[go: up one dir, main page]

JP2017128637A - 接着剤組成物、接着剤シートならびにそれを有する積層版、基板およびledモジュール - Google Patents

接着剤組成物、接着剤シートならびにそれを有する積層版、基板およびledモジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2017128637A
JP2017128637A JP2016007718A JP2016007718A JP2017128637A JP 2017128637 A JP2017128637 A JP 2017128637A JP 2016007718 A JP2016007718 A JP 2016007718A JP 2016007718 A JP2016007718 A JP 2016007718A JP 2017128637 A JP2017128637 A JP 2017128637A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive composition
resin
filler
adhesive
average particle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016007718A
Other languages
English (en)
Inventor
彰 嶋田
Akira Shimada
彰 嶋田
富川 真佐夫
Masao Tomikawa
真佐夫 富川
翼 濱野
Tsubasa Hamano
翼 濱野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP2016007718A priority Critical patent/JP2017128637A/ja
Publication of JP2017128637A publication Critical patent/JP2017128637A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】熱伝導性フィラーの分散性と酸化チタンの分散性を制御し高い熱伝導性でありながら、高い光反射率と耐熱性、絶縁性に優れた接着剤組成物を提供することを課題とする。【解決手段】(A)バインダー樹脂、(B)熱硬化性樹脂、(C)硬化剤、(D)熱伝導性フィラーおよび(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーを含有する接着剤組成物であって、(A)バインダー樹脂が重量平均分子量5000以上のポリイミド樹脂またはポリエーテルスルホン樹脂であり、(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの体積の合計が接着剤組成物中で60体積%以上であることを特徴とする接着剤組成物。【選択図】なし

Description

本発明は、電子部品や電子材料において使用される接着剤組成物に関する。より詳しくは、放熱材料などに用いられる高熱伝導性の接着剤組成物に関する。
近年、電子機器の消費電力の省エネルギー化が求められており、照明器具においては電力消費量の少ないLED照明が多く採用されている。特に車載ヘッドランプや屋外での大型照明器具などへの採用がひろがりつつあるが、このようにLED自体の高輝度化や高出力化が進んでおり、LED素子の発熱量が大きくなっている。しかし、LED素子は高温になると素子の寿命が著しく低下する為に周辺材料の放熱性を高くしてLED素子の温度を低くする必要がある。そこで放熱性を高くする為にLED素子が実装されている絶縁回路基板において熱伝導性の高い絶縁層が必要とされている。また、絶縁層に必要な特性として高い熱伝導率だけではなく、LED素子から放出した光を効率よく高輝度化する必要があることから、80%以上の高い光反射率が必要とされている。絶縁回路基板は銅やアルミなどの金属板を積層される為、これらとの接着強度が高いことが求められる。そこでこれまで絶縁層には、結晶性の高いエポキシ樹脂を熱硬化させることによって熱伝導率を高くした樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、接着剤にシリコーンゴムと放熱性の高い無機フィラーの添加により熱伝導性、絶縁性を改善した接着剤組成物が提案されている(例えば、特許文献2参照)。さらに脂環式エポキシ樹脂に酸化チタンと放熱性の高い無機フィラーを添加することによって、光反射率が高い熱伝導性接着剤組成物が提案されている。(例えば、特許文献3参照)
WO2008/18364号公報 特開2008−4838号公報 特開2011−241279号公報
しかしながら、従来の組成物はエポキシ樹脂に放熱性の高い無機フィラーを添加することにより高い熱伝導率が得られていたが、接着時に熱硬化すると樹脂が黄変色して、光反射率が低くなる問題があった。また、酸化チタンを添加して光反射率を向上した樹脂組成物はあったものの、酸化チタン自体の熱伝導性が低い為、樹脂組成物の熱伝導率が不十分となる問題があった。
そこで本発明は、熱伝導性フィラーの分散性と酸化チタンの分散性を制御し高い熱伝導性でありながら、高い光反射率と耐熱性、絶縁性に優れた接着剤組成物を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は、(A)バインダー樹脂、(B)熱硬化性樹脂、(C)硬化剤、(D)熱伝導性フィラーおよび(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーを含有する接着剤組成物であって、(A)バインダー樹脂が重量平均分子量5000以上のポリイミド樹脂またはポリエーテルスルホン樹脂であり、(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの体積の合計が接着剤組成物中で60体積%以上であることを特徴とする接着剤組成物である。
本発明によれば、熱伝導性フィラーの分散性と酸化チタンの分散性が制御され、高い熱伝導性でありながら、高い光反射率と耐熱性、絶縁性に優れた接着剤組成物を提供することができる。
上記課題を解決するため、本発明は、(A)バインダー樹脂、(B)熱硬化性樹脂、(C)硬化剤、(D)熱伝導性フィラーおよび(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーを含有する接着剤組成物であって、(A)バインダー樹脂が重量平均分子量5000以上のポリイミド樹脂またはポリエーテルスルホン樹脂であり、(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの体積の合計が接着剤組成物中で60体積%以上であることを特徴とする接着剤組成物である。
本発明における(A)バインダー樹脂とは、重量平均分子量が5000以上のポリイミド樹脂またはポリエーテルスルホン樹脂である。重量平均分子量を5000以上にすることにより接着剤組成物の強度や靭性を向上させることができる。また重量平均分子量は1000000以下であるのが好ましい。重量平均分子量を1000000以下にすることにより、接着剤組成物の溶剤に対する溶解性を向上できることや、接着時の熱流動性を向上して接着強度を高くすることができる。
重量平均分子量の測定方法としては、ポリイミド樹脂またはポリエーテルスルホン樹脂を溶解した溶液を用い、GPC装置によりポリスチレン換算で算出することができる。
また、本発明における(A)バインダー樹脂は溶剤可溶性であることが望ましい。溶剤可溶性であれば、接着剤組成物を調整する場合に調合粘度を低く抑えることができ、より熱伝導性フィラーや酸化チタンフィラーの分散性を向上することができる。溶剤可溶性とは、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−ビニルピロリドン、N,N−ジエチルホルムアミドなどのアミド系溶媒、γ−ブチロラクトン、メチルモノグライム、メチルジグライム、メチルトリグライム、エチルモノグライム、エチルジグライム、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテルなどのエーテル系溶媒のいずれかの有機溶媒100gに対して、25℃で1g以上溶解するものを指す。
また、本発明における(A)バインダー樹脂は、重量平均分子量5000以上のポリイミド樹脂またはポリエーテルスルホン樹脂である。(A)バインダー樹脂としてポリイミド樹脂を採用することにより、耐熱性や絶縁信頼性を向上することができる。またポリイミド樹脂は、極性が高い塩基性のイミド基を含有するため、(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの表面と相互作用を有する。そのため(A)バインダー樹脂としてポリイミド樹脂を採用することにより、(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーとの分散性を高めることができる。ポリイミド樹脂は主としてテトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応により得られ、テトラカルボン酸二無水物の残基とジアミンの残基を有する。
また(A)バインダー樹脂として、ポリエーテルスルホン樹脂を採用することにより、接着剤組成物の着色を抑えて光反射率を向上することができる。ポリエーテルスルホン樹脂はスルホン基でベンゼン環が直鎖状に結合された骨格を有する。
