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JP2019162018A - 軸方向のプリロードがある自己回転式圧電モーター - Google Patents

軸方向のプリロードがある自己回転式圧電モーター Download PDF

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Abstract

【課題】プリロードシステムが取り付けられた自己回転式圧電モーターを提供する。【解決手段】自己回転式圧電モーター100は、1対のアーム31、32を有する共振器30を有しており、アームの一端どうしが接続領域において接続しており、アームの2つの他端310、320が自由端であるような圧電アクチュエーターと、共振器30に対して実質的に垂直に延在している円筒状部品20を有している受動性要素とを有する。受動性要素は、下側円錐台50と上側円錐台40を有しており、下側円錐台と上側円錐台の小さい方の台部分51、41は、互いに対向しており、共振器の両側にある。受動性要素は、共振器のアームの自由端のそれぞれと接触している下側及び上側円錐台の側面52、42を保持する弾性要素70、止め71を有する。【選択図】図3

Description

本発明は、自己回転式圧電モーターの技術分野に関する。
自己回転式圧電モーターは、伝統的に、受動性要素と、及び圧電効果を用いて受動性要素を回転させるアクチュエーターとを有する。図1を参照すると、具体的には、受動性要素20がシリンダーであり圧電アクチュエーターが実質的に音叉形又はU字形の接続領域33において互いに接続された1対のアーム31、32を有する共振器30を有するような自己回転式圧電モーター10が知られている。この圧電アクチュエーターは、さらに、2つの圧電素子(図示せず)を有しており、その各圧電素子は、アーム31、32の一方に取り付けられており、アームが振動を与えるようにするための励起手段としてはたらく。受動性要素20は共振器のアーム31、32の間を通る。具体的には、受動性要素20の側面の1つの領域が、両方の側にてアーム31、32の自由端310、320と接触しており、これによって、その接触領域に対するアーム31、32の自由端310、320の摩擦によって受動性要素20が回転する。
この種のモーターは、共振器と受動性要素の間の境界においてプリロードが作られていなければならず、モーターにパワー供給せずに、すなわち、アームを励起せずに、保持トルクをセットする。
本発明は、プリロードシステムが取り付けられた自己回転式圧電モーターを提案することを目的とする。
このために、本発明は、
1対のアームを有する共振器を有しており、前記アームの一端どうしが接続領域において接続しており、前記アームの2つの他端が自由端であるような圧電アクチュエーターと、及び
前記共振器に対して実質的に垂直に延在している円筒状部品を有しており前記アームの前記自由端の間を通る受動性要素と
を有する自己回転式圧電モーターに関する。
本発明によると、前記受動性要素は、さらに、下側円錐台と上側円錐台を有しており、
前記下側円錐台と前記上側円錐台の小さい方の台部分は、互いに対向しており前記共振器の両側にあり、
前記受動性要素の前記円筒状部品は、前記下側円錐台と前記上側円錐台に少なくとも部分的に軸方向にて入り込んでおり、
前記上側円錐台は、前記円筒状部品の一部に沿って動くことができ、
前記下側円錐台と前記上側円錐台の少なくとも一方は、前記円筒状部品とともに回転するように前記円筒状部品と一体化されており、
前記受動性要素は、前記共振器の前記アームの前記自由端のそれぞれと接触している前記下側及び上側円錐台の側面を保持する保持デバイスを有する。
したがって、圧電アクチュエーターと受動性要素の間で軸方向のプリロードが作られる。アームの自由端にて上側円錐台によって第1の軸方向の力が与えられ、アームの自由端に下側円錐台によって第2の軸方向の力が与えられ、第1の力と第2の力が反対方向を向いている。用語「軸方向」は、円筒状部品の軸に対するものを意味しており、この軸は、下側円錐台の軸及び上側円錐台の軸でもある。
このように、プリロードシステムは、円錐台及び保持デバイスを有している。なお、本発明の1つの利点は、プリロードシステムが自立していることである。
円錐台の少なくとも一方が円筒状部品とともに回転するように円筒状部品と一体化されており、その円錐台が2つの共振器アームの自由端と接触しているために、これらのアームは円筒状部品を回転させることができる。好ましくは、両方の円錐台は、円筒状部品とともに回転するように円筒状部品と一体化されており、これによって、トルクがすべて円筒状部品に伝達される。
好ましくは、第1及び第2の力の大きさが等しいようにプリロードが平衡化される。したがって、圧電モーターにて軸方向の力は発生していない。このような軸方向の力は共振器を変形させてモーターの動作を妨げる。
