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JP2016078355A - Liquid jet head and liquid jet apparatus - Google Patents

Liquid jet head and liquid jet apparatus Download PDF

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JP2016078355A
JP2016078355A JP2014212942A JP2014212942A JP2016078355A JP 2016078355 A JP2016078355 A JP 2016078355A JP 2014212942 A JP2014212942 A JP 2014212942A JP 2014212942 A JP2014212942 A JP 2014212942A JP 2016078355 A JP2016078355 A JP 2016078355A
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JP
Japan
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liquid
head chip
cover plate
base member
actuator substrate
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Application number
JP2014212942A
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Japanese (ja)
Inventor
勇一郎 浜野
Yuichiro Hamano
勇一郎 浜野
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SII Printek Inc
Original Assignee
SII Printek Inc
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Publication date
Application filed by SII Printek Inc filed Critical SII Printek Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To quickly detect a temperature of a head chip with high accuracy.SOLUTION: A liquid jet head 1 of the invention includes: a head chip A3a having an actuator substrate A5a and a cover plate A6a joined to a surface of the actuator substrate A5a; a head chip B3b having an actuator substrate B5b and a cover plate B6b joined to a surface of the actuator substrate B5b, the head chip B3b in which a rear surface of the actuator substrate B5b is joined to a rear surface of the actuator substrate A5a; a base member 4 which engages with the head chip A3a and the head chip B3b; and a temperature detection element 13 placed at a position of the base member 4 which is located near the cover plate B6b.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、被記録媒体に液滴を噴射して記録する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject and record liquid droplets on a recording medium.

近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介してチャンネルに導き、チャンネルに充填される液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液体を吐出する。液体の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。   In recent years, an ink jet type liquid ejecting head has been used in which ink droplets are ejected onto recording paper or the like to record characters and figures, or a liquid material is ejected onto the surface of an element substrate to form a functional thin film. In this method, a liquid such as ink or a liquid material is guided from a liquid tank to a channel via a supply pipe, pressure is applied to the liquid filled in the channel, and the liquid is discharged from a nozzle communicating with the channel. When discharging the liquid, the liquid ejecting head or the recording medium is moved to record characters and figures, or a functional thin film having a predetermined shape is formed.

例えば、特許文献1にはインクジェットヘッド100が記載される。図5は特許文献1に記載のインクジェットヘッドの断面模式図である。図5に示すように、インクジェットヘッド100は、液滴を吐出するアクチュエータ110と、アクチュエータ110にインクを供給する流路116と、アクチュエータ110の液滴吐出側の前方端部をテーパ形状部136に装着する共通ベース部材130と、アクチュエータ110の液滴吐出側の前方端面に接着されるノズルプレート112と、ノズルプレート112近傍のアクチュエータ110の外表面に固定されるセンサー137と、共通ベース部材130の後方端部に保持される回路基板117と、アクチュエータ110と回路基板117を電気的に接続するフレキシブル基板133などから構成される。共通ベース部材130は、ノズルキャップ部として機能するテーパ形状部136と回路基板117を保持するベース部が一体的に構成される。テーパ形状部136には熱伝導性樹脂160が充填される。   For example, Patent Document 1 describes an inkjet head 100. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the inkjet head described in Patent Document 1. As shown in FIG. 5, the inkjet head 100 includes an actuator 110 that ejects droplets, a flow path 116 that supplies ink to the actuator 110, and a front end portion on the droplet ejection side of the actuator 110 as a tapered portion 136. A common base member 130 to be mounted, a nozzle plate 112 bonded to the front end surface of the actuator 110 on the droplet discharge side, a sensor 137 fixed to the outer surface of the actuator 110 in the vicinity of the nozzle plate 112, and the common base member 130 The circuit board 117 is held at the rear end, and the flexible board 133 is electrically connected to the actuator 110 and the circuit board 117. In the common base member 130, a tapered portion 136 that functions as a nozzle cap portion and a base portion that holds the circuit board 117 are integrally configured. The tapered portion 136 is filled with a heat conductive resin 160.

センサー137はアクチュエータ110の温度を検出する。アクチュエータ110は駆動により発熱し、吐出するインクの温度を変化させる。インクの温度が変化するとインクの粘性が変化し、アクチュエータ110から吐出されるインク滴の吐出速度が変化する。液滴を吐出するアクチュエータ110と被記録媒体は相対的に移動するので、インク滴の吐出速度が変化するとインク滴の着弾位置が変化し、記録品質が低下する。そこで、アクチュエータ110の温度情報をアクチュエータ110の駆動信号を生成する駆動回路にフィードバックしてアクチュエータ110の温度に応じて駆動信号を変化させ、記録品質の低下を防いている。   The sensor 137 detects the temperature of the actuator 110. The actuator 110 generates heat by driving, and changes the temperature of the ejected ink. When the temperature of the ink changes, the viscosity of the ink changes, and the ejection speed of the ink droplets ejected from the actuator 110 changes. Since the actuator 110 for ejecting droplets and the recording medium move relative to each other, when the ejection speed of the ink droplets changes, the landing position of the ink droplets changes, and the recording quality deteriorates. Therefore, the temperature information of the actuator 110 is fed back to a drive circuit that generates a drive signal for the actuator 110, and the drive signal is changed according to the temperature of the actuator 110 to prevent the recording quality from being lowered.

また、例えば特許文献2には、第一のヘッドチップと第二のヘッドチップが積層される構造のインクジェットヘッドが記載される。第一のヘッドチップは圧電セラミックプレートAとその表面に接合されるインクプレートAを備え、第二のヘッドチップは圧電セラミックプレートBとその表面に接合されるインクプレートBを備える。第一のヘッドチップと第二のヘッドチップは、圧電セラミックプレートAと圧電セラミックプレートBの裏面どうしが接合されて一体的に構成される。一体的に構成される第一及び第二のヘッドチップはインク吐出側の前方端部がノズルキャップの開口部に装着される。ノズルキャップにはベースが固定され、ベースはインク滴が吐出される方向とは反対側に回路基板を保持する。   For example, Patent Document 2 describes an inkjet head having a structure in which a first head chip and a second head chip are stacked. The first head chip includes a piezoelectric ceramic plate A and an ink plate A bonded to the surface thereof, and the second head chip includes a piezoelectric ceramic plate B and an ink plate B bonded to the surface thereof. The first head chip and the second head chip are integrally formed by joining the back surfaces of the piezoelectric ceramic plate A and the piezoelectric ceramic plate B together. The first and second head chips that are integrally formed have front end portions on the ink discharge side attached to the opening portion of the nozzle cap. A base is fixed to the nozzle cap, and the base holds the circuit board on the side opposite to the direction in which the ink droplets are ejected.

