２１ｂを介して互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ´軸方向）において、中間部１２１ｂは、薄部１２１ａ及び／又は厚部１２１ｃに対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ軸方向）における中間部１２１ｂの長さも任意である。図示の例では、中間部１２１ｂのＸ軸方向の長さは、厚部１２１ｃのＸ軸方向の長さよりも短い。

中間部１２１ｂは、既述のように厚部１２１ｃ側ほど厚くなっている。具体的には、中間部１２１ｂは、厚部１２１ｃ側ほど厚くなるように第１中間面１２５Ａ及び第２中間面１２５Ｂを有している。第１中間面１２５Ａは、厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に面しており、薄部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が前記一方側に位置する向きで第１平面１２４Ａに対して傾斜している。第２中間面１２５Ｂは、厚み方向の他方側（−Ｙ´側）に面しており、薄部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が前記他方側に位置する向きで第２平面１２４Ｂに対して傾斜している。

第１中間面１２５Ａの第１平面１２４Ａに対する傾斜角θ１、及び第２中間面１２５Ｂの第２平面１２４Ｂに対する傾斜角θ２は適宜に設定されてよい。例えば、傾斜角θ１及び傾斜角θ２は、互いに同等であってもよいし（図示の例）、互いに異なっていてもよい。なお、ここでいう傾斜角θ１及びθ２が同等は、例えば、両者の角度の差が３°以下又は１°以下の場合を含んでよいものとする。また、例えば、傾斜角θ１及びθ２は、４５°未満であってもよいし、４５°以上であってもよい。

（薄部、中間部及び厚部の境界）
第１平面１２４Ａと第１中間面１２５Ａとは互いに交差している。別の観点では、図４に示すような側面視若しくは断面視において、第１平面１２４Ａ及び第１中間面１２５Ａは角部を構成している。なお、角部は、極めて微視的に見た場合に、曲線を有していたり、段差を有していたりしてもよい。この場合の曲線の長さ又は段差の高さは、例えば、０．１μｍ未満である。また、第１平面１２４Ａと第１中間面１２５Ａとは、微視的に見なくても、両者の間に曲線が介在していたり、両者の間に段差が存在したりしてもよい。第１平面１２４Ａと第１中間面１２５Ａとの境界について説明したが、上記の説明は、第２平面１２４Ｂと第２中間面１２５Ｂとの境界に援用されてよい。

第１中間面１２５Ａの薄部１２１ａ側の縁部１２５Ａａと、第２中間面１２５Ｂの薄部１２１ａ側の縁部１２５Ｂａとは、中間部１２１ｂと薄部１２１ａとが隣り合う方向（図示の例ではＸ軸方向）における位置が一致していてもよいし、互いにずれていてもよい（図示の例）。位置が一致しているという場合、例えば、０．１μｍ未満のずれが存在してもよい。また、ずれ量は適宜に設定されてよく、例えば、０．５μｍ以上又は１μｍ以上とされてよい。

なお、図示の例のように、縁部１２５Ａａと縁部１２５ＢａとのＸ軸方向における位置が異なる態様において、Ｘ軸に直交する平面で薄部１２１ａと中間部１２１ｂとの境界を概念する場合、当該境界は、縁部１２５Ａａから縁部１２５Ｂａまでの間の適宜な位置とされてよい。例えば、当該境界は、２つの縁部のうち薄部１２１ａ側（＋Ｘ側）に位置する縁部（図示の例では縁部１２５Ａａ）とされてよい。平板状であるのは、縁部１２５Ａａよりも＋Ｘ側だからである。

微視的に見ると、例えば、第３平面１２６Ａと第１中間面１２５Ａとは、互いに交差していない。より詳細には、図４に示す例では、第３平面１２６Ａと第１中間面１２５Ａとの間には段差１２７Ａが形成されている。別の観点では、厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に面している第１中間面１２５Ａにおいて、厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂは、前記一方側に面している第３平面１２６Ａよりも厚み方向の他方側（−Ｙ′側）に位置している。段差１２７Ａの高さｈ１は、例えば、１μｍ未満である。

同様に、微視的に見ると、例えば、第４平面１２６Ｂと第２中間面１２５Ｂとは互いに交差していない。より詳細には、図４に示す例では、第４平面１２６Ｂと第２中間面１２５Ｂとの間には段差１２７Ｂが形成されている。別の観点では、厚み方向の前記他方側（−Ｙ´側）に面している第２中間面１２５Ｂにおいて、厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ｂｂは、前記他方側に面している第４平面１２６Ｂよりも前記一方側（＋Ｙ´側）に位置している。段差１２７Ｂの高さｈ２は、例えば、１μｍ未満である。

段差１２７Ａ及び１２７Ｂは、例えば、比較的小さいとともに、概ね、水晶片１２１の平面に対して直交している。従って、第３平面１２６Ａの中間部１２１ｂ側の縁部１２６Ａａと、第１中間面１２５Ａの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂとは、平面視において概ね一致する。同様に、第４平面１２６Ｂの中間部１２１ｂ側の縁部１２６Ａａと、第２中間面１２５Ｂの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ｂｂとは、平面視において概ね一致する。

なお、段差１２７Ａ及び１２７Ｂは構成されていなくてもよい。以下の説明では、特に断りが無い限り、段差１２７Ａ及び１２７Ｂの存在は無視するものとする。

第３平面１２６Ａの縁部１２６Ａａと、第４平面１２６Ｂの縁部１２６Ｂａとは、厚部１２１ｃと中間部１２１ｂとが隣り合う方向（図示の例ではＸ軸方向）における位置が一致していてもよいし、互いにずれていてもよい（図示の例）。位置が一致しているという場合、例えば、０．１μｍ未満のずれが存在してもよい。また、ずれ量は適宜に設定されてよく、例えば、０．５μｍ以上、１μｍ以上、１．５μｍ以上又は２μｍ以上とされてよい。

なお、図示の例のように、縁部１２６Ａａと縁部１２６ＢａとのＸ軸方向における位置が異なる態様において、Ｘ軸に直交する平面で厚部１２１ｃと中間部１２１ｂとの境界を概念する場合、当該境界は、２つの縁部間の適宜な位置とされてよい。例えば、当該境界は、２つの縁部のうち厚部１２１ｃ側（−Ｘ側）に位置する縁部（図示の例では縁部１２６Ｂａ）とされてよい。平板状であるのは、縁部１２６Ｂａよりも−Ｘ側だからである。

（水晶片の寸法の一例）
水晶片１２１の各種の寸法は適宜に設定されてよい。以下に、一例を示す。水晶片１２１のＸ軸方向における長さは、５００μｍ以上１５００μｍ以下である。水晶片１２１（薄部１２１ａ）のＺ′軸方向における長さは４００μｍ以上７００μｍ以下である。薄部１２１ａのＸ軸方向における長さは、２５０μｍ以上１０００μｍ以下（ただし、水晶片１２１のＸ軸方向における長さよりも短い）である。薄部１２１ａの厚さｔ１は、１６μｍ以下である。これは、ＡＴカット板において厚み滑り振動の基本波振動を利用する場合、概ね１００ＭＨｚ以上の周波数に相当する。厚部１２１ｃの厚さｔ３は、５０μｍ以下である。

（第１貫通孔）
図３に示すように、水晶片１２１は、薄部１２１ａと厚部１２１ｃとの間に（少なくとも一部が）位置する第１貫通孔１２２を有している。第１貫通孔１２２は、水晶片１２１の一方の主面側から他方の主面側へ貫通している。この第１貫通孔１２２は、例えば、水晶素子１２０の表裏の導通に寄与する。

第１貫通孔１２２の位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、第１貫通孔１２２は、中間部１２１ｂに位置している。ただし、第１貫通孔１２２は、厚部１２１ｃに位置していてもよいし、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃの双方に跨っていてもよい。また、第１貫通孔１２２の縁部の一部は、中間部１２１ｂの縁部の一部と一致していてもよいし、一致していなくてもよい。

