JP2019132741A - Oxygen sensor element - Google Patents
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Abstract
【課題】生産性、加工性を向上させた酸素センサ素子を提供する。【解決手段】セラミック焼結体からなり、電圧を印加したときの電流値をもとに酸素濃度を検出する酸素センサ素子であって、セラミック焼結体は組成式LnBa2Cu3O7-δ(Lnは希土類元素で、δは0〜1)の一部を、例えば周期表第2属の元素より選択したいずれかの元素、およびランタノイド系の元素より選択したいずれかの元素で置換してなる組成式Ln1-zCazBa2-zLazCu3O7-δ(0.25≦z≦1)で表される組成物に対して、外掛けでxvol%(0<x<30)の酸化銀(Ag2O)を添加してなる。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oxygen sensor element having improved productivity and workability. SOLUTION: The oxygen sensor element is made of a ceramic sintered body and detects an oxygen concentration based on a current value when a voltage is applied. The ceramic sintered body has a composition formula LnBa2Cu3O7-δ (Ln is a rare earth element). In δ, a part of 0 to 1) is replaced with, for example, any element selected from the elements of the second genus of the periodic table and any element selected from the lanthanoid-based elements. To the composition represented by zCazBa2-zLazCu3O7-δ (0.25≤z≤1), xvol% (0 <x <30) of silver oxide (Ag2O) is added externally. [Selection diagram] Fig. 1
Description
本発明は、セラミック焼結体を用いたガス(酸素)センサ素子の材料組成に関する。 The present invention relates to a material composition of a gas (oxygen) sensor element using a ceramic sintered body.
内燃機関の排気ガス等の酸素濃度の検出やボイラの燃焼管理のための酸素濃度の検出等、様々なガス中の酸素濃度検知の要求があり、その酸素濃度の検出素子として種々の材料からなる酸素センサが知られている。例えばセラミック焼結体を用いた酸素センサの材料組成として、LnBa2Cu3O7-δとLn2BaCuO5(Lnは希土類元素)とを混合した複合セラミックスを用いた酸素センサが知られている(特許文献1)。 There are demands for oxygen concentration detection in various gases, such as detection of oxygen concentration in exhaust gas of internal combustion engines, detection of oxygen concentration for boiler combustion management, etc., and it consists of various materials as detection elements for the oxygen concentration Oxygen sensors are known. For example, as a material composition of an oxygen sensor using a ceramic sintered body, an oxygen sensor using a composite ceramic in which LnBa 2 Cu 3 O 7-δ and Ln 2 BaCuO 5 (Ln is a rare earth element) is known. (Patent Document 1).
上記のようなセラミック焼結体の線材を用いた酸素センサは、電圧を印加すると線材の一部が赤熱するホットスポット現象を用いたホットスポット式酸素センサである。このような酸素センサは、小型化、軽量化、低コスト化、低消費電力化が可能であるが、酸素センサに使用する酸素センサ素子は、その組成材料が水酸化、炭酸化しやすいことから、酸素濃度検出時において水蒸気や炭酸ガス等の周囲のガス成分によりセンサ素子が劣化して、耐久性に乏しくなるという問題があった。 The oxygen sensor using the ceramic sintered wire as described above is a hot spot type oxygen sensor using a hot spot phenomenon in which a part of the wire is heated red when a voltage is applied. Such an oxygen sensor can be reduced in size, weight, cost, and power consumption. However, the oxygen sensor element used for the oxygen sensor has a composition material that is easily hydroxylated and carbonated. At the time of detecting the oxygen concentration, there has been a problem that the sensor element deteriorates due to surrounding gas components such as water vapor and carbon dioxide gas, resulting in poor durability.
そこで、本発明者らは、耐久性を向上させたセンサ素子の実用化が困難であるとの課題に鑑みて、例えば、既存組成である組成式LnBa2Cu3O7-δ(Lnは希土類元素で、δは0〜1)の一部をカルシウム(Ca)およびランタン(La)で置換した組成を有する酸素センサ素子を提案した。 In view of the problem that it is difficult to put the sensor element having improved durability into practical use, the present inventors have, for example, an existing composition formula LnBa 2 Cu 3 O 7-δ (Ln is a rare earth element). An oxygen sensor element having a composition in which a part of δ, 0 to 1) is replaced with calcium (Ca) and lanthanum (La) has been proposed.
上記のように既存組成LnBa2Cu3O7-δの一部をCaおよびLaで置換してなる酸素センサ素子は、耐湿性は向上するもCaが偏析しやすい。そのため、酸素センサ素子の製造工程において、原料の混合材料を仮焼きし、仮焼きした材料をボールミル等で粉砕するというサイクルを繰り返す必要がある。 As described above, the oxygen sensor element obtained by substituting a part of the existing composition LnBa 2 Cu 3 O 7-δ with Ca and La is improved in moisture resistance, but Ca is easily segregated. Therefore, in the manufacturing process of the oxygen sensor element, it is necessary to repeat a cycle of calcining the raw material mixture and crushing the calcined material with a ball mill or the like.
このように酸素センサ素子の製造工程において仮焼→粉砕のサイクルを繰り返して粒を揃える(整粒する)ことは、工程が増えることにより酸素センサ素子の生産性を低下させる要因となるという問題が生じる。 Thus, in the manufacturing process of the oxygen sensor element, repeating the calcination → pulverization cycle to align the grains (size adjustment) causes a problem that the productivity of the oxygen sensor element decreases due to an increase in the number of processes. Arise.
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、耐久性とともに生産性を向上させた酸素センサ素子を提供することである。 This invention is made | formed in view of the subject mentioned above, The place made into the objective is providing the oxygen sensor element which improved productivity with durability.
