JP2014168896A - 液滴吐出ヘッドの洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル列が増えても、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さい液滴吐出装置の洗浄装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル２が配列された液滴吐出ヘッド１を備える液滴吐出装置の洗浄装置１０において、液滴吐出ヘッド１（ノズルプレート３）の吐出面との間にギャップＧを形成するクリーニングプレート１１と、互いに向き合う位置に設けられた噴射孔１３・１４からギャップＧ内に流体を送り出す加圧手段１８と、クリーニングプレート１１に設けられた吸引孔１２からギャップＧ内の流動体を吸引する負圧手段１７とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、多数の吐出口から液滴を吐出する液体吐出ヘッドの洗浄装置に関するものである。

従来、半導体素子や電子回路などの微細な配線パターンを形成するデバイス製造方法としては、フォトリソグラフィー法が多く利用されてきた。しかし、フォトリソグラフィー法は、トップダウン型のプロセスであり、材料の利用効率が低く、さらに装置が高価であり、工程が複雑で長いため、製造コストを上昇させる原因となっている。

そのため、近年ではボトムアップ型のプロセスである印刷法、例えば、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、インクジェット印刷などによるデバイス製造方法に注目が集まっている。これらの印刷法では、金属などの導電性微粒子や有機半導体を溶解させたインクなどを不導体基材上に塗布し、焼成を行うことでパターンを形成する。特にインクジェット印刷は、電極や絶縁体、半導体などを不導体基材上に直接描画することができ、マスクなどの装置が不要であるため、安価なデバイス製造方法や少量多品種に対応した製造方法として注目が集まっている。

デバイスの製造にインクジェット印刷（ピエゾ方式・静電方式・バブルジェット（登録商標）方式など）を用いる場合、通常の画像形成と比べて高いインク吐出精度と長期の吐出安定性とが求められる。インクジェット印刷において、ノズル孔内で固化したインクや吐出面に付着したごみなどは、インクの吐出形状・吐出速度・吐出方向にバラツキを生じさせ、インクの吐出精度の低下を招く。また、ノズルからの溶媒の蒸発に起因するインク粘度の部分的な上昇（高濃度インク部）や気泡の混入によって、吐出精度の低下と吐出安定性の低下が起きる。そのため、高い吐出精度と吐出安定性とを達成するためには、ノズル孔内や吐出面の状態を常に最適にしておく必要がある。

そこで、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）には、パージング処理、キャッピング処理、ワイピング処理などの洗浄処理により、インク吐出機能の回復が行なわれている。また、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）の吐出面を撥液性のあるコーティングで覆うことにより、吐出面の清浄性を保つ工夫がされている。

上記パージング処理とは、インクの吐出の圧力より高い圧力をノズル付近のインクにかけ、ノズルから強制的にインクを捨てる動作のことである。高濃度インク部の排出や気泡の除去によりノズルを詰まらせないようにすることができる。しかし、パージング処理は、全てのノズルに均等に圧力を掛けることが難しいため、全てのノズルに対してインク吐出機能を回復させることが難しい。ノズルは他の複数のノズルと連通しているため、インク固化物で遮蔽された吐出不能のノズルがある場合は、近接する吐出可能なノズルから圧力の開放が行われるためである。また、パージング処理では、吐出面に付着したごみやインク固化物などの除去はできない。

上記キャッピング処理とは、吐出面にキャップ構造を当接させて外部と隔離し、キャップ構造内に負圧を発生させ、ノズル内のインクを吸引する動作である。しかし、キャッピング処理では、インク固化物で遮蔽されている吐出不能なノズルがある場合は、近接する吐出可能なノズルからインクが排出される。そのため、パージング処理と同様に、全てのノズルに対してインクの吐出機能を回復させることが難しい。

