JP2018163904A - Manufacturing method of printed wiring board - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、凸パッドと金属ポストとを有するプリント配線板の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board having a convex pad and a metal post.
特許文献1は、金属ポストとフィリップチップパッドとを有するプリント配線板の製造方法を開示している。特許文献1では、フィリップチップパッドを露出させる開口を備えるソルダーレジスト層の形成後、めっきによりソルダーレジスト層上に金属ポストを形成している。 Patent document 1 is disclosing the manufacturing method of the printed wiring board which has a metal post and a lip chip pad. In Patent Document 1, a metal post is formed on a solder resist layer by plating after the formation of a solder resist layer having an opening exposing a Philip chip pad.
[特許文献1の課題]
特許文献1では、フィリップチップパッドを露出させる開口を備えるソルダーレジスト層の形成後、めっきによりソルダーレジスト層上に金属ポスト(凸パッド)を形成するため、フィリップチップパッドの絶縁信頼性を高めるのが難しいと考えられる。
[Problems of Patent Document 1]
In Patent Document 1, since a metal post (convex pad) is formed on the solder resist layer by plating after the formation of the solder resist layer having an opening exposing the Philip chip pad, the insulation reliability of the Philip chip pad is improved. It seems difficult.
本発明に係るプリント配線板の製造方法は、金属箔を備える支持板上に、前記金属箔側の第1導体層と、前記金属箔の反対側の第2導体層と、前記第1導体層と前記第2導体層とを接続するビア導体を有する樹脂絶縁層を形成することと、前記支持板と、前記金属箔及び樹脂絶縁層とを分離することと、前記金属箔上に凸パッド形成用の開口を有する第1めっきレジストを形成することと、前記第1めっきレジストの前記凸パッド形成用の開口内に電解めっき膜により凸パッドを形成することと、前記第1めっきレジストを除去することと、前記凸パッドの非形成部分の前記金属箔を除去することと、前記樹脂絶縁層、前記第1導体層、前記金属ポスト上にソルダーレジスト層を形成することと、前記ソルダーレジスト層の厚みを薄くして、前記凸パッドの上部を露出させることと、前記ソルダーレジスト層に金属ポストを設ける前記第1導体層を露出させる開口を形成することと、前記ソルダーレジスト層上、前記開口内にシード層を形成することと、前記シード層上に金属ポスト形成用の開口を有する第2めっきレジストを形成することと、前記金属ポスト形成用の開口内に電解めっき膜により金属ポストを形成することと、前記第2めっきレジストを除去することと、前記金属ポストの非形成部分の前記シード層を除去することと、を有する。 The printed wiring board manufacturing method according to the present invention includes a first conductor layer on the metal foil side, a second conductor layer on the opposite side of the metal foil, and the first conductor layer on a support plate including the metal foil. Forming a resin insulation layer having via conductors connecting the second conductor layer and the support plate, separating the metal foil and the resin insulation layer, and forming a convex pad on the metal foil Forming a first plating resist having an opening for forming, forming a convex pad with an electrolytic plating film in the opening for forming the convex pad of the first plating resist, and removing the first plating resist Removing the metal foil in the non-formed portion of the convex pad; forming a solder resist layer on the resin insulating layer, the first conductor layer, and the metal post; and Reduce the thickness, Exposing an upper portion of the convex pad; forming an opening for exposing the first conductor layer providing a metal post on the solder resist layer; and forming a seed layer on the solder resist layer in the opening. Forming a second plating resist having an opening for forming a metal post on the seed layer; forming a metal post by an electrolytic plating film in the opening for forming the metal post; Removing the plating resist and removing the seed layer in the non-formed portion of the metal post.
[実施形態の効果]
本発明の実施形態によれば、電解めっきで凸パッドが形成された後、ソルダーレジスト層が形成され、ソルダーレジスト層の厚みが薄くされて、凸パッドの上部が露出されてから、ソルダーレジスト層に金属ポストを設ける導体回路を露出させる開口が形成され、該開口に金属ポストが形成される。即ち、凸パッドを形成する電解めっきが終わってから、ソルダーレジスト層が形成される。このため、ソルダーレジスト層の開口から露出される第1導体層の絶縁信頼性が高くなり、第1導体層上に形成される金属ポスト間のショートが発生し難い。
[Effect of the embodiment]
According to the embodiment of the present invention, after the convex pad is formed by electrolytic plating, the solder resist layer is formed, the thickness of the solder resist layer is reduced, and the upper portion of the convex pad is exposed, and then the solder resist layer is exposed. An opening for exposing a conductor circuit on which a metal post is provided is formed, and a metal post is formed in the opening. That is, the solder resist layer is formed after the electrolytic plating for forming the convex pad is completed. For this reason, the insulation reliability of the 1st conductor layer exposed from the opening of a soldering resist layer becomes high, and it is hard to generate | occur | produce the short between metal posts formed on a 1st conductor layer.
