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JP2015106015A - Polarized light irradiation device, polarized light irradiation method and polarized light irradiation program - Google Patents

Polarized light irradiation device, polarized light irradiation method and polarized light irradiation program Download PDF

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JP2015106015A
JP2015106015A JP2013247481A JP2013247481A JP2015106015A JP 2015106015 A JP2015106015 A JP 2015106015A JP 2013247481 A JP2013247481 A JP 2013247481A JP 2013247481 A JP2013247481 A JP 2013247481A JP 2015106015 A JP2015106015 A JP 2015106015A
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Japan
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light
photo
alignment film
source array
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JP2013247481A
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和重 橋本
Kazushige Hashimoto
和重 橋本
敏成 新井
Toshinari Arai
敏成 新井
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V Technology Co Ltd
Original Assignee
V Technology Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polarized light irradiation device which evenly irradiates light from a light source, while providing a photo-alignment function to a photo-alignment film in a predetermined photo-alignment direction.SOLUTION: A polarized light irradiation device is for applying alignment processing to a photo-alignment film by irradiating light in a specific wavelength range while moving the photo-alignment film. The polarized light irradiation device comprises: a light irradiation unit that includes a first light source string having a plurality of light sources, and a second light source string coupled to the first light source string and having a plurality of light sources; a rotation unit that relatively rotates the light irradiation unit by a predetermined angle from a reference position with respect to the photo-alignment film on a plane parallel to a surface of the photo-alignment film; an adjustment unit that adjusts a position of the second light source string with respect to the first light source string in such a manner that light from the light sources of the first light source string and light from the light sources of the second light source string are to be evenly irradiated on the photo-alignment film.

Description

本発明は、偏光光照射装置、偏光光照射方法および偏光光照射プログラムに関するものであり、特に光配向膜に配向処理を施す偏光光照射装置、偏光光照射方法および偏光光照射プログラムに関するものである。   The present invention relates to a polarized light irradiation apparatus, a polarized light irradiation method, and a polarized light irradiation program, and more particularly to a polarized light irradiation apparatus, a polarized light irradiation method, and a polarized light irradiation program for performing alignment treatment on a photo-alignment film. .

液晶ディスプレイ等に用いられる液晶表示用の基板には、光配向膜と呼ばれる高分子膜が塗布される。光配向膜とは液晶の分子を一定方向に並べるための膜である。この液晶の分子が規則正しく配列した状態になることで、コントラストが生じ、映像を表示させることができる。そのため、光配向膜に、所定の光配向方向に光配向機能を付与するため、紫外領域の偏光光を照射する必要がある。   A polymer film called a photo-alignment film is applied to a substrate for liquid crystal display used in a liquid crystal display or the like. The photo-alignment film is a film for aligning liquid crystal molecules in a certain direction. Since the liquid crystal molecules are regularly arranged, contrast is generated and an image can be displayed. Therefore, it is necessary to irradiate polarized light in the ultraviolet region in order to give the photo-alignment film a photo-alignment function in a predetermined photo-alignment direction.

例えば、特許文献1には、線状の光源からの光をワイヤーグリッド偏光素子により偏光して出射する光照射部を備え、光配向膜の搬送方向に対し斜め方向の配向を生じさせる際には、偏光光を出射する光照射部を、ワイヤーグリッド偏光素子ごと、所望の配向方向に応じて回転させる技術が開示されている。   For example, Patent Document 1 includes a light irradiation unit that emits light emitted from a linear light source by being polarized by a wire grid polarization element, and generates an oblique orientation with respect to the transport direction of the photo-alignment film. A technique is disclosed in which a light irradiation unit that emits polarized light is rotated for each wire grid polarization element in accordance with a desired orientation direction.

一方で、液晶ディスプレイの大型化に伴い、大型化した光配向膜の製造には、偏光板および/または光源を複数用いて偏光光を照射する製造方法が用いられている。しなしながら、偏光板および光源を隙間なく配置することは困難である為、偏光光の照射ムラが生じることとなる。このような問題に対して、光配向膜の製造方法に関する技術が特許文献2および3に提案されている。   On the other hand, a manufacturing method of irradiating polarized light using a plurality of polarizing plates and / or light sources is used for manufacturing a large-sized photo-alignment film with an increase in size of a liquid crystal display. However, since it is difficult to dispose the polarizing plate and the light source without any gaps, uneven irradiation of polarized light occurs. For such problems, Patent Documents 2 and 3 propose techniques relating to a method for manufacturing a photo-alignment film.

特許文献2には、光配向膜の搬送方向に沿って光照射部を多段に配置する技術が開示されている。特許文献2では、各段の光照射部の偏光素子間の境界部が、他の段の光照射部の偏光素子の境界部と光配向膜の搬送方向に対して互い重ならないように、各段に配置された各光照射部を、光配向膜の搬送方向に直交する方向に位置をずらして配置する光配向用偏光光照射装置について開示されている。   Patent Document 2 discloses a technique in which light irradiation units are arranged in multiple stages along the transport direction of the photo-alignment film. In Patent Document 2, each boundary between the polarizing elements of the light irradiating units of each stage is not overlapped with the boundary of the polarizing elements of the light irradiating units of the other stages and the transport direction of the photo-alignment film. There is disclosed a polarized light irradiating device for photo-alignment in which each light irradiating unit arranged in a stage is arranged with a position shifted in a direction orthogonal to the transport direction of the photo-alignment film.

また、特許文献3には、隣接方向に隣接して配置された複数の偏光子を備え、偏光子の隣接面及び偏光子の隣接方向が走査方向に対して傾斜している技術が開示されている。   Patent Document 3 discloses a technique including a plurality of polarizers arranged adjacent to each other in an adjacent direction, and an adjacent surface of the polarizer and an adjacent direction of the polarizer are inclined with respect to the scanning direction. Yes.

しかしながら、特許文献2記載の技術では、光配向膜に生じさせる配向方向を変更する場合、光照射部を光配向膜の搬送方向に対して傾斜する必要がある。特許文献2記載の技術では、光照射部を傾斜した際に、基準位置を通り光配向膜の表面に直交する面に投影した場合における複数の光源の隣り合う光源間の間隔が均一とならないため、各光源からの光が均一に光配向膜へ照射されず、照射ムラが発生する。   However, in the technique described in Patent Document 2, when changing the alignment direction generated in the photo-alignment film, it is necessary to incline the light irradiation unit with respect to the transport direction of the photo-alignment film. In the technique described in Patent Document 2, when the light irradiation unit is inclined, the intervals between adjacent light sources of a plurality of light sources are not uniform when projected onto a plane that passes through the reference position and is orthogonal to the surface of the photo-alignment film. , The light from each light source is not uniformly irradiated to the photo-alignment film, and uneven irradiation occurs.