上記ワイピング処理とは、特許文献１にあるように、吐出面をブレード状部材により払拭することによって、吐出面に付着したゴミやインク固化物を除去する動作のことである。しかし、ワイピング処理では、ブレード状部材と吐出面との接触による磨耗が発生するため、摩耗埃などのゴミが発生するという問題があった。また、多くのインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は吐出面を撥水処理しているため、ブレード状部材が吐出面に接触することで撥水効果が薄れるという問題があった。さらに、インクは粘着力をもった高分子が含まれることが多いことに加え、吐出面の撥水効果の低下を防ぐ接触圧でブレード状部材を接触させないとならないため、ブレード部材では十分な洗浄ができないという問題もあった。

そこで、特許文献２には、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）のノズル列毎に真空ノズルを非接触で配置し、真空ノズルをノズルの列方向に移動させながら、吐出面やノズル孔内の洗浄を行う装置が提案されている。この装置による洗浄によれば、パッシング処理やキャッピング処理などに比べ、ノズル毎の洗浄能力のバラツキを少なくすることができる。また、吐出面と真空ノズルとは非接触であるため、吐出面をブレード部材で払拭する場合に比べ、摩耗塵などのゴミの発生や吐出面の破損（傷、撥水処理剥がれなど）を抑制することができる。

また、特許文献３には、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）に対向させてクリーニングプレートを配置し、その間の空間に形成されるギャップに流体を送り出すことにより、吐出面やノズル孔内の洗浄を行う装置が提案されている。具体的には、ヘッドの短手方向一端側に設けられた送出口からギャップ内に流体を送り出し、吐出面に付着したインクやゴミを取り込んだ流体を、ヘッドの長手方向他端側に設けられた吸引口で吸引、又は回収槽に回収する。特許文献３に記載される装置による洗浄によれば、パッシング処理やキャッピング処理などに比べ、ノズル毎の洗浄能力のバラツキを少なくすることができる。また、吐出面とクリーニングプレートとは非接触で、吐出面に接触するのが流体である。そのため、吐出面をブレード部材で払拭する場合に比べ、摩耗塵などのゴミの発生や吐出面の破損（傷、撥水処理剥がれなど）を抑制することができる。

しかしながら、高解像度化と生産性の向上のため、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、ヘッドの短手方向にも多数のノズル列が配置されることが多くなっている。特許文献２に記載される装置において、多数のノズル列が配置される場合には、真空ノズルの中心部からずれているノズルには十分な吸引力が働かないという問題がある。そのため、多数のノズル列が配置される場合には、全ノズルに対して真空ノズルを走査する必要が生じ、タクトタイムが増加し生産性が低下してしまう。真空ノズルのノズル径・形状を大きくし、多ノズルを同時に洗浄するという方法もあるが、十分な吸引力を確保するには排気量の大きなポンプが必要となり、コストの増加などの生産性低下につながるという問題がある。

また、特許文献３に記載される装置において、多数のノズル列が配置される場合には、流体の移動方向の上流側のノズルから排出されたインクやゴミが、下流側にある吐出面に再付着し、吐出面を汚染するという問題があった。さらに、上流側に行くほど下流側に配置された吸引口と離れることになるため、上流側のノズル孔内又は吐出面に対しては、十分な吸引力が得られないという問題もあった。

本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、ノズル列が増えても、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さい液滴吐出装置の洗浄装置を提供することである。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、液滴を吐出する複数のノズルが配列された液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の洗浄装置において、上記液滴吐出ヘッドの吐出面との間にギャップを形成するクリーニングプレートと、互いに向き合う位置に設けられた少なくとも一対の送出口から該ギャップ内に流体を送り出す送出手段と、該クリーニングプレートに設けられた少なくともひとつの吸引口から該ギャップ内の流動体を吸引する吸引手段とを備えることを特徴とするものである。