[第1実施形態]
図1(A)は、第1実施形態に係るプリント配線板の断面図である。
プリント配線板10は、第1面Fと第1面と反対側の第2面Sとを有する樹脂絶縁層50から成る。樹脂絶縁層50は、無機粒子を含む樹脂で形成され、芯材を有しない。樹脂絶縁層50は、第1面F側に第1導体層34が形成され、第2面S側に第2導体層58が形成されている。第1導体層34と第2導体層58とは樹脂絶縁層50に形成された貫通孔51にめっきを充填して成るビア導体60を介して接続されている。第1導体層34は、側面34Dと下面34Bが樹脂絶縁層50に埋まるように形成され、第1導体層34の上面34Uが樹脂絶縁層の第1面Fと同じ平面上に形成されている。第2導体層58は、樹脂絶縁層50の第2面Sから露出するように形成されている。樹脂絶縁層50の第1面F上、第1導体層34上にソルダーレジスト層70が形成されている。第1導体層34上には、ICチップ等の電子部品を搭載するための凸パッド82が設けられている。凸パッド82の上部はソルダーレジスト層70を貫通して露出している。ソルダーレジスト層70には、第1導体層34を露出させる開口71が形成される。開口71で露出される第1導体層34上に金属ポスト88が形成されている。
[First embodiment]
FIG. 1A is a cross-sectional view of the printed wiring board according to the first embodiment.
The printed
図1(B)は、第1実施形態のプリント配線板10の応用例を示す。プリント配線板10には、金属ポスト88及び半田104を介してプリント配線板(上基板)210が搭載されている。プリント配線板10の凸パッド82上には、半田102を介してICチップ212が実装されている。第1実施形態のプリント配線板10は、凸パッド82がソルダーレジスト層70から突出しているため、ICチップ212との接続信頼性が高い。
FIG. 1B shows an application example of the printed
[第1実施形態のプリント配線板の製造方法]
図2〜図4は第1実施形態のプリント配線板の製造方法を示す。
銅箔32を備える支持板30上に、第1導体層34が形成される。銅箔32及び第1導体層34上に、銅箔側の第1面Fと第1面と反対側の第2面Sとを有する樹脂絶縁層50が形成される。そして、レーザで第1導体層34に至る貫通孔51が形成され、貫通孔51内及び樹脂絶縁層50の第2面Sにシード層53が形成される。めっきレジスト(図示されず)が形成され、めっきレジストの非形成部に電解めっき54が形成され、電解めっきにより貫通孔51内にビア導体60が形成され、樹脂絶縁層50上に第2導体層58が形成される。第2導体層の非形成部分のシード層53が剥離される(図2(A))。
[Method for Manufacturing Printed Wiring Board of First Embodiment]
2 to 4 show a method for manufacturing a printed wiring board according to the first embodiment.