本発明におけるポリイミド樹脂は下記一般式(2)で示される構造を有するジアミン残基を含有するのが好ましい。かかるジアミン残基を有することによって、ポリイミド樹脂の有機溶媒に対する溶解性が向上する。また、シロキサン結合によってポリイミド骨格に柔軟性が付与されるため、そのような構造を有するポリイミド樹脂を用いて得られる接着剤組成物の加熱圧着時の熱流動性を向上させることができ、基材への密着性を向上することができる。密着性を向上させる観点から、下記一般式(2)で示されるジアミン残基の含有量は、全ジアミン残基中10モル%以上であることが好ましく、20モル%以上であればより好ましい。また、シロキサン結合部分の疎水性による分散性を向上させる観点から90モル%以下であることが好ましく、80モル%以下であることがより好ましい。
Figure 2017128637
一般式(2)中、mは1〜30の整数を示す。R〜R10はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、フェニル基、フェノキシ基または炭素数1〜30のアルキル基を示す。炭素数1〜30のアルキル基はメチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基が好ましい。R11およびR12は同じでも異なっていてもよく、フェニレン基または炭素数1〜30のアルキレン基を示す。炭素数1〜30のアルキレン基はメチレン基、エチレン基、プロピレン基またはブチレン基が好ましい。
ポリイミド樹脂中で一般式(2)で表されるジアミン残基を構成するジアミンの具体例としては、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノフェニル)ジシロキサン、1,1,3,3−テトラフェノキシ−1,3−ビス(4−アミノエチル)ジシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチル−1,5−ビス(4−アミノフェニル)トリシロキサン、1,1,3,3−テトラフェニル−1,3−ビス(2−アミノエチル)ジシロキサン、1,1,3,3−テトラフェニル−1,3−ビス(3−アミノプロピル)ジシロキサン、1,1,5,5−テトラフェニル−3,3−ジメチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,5,5−テトラフェニル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(4−アミノブチル)トリシロキサン、1,1,5,5−テトラフェニル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(5−アミノペンチル)トリシロキサン、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ビス(2−アミノエチル)ジシロキサン、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ビス(3−アミノプロピル)ジシロキサン、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノブチル)ジシロキサン、1,3−ジメチル−1,3−ジメトキシ−1,3−ビス(4−アミノブチル)ジシロキサン、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(2−アミノエチル)トリシロキサン、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(4−アミノブチル)トリシロキサン、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジメトキシ−1,5−ビス(5−アミノペンチル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサエチル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサン、1,1,3,3,5,5−ヘキサプロピル−1,5−ビス(3−アミノプロピル)トリシロキサンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。またこれらのジアミンに対応する製品としては、信越化学(株)製のLP7100、PAM−E、KF8010、X−22−161A、X−22−161B、KF8012、KF8008などが挙げられる。
本発明におけるポリイミド樹脂は、ヒドロキシル基またはカルボキシル基を備えたジアミン残基を含有するのが好ましい。ヒドロキシル基またはカルボキシル基を備えたジアミン残基を有することにより、熱硬化性樹脂との反応が進んで接着剤組成物の接着強度や耐熱性を向上することができる。接着強度を向上させる観点からヒドロキシル基またはカルボキシル基を備えたジアミン残基は全ジアミン残基中5mol%以上が好ましい。また接着剤組成物の吸湿率を低減できる観点から、90mol%以下が好ましく、80mol%以下がより好ましい。ヒドロキシル基またはカルボキシル基を備えたジアミン残基の例として以下のものが挙げられる。
Figure 2017128637
Figure 2017128637
Figure 2017128637
中でも、下記一般式(1)で示される構造のジアミン残基が好ましい。下記一般式(1)で示される構造のジアミン残基はフッ素元素を含有することによりポリイミド樹脂の着色が抑えられ、光反射率を向上することができる。
Figure 2017128637
一般式(1)中、R〜Rはそれぞれ同一でも異なっていてよく、水素原子、炭素数1〜30のアルキル基、炭素数1〜30のアルコキシ基、ハロゲン、スルホン基、ニトロ基およびシアノ基から選ばれる基を示す。炭素数1〜30のアルキル基はメチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基が好ましい。また炭素数1〜30のアルコキシ基はメトキシ基またはエトキシ基が好ましい。
上記一般式(1)で示される構造のジアミン残基としては、例えば以下に示すジアミン残基を挙げることができる。
Figure 2017128637
また上記一般式(1)で示される構造のジアミン残基ではないが、以下に示すジアミン残基もフッ素元素を含有するため、上記一般式(1)で示される構造のジアミン残基と同様にポリイミド樹脂の着色が抑えられ、光反射率を向上することができる。
Figure 2017128637
本発明におけるポリイミド樹脂は、脂環式ジアミンに由来するジアミン残基を有することが好ましい。脂環式ジアミン残基を含有することにより分子鎖間のCT錯体形成を阻害し、ポリイミド樹脂の着色が抑えられ、光反射率を向上することができる。光反射率を向上させる観点から全ジアミン中5mol%以上が好ましく、10mol%以上がより好ましい。また接着剤組成物の靭性を向上させる観点から全ジアミン中90mol%以下が好ましく、80mol%以下がより好ましい。
このような脂環式ジアミンの具体例として、ジアミノシクロヘキサン、ジアミノジシクロヘキシルメタン、ジメチルジアミノジシクロヘキシルメタン、テトラメチルジアミノジシクロヘキシルメタン、ジアミノジシクロヘキシルプロパン、ジアミノビシクロ−2、2、1−ヘプタン、ビス(アミノメチル)−ビシクロ(2,2、1)ヘプタン、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン、イソホロンジアミンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
本発明におけるポリイミド樹脂は、脂環式テトラカルボン酸二無水物に由来するテトラカルボン酸残基を有することが望ましい。脂環式テトラカルボン酸残基を含有することにより分子鎖間のCT錯体形成を阻害し、ポリイミド樹脂の着色が抑えられ、光反射率を向上することができる。光反射率を向上させる観点から全テトラカルボン酸残基中5mol%以上が好ましく、10mol%以上がより好ましい。また接着剤組成物の靭性を向上させる観点から全テトラカルボン酸残基中90mol%以下が好ましく、80mol%以下がより好ましい。このような脂環式テトラカルボン酸二無水物の具体例として、1,2,4、5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,3−ジメチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、3,5,6−トリカルボキシノルボナン−2−酢酸二無水物、2,3,4,5−テトラヒドロフランテトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸二無水物などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