本発明においては、ノズル孔内や液滴吐出ヘッドの吐出面に付着したインクやゴミは、送出手段によってギャップ内に送出された流体に取り込まれて吸引手段により回収され、一度に多くのノズル孔内や吐出面の洗浄が可能となる。よって、ノズル列が増えても、真空ノズルなどの吸引手段のみで洗浄を行う場合に比べ、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さい。また、本発明においては、互いに向き合う位置（ギャップの両端側）に設けられた一対の送出口からギャップ内に流体を送り出す。よって、一端側に設けられた送出口から一方向に流体を送り出す場合に下流側で洗浄後のインクやゴミが再付着していた領域の一部は、一端側の送出口と向き合う位置に設けられた他端側の送出口から送り出される流体により洗浄されることになる。また、吸引口がクリーニングプレートに設けられているため、送出口と吸引口との距離は、クリーングプレートを挟んで送出口と吸引口とが配置される場合に比べ小さくなり、ギャップ内に吸引力が及びやすい。つまり、ギャップの両端側の送出口から流体を流す本発明は、同じ数のノズル列をもつギャップの一端側の送出口からのみ流体を送出する場合に比べ洗浄能力が高く、ノズル列が多くなっても洗浄能力の低下の度合いが小さいといえる。このように、本発明は、ノズル列が増えても、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さいという優れた効果がある。

第１の実施形態に係る洗浄装置の全体構成を示す構成図。 （ａ）は第１の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図。 （ａ）は第２の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は第２・第３の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図、（ｃ）は第３の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｄ）は第４の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図。 （ａ）は第５の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図。 （ａ）は第６、第７、第８の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図、（ｃ）は第７の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図、（ｄ）は第８の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図。 （ａ）は複数のノズルが４列に千鳥配置されたノズルプレートを洗浄するための、第８の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図。 第９の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図。 （ａ）（ｂ）（ｃ）は第９の実施形態に係る洗浄装置の洗浄工程を説明する工程図。

以下、本発明を液滴吐出装置であるインクジェットヘッドの洗浄装置に適用した実施形態について図面を参照して説明する。
［第１の実施形態］
図１は、第１の実施形態に係る洗浄装置の全体構成を示す構成図である。図２（ａ）は第１の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。図１及び図２に示すインクジェットヘッド１は、複数のノズル２が２列に千鳥配置された液滴吐出ヘッドたるノズルプレート３を備えている。

第１の実施形態に係る洗浄装置１０は、図１に示すように、インクジェットヘッド１のノズルプレート３を外部から隔離する隔離手段である洗浄槽１００を備えている。インクジェットヘッド１の洗浄時には、洗浄槽１００の開口部１０１に向けてインクジェットヘッド１が下降し、洗浄槽１００の開口部１０１にノズルプレート３が挿入される。洗浄されたインクやゴミを洗浄槽の外側、すなわち印刷プロセスが行われる他の空間を汚染するのを防止するためである。

上記洗浄槽１００のインクジェットヘッド１に対向する上面部には、弾性体１０２が設置されている。インクジェットヘッド１と洗浄槽１００とが弾性体１０２を介して当接することにより、インクジェットヘッド１と洗浄槽１００との密着性及び密閉性を保つことができる。そして、この洗浄槽１００は、三方弁１０３を介して負圧手段１０４に接続されており、洗浄槽１００内を減圧することが可能となっている。また、三方弁１０３を大気側に接続することにより洗浄槽１００内を大気圧に戻すことが可能となっている。これにより、本実施形態に係る洗浄装置１０は、後述するクリーニングプレートによる洗浄とは別にキャッピング処理を行うことも可能である（以下に説明する実施形態についても同様である）。キャッピング処理では、洗浄槽１００内の減圧により、ノズル３内の高濃度インクなどを吸引し、ノズル３内でのインクの詰まりを解消することができる。

そして、第１の実施形態に係る洗浄装置１０は、図１及び図２（ａ）に示すように、ノズルプレート３の吐出面３ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート１１を備えている。このクリーニングプレート１１は、図示しないアクチュエータによって図１中上下方向に往復移動可能で、ギャップ調整が可能となっている。ギャップ間距離（吐出面とクリーニングプレートとの距離）は、好ましくは１００μｍ〜１ｃｍ、より好ましくは０．５ｍｍ〜８ｍｍ、さらに好ましくは１ｍｍ〜５ｍｍである。ギャップ間距離を調整することにより、ギャップＧを流れる流体の流量を調整することができ、後述する吸引孔による吸引力を調整することができる（以下に説明する実施形態についても同様である）。