特開2009−143210号公報JP 2009-143210 A 特開2007−50687号公報JP 2007-50687 A

特許文献1のインクジェットヘッド100は、図5に示されるように、共通ベース部材130にテーパ形状部136から外側に貫通するコード引出室139が形成される。そして、センサー137に接続するコード138は、コード引出室139を通して外部に引き出し、共通ベース部材130の外側面を引き回して回路基板117に接続する必要がある。そのため、組み立て工程が煩雑になるとともに、コード138が外側面を長く引き回されるのでノイズが乗りやすく、温度の検出精度が低下する恐れがある。また、特許文献2のインクジェットヘッドは、第一のヘッドチップと第二のヘッドチップが積層する構造を有し、高密度記録に適するが、ヘッドチップの温度検出手段については記載されていない。   As shown in FIG. 5, in the inkjet head 100 of Patent Document 1, a cord drawing chamber 139 that penetrates outward from the tapered portion 136 is formed in the common base member 130. The cord 138 connected to the sensor 137 needs to be pulled out through the cord drawing chamber 139 and connected to the circuit board 117 by drawing the outer surface of the common base member 130. Therefore, the assembly process becomes complicated, and the cord 138 is drawn around the outer surface for a long time, so that it is easy to get noise and the temperature detection accuracy may be lowered. The ink jet head of Patent Document 2 has a structure in which a first head chip and a second head chip are stacked and is suitable for high-density recording, but does not describe temperature detection means of the head chip.

本発明の液体噴射ヘッドは、アクチュエータ基板Aと、前記アクチュエータ基板Aの表面に接合するカバープレートAとを有するヘッドチップAと、アクチュエータ基板Bと、前記アクチュエータ基板Bの表面に接合するカバープレートBとを有し、前記アクチュエータ基板Bの裏面が前記アクチュエータ基板Aの裏面に接合するヘッドチップBと、前記ヘッドチップA及び前記ヘッドチップBと係合するベース部材と、前記カバープレートBの近傍の前記ベース部材に位置する温度検出素子と、を備えることとした。   The liquid jet head of the present invention includes an actuator substrate A, a head chip A having a cover plate A bonded to the surface of the actuator substrate A, an actuator substrate B, and a cover plate B bonded to the surface of the actuator substrate B. A head chip B where the back surface of the actuator substrate B is bonded to the back surface of the actuator substrate A, a base member that engages with the head chip A and the head chip B, and a portion near the cover plate B. And a temperature detecting element located on the base member.

また、前記ヘッドチップAは前記カバープレートAの表面に接合する流路部材Aを備え、前記ヘッドチップBは前記カバープレートBの表面に接合する流路部Bを備えることとした。   The head chip A includes a flow path member A that is bonded to the surface of the cover plate A, and the head chip B includes a flow path portion B that is bonded to the surface of the cover plate B.

また、前記ベース部材と前記流路部Bは同じ材料からなる一体物であることとした。   In addition, the base member and the flow path part B are made of the same material.

また、前記アクチュエータ基板Aは液体に圧力を印加するチャンネルAを備え、前記カバープレートAは前記チャンネルAに連通する液室Aを備え、前記流路部材Aは前記液室Aに連通する流路Aを備え、前記アクチュエータ基板Bは液体に圧力を印加するチャンネルBを備え、前記カバープレートBは前記チャンネルBに連通する液室Bを備え、前記流路部Bは前記液室Bに連通する流路Bを備え、前記ヘッドチップAと前記ヘッドチップBは、前記流路Aと前記流路Bを連通する連通孔を有することとした。   The actuator substrate A includes a channel A that applies pressure to the liquid, the cover plate A includes a liquid chamber A that communicates with the channel A, and the flow path member A is a flow path that communicates with the liquid chamber A. A, the actuator substrate B includes a channel B that applies pressure to the liquid, the cover plate B includes a liquid chamber B that communicates with the channel B, and the flow path portion B communicates with the liquid chamber B. The flow path B is provided, and the head chip A and the head chip B have communication holes that allow the flow path A and the flow path B to communicate with each other.

また、回路基板と、前記回路基板と前記ヘッドチップA及び前記ヘッドチップBとの間を電気的に接続するフレキシブル基板と、を更に備え、前記温度検出素子は、前記ベース部材の前記カバープレートBの側の表面に位置し、前記温度検出素子と前記回路基板は、前記ベース部材の前記カバープレートBの側の表面に沿うリード配線を介して電気的に接続することとした。   In addition, a circuit board, and a flexible board that electrically connects the circuit board to the head chip A and the head chip B are further provided, and the temperature detection element is the cover plate B of the base member. The temperature detecting element and the circuit board are electrically connected via a lead wiring along the surface of the base member on the cover plate B side.

また、前記フレキシブル基板は駆動信号を生成するドライバICを備え、前記ベース部材は放熱部を備え、前記ドライバICが位置する前記フレキシブル基板は前記放熱部に熱伝導材料を介して接触することとした。   The flexible substrate includes a driver IC that generates a drive signal, the base member includes a heat dissipation portion, and the flexible substrate on which the driver IC is located contacts the heat dissipation portion via a heat conductive material. .

また、前記ベース部材は、前記ヘッドチップA及び前記ヘッドチップBの後方に前記回路基板を装着することとした。   The base member is mounted with the circuit board behind the head chip A and the head chip B.

また、前記ベース部材は、前記カバープレートBの側の表面に前記温度検出素子を収納する凹部を備えることとした。   Further, the base member is provided with a recess for accommodating the temperature detecting element on the surface of the cover plate B side.

また、前記ベース部材は、前記ヘッドチップAと前記ヘッドチップBを装着するノズルキャップ部を有することとした。   Further, the base member has a nozzle cap portion for mounting the head chip A and the head chip B.

また、複数のノズルを有し、前記ノズルキャップ部の前方端面に接着するノズルプレートを更に備え、前記ノズルプレートは、前記ヘッドチップA及び前記ヘッドチップBの前方端面に接着することとした。   The nozzle plate further includes a nozzle plate that adheres to the front end face of the nozzle cap portion, and the nozzle plate is attached to the front end faces of the head chip A and the head chip B.

本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。   The liquid ejecting apparatus according to the aspect of the invention includes the liquid ejecting head, a moving mechanism that relatively moves the liquid ejecting head and the recording medium, a liquid supply pipe that supplies liquid to the liquid ejecting head, and the liquid And a liquid tank for supplying the liquid to the supply pipe.

本発明の液体噴射ヘッドは、アクチュエータ基板Aと、アクチュエータ基板Aの表面に接合するカバープレートAとを有するヘッドチップAと、アクチュエータ基板Bと、アクチュエータ基板Bの表面に接合するカバープレートBとを有し、アクチュエータ基板Bの裏面が前記アクチュエータ基板Aの裏面に接合するヘッドチップBと、ヘッドチップA及びヘッドチップBと係合するベース部材と、カバープレートBの近傍のベース部材に位置する温度検出素子と、を備える。これにより、高密度記録が可能なヘッドチップの温度を高精度に素早く検出することができる。   The liquid jet head according to the present invention includes an actuator substrate A, a head chip A having a cover plate A bonded to the surface of the actuator substrate A, an actuator substrate B, and a cover plate B bonded to the surface of the actuator substrate B. A head chip B whose back surface is joined to the back surface of the actuator substrate A; a head member that engages with the head chip A and the head chip B; and a temperature that is positioned in the base member near the cover plate B. A detection element. As a result, the temperature of the head chip capable of high-density recording can be quickly detected with high accuracy.

