JP2017049974A - 識別器生成装置、良否判定方法、およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
さらに高感度に欠陥を検査して分類する方法として、複数の撮像条件にて検査対象物を撮像して検査する手法がある。特許文献2では、複数の撮像条件で画像を取得し、各撮像条件で欠陥候補を含む部分画像を抽出し、当該部分画像における欠陥候補の特徴量を求め、座標が同じで撮像条件が異なる欠陥候補の特徴量に基づいて欠陥候補から欠陥を抽出する技術が開示されている。
まず、第一の実施形態について説明する。
本実施形態では、まず、良否判定装置のハードウェア構成と機能構成の一例について説明し、次に学習と検査の各フローチャート(ステップ)について説明し、最後に本実施形形態の効果について説明する。
図1に、本実施形態における良否判定装置が実装されるハードウェア構成の一例を示す。図1において、CPU110は、バス100を介して接続される各デバイスを統括的に制御する。CPU110は、読み出し専用メモリ(ROM)120に記憶された処理ステップやプログラムを読み出して実行する。オペレーティングシステム(OS)をはじめ、本実施形態に係る各処理プログラム、デバイスドライバ等はROM120に記憶されており、ランダムアクセスメモリ(RAM)130に一時的に記憶され、CPU110によって適宜実行される。また、入力I/F140は、撮像装置等の外部の装置から、良否判定装置で処理可能な形式で入力信号を入力する。また、出力I/F150は、表示装置等の外部の装置が処理可能な形式で出力信号を出力する。
特徴量結合部204は、網羅的特徴量抽出部203で抽出された各画像の特徴量を一つに結合する。特徴量結合部204の詳細は後述する。
識別器生成部206は、特徴量選択部205で選択された特徴量を用いて、良品と不良品とを識別する識別器を作成する。識別器生成部206で生成された識別器は、識別器保存部208に保存される。識別器生成部206の詳細は後述する。
判定部210は、選択特徴量抽出部209で抽出された特徴量と、識別器保存部208に保存されている識別器とに基づいて、対象物の外観の良否を判定する。
図3A、図3Bに本実施形態におけるフローチャートを示す。具体的に図3Aは、学習時の良否判定装置200の処理の一例を説明するフローチャートである。図3Bは、検査時の良否判定装置200の処理の一例を説明するフローチャートである。以下、図3A、図3Bのフローチャートに従って、良否判定装置200の処理の一例を説明する。図3A、図3Bに示すように、本実施形態における良否判定装置200処理には大きく二つのステップ、すなわち学習ステップS1と、検査ステップS2がある。以下、各ステップを詳細に説明する。
(ステップS101)
ステップS101において、画像取得部201は、学習で用いる複数の照明条件の画像を撮像装置220から取得する。図4に、本実施形態における撮像装置220(図内の点線内部)と対象物450の断面図(図4(b))と、撮像装置220の上面図(図4(a))の一例を示す。図4(b)は、図4(a)のI−I´断面図である。
ステップS102において、画像取得部201は、良否判定装置200に予め設定された全ての照明条件による画像の取得を完了したか否かを判定する。この判定の結果、全ての照明条件による画像を取得していない場合には、ステップS101に戻り撮像を繰り返す。図5に、本実施形態における照明条件の一例を示す。本実施形態では、図5に示すように、使用する照明410a〜410h、420a〜420h、430a〜430hを変更することで照明条件を変更する場合を例に挙げて示す。図5では、図4(a)に示した撮像装置220の上面図を簡略化して示しており、使用する照明は黒色に塗りつぶすことで表現するものとする。本実施形態においては、照明条件は7種類としてある。
ステップS103において、画像取得部201は、学習に必要な対象物数の画像の取得を完了したか否かを判定する。この判定の結果、学習に必要な対象物数の画像を取得できていない場合にはステップS101に戻り撮像を繰り返す。本実施形態では、1つの照明条件で、学習用画像として良品画像を150枚、不良品画像を50枚程度取得する。従って、ステップS103が完了するときに、良品については150×7枚、不良品については50×7枚の学習用画像を取得することになる。これらの枚数の画像の取得が完了すれば、次のステップS104へ進む。以下のステップS104〜S107の処理は、200個の対象物のそれぞれについて1つずつ行われる。