上記の目的を達成し、上述した課題を解決する一手段として以下の構成を備える。すなわち、本発明は、セラミック焼結体からなり電圧を印加したときの電流値をもとに酸素濃度を検出する酸素センサ素子であって、前記セラミック焼結体は組成式LnBa2Cu3O7-δ(Lnは希土類元素で、δは0〜1)で表される第1の組成物に、銀(Ag)が混合されていることを特徴とする。例えば、前記銀(Ag)として、酸化銀(Ag2O)相当で外掛けでxvol%(0<x<30)の酸化銀(Ag2O)または銀(Ag)を添加してなることを特徴とする。 The following configuration is provided as means for achieving the above object and solving the above-described problems. That is, the present invention is an oxygen sensor element that is made of a ceramic sintered body and detects an oxygen concentration based on a current value when a voltage is applied, and the ceramic sintered body has a composition formula LnBa 2 Cu 3 O 7. Silver (Ag) is mixed with the first composition represented by -δ (Ln is a rare earth element and δ is 0 to 1). For example, as the silver (Ag), that obtained by adding the silver oxide (Ag 2 O) xVOL% corresponds with an outer hook silver oxide (Ag 2 O) of (0 <x <30) or silver (Ag) Features.
例えば本発明の酸素センサ素子は、さらに、前記組成式LnBa2Cu3O7-δの一部を周期表第2属の元素より選択したいずれかの元素、およびランタノイド系の元素より選択したいずれかの元素で置換してなる第2の組成物に対して外掛けでxvol%(0<x<30)の酸化銀(Ag2O)を添加したことを特徴とする。例えば、前記第2の組成物は、前記周期表第2属の元素より選択したカルシウム(Ca)と、前記ランタノイド系の元素より選択したランタン(La)とで置換してなり、該第2の組成物を組成式Ln1-zCazBa2-zLazCu3O7-δで表したとき、置換量zは0.25≦z≦1であることを特徴とする。また、例えば、組成式Ln1-zCazBa2-zLazCu3O7-δで表される前記第2の組成物の一部を、さらにストロンチウム(Sr)で置換したことを特徴とする。さらには、例えば、組成式Ln1-zCazBa2-zLazCu3O7-δで表される前記第2の組成物に、組成式Ln2BaCuO5で表される組成物を混合したことを特徴とする。 For example, the oxygen sensor element according to the present invention further includes any element selected from elements of Group 2 of the periodic table and a lanthanoid-based element selected from a part of the composition formula LnBa 2 Cu 3 O 7-δ. It is characterized in that silver oxide (Ag 2 O) of xvol% (0 <x <30) is added as an outer coat to the second composition substituted with such an element. For example, the second composition is substituted with calcium (Ca) selected from the elements of Group 2 of the periodic table and lanthanum (La) selected from the lanthanoid elements, when representing the composition by the composition formula Ln 1-z Ca z Ba 2 -z La z Cu 3 O 7-δ, substitution amount z is characterized by a 0.25 ≦ z ≦ 1. Further, for example, characterized in that part of the composition formula Ln 1-z Ca z Ba 2 -z La z Cu 3 O 7-δ wherein the second composition represented by, and further substituted with strontium (Sr) And Furthermore, for example, the composition formula Ln 1-z Ca z Ba 2 -z La z Cu 3 O 7-δ wherein the second composition represented by a composition represented by the composition formula Ln 2 BaCuO 5 It is characterized by mixing.
また、例えば本発明の酸素センサ素子は、さらに、前記組成式LnBa2Cu3O7-δの一部を周期表第2属の元素より選択したいずれかの元素で置換してなる第3の組成物に対して外掛けでxvol%(0<x<30)の酸化銀(Ag2O)を添加したことを特徴とする。例えば、前記第3の組成物は、前記周期表第2属の元素より選択したストロンチウム(Sr)で置換してなり、該第3の組成物を組成式LnBa2-ySryCu3O7-δで表したとき、置換量yは0<y≦1.5であることを特徴とする。例えば、組成式LnBa2-ySryCu3O7-δで表される前記第3の組成物の一部を、さらにカルシウム(Ca)およびランタン(La)で置換したことを特徴とする。また、例えば、組成式LnBa2-ySryCu3O7-δで表される前記第3の組成物に、組成式Ln2BaCuO5で表される組成物を混合したことを特徴とする。例えば、前記酸化銀(Ag2O)または銀(Ag)の添加量により前記セラミック焼結体の抗折強度を調整したことを特徴とする。さらには例えば、前記セラミック焼結体は線状体のセンサ素子であることを特徴とする。 Further, for example, the oxygen sensor element of the present invention further includes a third element obtained by substituting a part of the composition formula LnBa 2 Cu 3 O 7-δ with any element selected from elements of Group 2 of the periodic table. The composition is characterized in that xvol% (0 <x <30) of silver oxide (Ag 2 O) is added to the composition. For example, the third composition, the result is replaced with periodic table 2 genus strontium selected from elements (Sr), composition formula a third composition LnBa 2-y Sr y Cu 3 O 7 When represented by -δ , the substitution amount y is 0 <y ≦ 1.5. For example, characterized by being substituted with a part of the composition formula LnBa 2-y Sr y Cu 3 O 7-δ wherein the third composition represented by further calcium (Ca) and lanthanum (La). Further, for example, the third composition represented by the composition formula LnBa 2-y Sr y Cu 3 O 7-δ, characterized in that a mixture of composition represented by the composition formula Ln 2 BaCuO 5 . For example, the bending strength of the ceramic sintered body is adjusted by the amount of silver oxide (Ag 2 O) or silver (Ag) added. Further, for example, the ceramic sintered body is a linear sensor element.
また、本発明の酸素センサは、上記いずれかの酸素センサ素子を酸素濃度の検出素子としたことを特徴とする。例えば、前記酸素センサ素子は、両端に通気孔を有する保護管内に収容されていることを特徴とする。 The oxygen sensor according to the present invention is characterized in that any one of the above oxygen sensor elements is an oxygen concentration detection element. For example, the oxygen sensor element is housed in a protective tube having vent holes at both ends.