本発明におけるポリイミド樹脂は、上記ジアミン残基の他に、本発明の効果を損なわない程度に他のジアミン残基を含有していてもよい。例えば、1,4−ジアミノベンゼン、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−ジアミノトルエン、1,4−ジアミノ−2,5−ジハロゲノベンゼンなどのベンゼン環1個を含むジアミン類、ビス(4−アミノフェニル)エ−テル、ビス(3−アミノフェニル)エ−テル、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)メタン、ビス(3−アミノフェニル)メタン、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、o−ジアニシジン、o−トリジン、トリジンスルホン酸類などのベンゼン環2個を含むジアミン類、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,4−ジイソプロピルベンゼン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,3−ジイソプロピルベンゼンなどのベンゼン環3個を含むジアミン類、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、4,4’−(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、5,10−ビス(4−アミノフェニル)アントラセンなどのベンゼン環4個以上を含むジアミン類などのジアミン化合物の残基が挙げられる。なお、他のジアミン残基の例はこれらに限られない。
本発明におけるポリイミド樹脂は、上記テトラカルボン酸二無水物以外に本発明の効果を損なわない程度に他のテトラカルボン酸二無水物を含有していてもよい。例えば、無水ピロメリット酸(PMDA)、オキシジフタル酸二無水物(ODPA)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)、2,2’−ビス[(ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物(BSAA)、4,4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物(6FDA)、1,2−エチレンビス(アンヒドロトリメリテート)(TMEG)などの酸二無水物の残基が挙げられる。なお、酸二無水物残基の例はこれらに限られない。
本発明におけるポリイミド樹脂は、ポリイミド構造単位からなるもののみであってもよいし、ポリイミド構造単位のほかに共重合成分として他の構造も有する共重合体であってもよい。また、ポリイミド構造単位の前駆体(ポリアミック酸構造)が含まれていてもよい。共重合あるいは混合に用いられる構造の種類および量は、本発明の効果を損なわない範囲で選択することが好ましい。
本発明において、バインダー樹脂(A)はポリエーテルスルホン樹脂を用いてもよい。バインダー樹脂(A)としてポリエーテルスルホン樹脂を用いることにより、接着剤組成物の着色を抑えて光反射率を向上することができる。ポリエーテルスルホン樹脂はスルホン基でベンゼン環が直鎖状に結合された骨格を有する樹脂のことをいう。
ポリエーテルスルホン樹脂は主として、ビスフェノール類のアルカリ金属塩またはアルカリ土類金属塩とジハロ芳香族スルホンとの脱塩重縮合を用いる方法によって得られる。特にヒドロキシル基など熱硬化性樹脂と反応する官能基を含有するのが好ましい。ヒドロキシル基など含有することにより、熱硬化性樹脂と反応して耐熱性や接着強度を向上することができる。このような製品として住友化学(株)製のスミカエクセル 4100P、4800P、5003Pなどが挙げられる。
本発明の接着剤組成物は(B)熱硬化性樹脂を含有する。熱硬化性樹脂は加熱することにより硬化反応する樹脂であれば特に制限はなく、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、尿素樹脂などが挙げられる。特に熱硬化反応性と耐熱性の観点からエポキシ樹脂が好ましい。本発明に用いられるエポキシ樹脂に特に制限はないが、高温での流動特性や硬化後の機械強度を高くして、熱膨張係数を低くする観点から結晶性のエポキシ樹脂が好ましい。結晶性のエポキシ樹脂とは、ビフェニル基、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、フェニルベンゾエート基、ベンズアニリド基などのメソゲン骨格を有するエポキシ樹脂である。このようなエポキシ樹脂に対応する製品としては、三菱化学(株)製のJERYX4000、JERYX4000H、JERYX8800、JERYL6121H、JERYL6640、JERYL6677、JERYX7399や日本化薬(株)製のNC3000、NC3000H、NC3000L、CER−3000Lや新日鐵化学(株)製のYSLV−80XY、YDC1312などが挙げられる。
また、本発明に用いられるエポキシ樹脂は、(D)熱伝導性フィラーの分散性を向上して、硬化後の絶縁性を向上させる観点からフルオレン骨格を有するエポキシ樹脂が好ましい。このようなエポキシ樹脂として大阪ガスケミカル(株)製のPG100、CG500、CG300−M2、EG200,EG250などが挙げられる。
また、本発明に用いられるエポキシ樹脂は、Bステージでの柔軟性や基板との密着強度の観点から室温で液状のエポキシ樹脂が好ましい。ここで液状のエポキシ樹脂とは、25℃、1.013×10N/mで150Pa・s以下の粘度を示すものであり、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、アルキレンオキサイド変性エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂などが挙げられる。このようなエポキシ樹脂に対応する製品としては、三菱化学(株)製のJER827、JER828、JER806、JER807、JER801N、JER802、JER604、JER630、JER630LSDやDIC(株)製のエピクロン840S、エピクロン850S、エピクロン830S、エピクロン705、エピクロン707や新日鐵化学(株)製のYD127、YD128、PG207N、PG202などが挙げられる。
また、本発明に用いられるエポキシ樹脂は、加熱による変色抑えて光反射率を向上できる観点から脂環式エポキシ樹脂が好ましい。このようなエポキシ樹脂として、(株)ダイセル製のセロキサイド2021P、セロキサイド2081、セロキサイド2000、EHPE3150、EHPE3150CE、エポリードGT401、アデカ(株)製のEP4080E、EP4082HT、三菱化学(株)製のYX8000、YX8034、日本化薬(株)製のSEJ−01Rなどが挙げられる。
また、本発明に用いられる(B)熱硬化性樹脂は1種類でもよく、2種類以上組み合わせてもよい。(B)熱硬化性樹脂の含有量は、(A)バインダー樹脂100重量部に対して30重量部以上であることが好ましく、また200重量部以下であることが好ましい。30重量部以上であると、Bステージにおける接着剤シートの基板との熱圧着性がより良好となるため好ましく、40重量部以上であることがより好ましい。また200重量部以下であると、硬化後のエポキシ樹脂の架橋密度を下げて接着剤組成物の弾性率がより低くなるため好ましく、150重量部以下であることがより好ましい。
本発明の接着剤組成物は(C)硬化剤を含有する。(B)熱硬化性樹脂と(C)硬化剤を組み合わせることにより、(B)熱硬化性樹脂の硬化を促進して短時間で硬化させることができる。(C)硬化剤としては、イミダゾール類、多価フェノール類、酸無水物類、アミン類、ヒドラジド類、チオール類、ポリメルカプタン類、ルイス酸−アミン錯体類、潜在性硬化剤などを用いることができる。
本発明に用いられる(C)硬化剤は熱硬化後の変色を抑えて、光反射率を向上する観点からチオール類すなわちチオール基を含む化合物であることが好ましい。(C)硬化剤としてチオール基を含む化合物を用いることによって、(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの分散性が向上し、本発明の接着剤組成物を熱硬化した後の白色度をより向上させることができる。それにより光反射率がより向上する。このような(C)硬化剤として、三菱化学(株)製のQX11、QX21、QX40や昭和電工(株)製のカレンズMTPE1、カレンズMTBD1、カレンズMTNR1、TPMB、TEMBなどが挙げられる。
本発明に用いられる(C)硬化剤は、保存安定性と硬化物の耐熱性が優れるイミダゾール類、多価フェノール類、潜在性硬化剤が好ましく用いられる。これらは、単独または2種以上を混合して使用することができる。
イミダゾール類としてはキュアゾール2MZ、キュアゾール2PZ、キュアゾール2MZ−A、キュアゾール2MZ−OK(以上商品名、四国化成工業(株)製)などがあげられる。多価フェノール類としては、スミライトレジンPR−HF3、スミライトレジンPR−HF6(以上商品名、住友ベークライト(株)製)、カヤハードKTG−105、カヤハードNHN(以上商品名、日本化薬(株)製)、フェノライトTD2131、フェノライトTD2090、フェノライトVH−4150、フェノライトKH−6021、フェノライトKA−1160、フェノライトKA−1165(以上商品名、DIC(株)製)などがあげられる。また、潜在性硬化剤としては、ジシアンジアミド型潜在性硬化剤、アミンアダクト型潜在性硬化剤、有機酸ヒドラジド型潜在性硬化剤、芳香族スルホニウム塩型潜在性硬化剤、マイクロカプセル型潜在性硬化剤、光硬化型潜在性硬化剤が挙げられる。