図示の例では、第１貫通孔１２２は、薄部１２１ａと厚部１２１ｃとが隣り合う方向に直交する方向（Ｚ´軸方向）に延びるスリット状とされている。その長さは、例えば、薄部１２１ａのＺ´軸方向の長さの１／４以上又は１／３以上である。また、第１貫通孔１２２は、例えば、薄部１２１ａのＺ´軸方向の範囲に対して、概ね中央に位置している。また、スリット状の第１貫通孔１２２は、中間部１２１ｂの幅（Ｘ軸方向の長さ）と概ね同等の幅（例えば前者の８割以上）を有している。第１貫通孔１２２は、ＸＺ´断面（開口）の形状及び寸法がＹ´軸方向（貫通方向）において一定であってもよいし、変化していてもよい。

（凹部）
図５は、水晶片１２１の平面図である。図６は、図５の領域VIを拡大して示す斜視図である。図７は、図５のVII−VII線における断面図である。図５では、薄部１２１ａ（及び／又は第１平面１２４Ａ）の中心ＣＰ（図心）を通り、薄部１２１ａの１辺（水晶片１２１の長辺）に平行な中心線ＣＬも示している。

図３、図５〜図７に示すように、水晶片１２１は、第３平面１２６Ａ（厚部１２１ｃ）の薄部１２１ａ側の縁部１２６Ａａに位置している１以上（図示の例では複数（１０個））の第１凹部１２８Ａを有している。第１凹部１２８Ａは、第３平面１２６Ａに対して窪んでいる。また、第１凹部１２８Ａは、平面視においても、縁部１２６Ａａにおいて窪んでいる。

同様に、図７に示すように、また、図３、図５、図６から類推されるように、水晶片１２１は、第４平面１２６Ｂ（厚部１２１ｃ）の薄部１２１ａ側の縁部１２６Ｂａに位置している１以上（図示の例では複数（１０個））の第２凹部１２８Ｂを有している。第２凹部１２８Ｂは、第４平面１２６Ｂに対して窪んでいる。また、第２凹部１２８Ｂは、平面視においても、縁部１２６Ｂａにおいて窪んでいる。

なお、本実施形態の説明において、凹部、凹状及び窪む等の語は、貫通孔を意味しないものとする。すなわち、凹部は有底である。また、平面視において、縁部１２６Ａａ（１２６Ｂａ）は、第３面１２６Ａ（第４面１２６Ｂ）の縁部のうち第１凹部１２８Ａ（第２凹部１２８Ｂ）を除いた部分として定義されてもよいし、第１凹部１２８Ａ（第２凹部１２８Ｂ）を含む部分とされてもよい。以下の説明では、基本的には、前者とするが、便宜上、後者であるかのように説明することもある。

既に述べたように、水晶素子１２０の構成は、Ｘ軸に平行な不図示の中心線に対して１８０°回転対称とされてよい。従って、以下では、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂを代表して第１凹部１２８Ａについて説明する。以下の説明は、基本的に、第２凹部１２８Ｂに援用されてよい。

第１凹部１２８Ａの数、位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。図示の例では、第１凹部１２８Ａの数は複数とされている。複数の第１凹部１２８Ａは、第３平面１２６Ａの薄部１２１ａ側の縁部１２６Ａａに沿って並んでいる。複数の第１凹部１２８Ａの配置は、中心線ＣＬに対して線対称であってもよいし（図示の例）、線対称でなくてもよい。なお、複数の第１凹部１２８Ａの配置が線対称という場合、中心線ＣＬ上に位置する第１凹部１２８Ａが存在しても構わない。複数の第１凹部１２８Ａのピッチは、その並びの全体で、又は対称軸（中心線ＣＬ）の両側（＋Ｚ´側及び−Ｚ´側）のそれぞれで、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。図示の例では、対称軸の両側それぞれで第１凹部１２８Ａのピッチは一定であり、かつ対称軸の両側のピッチは互いに同等である。

複数の第１凹部１２８Ａの形状及び寸法は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。図示の例では、複数の第１凹部１２８Ａは、基本的に、互いに同一の形状及び寸法とされることが想定されている。ただし、一部の第１凹部１２８Ａは、第１貫通孔１２２から離れており、他の一部の第１凹部１２８Ａは、第１貫通孔１２２に重なっている（別の観点では第１貫通孔１２２につながっている）。これにより、両者の間で形状及び寸法の相違が生じている。以下の説明では、まず、第１貫通孔１２２に重なっていない第１凹部１２８Ａの形状及び寸法について説明し、次に、第１貫通孔１２２と重なっている第１凹部１２８Ａの形状及び寸法について説明する。

（第１貫通孔から離れている凹部の形状及び寸法）
平面視において、第１凹部１２８Ａの薄部１２１ａ側の端部は、例えば、第１平面１２４Ａに到達していてもよいし（図示の例）、到達していなくてもよい。図示の例では、より詳細には、第１凹部１２８Ａの薄部１２１ａ側の端部は、第１中間面１２５Ａと第１平面１２４Ａとの縁部に位置していると捉えられてよい。

また、第１凹部１２８Ａにおいて、第３平面１２６ＡのＹ´方向の位置からの深さは、一定であってもよいし、変化していてもよい（図示の例）。別の観点では、第１凹部１２８Ａの内面は、第３平面１２６Ａに対して傾斜している領域を有していてもよいし（図示の例）、有していなくてもよい。図示の例では、より詳細には、水晶片１２１の厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に開口している第１凹部１２８Ａは、薄部１２１ａ側ほど他方側（−Ｙ´側）に位置している傾斜面（符号省略）を有している。この傾斜面の第１平面１２４Ａに対する傾斜角は、例えば、第１中間面１２５Ａの傾斜角θ１と概ね同等である。

また、第１凹部１２８Ａの薄部１２１ａ側の端部、別の観点では、第１凹部１２８Ａのうち、第３平面１２６ＡのＹ´方向の位置から最も深い（低い）部分は、例えば、水晶片１２１の厚み方向（Ｙ´方向）において、第１平面１２４Ａに対して、同等の高さに位置していてもよいし（図示の例）、第１平面１２４Ａが面する側（＋Ｙ´側）に位置していてもよいし、その反対側に位置していてもよい。図示の例では、第１凹部１２８Ａの内面のうち最も低い位置にある領域は、第１平面１２４Ａと面一になっている。別の観点では、第１凹部１２８Ａは、水晶片１２１の厚み方向（Ｙ´方向）において、第１平面１２４Ａから第３平面１２６Ａまでの高さＨ１（図４）と同等の大きさを有している。

また、平面視において、第１凹部１２８Ａは、薄部１２１ａと厚部１２１ｃとが（中間部１２１ｂを介して）隣り合う方向（Ｘ方向）の長さが、当該方向に直交する方向（Ｚ´軸方向）の長さに対して、長くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、短くてもよい。また、平面視において、第１凹部１２８Ａが第３平面１２６Ａの薄部１２１ａ側の縁部１２６Ａａに対して窪む深さは、第１凹部１２８Ａの縁部１２６Ａａに沿う方向（Ｚ´方向）の長さに対して、長くてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、短くてもよい。

また、平面視において、第１凹部１２８Ａの全体の形状、又は第１凹部１２８Ａのうち第３平面１２６Ａの縁部１２６Ａａに対して窪んでいる部分の形状は、例えば、矩形状であってもよいし、楕円形であってもよいし、長円形（長方形の短辺を外側に膨らむ曲線状とした形状）であってもよい。図示の例では、第１凹部１２８Ａの全体形状は、概略、水晶片１２１の４辺に平行な４辺を有する矩形状とされている。ただし、第１凹部１２８Ａの厚部１２１ｃ側の１辺は、外側に膨らむ曲線状とされている。換言すれば、第１凹部１２８Ａの厚部１２１ｃ側の端部は丸みを帯びている。