第1の実施形態において、保持デバイスは、上側円錐台上にて弾性力を発生させることができる。例えば、保持デバイスは、円筒状部品に固定される止めと、及びこの止め及び上側円錐台の大きい方の台部分を支える弾性要素、例えば、ばね、細長材、ゴム要素、を有する。
第2の実施形態において、保持デバイスは、上側円錐台上にて磁力を発生させることができる。例えば、保持デバイスは、下側円錐台の大きい方の台部分に固定される磁石を有し、上側円錐台は、磁性材料、例えば、強磁性体、を有し、これによって、上側円錐台と磁石の間に引力が発生する。
前記の2つの実施形態は、第1の軸方向の力の発生の例である。第1の変種において、下側円錐台は、その大きい方の台部分にて、支持体上に又は支持体上に配置された要素又は要素群上に配置される。そして、第2の軸方向の力は、下側円錐台に対するアームの自由端の推進力に反応して与えられる力であり、前記推進力は、第1の軸方向の力によって発生する。第2の実施形態において、保持デバイスは、さらに、円筒状部品に固定される第2の止めと、及び第2の止め及び下側円錐台の大きい方の台部分を支える第2の弾性要素を有し、あるいは保持デバイスは、さらに、上側円錐台の大きい方の台部分に固定される第2の磁石を有し、下側円錐台は、磁性材料、例えば、強磁性体、を含有しており、これによって、下側円錐台と第2の磁石の間の引力を発生させる。
1つの実施形態において、円筒状部品には、少なくとも1つの溝があり、下側及び上側円錐台のそれぞれには、溝内にて滑ることができる少なくとも1つの舌部があり、これによって、下側円錐台及び上側円錐台は、円筒状部品の軸に沿って溝内を動くことができるが円筒状部品とともに回転するように円筒状部品と一体化されている。
本発明は、さらに、上にて詳細に説明しているような圧電モーターを有する計時器に関する。
非限定的な1つの実施形態において、計時器は、円筒状部品の一端に固定された針を有する。
添付の図面を参照しながら非限定的な例として与えられる以下の説明を読むことで、他の特徴や利点が明確になるであろう。
既に説明しており、従来技術に係る自己回転式圧電モーターの一部を概略的に示している上方から見た図である。 本発明の第1の実施形態に係る自己回転式圧電モーターの一部を概略的に示している上方から見た図である。 図2の自己回転式圧電モーターの一部を概略的に示している軸断面図である。 本発明の第2の実施形態に係る自己回転式圧電モーターの一部を概略的に示している軸断面図である。 図2の自己回転式圧電モーターの一部及び前記モーターに固定された針を有する計時器の一部を概略的に示している。
図2及び3は、本発明の第1の実施形態に係る圧電モーター100の一部を示しており、図4は、本発明の第2の実施形態に係る圧電モーター101を示している。両方の場合において、モーター100、101は、円筒状部品20を有する受動性要素と、及び圧電効果を用いて円筒状部品20を回転させる圧電アクチュエーターとを有する。
圧電アクチュエーターは、圧電励起手段(図示せず)と、及び振動することができる2つのアーム3、32を有する共振器30とを有する。励起手段は、好ましいことに、2つの部分によって形成されており、その各部分は異なるアームに取り付けられている。しかし、他の形態の励起手段も可能である。励起手段は、例えば、アームの間の接合部に配置された単一の部品によって形成されていることができる。励起手段に適切な電圧が与えられると、励起手段は変形して、機械的応力がアーム31、32に伝達され、このアーム31、32が振動し始める。励起手段がアーム上にて適切な形態となるように設計されマウントされていれば、所望の形態の多次元的な振動を達成することができる。
アーム31、32は、互いに接続領域33において接続され、この接続領域33から互いに実質的に平行に延在している。したがって、共振器は、全体として見ると、音叉の形、すなわち、U字形である。しかし、この形には限定されない。接続領域33に接続されていない方のアームの端は、自由端310、320と呼ばれる。アーム31、32の振動の振幅は、これらの端310、320において最大である。
円筒状部品20は、共振器30に対して実質的に垂直であるように延在している。すなわち、共振器30のアーム31、32の軸を含む平面に対して垂直であり、2つの自由端310、320の間を通る。
受動性要素は、さらに、2つの円錐台を有しており、これは、上側円錐台40と下側円錐台50と呼ばれ、これらは円筒状部品20と同軸である。好ましい実施形態において、これらの2つの円錐台40、50は、円筒状部品20の部分に沿って並進運動をするように動くことができ、円筒状部品20とともに回転するように円筒状部品20と一体化されている。しかし、上側円錐台40のみを円筒状部品20の一部に沿って並進運動するように動くことができるようにし、2つの円錐台40、50の一方のみが円筒状部品20とともに回転するように円筒状部品20と一体化されているようにすることができる。2つの円錐台40、50の小さい方の台部分41、51どうしは、互いに対向している。