ジシアンジアミド型潜在性硬化剤としては、DICY7、DICY15、DICY50(以上商品名、ジャパンエポキシレジン(株)製)、アミキュアAH−154、アミキュアAH−162(以上商品名、味の素ファインテクノ(株)製)などが挙げられる。アミンアダクト型潜在性硬化剤としては、アミキュアPN−23、アミキュアPN−40、アミキュアMY−24、アミキュアMY−H(以上商品名、味の素ファインテクノ(株)製)、フジキュアFXR−1030(商品名、富士化成(株)製)などが挙げられる。有機酸ヒドラジド型潜在性硬化剤としては、アミキュアVDH、アミキュアUDH(以上商品名、味の素ファインテクノ(株)製)などが挙げられる。芳香族スルホニウム塩型潜在性硬化剤としては、サンエイドSI100、サンエイドSI150、サンエイドSI180(以上商品名、三新化学工業(株)製)などが挙げられる。マイクロカプセル型潜在性硬化剤としては、上記の各硬化剤をビニル化合物、ウレア化合物、熱可塑性樹脂でカプセル化したものが挙げられる。中でも、アミンアダクト型潜在性硬化剤をイソシアネートで処理したマイクロカプセル型潜在性硬化剤としてはノバキュアHX−3941HP、ノバキュアHXA3922HP、ノバキュアHXA3932HP、ノバキュアHXA3042HP(以上商品名、旭化成ケミカルズ(株)製)などが挙げられる。また、光硬化型潜在性硬化剤としては、オプトマーSP、オプトマーCP((株)ADEKA製)などが挙げられる。
接着剤組成物に(C)硬化剤が含まれる場合、その含有量は、(B)熱硬化性樹脂100重量部に対し、0.1重量部以上35重量部以下であることが好ましい。
本発明の接着剤組成物は(D)熱伝導性フィラーを含有する。本発明において、熱伝導性フィラーとは、25℃において熱伝導率が10W/m・K以上であるフィラーをいう。フィラーの熱伝導率は、厚みが1mm前後で気孔率が10%以下の焼結体を得た後、JIS R1611(2010)「7.熱伝導率測定」に従って測定して求めることができる。なおJIS R1611(2010)の「7.2測定方法」において「c)かさ密度 熱拡散率の測定は、JIS R1634などによる」と記載されているが、本発明における測定では、「c)かさ密度」の測定はJIS R1634(1998)に従って求めた値をいう。このようなフィラーであれば制限がなく、例としてカーボンブラック、シリカ、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、炭化珪素、窒化珪素などの無機フィラーや銅、アルミニウム、マグネシウム、銀、亜鉛、鉄、鉛などの金属フィラーなどが挙げられる。これらのフィラーは単独で用いられるか、または複数のフィラーを組み合わせて用いられてもよい。またフィラーの形状は特に制限がなく、真球状、球状、鱗片状、フレーク状、箔片状、繊維状、針状などが挙げられる。高密度に熱伝導性フィラーを含有させる観点では、真球状のフィラーが好ましい。
本発明において、(D)熱伝導性フィラーの含有量は、接着剤組成物において50体積%以上であることが好ましい。50体積%以上であることにより接着剤組成物の熱伝導率が高くなる。より好ましくは55体積%以上である。なお、接着剤組成物を後述のようにシートとして用いる場合は、シートにおける(D)熱伝導性フィラーの含有量が50体積%以上であることが好ましく、55体積%以上であることがより好ましい。
(D)熱伝導性フィラーの体積含有量は、接着剤組成物に含まれる成分のそれぞれの重量含有量と比重から、各成分の体積含有量を算出することで求める。ここで、接着剤組成物およびシートにおける(D)熱伝導性フィラーの体積含有率(体積%)の算出においては、接着剤組成物およびシートが溶媒を含む場合には、その溶媒は計算に含めないものとする。すなわち、接着剤組成物またはシートに含まれる成分のうち溶媒を除いた成分の体積含有量の合計を分母として、(D)熱伝導性フィラーの体積含有率を計算する。
シートの硬化物から(D)熱伝導性フィラーの体積含有率を算出する方法としては、以下のような熱重量分析を利用する方法が挙げられる。まずシートの硬化物を600〜900℃まで昇温して樹脂分を分解・揮発させ、含有するフィラー重量を測定し、さらに樹脂の重量を算出する。その後、(D)熱伝導性フィラーおよび樹脂の比重で除して体積を算出して、計算する方法が挙げられる。
(D)熱伝導性フィラーは、(D−1)平均粒子径が1μm以下のフィラーおよび(D―2)平均粒子径が2μm以上のフィラーを含有することが好ましい。(D−1)平均粒子径が1μm以下の熱伝導性フィラーを含有することにより、(D−2)平均粒子径が2μm以上の熱伝導性フィラーの隙間に充填することが可能となり、より最密充填できることから高い絶縁性と低い熱膨張係数が得られる。また平均粒子径が0.9μm以下のフィラーであることがより好ましい。平均粒子径の下限としては特に制限されないが、0.01μm以上が好ましく、0.1μm以上がより好ましい。
また(D−2)平均粒子径が2μm以上のフィラーを含有することにより高い熱伝導率が得られる。また平均粒子径が3μm以上のフィラーであることがより好ましい。また平均粒子径の上限としては特に制限されないが、100μm以下にすることによって、接着剤組成物のBステージでの表面粗度を低くすることができより接着強度をより高くすることができる。
また、(D−1)平均粒子径が1μm以下の熱伝導性フィラーの含有量は、熱伝導性フィラーを最密充填して高い絶縁性を得る観点から(D)熱伝導性フィラー全体の10体積%以上であることが好ましく、20体積%以上であることがより好ましい。また高い熱伝導性を得る観点から、(D)熱伝導性フィラー全体の80体積%以下であることが好ましく、70体積%以下であることがより好ましい。
また、(D−1)平均粒子径が1μm以下の熱伝導性フィラーは、真球状アルミナ粒子であることが好ましい。真球状アルミナ粒子は(A)バインダー樹脂への分散性が良く、最密充填することができる。例えばこのような真球状アルミナ粒子としてアドマテックス(株)製のAO502、AO802、デンカ(株)製のASFP20、住友化学(株)製のAA−03、AA−04、AA−05、AA−07などが挙げられる。
(D−1)平均粒子径が1μm以下の熱伝導性フィラーは、窒化ホウ素であることも好ましい。窒化ホウ素は絶縁性の熱伝導性フィラーとして熱伝導率が40〜80W/m・K程度と高い為、接着剤組成物でもより高い熱伝導率が得られるとともに高い絶縁性が得られる。例えばこのような窒化ホウ素として、三井化学(株)製のMBN−010Tや昭和電工(株)製のUHP−S1などが挙げられる。
(D−2)平均粒子径が2μm以上の熱伝導フィラーは窒化アルミが好ましい。窒化アルミは絶縁性の熱伝導性フィラーとして熱伝導率が170W/m・K程度と高い為、接着剤組成物でもより高い熱伝導率が得られる。例えばこのような窒化アルミとして、古河電子(株)製のFAN−f30、FAN−f50、FAN−f80や(株)MARUWA製のM30、M50、M80などが挙げられる。
また(D−2)平均粒子径が2μm以上の熱伝導性フィラーは凝集状の窒化ホウ素も好ましい。凝集状の窒化ホウ素は熱伝導性の異方性が小さく厚み方向への高い熱伝導率が得られる。例えばこのような凝集状の窒化ホウ素として水島合金鉄(株)製のHP40J2、HP40MF100や昭和電工(株)製のUHP−EXやデンカ(株)製のFP40、FP70などが挙げられる。
また、本発明の(D−1)平均粒子径が1μm以下の熱伝導性フィラー、(D−2)平均粒子径が2μm以上の熱伝導性フィラーはそれぞれ、2種類以上組み合わせて使用することもできる。
なお、本発明において平均粒子径とは凝集していない1次粒子の平均粒子径であり、1次粒子が凝集したものはその凝集体の粒子径である。ペースト組成物中の熱伝導性フィラーの平均粒子径を測定する方法としては、SEM(走査型電子顕微鏡)やTEM(透過型電子顕微鏡)により直接粒子を観察し、粒子径の数平均を計算する方法が挙げられる。具体的には、SEM(日立ハイテクノロジーズ社製SU8020)を用いてランダムに100個の粒子を選び、これらの粒子径を求めて、その数平均を計算する方法が挙げられる。
本発明の接着剤組成物は(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーを含有する。(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーを含有することにより、接着剤組成物の白色度が向上して光反射率を向上させることができる。なお(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの25℃における熱伝導率は5W/m・Kであり10W/m・K未満であるため、上記(D)熱伝導性フィラーには該当しない。
(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの平均粒子径は、光反射率を向上させる観点から0.5μm以下であることがより好ましい。また下限については特に限定されないが、効率的に光反射させる観点と接着剤組成物中での粒子分散性を向上させる観点から0.2μm以上が好ましい。(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの平均粒子径の測定方法としては、上述の(D)熱伝導性フィラーと同様の方法で求めることができる。
このような酸化チタンフィラーとして、テイカ(株)製のJR301、JR403、JR405、JR605、JR603、JR805、JR806、JR701、JR800や堺化学工業(株)製のR−42、R−38、R−5N、GTR−100、G−62N、D−918、D−970や石原産業(株)製のR−820、R−830、R−930、R−980などが挙げられる。
また(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの含有量は、接着剤組成物の光反射率を向上させる観点から接着剤組成物中全体で5体積%以上が好ましく、より好ましくは10体積%以上である。また(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーは接着剤組成物中で40体積%以下が好ましく、30体積%以下がより好ましい。なお(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの体積含有量は、上述の(D)熱伝導性フィラーの体積含有量と同様の方法で求めることができる。