（第１貫通孔とつながっている凹部の形状及び寸法）
第１貫通孔１２２とつなっている第１凹部１２８Ａは、上記の第１貫通孔１２２から離れている第１凹部１２８Ａから第１貫通孔１２２との重なり分を除去した形状及び寸法を有している。従って、上記の第１貫通孔１２２から離れている第１凹部１２８Ａの形状及び寸法についての説明は、適宜に第１貫通孔１２２とつながっている第１凹部１２８Ａの形状及び寸法に適用されてよい。

図５及び図６では、第１貫通孔１２２とつながっている第１凹部１２８Ａは、Ｘ方向の中途部分がＺ´方向の長さ全体に亘って第１貫通孔１２２によって除去されている。ただし、第１凹部１２８Ａは、第１貫通孔１２２によって、薄部１２１ａ側の端部が除去されていてもよいし、厚部１２１ｃ側の端部が除去されていてもよいし、Ｚ´方向の一部が除去されていてもよい。

図示の例では、第１貫通孔１２２は、第１中間面１２５Ａの薄部１２１ａ側の縁部１２５Ａａよりも厚部１２１ｃ側に位置している、又はそのような設計思想で形成されている。しかし、水晶片１２１の製造方法によっては、第１貫通孔１２２がエッチングに影響を及ぼすことなどにより、第１中間面１２５Ａは、第１貫通孔１２２に対して薄部１２１ａ側に隣接する部分を有さない場合がある。別の観点では、設計思想としては、第１凹部１２８ＡのＸ方向の中途部分と第１貫通孔１２２とが重なる場合であっても、第１凹部１２８Ａ又は第１中間面１２５Ａとみなせる部分が第１貫通孔１２２よりも薄部１２１ａ側に形成されない場合がある。この場合は、第１貫通孔１２２に対して厚部１２１ｃ側に位置している部分のみによって、第１凹部１２８Ａが構成される。

また、図示のように、第１凹部１２８ＡのＸ方向の中途部分が第１貫通孔１２２によって除去されている場合においても、第１貫通孔１２２に対して厚部１２１ｃ側に位置している部分を第１凹部１２８Ａとして概念してよい（第１貫通孔１２２よりも薄部１２１ａ側の凹部は無視されてよい。）。本実施形態の説明では、そのような捉え方をして、第１凹部１２８Ａの薄部１２１ａ側の端部が第１貫通孔１２２につながっている等と表現することがある。

第１貫通孔１２２から離れている第１凹部１２８Ａにおいては、その内面の最も低い領域（別の観点では薄部１２１ａ側の端部）は、既述のように、第１平面１２４Ａにつながり、Ｙ´方向の高さは第１平面１２４Ａと同等とされた。一方、第１貫通孔１２２につながっている第１凹部１２８Ａにおいては、その内面の最も低い部分（別の観点では薄部１２１ａ側の端部）は、第１平面１２４Ａにはつながっておらず、また、第１平面１２４Ａよりも高い位置（＋Ｙ´側の位置）に位置している。

（第２貫通孔）
図３及び図５に示すように、水晶片１２１は、厚部１２１ｃに位置する第２貫通孔１２９を有している。第２貫通孔１２９は、水晶片１２１の一方の主面側から他方の主面側へ貫通している。この第２貫通孔１２９は、例えば、水晶素子１２０の表裏の導通に寄与する。

第２貫通孔１２９の数、位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、第２貫通孔１２９は、２つ設けられている。２つの第２貫通孔１２９は、中心線ＣＬの両側に位置している。２つ（又は３以上）の第２貫通孔１２９の位置は、中心線ＣＬに対して線対称であってもよいし、線対称でなくてもよい。また、複数の第２貫通孔１２９の形状及び大きさは、互いに同一（及び／又は線対称）であってもよいし、互いに異なっていてもよい。２つの第２貫通孔１２９同士の距離（及び／又はＺ´方向における距離）は、例えば、厚部１２１ｃのＺ´方向の長さの１／３以上であってもよいし（図示の例）、これよりも短くてもよい。

第２貫通孔１２９は、例えば、厚部１２１ｃの縁部１２６Ａａ及び１２６Ｂａに沿う方向（Ｚ´方向）において、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂが配列されている範囲と重なる位置に設けられている。第２貫通孔１２９は、第１貫通孔１２２とは異なり、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂから離れている。より詳細には、図示の例では、第２貫通孔１２９は、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂに対して、薄部１２１ａとは反対側（−Ｘ側）に離れている。ただし、第２貫通孔１２９は、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂとつながっていてもよい。第２貫通孔１２９は、例えば、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂ（又は縁部１２６Ａａ及び１２６Ｂａ）との距離よりも、厚部１２１ｃの薄部１２１ａとは反対側の縁部との距離が短くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、長くてもよい。

図示の例では、第２貫通孔１２９は、平面視において、第１貫通孔１２２のアスペクト比（スリットの長さ／スリットの幅）よりもアスペクト比が小さい形状とされている。このような形状としては、正多角形状（正方形状を含む）、正方形に近い長方形状、円形状又円形に近い楕円状を挙げることができる。平面視において、第２貫通孔１２９の最大径は、例えば、第１貫通孔１２２の長さよりも小さく、また、第１貫通孔１２２の幅よりも小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。第２貫通孔１２９は、ＸＺ´断面（開口）の形状及び寸法がＹ´軸方向（貫通方向）において一定であってもよいし、変化していてもよい。

（金属パターン）
図２及び図３に示す金属パターン１２３は、単一の材料からなる１層の金属層によって構成されていてもよいし、互いに異なる材料からなる複数の金属層が積層されて構成されていてもよい。金属層の材料としては、例えば、ニッケル、クロム、ニクロム、チタン、金若しくは銀又はこれらを含む合金を挙げることができる。

１対の励振電極１２３ａは、既述のように薄部１２１ａに電圧を印加すべく、薄部１２１ａの両主面（１２４Ａ及び１２４Ｂ）に位置している。１対の励振電極１２３ａは、例えば、平面透視において概ね互いに過不足なく重なる位置、形状及び大きさで設けられている。ただし、互いに重複しない部位が存在しても構わない。平面視における励振電極１２３ａの位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。

例えば、励振電極１２３ａは、薄部１２１ａの中央側の領域に位置している。別の観点では、励振電極１２３ａは、薄部１２１ａの外縁から離れて位置している。励振電極１２３ａの中心は、例えば、薄部１２１ａの中心とＺ´軸方向において一致している。また、励振電極１２３ａの中心は、薄部１２１ａの中心に対して、Ｘ軸方向において、＋Ｘ側に位置していてもよいし（図示の例）、一致していてもよいし、−Ｘ軸側に位置していてもよい。励振電極１２３ａは、例えば、薄部１２１ａの面積の１／３以上を占めている。

また、例えば、励振電極１２３ａの形状は、薄部１２１ａの形状と類似する形状であってもよいし（図示の例）、異なる形状であってもよい。前者としては、例えば、図示の例のように、薄部１２１ａの形状が矩形状であるのに対して、励振電極１２３ａの形状が薄部１２１ａの長辺と平行な長辺を有する矩形状である（少なくとも一方は正方形であってもよい。）態様を挙げることができる。また、後者としては、薄部１２１ａの形状が矩形状であるのに対して、励振電極１２３ａの形状が円形、楕円形又は多角形（四角形を除く）である態様を挙げることができる。

１対の引出部１２３ｂは、既述のように、パッケージ１０３の搭載パッド１１１と接合されるべく、厚部１２１ｃの少なくとも下面に設けられている。その具体的な位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。例えば、１対の引出部１２３ｂは、水晶片１２１のＸ軸に平行な中心線ＣＬ（図５）に対して、概略、線対称及び／又は１８０°回転対称の位置、形状及び大きさで設けられている。別の観点では、１対の引出部１２３ｂは、Ｚ´軸方向に並んで設けられている。