図示している2つの非限定的な実施形態において、円筒状部品20は(地球の基準フレームにおいて)鉛直方向に延在しており、下側円錐台50は、円筒状部品20の下側の端に位置している(並進運動をすることができる場合は重力の影響のため、あるいは固定されているため)。
共振器30のアーム31、32の自由端310、320は、2つの円錐台40、50の間にある。より詳細には、自由端310、320のそれぞれは、2つの円錐台40、50の側面42、52と接触している。
少なくとも一方の円錐台40、50が円筒状部品20とともに回転するように円筒状部品20と一体化されているので、アーム31、32の自由端310、320の多次元的な振動によって、前記少なくとも一方の円錐台40、50に対する前記自由端310、320の摩擦によって円筒状部品20をその軸のまわりに回転させることが可能になる。
上側円錐台40に対して、その重さに加えて、受動性要素の保持デバイスを介して第2の半径方向の力が与えられる。これらの2種類の力によって、2つの円錐台40、50の側面42、52がアーム31、32の自由端310、320上に半径方向にて載るようにすることが可能になって、前記自由端310、320が互いに離れさせられ、このことによって、共振器30と受動性要素の間のプリロードが作られる。
第1の実施形態において、前記保持デバイスは、ここではばね70である弾性要素と、止め71とを有する。止め71は、円筒状部品20と一体化されており、ばね70は、その一方の側が上側円錐台40の大きい方の台部分上に載り、他方の側が止め71上に載り、これによって、ばね70が上側円錐台40を下側円錐台50の方に押す。
第2の実施形態において、保持デバイスは、下側円錐台50の側に配置された磁石60を有し、上側円錐台40は、磁性材料を含有しており、これによって、上側円錐台40を磁石60の方に引きつけ、結果的に、下側円錐台50の方に引きつける。磁石60は、例えば、下側円錐台50の大きい方の台部分53に取り付けられる。磁石60は、代わりに、下側円錐台50の小さい方の台部分51に取り付けられることができる。また、磁性材料を含有させる代わりに、磁石60によって引きつけられるように構成している別の磁石を上側円錐台40に取り付けることができ、特に、上側円錐台40の小さい方の台部分41に取り付けることができる。
なお、少なくとも、円筒状部品20の軸が鉛直方向に配置されておらず下側円錐台50が円筒状部品20の部分に沿って並進運動をすることができるような実施形態において、第2の保持デバイスにおいて、下側円錐台50が共振器30のアーム31、32の自由端310、320を押し続けるようにすることが必要とされる。
1つの実施形態において、前記第2の保持デバイスは、第2の弾性要素(ばね、細長材又はゴム要素)及び第2の止めを有する。第2の止めは、円筒状部品20と一体化されており、第2の弾性要素は、一方の側において下側円錐台50の大きい方の台部分50を押し、他方の側において第2の止めを押し、これによって、上側円錐台40の方に下側円錐台50を押すようにされる。別の実施形態において、第2の保持デバイスは、上側円錐台40の側に配置された第2の磁石と呼ばれる磁石を有しており、下側円錐台50は、下側円錐台50を第2の磁石の方に引きつけ、結果的に、上側円錐台40の方に引きつけるように磁性材料を含有する。第2の磁石は、例えば、上側円錐台40の大きい方の台部分43に取り付けられる。第2の磁石は、代わりに、上側円錐台40の小さい方の台部分41に取り付けることができる。また、磁性材料を含有する代わりに、第2の磁石によって引きつけられるように構成している別の磁石を、下側円錐台50に、特に、下側円錐台50の小さい方の台部分51に、取り付けることができる。
最後に、図5は、第1の実施形態に係る圧電モーター100の円筒状部品20の上端に固定された針90を有する腕時計タイプの計時器80を示している。しかし、本発明の実施形態の1つに係る圧電モーターを針ではなくディスク(例えば、日付ディスクや月の相ディスク)、車又はリングを回転駆動するように用いることができる。
添付の請求の範囲によって定められる本発明の範囲から逸脱せずに、上記の本発明の様々な実施形態に当業者に明らかな様々な改変、改善及び/又は組み合わせを行うことができることは明らかである。
10、100、101 自己回転式圧電モーター
20 円筒状部品
30 共振器
31、32 アーム
33 接続領域
40 上側円錐台
41、51 小さい方の台部分
42、52 側面
43、53 大きい方の台部分
50 下側円錐台
60 磁石
70 弾性要素
71 止め
80 計時器
90 針
310、320 自由端