また、このクリーニングプレート１１は、図２（ｂ）に示すように、吐出面３ａの全領域以上を覆う大きさではなく、吐出面３ａの略半分の領域を覆う大きさに形成されている。クリーニングプレート１１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面３ａとの間のギャップＧを維持しながらヘッドの長手方向となるノズルの列方向（図中矢印Ｙ方向）に往復移動可能である。これにより、クリーニングプレート１１は、小型化を図りつつ、吐出面３ａの全領域を洗浄できるようになっている。なお、上記クリーニングプレート１１は、可動である代わりに吐出面の全領域を覆う大きさであってもよい。

上記クリーニングプレート１１の中央部（二列のノズル列の中心線に対向する位置）には吸引口となる吸引孔１２が吐出面３ａに対して直交する方向に貫通するように設けられている。この吸引孔１２は、図１に示すように、廃液槽１６とバルブとを介して吸引手段となる負圧手段１７に接続されている。これにより、後述するように、洗浄の際に出たインクとごみを廃液漕１６内に回収することができるようになっている。このとき、ノズル２の中心軸と吸引孔１２の中心軸とがずれていることにより、複数のノズル列をもつ場合でも、各ノズル列を走査する必要がない。

そして、上記洗浄装置１０は、ヘッドの短手方向となるノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）両端部に、上記ギャップＧ内に流体を送り出す送出口となる３対の噴射孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１４ａ、１４ｂ、１４ｃを備えている。これら噴射孔１３、１４は、図１に示すように、バルブを介して送出手段たる加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けてノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）に噴射する。図２（ａ）に示すように、噴射孔１３から噴射された流体は、吐出面３ａに沿って右方向に進んで吸引孔１２に到達し、噴射孔１４から噴射された流体は、吐出面３ａに沿って左方向に進んで吸引孔１２に到達する。なお、ここで用いる流体には、気体であれば、空気・窒素・アルゴンなど、液体であればインクが可溶な物、好ましくはインク溶媒を用いることが望ましい（以下に説明する実施形態についても同様である）。

また、これら噴射孔１３、１４は、図２（ｂ）に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート１１の往復移動と連動して、ノズルの列方向（図中矢印Ｙ方向）に往復移動可能に構成されている。これにより、上述したように、噴射孔を多く設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。

上記構成の洗浄装置１０においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔１３、１４から加圧された流体がギャップＧ内に噴射される。それと同時に吸引孔１２は減圧手段によってギャップＧ内を減圧する。これにより、ノズル２内や吐出面３ａに付着したインクやゴミは、ギャップＧ内に噴射された流体により中央部（吸引孔１２の上方）に集められ、吸引孔１２を通して廃液槽１６内に回収される。上述した洗浄装置１０は、吐出面３ａにブレードを払拭させる場合に比べ、吐出面３ａの摩耗による塵埃の発生や、吐出面３ａの破損（傷・撥水処理の剥がれなど）を防止することができる。

なお、上記クリーングプレート１１には、吐出面３ａに対向する面に撥水処理を施すことが好ましい。洗浄の際にでたインクやゴミがクリーニングプレート１１に付着するのを防ぐことが可能である。これにより、ギャップＧにインクやゴミが残留することなく、これらを吸引孔１２により排出させることができる（以下に説明する実施形態についても同様である）。

［第２の実施形態］
図３（ａ）は第２の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。図３に示すインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）４は、複数のノズル５が四列に千鳥配置されたノズルプレート６を備えている。

第２の実施形態に係る洗浄装置は、図３（ａ）に示すように、ノズルプレート６の吐出面６ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート２１を備えている。クリーニングプレート２１は、第１の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図３（ａ）中上下方向に往復移動可能で、ギャップ調整が可能となっている。また、クリーニングプレート２１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面６ａとの間のギャップＧを維持しながらノズルの列方向（図中Ｙ方向）に往復移動可能である。これにより、クリーニングプレート２１は、小型化を図りつつ、吐出面６ａの全領域を洗浄できるようになっている。

また、上記クリーニングプレート２１の中央部（ノズル四列の中心線に対向する位置）には吸引手段である吸引孔２２が設けられている。この吸引孔２２は、第１の実施形態で説明したように、廃液槽１６を介して負圧手段１７に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽１６内に回収することができるようになっている。