１対の配線１２３ｃは、既述のように、１対の励振電極１２３ａと１対の引出部１２３ｂとを個別に接続するように水晶片１２１の表面の適宜な位置に設けられている。その具体的な位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。例えば、１対の配線１２３ｃは、水晶片１２１のＸ軸に平行な中心線ＣＬに対して、概略、１８０°回転対称の位置、形状及び大きさで設けられている。

また、引出部１２３ｂ及び配線１２３ｃは、図示の例のように、必ずしも明確に区別できなくても構わない。以下では、引出部１２３ｂ及び配線１２３ｃの位置、形状及び大きさについて、金属パターン１２３の語を用いて説明することがある。

引出部１２３ｂは、厚部１２１ｃの下面に位置する部分だけでなく、上面に位置する部分も有しており、下面に位置する部分とつながっている。これにより、例えば、引出部１２３ｂの剥がれ低減及び／又は１対の金属パターン１２３の対称性向上等が図られる。

水晶片１２１の一方の主面に位置する励振電極１２３ａと、当該励振電極１２３ａに電気的に接続される引出部１２３ｂのうち水晶片１２１の他方の主面に位置する部分とは、適宜に接続されてよい。図示の例では、このような接続を実現する部分として、金属パターン１２３（引出部１２３ｂ及び配線１２３ｃ）は、水晶片１２１の表面のうち、側面（Ｚ´軸に交差する面）に位置する部分、端面（−Ｘ側に面する面）に位置する部分、第１貫通孔１２２の内面に位置する部分、及び第２貫通孔１２９の内面に位置する部分を含んでいる。

１対の金属パターン１２３のいずれも、第１貫通孔１２２の内面に位置している部分を有している。ただし、両者は、例えば、第１貫通孔１２２の長手方向（Ｚ´方向）の一方側と他方側とに離れていることによって、電気的に分離されている（短絡されていない。）。

また、１対の金属パターン１２３の一方は、２つの第２貫通孔１２９の一方にのみ位置している。１対の金属パターン１２３の他方は、２つの第２貫通孔１２９の他方にのみ位置している。各金属パターン１２３の第２貫通孔１２９に位置する部分は、例えば、第２貫通孔１２９の内面全体を覆っている。なお、金属パターン１２３は、第２貫通孔１２９において、層状ではなく、第２貫通孔１２９に充填された状態（柱状）となっていてもよい。

１対の金属パターン１２３のそれぞれは、水晶片１２１の主面において、（中間部１２１ｂを経由して）薄部１２１ａと厚部１２１ｃとに跨っている。別の観点では、各金属パターン１２３は、厚部１２１ｃの縁部１２６Ａａ及び１２６Ｂａの少なくとも一方（図示の例では双方）に跨っている。金属パターン１２３は、このような境界に跨っている部分において、幅（Ｚ´軸方向の長さ）が比較的大きくされている。例えば、当該幅は、水晶片１２１の幅（Ｚ´軸方向）の１／６以上である。また、例えば、当該幅は、第１貫通孔１２２から水晶片１２１の一方の側面（Ｚ´軸に交差する面）に亘る大きさである。また、例えば、当該幅は、金属パターン１２３のうちの厚部１２１ｃと中間部１２１ｂとの境界よりも−Ｘ側に位置している一部（引出部１２３ｂ）の幅よりも大きい。

第１平面１２４Ａに励振電極１２３ａを有している第１金属パターン１２３Ａは、例えば、複数の第１凹部１２８Ａの一部の内面を経由して、第１平面１２４Ａから第３平面１２６Ａに跨っている部分を有している。別の観点では、第１金属パターン１２３Ａにおいて、励振電極１２３ａと引出部１２３ｂとは、前記一部の第１凹部１２８Ａの内面に位置する部分によって接続されている。なお、例えば、第１金属パターン１２３Ａが引出部１２３ｂを−Ｙ´側にのみ有している態様等において、第１金属パターン１２３Ａの前記一部の第１凹部１２８Ａの内面に位置する部分は省略されてもよい。また、第２金属パターン１２３Ｂは、例えば、複数の第１凹部１２８Ａの他の一部の内面を経由して、第１平面１２４Ａから第３平面１２６Ａに跨っている部分を有している。ただし、当該部分は、省略されても構わない。

上記と同様に、第２平面１２４Ｂに励振電極１２３ａを有している第２金属パターン１２３Ｂは、例えば、複数の第２凹部１２８Ｂの一部の内面を経由して、第２平面１２４Ｂから第４平面１２６Ｂに跨っている部分を有している。別の観点では、第２金属パターン１２３Ｂにおいて、励振電極１２３ａと引出部１２３ｂとは、前記一部の第２凹部１２８Ｂの内面に位置する部分によって接続されている。なお、第２金属パターン１２３Ｂが引出部１２３ｂを＋Ｙ´側にのみ有している態様等において、第２金属パターン１２３Ｂの前記一部の第２凹部１２８Ｂの内面に位置する部分は省略されてもよい。また、第１金属パターン１２３Ａは、例えば、複数の第２凹部１２８Ｂの他の一部の内面を経由して、第２平面１２４Ｂから第４平面１２６Ｂに跨っている部分を有している。ただし、当該部分は、省略されても構わない。

金属パターン１２３のうち、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂに位置している部分は、例えば、これらの凹部の内面に重なる層状に形成されている。ただし、当該部分は、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂに充填された状態となっていても構わない。

１対の金属パターン１２３のそれぞれは、水晶片１２１の側面（Ｚ´軸に交差する面）においても、厚部１２１ｃと中間部１２１ｂとの境界に跨っている。例えば、金属パターン１２３は、厚部１２１ｃ及び中間部１２１ｂの側面の全面に亘っている。一方、水晶片１２１の側面は、厚部１２１ｃから中間部１２１ｂに亘って面一である。別の観点では、段差は存在しない。従って、例えば、厚部１２１ｃから中間部１２１ｂにかけての接続の信頼性が向上している。さらに、金属パターン１２３（引出部１２３ｂ及び配線１２３ｃ）は、中間部１２１ｂと薄部１２１ａとの境界に跨る部分においても、水晶片１２１の側面に位置している。

（水晶素子の製造方法）
水晶素子１２０は、公知の種々の製造方法を応用して作製されてよい。以下では、その一例について説明する。

図８（ａ）〜図８（ｄ）は、水晶素子１２０の製造方法の一例を示す模式的な断面図である。なお、この図では、製造工程の進行に伴って、部材の形状が変化するが、便宜上、変化の前後で同一の符号を付す。

まず、複数の水晶片１２１が多数個取りされる、水晶からなるウェハ１５０を用意する。ウェハ１５０は、上述したＡＴカット板のカット角で切り出されたものであり、また、厚部１２１ｃの厚さと同等の厚さを有している。

次に、図８（ａ）に示すように、ウェハ１５０の両主面にエッチングマスク（１５１及び１５２）を形成する。エッチングマスクは、例えば、ウェハ１５０に重なる第１マスク１５１と、第１マスク１５１に重なる第２マスク１５３とを有している。

第１マスク１５１は、水晶片１２１（薄部１２１ａ、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃ）となる領域と、複数の水晶片１２１の周囲の枠状部１５０ａ（捨て代）となる領域とに重なっている。ただし、第１マスク１５１は、第１貫通孔１２２及び第２貫通孔１２９が形成される領域には重なっていない。第１マスク１５１は、例えば、金属膜によって構成されている。

第２マスク１５２は、厚部１２１ｃとなる領域と、枠状部１５０ａに重なっている。ただし、第２マスク１５２は、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂが形成される領域には重なっていない。第２マスク１５２は、例えば、レジストによって構成されている。

次に、図８（ｂ）に示すように、エッチングマスクを介してウェハ１５０を両主面側からエッチングする。エッチングは、例えば、ウェハ１５０を薬液に浸すウェットエッチングである。これにより、水晶片１２１となる領域の周囲がエッチングされ、さらには、水晶片１２１を囲む貫通孔（スリット）が形成される。すなわち、水晶片１２１の外形が形成される。また、第１貫通孔１２２及び第２貫通孔１２９も形成される。