A
銅箔32及び樹脂絶縁層50が支持板30から分離される(図2(B))。樹脂絶縁層50、第1導体層34上に、凸パッド形成用の開口62aを備える第1めっきレジスト62が形成される(図2(C))。第1めっきレジスト62の凸パッド形成用の開口62a内であって、第1導体層34上に銅箔32を用いた電解銅めっきにより凸パッド82を構成する銅めっき膜84が形成される(図2(D))。第1めっきレジスト62が除去される(図2(E))。第1導体層34の非形成部分の銅箔32が剥離される(図2(F))。
The
樹脂絶縁層50、第1導体層34、凸パッド82上にソルダーレジスト組成物70eが形成される(図3(A))。エッチングによりソルダーレジスト組成物70eの厚みが薄くされ、ソルダーレジスト組成物70eから凸パッド82の上部が露出される(図3(B))。ソルダーレジスト組成物70eが露光され、ソルダーレジスト層70が形成されると共に、未硬化のソルダーレジスト組成物70eが非露光部分に残る(図3(C))。ソルダーレジスト層70、ソルダーレジスト組成物70eが現像される。第1面F側のソルダーレジスト層70に、パッド73を露出させる開口71が形成される(図3(D))。
A
ブラスト加工で、ソルダーレジスト層70の表面、開口71内の第1導体層34表面がシード層形成のため粗化される(図3(E))。無電解銅めっきで、ソルダーレジスト層70の表面、開口71内、凸パッド82の露出部にシード層52形成される(図4(A))。シード層52上に、金属ポスト形成用の開口94aを備える第2めっきレジスト94が形成される(図4(B))。第2めっきレジスト94の金属ポスト形成用の開口94a内であって、第1導体層34上にシード層52を用いた電解銅めっきにより金属ポスト88を構成する銅めっき膜87が形成される(図4(C))。第2めっきレジスト94が除去される(図4(D))。金属ポスト88の非形成部分のシード層52が剥離され、プリント配線板10が完成する(図1(A))。
By blasting, the surface of the solder resist
凸パッド82に半田102を介してICチップ212が実装される。金属ポスト88に半田104を介してプリント配線板(上基板)210が搭載される(図1(B))。
An
第1実施形態のプリント配線板の製造方法によれば、電解めっきで凸パッド82が形成された後、ソルダーレジスト組成物70eが形成され、ソルダーレジスト組成物70eの厚みが薄くされて、凸パッド82の上部が露出されてから、ソルダーレジスト層70に金属ポスト88を設けるためのパッド73を構成する第1導体層34を露出させる開口71が形成される。即ち、凸パッド82を形成する電解めっきが終わってからソルダーレジスト層70が形成される。このため、ソルダーレジスト層70の開口71から露出される第1導体層34の絶縁信頼性が高くなり、第1導体層34上に形成される金属ポスト88間のショートが発生し難い。
According to the method for manufacturing a printed wiring board of the first embodiment, after the
[第1実施形態の改変例]
図1(C)は第1実施形態の改変例に係るプリント配線板110を示す。
プリント配線板110は、樹脂絶縁層50の第2面S上に第2樹脂絶縁層150が形成され、第2樹脂絶縁層150上に第3導体層158が形成されている。第2導体層58と第3導体層158とは、第2樹脂絶縁層150に形成されたビア導体160を介して接続されている。
[Modification of the first embodiment]
FIG. 1C shows a printed
In the printed
[第2実施形態のプリント配線板の製造方法]
図5は第2実施形態のプリント配線板の製造方法を示す。
第2実施形態の製造方法で、図2(A)〜図2(F)までの製造工程は第1実施形態と同様である。
図2(F)に示される樹脂絶縁層50、第1導体層34、凸パッド82上にソルダーレジスト組成物70eが形成される(図5(A))。そして、露光処理又は熱処理によりソルダーレジスト組成物が硬化され、ソルダーレジスト層70が形成される(図5(B))。
[Method for Manufacturing Printed Wiring Board of Second Embodiment]
FIG. 5 shows a method for manufacturing a printed wiring board according to the second embodiment.
In the manufacturing method of the second embodiment, the manufacturing steps from FIG. 2A to FIG. 2F are the same as those of the first embodiment.