ステップS104において、画像合成部202は、同一の対象物に対する照明条件1〜7の7枚の画像のうち、照明条件1〜4による画像を合成する。このように本実施形態では、画像合成部202は、照明条件1〜4による画像を合成して学習用画像として出力し、照明条件5〜7による画像は合成せずにそのまま学習用画像として出力する。前述したように、照明条件1〜4は照明の使用方向に関して方位角に依存性がある為、強調されるキズ欠陥の方向はそれぞれの照明条件で異なる。従って、照明条件1〜4による画像の相互に対応する位置の画素値の和をとった合成画像を生成することで、様々な角度のキズ欠陥が強調された画像を生成できる。ここでは簡単のために、照明条件1〜4による画像の和をとることにより合成画像を作成する方法を例に挙げて説明した。しかしながら、必ずしもこのようにする必要はない。例えば、四則演算を始めとする画像処理を施すことで、より欠陥を強調することが可能な合成画像を生成してもよい。例えば、照明条件1〜4による画像の画素値に加えてまたは替えて、照明条件1〜4による画像の統計量と、照明条件1〜4による画像のうち複数の画像間の統計量とを用いた演算を行うことにより合成画像を生成することができる。
ステップS105において、網羅的特徴量抽出部203は、ある対象物の学習用画像に対して網羅的に特徴量を抽出する。網羅的特徴量抽出部203は、ある対象物の学習用画像から、周波数的に異なるピラミッド階層画像を作成した後、各ピラミッド階層画像に対して統計演算やフィルタリング処理等を施して特徴量を抽出する。
(a+b+c+d)/4 ・・・(1)
(a+b−c−d)/4 ・・・(2)
(a−b+c−d)/4 ・・・(3)
(a−b−c+d)/4 ・・・(4)
次に、網羅的特徴量抽出部203は、1階層目の画像群を作成したのと同じ画像変換を、低周波画像802に対して行い、2階層目の画像群として前述した8種類の画像を作成する。さらに網羅的特徴量抽出部203は、2階層目の低周波画像に対しても同様の処理を行って3階層目の画像群として前述した8種類の画像を作成する。以上の8種類の画像(各階層の画像群)の作成を、各階層の低周波画像に対して、低周波画像のサイズが一定値以下になるまで繰り返す。繰り返しを実施している部分を図8内の破線部810に示す。この作業を繰り返すことで、各階層に対してそれぞれ8種類の画像が作成される。例えば、この作業を10階層まで繰り返した場合、1枚の画像に対して81種類(原画像1枚+10階層×8種類)の画像が作成される。以上がピラミッド階層画像の作成についての説明である。本実施形態ではウェイブレット変換を用いてピラミッド階層画像(原画像に対し異なる周波数の画像)を作成する場合を例に挙げて説明した。しかしながら、ピラミッド階層画像(原画像に対し異なる周波数の画像)を作成する方法は、ウェイブレット変換を用いる方法に限定されない。例えば、原画像に対してフーリエ変換を行うことにより、ピラミッド階層画像(原画像に対し異なる周波数の画像)を作成してもよい。
まず、統計演算について説明する。網羅的特徴量抽出部203は、各ピラミッド階層画像の平均・分散・尖度・歪度・最大値・最小値を算出して、これらを特徴量とする。ここに挙げたもの以外の統計量を特徴量としてもよい。
第一にキズ欠陥を強調する特徴量について説明する。キズ欠陥は、対象物が生産時に何かしら突起のあるものに引っ掻かれてできてしまう場合が多く、一方向に長い線状の欠陥となりやすい。図10に本実施形態におけるキズ欠陥を強調する特徴量の算出方法の一例の模式図を示す。図10において、実線の矩形枠1001は、ピラミッド階層画像の一つである。網羅的特徴量抽出部203は、この矩形枠(ピラミッド階層画像)1001に対して、矩形領域1002(図10の破線の矩形枠)と、一方向に連続した長い線状の矩形領域1003(図10の一点鎖線の矩形枠)とを用いて畳み込み演算を行う。この畳み込み演算により、キズ欠陥を強調する特徴量が抽出される。
ステップS106において、網羅的特徴量抽出部203は、ステップS105における特徴量の抽出がステップS104で作成した4種類の学習用画像1〜4において完了したか否かを判定するか否かを判定する。この判定の結果、特徴量の抽出が4種類の学習用画像1〜4において完了していない場合には、ステップS105に戻り、特徴量の抽出を繰り返す。そして、全4種類の学習用画像1〜4の網羅的な特徴量の抽出が完了すると、次のステップS107へ進む。