ただし、水晶片１２１の周囲の一部（連結部１５０ｂ）は残されており、水晶片１２１は、枠状部１５０ａに連結された状態が維持されている。すなわち、ウェハ状態は維持されている。連結部１５０ｂは、適宜な位置に設けられてよく、例えば、水晶片１２１のうち−Ｘ側に面する端面のＺ´軸方向の両端に設けられている。図示の例では、連結部１５０ｂは、連結部１５０ｂ上の開口が小さくされ、エッチングストップが生じることによって残されている。この他、連結部１５０ｂは、エッチングマスクによって覆われていることによって残されてもよい。

次に、図８（ｃ）に示すように、第１マスク１５１のうち、第２マスク１５２から露出している部分を薬液等によって除去する。換言すれば、ウェハ１５０のうち、薄部１２１ａ、中間部１２１ｂ、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂとなる領域をエッチングマスクから露出させる。

次に、図８（ｄ）に示すように、再度、エッチングマスクを介してウェハ１５０を両主面側からエッチングする。エッチングは、例えば、ウェハ１５０を薬液に浸すウェットエッチングである。

このエッチングによって、薄部１２１ａとなる領域は、厚部１２１ｃとなる領域よりも薄くなる。また、中間部１２１ｂとなる領域は、水晶のエッチングに対する異方性に起因して、厚部１２１ｃ側ほど厚くなる。すなわち、この製造方法の例では、第１中間面１２５Ａ及び第２中間面１２５Ｂは、水晶のウェットエッチングによって現れる結晶面によって構成されている。

また、厚部１２１ｃのうち、エッチングマスクから露出している領域も薄くなる。これにより、第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂのうち、平面視において、第３平面１２６Ａの縁部１２６Ａａ及び第４平面１２６Ｂの縁部１２６Ｂａにおいて薄部１２１ａ側から厚部１２１ｃ側へ窪む部分（凹部の平面視における底側の部分）が形成される。

エッチングマスクにおいて、上記の窪む部分を露出させている切欠きは、第１中間面１２５Ａ及び第２中間面１２５Ｂと同様に水晶片１２１に形成される傾斜面を薄部１２１ａ側から厚部１２１ｃ側へシフトさせる作用を奏する。別の観点では、上記の傾斜面は、第１中間面１２５Ａ及び第２中間面１２５Ｂに対して深くなる位置へシフトする。これにより、第３平面１２６Ａ及び第４平面１２６Ｂに対して傾斜する内面を含み、かつ第１中間面１２５Ａ及び第２中間面１２５Ｂに対しても窪む第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂが形成される。

エッチング時間を比較的長くすることなどにより、中間部１２１ｂの結晶面がエッチングされる。ひいては、中間部１２１ｂの傾斜面（第１中間面１２５Ａ及び第２中間面１２５Ｂ）は、厚部１２１ｃの主面（第３平面１２６Ａ及び第４平面１２６Ｂ）よりも低くなる。換言すれば、段差１２７Ａ及び１２７Ｂが形成される。

エッチングマスクにおいて、厚部１２１ｃとなる領域に重なる部分のうち、中間部１２１ｂとなる領域側の縁部のＸ軸方向における位置は、ウェハ１５０の一方主面のエッチングマスクと他方主面のエッチングマスクとで、互いに異ならされてよい。これにより、第３平面１２６Ａの中間部１２１ｂ側の縁部１２６ＡａのＸ軸方向における位置と、第４平面１２６Ｂの中間部１２１ｂ側の縁部１２６ＢａのＸ軸方向における位置とを互いに異ならせることができる。

その後、特に図示しないが、エッチングマスクは除去され、金属パターン１２３が形成される。金属パターン１２３は、例えば、水晶片１２１の表面に形成されたマスクを介して金属が成膜されることによって形成されてよい。また、金属パターン１２３は、水晶片１２１の全面又は大部分に金属が成膜された後、マスクを介してエッチングが行われることによって形成されてもよい。成膜は、スパッタリング等の適宜な方法によってなされてよい。

金属パターン１２３の形成後、水晶片１２１は、連結部１５０ｂを折ったり、切ったりすることなどにより、枠状部１５０ａと分離される（個片化される。）。なお、個片化の際及び／又は個片化後において、厚部１２１ｃは、水晶素子１２０の保持に利用されてよい。例えば、厚部１２１ｃが吸着保持されることによって、水晶素子１２０が冶具に保持されてよい。

以上のとおり、本実施形態では、板形状を有している圧電片（水晶片１２１）は、薄部１２１ａと、厚部１２１ｃとを有している。薄部１２１ａは、平面視において水晶片１２１の板形状の一部の領域を含んでいる。厚部１２１ｃは、平面視において水晶片１２１の板形状の他の一部の領域を含んでおり、薄部１２１ａよりも厚い。薄部１２１ａは、第１平面１２４Ａ及び第２平面１２４Ｂを有している。第１平面１２４Ａは、水晶片１２１の厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に面している。第２平面１２４Ｂは、厚み方向の他方側（−Ｙ´側）に面している。厚部１２１ｃは、第３平面１２６Ａ及び第４平面１２６Ｂを有している。第３平面１２６Ａは、前記一方側（＋Ｙ´側）に面しており、第１平面１２４Ａよりも前記一方側（＋Ｙ´側）に位置している。第４平面１２６Ｂは、前記他方側（−Ｙ´側）に面している。第３平面１２６Ａの薄部１２１ａ側の第１縁部（縁部１２６Ａａ）に、第３平面１２６Ａに対して厚み方向の前記他方側（−Ｙ´側）に窪んでいるとともに、平面視で縁部１２６Ａａにおいて薄部１２１ａ側から厚部１２１ｃ側へ窪んでいる第１凹部１２８Ａが位置している。

従って、例えば、第１平面１２４Ａ及び第３平面１２６Ａに跨って金属パターン１２３が位置しているときに、金属パターン１２３の導通の信頼性が向上する。具体的には、以下のとおりである。第３平面１２６Ａの縁部１２６Ａａは、角部となりやすく、及び／又は段差１２７Ａが形成されやすい。この場合、金属パターン１２３が薄くなりやすく、及び／又は水晶片１２１から受ける応力が大きくなりやすい。その結果、縁部１２６Ａａにおいて断線が生じる蓋然性が高くなる。また、例えば、スパッタリングで金属パターン１２３を形成するときに、水晶片１２１へ向かって飛ばされる金属粒子から見て厚部１２１ｃによって影となる領域が生じることも断線の蓋然性を高くする要因となる。縁部１２６Ａａにおいて断線が生じると、例えば、水晶素子１２０におけるクリスタルインピーダンスが高くなり、特性が低下する。しかし、縁部１２６Ａａに第１凹部１２８Ａが形成されることによって、（第１凹部１２８Ａによって窪んだ部分の長さも含めた）縁部１２６Ａａの長さが長くなり、ひいては、金属パターン１２３の縁部１２６Ａａに跨る長さが長くなる。その結果、縁部１２６Ａａの一部において生じた断線が生じても、導通が確保される。また、第１凹部１２８Ａによって、金属パターン１２３は、種々の方向において縁部１２６Ａａに跨ることになる。その結果、スパッタリングに際して特定の方向から見て影になる部分が生じても、他の部分においては影とならない。この観点においても導通が確保される。このように導通が確保されることによって、例えば、水晶素子１２０の特性が低下する蓋然性が低減される。