また、特許文献3記載の技術では、隣接して配置された複数の偏光子を回転させることにより、光配向膜の照射ムラの抑制および光配向膜に生じさせる配向方向の変更の2つの機能を実現している。その為、特許文献3記載の技術では、照射ムラの抑制および光配向膜に生じさせる配向方向の変更のそれぞれに最適となる回転角が異なる場合、各機能の効果が不十分となる恐れがある。   Moreover, in the technique of patent document 3, by rotating the several polarizer arrange | positioned adjacently, two functions of suppression of the irradiation nonuniformity of a photo-alignment film and the change of the alignment direction produced in a photo-alignment film are performed. Realized. Therefore, in the technique described in Patent Document 3, the effect of each function may be insufficient when the optimum rotation angle is different for each of suppression of irradiation unevenness and change of the alignment direction generated in the photo-alignment film. .

特開2006‐133498号公報JP 2006-133498 A 特開2007‐114647号公報JP 2007-114647 A 特許5131886号公報Japanese Patent No. 5131886

上記事情に鑑み、本発明は、光配向膜に対して所定の光配向方向に光配向機能を付与しつつ、光源からの光を均一に照射することを目的とするものである。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to uniformly irradiate light from a light source while imparting a photo-alignment function to a photo-alignment film in a predetermined photo-alignment direction.

本発明の偏光光照射装置は、光配向膜を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより光配向膜に配向処理を施すための偏光光照射装置であって、複数の光源を有する第一の光源列、および、第一の光源列に連結して設けられ、複数の光源を有する第二の光源列を具える光照射部と、光照射部を、光配向膜の表面に平行な面上で、光配向膜に対して相対的に基準位置から所定の角度で回転させる回転部と、第一の光源列の光源からの光と第二の光源列の光源からの光とが、光配向膜に対して均一に照射されるよう、第一の光源列に対する第二の光源列の位置を調整する調整部とを備える。   The polarized light irradiation apparatus of the present invention is a polarized light irradiation apparatus for performing alignment treatment on a photo-alignment film by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film, and has a plurality of light sources. A light irradiation unit including a first light source column and a second light source column connected to the first light source column and having a plurality of light sources, and the light irradiation unit parallel to the surface of the photo-alignment film A rotating unit that rotates relative to the photo-alignment film at a predetermined angle relative to the photo-alignment film, light from the light source of the first light source array, and light from the light source of the second light source array And an adjusting unit that adjusts the position of the second light source array with respect to the first light source array so that the light alignment film is uniformly irradiated.

上記調整部は、第一の光源列の複数の光源および第二の光源列の複数の光源を、基準位置を通り光配向膜の表面に直交する面に投影した場合における複数の光源の隣り合う光源間の間隔が等しくなるよう、第二の光源列の位置を調整することができる。   The adjustment unit is adjacent to the plurality of light sources when the plurality of light sources of the first light source array and the plurality of light sources of the second light source array are projected on a plane that passes through the reference position and is orthogonal to the surface of the photo-alignment film. The position of the second light source row can be adjusted so that the intervals between the light sources are equal.

上記第一の光源列および第二の光源列は、さらに、光源からの光のうち、特定の波長の光を透過するフィルタ、および、フィルタを透過した光を偏光させる偏光材を有し、光照射部は、偏光材によって偏光された光を、光配向膜に照射することができる。   The first light source array and the second light source array further include a filter that transmits light of a specific wavelength out of light from the light source, and a polarizing material that polarizes light that has passed through the filter. The irradiation unit can irradiate the photo-alignment film with the light polarized by the polarizing material.

上記第一の光源列および第二の光源列は、互いにスライド可能に連結されることができる。   The first light source row and the second light source row can be slidably connected to each other.

上記回転部は、光照射部を、光配向膜の表面の垂直方向を回転軸として回転させ、調整部は、第二の光源列を、第二の光源列の長手方向を移動軸として移動させ、第一の光源列に対する第二の光源列の位置を調整することができる。   The rotating unit rotates the light irradiating unit with the vertical direction of the surface of the photo-alignment film as a rotation axis, and the adjusting unit moves the second light source column with the longitudinal direction of the second light source column as a moving axis. The position of the second light source array with respect to the first light source array can be adjusted.

回転部は、光照射部を、第一の光源列の長手方向および短手方向を移動軸として移動させることで回転させ、調整部は、第二の光源列を、第二の光源列の長手方向を移動軸として移動させ、第一の光源列に対する第二の光源列の位置を調整することができる。   The rotating unit rotates the light irradiation unit by moving the longitudinal direction and the short direction of the first light source row as movement axes, and the adjusting unit rotates the second light source row to the longitudinal direction of the second light source row. It is possible to adjust the position of the second light source array with respect to the first light source array by moving the direction as the movement axis.

回転部は、第一の光源列を、光配向膜の表面の垂直方向を回転軸として回転させ、調整部は、第二の光源列を、第二の光源列を長手方向の両端で担持する担持部材により移動させ、第一の光源列に対する第二の光源列の位置を調整することができる。   The rotating unit rotates the first light source array about the vertical direction of the surface of the photo-alignment film as a rotation axis, and the adjusting unit carries the second light source array at both ends in the longitudinal direction. The position of the second light source row with respect to the first light source row can be adjusted by being moved by the support member.

担持部材は、偏芯部材、カム部材またはバネ部材とすることができる。   The carrying member can be an eccentric member, a cam member or a spring member.

本発明の偏光光照射方法は、光配向膜を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより光配向膜に配向処理を施すための偏光光照射方法であって、複数の光源を有する第一の光源列、および、第一の光源列に連結して設けられ、複数の光源を有する第二の光源列を具える光照射ステップと、第一の光源列および第二の光源列を、光配向膜の表面に平行な面上で、光配向膜に対して相対的に基準位置から所定の角度で回転させる回転ステップと、第一の光源列の光源からの光と第二の光源列の光源からの光とが、光配向膜に対して均一に照射されるよう、第一の光源列に対する第二の光源列の位置を調整する調整ステップとを備えることを特徴とする。   The polarized light irradiation method of the present invention is a polarized light irradiation method for performing alignment treatment on a photo-alignment film by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film, and has a plurality of light sources. A light irradiation step including a first light source array and a second light source array provided in connection with the first light source array and having a plurality of light sources; a first light source array and a second light source array; A rotation step for rotating at a predetermined angle from a reference position relative to the photo-alignment film on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film, and the light from the light source of the first light source array and the second light source And an adjustment step of adjusting the position of the second light source row with respect to the first light source row so that the light from the light sources in the row is uniformly irradiated to the photo-alignment film.