また接着剤組成物の熱伝導率と光反射率を向上させる観点から、(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの合計が接着剤組成物中で60体積%以上であり、好ましくは65体積%以上である。基材に対する密着性や接着強度や向上する観点から(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの合計が接着剤組成物中で85体積%以下が好ましく、80体積%以下がより好ましい。
本発明の接着剤組成物は、シランカップリング剤などの分散剤等使用してもよい。これにより(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの樹脂への分散性をより高めることができる。シランカップリング剤としては、メチルメタクリロキシジメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシランなどを挙げることができる。
本発明の接着剤組成物は必要に応じて界面活性剤を含有してもよく、基板との塗れ性を向上させることができる。また、チタンキレート剤などを接着剤組成物中0.5〜10重量%含有してもよい。
本発明の接着剤シートは、上記接着剤組成物からなる。本発明の接着剤組成物をシート状に加工して接着剤シートとする方法について説明する。本発明の接着剤組成物をシート状に加工するには、例えば支持体上に接着剤組成物を溶媒中で混合してワニス状としたものを塗布、乾燥してシート状に加工することができる。
ここで用いる溶媒としては前記成分を溶解するものを適宜選択すればよく、たとえばケトン系溶剤のアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、エーテル系溶剤の1,4−ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、グリコールエーテル系溶剤のメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、その他ベンジルアルコール、プロパノール、N−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、酢酸エチル、N,N−ジメチルホルムアミド等が挙げられる。特に大気圧下沸点が120℃以下であるものを含むと、低温、短時間で脱溶媒化できるためシート化が容易となる。
本発明の接着剤組成物をワニス状にする方法は特に限定されるものではないが、(A)バインダー樹脂、(B)熱硬化性樹脂および(C)硬化剤、(D)熱伝導性フィラー、(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラー、必要に応じ含まれる他の成分を上記溶媒中でプロペラ攪拌機、ホモジナイザー、混練機などを用いて混合させた後、(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの分散性を向上させる観点から、ビーズミル、ボールミル、3本ロールミル等で混合することが好ましい。
支持体へワニスを塗布する方法としては、スピンナを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、あるいは、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーター、バーコーター、ロールコーター、コンマロールコーター、グラビアコーター、スクリーンコーター、スリットダイコーターなどを用いた塗布方法が挙げられる。
塗工機としては、ロールコーター、コンマロールコーター、グラビアコーター、スクリーンコーター、スリットダイコーターなどを用いることができるが、スリットダイコーターがコーティング時の溶媒の揮発が少なく塗布性が安定するため好ましく使用される。シート化した接着剤組成物(接着剤シート)の厚みは特に限定されるものではないが、耐電圧などの絶縁性や放熱特性の観点から20〜300μmの範囲が好ましい。
乾燥には、オーブン、ホットプレート、赤外線などを使用することができる。乾燥温度および乾燥時間は、有機溶媒を揮発させることが可能な範囲であればよく、接着剤シートが未硬化または半硬化状態(Bステージ状態)となるような範囲を適宜設定することが好ましい。具体的には、40℃から120℃の範囲で1分間から数十分間保持することが好ましい。また、これらの温度を組み合わせて段階的に昇温してもよく、例えば、70℃、80℃、90℃で各1分間ずつ熱処理してもよい。
支持体は特に限定されないが、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ポリイミドフィルムなど、通常市販されている各種のフィルムが使用可能である。
支持体の接着剤組成物との接合面は、密着性と剥離性を向上させるために、シリコーン、シランカップリング剤、アルミキレート剤、ポリ尿素などの表面処理が施されていてもよい。また、支持体の厚みは特に限定されないが、作業性の観点から、10〜100μmの範囲であることが好ましい。
また、接着剤シートは、その表面を保護するために保護フィルムを有してもよい。これにより、大気中のゴミやチリ等の汚染物質から接着剤シート表面を保護することができる。
保護フィルムとしては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレン(PP)フィルム、ポリエステルフィルム等が挙げられる。保護フィルムは、接着剤シートとの接着力が小さいものであると好ましい。
次に、本発明の接着剤組成物または接着剤シートを利用して基板や部材を接着する方法について、例を挙げて説明する。接着剤組成物は上記のようなワニス状にして用いることが好ましい。まず、接着剤組成物ワニスを用いて接着すべき基板または部材の一方の面に接着剤組成物被膜を形成する。基板や部材としては銅やアルミなど金属素材の薄板や、それと貼り合わせるべき半導体装置(そのリードフレーム部分等)などが挙げられる。接着剤組成物ワニスの塗布方法としてはスピンナを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷などの方法が挙げられる。また、塗布膜厚は、塗布手法、樹脂組成物の固形分濃度および粘度などによって異なるが、通常、乾燥後の膜厚が50μm以上400μm以下になるように塗布することが好ましい。次に、接着剤組成物ワニスを塗布した基板を乾燥して、接着剤組成物被膜を得る。乾燥はオーブン、ホットプレート、赤外線などを使用することができる。乾燥温度および乾燥時間は、有機溶媒を揮発させることが可能な範囲であればよく、接着剤組成物被膜が未硬化または半硬化状態となるような範囲を適宜設定することが好ましい。具体的には、50〜150℃の範囲で1分間から数時間行うのが好ましい。
一方、接着剤シートは、保護フィルムを有する場合にはこれを剥離し、接着剤シートと基板を対向させて熱圧着により貼り合わせる。熱圧着は、熱プレス処理、熱ラミネート処理、熱真空ラミネート処理等によって行うことができる。貼り付け温度は、基板への密着性、埋め込み性の点から40℃以上が好ましい。また、貼り付け時に温度が高くなると接着剤シートが硬化する時間が早くなり、作業性が低下するため貼り付け温度は250℃以下が好ましい。接着剤シートが支持体を有する場合、支持体は貼り合わせ前に剥離してもよいし、熱圧着工程のいずれかの時点または熱圧着後に剥離してもよい。
このようにして得られた接着剤組成物被膜が形成された基板を基板や他部材に熱圧着する。熱圧着温度は樹脂のガラス転移温度以上であればよく、100〜400℃の温度範囲が好ましい。また圧着時の圧力は0.01〜10MPaの範囲が好ましい。時間は1秒〜数分間が好ましい。
熱圧着後、120℃から400℃の温度を加えて硬化物とすることで硬化膜が得られる。この加熱処理は温度を選び、段階的に昇温するか、ある温度範囲を選び連続的に昇温しながら5分間から5時間実施する。一例としては、130℃、200℃で各30分間ずつ熱処理する。あるいは室温より250℃まで2時間かけて直線的に昇温するなどの方法が挙げられる。この際、加熱温度は150℃以上、300℃以下の温度が好ましく、180℃以上、250℃以下であることがさらに好ましい。
このように熱圧着して得られた接着体はその剥離強度が、接着信頼性の観点から2N/cm以上であることが好ましい。より好ましいのは3N/cm以上である。
銅箔とアルミ板を接着剤で熱圧着して積層し、この積層体の接着界面での熱応力を低減して基板の反りを低減する観点から、接着剤の硬化膜の弾性率は低く、熱膨張係数は銅やアルミに近い値であることが好ましい。
熱圧着して得られた硬化膜の弾性率は、室温付近での熱応力を低減する観点から25℃で14GPa以下であることが好ましい。より好ましいのは12GPa以下である。
熱圧着して得られた硬化膜の熱膨張係数は、熱応力を低減する観点から−45〜125℃で15ppm以上25ppm以下であることが好ましい。より好ましいのは17ppm以上23ppm以下である。
硬化膜の膜厚は、任意に設定することができるが、50μm以上300μm以下であることが好ましい。