また、例えば、薄部１２１ａ及び厚部１２１ｃの一方（本実施形態では薄部１２１ａ）が振動に供される振動部であり、他方が固定に供される固定部である場合において、固定部が振動部に及ぼす影響が低減される。具体的には、例えば、縁部１２６Ａａが直線状であると、振動部から縁部１２６Ａａのその長さ方向の種々の位置に到達した波が、同一方向へ同一の位相で反射され、その結果、反射波がノイズとして現れる蓋然性が高くなる。しかし、第１凹部１２８Ａによって縁部１２６Ａａに湾曲部又は屈曲部が形成されていることより、反射波の方向及び／又は位相が分散されやすくなる。

また、別の観点では、第３平面１２６Ａから第１中間面１２５Ａへの高さの変化（例えば高さｈ１）をＺ´軸方向に平均化して考えたときに、縁部１２６Ａａが直線状である態様に比較して、第１凹部１２８Ａによって、高さの変化が緩やかになると捉えることができる。これにより、水晶片１２１内の応力の変化が緩やかになる。その結果、例えば、固定部の応力が振動部の応力に所定の周波数で特異的に影響を及ぼす蓋然性が低減される。また、境界条件が緩やかになるから、上述した反射波の低減も期待される。

本実施形態では、水晶片１２１は、中間部１２１ｂを更に有している。中間部１２１ｂは、平面視において水晶片１２１の板形状のうちの薄部１２１ａから厚部１２１ｃまでの領域を含んでおり、厚部１２１ｃ側ほど厚くなっている。中間部１２１ｂは、第１中間面１２５Ａ及び第２中間面１２５Ｂを有している。第１中間面１２５Ａは、厚み方向の前記一方側（＋Ｙ´側）に面しており、薄部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が前記一方側（＋Ｙ´側）に位置する向きで第１平面１２４Ａに対して傾斜している。第２中間面１２５Ｂは、厚み方向の前記他方側（−Ｙ´側）に面している。第１凹部１２８Ａは、第１中間面１２５Ａに対しても厚み方向の前記他方側（−Ｙ´側）に窪んでいる。

この場合、例えば、中間部１２１ｂが設けられておらず、厚部１２１ｃと薄部１２１ａとが直接に連結されている態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる。）に比較して、厚部１２１ｃから薄部１２１ａへの厚さの変化を緩やかにすることができる。従って、例えば、振動部（本実施形態では薄部１２１ａ）から固定部（本実施形態では厚部１２１ｃ）への伝わる振動が反射する蓋然性を低減することができる。

本実施形態では、平面視において複数の第１凹部１２８Ａが第３平面１２６Ａの薄部１２１ａ側の縁部１２６Ａａに沿って並んでいる。

この場合、例えば、上記の振動部から固定部へ伝わる振動を分散させる効果等が向上する。また、例えば、縁部１２６Ａａに沿う長さが比較的大きい１つの第１凹部１２８Ａが設けられている態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる）に比較して、水晶片１２１の強度確保の観点において有利である。これは、一つに、水晶片１２１自体の体積が確保されることに起因する。また、第１凹部１２８Ａ内に位置する金属パターン１２３（及び／又は導電性接着剤１４０）による補強の効果が向上することにも起因する。

本実施形態では、平面視において第１凹部１２８Ａの厚部１２１ｃ側の端部が丸みを帯びている。

この場合、例えば、平面視において、第１凹部１２８Ａの内面のうち薄部１２１ａ側に面する領域は、当該領域内の位置によって向きが異なるから、既述の断線が生じる蓋然性を低減させたり、反射波を分散させたりする効果が向上する。また、Ｚ´軸方向に平均化して考えたときに厚みの変化が緩やかになるという効果も向上する。

本実施形態では、平面視において、薄部１２１ａは矩形状である。平面視において、第３平面１２６Ａの縁部１２６Ａａは、薄部１２１ａの４辺のうちいずれか１辺（本実施形態では−Ｘ側の長辺）に沿う縁部である。平面視において、薄部１２１ａの中心ＣＰを通り、前記１辺に直交する仮想線（中心線ＣＬ）を仮定したときに、縁部１２６Ａａに位置している全ての第１凹部１２８Ａの位置関係が中心線ＣＬに対して線対称である。

この場合、例えば、振動部の振動バランスを向上させることができる。その結果、例えば、水晶素子１２０の特性を向上させることができる。

本実施形態では、薄部１２１ａは、平面視において水晶片１２１の板形状の内側の領域を含んでいる。厚部１２１ｃは、平面視において水晶片１２１の板形状の外周側の少なくとも一部の領域を含んでいる。

すなわち、薄部１２１ａは、振動部であり、厚部１２１ｃは固定部であるということができる。この場合、通常、励振電極１２３ａは、振動部の外縁から離れて形成され、振動部の内部でエネルギー閉じ込め効果を得ることが意図される。換言すれば、固定部としての厚部１２１ｃが振動に及ぼす影響は低減される。そして、第１凹部１２８Ａによって、上記のように反射波等がノイズとして現れる蓋然性が低減されることによって、厚部１２１ｃが振動に及ぼす影響は更に低減されることになる。その結果、発振信号の周波数についての精度が高い振動子を実現することができる。

本実施形態では、平面視における薄部１２１ａと厚部１２１ｃとの間の位置にて、第１貫通孔１２２が水晶片１２１の板形状を厚み方向（Ｙ´方向）に貫通している。少なくとも２つの第１凹部１２８Ａの薄部１２１ａ側の端部が第１貫通孔１２２につながっている。

この場合、まず、第１貫通孔１２２は、例えば、水晶片１２１の表裏の導通に寄与でき、また、薄部１２１ａと厚部１２１ｃとの間の振動の伝搬を低減することにも寄与できる。少なくとも２つの第１凹部１２８Ａが第１貫通孔１２２につながっていると、第１貫通孔１２２に共に位置している互いに電位が異なる１対の金属パターン１２３を２つの第１凹部１２８Ａ内に位置させることができる。これにより、例えば、第１凹部１２８Ａに金属パターン１２３の体積を確保して表裏の導通の信頼性を向上させつつ、両者の短絡の蓋然性を低減することができる。また、第１凹部１２８Ａの位置においては、第１貫通孔１２２の内面（＋Ｘ側に面する領域）のＹ´方向の長さが減じられるから、この観点においても表裏の導通の信頼性が向上する。

本実施形態では、第４平面１２６Ｂは、第２平面１２４Ｂよりも厚み方向の前記他方側（−Ｙ´側）に位置している。第２中間面１２５Ｂは、薄部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が前記他方側（−Ｙ´側）に位置する向きで第２平面１２４Ｂに対して傾斜している。第４平面１２６Ｂの薄部１２１ａ側の第２縁部（縁部１２６Ｂａ）に、第４平面１２６Ｂ及び第２中間面１２５Ｂに対して厚み方向の前記一方側（＋Ｙ´側）に窪んでいるとともに、平面視で縁部１２６Ｂａにおいて薄部１２１ａ側から厚部１２１ｃ側へ窪んでいる第２凹部１２８Ｂが位置している。

すなわち、厚部１２１ｃは、薄部１２１ａに対して、厚み方向の一方側だけでなく、厚み方向の両側に高くなっており、双方に凹部（第１凹部１２８Ａ及び第２凹部１２８Ｂ）が形成されている。この場合、例えば、上述した凹部が設けられていることによる反射波の分散等の効果が水晶片１２１の両面で得られる。その結果、振動のバランスが向上し、特性が向上する。

本実施形態では、平面視において第１凹部１２８Ａから離れた位置にて、第２貫通孔１２９が厚部１２１ｃを厚み方向（Ｙ´方向）に貫通している。

この場合、例えば、金属パターン１２３の一部を第２貫通孔１２９に位置させることによって水晶片１２１の両面の導通を図ることができる。また、例えば、薄部１２１ａから厚部１２１ｃへ伝わる振動は、第１凹部１２８Ａによって散乱されて、さらに第２貫通孔１２９によって散乱される。従って、厚部１２１ｃが薄部１２１ａに及ぼす影響を多段で低減することができる。第１凹部１２８Ａは、貫通孔ではないことから、このように多段での散乱を狙っても、水晶片１２１の強度低下は低減される。

