JP2015177459A - 水晶振動片の製造方法、水晶振動片及び水晶振動子 - Google Patents

Abstract

【課題】水晶振動片の対称性を維持できる水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶基板Ｗにエッチング加工を施すことによって、フレーム２に連結片３Ａを介して連結された水晶振動片１Ａを形成する工程と、水晶振動片１Ａを連結片３Ａから破断させることによって、水晶振動片１Ａを連結片３Ａから分離する工程と、を含み、水晶基板Ｗにエッチング加工を施す工程において、水晶振動片１Ａの中心線Ｏが通る位置の近傍に、若しくは、水晶振動片Ｏの中心線を挟んで略対称となる位置に、隅部４ａ，４ｂの角度が９０°よりも小さくなる鋭角部５を形成する。
【選択図】図２

Description

本発明は、水晶振動片の製造方法、水晶振動片及び水晶振動子に関する。

近年、水晶振動子を使用した電子機器の小型化の要求から、水晶振動子を小型パッケージ化する必要性が高まっている。このため、水晶振動子の主要部となる水晶振動片を従来の機械加工ではなく、フォトリソグラフィ技術を用いて微細に形成することが提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。具体的に、特許文献１には、水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成した後に、水晶振動片を連結片から破断させることによって、水晶振動片を連結片から分離する技術が開示されている。

特開２０１１−１３９５０８号公報

ところで、上述した水晶振動片の製造方法では、水晶基板のエッチング加工の際に、水晶振動片と連結片との間の隅部において水晶基板がエッチングされずに残る、いわゆるエッチング残りが発生することがある。このエッチング残りは、隅部の角度が鋭角になるほど発生し易く、隅部の角度が鈍角になるに従って発生し難くなくなる。

水晶振動片は、隅部を基点に連結片から破断させるため、この隅部にエッチング残りがあると、エッチング残りを基点にして破断することが確認されている。したがって、エッチング残りは、水晶振動片を連結片から破断した後も水晶振動片の端面に残ることになる。

しかしながら、このようなエッチング残りは、発生する位置によって水晶振動片に非対称性を生じさせる。水晶振動子は、水晶振動片の対称性が悪くなると、スプリアス（不要波）の発生等により安定した振動特性を確保することが困難となってしまう。

本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、水晶振動片の対称性を維持することによって、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保できる水晶振動片の製造方法、水晶振動片及び水晶振動子を提供することを目的とする。

本発明に係る水晶振動片の製造方法は、水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成する工程と、水晶振動片を連結片から破断させることによって、水晶振動片を連結片から分離する工程と、を含み、水晶基板にエッチング加工を施す工程において、水晶振動片の中心線が通る位置の近傍に、若しくは、水晶振動片の中心線を挟んで略対称となる位置に、水晶振動片と連結片との間の隅部の角度が９０°よりも小さくなる鋭角部を形成することを特徴とする。

以上のような水晶振動片の製造方法では、水晶振動片の中心線が通る位置の近傍に、若しくは、水晶振動片の中心線を挟んで略対称となる位置に、隅部の角度が９０°よりも小さくなる鋭角部を形成することで、この鋭角部にエッチング残りが形成される。エッチング残りは、破断後も水晶振動片の端面に破断痕として残る。したがって、破断痕は、水晶振動片の中心線が通る位置の近傍にある、若しくは、水晶振動片の中心線を挟んで略対称となる位置にあるため、この水晶振動片の対称性が維持される。これにより、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保できる水晶振動片を製造することが可能である。

なお、ここで言う「水晶振動片の中心線が通る位置の近傍」とは、水晶振動片の中心線が通る位置だけでなく、この中心線を通る位置からのずれを許容することを意味する。すなわち、破断痕が形成される位置については、水晶振動片の中心線を通る位置から幅方向の両側にそれぞれ１００μｍ以内の範囲でずれていたとしても、水晶振動片の非対称性に基づくスプリアスを抑制しながら、水晶振動片の対称性が維持されることを確認した。したがって、「水晶振動片の中心線が通る位置の近傍」とは、水晶振動片の対称性が維持される範囲として、水晶振動片の中心線が通る位置と共に、水晶振動片の中心線を通る位置から幅方向の両側にそれぞれ１００μｍ以内の範囲を含むものとする。