次に本発明における接着剤組成物および接着剤シートの用途について説明する。本発明の積層板は、上記接着剤シートおよび金属板を有し、これらが隣接していることを特徴とする。また本発明の回路基板は、アルミ板、上記接着剤シートおよび銅箔をこの順に有し、それぞれが隣接していることを特徴とする。また本発明の配線基板は、アルミ板、上記接着剤シートおよび銅配線をこの順に有し、それぞれが隣接していることを特徴とする。また本発明のLED素子付き基板は、上記配線基板上にLEDチップを有する。また本発明のLEDモジュールは、上記LED素子付き基板およびそれを覆う封止樹脂を有することを特徴とする。なおこれらは本発明における接着剤組成物および接着剤シートの用途の一例であり、これらに限定されるものではない。
本発明における接着剤組成物は、半導体装置の接着剤として広く使用でき、積層板、回路基板、配線基板などに使用できるが、特にLED素子を実装する絶縁回路基板の絶縁層として好適に用いられる。このような絶縁回路基板は、回路形成可能な銅箔と、LEDで発熱した熱を効率良く放熱する為のアルミや銅などの金属板を、本発明における接着剤組成物で積層したものである。銅箔の厚みは5μm以上150μm以下であることが好ましく、金属板は1mm以上10mm以下であることが好ましい。銅箔や金属板に接着シートを貼り付けるか、または接着剤組成物のワニスを塗布、乾燥することにより、接着層を形成する。その後銅箔や金属板を熱圧着して絶縁層を伴う積層板が得られる。このようにして得られた積層板の銅箔部を第二塩化鉄水溶液などでエッチングして、回路が形成される。この回路の上にLED素子を実装することによりLED素子付き基板が得られる。またこのようにして得られたLED素子付き基板のLED素子周辺を封止樹脂で覆い、LEDモジュールが得られる。
以下に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、各実施例において略号で示した原料の詳細を以下に示す。
<ポリイミド樹脂の原料>
ODPA:4,4’−オキシジフタル酸二無水物(マナック(株)製)
BAHF:2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(AZエレクトロニックマテリアルズ(株)製)
KF8010:ジアミノポリシロキサン(信越化学(株)製)
エラスマー1000:ポリテトラメチレンオキシド−ジ−パラ−アミノベンゾエート(イハラケミカル工業(株)製)
<ポリエーテルスルホン樹脂>
PES5003P:ポリエーテルスルホン樹脂(住友化学(株)製、重量平均分子量70000)
<エポキシ樹脂>
JER828:ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)製)
<硬化剤>
2P4MZ:2−フェニル−4−メチルイミダゾール
DICY:ジシアンジアミド
U−CAT5003:第4級ホスホニウムブロマイド(サンアプロ(株)製)
カレンズMTPE1:3−メルカプトブチレート(昭和電工(株)製)
<熱伝導性フィラー>
FAN−50:窒化アルミニウム粒子(平均粒子径:50μm、熱伝導率:170W/m・K、比重3.3g/cm)(古河電子(株)製)
HP40MF100:窒化ホウ素粒子(平均粒子径:44μm、熱伝導率:80W/m・K、比重2.2g/cm)(水島合金鉄(株)製)
HP40J2:窒化ホウ素粒子(平均粒子径:20μm、熱伝導率:80W/m・K、比重2.2g/cm)(水島合金鉄(株)製)
DAW07:アルミナ粒子(平均粒子径:7μm、熱伝導率:20W/m・K、比重3.9g/cm)(デンカ(株)製)
AO502:アルミナ粒子(平均粒子径:0.7μm、熱伝導率:20W/m・K、比重3.9g/cm)(アドマテックス(株)製:商標名アドマテックス)
MBN−010T:窒化ホウ素(平均粒子径:0.9μm、熱伝導率:40W/m・K、比重2.2g/cm)(三井化学(株)製)。
<酸化チタンフィラー>
JR301:酸化チタンフィラー(平均粒子径:0.3μm、熱伝導率:5W/m・K、比重4.0g/cm)(テイカ(株)製)
<溶剤>
トリグライム:トリエチレングリコールジメチルエーテル
γBL:γブチロラクトン
各実施例・比較例における評価方法を次に示す。
<ポリイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂の重量平均分子量>
ポリイミド樹脂をN−メチル−2−ピロリドン(以下、NMPとする)に溶解した固形分濃度0.1重量%の溶液を用い、下に示す構成のGPC装置Waters2690(Waters(株)製)によりポリスチレン換算の重量平均分子量を算出した。GPC測定条件は、移動層をLiClとリン酸をそれぞれ濃度0.05mol/lで溶解したNMPとし、展開速度を0.4ml/分とした。
検出器:Waters996
システムコントローラー:Waters2690
カラムオーブン:Waters HTR−B
サーモコントローラー:Waters TCM
カラム:TOSOH grard comn
カラム:THSOH TSK−GEL α−4000
カラム:TOSOH TSK−GEL α−2500。
<合成したポリイミド樹脂のイミド化率>
まず、ポリマーの赤外吸収スペクトルを測定し、ポリイミド樹脂に起因するイミド構造の吸収ピーク(1780cm−1付近、1377cm−1付近)の存在を確認した。次に、そのポリマーについて、350℃で1時間熱処理した後、再度、赤外吸収スペクトルを測定し、熱処理前と熱処理後の1377cm−1付近のピーク強度を比較した。熱処理後のポリマーのイミド化率を100%として、熱処理前のポリマーのイミド化率を求めた。
<フィラーの体積含有率>
添加した樹脂組成物の各成分の重量を比重で割って体積を計算して、算出した。
<アルミ板への貼り付け性>
各実施例および比較例で作製した接着剤組成物をコンマロールコーターを用いて、支持体フィルムとして厚さ38μmのPETフィルム上に塗布し、100℃で30分間乾燥を行った後、保護フィルムとして、厚さ10μmのPPフィルムをラミネートし、保護フィルム・支持体付接着シートを得た。接着剤シートの膜厚は220μmとなるように塗工を行った。その後保護フィルムを剥離し、該剥離面を、アルミ板(厚み3mm)上に、熱板プレス機を用いて、プレス温度100℃、圧力1MPa、加圧時間5分でプレスした。そして、支持体フィルムを剥がした時、接着剤シートが支持体フィルムに残らず、アルミ板に貼り付けされたものを良(○)、貼り付けできず支持体フィルムに残っているものを否(×)とした。
<接着強度>
上記の方法で得られた保護フィルム・支持体付接着シートの保護フィルムを剥がし、剥離面を銅箔上に熱板プレス機を用いて、プレス温度100℃、圧力1MPa、加圧時間5分でプレスした。支持体フィルムを剥がした後、接着剤組成物の上に更に銅箔を積層して、プレス温度180℃、圧力2MPa、加圧時間10分でプレスした。その後180℃の熱風循環型乾燥機で1時間かけて熱硬化した。このようにして得られた積層体の銅箔を片側のみ第二塩化鉄水溶液でエッチング除去して線幅2mmの回路加工をおこなった。その後、プッシュゲルゲージで2mm幅の銅箔を積層体に対して90℃の方向に持ち上げて引っ張り、接着強度を測定した。
<熱伝導率>
上記の方法で得られた保護フィルム・支持体付接着シートの保護フィルムを剥がし、剥離面を銅箔上に熱板プレス機を用いて、プレス温度100℃、圧力1MPa、加圧時間5分でプレスした。支持体フィルムを剥がした後、接着剤組成物の上に更に銅箔を積層して、プレス温度180℃、圧力2MPa、加圧時間10分でプレスした。その後180℃の熱風循環型乾燥機で1時間かけて熱硬化した。このようにして得られた積層体の銅箔を全て第二塩化鉄水溶液でエッチング除去し、厚みが200μmの接着剤組成物の硬化物を得た。その後、ネッチ(株)製のレーザーフラッシュ法熱拡散率測定装置LFA447で硬化物の熱拡散率を測定した。またアルキメデス法で硬化物の比重を測定し、DSC法で硬化物の比熱を測定して、熱拡散率×比重×比熱で熱伝導率を算出した。
<耐電圧>
上記と同様にして、厚みが200μmの接着剤組成物の硬化物を得た。これについて、菊水電子工業(株)製の耐電圧試験器TOS5101で温度23℃、湿度50%RHにおける耐電圧を測定した。測定は、交流で昇圧速度5.0kV/秒で実施して、0.2mA以上の電流が流れた時の電圧を耐電圧とした。
<光反射率>
上記と同様にして、厚みが200μmの接着剤組成物の硬化物を得た。これについて波長400〜700nmの反射率を分光光度計U−3210((株)日立製作所製)を用いて測定し、波長470nmの値を代表値として用いた。
実施例1
300mlの4つ口フラスコに撹拌機、温度計、窒素導入管および滴下ロートを設置して、窒素雰囲気下、トリグライム 117.18g、ODPA 15.36gを仕込み、60℃で撹拌溶解させた。その後、60℃で撹拌しながらBAHF 5.39g、KF8010 30.10gを添加して1時間撹拌した。その後180℃まで昇温させて3時間撹拌した後、室温まで冷却してポリイミド溶液A(固形分濃度30.0重量%)を得た。ポリイミド樹脂の重量平均分子量を測定した結果、26,100であり、イミド化率を測定した結果、99%であった。
上記の方法により得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