Claims (11)

  1. 1対のアーム(31、32)を有する共振器(30)を有しており、前記アームの一端どうしが接続領域(33)において接続しており、前記アームの2つの他端(310、320)が自由端であるような圧電アクチュエーターと、及び
    前記共振器(30)に対して実質的に垂直に延在している円筒状部品(20)を有している受動性要素と
    を有する自己回転式圧電モーター(100、101)であって、
    前記円筒状部品は、前記アーム(31、32)の前記自由端(310、320)の間を通り、かつ、当該受動性要素に対する前記自由端(310、320)の摩擦によって回転することができ、
    前記受動性要素は、下側円錐台(50)と上側円錐台(40)を有しており、
    前記下側円錐台と前記上側円錐台の小さい方の台部分(51、41)は、互いに対向しており前記共振器(30)の両側にあり、
    前記受動性要素の前記円筒状部品(20)は、前記下側円錐台(50)と前記上側円錐台(40)に少なくとも部分的に軸方向にて入り込んでおり、
    前記上側円錐台(40)は、前記円筒状部品(20)の一部に沿って動くことができ、
    前記下側円錐台(50)と前記上側円錐台(40)の少なくとも一方は、前記円筒状部品(20)とともに回転するように前記円筒状部品(20)と一体化されており、
    前記受動性要素は、前記共振器(30)の前記アームの前記自由端(31、32)のそれぞれと接触している前記下側及び上側円錐台(50、40)の側面(52、42)を保持する保持デバイス(70、71、60)を有する
    圧電モーター。
  2. 前記下側円錐台(50)と前記上側円錐台(40)は、前記円筒状部品(20)とともに回転するように前記円筒状部品(20)と一体化されている
    請求項1に記載の圧電モーター(100、101)。
  3. 前記保持デバイス(70、71)は、前記上側円錐台(40)に対して弾性力を発生させることができる
    請求項1又は2に記載の圧電モーター(100)。
  4. 前記保持デバイス(70、71)は、前記円筒状部品(20)に固定された止め(71)と、及びこの止め(71)及び前記上側円錐台(40)の大きい方の台部分(43)を支える弾性要素(70)とを有する
    請求項3に記載の圧電モーター(100)。
  5. 前記保持デバイス(60)は、前記上側円錐台(40)にて磁力を発生させることができる
    請求項1又は2に記載の圧電モーター(101)。
  6. 前記保持デバイス(60)は、前記下側円錐台(50)の大きい方の台部分(53)に固定される磁石(60)を有し、
    前記上側円錐台(40)は、前記上側円錐台(40)と前記磁石(60)の間に引力を発生させるように磁性材料を含有している
    請求項5に記載の圧電モーター(101)。
  7. 前記保持デバイス(70、71、60)は、前記円筒状部品(20)に固定された第2の止めと、及びこの第2の止め及び下側円錐台(50)の前記大きい方の台部分(53)を支える第2の弾性要素とを有する
    請求項3〜6のいずれかに記載の圧電モーター(100、101)。
  8. 前記保持デバイス(70、71、60)は、前記上側円錐台(40)の前記大きい方の台部分(43)に固定された第2の磁石を有し、
    前記下側円錐台(50)は、この下側円錐台(50)と前記第2の磁石の間に引力を発生させるように磁性材料を含有している
    請求項3〜6のいずれかに記載の圧電モーター(100、101)。
  9. 前記円筒状部品(20)には少なくとも1つの溝があり、
    前記下側及び上側円錐台(40、50)のそれぞれは、前記溝内にて滑ることができる少なくとも1つの舌部を有する
    請求項2〜8のいずれかに記載の圧電モーター(100、101)。
  10. 請求項1〜9のいずれかに記載の圧電モーター(100、101)を有する計時器(80)。
  11. 前記円筒状部品(20)の一端に固定された針(90)を有する
    請求項10に記載の計時器(80)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3787178A1 (en) * 2019-08-30 2021-03-03 Miniswys Sa Piezoelectric drive unit
CN112290828B (zh) * 2020-10-30 2023-02-17 河南师范大学 一种具有轴向预加载的超声电机