（変形例）
以下、図９（ａ）〜図１１（ｂ）を参照して、いくつかの変形例について説明する。なお、以下の説明では、基本的に、実施形態との相違点についてのみ述べる。特に言及がない事項については、実施形態と同様とされたり、実施形態から類推されたりしてよい。また、実施形態の構成と対応する構成については、実施形態と相違点があっても、便宜上、同一の符号を付すことがある。

図９（ａ）〜図９（ｃ）はそれぞれ、変形例に係る水晶片の平面図である。実施形態では、厚部２１ｃは、矩形状の薄部２１ａの１辺に沿う形状とされた。ただし、厚部は、薄部の２辺以上に沿っていてもよい。図９（ａ）〜図９（ｃ）の水晶片は、そのような２辺以上に亘る厚部を有している。具体的には、以下のとおりである。

図９（ａ）に示す水晶片２２１は、薄部２２１ａの２辺に沿って厚部２２１ｃ（及び中間部２２１ｂ）を有している。換言すれば、厚部２２１ｃは、Ｌ字に形成されている。なお、厚部２２１ｃがＬ字に構成されていると捉えるのではなく、直線状の厚部２２１ｃが合計で２つ設けられていると捉えられてもよい。以下の説明では、便宜上、厚部２２１ｃのうち薄部２２１ａの１辺に沿う部分を厚部２２１ｃの１辺等ということがある。

実施形態の第１凹部１２８Ａ又は第２凹部１２８Ｂに対応する凹部２２８は、例えば、厚部２２１ｃの２辺それぞれに設けられている。ただし、凹部２２８は、１辺のみに設けられていてもよい。図示の例では、各辺において、複数の凹部２２８は、中心点ＣＰを通り、各辺に直交する中心線（ＣＬ１又はＣＬ２）に対して線対称に配置されている。さらに、図示の例では、２辺全体の複数の凹部２２８が、中心点ＣＰを通り、対角線の方向に延びる仮想線ＣＬ３に対して線対称に配置されている。もちろん、複数の凹部２２８の配置は、非対称であっても構わない。

図９（ｂ）に示す水晶片３２１は、薄部３２１ａの３辺に沿って厚部３２１ｃ（及び中間部３２１ｂ）を有している。換言すれば、厚部３２１ｃは、Ｕ字に形成されている。なお、厚部３２１ｃがＵ字に構成されていると捉えるのではなく、直線状の厚部３２１ｃが合計で３つ設けられていると捉えられてもよい。以下の説明では、便宜上、厚部３２１ｃのうち薄部３２１ａの１辺に沿う部分を厚部３２１ｃの１辺等ということがある。

実施形態の第１凹部１２８Ａ又は第２凹部１２８Ｂに対応する凹部３２８は、例えば、厚部３２１ｃの３辺それぞれに設けられている。ただし、凹部３２８は、１辺のみ又は２辺のみに設けられていてもよい。図示の例では、各辺において、複数の凹部３２８は、中心点ＣＰを通り、各辺に直交する中心線（ＣＬ１又はＣＬ２）に対して線対称に配置されている。さらに、図示の例では、３辺全体の複数の凹部３２８が、中心点ＣＰを通り、１辺（図示の例では長辺）に直交する仮想線ＣＬ２に対して線対称に配置されている。もちろん、複数の凹部３２８の配置は、非対称であっても構わない。

図９（ｃ）に示す水晶片４２１は、薄部４２１ａの４辺に沿って厚部４２１ｃ（及び中間部４２１ｂ）を有している。換言すれば、厚部４２１ｃは、矩形の環状に形成されている。なお、厚部４２１ｃが矩形の環状に構成されていると捉えるのではなく、直線状の厚部４２１ｃが合計で４つ設けられていると捉えられてもよい。以下の説明では、便宜上、厚部４２１ｃのうち薄部４２１ａの１辺に沿う部分を厚部４２１ｃの１辺等ということがある。

実施形態の第１凹部１２８Ａ又は第２凹部１２８Ｂに対応する凹部４２８は、例えば、厚部４２１ｃの４辺それぞれに設けられている。ただし、凹部４２８は、１辺のみ、２辺のみ又は３辺のみに設けられていてもよい。図示の例では、各辺において、複数の凹部４２８は、中心点ＣＰを通り、各辺に直交する中心線（ＣＬ１又はＣＬ２）に対して線対称に配置されている。さらに、図示の例では、４辺全体の複数の凹部４２８が、中心点ＣＰを通り、いずれかの辺に直交する仮想線（ＣＬ１又はＣＬ２）に対して線対称に配置されている。もちろん、複数の凹部４２８の配置は、非対称であっても構わない。

図９（ａ）〜図９（ｃ）に示すように、薄部の２辺以上に対して厚部（及び中間部）が設けられる場合において、辺同士において厚部（及び／又は中間部）の形状及び／又は寸法は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。例えば、ここでは不図示の引出部１２３ｂが設けられる辺における厚部の幅（平面視における短手方向の長さ）は、他の辺における厚部の幅よりも大きくされてよい。

図１０（ａ）は、変形例に係る水晶素子５２０の構成を示す断面図であり、図２の一部に対応している。

水晶素子５２０の水晶片５２１においては、厚部５２１ｃ（及び中間部５２１ｂ）は、薄部５２１ａに対して、水晶片５２１の厚み方向の一方側にのみ高くなっている。そして、ここでは不図示であるが、第１凹部１２８Ａ又は第２凹部１２８Ｂに対応する凹部が厚部５２１ｃの薄部５２１ａ側の縁部に形成されている。

図１０（ｂ）は、変形例に係る水晶素子６２０の構成を示す断面図であり、図２の一部に対応している。

この水晶素子６２０は、いわゆるメサ型のものとなっている。具体的には、例えば、水晶素子６２０の水晶片６２１においては、薄部６２１ａは、水晶片６２１の外周側の領域を含み、より詳細には、水晶片６２１の全周に亘って水晶片６２１の外周側の領域を含んでいる。また、厚部６２１ｃは、平面視において水晶片６２１の内側の領域を含み、より詳細には、水晶片６２１の外縁全体から離れており、水晶片６２１の内側の領域のみからなる。１対の励振電極１２３ａは、少なくとも厚部６２１ｃの両面に重なっている。１対の引出部１２３ｂ（ここでは１つのみ図示）は、少なくとも薄部６２１ａの一方の面に位置している。

そして、ここでは不図示であるが、第１凹部１２８Ａ又は第２凹部１２８Ｂに対応する凹部が厚部６２１ｃの薄部６２１ａ側の縁部に形成されている。なお、図１０（ｂ）の変形例は、中間部が構成されていない態様、又は中間部が比較的小さい態様の例ともなっている。

図１１（ａ）は、水晶素子７２０の実装構造の変形例を示す模式的な断面図であり、図２の一部に対応している。

この変形例では、１対の励振電極１２３ａのうち一方に電気的に接続されている引出部１２３ｂは、実施形態と同様に、導電性接着剤１４０によって搭載パッド１１１に接合されている。一方、１対の励振電極１２３ａのうち他方に電気的に接続されている引出部１２３ｂは、ボンディングワイヤ１６０によって、ここでは不図示の搭載パッド１１１に接続されている。

別の観点では、水晶素子４２０は、１つの導電性接着剤１４０によって支持されている。ただし、水晶素子４２０を支持するために、電気的接続に寄与しない接合材等が設けられていてもよい。２つの引出部１２３ｂは、互いに異なる主面に位置しており、紙面貫通方向の位置は、互いに重複していてもよいし、互いに異なっていてもよい。

図１１（ｂ）は、水晶素子８２０の実装構造の他の変形例を示す模式的な断面図であり、図２の一部に対応している。

この変形例では、１対の励振電極１２３ａに電気的に接続されている１対の引出部１２３ｂは、１対のボンディングワイヤ１６０によって、ここでは不図示の１対の搭載パッド１１１に接続されている。ただし、ここでは、１対のボンディングワイヤ１６０（及び引出部１２３ｂ）の一方は、他方に隠れて不図示である。