本発明によれば、酸素センサ素子の耐久性のみならず、その生産性ならびに加工性を向上させることができる。 According to the present invention, not only the durability of the oxygen sensor element but also the productivity and workability can be improved.
以下、本発明に係る実施の形態例について添付図面を参照して詳細に説明する。本実施の形態例に係る酸素センサ素子はセラミック焼結体からなり、電源に接続して電流が流れることで焼結体の中央部が高温で発熱し、その発熱箇所(ホットスポットと呼ばれる。)を酸素濃度の検出部としている。また、本実施の形態例に係る酸素センサ素子を酸素検知体とする酸素センサは、センサ素子である焼結体に流れる電流値をもとに酸素濃度を検出する。 Embodiments according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The oxygen sensor element according to the present embodiment is made of a ceramic sintered body, and is connected to a power source so that a current flows, whereby the central portion of the sintered body generates heat at a high temperature, and the heat generation location (called a hot spot). Is an oxygen concentration detection unit. Further, the oxygen sensor using the oxygen sensor element according to the present embodiment as an oxygen detector detects the oxygen concentration based on the current value flowing through the sintered body that is the sensor element.
<酸素センサ素子について>
酸素濃度の検知体としての、本発明の実施形態1に係る酸素センサ素子は、組成式LnBa2Cu3O7-δ(以降において、従来組成ともいう。)で表される第1の組成物に、後述する所定量の酸化銀(Ag2O)を添加したセラミック焼結体からなる。
<About oxygen sensor element>
The oxygen sensor element according to Embodiment 1 of the present invention as an oxygen concentration detector is a first composition represented by a composition formula LnBa 2 Cu 3 O 7-δ (hereinafter also referred to as a conventional composition). And a ceramic sintered body to which a predetermined amount of silver oxide (Ag 2 O) described later is added.
さらに、本発明の実施形態2に係る酸素センサ素子は、本願出願人による特願2018−15922に記載したように、従来組成の一部を、周期表第2属の元素、すなわち、ベリリウム(Be)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)、バリウム(Ba)、ラジウム(Ra)より選択した元素と、ランタノイド系の元素、すなわち、ランタン(La)、セリウム(Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(Nd)、プロメチウム(Pm)、サマリウム(Sm)、ユウロピウム(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、ルテチウム(Lu)より選択した元素とで置換してなる第2の組成物に、後述する所定量の酸化銀(Ag2O)を添加したセラミック焼結体からなる。 Furthermore, as described in Japanese Patent Application No. 2018-15922 filed by the applicant of the present application, the oxygen sensor element according to Embodiment 2 of the present invention is partially converted from an element belonging to Group 2 of the periodic table, that is, beryllium (Be ), Magnesium (Mg), calcium (Ca), strontium (Sr), barium (Ba), radium (Ra) and lanthanoid elements, ie, lanthanum (La), cerium (Ce), praseodymium (Pr), neodymium (Nd), promethium (Pm), samarium (Sm), europium (Eu), gadolinium (Gd), terbium (Tb), dysprosium (Dy), holmium (Ho), erbium (Er), thulium Substitution with an element selected from (Tm), ytterbium (Yb), and lutetium (Lu) The second composition, a ceramic sintered body obtained by adding a predetermined amount of silver oxide to be described later (Ag 2 O).
特願2018−15922では、上記第2の組成物として、従来組成の一部を周期表第2属の元素より選択したカルシウム(Ca)と、ランタノイド系の元素より選択したランタン(La)とで置換してなる組成物であって、組成式Ln1-zCazBa2-zLazCu3O7-δで表したとき、置換量zは0.25≦z≦1である旨を例示している。 In Japanese Patent Application No. 2018-15922, as the second composition, calcium (Ca) in which a part of the conventional composition is selected from elements of Group 2 of the periodic table, and lanthanum (La) selected from lanthanoid elements. a composition obtained by substitution, when expressed by the composition formula Ln 1-z Ca z Ba 2 -z La z Cu 3 O 7-δ, the effect substitution amount z is 0.25 ≦ z ≦ 1 Illustrated.
また、本発明の実施形態3に係る酸素センサ素子は、本願出願人による特願2018−15923に記載したように、従来組成LnBa2Cu3O7-δの一部を、周期表第2属の元素、すなわち、ベリリウム(Be)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)、バリウム(Ba)、ラジウム(Ra)より選択したいずれか1つの元素で置換してなる第3の組成物に、後述する所定量の酸化銀(Ag2O)を添加したセラミック焼結体からなる。 In addition, as described in Japanese Patent Application No. 2018-15923 filed by the applicant of the present application, the oxygen sensor element according to Embodiment 3 of the present invention is a part of the periodic table belonging to the second group of the periodic composition LnBa 2 Cu 3 O 7-δ. A third element that is substituted with any one element selected from beryllium (Be), magnesium (Mg), calcium (Ca), strontium (Sr), barium (Ba), and radium (Ra) It consists of a ceramic sintered body obtained by adding a predetermined amount of silver oxide (Ag 2 O) described later to the composition.
特願2018−15923では、上記第3の組成物として、従来組成の一部を周期表第2属の元素より選択したストロンチウム(Sr)で置換してなる組成物であって、組成式LnBa2-ySryCu3O7-δで表したとき、置換量yは0<y≦1.5である旨を例示している。 In Japanese Patent Application No. 2018-15923, the third composition is a composition obtained by substituting a part of the conventional composition with strontium (Sr) selected from the elements of Group 2 of the periodic table, and the composition formula LnBa 2 when expressed in -y Sr y Cu 3 O 7- δ, the substitution amount y illustrates the effect that 0 <y ≦ 1.5.