A solder resist
ブラスト加工でソルダーレジスト層70の厚みが薄くされ、ソルダーレジスト層70から凸パッド82の上部が露出される(図5(C))。ソルダーレジスト層70上に、パッドを露出する開口形成用の通孔92aを備えるマスク92が載せられる(図5(D))。ブラスト加工で通孔92a下にパッド73を露出する開口71が形成される(図5(E))。マスク92が外される(図5(F))。以降の工程は、第1実施形態の図3(E)後の工程と同様である。
The thickness of the solder resist
第2実施形態のプリント配線板の製造方法によれば、電解めっきで凸パッド82が形成された後、ソルダーレジスト層70が形成され、ソルダーレジスト層70の厚みが薄くされて、凸パッド82の上部が露出されてから、ソルダーレジスト層70にパッド73を構成する第1導体層34を露出させる開口71が形成される。即ち、凸パッド82を形成する電解めっきが終わってからソルダーレジスト層70が形成される。このため、ソルダーレジスト層70の開口71から露出されるパッド73の絶縁信頼性が高くなり、パッド73に形成される金属ポスト88間のショートが発生し難い。
According to the printed wiring board manufacturing method of the second embodiment, after the
10 プリント配線板
30 支持板
32 銅箔
34 第1導体層
50 樹脂絶縁層
52 シード層
58 第2導体層
60 ビア導体
62 第1めっきレジスト
62a 開口
70e ソルダーレジスト組成物
70 ソルダーレジスト層
71 開口
73 パッド
82 凸パッド
88 金属ポスト
92 :マスク
94 第2めっきレジスト
94a 開口
F 第1面
S 第2面
DESCRIPTION OF
Claims (5)
金属箔を備える支持板上に、前記金属箔側の第1導体層と、前記金属箔の反対側の第2導体層と、前記第1導体層と前記第2導体層とを接続するビア導体を有する樹脂絶縁層を形成することと、
前記支持板と、前記金属箔及び樹脂絶縁層とを分離することと、
前記金属箔上に凸パッド形成用の開口を有する第1めっきレジストを形成することと、
前記第1めっきレジストの前記凸パッド形成用の開口内に電解めっき膜により凸パッドを形成することと、
前記第1めっきレジストを除去することと、
前記凸パッドの非形成部分の前記金属箔を除去することと、
前記樹脂絶縁層、前記第1導体層、前記金属ポスト上にソルダーレジスト層を形成することと、
前記ソルダーレジスト層の厚みを薄くして、前記凸パッドの上部を露出させることと、
前記ソルダーレジスト層に金属ポストを設ける前記第1導体層を露出させる開口を形成することと、
前記ソルダーレジスト層上、前記開口内にシード層を形成することと、
前記シード層上に金属ポスト形成用の開口を有する第2めっきレジストを形成することと、
前記金属ポスト形成用の開口内に電解めっき膜により金属ポストを形成することと、
前記第2めっきレジストを除去することと、
前記金属ポストの非形成部分の前記シード層を除去することと、を有する。 A method of manufacturing a printed wiring board,
A via conductor connecting the first conductor layer on the metal foil side, the second conductor layer on the opposite side of the metal foil, and the first conductor layer and the second conductor layer on a support plate including the metal foil. Forming a resin insulation layer having
Separating the support plate from the metal foil and the resin insulating layer;
Forming a first plating resist having an opening for forming a convex pad on the metal foil;
Forming a convex pad with an electrolytic plating film in the opening for forming the convex pad of the first plating resist;
Removing the first plating resist;
Removing the metal foil in the non-formed portion of the convex pad;
Forming a solder resist layer on the resin insulating layer, the first conductor layer, and the metal post;
Reducing the thickness of the solder resist layer to expose the top of the convex pad;
Forming an opening for exposing the first conductor layer to provide a metal post in the solder resist layer;
Forming a seed layer on the solder resist layer in the opening;
Forming a second plating resist having an opening for forming a metal post on the seed layer;
Forming a metal post by an electrolytic plating film in the opening for forming the metal post;
Removing the second plating resist;
Removing the seed layer in the non-formed portion of the metal post.
前記シード層を形成する前に、前記ソルダーレジスト層表面、前記開口内を粗化する。 It is a manufacturing method of the printed wiring board of Claim 1,
Before forming the seed layer, the surface of the solder resist layer and the inside of the opening are roughened.
前記ソルダーレジスト層の厚みを薄くすることはエッチングにより行い、
前記ソルダーレジスト層に前記第1導体層を露出させる開口を形成することは露光現像により行う。 It is a manufacturing method of the printed wiring board of Claim 1,
Reducing the thickness of the solder resist layer is performed by etching,
Forming the opening for exposing the first conductor layer in the solder resist layer is performed by exposure and development.
前記ソルダーレジスト層の厚みを薄くすることはブラスト処理により行い、
前記ソルダーレジスト層に前記第1導体層を露出させる開口を形成することは、マスクを用いブラスト処理により行う。 It is a manufacturing method of the printed wiring board of Claim 1,
Reducing the thickness of the solder resist layer is performed by blasting,
Forming the opening exposing the first conductor layer in the solder resist layer is performed by blasting using a mask.
前記ソルダーレジスト層の厚みを薄くする前に、前記ソルダーレジスト層を硬化させる。 It is a manufacturing method of the printed wiring board of Claim 4,
Before reducing the thickness of the solder resist layer, the solder resist layer is cured.
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