本発明の偏光光照射プログラムは、光配向膜を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより光配向膜に配向処理を施すための偏光光照射プログラムであって、コンピュータに、複数の光源を有する第一の光源列および第二の光源列を、光配向膜の表面に平行な面上で、光配向膜に対して相対的に基準位置から所定の角度で回転させる回転機能と、第一の光源列の光源からの光と第二の光源列の光源からの光とが、光配向膜に対して均一に照射されるよう、第一の光源列に対する第二の光源列の位置を調整する調整機能とを実現させることを特徴とする。   The polarized light irradiation program of the present invention is a polarized light irradiation program for performing an alignment process on a photo-alignment film by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film, A rotation function for rotating the first light source array and the second light source array having a light source at a predetermined angle relative to the photo-alignment film relative to the photo-alignment film on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film; Position of the second light source row relative to the first light source row so that the light from the light source of the first light source row and the light from the light source of the second light source row are uniformly irradiated to the photo-alignment film It is characterized by realizing an adjustment function for adjusting the.

本発明の偏光光照射装置によれば、光配向膜に対して所定の光配向方向に光配向機能を付与しつつ、光源からの光を均一に照射することができる。   According to the polarized light irradiation apparatus of the present invention, it is possible to uniformly irradiate light from a light source while imparting a photo-alignment function to a photo-alignment film in a predetermined photo-alignment direction.

本発明の第1の実施形態に係る偏光光照射装置を説明するための模式図を示すThe schematic diagram for demonstrating the polarized light irradiation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention is shown. 本発明の第1の実施形態に係る偏光光照射装置における第一の光源列および第2の光源列の模式図を示すThe schematic diagram of the 1st light source row | line | column and the 2nd light source row | line | column in the polarized light irradiation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention is shown. 本発明の第1の実施形態に係る偏光光照射装置における調整部の調整を説明する為の図を示すThe figure for demonstrating adjustment of the adjustment part in the polarized light irradiation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention is shown. 本発明の第1の実施形態に係る偏光光照射装置における調整部の調整を説明する為の図を示すThe figure for demonstrating adjustment of the adjustment part in the polarized light irradiation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention is shown. 本発明の第1の実施形態に係る偏光光照射装置における光照射部の模式図を示すThe schematic diagram of the light irradiation part in the polarized light irradiation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention is shown. 本発明の第2の実施形態に係る偏光光照射装置の調整部の調整を説明する為の図を示すThe figure for demonstrating adjustment of the adjustment part of the polarized light irradiation apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention is shown. 本発明の第3の実施形態に係る偏光光照射装置の第一の光源列および第2の光源列の模式図を示すThe schematic diagram of the 1st light source row | line | column and 2nd light source row | line | column of the polarized light irradiation apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention is shown. 本発明の第3の実施形態に係る偏光光照射装置における調整部の調整を説明する為の図を示すThe figure for demonstrating adjustment of the adjustment part in the polarized light irradiation apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention is shown. 従来の実施形態における偏光光照射装置の照度分布を説明する為のグラフを示すThe graph for demonstrating the illumination intensity distribution of the polarized light irradiation apparatus in conventional embodiment is shown. 本発明の実施形態における偏光光照射装置の照度分布を説明する為のグラフを示すThe graph for demonstrating the illumination intensity distribution of the polarized light irradiation apparatus in embodiment of this invention is shown.

[第1の実施形態]
本発明に係る偏光光照射装置の第1の実施形態を、図1乃至図5を用いて説明する。
[First Embodiment]
A first embodiment of a polarized light irradiation apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.

図1(a)に示すように、本発明の偏光光照射装置は、光配向膜40を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより光配向膜40に配向処理を施すための偏光光照射装置であって、光照射部10と、回転部20と、調整部30とを備える。   As shown in FIG. 1 (a), the polarized light irradiation apparatus of the present invention is polarized light for performing alignment treatment on the photo-alignment film 40 by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film 40. It is a light irradiation device, and includes a light irradiation unit 10, a rotation unit 20, and an adjustment unit 30.

上記光配向膜40は、液晶分子群を一定方向に配列させるための膜で、例えばポリイミド膜等とすることができる。また、光配向膜40は、例えば、液晶用の基板等に塗布されたものであってよい。図1(c)に示すように、基板は、例えばコンベア、ローラー、ピン、テーブルなどの接触式ステージや非接触式の浮上搬送ステージによって光照射部10の照射範囲に移動することができる。   The photo-alignment film 40 is a film for aligning liquid crystal molecule groups in a certain direction, and may be a polyimide film, for example. The photo-alignment film 40 may be applied to a liquid crystal substrate, for example. As shown in FIG.1 (c), a board | substrate can be moved to the irradiation range of the light irradiation part 10 by contact-type stages, such as a conveyor, a roller, a pin, a table, and a non-contact type levitation conveyance stage, for example.

図2に示すように、上記光照射部10は、複数の光源11aを有する第一の光源列16、および、第一の光源列16に連結して設けられ、複数の光源11bを有する第二の光源列17を具える。なお、図では紙面の下段を第一の光源列16としたが、上段を第一の光源列16とすることもできる。   As shown in FIG. 2, the light irradiation unit 10 is connected to a first light source row 16 having a plurality of light sources 11 a and a first light source row 16 and has a second light source 11 b. The light source row 17 is provided. In the figure, the lower stage of the drawing is the first light source row 16, but the upper stage can be the first light source row 16.

上記光源11a,bは、光配向膜40に光線を照射するもので、例えば、棒状ランプとすることができる。具体的には、棒状ランプは、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等とすることができる。また、光源11a,bは、発光ダイオードまたは発光ダイオードを直線状に並べて配置し線状光源としたもの等であってもよい。   The light sources 11a and 11b irradiate the photo-alignment film 40 with light rays, and can be, for example, rod-shaped lamps. Specifically, the rod-shaped lamp can be a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or the like. Further, the light sources 11a and 11b may be light emitting diodes or light sources that are linearly arranged by arranging light emitting diodes in a straight line.

図1(b)に示すように、上記回転部20は、光照射部10を、光配向膜40の表面に平行な面上で、光配向膜40に対して相対的に基準位置Sから所定の角度で回転方向Bに回転させる。回転部20は、基準位置Sからの角度を手動もしくはモーターなどによる駆動で自動に回転することができる。所定の角度は、製品に応じた偏光特性を実現するための角度とすることができる。所定の角度は、例えば、7°または10°等とすることができる。   As shown in FIG. 1B, the rotating unit 20 is configured to place the light irradiation unit 10 from the reference position S relative to the photo-alignment film 40 on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film 40. In the rotation direction B at an angle of The rotating unit 20 can automatically rotate the angle from the reference position S manually or by driving with a motor or the like. The predetermined angle can be an angle for realizing a polarization characteristic corresponding to a product. The predetermined angle may be 7 ° or 10 °, for example.