接着剤組成物中での(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの体積の合計(体積%)は、以下の方法で計算した。まず(A)バインダー樹脂、(B)熱硬化性樹脂、(C)硬化剤からなる樹脂分の比重は1.2g/cmとして計算した。この場合、樹脂分の全重量は2.95gとなるため体積は2.46cmとなった。また(D)熱伝導性フィラーの体積は3.46cm、(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーは1.5cmとなった。これらの体積から、接着剤組成物中での(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの体積の合計(体積%)は、66.8体積%となった。また他の実施例・比較例においても、同様の方法で計算した。
実施例2
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40MF100を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例3
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにFAN−50を9.9g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例4
300mlの4つ口フラスコに撹拌機、温度計、窒素導入管および滴下ロートを設置して、窒素雰囲気下、トリグライム 147.61g、ODPA 15.36gを仕込み、60℃で撹拌溶解させた。その後、60℃で撹拌しながらBAHF 5.49g、エラスマー1000 43.33gを添加して1時間撹拌した。その後180℃まで昇温させて3時間撹拌した後、室温まで冷却してポリイミド溶液B(固形分濃度30.0重量%)を得た。ポリイミド樹脂の重量平均分子量を測定した結果、56,300であり、イミド化率を測定した結果、99%であった。
上記の方法により得られたポリイミド溶液B4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例5
γBL2.91gに、PES5003Pを1.25g、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例6
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、DICY0.08gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例7
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、UCAT5003 0.08gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例8
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、2P4MZ 0.08gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例9
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例10
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、AO502を6g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例11
γBL2.91gに、PES5003Pを1.25g、JER828を1.25g、2P4MZを0.08g添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例12
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を6g、MBN−010Tを2g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例13
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を6g、MBN−010Tを2.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例14
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を4g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例15
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を2g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例16
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を8g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例17
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を10g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
実施例18
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、2P4MZ 0.08gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を10g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
比較例1
実施例1で得られたポリイミド溶液A4.17g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては1.25g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を4g、MBN−010Tを3g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
比較例2
トリグライム2.91gにJER828を2.5g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにHP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
比較例3
実施例1で得られたポリイミド溶液A8.33g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては2.5g)に、HP40J2を5g、DAW07を2g、MBN−010Tを1.5g、JR301を6g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
比較例4
実施例1で得られたポリイミド溶液A8.33g(固形分濃度30.0重量%のためポリイミドとしては2.5g)に、JER828を1.25g、U−CAT5003を0.05g、カレンズMTPE1 0.4gを添加して混合撹拌し、これにAO502を4g、JR301を4g添加して3本ロールミルで5回繰り返し混練して、粘性液体である接着剤組成物を得た。得られた接着剤組成物について、上記の方法で、アルミ板への貼り付け性、接着強度、熱伝導率、耐電圧、光反射率について測定した。
各実施例および比較例で得られた接着剤組成物の組成を表1〜3、評価結果を表4〜6に示す。
Figure 2017128637
Figure 2017128637
Figure 2017128637
Figure 2017128637
Figure 2017128637
Figure 2017128637

Claims (11)

  1. (A)バインダー樹脂、(B)熱硬化性樹脂、(C)硬化剤、(D)熱伝導性フィラーおよび(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーを含有する接着剤組成物であって、(A)バインダー樹脂が重量平均分子量5000以上のポリイミド樹脂またはポリエーテルスルホン樹脂であり、(D)熱伝導性フィラーと(E)平均粒子径が1μm以下の酸化チタンフィラーの体積の合計が接着剤組成物中で60体積%以上であることを特徴とする接着剤組成物。
  2. (D)熱伝導性フィラーが、(D−1)平均粒子径が1μm以下のフィラーおよび(D―2)平均粒子径が2μm以上のフィラーを含有することを特徴とする請求項1に記載の接着剤組成物。
  3. (D−1)平均粒子径が1μm以下のフィラーが窒化ホウ素であることを特徴とする請求項2に記載の接着剤組成物。
  4. (C)硬化剤がチオール基を含む化合物であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の接着剤組成物。
  5. (A)バインダー樹脂が、下記一般式(1)で示されるジアミン残基を有するポリイミド樹脂であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の接着剤組成物。
    Figure 2017128637
    (一般式(1)中、R〜Rはそれぞれ同一でも異なっていてよく、水素原子、炭素数1〜30のアルキル基、炭素数1〜30のアルコキシ基、ハロゲン、スルホン基、ニトロ基およびシアノ基から選ばれる基を示す。)
  6. 請求項1〜5のいずれかに記載の接着剤組成物からなる接着剤シート。
  7. 請求項6に記載の接着剤シートおよび金属板を有し、これらが隣接していることを特徴とする積層板。
  8. アルミ板、請求項6に記載の接着剤シートおよび銅箔をこの順に有し、それぞれが隣接していることを特徴とする回路基板。