上記の各組成式において、Lnは希土類元素(例えば、Sc(スカンジウム)、Y(イットリウム)、La(ランタン)、Nd(ネオジム)、Sm(サマリウム)、Eu(ユウロピウム)、Gd(ガドリニウム)、Dy(ジスプロシウム)、Ho(ホルミウム)、Er(エルビウム)、Tm(ツリウム)、Yb(イッテルビウム)、Lu(ルテチウム)等)であり、δは酸素欠陥(0〜1)を表している。 In each of the above composition formulas, Ln is a rare earth element (for example, Sc (scandium), Y (yttrium), La (lanthanum), Nd (neodymium), Sm (samarium), Eu (europium), Gd (gadolinium), Dy. (Dysprosium), Ho (holmium), Er (erbium), Tm (thulium), Yb (ytterbium), Lu (lutetium) and the like, and δ represents an oxygen defect (0 to 1).
以降の説明では、従来組成LnBa2Cu3O7-δの一部をカルシウム(Ca)およびランタン(La)で置換した、組成式Ln1-zCazBa2-zLazCu3O7-δ(0.25≦z≦1)で表される組成物に、所定量の酸化銀(Ag2O)を添加してなるセラミック焼結体より製造した酸素センサ素子を例に挙げて説明する。 In the following description, some conventional compositions LnBa 2 Cu 3 O 7-δ was replaced with calcium (Ca) and lanthanum (La), composition formula Ln 1-z Ca z Ba 2 -z La z Cu 3 O 7 An oxygen sensor element manufactured from a ceramic sintered body obtained by adding a predetermined amount of silver oxide (Ag 2 O) to a composition represented by −δ (0.25 ≦ z ≦ 1) will be described as an example. To do.
図1は、従来組成の一部をCa,La置換した組成物に酸化銀(Ag2O)を添加してなる組成材料を使用して作製した試験用サンプル(単に「実施例」ともいう。)と、従来組成の一部をCa,La置換して得た材料に酸化銀(Ag2O)を添加しない試験用サンプル(単に「従来例」ともいう。)とについてX線回折(XRD)測定した結果を示している。 FIG. 1 shows a test sample (also simply referred to as “Example”) produced by using a composition material obtained by adding silver oxide (Ag 2 O) to a composition obtained by replacing a part of the conventional composition with Ca and La. X-ray diffraction (XRD) and a test sample in which silver oxide (Ag 2 O) is not added to a material obtained by substituting a part of the conventional composition with Ca and La (also simply referred to as “conventional example”) The measurement results are shown.
ここでは、酸素センサ素子材料である希土類元素としてY(イットリウム)を使用し、酸化イットリウム(Y2O3)、炭酸カルシウム(CaCO3)、炭酸バリウム(BaCO3)、酸化ランタン(La2O3)、酸化銅(CuO)それぞれを、5:10:30:5:60の比率で混合した、組成式Y0.5Ca0.5Ba1.5La0.5Cu3O7-δで表される組成材料に、外掛けで1vol%の酸化銀(Ag2O)を添加したサンプル(実施例1)、外掛けで10vol%の酸化銀(Ag2O)を添加したサンプル(実施例2)、外掛けで30vol%の酸化銀(Ag2O)を添加したサンプル(実施例3)、および酸化銀(Ag2O)を添加しないサンプル(従来例)それぞれを作製した。 Here, Y (yttrium) is used as a rare earth element which is an oxygen sensor element material, and yttrium oxide (Y 2 O 3 ), calcium carbonate (CaCO 3 ), barium carbonate (BaCO 3 ), lanthanum oxide (La 2 O 3). ) And copper oxide (CuO) are mixed at a ratio of 5: 10: 30: 5: 60, and the composition material represented by the composition formula Y 0.5 Ca 0.5 Ba 1.5 La 0.5 Cu 3 O 7-δ is added to the outside. samples spiked with 1 vol% of silver oxide (Ag 2 O) in multiplied (example 1), sample (example 2) supplemented with 10 vol% of silver oxide in outer percentage (Ag 2 O), 30 vol% in outer percentage A sample to which silver oxide (Ag 2 O) was added (Example 3) and a sample to which no silver oxide (Ag 2 O) was added (conventional example) were prepared.
図1に示す各サンプルは、粉砕した原材料を900℃で5時間、仮焼きし、その後、920℃で10時間、焼成して作製した。また、図1は、酸素センサ素子を作製する混合材料について、仮焼→粉砕サイクルを1回実施したときのX線回折(XRD)測定結果である。 Each sample shown in FIG. 1 was prepared by calcining the pulverized raw material at 900 ° C. for 5 hours and then firing at 920 ° C. for 10 hours. FIG. 1 shows the X-ray diffraction (XRD) measurement results when the calcining → grinding cycle is performed once for the mixed material for producing the oxygen sensor element.
図1より、酸化銀(Ag2O)を添加しない従来例にはピークが現れないのに対して、酸化銀(Ag2O)を添加した実施例1〜3は、その添加量が増加するほど、組成式Y0.5Ca0.5Ba1.5La0.5Cu3O7-δ(ICDD:48-0234)で表される組成物(酸素センサ素子)のピークが増加することが分かる。これは、添加したAg2Oが触媒として作用して反応性が向上し、それにより酸素センサ素子として目的とする組成ができやすくなったことを意味すると考えられる。 From FIG. 1, the peak does not appear in the conventional example in which silver oxide (Ag 2 O) is not added, whereas the amount of addition increases in Examples 1 to 3 in which silver oxide (Ag 2 O) is added. It can be seen that the peak of the composition (oxygen sensor element) represented by the composition formula Y 0.5 Ca 0.5 Ba 1.5 La 0.5 Cu 3 O 7-δ (ICDD: 48-0234) increases. This is considered to mean that the added Ag 2 O acts as a catalyst to improve the reactivity, thereby making it easy to obtain a target composition as an oxygen sensor element.