図1(b)および図3に示すように、上記調整部30は、第一の光源列16の光源11aからの光と第二の光源列17の光源11bからの光とが、光配向膜40に対して均一に照射されるよう、第一の光源列16に対する第二の光源列17の位置を調整する。調整部30は、手動もしくはモーターなどによる駆動により自動で第二の光源列17の位置を第二の光源列17の長手方向Xに調整することができる。 As shown in FIG. 1B and FIG. 3, the adjusting unit 30 is configured so that the light from the light source 11 a of the first light source row 16 and the light from the light source 11 b of the second light source row 17 are converted into a photo-alignment film. The position of the second light source row 17 with respect to the first light source row 16 is adjusted so that 40 is uniformly irradiated. Adjustment unit 30 can adjust the position of the second light source array 17 automatically by drive due to manual or motor in the longitudinal direction X 2 of the second light source array 17.

以上、説明した本発明の偏光光照射装置によれば、光配向膜40に対して所定の光配向方向に光配向機能を付与しつつ、光源11a,bからの光を均一に照射することができる。   As described above, according to the polarized light irradiation apparatus of the present invention described above, it is possible to uniformly irradiate the light from the light sources 11a and 11b while providing the photo-alignment film 40 with a photo-alignment function in a predetermined photo-alignment direction. it can.

図1(b)および図4に示すように、上記調整部30は、第一の光源列16の複数の光源11aおよび第二の光源列17の複数の光源11bを、基準位置Sを通り光配向膜40の表面に直交する面に投影した場合における複数の光源11の隣り合う光源11間の間隔(以下、「投影光源間隔D」と記載する。)が等しくなるよう、第二の光源列17の位置を調整することができる。   As shown in FIG. 1B and FIG. 4, the adjusting unit 30 passes through the reference position S through the plurality of light sources 11 a of the first light source array 16 and the plurality of light sources 11 b of the second light source array 17. The second light source array so that the spacing between adjacent light sources 11 of the plurality of light sources 11 (hereinafter referred to as “projection light source spacing D”) when projected onto a plane orthogonal to the surface of the alignment film 40 is equal. The position of 17 can be adjusted.

図5に示すように、上記第一の光源列16および第二の光源列17は、さらに、フィルタ12、および、偏光材13を有し、光照射部10は、偏光材13によって偏光された光を、光配向膜40に照射することができる。第一の光源列16および第二の光源列17は、さらに、偏光材13と光配向膜40の間に保護ガラス14を備えてもよい。   As shown in FIG. 5, the first light source row 16 and the second light source row 17 further include a filter 12 and a polarizing material 13, and the light irradiation unit 10 is polarized by the polarizing material 13. The light alignment film 40 can be irradiated with light. The first light source row 16 and the second light source row 17 may further include a protective glass 14 between the polarizing material 13 and the photo-alignment film 40.

上記フィルタ12は、光源11a,bからの光のうち、特定の波長の光を透過することができる。フィルタ12は、特定波長以外の光が偏光材13に入射することを防いでいる。   The said filter 12 can permeate | transmit the light of a specific wavelength among the lights from light source 11a, b. The filter 12 prevents light other than the specific wavelength from entering the polarizing material 13.

上記偏光材13は、フィルタ12を透過した光を偏光させることができる。偏光材13は、偏光子の一種で、薄い板状のものとすることができる。具体的には、偏光材13は、P偏光を透過しS偏光を反射する薄膜をつけたプリズムである偏光ビームスプリッター(PBS:Polarized Beam Splitter)や、ガラス若しくは石英ガラスよりなる矩形の透明基板の一面に、例えばアルミニウムや銀などの金属材料よりなる多数の金属細線が当該透明基板の一つの平面上に平行に一定の間隔で設けられたワイヤーグリッド(WG:Wire Grid)等とすることができる。偏光材13は、ワイヤーグリッドの場合、光源11a,bから入射する光のうち、ワイヤーグリッドの並び方向に直角な方向の直線偏光を透過させることができる。 The polarizing material 13 can polarize the light transmitted through the filter 12. The polarizing material 13 is a kind of polarizer and can be a thin plate. Specifically, the polarizing material 13 is a polarizing beam splitter (PBS: Polarized Beam Splitter) that is a prism having a thin film that transmits P-polarized light and reflects S-polarized light, or a rectangular transparent substrate made of glass or quartz glass. For example, a wire grid (WG: Wire Grid) in which a large number of fine metal wires made of a metal material such as aluminum or silver are provided on one surface in parallel at a constant interval on one plane can be used. . In the case of a wire grid, the polarizing material 13 can transmit linearly polarized light in a direction perpendicular to the arrangement direction of the wire grid out of light incident from the light sources 11a and 11b.

上記保護ガラス14は、偏光材13の損傷および微細な粉塵等の付着を防止することができる。粉塵等の付着が発生した場合に、保護ガラス14は、クリーニングされることができる。   The protective glass 14 can prevent damage to the polarizing material 13 and adhesion of fine dust and the like. When adhesion of dust or the like occurs, the protective glass 14 can be cleaned.

上記第一の光源列16および第二の光源列17は、互いにスライド可能に連結されることができる。   The first light source row 16 and the second light source row 17 can be slidably connected to each other.

図1(b)および図4に示すように、第1の実施形態では、回転部20は、光照射部10を、光配向膜40の表面の垂直方向を回転軸として回転させ、調整部30は、第二の光源列17を、第二の光源列17の長手方向Xを移動軸として移動させ、第一の光源列16に対する第二の光源列17の位置を調整することができる。 As shown in FIG. 1B and FIG. 4, in the first embodiment, the rotation unit 20 rotates the light irradiation unit 10 around the vertical direction of the surface of the photo-alignment film 40 as the rotation axis, and the adjustment unit 30. The second light source row 17 can be moved with the longitudinal direction X2 of the second light source row 17 as the movement axis, and the position of the second light source row 17 with respect to the first light source row 16 can be adjusted.

上記光照射部10は、図2(a)に示すように、回転部20による光照射部10の回転角が0である際、投影光源間隔Dが等しくなるように第一の光源列16および第二の光源列17を配置することができる。   2A, when the rotation angle of the light irradiation unit 10 by the rotation unit 20 is 0, the light irradiation unit 10 includes the first light source row 16 and the light source array 16 so that the projection light source intervals D are equal. A second light source row 17 can be arranged.