本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a liquid ejecting head according to the first embodiment of the invention. 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a liquid jet head according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な分解斜視図である。FIG. 6 is a schematic exploded perspective view of a liquid jet head according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第三実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus according to a third embodiment of the invention. 従来公知のインクジェットヘッドの断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of a conventionally well-known inkjet head.

(第一実施形態)
図1は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図である。図1(a)は液体噴射ヘッド1の断面模式図であり、図1(b)はヘッドチップ3の模式的な分解斜視図である。以下、液体噴射ヘッド1が液滴を吐出する吐出方向Sを前方、反対方向を後方とする。また、複数のチャンネルACa又は複数のチャンネルBCbが配列する方向を基準方向Kとする。
(First embodiment)
FIG. 1 is an explanatory diagram of a liquid jet head 1 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a schematic cross-sectional view of the liquid ejecting head 1, and FIG. 1B is a schematic exploded perspective view of the head chip 3. Hereinafter, the discharge direction S in which the liquid jet head 1 discharges droplets is defined as the front, and the opposite direction is defined as the rear. The direction in which the plurality of channels ACa or the plurality of channels BCb are arranged is defined as a reference direction K.

液体噴射ヘッド1は、ヘッドチップA3aとヘッドチップB3bとヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bに係合するベース部材4とベース部材4に位置する温度検出素子13とを備える。ヘッドチップA3aは、アクチュエータ基板A5aとアクチュエータ基板A5aの表面に接合するカバープレートA6aとを有する。ヘッドチップB3bは、アクチュエータ基板B5bとアクチュエータ基板B5bの表面に接合するカバープレートB6bとを有し、アクチュエータ基板B5bの裏面がアクチュエータ基板A5aの裏面に接合する。温度検出素子13は、カバープレートB6bの近傍のベース部材4に位置する。以下、具体的に説明する。   The liquid jet head 1 includes a head chip A3a, a head chip B3b, a base member 4 that engages with the head chip A3a and the head chip B3b, and a temperature detection element 13 that is positioned on the base member 4. The head chip A3a has an actuator substrate A5a and a cover plate A6a joined to the surface of the actuator substrate A5a. The head chip B3b has an actuator substrate B5b and a cover plate B6b bonded to the surface of the actuator substrate B5b, and the back surface of the actuator substrate B5b is bonded to the back surface of the actuator substrate A5a. The temperature detection element 13 is located on the base member 4 in the vicinity of the cover plate B6b. This will be specifically described below.

アクチュエータ基板A5aは液体に圧力を印加するチャンネルACaを備え、カバープレートA6aは、チャンネルACaに連通する液室A9aを備える。アクチュエータ基板A5aは表面の前方端から後方端の手前まで延在する溝Maを備える。カバープレートA6aは、アクチュエータ基板A5aの前方端面FSと面一に、アクチュエータ基板A5aの後方端近傍の表面が露出するようにアクチュエータ基板A5aの表面に接合する。アクチュエータ基板A5aの溝Maとこの溝Maを覆うカバープレートA6aがチャンネルACaを構成する。チャンネルACaは、図1(a)において紙面奥方向(基準方向K)に複数配列し、各チャンネルACaはアクチュエータ基板A5a及びカバープレートA6aの前方端面FSに開口する。液室A9aは複数のチャンネルACaの後方側に連通する。   The actuator substrate A5a includes a channel ACa for applying pressure to the liquid, and the cover plate A6a includes a liquid chamber A9a communicating with the channel ACa. The actuator substrate A5a includes a groove Ma extending from the front end of the surface to the front of the rear end. The cover plate A6a is joined to the surface of the actuator substrate A5a so that the surface near the rear end of the actuator substrate A5a is exposed flush with the front end surface FS of the actuator substrate A5a. The groove Ma of the actuator substrate A5a and the cover plate A6a covering the groove Ma constitute the channel ACa. A plurality of channels ACa are arranged in the depth direction (reference direction K) in FIG. 1A, and each channel ACa opens on the front end surface FS of the actuator substrate A5a and the cover plate A6a. The liquid chamber A9a communicates with the rear side of the plurality of channels ACa.

アクチュエータ基板B5bは、アクチュエータ基板A5aと同様に、液体に圧力を印加するチャンネルBCbを備え、カバープレートB6bは、カバープレートA6aと同様に、チャンネルBCbに連通する液室B9bを備える。アクチュエータ基板B5bは、アクチュエータ基板B5bの表面の前方端から後方端の手前まで延在する溝Mbを備える。カバープレートB6bは、アクチュエータ基板B5bの前方端面FSと面一に、アクチュエータ基板B5bの後方端近傍の表面が露出するようにアクチュエータ基板B5bの表面に接合する。アクチュエータ基板B5bの溝Mbとこの溝Mbを覆うカバープレートB6bによりチャンネルBCbを構成する。チャンネルBCbは基準方向Kに複数配列し、各チャンネルBCbは、アクチュエータ基板B5b及びカバープレートB6bの前方端面FSに、チャンネルACaの開口に対して半ピッチずれて開口する。   Similarly to the actuator substrate A5a, the actuator substrate B5b includes a channel BCb that applies pressure to the liquid, and the cover plate B6b includes a liquid chamber B9b that communicates with the channel BCb, similarly to the cover plate A6a. The actuator substrate B5b includes a groove Mb extending from the front end of the surface of the actuator substrate B5b to the front of the rear end. The cover plate B6b is joined to the surface of the actuator substrate B5b so that the surface near the rear end of the actuator substrate B5b is exposed flush with the front end surface FS of the actuator substrate B5b. A channel BCb is constituted by the groove Mb of the actuator substrate B5b and the cover plate B6b covering the groove Mb. A plurality of channels BCb are arranged in the reference direction K, and each channel BCb is opened on the front end face FS of the actuator substrate B5b and the cover plate B6b with a half-pitch deviation from the opening of the channel ACa.

アクチュエータ基板A5aのカバープレートA6aとは反対側の裏面は、アクチュエータ基板B5bのカバープレートB6bとは反対側の裏面に、アクチュエータ基板A5a及びアクチュエータ基板B5bの各前方端面FSを面一に接着剤を介して接合する。これにより、ヘッドチップA3aとヘッドチップB3bは一体化する。ベース部材4は、基準方向Kに細長い開口部21を有するノズルキャップ部4aを備える。ノズルキャップ部4aは、ヘッドチップA3aとヘッドチップB3bの前方端部を開口部21に装着してヘッドチップA3aとヘッドチップB3bを保持する。ノズルキャップ部4aの前方端面FSと一体化したヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bの前方端面FSとは面一である。ベース部材4は、カバープレートB6bのアクチュエータ基板B5bとは反対側の表面に接合する。   The back surface of the actuator substrate A5a opposite to the cover plate A6a is opposite to the back surface of the actuator substrate B5b opposite to the cover plate B6b, and the front end surfaces FS of the actuator substrate A5a and the actuator substrate B5b are flush with each other via an adhesive. And join. Thereby, the head chip A3a and the head chip B3b are integrated. The base member 4 includes a nozzle cap portion 4 a having an opening 21 that is elongated in the reference direction K. The nozzle cap portion 4a holds the head chip A3a and the head chip B3b by attaching the front ends of the head chip A3a and the head chip B3b to the opening 21. The front end face FS of the head chip A3a and the head chip B3b integrated with the front end face FS of the nozzle cap portion 4a is flush with the front end face FS. The base member 4 is bonded to the surface of the cover plate B6b opposite to the actuator substrate B5b.

ヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bは、図1(b)に示すように、基準方向Kの両端部にアクチュエータ基板A5aとアクチュエータ基板B5bを貫通する連通孔19を備え、連通孔19は液室A9aと液室B9bとを連通する。具体的には、アクチュエータ基板A5aの連通孔19は、複数の溝Maが配列する溝列とアクチュエータ基板A5aの基準方向Kにおける両端との間に位置する。アクチュエータ基板B5bの連通孔19は、複数の溝Mbが配列する溝列とアクチュエータ基板B5bの基準方向Kにおける両端との間に位置する。カバープレートA6aの液室A9aは、アクチュエータ基板A5aの各溝Maの後方側に位置し、基準方向Kに連通孔19の位置まで延在する。同様に、カバープレートB6bの液室B9bは、アクチュエータ基板B5bの各溝Mbの後方側に位置し、基準方向Kに連通孔19の位置まで延在する。ノズルプレート11は、ノズルキャップ部4a、ヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bの面一な前方端面FSに接着する。ノズルプレート11は複数のノズル12a、12bを備え、各ノズル12a、12bがチャンネルACa及びチャンネルBCbにそれぞれ連通する。従って、液室A9aに流入する液体は、チャンネルACaに流入するとともに、連通孔19を介して液室B9bに流入し、更にチャンネルBCbに流入する。なお、ヘッドチップA3aはカバープレートA6aの表面に接合する流路部材Aを備え、ヘッドチップB3bはカバープレートB6bの表面に流路部Bを備えるように構成してもよい。この場合に、カバープレートA6a、アクチュエータ基板A5a、アクチュエータ基板B5b及びカバープレートB6bを貫通する連通孔19を設置し、流路部材Aの流路から液室A9aに液体を供給するとともに、流路部材Aの流路から連通孔19を介して流路部Bの流路及びこの流路に連通する液室B9bに液体を供給してもよい。この場合は、カバープレートA6aの液室A9aと連通孔19の間、及び、カバープレートB6bの液室B9bと連通孔19の間にそれぞれ仕切りを設置する。   As shown in FIG. 1B, the head chip A3a and the head chip B3b are provided with a communication hole 19 penetrating the actuator substrate A5a and the actuator substrate B5b at both ends in the reference direction K. The communication hole 19 is connected to the liquid chamber A9a. It communicates with the liquid chamber B9b. Specifically, the communication hole 19 of the actuator substrate A5a is located between a groove row in which the plurality of grooves Ma are arranged and both ends in the reference direction K of the actuator substrate A5a. The communication hole 19 of the actuator substrate B5b is located between the groove row in which the plurality of grooves Mb are arranged and both ends in the reference direction K of the actuator substrate B5b. The liquid chamber A9a of the cover plate A6a is located on the rear side of each groove Ma of the actuator substrate A5a and extends to the position of the communication hole 19 in the reference direction K. Similarly, the liquid chamber B9b of the cover plate B6b is located on the rear side of each groove Mb of the actuator substrate B5b and extends to the position of the communication hole 19 in the reference direction K. The nozzle plate 11 is adhered to the front end surface FS that is flush with the nozzle cap portion 4a, the head chip A3a, and the head chip B3b. The nozzle plate 11 includes a plurality of nozzles 12a and 12b, and the nozzles 12a and 12b communicate with the channel ACa and the channel BCb, respectively. Accordingly, the liquid flowing into the liquid chamber A9a flows into the channel ACa, flows into the liquid chamber B9b through the communication hole 19, and then flows into the channel BCb. The head chip A3a may include a flow path member A that is bonded to the surface of the cover plate A6a, and the head chip B3b may be configured to include the flow path portion B on the surface of the cover plate B6b. In this case, a communication hole 19 that passes through the cover plate A6a, the actuator substrate A5a, the actuator substrate B5b, and the cover plate B6b is installed, and the liquid is supplied from the flow path of the flow path member A to the liquid chamber A9a. The liquid may be supplied from the channel A to the channel of the channel part B and the liquid chamber B9b communicating with the channel via the communication hole 19. In this case, a partition is installed between the liquid chamber A9a of the cover plate A6a and the communication hole 19, and between the liquid chamber B9b of the cover plate B6b and the communication hole 19, respectively.

温度検出素子13は、ベース部材4のカバープレートB6b側の表面であり、カバープレートB6bの近傍に位置する。ベース部材4はヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bの後方に回路基板15を備える。温度検出素子13と回路基板15はベース部材4のカバープレートB6bの側の表面に沿ってリード配線17を介して電気的に接続する。これにより、ヘッドチップ3の温度を高精度に素早く検出することができる。また、リード配線17の設置は容易であり、ベース部材4として金属材料を使用すれば、リード配線17を外部電磁ノイズから保護することができる。   The temperature detection element 13 is the surface of the base member 4 on the cover plate B6b side, and is located in the vicinity of the cover plate B6b. The base member 4 includes a circuit board 15 behind the head chip A3a and the head chip B3b. The temperature detection element 13 and the circuit board 15 are electrically connected via the lead wiring 17 along the surface of the base member 4 on the cover plate B6b side. Thereby, the temperature of the head chip 3 can be detected quickly with high accuracy. Moreover, the installation of the lead wiring 17 is easy, and if a metal material is used as the base member 4, the lead wiring 17 can be protected from external electromagnetic noise.

アクチュエータ基板A5a及びアクチュエータ基板B5bは圧電体材料、例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)セラミックスを使用することができる。カバープレートA6a及びカバープレートB6bはプラスチック材料やセラミックス材料を使用することができる。カバープレートにアクチュエータ基板と同じ材料を使用すれば、線膨張係数が近似し、温度変化に対する変形を最小にすることができる。ベース部材4は、熱伝導プラスチック材料やアルミニウム等の金属材料を使用する。ベース部材4の熱伝導性を向上させることにより、ヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bから生成される熱を速やかに拡散させることができる。   The actuator substrate A5a and the actuator substrate B5b can use a piezoelectric material, for example, PZT (lead zirconate titanate) ceramics. A plastic material or a ceramic material can be used for the cover plate A6a and the cover plate B6b. If the same material as that of the actuator substrate is used for the cover plate, the linear expansion coefficient is approximated, and the deformation with respect to the temperature change can be minimized. The base member 4 uses a heat conductive plastic material or a metal material such as aluminum. By improving the thermal conductivity of the base member 4, the heat generated from the head chip A3a and the head chip B3b can be quickly diffused.