次に、本実施の形態例に係る酸素センサ素子の機械的強度について説明する。図2は、本実施の形態例に係る酸素センサ素子材料を使用して作製したサンプル(上述した従来例および実施例1〜3)の抗折強度を測定した結果である。 Next, the mechanical strength of the oxygen sensor element according to this embodiment will be described. FIG. 2 shows the results of measuring the bending strength of samples (conventional example and Examples 1 to 3 described above) produced using the oxygen sensor element material according to the present embodiment.
ここでは、ファインセラミックスの室温(5〜35℃)における曲げ強さを規定するJIS R 1601による三点曲げ試験を行った。すなわち、試験片としての各サンプルについて、その断面形状が長方形の角柱とし、規定された寸法の標準試験片を作製して抗折強度を測定した。 Here, a three-point bending test was performed according to JIS R 1601, which defines the bending strength of fine ceramics at room temperature (5-35 ° C.). That is, for each sample as a test piece, the cross-sectional shape was a rectangular prism, a standard test piece having a prescribed size was prepared, and the bending strength was measured.
図2より、実施例に係る酸素センサ素子は、Ag2O添加量が増加するにつれて抗折強度が上昇する傾向がみられる。また、Ag2O添加量の異なる各実施例に係る酸素センサ素子を、後述する外形寸法(サイズ)に切断する際の切削性にも違いがみられたことから、Ag2O添加による抗折強度の上昇により、機械的強度が向上することが分かった。 From FIG. 2, the oxygen sensor element according to the example has a tendency that the bending strength increases as the added amount of Ag 2 O increases. Further, since there was a difference in machinability when cutting the oxygen sensor elements according to the respective examples having different Ag 2 O addition amounts into outer dimensions (sizes) to be described later, the bending due to the addition of Ag 2 O was also observed. It was found that the mechanical strength is improved by increasing the strength.
また、図2において、酸化銀(Ag2O)を添加した実施例に係る酸素センサ素子は、Ag2Oの添加量が0vol%である従来例に係るサンプルと対比しても、抗折強度が向上していることが分かる。これらより、Ag2Oの添加量によって、セラミック焼結体(酸素センサ素子)の抗折強度、加工性等を調整することが可能となる。このことは、酸素センサ素子のサイズ径を細くして、省電力化に導く要請に応えることに対して有利に働く。 In addition, in FIG. 2, the oxygen sensor element according to the example to which silver oxide (Ag 2 O) is added has a bending strength even when compared with the sample according to the conventional example in which the addition amount of Ag 2 O is 0 vol%. It can be seen that is improved. Accordingly, the bending strength, workability, etc. of the ceramic sintered body (oxygen sensor element) can be adjusted by the addition amount of Ag 2 O. This is advantageous for meeting the demand for reducing power consumption by reducing the size of the oxygen sensor element.
図2に示す抗折強度の上昇傾向から、Ag2Oの添加量が30vol%を超える場合も、同様の抗折強度の上昇が見込まれ、Ag2Oの添加量が増加するほどAg強度に近づくと推測される。一方、センサ特性の観点からは、Ag2Oの添加量が30vol%を超えるとセンサ素子内でAg部分の導電パスが生じて、それがセンサ特性を低下させる誘因となることも考えられる。 From the tendency of the bending strength to increase as shown in FIG. 2, even when the addition amount of Ag 2 O exceeds 30 vol%, the same bending strength is expected to increase, and the Ag strength increases as the addition amount of Ag 2 O increases. Presumed to approach. On the other hand, from the viewpoint of sensor characteristics, if the added amount of Ag 2 O exceeds 30 vol%, a conductive path of the Ag portion is generated in the sensor element, which may be an incentive to lower the sensor characteristics.
よって、本実施の形態例に係る酸素センサ素子では、所望の反応性等を得るための酸化銀(Ag2O)の添加量xを、センサ素子の組成材料に対して外掛けで0vol%<x<30vol%とする。 Therefore, in the oxygen sensor element according to the present embodiment, the addition amount x of silver oxide (Ag 2 O) for obtaining desired reactivity or the like is 0 vol% < x <30 vol%.
ここでは図示等を省略するが、本実施の形態例に係る酸素センサ素子について、40℃、93%RHの環境下に所定時間、放置したときの各サンプルの外観観察およびXRD測定の結果から、特願2018−15923に開示した試験用サンプルと同様、センサ素子の表面に炭酸カルシウム、炭酸バリウム等が生成されて白く変色する現象は生じず、センサ素子の劣化は認められなかった。 Although illustration is omitted here, for the oxygen sensor element according to the present embodiment, from the results of external observation and XRD measurement of each sample when left in a 40 ° C., 93% RH environment for a predetermined time, Similar to the test sample disclosed in Japanese Patent Application No. 2018-15923, there was no phenomenon in which calcium carbonate, barium carbonate or the like was generated on the surface of the sensor element and the color turned white, and no deterioration of the sensor element was observed.
また、酸素センサ素子に対する酸素雰囲気(酸素濃度)を周期的に変えたときの各変化点における電流変化の立上がり、および立下り特性等をもとに酸素応答性を評価したところ、本実施の形態例に係る酸素センサ素子は、酸素応答性に関して、特願2018−15923に開示した試験用サンプルと差異がないことも確認できた。 Further, when the oxygen responsiveness was evaluated based on the rising and falling characteristics of the current change at each change point when the oxygen atmosphere (oxygen concentration) with respect to the oxygen sensor element was changed periodically, the present embodiment It was also confirmed that the oxygen sensor element according to the example was not different from the test sample disclosed in Japanese Patent Application No. 2018-15923 regarding oxygen responsiveness.