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5229192A (en) * 1975-09-01 1977-03-04 Ki Porichiefunichiesukii I Im Piezooelectric motor
JPS62277078A (ja) * 1986-05-23 1987-12-01 Matsushita Electric Works Ltd 圧電モ−タ
JPS63294279A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPH03203573A (ja) * 1989-12-28 1991-09-05 Piezo Tec Kk テーパつき圧着面を有する超音波モータ
US5237238A (en) * 1990-07-21 1993-08-17 Omicron Vakuumphysik Gmbh Adjusting device for microscopic movements
JPH0937573A (ja) * 1995-07-17 1997-02-07 Fanuc Ltd 超音波アクチュエータ
US20060006764A1 (en) * 1999-10-31 2006-01-12 Nanomotion Ltd. Piezoelectric motors and motor driving configurations
US20070138915A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Maureen Mulvihill Piezoelectric micro-device for blockage removal
US20070164635A1 (en) * 2004-06-24 2007-07-19 Miniswys Sa Drive unit
CN101026343A (zh) * 2007-03-28 2007-08-29 哈尔滨工业大学 多行波弯曲旋转超声电机定子及使用该定子的超声电机
CN101170289A (zh) * 2007-09-26 2008-04-30 哈尔滨工业大学 磁力加压的预压力装置及使用该装置的微型面内超声电机
WO2009034885A1 (ja) * 2007-09-11 2009-03-19 Nikon Corporation 振動アクチュエータおよび撮像装置
CN105406760A (zh) * 2015-12-15 2016-03-16 上海交通大学 无冲击矩形板压电微电机

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4795596B2 (ja) * 1999-11-29 2011-10-19 ミニスイス・ソシエテ・アノニム 圧電ドライブ
CN101707444A (zh) * 2009-11-12 2010-05-12 南京航空航天大学 一种面内行波型旋转超声电机及控制方法
CN105490581B (zh) * 2015-11-24 2017-08-25 西安交通大学 含有h型结构的高精度大扭矩压电旋转作动装置及方法
CN107046380B (zh) * 2017-02-23 2019-04-19 南京航空航天大学 一种多辐条型超声电机

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5229192A (en) * 1975-09-01 1977-03-04 Ki Porichiefunichiesukii I Im Piezooelectric motor
JPS62277078A (ja) * 1986-05-23 1987-12-01 Matsushita Electric Works Ltd 圧電モ−タ
JPS63294279A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPH03203573A (ja) * 1989-12-28 1991-09-05 Piezo Tec Kk テーパつき圧着面を有する超音波モータ
US5237238A (en) * 1990-07-21 1993-08-17 Omicron Vakuumphysik Gmbh Adjusting device for microscopic movements
JPH06317681A (ja) * 1990-07-21 1994-11-15 Omicron Vakuumphysik Gmbh 微小運動用調節装置
JPH0937573A (ja) * 1995-07-17 1997-02-07 Fanuc Ltd 超音波アクチュエータ
US20060006764A1 (en) * 1999-10-31 2006-01-12 Nanomotion Ltd. Piezoelectric motors and motor driving configurations
JP2008220171A (ja) * 2004-06-24 2008-09-18 Miniswys Sa 駆動装置
US20070164635A1 (en) * 2004-06-24 2007-07-19 Miniswys Sa Drive unit
CN101019301A (zh) * 2004-06-24 2007-08-15 米尼斯怀斯股份公司 驱动单元
US20070138915A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Maureen Mulvihill Piezoelectric micro-device for blockage removal
CN101026343A (zh) * 2007-03-28 2007-08-29 哈尔滨工业大学 多行波弯曲旋转超声电机定子及使用该定子的超声电机
WO2009034885A1 (ja) * 2007-09-11 2009-03-19 Nikon Corporation 振動アクチュエータおよび撮像装置
CN101170289A (zh) * 2007-09-26 2008-04-30 哈尔滨工业大学 磁力加压的预压力装置及使用该装置的微型面内超声电机
CN105406760A (zh) * 2015-12-15 2016-03-16 上海交通大学 无冲击矩形板压电微电机

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