ノズルキャップ部4aをベース部材4と同一材料の一体物として構成するので、部品点数を増加させることなく高密度記録の可能な液体噴射ヘッド1を形成することができる。また、液室A9aと液室B9bの間に連通孔19を設けたので、液室A9a又は液室B9bのいずれか一方から液体を供給すればよい。そのため、供給する液体の圧力変動を緩和させる図示しない圧力緩衝ユニットを1台使用すればよく、厚さが薄く軽量化した液体噴射ヘッド1を構成することができる。   Since the nozzle cap portion 4a is configured as an integral body of the same material as the base member 4, the liquid jet head 1 capable of high density recording can be formed without increasing the number of parts. Moreover, since the communication hole 19 is provided between the liquid chamber A9a and the liquid chamber B9b, the liquid may be supplied from either the liquid chamber A9a or the liquid chamber B9b. Therefore, it is sufficient to use one pressure buffer unit (not shown) that relieves fluctuations in the pressure of the liquid to be supplied, and the liquid jet head 1 having a small thickness and a light weight can be configured.

なお、チャンネルACa及びチャンネルBCbは、本実施形態において、全て液滴を吐出する吐出チャンネルにより構成しているが、これに代えて、吐出チャンネルと非吐出チャンネルが基準方向Kに交互に配列するものであってもよい。この場合、カバープレートA6aの液室A9a及びカバープレートB6bの液室B9bにはスリットを設け、液室A9a及び液室B9bが吐出チャンネルのみに連通し、非吐出チャンネルには連通しないように形成すればよい。また、本実施形態ではヘッドチップA3aとヘッドチップB3bの2つのヘッドチップを備えるが、3つ以上のヘッドチップを積層してもよい。   In this embodiment, the channel ACa and the channel BCb are all constituted by ejection channels that eject droplets. Instead, the ejection channels and the non-ejection channels are alternately arranged in the reference direction K. It may be. In this case, the liquid chamber A9a of the cover plate A6a and the liquid chamber B9b of the cover plate B6b are provided with slits so that the liquid chamber A9a and the liquid chamber B9b communicate only with the discharge channel and not with the non-discharge channel. That's fine. In the present embodiment, the head chip A3a and the head chip B3b are provided with two head chips, but three or more head chips may be stacked.

(第二実施形態)
図2は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の模式的な断面図である。図3は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の模式的な分解斜視図である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
(Second embodiment)
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the liquid jet head 1 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic exploded perspective view of the liquid jet head 1 according to the second embodiment of the present invention. The same portions or portions having the same function are denoted by the same reference numerals.

図2に示すように、液体噴射ヘッド1は、ヘッドチップA3aと、ヘッドチップB3bと、ヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bと係合するベース部材4と、カバープレートB6bの近傍のベース部材4に位置する温度検出素子13と、を備える。ヘッドチップA3aは、アクチュエータ基板A5aと、アクチュエータ基板A5aの表面に接合するカバープレートA6aと、カバープレートA6aの表面に接合する流路部材A8aとを有する。ヘッドチップB3bは、アクチュエータ基板B5bと、アクチュエータ基板B5bの表面に接合するカバープレートB6bとを有する。ヘッドチップA3aとヘッドチップB3bは、アクチュエータ基板B5bの裏面をアクチュエータ基板A5aの裏面に接合して一体化している。ヘッドチップA3aとヘッドチップB3bは、アクチュエータ基板A5aの前方端面FSとアクチュエータ基板B5bの前方端面FSを面一にして一体化する。ベース部材4は、ノズルキャップ部4a及び流路部B4bを一体的に備える。ノズルキャップ部4aは、一体化するヘッドチップA3aとヘッドチップB3bの前方端部を開口部21に装着して保持する。流路部B4bは、カバープレートB6bの表面に接合する。なお、本実施形態において、流路部B4bはベース部材4と同じ材料を使用しベース部材4と一体的に構成されるが、これに代えて、流路部B4bをベース部材4から分離しベース部材4と別体の流路部材としてもよい。   As shown in FIG. 2, the liquid jet head 1 is positioned on the head chip A3a, the head chip B3b, the base member 4 that engages with the head chip A3a and the head chip B3b, and the base member 4 in the vicinity of the cover plate B6b. And a temperature detecting element 13 for performing the above. The head chip A3a includes an actuator substrate A5a, a cover plate A6a bonded to the surface of the actuator substrate A5a, and a flow path member A8a bonded to the surface of the cover plate A6a. The head chip B3b has an actuator substrate B5b and a cover plate B6b joined to the surface of the actuator substrate B5b. The head chip A3a and the head chip B3b are integrated by joining the back surface of the actuator substrate B5b to the back surface of the actuator substrate A5a. The head chip A3a and the head chip B3b are integrated with the front end surface FS of the actuator substrate A5a and the front end surface FS of the actuator substrate B5b being flush with each other. The base member 4 integrally includes a nozzle cap portion 4a and a flow path portion B4b. The nozzle cap portion 4a attaches and holds the front end portions of the head chip A3a and the head chip B3b to be integrated to the opening portion 21. The flow path part B4b is joined to the surface of the cover plate B6b. In the present embodiment, the flow path part B4b is configured integrally with the base member 4 using the same material as the base member 4, but instead, the flow path part B4b is separated from the base member 4 and the base member 4 is formed. The member 4 may be a separate flow path member.

ヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bはそれぞれ液体に圧力を印加するチャンネルACa及びチャンネルBCbを備える。カバープレートA6a及びカバープレートB6bはチャンネルACa及びチャンネルBCbにそれぞれ連通する液室A9a及び液室B9bを備える。流路部材A8aは液室A9aに連通する流路A10aを備え、流路部B4bは液室B9bに連通する流路B10bを備える。ノズルプレート11はヘッドチップA3a、ヘッドチップB3b及びノズルキャップ部4aの前方端面FSに接着する。更に、ヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bは、流路A10a及び流路B10bを連通する連通孔19を備える。流路部材A8aの後方側に起立する接続部20に供給される液体は、液室A9aから各チャンネルACaに流入し、更に、連通孔19から流路B10b及び液室B9bに流入し、各チャンネルBCbに流入する。   Each of the head chip A3a and the head chip B3b includes a channel ACa and a channel BCb that apply pressure to the liquid. The cover plate A6a and the cover plate B6b include a liquid chamber A9a and a liquid chamber B9b communicating with the channel ACa and the channel BCb, respectively. The channel member A8a includes a channel A10a that communicates with the liquid chamber A9a, and the channel unit B4b includes a channel B10b that communicates with the liquid chamber B9b. The nozzle plate 11 is bonded to the front end face FS of the head chip A3a, the head chip B3b, and the nozzle cap portion 4a. Furthermore, the head chip A3a and the head chip B3b include a communication hole 19 that communicates the flow path A10a and the flow path B10b. The liquid supplied to the connecting portion 20 standing on the rear side of the flow path member A8a flows into the channels ACa from the liquid chamber A9a, and further flows into the flow paths B10b and B9b from the communication holes 19 It flows into BCb.