これらより、従来組成LnBa2Cu3O7-δの一部をCaおよびLaで置換した組成材料にAg2Oを添加してなる本実施の形態例に係る酸素センサ素子についても、熱処理試験等において外観の変化、耐湿性等の耐久性の劣化がなく、酸素応答性等のセンサ特性にも変化がないことが判明した。併せて、このような組成材料におけるAg2Oの触媒効果が確認された。 Accordingly, the oxygen sensor element according to the present embodiment in which Ag 2 O is added to a composition material in which a part of the conventional composition LnBa 2 Cu 3 O 7-δ is replaced with Ca and La is also subjected to a heat treatment test, etc. It was found that there was no change in appearance, no deterioration in durability such as moisture resistance, and no change in sensor characteristics such as oxygen responsiveness. In addition, the catalytic effect of Ag 2 O in such a composition material was confirmed.
次に、本実施の形態例に係る酸素センサ素子と、それを用いた酸素センサの製造方法について説明する。図3は、本実施の形態例に係る酸素センサ素子とその酸素センサ素子を用いた酸素センサの製造工程を時系列で示すフローチャートである。 Next, an oxygen sensor element according to this embodiment and an oxygen sensor manufacturing method using the same will be described. FIG. 3 is a flowchart showing the oxygen sensor element according to the present embodiment and the manufacturing process of the oxygen sensor using the oxygen sensor element in time series.
図3のステップS1において、酸素センサ素子の原料を秤量し、それらを混合する。ここでは、酸素センサ素子の材料として、例えばY2O3,La2O3,BaCO3,CaCO3,CuO,Ag2Oを、電子天秤等を使用して所定の組成になるように秤量し、混合する。 In step S1 of FIG. 3, the raw materials of the oxygen sensor element are weighed and mixed. Here, as the material of the oxygen sensor element, for example, Y 2 O 3 , La 2 O 3 , BaCO 3 , CaCO 3 , CuO, Ag 2 O are weighed so as to have a predetermined composition using an electronic balance or the like. , Mix.
なお、酸素センサ素子材料のLn(希土類元素)として、ここではイットリウム(Y)を例示しているが、他の単一の希土類元素であっても、あるいは複数の希土類元素を混合してもよく、いずれの希土類元素も使用可能である。この混合体に、さらにLn2BaCuO5を添加してもよい。また、Ag2OはAgによって代替可能である。さらには、Ag2Oに代えて、例えば、Ag2O3、AgO、炭酸銀(Ag2CO3)、水酸化銀(AgOH)を使用することができる。 In addition, although yttrium (Y) is illustrated here as Ln (rare earth element) of the oxygen sensor element material, it may be another single rare earth element or a plurality of rare earth elements may be mixed. Any rare earth element can be used. This mixture may be further added Ln 2 BaCuO 5. Ag 2 O can be replaced by Ag. Further, instead of the Ag 2 O, for example, Ag 2 O 3, AgO, silver carbonate (Ag 2 CO 3), can be used silver hydroxide (AgOH).
ステップS2では、上記ステップS1で秤量・混合した酸素センサ素子原料を、ボールミル装置で粉砕する。粉砕には、粉砕メディアをビーズとするビーズミル等の固相法、液相法でも可能である。 In step S2, the oxygen sensor element raw material weighed and mixed in step S1 is pulverized by a ball mill device. The pulverization can also be performed by a solid phase method such as a bead mill using a pulverization medium as a bead, or a liquid phase method.
続くステップS3において、上記粉砕された材料(原料粉末)を、大気中において900℃、5時間、熱処理(仮焼き)する。仮焼きにより、反応性や粒径を調整する。仮焼きの温度は、880〜970℃でもよいが、900℃〜935℃がより好ましい。 In subsequent step S3, the pulverized material (raw material powder) is heat-treated (calcined) in the atmosphere at 900 ° C. for 5 hours. The reactivity and particle size are adjusted by calcining. The calcination temperature may be 880 to 970 ° C, but 900 ° C to 935 ° C is more preferable.
次に、造粒工程に移行する。具体的には、ステップS4において造粒粉を作製する。ここでは、仮焼きした混合物にバインダ樹脂(例えば、ポリビニルアルコール(PVA))の水溶液等を加えて造粒粉を作製する。 Next, the process proceeds to a granulation step. Specifically, granulated powder is produced in step S4. Here, a granulated powder is produced by adding an aqueous solution of a binder resin (for example, polyvinyl alcohol (PVA)) to the calcined mixture.
続くステップS5では、例えば一軸プレス法により造粒粉にプレス圧を印加して成形し、例えば、厚みが300μmの板状部材(プレス成形体)を作製する。成形は、静水圧プレス法、ホットプレス法、ドクターブレード法、印刷法、薄膜法でも可能である。 In subsequent step S5, the granulated powder is molded by applying a pressing pressure, for example, by a uniaxial pressing method, and for example, a plate-like member (press-molded body) having a thickness of 300 μm is produced. Molding can also be performed by an isostatic pressing method, a hot pressing method, a doctor blade method, a printing method, or a thin film method.
ステップS6ではダイシングを行なう。ダイシングでは、成形された板状部材を所定の製品サイズおよび形状(例えば、0.3×0.3×7mmの線状体形状)に合わせて切削する。酸素センサ素子は、サイズ径が細い程、省電力に優れることから、製品サイズは上記以外のサイズでもよい。 In step S6, dicing is performed. In dicing, the formed plate-shaped member is cut in accordance with a predetermined product size and shape (for example, a linear body shape of 0.3 × 0.3 × 7 mm). Since the oxygen sensor element is more excellent in power saving as the size diameter is smaller, the product size may be other than the above.