ステップS107において、特徴量結合部204は、ステップS105、S106の処理で抽出した全4種類の学習用画像1〜4の網羅的な特徴量を結合する。図13に、結合後の特徴量の一覧の一例を示す。ここで、特徴量番号は1から4Nまでとなる。本実施形態においては、ステップS107における特徴量の結合において、特徴量1〜4Nの全ての特徴量を結合する場合を例に挙げて説明する。しかしながら、必ずしも特徴量1〜4Nの全ての特徴量を結合する必要はない。例えば、明らかに不要な特徴量が最初から既知である場合、当該特徴量を結合する必要はない。
ステップS108において、特徴量結合部204は、学習に必要な対象物数分の特徴量の結合を完了したか否かを判定する。この判定の結果、学習に必要な対象物数分の特徴量の結合を完了していない場合には、ステップS104に戻り、学習に必要な対象物数分の特徴量の結合を完了するまで、ステップS104〜S108の処理を繰り返す。ステップS103で述べたように、良品においては150個分、不良品においては50個分の特徴量の結合を実施する。学習に必要な対象物数分の特徴量の結合を完了すると、次のステップS109へ進む。
ステップS109において、特徴量選択部205は、ステップS108までで結合した特徴量のうち、良品と不良品とを分離するのに有効な特徴量を選択、すなわち検査時に用いる特徴量の種類を決定する。具体的には、良品と不良品とを分離するのに有効な特徴量の種類のランキングを作成し、ランキングの上位から何番目までの特徴量を使用するか(すなわち使用する特徴量の数)を決定することで、特徴量の選択を行う。
まず、ランキングの作成方法の一例について説明する。学習に用いた対象物の番号をj(j=1、2、・・・、200。ただし、1〜150までが良品、151〜200を不良品とする)、特徴量を結合した後のi番目(i=1、2、・・・、4N)の特徴量をxi、jとする。特徴量選択部205は、各特徴量の種類に対して、良品150個分における平均xave_iと標準偏差σave_iを算出し、特徴量xi、jが発生する確率密度関数f(xi、j)を正規化分布と仮定して作成する。このとき確率密度関数f(xi、j)は、以下の(5)式で与えられる。
ランキングの作成方法として、特徴量そのものに替えて特徴量の組み合わせを評価してもよい。特徴量の組み合わせを評価する場合には、組み合わせる特徴量の次元数分の確率密度関数を作成して評価する。例えばi番目とk番目の2次元の特徴量の組み合わせであれば、(5)式、(6)式を2次元化させ、確率密度関数f(xi、j,xk、j)、評価値g(i,k)を、それぞれ以下の(7)式、(8)式とする。
ステップS110において、識別器生成部206は、識別器を作成する。具体的に識別器生成部206は、(9)式を用いて算出されるスコアに対して、検査時に良品か不良品かを判定する閾値を決定する。ここで、不良品の見逃しを一部許す場合や、不良品の見逃しを許さない場合等、良品と不良品を分離するスコアに対する閾値は、生産ラインの状況に応じてユーザにより決定される。そして、識別器保存部208は、生成した識別器を保存する。以上が学習時のステップS1である。
(ステップS201)
ステップS201において、画像取得部201は、検査で用いる複数の照明条件の画像を撮像装置220から取得する。検査時は学習時とは異なり、対象物が良品または不良品であるかは、未知である。
ステップS202において、画像取得部201は、良否判定装置200に予め設定された全ての照明条件による画像の取得を完了したか否かを判定する。この判定の結果、全ての照明条件による画像を取得していない場合には、ステップS201に戻り撮像を繰り返す。本実施形態では、7種類の照明条件による画像の取得が完了すれば、次のステップS203へ進む。
ステップS203において、画像合成部202は、対象物の画像7枚を用いて、画像を合成する。本実施形態では、学習用と同様に、画像合成部202は、照明条件1〜4による画像を合成して出力し、照明条件5〜7による画像については合成せずそのまま出力する。従って、検査用画像は合計で4種類作成される。
ステップS204において、選択特徴量抽出部209は、選択特徴量保存部207から、特徴量選択部205で選択された特徴量の種類を受け取り、その特徴量の種類に基づいて、検査用画像から、特徴量の値を算出する。各特徴量の値の算出方法は、ステップS105に記載した方法と同様である。