ベース部材4は、流路部B4bの近傍に温度検出素子13を備える。具体的に、図3に示すように、ベース部材4はカバープレートB6bの側の表面に温度検出素子13を収納する凹部14を備える。凹部14は、流路部B4bの基準方向Kの略中央であり流路部B4bの後方側に位置する。この凹部14に温度検出素子13を収納すれば、流路部B4bを流れる液体の温度を高精度に素早く検出することができる。また、凹部14は発熱源であるヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bに近接するので、チャンネルACa及びチャンネルBCbから実際に吐出される液体の温度に近い温度を検出することができる。   The base member 4 includes a temperature detection element 13 in the vicinity of the flow path part B4b. Specifically, as shown in FIG. 3, the base member 4 includes a concave portion 14 that houses the temperature detection element 13 on the surface on the cover plate B6b side. The concave portion 14 is located approximately at the center in the reference direction K of the flow path portion B4b and is located on the rear side of the flow path portion B4b. If the temperature detecting element 13 is housed in the concave portion 14, the temperature of the liquid flowing through the flow path portion B4b can be quickly detected with high accuracy. Further, since the recess 14 is close to the head chip A3a and the head chip B3b, which are heat generation sources, a temperature close to the temperature of the liquid actually discharged from the channel ACa and the channel BCb can be detected.

ベース部材4は、凹部14の後方側に放熱部4cと、更に後方側に基板保持部4dを備える。放熱部4cはベース部材4の凹部14の側の表面が板厚方向に突出する。基板保持部4dは、2本の保持部材22を介して外部制御部と電気的に接続する回路基板15を保持する。つまり、ベース部材4はヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bの後方に回路基板15を装着する。温度検出素子13は、ベース部材4のカバープレートB6bの側の表面に位置する。温度検出素子13と回路基板15は、ベース部材4のカバープレートB6bの側の表面に沿うリード配線17を介して電気的に接続する。ベース部材4の凹部14側と回路基板15の接続側が同じ側を向いているので、温度検出素子13とリード配線17を凹部14及び回路基板15に簡単に設置することができる。また、ベース部材4として金属材料を使用すれば、リード配線17を外部電磁ノイズから保護することができる。   The base member 4 includes a heat radiating portion 4c on the rear side of the recess 14 and a substrate holding portion 4d on the rear side. The surface of the heat radiating portion 4c on the concave portion 14 side of the base member 4 protrudes in the plate thickness direction. The board holding unit 4d holds the circuit board 15 that is electrically connected to the external control unit via the two holding members 22. That is, the base member 4 mounts the circuit board 15 behind the head chip A3a and the head chip B3b. The temperature detection element 13 is located on the surface of the base member 4 on the cover plate B6b side. The temperature detection element 13 and the circuit board 15 are electrically connected via a lead wiring 17 along the surface of the base member 4 on the cover plate B6b side. Since the recess 14 side of the base member 4 and the connection side of the circuit board 15 face the same side, the temperature detecting element 13 and the lead wiring 17 can be easily installed in the recess 14 and the circuit board 15. If a metal material is used as the base member 4, the lead wiring 17 can be protected from external electromagnetic noise.

液体噴射ヘッド1は、更に、回路基板15とヘッドチップA3a及びヘッドチップB3bとの間を電気的に接続するフレキシブル基板16を備える。フレキシブル基板16は、チャンネルACa及びチャンネルBCbを駆動する駆動信号を生成するドライバIC18を備える。具体的には、フレキシブル基板B16bは、前方端部がアクチュエータ基板B5bの後方端近傍の表面に接続し、後方側から延出する延出部16xが回路基板15に接続する。フレキシブル基板A16aは、前方端部がアクチュエータ基板A5aの後方端近傍の表面に接続し、後方側がフレキシブル基板B16bに接続する。フレキシブル基板B16bはフレキシブル基板A16aよりも後方側に4つのドライバIC18を保持する。このドライバIC18が位置する領域のフレキシブル基板B16bは図示しない熱伝導材料を介して放熱部4cに接触する。   The liquid ejecting head 1 further includes a flexible substrate 16 that electrically connects the circuit board 15 and the head chip A3a and the head chip B3b. The flexible substrate 16 includes a driver IC 18 that generates drive signals for driving the channels ACa and BCb. Specifically, the flexible substrate B16b has a front end connected to the surface near the rear end of the actuator substrate B5b, and an extended portion 16x extending from the rear side is connected to the circuit board 15. The flexible substrate A16a has a front end connected to the surface near the rear end of the actuator substrate A5a and a rear side connected to the flexible substrate B16b. The flexible board B16b holds four driver ICs 18 on the rear side of the flexible board A16a. The flexible substrate B16b in the region where the driver IC 18 is located is in contact with the heat radiating portion 4c via a heat conductive material (not shown).

4つのドライバIC18のフレキシブル基板B16bとは反対側の表面に放熱板23が接触する。(なお、図3では放熱板23を省略している。)放熱板23は4つのドライバIC18を放熱部4c側に押圧するようにベース部材4に係合する。これにより、ドライバIC18が生成する熱はドライバIC18の表面側と裏面側の両面側に放熱される。放熱板23及びベース部材4として金属材料を使用すれば、フレキシブル基板B16b、フレキシブル基板A16a及びドライバIC18を外部電磁ノイズから保護することができる。   The heat sink 23 is in contact with the surface of the four driver ICs 18 opposite to the flexible substrate B16b. (The heat sink 23 is omitted in FIG. 3). The heat sink 23 engages with the base member 4 so as to press the four driver ICs 18 toward the heat radiating portion 4c. As a result, the heat generated by the driver IC 18 is dissipated to both the front and back sides of the driver IC 18. If a metal material is used for the heat sink 23 and the base member 4, the flexible substrate B16b, the flexible substrate A16a, and the driver IC 18 can be protected from external electromagnetic noise.

フレキシブル基板B16bは回路基板15と電気的に接続し、回路基板15から画像信号を取得する。ドライバIC18は画像信号からチャンネルACa及びチャンネルBCbを駆動する駆動信号を生成する。フレキシブル基板B16bは、アクチュエータ基板B5bと電気的に接続し、チャンネルBCbに駆動信号を供給する。フレキシブル基板A16aはフレキシブル基板B16bとアクチュエータ基板A5aとの間を電気的に接続し、チャンネルACaに駆動信号を供給する。   The flexible substrate B16b is electrically connected to the circuit board 15 and acquires an image signal from the circuit board 15. The driver IC 18 generates a drive signal for driving the channel ACa and the channel BCb from the image signal. The flexible substrate B16b is electrically connected to the actuator substrate B5b and supplies a drive signal to the channel BCb. The flexible substrate A16a electrically connects the flexible substrate B16b and the actuator substrate A5a, and supplies a drive signal to the channel ACa.

このように、ベース部材4に流路部B4bを設置し、ノズルキャップ部4aと同一材料の一体物として構成するので、部品点数を増加させることなく高密度記録が可能な液体噴射ヘッド1を構成することができる。また、液体噴射ヘッド1を衝立状に立設したときの板厚方向が薄いので、複数の液体噴射ヘッド1を高密度に実装することができる。また、一か所の接続部20から液体を流入するので液体の圧力変動を緩和させるための図示しない圧力緩衝ユニットを1台使用すればよく、液体噴射ヘッド1の厚さを薄く、軽量化することができる。   As described above, the flow path part B4b is installed in the base member 4 and is configured as an integral body of the same material as the nozzle cap part 4a, so that the liquid jet head 1 capable of high-density recording without increasing the number of parts is configured. can do. Further, since the thickness direction when the liquid ejecting heads 1 are erected in a partition is thin, a plurality of liquid ejecting heads 1 can be mounted with high density. Further, since the liquid flows in from one connecting portion 20, it is sufficient to use one pressure buffer unit (not shown) for reducing the pressure fluctuation of the liquid, and the thickness of the liquid jet head 1 is reduced and the weight is reduced. be able to.