ステップS7では、上述したダイシング後の酸素センサ素子に対して脱バインダーを行い、その酸素センサ素子を大気中で、例えば、920℃で10時間、焼成する。なお、焼成温度として900〜1000℃が可能であるが、組成によって最適温度が異なるため、組成により焼成温度を変えてもよい。この後、アニール処理をしてもよい。 In step S7, the above-described oxygen sensor element after dicing is debindered, and the oxygen sensor element is baked in the atmosphere, for example, at 920 ° C. for 10 hours. In addition, although 900-1000 degreeC is possible as baking temperature, since optimal temperature changes with compositions, you may change baking temperature with a composition. Thereafter, an annealing treatment may be performed.
続くステップS8において、酸素センサ素子の両端部に銀(Ag)をディップ塗布し、150℃で10分、乾燥させて電極を形成する。ステップS9では、ステップS8で形成された電極に、例えばφ0.1mmの銀(Ag)ワイヤをワイヤーボンディング等の接合方法により取り付けて、150℃で10分、乾燥する。このようにして形成された端子電極を、ステップS10で、例えば670℃で20分間、焼付けする。 In subsequent step S8, silver (Ag) is dip coated on both ends of the oxygen sensor element and dried at 150 ° C. for 10 minutes to form electrodes. In step S9, a silver (Ag) wire of φ0.1 mm, for example, is attached to the electrode formed in step S8 by a bonding method such as wire bonding, and dried at 150 ° C. for 10 minutes. The terminal electrode thus formed is baked at step S10, for example, at 670 ° C. for 20 minutes.
上記の電極およびワイヤ材料は、銀(Ag)以外の材料、例えば、金(Au)、プラチナ(Pt)、ニッケル(Ni)、スズ(Sn)、銅(Cu)、樹脂電極等であってもよい。また、電極のディップには、印刷法、スパッタ等の着膜方法を使用してもよい。さらに、図3における最終工程として、上記の工程を経て製造された酸素センサ素子の電気的特性を、例えば四端子法により評価してもよい。 The electrode and wire material may be a material other than silver (Ag), for example, gold (Au), platinum (Pt), nickel (Ni), tin (Sn), copper (Cu), resin electrode, etc. Good. In addition, a film forming method such as a printing method or sputtering may be used for dipping the electrode. Furthermore, as a final step in FIG. 3, the electrical characteristics of the oxygen sensor element manufactured through the above steps may be evaluated by, for example, a four-terminal method.
<酸素センサについて>
本実施の形態例に係る酸素センサ素子を使用する酸素センサは、酸素センサ素子の中央部の発熱箇所(ホットスポット)が酸素濃度の検出部となる。例えば、図4に示す酸素センサ1は、酸素センサ素子の保護部材として機能する、耐熱ガラスからなる円筒形のガラス管4の内部に酸素センサ素子5を収容した構造となっている。ガラス管4の両端には、酸素センサ1が外部と電気的な接続を行うため、例えば銅(Cu)等からなる金属製の導電キャップ(口金)2a,2bが嵌着されている。
<About the oxygen sensor>
In the oxygen sensor using the oxygen sensor element according to the present embodiment, the heat generation point (hot spot) at the center of the oxygen sensor element serves as the oxygen concentration detection unit. For example, the oxygen sensor 1 shown in FIG. 4 has a structure in which the oxygen sensor element 5 is housed in a cylindrical glass tube 4 made of heat-resistant glass that functions as a protective member for the oxygen sensor element. In order to make the oxygen sensor 1 electrically connect to the outside, both ends of the glass tube 4 are fitted with metal conductive caps (caps) 2a and 2b made of, for example, copper (Cu).
酸素センサ素子5の両端部に取り付けた銀(Ag)ワイヤは、導電キャップ2a,2bと無鉛はんだにより電気的に接続され、酸素センサ素子5がガラス管4に接触しないように、酸素センサ素子5の長手方向がガラス管4の軸方向となるように配置されている。また、導電キャップ2a,2bの端面側それぞれに設けた通気孔3a,3bより、測定対象である気体(酸素)がガラス管4内に円滑に流入して、酸素センサ素子5がその気体に晒され、雰囲気の酸素濃度を正確に測定できる。 Silver (Ag) wires attached to both ends of the oxygen sensor element 5 are electrically connected to the conductive caps 2a and 2b by lead-free solder, so that the oxygen sensor element 5 does not contact the glass tube 4. Are arranged such that the longitudinal direction of the glass tube 4 is the axial direction of the glass tube 4. Further, the gas (oxygen) to be measured smoothly flows into the glass tube 4 from the vent holes 3a and 3b provided on the end face sides of the conductive caps 2a and 2b, respectively, and the oxygen sensor element 5 is exposed to the gas. Therefore, the oxygen concentration in the atmosphere can be measured accurately.
酸素センサ1の外形寸法(サイズ)は、例えばガラス管の直径が5.2mm、長さが20mm、通気孔の径が2.5mmであり、上述した寸法(0.3×0.3×7mm)の酸素センサ素子は、ガラス管の通気孔を介して交換可能となる。 The outer dimensions (size) of the oxygen sensor 1 are, for example, a glass tube diameter of 5.2 mm, a length of 20 mm, and a vent hole diameter of 2.5 mm. The dimensions described above (0.3 × 0.3 × 7 mm) ) Oxygen sensor element can be exchanged through the vent of the glass tube.
なお、酸素センサ素子5の保護部材は、上記のガラス管以外に、例えばセラミックケース、樹脂ケース等であってもよい。また、酸素センサ素子5に取り付けた銀(Ag)ワイヤと導電キャップ2a,2bとの接続には、有鉛はんだ、溶接、カシメ等の接合方法を用いてもよい。 The protective member of the oxygen sensor element 5 may be, for example, a ceramic case, a resin case, or the like other than the glass tube. Further, for the connection between the silver (Ag) wire attached to the oxygen sensor element 5 and the conductive caps 2a and 2b, a joining method such as leaded solder, welding, caulking or the like may be used.