また、ここで言う「水晶振動片の中心線を挟んで略対称となる位置」とは、水晶振動片の中心線を挟んで対称となる位置だけでなく、この対称となる位置からのずれを許容することを意味する。すなわち、破断痕が形成される位置については、破断痕の中心線からの距離の差が５０μｍ以内の範囲でずれていたとしても、水晶振動片の非対称性に基づくスプリアスを抑制しながら、水晶振動片の対称性が維持されることを確認した。したがって、「水晶振動片の中心線を挟んで略対称となる位置」とは、水晶振動片の対称性が維持される範囲として、水晶振動片の中心線を挟んで対称となる位置と共に、中心線からの距離の差が５０μｍ以内の範囲を含むものとする。

また、本発明に係る水晶振動片の製造方法は、水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成する工程と、水晶振動片を連結片から破断させることによって、水晶振動片を連結片から分離する工程と、を含み、水晶基板にエッチング加工を施す工程において、水晶振動片の中心線を挟んだ両側の角部に接続された連結片をそれぞれ形成すると共に、連結片を挟んだ両側に、水晶振動片と連結片との間の隅部の角度が９０°よりも大きくなる鈍角部をそれぞれ形成することを特徴とする。

以上のような水晶振動片の製造方法では、水晶振動片の中心線を挟んだ両側の角部に接続された連結片を形成すると共に、連結片を挟んだ両側に、隅部の角度が９０°よりも大きくなる鈍角部をそれぞれ形成することで、これらの鈍角部にエッチング残りが生じるのを防ぐことができる。また、水晶振動片の中心線を挟んだ両側の角部には、連結片から破断したときのカット面が形成される。したがって、カット面は、水晶振動片の中心線を挟んだ両側の角部にあるため、この水晶振動片の対称性が維持される。これにより、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保できる水晶振動片を製造することが可能である。

また、本発明に係る水晶振動片は、水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成する工程と、水晶振動片を連結片から破断させることによって、水晶振動片を連結片から分離する工程と、を経ることによって作製されるものであって、その中心線が通る位置の近傍に、若しくは、その中心線を挟んで略対称となる位置に、連結片から破断したときの破断痕を有することを特徴とする。

以上のような水晶振動片は、その対称性が維持されることによって、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保することが可能である。

また、本発明に係る水晶振動片は、水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成する工程と、水晶振動片を連結片から破断させることによって、水晶振動片を連結片から分離する工程と、を経ることによって作製されるものであって、その中心線を挟んだ両側の角部に、連結片から破断したときのカット面を有することを特徴とする。

以上のような水晶振動片は、その対称性が維持されることによって、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保することが可能である。

また、本発明に係る水晶振動片は、カット面が形成された角部とは反対側に位置する角部がカットされた形状を有する構成であってもよい。この場合、水晶振動片の対称性を更に確保することが可能である。

また、本発明に係る水晶振動子は、上記何れかの水晶振動片を備えることを特徴とする。 以上のような水晶振動子では、水晶振動片の対称性が維持されるため、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保することが可能である。

以上のように、本発明によれば、水晶振動片の対称性を維持することによって、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保できる水晶振動片の製造方法、水晶振動片及び水晶振動子を提供することが可能である。

水晶振動片の製造工程を説明するための模式図である。 本発明の第１の実施形態に係る水晶振動片及びその製造方法を説明するための平面図である。 本発明の第２の実施形態に係る水晶振動片及びその製造方法を説明するための平面図である。 本発明の第３の実施形態に係る水晶振動片及びその製造方法を説明するための平面図である。 図４に示す水晶振動片の変形例を示す平面図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の全ての図面においては、各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。

先ず、水晶振動片の製造工程について、図１を参照しながら説明する。なお、図１は、水晶振動片の製造工程を説明するための模式図である。

水晶振動片を製造する際は、先ず、図１中に示す（ａ）の工程では、例えばオートクレーブ等で作製した水晶の原石（人工水晶）Ｂを準備する。次に、図１中に示す（ｂ）の工程では、水晶の原石Ｂの成形（ランバート加工）を行う。次に、図１中に示す（ｃ）の工程では、成形後の水晶の原石Ｂから例えばワイヤーソーなどを用いたスライス加工によって、ＡＴカット面でカットされた水晶基板（ウェハ）Ｗを切り出す。なお、水晶基板Ｗの平面形状については、特に限定されるものではなく、例えば多角形や円形のものなどを挙げることができる。次に、図１中に示す（ｄ）の工程では、切り出された水晶基板Ｗに対して厚み調整及び平坦化のためのラッピング加工を行う。また、必要に応じてポリッシング加工を行ってもよい。