ステップS205において、選択特徴量抽出部209は、ステップS204における特徴量の抽出が、ステップS203で作成された4種類の検査用画像において完了したか否かを判定する。この判定の結果、4種類の検査用画像の特徴量の抽出が完了していない場合には、ステップS204に戻り、特徴量の抽出を繰り返す。そして、全4種類の検査用画像の特徴量の抽出が完了すると、次のステップS206へ進む。
ステップS206において、判定部210は、ステップ205までで算出された特徴量の値を(9)式に挿入することで、検査対象物のスコアを算出する。そして、判定部210は、検査対象物のスコアと、識別器保存部208に保存されている閾値とを比較し、その比較の結果に基づいて検査対象物が良品か不良品かを判定する。この際、出力部211を通して、表示装置230へ、その判定の結果を示す情報を出力する。
ステップS207において、判定部210は、検査対象物の検査を全て完了したか否かを判定する。この判定の結果、検査対象物の検査を全て完了していない場合には、ステップS201に戻り、他の検査対象物について、撮像から繰り返す。
以上が各ステップの詳細な説明である。
次に、本実施形態の効果について詳細に説明する。説明のため、ステップS107における特徴量の結合なしに学習・検査した場合と比較して述べる。
図14に本実施形態におけるステップS107において特徴量の結合を実施する場合(図14(b))としない場合(図14(a))の作業の流れの一例を示す。図14(a)に示すように、特徴量の結合を実施しない場合、4種類の学習用画像1〜4のそれぞれに対して、不良品の画像の選択をする必要がある(図内の画像の選択1〜4)。例えば、学習用画像1は、図7で示した通り、照明条件1〜4の画像を合成したものであり、照明条件1〜4はキズ欠陥が可視化されやすく、逆にいえば、学習用画像1ではムラ欠陥は可視化されづらい傾向にある。欠陥が可視化されていない画像は、たとえ対象物のラベルは不良品であっても不良品の画像としては扱えないため、このような画像は不良品の画像からは除く必要がある。
次に第二の実施形態を説明する。第一の実施形態では、少なくとも2つの異なる照明条件で撮像された画像データを用いて学習および検査を行う場合を例に挙げて説明した。これに対し、本実施形態では、少なくとも2つの異なる撮像部で撮像された画像データを用いて学習および検査を行う場合について説明する。このように本実施形態と第一の実施形態では、使用する学習データが異なることによる構成および処理が主として異なる。したがって、本実施形態の説明において、第一の実施形態と同一の部分については、図1〜図14に付した符号と同一の符号を付す等して詳細な説明を省略する。
尚、本実施形態においても、第一の実施形態で説明した種々の変形例を採用することができる。例えば、第一の実施形態と同様に、一つの対象物450に対して少なくとも2つ以上の照明条件で少なくとも2つの異なる撮像部で撮像してもよい。具体的には、第一の実施形態の図4と同様に、照明410a〜410h、420a〜420h、430a〜430hを用意し、それぞれの照明の照射方向、光量を変更することにより複数の照明条件で複数の撮像部での撮像ができる。そして、それぞれの照明条件で上記少なくとも2つの異なる撮像部で撮像すればよい。撮像部ごとに学習に用いる画像の選択が不要となるのに加え、照明条件ごとに学習に用いる画像の選択が不要となり、複数の撮像部および複数の照明条件に対して検査を一度で行うことができる。
次に、第三の実施形態を説明する。第一の実施形態では、少なくとも2つの異なる照明条件で撮像された画像データを用いて学習および検査を行う場合を例に挙げて説明した。これに対し、本実施形態では、同一画像内の少なくとも2つの異なる領域の画像データを用いて学習および検査を行う場合について説明する。このように本実施形態と第一の実施形態では、使用する学習データが異なることによる構成および処理が主として異なる。したがって、本実施形態の説明において、第一の実施形態と同一の部分については、図1〜図14に付した符号と同一の符号を付す等して詳細な説明を省略する。
尚、本実施形態においても、第一の実施形態で説明した種々の変形例を採用することができる。