なお、本実施形態では凹部14に温度検出素子13を収納するが、ベース部材4に凹部14を形成しないで温度検出素子13を流路部B4bの近傍に接着剤等を用いて固定してもよい。また、本実施形態では凹部14を流路部B4bの基準方向Kにおける略中央の位置に設置するが、これに代えて、凹部14を流路部B4bの基準方向Kにおける端部側に設置してもよい。また、本実施形態では温度検出素子13をベース部材4の流路部B4bの側に設置するが、これに代えて、温度検出素子13をベース部材4の流路部B4bとは反対側の外面近傍に設置してもよい。また、回路基板15、フレキシブル基板A16a及びフレキシブル基板B16bの構成や配置は本発明の一実施形態であり、本発明はこの構成に限定されない。また、アクチュエータ基板A5a、アクチュエータ基板B5b、ベース部材4の材料は第一実施形態と同様なので説明を省略する。   In this embodiment, the temperature detection element 13 is housed in the recess 14. However, the temperature detection element 13 may be fixed in the vicinity of the flow path portion B 4 b using an adhesive or the like without forming the recess 14 in the base member 4. Good. In this embodiment, the concave portion 14 is installed at a substantially central position in the reference direction K of the flow path portion B4b. Instead, the concave portion 14 is installed on the end side in the reference direction K of the flow path portion B4b. May be. In the present embodiment, the temperature detection element 13 is installed on the flow path part B4b side of the base member 4, but instead, the temperature detection element 13 is placed on the outer surface of the base member 4 opposite to the flow path part B4b. You may install in the vicinity. In addition, the configuration and arrangement of the circuit board 15, the flexible substrate A16a, and the flexible substrate B16b are one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to this configuration. Further, the materials of the actuator substrate A5a, the actuator substrate B5b, and the base member 4 are the same as those in the first embodiment, and the description thereof is omitted.

(第三実施形態)
図4は本発明の第三実施形態に係る液体噴射装置30の模式的な斜視図である。液体噴射装置30は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構40と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給し、液体噴射ヘッド1、1’から液体を排出する流路部35、35’と、流路部35、35’に連通する液体ポンプ33、33’及び液体タンク34、34’とを備えている。各液体噴射ヘッド1、1’は既に説明した第一又は第二実施形態の液体噴射ヘッドを使用する。
(Third embodiment)
FIG. 4 is a schematic perspective view of the liquid ejecting apparatus 30 according to the third embodiment of the present invention. The liquid ejecting apparatus 30 includes a moving mechanism 40 that reciprocates the liquid ejecting heads 1 and 1 ′, and a flow path unit that supplies the liquid to the liquid ejecting heads 1 and 1 ′ and discharges the liquid from the liquid ejecting heads 1 and 1 ′. 35, 35 ′, liquid pumps 33, 33 ′ and liquid tanks 34, 34 ′ communicating with the flow path portions 35, 35 ′. Each liquid ejecting head 1, 1 ′ uses the liquid ejecting head of the first or second embodiment already described.

液体噴射装置30は、紙等の被記録媒体44を主走査方向に搬送する一対の搬送手段41、42と、被記録媒体44に液体を吐出する液体噴射ヘッド1、1’と、液体噴射ヘッド1、1’を載置するキャリッジユニット43と、液体タンク34、34’に貯留した液体を流路部35、35’に押圧して供給する液体ポンプ33、33’と、液体噴射ヘッド1、1’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構40とを備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド1、1’、移動機構40、搬送手段41、42を制御して駆動する。   The liquid ejecting apparatus 30 includes a pair of conveying units 41 and 42 that convey a recording medium 44 such as paper in the main scanning direction, liquid ejecting heads 1 and 1 ′ that eject liquid onto the recording medium 44, and a liquid ejecting head. 1, 1 ′ carriage unit 43, liquid tanks 34, 34 ′ and liquid pumps 33, 33 ′ that supply the liquid stored in the liquid tanks 34, 34 ′ to the flow path portions 35, 35 ′, the liquid jet head 1, And a moving mechanism 40 that scans 1 ′ in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. A control unit (not shown) controls and drives the liquid ejecting heads 1, 1 ′, the moving mechanism 40, and the conveying units 41 and 42.

一対の搬送手段41、42は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに回転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体44を主走査方向に搬送する。移動機構40は、副走査方向に延びた一対のガイドレール36、37と、一対のガイドレール36、37に沿って摺動可能なキャリッジユニット43と、キャリッジユニット43を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト38と、この無端ベルト38を図示しないプーリを介して周回させるモータ39を備えている。   The pair of conveying means 41 and 42 includes a grid roller and a pinch roller that extend in the sub-scanning direction and rotate while contacting the roller surface. The recording medium 44 sandwiched between the rollers is rotated in the main scanning direction by rotating the grid roller and the pinch roller around the axis by a motor (not shown). The moving mechanism 40 couples a pair of guide rails 36 and 37 extending in the sub-scanning direction, a carriage unit 43 slidable along the pair of guide rails 36 and 37, and the carriage unit 43 to move in the sub-scanning direction. An endless belt 38 is provided, and a motor 39 that rotates the endless belt 38 via a pulley (not shown) is provided.

キャリッジユニット43は、複数の液体噴射ヘッド1、1’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの4種類の液滴を吐出する。液体タンク34、34’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ33、33’、流路部35、35’を介して液体噴射ヘッド1、1’に供給する。各液体噴射ヘッド1、1’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット43を駆動するモータ39の回転及び被記録媒体44の搬送速度を制御することにより、被記録媒体44上に任意のパターンを記録することできる。   The carriage unit 43 mounts a plurality of liquid jet heads 1, 1 ′, and ejects, for example, four types of liquid droplets of yellow, magenta, cyan, and black. The liquid tanks 34 and 34 'store liquids of corresponding colors and supply them to the liquid jet heads 1 and 1' via the liquid pumps 33 and 33 'and the flow path portions 35 and 35'. Each liquid ejecting head 1, 1 ′ ejects droplets of each color according to the drive signal. An arbitrary pattern is recorded on the recording medium 44 by controlling the timing at which liquid is ejected from the liquid ejecting heads 1, 1 ′, the rotation of the motor 39 that drives the carriage unit 43, and the conveyance speed of the recording medium 44. I can.

なお、本実施形態は、移動機構40がキャリッジユニット43と被記録媒体44を移動させて記録する液体噴射装置30であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を二次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。   In this embodiment, the moving mechanism 40 moves the carriage unit 43 and the recording medium 44 to perform recording, but instead, the carriage unit is fixed and the moving mechanism is the recording medium. May be a liquid ejecting apparatus that moves and records two-dimensionally. That is, the moving mechanism may be any mechanism that relatively moves the liquid ejecting head and the recording medium.