次に、図１中に示す（ｅ）の工程では、水晶基板Ｗにフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工（ウェットエッチング）を施す。具体的には、水晶基板Ｗの上に、フォトレジストを塗布した後に、露光・現像を行うことによって、所定の形状にパターニングされたマスクパターンを形成する。その後、水晶基板Ｗのマスクパターンから露出した部分をウェットエッチングにより除去する。これにより、マスクパターンに対応した形状にパターニングされた水晶振動片（チップ）Ｃがマトリクス状に並ぶ水晶基板Ｗを得る。ウェットエッチングを用いた場合、水晶振動片Ｃの側面や角部において安定した結晶面を形成することができる。

次に、図１中に示す（ｆ）の工程では、水晶基板Ｗの各水晶振動片Ｃに電極等を形成する。その後、水晶振動片Ｃの一部に力を加えて水晶振動片Ｃを折り取ることによって、各水晶振動片Ｃを水晶基板Ｗから分離（チップ化）する。分離された水晶振動片Ｃは、セラミック等からなるパッケージＰ内の所定の位置に実装された後、封止される。これにより、図１中の（ｇ）に示すような水晶振動素子Ｓを得ることができる。

以下に示す第１の実施形態乃至第３の実施形態では、上記図１中の（ｅ）に示す工程において、水晶振動片Ｃのパターニング形状を異ならせる以外は、基本的に同じ工程を経ることによって水晶振動片Ｃ及びそれを備えた水晶振動子Ｓを作製するものである。したがって、以下に示す第１の実施形態乃至第３の実施形態では、互いに異なる部分について説明を行うものとする。

（第１の実施形態）
先ず、本発明の第１の実施形態に係る水晶振動片１Ａ及びその製造方法について、図２（Ａ），（Ｂ）を参照して説明する。なお、図２（Ａ）は、水晶基板Ｗから分離される前の水晶振動片１Ａを示す平面図である。図２（Ｂ）は、水晶基板Ｗから分離された後の水晶振動片１Ａを示す平面図である。

第１の実施形態では、図２（Ａ）に示すように、水晶基板Ｗにエッチング加工を施すことによって、フレーム２に連結片３Ａを介して連結された水晶振動片１Ａを形成する。その後、図２（Ｂ）に示すように、水晶振動片１Ａと連結片３Ａとの間の隅部４ａ，４ｂを基点にして、水晶振動片１Ａを連結片３Ａから破断させることによって、この水晶振動片１Ａを連結片３Ａから分離する。

水晶基板Ｗから分離される前の水晶振動片１Ａは、図２（Ａ）に示すように、全体として矩形状の平面形状を有している。水晶振動片１Ａは、その長手方向に沿った中心線Ｏを挟んで略対称となる形状を有している。

連結片３Ａは、矩形状の平面形状を有している。連結片３Ａは、水晶振動片１Ａの短手方向の一辺よりも十分に細く形成されている（例えば１０〜３００μｍ程度の幅。）。連結片３Ａの一端は、水晶振動片１Ａの短手方向の一辺に対して所定の角度で斜めに接続されている。一方、連結片３Ａの他端は、フレーム２に接続されている。

水晶振動片１Ａは、水晶基板Ｗを平面視したときに、その中心線Ｏが通る位置の近傍に、一方の隅部４ａの角度αが９０°よりも小さくなる鋭角部５を有している。また、水晶振動片１Ａは、その中心線Ｏから連結片３Ａの幅だけずれた位置に、他方の隅部４ｂの角度βが９０°よりも大きくなる鈍角部６を有している。なお、角度α（β＝１８０°−α）については、３０°以上９０°未満の範囲であればより好適である。