次に、第四の実施形態を説明する。第一の実施形態では、少なくとも2つの異なる照明条件で撮像された画像データを用いて学習および検査を行う場合を例に挙げて説明した。これに対し、本実施形態では、同一の対象物の少なくとも2つの異なる部位の画像データを用いて学習および検査を行う場合について説明する。このように本実施形態と第一の実施形態では、使用する学習データが異なることによる構成および処理が主として異なる。したがって、本実施形態の説明において、第一の実施形態と同一の部分については、図1〜図14に付した符号と同一の符号を付す等して詳細な説明を省略する。
図18(b)に示すように、例えば左側のカメラ440で撮像された領域450aの画像には欠陥があり、右側のカメラ461で撮像された領域450bの画像には欠陥がないとする。また、図18(b)に示す例では、領域450aと領域450bの一部がオーバーラップしているが、オーバーラップしていなくてもよい。
これに対し、本実施形態のように領域450aと領域450bの特徴量を結合することで、領域450a、450bごとに良品と不良品のラベルを変更し直す必要がなくなる。これは学習時のユーザビリティを著しく向上させる。
本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、まず、以上の実施形態の機能を実現するソフトウェア(コンピュータプログラム)を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給する。そして、そのシステム或いは装置のコンピュータ(又はCPUやMPU等)が当該コンピュータプログラムを読み出して実行する。
Claims (14)
- 外観の良否が既知の対象物に対して、少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された画像に基づく少なくとも2つの画像のそれぞれから、当該画像の特徴量を抽出する学習用抽出手段と、
前記学習用抽出手段により前記少なくとも2つの画像から抽出された特徴量を跨る特徴量から、対象物の良否を判定するための特徴量を選択する選択手段と、
前記選択手段により選択された前記特徴量に基づいて、対象物の良否を判定する識別器を生成する生成手段と、を有することを特徴とする識別器生成装置。 - 前記外観の良否が既知の対象物に対して少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された複数の画像を合成する合成手段を更に有し、
前記外観の良否が既知の対象物に対して少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された画像に基づく少なくとも2つの画像は、前記合成手段により合成された画像と、前記外観の良否が既知の対象物に対して少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された画像のうち、前記合成手段により合成の対象となっていない画像と、のうち少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1に記載の識別器生成装置。 - 前記合成手段は、外観の良否が既知の対象物に対して少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された画像のそれぞれの画素値、当該画像の統計量、複数の当該画像の間の統計量を用いて演算することにより、当該画像を合成することを特徴とする請求項2に記載の識別器生成装置。
- 前記学習用抽出手段は、前記外観の良否が既知の対象物に対して、少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された画像に基づく少なくとも2つの画像のそれぞれについて、異なる周波数の複数の画像を生成し、当該生成した周波数の複数の画像のそれぞれから特徴量を抽出することを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の識別器生成装置。
- 前記学習用抽出手段は、ウェイブレット変換、または、フーリエ変換を用いて、前記異なる周波数の複数の画像を生成することを特徴とする請求項4に記載の識別器生成装置。
- 前記学習用抽出手段は、前記異なる周波数の複数の画像に対して、統計演算、畳み込み演算、微分演算、および2値化処理の少なくとも1つを行うことにより前記特徴量を抽出することを特徴とする請求項4または5に記載の識別器生成装置。