1 液体噴射ヘッド
3 ヘッドチップ、3a ヘッドチップA、3b ヘッドチップB
4 ベース部材4、4a ノズルキャップ部、4b 流路部B、4c 放熱部、4d 基板保持部
5a アクチュエータ基板A、5b アクチュエータ基板B
6a カバープレートA、6b カバープレートB
8a 流路部材A
9a 液室A、9b 液室B
10a 流路A、10b 流路B
11 ノズルプレート
12a、12b ノズル
13 温度検出素子
14 凹部
15 回路基板
16 フレキシブル基板、16a フレキシブル基板A、16b フレキシブル基板B、16x 延出部
17 リード配線
18 ドライバIC
19 連通孔
20 接続部
21 開口部
22 保持部材
23 放熱板
Ca チャンネルA、Cb チャンネルB、FS 前方端面、K 基準方向、Ma、Mb溝
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid ejecting head 3 Head chip, 3a Head chip A, 3b Head chip B
4 Base member 4, 4a Nozzle cap part, 4b Flow path part B, 4c Heat radiation part, 4d Substrate holding part 5a Actuator board A, 5b Actuator board B
6a Cover plate A, 6b Cover plate B
8a Channel member A
9a Liquid chamber A, 9b Liquid chamber B
10a Channel A, 10b Channel B
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Nozzle plate 12a, 12b Nozzle 13 Temperature detection element 14 Recessed part 15 Circuit board 16 Flexible board, 16a Flexible board A, 16b Flexible board B, 16x Extension part 17 Lead wiring 18 Driver IC
19 communication hole 20 connection part 21 opening part 22 holding member 23 heat sink Ca channel A, Cb channel B, FS front end face, K reference direction, Ma, Mb groove

Claims (11)

アクチュエータ基板Aと、前記アクチュエータ基板Aの表面に接合するカバープレートAとを有するヘッドチップAと、
アクチュエータ基板Bと、前記アクチュエータ基板Bの表面に接合するカバープレートBとを有し、前記アクチュエータ基板Bの裏面が前記アクチュエータ基板Aの裏面に接合するヘッドチップBと、
前記ヘッドチップA及び前記ヘッドチップBと係合するベース部材と、
前記カバープレートBの近傍の前記ベース部材に位置する温度検出素子と、を備える液体噴射ヘッド。
A head chip A having an actuator substrate A and a cover plate A bonded to the surface of the actuator substrate A;
A head chip B having an actuator substrate B and a cover plate B bonded to the surface of the actuator substrate B, the back surface of the actuator substrate B being bonded to the back surface of the actuator substrate A;
A base member engaged with the head chip A and the head chip B;
And a temperature detection element positioned on the base member in the vicinity of the cover plate B.
前記ヘッドチップAは前記カバープレートAの表面に接合する流路部材Aを備え、
前記ヘッドチップBは前記カバープレートBの表面に接合する流路部Bを備える請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
The head chip A includes a flow path member A joined to the surface of the cover plate A,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the head chip B includes a flow path portion B that is joined to a surface of the cover plate B.
前記ベース部材と前記流路部Bは同じ材料からなる一体物である請求項2に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 2, wherein the base member and the flow path part B are an integral body made of the same material. 前記アクチュエータ基板Aは液体に圧力を印加するチャンネルAを備え、前記カバープレートAは前記チャンネルAに連通する液室Aを備え、前記流路部材Aは前記液室Aに連通する流路Aを備え、
前記アクチュエータ基板Bは液体に圧力を印加するチャンネルBを備え、前記カバープレートBは前記チャンネルBに連通する液室Bを備え、前記流路部Bは前記液室Bに連通する流路Bを備え、
前記ヘッドチップAと前記ヘッドチップBは、前記流路Aと前記流路Bを連通する連通孔を有する請求項2又は3に記載の液体噴射ヘッド。
The actuator substrate A includes a channel A that applies pressure to the liquid, the cover plate A includes a liquid chamber A that communicates with the channel A, and the flow path member A includes a flow path A that communicates with the liquid chamber A. Prepared,
The actuator substrate B includes a channel B that applies pressure to the liquid, the cover plate B includes a liquid chamber B that communicates with the channel B, and the flow path portion B includes a flow path B that communicates with the liquid chamber B. Prepared,
The liquid ejecting head according to claim 2, wherein the head chip A and the head chip B have a communication hole that communicates the flow path A and the flow path B. 5.
回路基板と、前記回路基板と前記ヘッドチップA及び前記ヘッドチップBとの間を電気的に接続するフレキシブル基板と、を更に備え、
前記温度検出素子は、前記ベース部材の前記カバープレートBの側の表面に位置し、
前記温度検出素子と前記回路基板は、前記ベース部材の前記カバープレートBの側の表面に沿うリード配線を介して電気的に接続する請求項1〜4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
A circuit board; and a flexible board that electrically connects the circuit board to the head chip A and the head chip B, and
The temperature detection element is located on the surface of the base member on the cover plate B side,
5. The liquid jet head according to claim 1, wherein the temperature detection element and the circuit board are electrically connected via a lead wiring along a surface of the base member on the cover plate B side. .
前記フレキシブル基板は駆動信号を生成するドライバICを備え、
前記ベース部材は放熱部を備え、
前記ドライバICが位置する前記フレキシブル基板は前記放熱部に熱伝導材料を介して接触する請求項5に記載の液体噴射ヘッド。
The flexible substrate includes a driver IC that generates a drive signal;
The base member includes a heat dissipation part,
The liquid ejecting head according to claim 5, wherein the flexible substrate on which the driver IC is located contacts the heat radiating portion via a heat conductive material.
前記ベース部材は、前記ヘッドチップA及び前記ヘッドチップBの後方に前記回路基板を装着する請求項5又は6に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 5, wherein the base member mounts the circuit board behind the head chip A and the head chip B. 8. 前記ベース部材は、前記カバープレートBの側の表面に前記温度検出素子を収納する凹部を備える請求項1〜7のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the base member includes a recess that houses the temperature detection element on a surface on the cover plate B side. 前記ベース部材は、前記ヘッドチップAと前記ヘッドチップBを装着するノズルキャップ部を有する請求項1〜8のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the base member has a nozzle cap portion on which the head chip A and the head chip B are mounted. 複数のノズルを有し、前記ノズルキャップ部の前方端面に接着するノズルプレートを更に備え、
前記ノズルプレートは、前記ヘッドチップA及び前記ヘッドチップBの前方端面に接着する請求項9に記載の液体噴射ヘッド。
A nozzle plate that has a plurality of nozzles and that adheres to the front end face of the nozzle cap portion;
The liquid ejecting head according to claim 9, wherein the nozzle plate is bonded to front end surfaces of the head chip A and the head chip B.
請求項1に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
A liquid ejecting head according to claim 1;
A moving mechanism for relatively moving the liquid ejecting head and the recording medium;
A liquid supply pipe for supplying a liquid to the liquid ejecting head;
And a liquid tank that supplies the liquid to the liquid supply pipe.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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