なお、ここで言う「水晶振動片１Ａの中心線Ｏが通る位置の近傍」とは、水晶振動片１Ａの中心線Ｏが通る位置と共に、水晶振動片１Ａの中心線Ｏを通る位置から幅方向の両側にそれぞれ１００μｍ以内の範囲を含むものとする。すなわち、本発明者らによる鋭意検討の結果、鋭角部５の形成される位置については、水晶振動片１Ａの中心線Ｏを通る位置に厳密に無くとも、中心線Ｏを通る位置から幅方向の両側にそれぞれ１００μｍ以内の範囲にあれば、後述する水晶振動片１Ａの非対称性に基づくスプリアスを抑制しながら、水晶振動片１Ａの対称性を十分に維持できることを確認した。また、この効果は、水晶振動片１Ａの外形寸法に関係なく得ることができることを確認した。

鋭角部５には、水晶基板Ｗのエッチング加工の際に水晶基板Ｗがエッチングされずに残ったエッチング残りＺが形成されている。一方、鈍角部６には、エッチング残りが形成されていない。このエッチング残りＺは、図２（Ｂ）に示すように、破断後も水晶振動片１Ａの端面に破断痕Ｚ’として残ることになる。

破断痕Ｚ’は、水晶振動片１Ａの中心線Ｏが通る位置の近傍にある。これにより、水晶基板Ｗから分離された後の水晶振動片１Ａは、その平面形状における対称性が維持されている。したがって、本実施形態では、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保できる水晶振動片１Ａを得ることが可能である。

なお、エッチング残りＺは、非常に複雑な形状を有するため、上述したように、破断痕Ｚ’の位置については、水晶振動片１Ａの対称性を維持できる範囲で、水晶振動片１Ａの中心線Ｏが通る位置の近傍から幅方向にずれていてもよい。具体的には、水晶振動片１Ａの中心線Ｏを挟んだ幅方向の両側にそれぞれ１００μｍ以内の範囲でずれていたとしても、安定した振動特性を確保できる。したがって、この範囲であれば、水晶振動片１Ａの中心線Ｏが通る位置の近傍に破断痕Ｚ’があるものとして、本発明の技術範囲に含まれるものとする。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る水晶振動片１Ｂ及びその製造方法について、図３（Ａ），（Ｂ）を参照して説明する。なお、図３（Ａ）は、水晶基板Ｗから分離される前の水晶振動片１Ｂを示す平面図である。図３（Ｂ）は、水晶基板Ｗから分離された後の水晶振動片１Ｂを示す平面図である。

第１の実施形態では、図３（Ａ）に示すように、水晶基板Ｗにエッチング加工を施すことによって、フレーム２に連結片３Ｂを介して連結された水晶振動片１Ｂを形成する。その後、図３（Ｂ）に示すように、水晶振動片１Ｂと連結片３Ｂとの間の隅部７ａ，７ｂを基点にして、水晶振動片１Ｂを連結片３Ｂから破断させることによって、この水晶振動片１Ｂを連結片３Ｂから分離する。

水晶基板Ｗから分離される前の水晶振動片１Ｂは、図３（Ａ）に示すように、全体として矩形状の平面形状を有している。水晶振動片１Ｂは、その長手方向に沿った中心線Ｏを挟んで略対称となる形状を有している。

連結片３Ｂは、台形状の平面形状を有している。連結片３Ｂは、水晶振動片１Ｂの短手方向の一辺よりも十分に細く形成されている。連結片３Ｂの一端（短辺）は、水晶振動片１Ｂの短手方向の一辺に対して垂直に接続されている。一方、連結片３Ｂの他端（長辺）は、フレーム２に接続されている。連結片３Ｂは、その短辺側を水晶振動片１Ｂに接続することで、その間で応力集中が生じるため、破断し易くなっている。

水晶振動片１Ｂは、水晶基板Ｗを平面視したときに、その中心線Ｏを挟んで略対称となる位置に、一方の隅部７ａ及び他方の隅部７ｂの角度α₁，α₂がそれぞれ９０°よりも小さくなる鋭角部８ａ，８ｂを有している。なお、角度α₁，α₂については、３０°以上９０°未満の範囲であればより好適である。