- 前記選択手段は、前記学習用抽出手段により抽出された前記特徴量を跨る特徴量のそれぞれ、または、前記学習用抽出手段により抽出された前記特徴量を跨る複数の特徴量の組み合わせに対する評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、前記学習用抽出手段により抽出された前記特徴量を跨る特徴量のそれぞれ、または、前記学習用抽出手段により抽出された前記特徴量を跨る複数の特徴量の組み合わせのそれぞれに対して順位づけを行い、当該順位に従って、前記対象物の良否を判定するための特徴量を選択することを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の識別器生成装置。
- 前記選択手段は、前記外観の良否が既知の複数の前記対象物に対して、前記対象物の良否を判定するための特徴量の数をパラメータとして含むスコアを算出し、前記特徴量の数毎に、前記外観の良否が既知の複数の前記対象物を前記スコアの順に並へ、並べた前記対象物の並び順を当該対象物の外観の良否に基づいて評価し、評価した結果に基づいて、前記対象物の良否を判定するための特徴量として選択する数を導出し、前記順位が高いものから当該導出した数だけ、前記学習用抽出手段により抽出された前記特徴量を跨る特徴量、または、前記学習用抽出手段により抽出された前記特徴量を跨る複数の特徴量の組み合わせを選択することを特徴とする請求項7に記載の識別器生成装置。
- 前記少なくとも2つの異なる撮像条件は、少なくとも2つの異なる照明条件で撮像することと、少なくとも2つの異なる撮像方向から撮像することと、前記対象物の少なくとも2つの異なる領域を撮像することと、のうち少なくとも何れか1つを含むことを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載の識別器生成装置。
- 前記照明条件は、前記対象物に対する照明の光量と、前記対象物への照明の照射方向と、前記撮像を行う撮像素子の露光時間と、のうち少なくとも何れか1つを含むことを特徴とする請求項9に記載の識別器生成装置。
- 外観の良否が未知の対象物に対して、請求項1に記載の前記撮像条件と同じ撮像条件で撮像された画像に基づく少なくとも2つの画像のそれぞれから、複数の特徴量を抽出する検査用抽出手段と、
前記検査用抽出手段により抽出された特徴量と、請求項1〜10の何れか1項に記載の識別器生成装置で生成された前記識別器とに基づいて、前記対象物の外観の良否を判定する判定手段と、を有することを特徴とする検査装置。 - 前記外観の良否が未知の対象物に対して少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された複数の画像を、請求項2または3に記載の識別器生成装置に記載の前記合成手段による合成と同じ方法で合成する合成手段を更に有し、
前記外観の良否が未知の対象物に対して少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された画像に基づく少なくとも2つの画像は、前記合成手段により合成された画像と、前記外観の良否が未知の対象物に対して少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された画像のうち、前記合成手段により合成の対象となっていない画像と、を含むことを特徴とする請求項11に記載の検査装置。 - 外観の良否が既知の対象物に対して、少なくとも2つの異なる撮像条件で撮像された画像に基づく少なくとも2つの画像のそれぞれから、複数の特徴量を抽出する学習用抽出工程と、
前記学習用抽出工程により前記少なくとも2つの画像から抽出された特徴量を跨る特徴量から、対象物の良否を判定するための特徴量を選択する選択工程と、
前記選択工程により選択された前記特徴量に基づいて、対象物の良否を判定する識別器を生成する生成工程と、
外観の良否が未知の対象物に対して、前記撮像条件と同じ撮像条件で撮像された画像に基づく少なくとも2つの画像のそれぞれから、複数の特徴量を抽出する検査用抽出工程と、
前記検査用抽出工程により抽出された特徴量と、前記生成工程により生成された前記識別器とに基づいて、前記対象物の外観の良否を判定する判定工程と、を有することを特徴とする良否判定方法。 - 請求項1〜10の何れか1項に記載の識別器生成装置の各手段としてコンピュータを機能させることを特徴とするプログラム。
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