  9. アルミ板、請求項6に記載の接着剤シートおよび銅配線をこの順に有し、それぞれが隣接していることを特徴とする配線基板。
  10. 請求項9に記載の配線基板上にLEDチップを有するLED素子付き基板。
  11. 請求項10に記載のLED素子付き基板およびそれを覆う封止樹脂を有することを特徴とするLEDモジュール。
JP2016007718A 2016-01-19 2016-01-19 接着剤組成物、接着剤シートならびにそれを有する積層版、基板およびledモジュール Pending JP2017128637A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016007718A JP2017128637A (ja) 2016-01-19 2016-01-19 接着剤組成物、接着剤シートならびにそれを有する積層版、基板およびledモジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016007718A JP2017128637A (ja) 2016-01-19 2016-01-19 接着剤組成物、接着剤シートならびにそれを有する積層版、基板およびledモジュール

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017128637A true JP2017128637A (ja) 2017-07-27

Family

ID=59394480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016007718A Pending JP2017128637A (ja) 2016-01-19 2016-01-19 接着剤組成物、接着剤シートならびにそれを有する積層版、基板およびledモジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017128637A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019026710A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 日立化成株式会社 光反射用熱硬化性樹脂組成物、光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置
JP2019026709A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 日立化成株式会社 光反射用熱硬化性樹脂組成物、光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置
CN111247207A (zh) * 2017-10-18 2020-06-05 三键有限公司 导热性树脂组合物、固化物以及散热方法
WO2021002232A1 (ja) * 2019-07-02 2021-01-07 住友化学株式会社 樹脂組成物、成形体、飛行機用内装材および飛行機
CN113348193A (zh) * 2019-02-01 2021-09-03 富士胶片株式会社 导热材料形成用组合物、导热材料
JP2021527744A (ja) * 2018-06-18 2021-10-14 デュポン エレクトロニクス インコーポレイテッド ポリマー厚膜誘電体ペースト組成物
JP2022089494A (ja) * 2020-12-04 2022-06-16 東洋インキScホールディングス株式会社 絶縁性組成物、熱硬化性接着シート、熱伝導性接着層および複合部材
JP2022179549A (ja) * 2018-11-05 2022-12-02 株式会社日立ハイテク パターン計測方法、計測システム、及びコンピュータ可読媒体

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022075700A (ja) * 2017-07-28 2022-05-18 昭和電工マテリアルズ株式会社 光反射用熱硬化性樹脂組成物、光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置
JP2019026709A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 日立化成株式会社 光反射用熱硬化性樹脂組成物、光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置
JP2019026710A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 日立化成株式会社 光反射用熱硬化性樹脂組成物、光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置
JP7095239B2 (ja) 2017-07-28 2022-07-05 昭和電工マテリアルズ株式会社 光反射用熱硬化性樹脂組成物、光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置
CN111247207A (zh) * 2017-10-18 2020-06-05 三键有限公司 导热性树脂组合物、固化物以及散热方法
CN111247207B (zh) * 2017-10-18 2022-11-08 三键有限公司 导热性树脂组合物、固化物以及散热方法
JP7481267B2 (ja) 2018-06-18 2024-05-10 デュポン チャイナ リミテッド ポリマー厚膜誘電体ペースト組成物
JP2021527744A (ja) * 2018-06-18 2021-10-14 デュポン エレクトロニクス インコーポレイテッド ポリマー厚膜誘電体ペースト組成物
JP2022179549A (ja) * 2018-11-05 2022-12-02 株式会社日立ハイテク パターン計測方法、計測システム、及びコンピュータ可読媒体
EP3919540A4 (en) * 2019-02-01 2022-02-16 FUJIFILM Corporation COMPOSITION FOR FORMING A HEAT CONDUCTIVE MATERIAL AND HEAT CONDUCTIVE MATERIAL
CN113348193A (zh) * 2019-02-01 2021-09-03 富士胶片株式会社 导热材料形成用组合物、导热材料
CN113348193B (zh) * 2019-02-01 2023-08-18 富士胶片株式会社 导热材料形成用组合物、导热材料
JP2021008577A (ja) * 2019-07-02 2021-01-28 住友化学株式会社 樹脂組成物、成形体、飛行機用内装材および飛行機
WO2021002232A1 (ja) * 2019-07-02 2021-01-07 住友化学株式会社 樹脂組成物、成形体、飛行機用内装材および飛行機
JP2022089494A (ja) * 2020-12-04 2022-06-16 東洋インキScホールディングス株式会社 絶縁性組成物、熱硬化性接着シート、熱伝導性接着層および複合部材
JP7676761B2 (ja) 2020-12-04 2025-05-15 artience株式会社 絶縁性組成物、熱硬化性接着シート、熱伝導性接着層および複合部材

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5853704B2 (ja) 接着剤組成物、接着剤シートおよびこれらを用いた半導体装置
JP6299607B2 (ja) 接着剤組成物、接着剤シートならびにこれらを用いた硬化物および半導体装置
JP6947032B2 (ja) 樹脂組成物、それを用いたシート、積層体、パワー半導体装置、プラズマ処理装置および半導体の製造方法
JP2017128637A (ja) 接着剤組成物、接着剤シートならびにそれを有する積層版、基板およびledモジュール
KR20120051634A (ko) 접착 조성물, 접착 시트, 이들을 이용한 회로 기판 및 반도체 장치 및 이들의 제조 방법
TWI543312B (zh) Method for manufacturing parts for laminated bodies and power semiconductor modules
JP2014214213A (ja) 絶縁接着剤組成物ならびにそれを用いたペースト、未硬化絶縁接着剤シートおよび絶縁シート
JP5643536B2 (ja) 熱伝導性接着樹脂組成物、それを含む積層体および半導体装置
KR102186795B1 (ko) 접착 조성물 및 그것을 갖는 접착 필름, 접착 조성물 구비 기판, 반도체 장치 및 그의 제조 방법
JP2016186972A (ja) 電磁波シールドシート、それを硬化させてなる硬化膜、金属箔積層電磁波シールドシートの製造方法、積層体および半導体装置
JP5890253B2 (ja) 熱伝導性熱硬化型接着剤組成物及び熱伝導性熱硬化型接着剤シート
TW202317706A (zh) 樹脂組成物及其硬化物以及使用其的積層體、靜電吸盤及電漿處理裝置
JP7180324B2 (ja) 樹脂組成物、接着シートおよび多層基板
TW202233731A (zh) 樹脂組成物、片狀組成物、片硬化物、積層體、積層構件、晶圓保持體及半導體製造裝置
JP2014067789A (ja) 未硬化接着剤層付配線基板および半導体装置の製造方法