なお、ここで言う「水晶振動片１Ｂの中心線Ｏを挟んで略対称となる位置」とは、水晶振動片１Ｂの中心線Ｏを挟んで対称となる位置と共に、中心線Ｏからの距離の差が５０μｍ以内の範囲を含むものとする。すなわち、本発明者らによる鋭意検討の結果、鈍角部８ａ，８ｂの形成される位置については、水晶振動片１Ｂの中心線Ｏを挟んで対称となる位置に厳密に無くとも、中心線Ｏからの距離の差が５０μｍ以内の範囲であれば、後述する水晶振動片１Ｂの非対称性に基づくスプリアスを抑制しながら、水晶振動片１Ｂの対称性を十分に維持できることを確認した。また、この効果は、水晶振動片１Ｂの外形寸法に関係なく得ることができることを確認した。

鋭角部８ａ，８ｂには、水晶基板Ｗのエッチング加工の際に水晶基板Ｗがエッチングされずに残ったエッチング残りＺ₁，Ｚ₂が形成されている。これらのエッチング残りＺ₁，Ｚ₂は、図３（Ｂ）に示すように、破断後も水晶振動片１Ｂの端面に破断痕Ｚ₁’，Ｚ₂’として残ることになる。

破断痕Ｚ₁’，Ｚ₂’は、水晶振動片１Ｂの中心線Ｏを挟んで略対称となる位置にある。これにより、水晶基板Ｗから分離された後の水晶振動片１Ｂは、その平面形状における対称性が維持されている。したがって、本実施形態では、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保できる水晶振動片１Ｂを得ることが可能である。

なお、エッチング残りＺ₁，Ｚ₂は、非常に複雑な形状を有するため、上述したように、破断痕Ｚ₁’，Ｚ₂’の位置については、水晶振動片１Ｂの対称性を維持できる範囲で、水晶振動片１Ｂの中心線Ｏを挟んで略対称となる位置から幅方向にずれていてもよい。具体的には、破断痕Ｚ₁’，Ｚ₂’の水晶振動片１Ｂの中心線Ｏからの距離の差が５０μｍ以内の範囲であれば、安定した振動特性を確保できる。したがって、この範囲であれば、水晶振動片１Ｂの中心線Ｏを挟んで略対称となる位置に破断痕Ｚ₁’，Ｚ₂’があるものとして、本発明の技術範囲に含まれるものとする。

また、エッチング残りＺ₁，Ｚ₂は、水晶基板Ｗのエッチング加工時の影響によって、一方のエッチング残りＺ₁が水晶振動片１Ｂの一面（例えば表面）側に寄った位置に形成され、他方のエッチング残りＺ₂が水晶振動片１Ｂの他面（例えば裏面）側に寄った位置に形成される。この場合、破断痕Ｚ₁’，Ｚ₂’の位置は、水晶振動片１Ｂの厚み方向において非対称な位置関係になるものの、水晶振動片１Ｂの振動特性に特に影響を与えることはない。

（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態に係る水晶振動片１Ｃ及びその製造方法について、図４（Ａ），（Ｂ）を参照して説明する。なお、図４（Ａ）は、水晶基板Ｗから分離される前の水晶振動片１Ｃを示す平面図である。図４（Ｂ）は、水晶基板Ｗから分離された後の水晶振動片１Ｃを示す平面図である。

第３の実施形態では、図４（Ａ）に示すように、水晶基板Ｗにエッチング加工を施すことによって、フレーム２に一対の連結片９ａ，９ｂを介して連結された水晶振動片１Ｃを形成する。その後、図４（Ｂ）に示すように、水晶振動片１Ｃと一対の連結片９ａ，９ｂとの間のそれぞれの隅部１０ａ，１０ｂを基点にして、水晶振動片１Ｃを一対の連結片９ａ，９ｂから破断させることによって、この水晶振動片１Ｃを一対の連結片９ａ，９ｂから分離する。

水晶基板Ｗから分離される前の水晶振動片１Ｃは、図４（Ａ）に示すように、全体として矩形状の平面形状を有している。水晶振動片１Ｃは、その長手方向に沿った中心線Ｏを挟んで略対称となる形状を有している。

一対の連結片９ａ，９ｂは、矩形状の平面形状を有している。各連結片９ａ，９ｂは、水晶振動片１Ｃの短手方向の一辺よりも十分に細く形成されている（例えば１０〜３００μｍ程度の幅。）。一対の連結片９ａ，９ｂの一端は、水晶振動片１Ｃの中心線Ｏを挟んだ両側の角部に所定の角度で接続されている。一方、一対の連結片９ａ，９ｂの他端は、フレーム２に接続されている。