また、図示を省略するが、本実施の形態例に係る酸素センサ素子を使用した酸素センサは、電源により酸素センサに所定電圧を印加すると、酸素センサ素子には、周囲の酸素濃度に応じた電流が流れるため、その電流を電流計で計測した値をもとに、測定対象とする雰囲気の酸素濃度を測定する構成を有する。 Although not shown, the oxygen sensor using the oxygen sensor element according to the present embodiment, when a predetermined voltage is applied to the oxygen sensor from the power source, the oxygen sensor element has a current corresponding to the surrounding oxygen concentration. Therefore, the oxygen concentration of the atmosphere to be measured is measured based on the value obtained by measuring the current with an ammeter.
以上説明したように、本実施の形態例に係る酸素センサ素子は、組成式LnBa2Cu3O7-δ(Lnは希土類元素)で表される従来組成の組成物に所定量の酸化銀(Ag2O)を添加した組成材料からなる。また、本実施の形態例に係る酸素センサ素子は、従来組成LnBa2Cu3O7-δの一部を、周期表第2属の元素より選択した元素で置換してなる組成物に所定量の酸化銀(Ag2O)を添加した組成材料からなる。 As described above, the oxygen sensor element according to the present embodiment includes a composition of a conventional composition represented by the composition formula LnBa 2 Cu 3 O 7-δ (Ln is a rare earth element) with a predetermined amount of silver oxide ( It consists of a composition material to which Ag 2 O) is added. Further, the oxygen sensor element according to the present embodiment has a predetermined amount of a composition obtained by substituting a part of the conventional composition LnBa 2 Cu 3 O 7-δ with an element selected from the elements of Group 2 of the periodic table. It consists of a composition material added with silver oxide (Ag 2 O).
さらに、本実施の形態例に係る酸素センサ素子は、従来組成の一部を、周期表第2属の元素より選択した元素と、ランタノイド系の元素より選択した元素とで置換してなる組成物に所定量の酸化銀(Ag2O)を添加した組成材料からなる。 Furthermore, the oxygen sensor element according to the present embodiment is a composition in which a part of the conventional composition is replaced with an element selected from the elements of Group 2 of the periodic table and an element selected from the lanthanoid elements. And a composition material in which a predetermined amount of silver oxide (Ag 2 O) is added.
このような組成材料において、添加した酸化銀(Ag2O)が触媒として作用して反応性が向上し、Ag2O添加により抗折強度が上昇して酸素センサ素子の機械的強度を向上できる。また、Ag2Oの添加により、酸素センサ素子の製造工程においてCaの偏析が抑制され、仮焼→粉砕のサイクルを繰り返す必要がなくなるため、生産性が向上する。 In such a composition material, the added silver oxide (Ag 2 O) acts as a catalyst to improve the reactivity, and the addition of Ag 2 O can increase the bending strength and improve the mechanical strength of the oxygen sensor element. . In addition, the addition of Ag 2 O suppresses the segregation of Ca in the manufacturing process of the oxygen sensor element and eliminates the need to repeat the calcination → pulverization cycle, thereby improving productivity.
したがって、センサ特性を損なうことなく耐熱性と耐湿性を向上させた耐久性の高い酸素センサ素子を提供できるとともに、センサ素子の機械的強度が向上することで、センサ素子を線状体等に細線化(ダイシング)する際に切断、切削等の加工が容易になる。 Therefore, it is possible to provide a highly durable oxygen sensor element with improved heat resistance and moisture resistance without impairing the sensor characteristics, and improve the mechanical strength of the sensor element. When making (dicing), processing such as cutting and cutting becomes easy.
また、上述した実施の形態例では、従来組成の一部をCa,La置換した組成物にAg2Oを添加する例を挙げたが、Ca以外の周期表第2属の他の元素から選択したいずれかの元素と、La以外のランタノイド系の他の元素より選択したいずれかの元素とで置換した組成物にAg2Oを添加しても、Ca,La置換した組成物と同等の効果が奏されることが想定できる。 In the above-described embodiment, an example in which Ag 2 O is added to a composition obtained by substituting a part of the conventional composition with Ca and La is given, but selected from other elements of the second group of the periodic table other than Ca. Even if Ag 2 O is added to a composition substituted with any of the above elements and any element selected from other elements of the lanthanoid series other than La, the same effect as the composition substituted with Ca and La Can be assumed to be played.
同様に、従来組成の一部をSr置換した組成物にAg2Oを添加する例についても、Sr以外の周期表第2属の元素より選択した元素で置換してなる組成物にAg2Oを添加しても、Sr置換した組成物と同等の効果が奏されると想定できる。 Similarly, the example in which part of the addition of Ag 2 O in composition Sr substitution of the conventional composition, Ag 2 in composition obtained by replacing an element selected from the elements of the periodic table second genus other than Sr O Even if added, it can be assumed that the same effect as the Sr-substituted composition is produced.
1 酸素センサ
2a,2b 導電キャップ
3a,3b 通気孔
4 ガラス管
5 酸素センサ素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Oxygen sensor 2a, 2b Conductive cap 3a, 3b Vent hole 4 Glass tube 5 Oxygen sensor element
Claims (12)
前記セラミック焼結体は組成式LnBa2Cu3O7-δ(Lnは希土類元素で、δは0〜1)で表される第1の組成物に、銀(Ag)が混合されていることを特徴とする酸素センサ素子。 An oxygen sensor element comprising a ceramic sintered body and detecting an oxygen concentration based on a current value when a voltage is applied,
In the ceramic sintered body, silver (Ag) is mixed with a first composition represented by a composition formula LnBa 2 Cu 3 O 7-δ (Ln is a rare earth element, δ is 0 to 1). An oxygen sensor element.
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