また、この変形例では、水晶素子８２０の支持は、導電性を有さない接着剤１７０によってなされている。すなわち、接着剤１７０は、導電性接着剤１４０とは異なり、導電性フィラーを含んでいない。従って、例えば、接着剤１７０は、相対的にヤング率が低い。その結果、例えば、水晶素子８２０の支持（固定）に起因する応力が水晶片１２１の振動に及ぼす影響は低減されている。

なお、図示の例では、接着剤１７０は、水晶片１２１と基板部１１０ａとに直接に接合されているが、金属パターン１２３及び／又は基板部１１０ａに設けられたダミーのパッド等に接合されていてもよい。接着剤１７０は、１つのみであってもよいし、２以上設けられてもよく、その位置も任意である。

本開示に係る技術は、以上の実施形態及び変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

上述した実施形態及び種々の変形例は適宜に組み合わされてよい。例えば、図１０（ａ）に示した厚部が薄部に対して厚み方向の一方側にのみ高くなる構成は、図９（ａ）〜図９（ｃ）に示した２辺以上に亘って厚部が設けられる構成に適用されてもよい。また、例えば、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）の実装構造は、図１０（ａ）に示した厚部が薄部に対して厚み方向の一方側にのみ高くなる構成に適用されてもよいし、図９（ａ）〜図９（ｃ）に示した２辺以上に亘って厚部が設けられる構成に適用されてもよい。図１０（ｂ）のメサ型の形状において中間部が設けられてもよいし、逆に、他の形状（薄部が振動部である形状）において中間部が省略されてもよい。

圧電体は、水晶に限定されない。例えば、圧電体は、他の単結晶であってもよいし、多結晶からなるもの（例えばセラミック）であってもよい。また、圧電体は、厚み滑り振動の基本波振動を利用するものに限定されず、他の振動モードを利用するものであってもよいし、オーバートーン振動を利用するものであってもよい。また、厚み滑り振動を利用する水晶片のカットは、ＡＴカットに限定されない。例えば、ＢＴカットであってもよい。また、水晶片は、水晶のみからなるものに限定されず、水晶に金属等からなるドーパントを注入した材料からなるものも含むものとする。

圧電デバイスは、圧電振動子に限定されない。例えば、圧電デバイスは、圧電振動素子に加えて、圧電振動素子に電圧を印加して発振信号を生成する集積回路素子（ＩＣ：Integrated Circuit）を有する発振器であってもよい。また、例えば、圧電デバイス（圧電振動子）は、水晶振動素子の他に、サーミスタ等の他の電子素子を有するものであってもよい。また、圧電デバイスは、恒温槽付のものであってもよい。

圧電デバイスにおいて、圧電振動素子をパッケージングするパッケージの構造は、適宜な構成とされてよい。例えば、パッケージは、上面及び下面に凹部を有する断面Ｈ型のものであってもよい。また、パッケージは、基板状の基体（凹部を有していない基体）と、基体に被せられるキャップ状の蓋体とで構成されるものであってもよい。

圧電振動素子は、片持ち梁状に支持されるものに限定されない。例えば、圧電振動素子は、両端が支持されるものであってもよい。

１００…水晶デバイス（圧電デバイス）、１２０…水晶素子（圧電振動素子）、１２１…水晶片（振動素子用圧電片）、１２１ａ…薄部、１２１ｃ…厚部、１２４Ａ…第１平面、１２４Ｂ…第２平面、１２６Ａ…第３平面、１２６Ｂ…第４平面、１２６Ａａ…縁部（第１縁部）、１２８Ａ…第１凹部。

Claims (11)

1. 板形状を有している圧電片であって、
   平面視において前記板形状の一部の領域を含んでいる薄部と、
   平面視において前記板形状の他の一部の領域を含んでいる、前記薄部よりも厚い厚部と、
   を有しており、
   前記薄部は、
   前記板形状の厚み方向の一方側に面している第１平面と、
   前記厚み方向の他方側に面している第２平面と、を有しており、
   前記厚部は、
   前記厚み方向の前記一方側に面しており、前記第１平面よりも前記一方側に位置している第３平面と、
   前記厚み方向の前記他方側に面している第４平面と、を有しており、
   前記第３平面の前記薄部側の第１縁部に、前記第３平面に対して前記厚み方向の前記他方側へ窪んでいるとともに、平面視で前記第１縁部において前記薄部側から前記厚部側へ窪んでいる第１凹部が位置している
   振動素子用圧電片。
2. 平面視において前記板形状のうちの前記薄部から前記厚部までの領域を含んでいる、前記厚部側ほど厚くなっている中間部を更に有しており、
   前記中間部は、
   前記厚み方向の前記一方側に面しており、前記薄部側に対して前記厚部側が前記一方側に位置する向きで前記第１平面に対して傾斜している第１中間面と、
   前記厚み方向の前記他方側に面している第２中間面と、を有しており、
   前記第１凹部は、前記第１中間面に対しても前記厚み方向の前記他方側へ窪んでいる
   請求項１に記載の振動素子用圧電片。
3. 平面視において複数の前記第１凹部が前記第１縁部に沿って並んでいる
   請求項１又は２に記載の振動素子用圧電片。
4. 平面視において前記第１凹部の前記厚部側の端部が丸みを帯びている
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動素子用圧電片。
5. 平面視において、
   前記薄部は矩形状であり、
   前記第１縁部は、前記薄部の４辺のうちいずれか１辺に沿う縁部であり、
   前記薄部の中心を通り、前記１辺に直交する仮想線を仮定したときに、前記第１縁部に位置している全ての前記第１凹部の位置関係が前記仮想線に対して線対称である
   請求項３に記載の振動素子用圧電片。
6. 前記薄部は、平面視において前記板形状の内側の領域を含んでおり、
   前記厚部は、平面視において前記板形状の外周側の少なくとも一部の領域を含んでいる
   請求項１〜５のいずれか１項に記載に振動素子用圧電片。
7. 平面視における前記薄部と前記厚部との間の位置にて、第１貫通孔が前記板形状を前記厚み方向に貫通しており、
   少なくとも２つの前記第１凹部の前記薄部側の端部が前記第１貫通孔につながっている
   請求項３に記載の振動素子用圧電片。
8. 前記第４平面は、前記第２平面よりも前記厚み方向の前記他方側に位置しており、
   前記第２中間面は、前記薄部側に対して前記厚部側が前記他方側に位置する向きで前記第２平面に対して傾斜しており、
   前記第４平面の前記薄部側の第２縁部に、前記第４平面及び前記第２中間面に対して前記厚み方向の前記一方側へ窪んでいるとともに、平面視で前記第２縁部において前記薄部側から前記厚部側へ窪んでいる第２凹部が位置している
   請求項２に記載の振動素子用圧電片。
9. 平面視において前記第１凹部から離れた位置にて、第２貫通孔が前記厚部を前記厚み方向に貫通している
   請求項１〜８のいずれか１項に記載の振動素子用圧電片。
10. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の振動素子用圧電片と、
    前記板形状の前記厚み方向の前記一方側に面している第１面に少なくとも位置している第１金属パターンと、
    前記板形状の前記厚み方向の前記他方側に面している第２面に少なくとも位置している第２金属パターンと、
    を有しており、
    前記第１金属パターンは、前記第１凹部の内面を経由して前記第１平面から前記第３平面に跨っている部分を有している
    圧電振動素子。
11. 請求項１０に記載の圧電振動素子と、
    前記第１面又は前記第２面である第１対向面と対向している第２対向面を有している基体と、
    前記第１対向面と前記第２対向面との間に介在して両者を接合している接合材と、
    前記基体に接合されて前記圧電振動素子を密閉している蓋体と、
    を有している圧電デバイス。

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