上記調整部30は、図1(b)および図2(b)に示すように、光照射部10が回転角θによって回転し、投影光源間隔Dが等間隔でなくなった場合、投影光源間隔Dを等間隔に戻す方向に第二の光源列17を移動する。具体的には、図4(a)および図4(b)のように、投影光源間隔Dを等間隔に戻す方向へ、第二の光源列17を長手方向Xに補正距離dだけ移動する。ここで、回転角が0である際の投影光源間隔Dをx/2、第一の光源列16の光源11aの並ぶ列と第二の光源列17の光源11bの並ぶ列との距離をdとすると、補正距離dは、式(1)のように導出することができる。

Figure 2015106015
As shown in FIGS. 1B and 2B, the adjusting unit 30 rotates the projection light source interval D when the light irradiation unit 10 is rotated by the rotation angle θ and the projection light source interval D is not equal. The second light source row 17 is moved in a direction to return the to the same interval. Specifically, as shown in FIG. 4 (a) and 4 (b), the direction to return at regular intervals a projection light source spacing D, and the second light source array 17 in the longitudinal direction X 2 by the correction distance d c movement To do. Here, the projection light source interval D when the rotation angle is 0 is x / 2, and the distance between the row of light sources 11a in the first light source row 16 and the row of light sources 11b in the second light source row 17 is d. When the correction distance d c can be derived as equation (1).
Figure 2015106015

本発明において、光照射部10は、第一の光源列16および第二の光源列17を備える場合が示されているが、さらに、3列以上の光源列を備える構成としてもよい。   In the present invention, the case where the light irradiation unit 10 includes the first light source column 16 and the second light source column 17 is illustrated, but the light irradiation unit 10 may further include three or more light source columns.

[第2の実施形態]
本発明に係る偏光光照射装置の第2の実施形態を、図6を用いて説明する。
[Second Embodiment]
A second embodiment of the polarized light irradiation apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

第2の実施形態は、光配向膜40を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより光配向膜40に配向処理を施すための偏光光照射装置であって、光照射部10と、回転部20と、調整部30とを備える。   The second embodiment is a polarized light irradiation apparatus for performing alignment processing on the photo-alignment film 40 by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film 40. The rotating unit 20 and the adjusting unit 30 are provided.

上記光配向膜40は、液晶分子群を一定方向に配列させるための膜で、例えばポリイミド膜等とすることができる。また、光配向膜40は、例えば、液晶用の基板等に塗布されたものであってよい。基板は、例えばコンベア、ローラー、ピン、テーブルなどの接触式ステージや非接触式の浮上搬送ステージによって光照射部10の照射範囲に移動することができる。   The photo-alignment film 40 is a film for aligning liquid crystal molecule groups in a certain direction, and may be a polyimide film, for example. The photo-alignment film 40 may be applied to a liquid crystal substrate, for example. A board | substrate can be moved to the irradiation range of the light irradiation part 10 with contact-type stages, such as a conveyor, a roller, a pin, and a table, and a non-contact-type levitation conveyance stage, for example.

上記光照射部10は、複数の光源11aを有する第一の光源列16、および、第一の光源列16に連結して設けられ、複数の光源11bを有する第二の光源列17を具える。   The light irradiation unit 10 includes a first light source row 16 having a plurality of light sources 11a and a second light source row 17 provided to be connected to the first light source rows 16 and having a plurality of light sources 11b. .

上記光源11a,bは、光配向膜40に光線を照射するもので、例えば、棒状ランプとすることができる。具体的には、棒状ランプは、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等とすることができる。また、光源11a,bは、発光ダイオードまたは発光ダイオードを直線状に並べて配置し線状光源としたもの等であってもよい。   The light sources 11a and 11b irradiate the photo-alignment film 40 with light rays, and can be, for example, rod-shaped lamps. Specifically, the rod-shaped lamp can be a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or the like. Further, the light sources 11a and 11b may be light emitting diodes or light sources that are linearly arranged by arranging light emitting diodes in a straight line.

上記回転部20は、光照射部10を、光配向膜40の表面に平行な面上で、光配向膜40に対して相対的に基準位置Sから所定の角度で回転させる。回転部20は、基準位置Sからの角度を手動もしくはモーターなどによる駆動で自動に回転することができる。所定の角度は、製品に応じた偏光特性を実現するための角度とすることができる。   The rotating unit 20 rotates the light irradiation unit 10 at a predetermined angle from the reference position S relative to the photo-alignment film 40 on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film 40. The rotating unit 20 can automatically rotate the angle from the reference position S manually or by driving with a motor or the like. The predetermined angle can be an angle for realizing a polarization characteristic corresponding to a product.

上記調整部30は、第一の光源列16の光源11aからの光と第二の光源列17の光源11bからの光とが、光配向膜40に対して均一に照射されるよう、第一の光源列16に対する第二の光源列17の位置を調整する。調整部30は、手動もしくはモーターなどによる駆動により自動で第二の光源列17の位置を調整することができる。   The adjusting unit 30 is configured so that the light from the light source 11a of the first light source row 16 and the light from the light source 11b of the second light source row 17 are uniformly irradiated to the photo-alignment film 40. The position of the second light source row 17 with respect to the light source row 16 is adjusted. The adjustment unit 30 can adjust the position of the second light source row 17 automatically or manually or by driving with a motor or the like.

図6に示すように、更に、第2の実施形態においては、回転部20は、光照射部10を、第一の光源列16の長手方向Xおよび短手方向Yを移動軸として移動させることで回転させ、調整部30は、第二の光源列17を、第二の光源列17の長手方向Xを移動軸として移動させ、第一の光源列16に対する第二の光源列17の位置を調整することができる。 As shown in FIG. 6, in the second embodiment, the rotating unit 20 further moves the light irradiation unit 10 using the longitudinal direction X 1 and the short direction Y 1 of the first light source row 16 as the movement axes. The adjustment unit 30 moves the second light source row 17 with the longitudinal direction X2 of the second light source row 17 as the movement axis, and the second light source row 17 with respect to the first light source row 16 is rotated. Can be adjusted.

上記回転部20は、光照射部10の紙面上で右の端部および左の端部を第一の光源列16の長手方向Xに、移動距離−dX1およびdX1移動し、第一の光源列16の短手方向Yに、移動距離−dY1およびdY1移動させることで回転させることができる。ここで、回転角が0である際の投影光源間隔Dをx/2、第一の光源列16の光源11aの並ぶ列と第二の光源列17の光源11bの並ぶ列との距離をd、各光源列に含まれる光源数をnとすると、移動距離dX1およびdY1は、式(2)および(3)のように導出することができる。

Figure 2015106015
It is the rotating part 20 in the longitudinal direction X 1 of the end portion and the left end of the right on the paper of the light irradiation unit 10 first light source array 16, to move the moving distance -d X1 and d X1, first of the lateral direction Y 1 of the light source array 16 can be rotated by causing the moving distance -d Y1 and d Y1 moved. Here, the projection light source interval D when the rotation angle is 0 is x / 2, and the distance between the row of light sources 11a in the first light source row 16 and the row of light sources 11b in the second light source row 17 is d. If the number of light sources included in each light source array is n, the movement distances d X1 and d Y1 can be derived as in equations (2) and (3).
Figure 2015106015

上記回転部20は、上述の例で、紙面上で右の端部および左の端部を移動することにより、照射部10を回転しているが、所定の回転を生じる部位であれば、どの部位を移動して照射部10を回転してもよい。   In the above example, the rotating unit 20 rotates the irradiation unit 10 by moving the right end and the left end on the paper surface. The irradiation unit 10 may be rotated by moving the part.