水晶振動片１Ｃは、一対の連結片９ａ，９ｂを挟んだ両側に、それぞれの一方の隅部１０ａ及び他方の隅部１０ｂの角度β₁，β₂が９０°よりも大きくなる鈍角部１１ａ，１１ｂを有している。なお、角度β₁，β₂については、９０°〜１４０°の範囲であればより好適である。

これらの鈍角部１１ａ，１１ｂには、エッチング残りが生じていない。また、水晶基板Ｗから分離された後の水晶振動片１Ｃの中心線Ｏを挟んだ両側の角部には、図４（Ｂ）に示すように、一対の連結片９ａ，９ｂから破断したときのカット面１２ａ，１２ｂが形成される。

これらのカット面１２ａ，１２ｂは、水晶振動片１Ｃの中心線Ｏを挟んだ両側の角部にある。これにより、水晶基板Ｗから分離された後の水晶振動片１Ｃは、その平面形状における対称性が維持されている。したがって、本実施形態では、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保できる水晶振動片１Ｃを得ることが可能である。

なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、図５に示す水晶振動片１Ｃ’は、上記カット面１２ａ，１２ｂが形成された角部とは反対側に位置する角部がカットされたカット面１２ｃ，１２ｄを有している。この場合、この水晶振動片１Ｃ’の対称性を更に確保することが可能である。

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｃ’…水晶振動片 ２…フレーム ３Ａ，３Ｂ…連結片 ４ａ，４ｂ…隅部 ５…鋭角部 ６…鈍角部 ７ａ，７ｂ…隅部 ８ａ，８ｂ…鋭角部 ９ａ，９ｂ…連結片 １０ａ，１０ｂ…隅部 １１ａ，１１ｂ…鈍角部 １２ａ〜１２ｄ…カット面 Ｂ…原石 Ｗ…水晶基板 Ｃ…水晶振動片 Ｐ…パッケージ Ｓ…水晶振動子

Claims (7)

1. 水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成する工程と、
   前記水晶振動片を前記連結片から破断させることによって、前記水晶振動片を前記連結片から分離する工程と、を含み、
   前記水晶基板にエッチング加工を施す工程において、前記水晶振動片の中心線が通る位置の近傍に、若しくは、前記水晶振動片の中心線を挟んで略対称となる位置に、前記水晶振動片と前記連結片との間の隅部の角度が９０°よりも小さくなる鋭角部を形成することを特徴とする水晶振動片の製造方法。
2. 前記鋭角部にエッチング残りが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動片の製造方法。
3. 水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成する工程と、
   前記水晶振動片を前記連結片から破断させることによって、前記水晶振動片を前記連結片から分離する工程と、を含み、
   前記水晶基板にエッチング加工を施す工程において、前記水晶振動片の中心線を挟んだ両側の角部に接続された前記連結片をそれぞれ形成すると共に、前記連結片を挟んだ両側に、前記水晶振動片と前記連結片との間の隅部の角度が９０°よりも大きくなる鈍角部をそれぞれ形成することを特徴とする水晶振動片の製造方法。
4. 水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成する工程と、
   前記水晶振動片を前記連結片から破断させることによって、前記水晶振動片を前記連結片から分離する工程と、を経ることによって作製される水晶振動片であって、
   その中心線が通る位置の近傍に、若しくは、その中心線を挟んで略対称となる位置に、前記連結片から破断したときの破断痕を有することを特徴とする水晶振動片。
5. 水晶基板にエッチング加工を施すことによって、フレームに連結片を介して連結された水晶振動片を形成する工程と、
   前記水晶振動片を前記連結片から破断させることによって、前記水晶振動片を前記連結片から分離する工程と、を経ることによって作製される水晶振動片であって、
   その中心線を挟んだ両側の角部に、前記連結片から破断したときのカット面を有することを特徴とする水晶振動片。
6. 前記カット面が形成された角部とは反対側に位置する角部がカットされた形状を有することを特徴とする請求項５に記載の水晶振動片。
7. 請求項４又は５に記載の水晶振動片を備えた水晶振動子。

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