上記調整部30は、投影光源間隔Dを等間隔に戻す方向へ、第二の光源列17を長手方向Xに補正距離dだけ移動する。補正距離dは、式(4)により導出することができる。

Figure 2015106015
The adjusting unit 30, the direction of returning at equal intervals projection light source spacing D, and moves the second light source array 17 in the longitudinal direction X 2 by the correction distance d c. Correction distance d c can be derived by equation (4).
Figure 2015106015

その他の構成、機能は第1の実施形態と同様である。   Other configurations and functions are the same as those in the first embodiment.

[第3の実施形態]
本発明に係る第3の実施形態を、図7及び図8を用いて説明する。
[Third Embodiment]
A third embodiment according to the present invention will be described with reference to FIGS.

第3の実施形態は、光配向膜40を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより光配向膜40に配向処理を施すための偏光光照射装置であって、光照射部10と、回転部20と、調整部30とを備える。   The third embodiment is a polarized light irradiation apparatus for performing alignment processing on the photo-alignment film 40 by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film 40. The rotating unit 20 and the adjusting unit 30 are provided.

上記光配向膜40は、液晶分子群を一定方向に配列させるための膜で、例えばポリイミド膜等とすることができる。また、光配向膜40は、例えば、液晶用の基板等に塗布されたものであってよい。基板は、基板は、例えばコンベア、ローラー、ピン、テーブルなどの接触式ステージや非接触式の浮上搬送ステージによって光照射部10の照射範囲に移動することができる。   The photo-alignment film 40 is a film for aligning liquid crystal molecule groups in a certain direction, and may be a polyimide film, for example. The photo-alignment film 40 may be applied to a liquid crystal substrate, for example. A board | substrate can be moved to the irradiation range of the light irradiation part 10 by contact-type stages, such as a conveyor, a roller, a pin, a table, and a non-contact type levitation conveyance stage, for example.

上記光照射部10は、複数の光源11aを有する第一の光源列16、および、第一の光源列16に連結して設けられ、複数の光源11bを有する第二の光源列17を具える。   The light irradiation unit 10 includes a first light source row 16 having a plurality of light sources 11a and a second light source row 17 provided to be connected to the first light source rows 16 and having a plurality of light sources 11b. .

上記光源11a,bは、光配向膜40に光線を照射するもので、例えば、棒状ランプとすることができる。具体的には、棒状ランプは、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等とすることができる。また、光源11a,bは、発光ダイオードまたは発光ダイオードを直線状に並べて配置し線状光源としたもの等であってもよい。   The light sources 11a and 11b irradiate the photo-alignment film 40 with light rays, and can be, for example, rod-shaped lamps. Specifically, the rod-shaped lamp can be a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or the like. Further, the light sources 11a and 11b may be light emitting diodes or light sources that are linearly arranged by arranging light emitting diodes in a straight line.

上記回転部20は、光照射部10を、光配向膜40の表面に平行な面上で、光配向膜40に対して相対的に基準位置Sから所定の角度で回転させる。回転部20は、基準位置Sからの角度を手動もしくはモーターなどによる駆動で自動に回転することができる。所定の角度は、製品に応じた偏光特性を実現するための角度とすることができる。   The rotating unit 20 rotates the light irradiation unit 10 at a predetermined angle from the reference position S relative to the photo-alignment film 40 on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film 40. The rotating unit 20 can automatically rotate the angle from the reference position S manually or by driving with a motor or the like. The predetermined angle can be an angle for realizing a polarization characteristic corresponding to a product.

上記調整部30は、第一の光源列16の光源11aからの光と第二の光源列17の光源11bからの光とが、光配向膜40に対して均一に照射されるよう、第一の光源列16に対する第二の光源列17の位置を調整する。調整部30は、手動もしくはモーターなどによる駆動により自動で第二の光源列17の位置を調整することができる。   The adjusting unit 30 is configured so that the light from the light source 11a of the first light source row 16 and the light from the light source 11b of the second light source row 17 are uniformly irradiated to the photo-alignment film 40. The position of the second light source row 17 with respect to the light source row 16 is adjusted. The adjustment unit 30 can adjust the position of the second light source row 17 automatically or manually or by driving with a motor or the like.

更に、第3の実施形態においては、回転部20は、第一の光源列16を、光配向膜40の表面の垂直方向を回転軸として回転させ、調整部30は、第二の光源列17を、第二の光源列17を長手方向Xの両端で担持する担持部材35により移動させ、第一の光源列16に対する第二の光源列17の位置を調整することができる。 Furthermore, in the third embodiment, the rotating unit 20 rotates the first light source row 16 about the vertical direction of the surface of the photo-alignment film 40 as a rotation axis, and the adjusting unit 30 is used for the second light source row 17. the can of the second light source array 17 is moved by the carrier member 35 which carries at both ends in the longitudinal direction X 2, adjusting the position of the second light source array 17 relative to the first light source array 16.

上記担持部材35は、図8(b)に示すように、第一の光源列16の回転角が0である場合、第二の光源列17の担持端の距離が最短となり、図8(a)および(c)に示すように、第一の光源列16の回転角が製品に応じた偏光特性を実現するための角度の範囲で最大の場合、第二の光源列17の担持端の距離が最長となるように駆動することができる。ここで、回転角が0である際の投影光源間隔Dをx/2、第一の光源列16の光源11aの並ぶ列と第二の光源列17の光源11bの並ぶ列との距離をd、各光源列に含まれる光源数をnとすると、最短の担持端の距離lおよび最長の担持端の距離lは、以下の式(5)および式(6)により導出することができる。

Figure 2015106015
Figure 2015106015
As shown in FIG. 8B, when the rotation angle of the first light source array 16 is 0, the support member 35 has the shortest distance between the support ends of the second light source array 17, and FIG. ) And (c), when the rotation angle of the first light source row 16 is the maximum in the range of angles for realizing the polarization characteristics according to the product, the distance of the carrying end of the second light source row 17 Can be driven to be the longest. Here, the projection light source interval D when the rotation angle is 0 is x / 2, and the distance between the row of light sources 11a in the first light source row 16 and the row of light sources 11b in the second light source row 17 is d. When the number of light sources included in each light source row is n, the shortest carrying end distance l 1 and the longest carrying end distance l 2 can be derived from the following equations (5) and (6). .
Figure 2015106015
Figure 2015106015

上記担持部材35は、偏芯部材、カム部材またはバネ部材とすることができる。   The carrying member 35 can be an eccentric member, a cam member, or a spring member.

その他の構成、機能については第1の実施形態と同様である。   Other configurations and functions are the same as those in the first embodiment.

上記照射部10は、所定の回転角で回転した際、第二の光源列17の位置を調整するため、第二の光源列17の位置を調整しない場合の図9に示されるような光配向膜40に対する照度分布と比較して、図10に示されるように、光配向膜40に対する照度分布を均一にすることができる。図9および図10では、破線が各光源11a,bの照度分布、実線が照射部10の照度分布を示している。   When the irradiation unit 10 rotates at a predetermined rotation angle, the position of the second light source row 17 is adjusted to adjust the position of the second light source row 17, so that the light orientation shown in FIG. 9 is not adjusted. Compared with the illuminance distribution on the film 40, the illuminance distribution on the photo-alignment film 40 can be made uniform as shown in FIG. 9 and 10, the broken line indicates the illuminance distribution of each of the light sources 11 a and b, and the solid line indicates the illuminance distribution of the irradiation unit 10.

また、上記光源11a,bは、照射部10が所定の回転角で回転した場合、光配向膜40に対する照度分布が均一となるように各光源11a,bの照射範囲を重複して配置されていることが望ましい。また、光源11a,bは、照射部10が所定の回転角で回転した場合、光配向膜40に対する照度分布が均一となるよう、照射部10の短手方向の長さが最適化されていることが望ましい。   The light sources 11a and 11b are arranged with overlapping irradiation ranges of the light sources 11a and 11b so that the illuminance distribution on the photo-alignment film 40 becomes uniform when the irradiation unit 10 rotates at a predetermined rotation angle. It is desirable. Further, in the light sources 11a and 11b, the length of the irradiation unit 10 in the short direction is optimized so that the illuminance distribution with respect to the photo-alignment film 40 becomes uniform when the irradiation unit 10 rotates at a predetermined rotation angle. It is desirable.

続いて、本発明の実施形態に従う偏光光照射方法の一例について説明する。   Subsequently, an example of the polarized light irradiation method according to the embodiment of the present invention will be described.

本発明の偏光光照射方法は、光配向膜40を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより光配向膜40に配向処理を施すための偏光光照射方法であって、光照射ステップと、回転ステップと、調整ステップとを備えることを特徴とする。   The polarized light irradiation method of the present invention is a polarized light irradiation method for performing alignment treatment on the photo-alignment film 40 by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film 40, and includes a light irradiation step. And a rotation step and an adjustment step.

光照射ステップは、複数の光源11aを有する第一の光源列16、および、第一の光源列16に連結して設けられ、複数の光源11bを有する第二の光源列17を具える。   The light irradiation step includes a first light source row 16 having a plurality of light sources 11a and a second light source row 17 provided to be connected to the first light source rows 16 and having a plurality of light sources 11b.

回転ステップは、第一の光源列16および第二の光源列17を、光配向膜40の表面に平行な面上で、光配向膜40に対して相対的に基準位置Sから所定の角度で回転させる。   In the rotation step, the first light source row 16 and the second light source row 17 are arranged at a predetermined angle from the reference position S relative to the photo-alignment film 40 on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film 40. Rotate.

調整ステップは、第一の光源列16の光源からの光と第二の光源列17の光源11bからの光とが、光配向膜40に対して均一に照射されるよう、第一の光源列16に対する第二の光源列17の位置を調整する。   In the adjustment step, the first light source row is arranged so that the light from the light source of the first light source row 16 and the light from the light source 11b of the second light source row 17 are uniformly irradiated to the photo-alignment film 40. The position of the second light source row 17 with respect to 16 is adjusted.

続いて、本発明の実施形態に従う偏光光照射プログラムの一例について説明する。   Subsequently, an example of the polarized light irradiation program according to the embodiment of the present invention will be described.

本発明の偏光光照射プログラムは、光配向膜40を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより光配向膜40に配向処理を施すための偏光光照射プログラムであって、コンピュータに、回転機能と、調整機能とを実現させることを特徴とする。   The polarized light irradiation program of the present invention is a polarized light irradiation program for performing alignment treatment on the photo-alignment film 40 by irradiating light of a specific wavelength region while moving the photo-alignment film 40, It is characterized by realizing a rotation function and an adjustment function.

回転機能では、複数の光源11a,bを有する第一の光源列16および第二の光源列17を、光配向膜40の表面に平行な面上で、光配向膜40に対して相対的に基準位置Sから所定の角度で回転させる。   In the rotation function, the first light source row 16 and the second light source row 17 having a plurality of light sources 11a and 11b are relatively arranged with respect to the photo-alignment film 40 on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film 40. Rotate at a predetermined angle from the reference position S.

調整機能では、第一の光源列16の光源11aからの光と第二の光源列17の光源11bからの光とが、光配向膜40に対して均一に照射されるよう、第一の光源列16に対する第二の光源列17の位置を調整する。   In the adjustment function, the first light source so that the light from the light source 11a of the first light source row 16 and the light from the light source 11b of the second light source row 17 are uniformly irradiated to the photo-alignment film 40. The position of the second light source row 17 with respect to the row 16 is adjusted.

以上、本発明の偏光光照射装置、偏光光照射方法および偏光光照射プログラムについて詳細に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよい。   As described above, the polarized light irradiation apparatus, the polarized light irradiation method, and the polarized light irradiation program according to the present invention have been described in detail. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the scope of the present invention is not deviated. Various improvements and changes may be made.

A 搬送方向
B 回転方向
第一の光源列の長手方向
第二の光源列の長手方向
第一の光源列の短手方向
10 光照射部
11 光源部
12 フィルタ
13 偏光板
14 保護ガラス
16 第1光源列
17 第2光源列
20 回転部
30 調整部
35 担持部
40 光配向膜
A Transport direction B Rotation direction X 1 Longitudinal direction X of the first light source array X 2 Longitudinal direction of the second light source array Y 1 Short direction of the first light source array 10 Light irradiation unit 11 Light source unit 12 Filter 13 Polarizing plate 14 Protective glass 16 1st light source row | line | column 17 2nd light source row | line | column 20 Rotation part 30 Adjustment part 35 Supporting part 40 Photo-alignment film

Claims (12)

光配向膜を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより前記光配向膜に配向処理を施すための偏光光照射装置であって、
複数の光源を有する第一の光源列、および、前記第一の光源列に連結して設けられ、複数の光源を有する第二の光源列を具える光照射部と、
前記光照射部を、前記光配向膜の表面に平行な面上で、前記光配向膜に対して相対的に基準位置から所定の角度で回転させる回転部と、
前記第一の光源列の光源からの光と前記第二の光源列の光源からの光とが、前記光配向膜に対して均一に照射されるよう、前記第一の光源列に対する前記第二の光源列の位置を調整する調整部と
を備える偏光光照射装置。
A polarized light irradiation device for performing alignment treatment on the photo-alignment film by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film,
A first light source array having a plurality of light sources, and a light irradiating section provided in connection with the first light source array, the second light source array having a plurality of light sources;
A rotating unit that rotates the light irradiation unit at a predetermined angle from a reference position relative to the photo-alignment film on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film;
The second light with respect to the first light source row is uniformly irradiated with light from the light source of the first light source row and light from the light source of the second light source row. A polarized light irradiation apparatus comprising: an adjustment unit that adjusts the position of the light source array.
前記調整部は、前記第一の光源列の複数の光源および前記第二の光源列の複数の光源を、前記基準位置を通り前記光配向膜の表面に直交する面に投影した場合における前記複数の光源の隣り合う光源間の間隔が等しくなるよう、前記第二の光源列の位置を調整することを特徴とする請求項1に記載の偏光光照射装置。   The adjusting unit is configured to project the plurality of light sources of the first light source array and the plurality of light sources of the second light source array onto a plane that passes through the reference position and is orthogonal to the surface of the photo-alignment film. The polarized light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the position of the second light source array is adjusted so that the intervals between adjacent light sources are equal. 前記第一の光源列および前記第二の光源列は、さらに、前記光源からの光のうち、特定の波長の光を透過するフィルタ、および、該フィルタを透過した光を偏光させる偏光材を有し、
前記光照射部は、前記偏光材によって偏光された光を、前記光配向膜に照射することを特徴とする請求項1または2に記載の偏光光照射装置。
The first light source array and the second light source array further include a filter that transmits light of a specific wavelength out of the light from the light source, and a polarizing material that polarizes the light transmitted through the filter. And
The polarized light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the light irradiation unit irradiates the light alignment film with light polarized by the polarizing material.
前記第一の光源列および前記第二の光源列は、互いにスライド可能に連結されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の偏光光照射装置。   The polarized light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the first light source array and the second light source array are slidably connected to each other. 前記回転部は、前記光照射部を、前記光配向膜の表面の垂直方向を回転軸として回転させ、
前記調整部は、前記第二の光源列を、該第二の光源列の長手方向を移動軸として移動させ、前記第一の光源列に対する前記第二の光源列の位置を調整することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の偏光光照射装置。
The rotating unit rotates the light irradiation unit about a vertical direction of the surface of the photo-alignment film as a rotation axis,
The adjusting unit moves the second light source array with the longitudinal direction of the second light source array as a movement axis, and adjusts the position of the second light source array with respect to the first light source array. The polarized light irradiation device according to any one of claims 1 to 4.
前記回転部は、前記光照射部を、前記第一の光源列の長手方向および短手方向を移動軸として移動させることで回転させ、
前記調整部は、前記第二の光源列を、該第二の光源列の長手方向を移動軸として移動させ、前記第一の光源列に対する前記第二の光源列の位置を調整することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の偏光光照射装置。
The rotating unit rotates the light irradiation unit by moving the first light source row in the longitudinal direction and the short direction as a movement axis,
The adjusting unit moves the second light source array with the longitudinal direction of the second light source array as a movement axis, and adjusts the position of the second light source array with respect to the first light source array. The polarized light irradiation device according to any one of claims 1 to 4.
前記回転部は、前記第一の光源列を、前記光配向膜の表面の垂直方向を回転軸として回転させ、
前記調整部は、前記第二の光源列を、該第二の光源列を長手方向の両端で担持する担持部材により移動させ、前記第一の光源列に対する前記第二の光源列の位置を調整することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の偏光光照射装置。
The rotating unit rotates the first light source array about a vertical direction of the surface of the photo-alignment film as a rotation axis,
The adjustment unit adjusts the position of the second light source array with respect to the first light source array by moving the second light source array by a supporting member that supports the second light source array at both ends in the longitudinal direction. The polarized light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the polarized light irradiation apparatus includes:
前記担持部材は、偏芯部材であることを特徴とする請求項7に記載の偏光光照射装置。   The polarized light irradiation apparatus according to claim 7, wherein the supporting member is an eccentric member. 前記担持部材は、カム部材であることを特徴とする請求項7に記載の偏光光照射装置。   The polarized light irradiation apparatus according to claim 7, wherein the carrying member is a cam member. 前記担持部材は、バネ部材であることを特徴とする請求項7に記載の偏光光照射装置。   The polarized light irradiation apparatus according to claim 7, wherein the supporting member is a spring member. 光配向膜を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより前記光配向膜に配向処理を施すための偏光光照射方法であって、
複数の光源を有する第一の光源列、および、前記第一の光源列に連結して設けられ、複数の光源を有する第二の光源列を具える光照射ステップと、
前記第一の光源列および前記第二の光源列を、前記光配向膜の表面に平行な面上で、前記光配向膜に対して相対的に基準位置から所定の角度で回転させる回転ステップと、
前記第一の光源列の光源からの光と前記第二の光源列の光源からの光とが、前記光配向膜に対して均一に照射されるよう、前記第一の光源列に対する前記第二の光源列の位置を調整する調整ステップと
を備える偏光光照射方法。
A polarized light irradiation method for performing alignment treatment on the photo-alignment film by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film,
A first light source array having a plurality of light sources, and a light irradiation step provided in connection with the first light source array, the second light source array having a plurality of light sources;
A rotation step of rotating the first light source array and the second light source array at a predetermined angle relative to the photo-alignment film relative to the photo-alignment film on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film; ,
The second light with respect to the first light source row is uniformly irradiated with light from the light source of the first light source row and light from the light source of the second light source row. An adjustment step of adjusting the position of the light source row of the polarized light irradiation method.
光配向膜を移動させながら特定の波長領域の光を照射することにより前記光配向膜に配向処理を施すための偏光光照射プログラムであって、コンピュータに、
複数の光源を有する第一の光源列および第二の光源列を、前記光配向膜の表面に平行な面上で、前記光配向膜に対して相対的に基準位置から所定の角度で回転させる回転機能と、
前記第一の光源列の光源からの光と前記第二の光源列の光源からの光とが、前記光配向膜に対して均一に照射されるよう、前記第一の光源列に対する前記第二の光源列の位置を調整する調整機能と
を実現させる偏光光照射プログラム。
A polarized light irradiation program for performing alignment treatment on the photo-alignment film by irradiating light in a specific wavelength region while moving the photo-alignment film,
A first light source array and a second light source array having a plurality of light sources are rotated at a predetermined angle from a reference position relative to the photo-alignment film on a plane parallel to the surface of the photo-alignment film. Rotation function,
The second light with respect to the first light source row is uniformly irradiated with light from the light source of the first light source row and light from the light source of the second light source row. A polarized light irradiation program that realizes an adjustment function for adjusting the position of the light source array.
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