そして、上記洗浄装置２０は、ヘッドの短手方向となるノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）両端部に、上記ギャップＧ内に流体を送り出す３対の噴射孔２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２４ａ、２４ｂ、２４ｃを備えている。これら噴射孔２３、２４は、第１の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けて噴射する。

ここで、上記噴射孔２３、２４の噴射方向は、図３（ｂ）に示すように、クリーニングプレートの進行方向に向かって、ノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）から角度αの傾きがつけられている。これにより、噴射孔２３、２４から噴射される流体は、交差することになり、角度αが０度となる噴射孔から噴射される流体に比べ、クリーニングプレート２１の中央部で衝突した時の飛散方向が進行方向に限定される。つまり、ノズル５内や吐出面６ａから離脱したゴミやインクの飛散方向を進行方向に限定することが可能である。これにより、洗浄後の吐出面６ａに洗浄後のインクやゴミが再付着する範囲を狭めることができるのである。なお、角度αは５度〜８５度の間が好ましく、より好ましくは１５〜７５度、さらに好ましくは３０〜６０度である。

また、これら噴射孔２３、２４は、図３（ｂ）に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート２１の往復移動と連動して、ノズルの列方向（図中矢印Ｙ方向）に往復移動可能であり。これにより、上述したように、例えば、多数の噴射孔を設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。

上記構成の洗浄装置２０においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔２３、２４から加圧された流体がギャップＧ内に噴射される。それと同時に吸引孔２２は減圧手段によってギャップＧ内を減圧する。これにより、ノズル５内や吐出面６ａに付着したインクやゴミは、ギャップＧ内に噴射された流体により中央部（吸引孔２２の上方）に集められ、吸引孔２２を通して廃液槽１６内に回収される。

［第３の実施形態］
図３（ｃ）は第３の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図である。図３（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。

第３の実施形態に係る洗浄装置３０は、図３（ｃ）に示すように、ノズルプレート６の吐出面６ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート３１を備えている。クリーニングプレート３１は、第１の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図３（ｃ）中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート３１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面６ａとの間のギャップＧを維持しながらノズルの列方向（図中Ｙ方向）に往復移動可能である。これにより、クリーニングプレート３１は、小型化を図りつつ、吐出面６ａの全領域を洗浄できるようになっている。

また、上記クリーニングプレート３１の中央部（ノズル列の中心線に対向する位置）には吸引手段である吸引孔３２が設けられている。この吸引孔３２は、第１の実施形態で説明したように、廃液槽１６を介して負圧手段１７に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽１６内に回収することができるようになっている。

そして、上記洗浄装置３０は、ヘッドの短手方向となるノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）両端部に、上記ギャップＧ内に流体を送り出す３対の噴射孔３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３４ａ、３４ｂ、３４ｃを備えている。これら噴射孔３３、３４は、第１の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けて噴射する。

ここで、上記噴射孔３３、３４の噴射方向は、第２の実施形態で説明したように、クリーニングプレート３１の進行方向に向かってノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）から角度αの傾きがつけられている。さらに、これら噴射孔３３、３４は、吐出面６ａに対して角度を持って配置され、噴射孔３３、３４の流体噴射方向の延長線（図中、点線で示す）が最外ノズル列５‘の外側で吐出面６ａと交わっている。噴射孔３３、３４は、より吐出面６ａに近い部分に流体の流れを発生させることができ、流体は吐出面６ａやクリーニングプレート３１との摩擦による流体損失を少なくすることができる。これにより、吸引孔３２による吸引力を増加させることができる。なお、噴射孔を傾ける角度は、図３（ｂ）（ｃ）に示すように、必ずしも両方向に持たせる必要はなく、どちらか一方を持たせるだけでも良い。

また、これら噴射孔３３、３４は、図３（ｂ）に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート３１の往復移動と連動して、ノズルの列方向（図中矢印Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、上述したように、多数の噴射孔を設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。

上記構成の洗浄装置３０においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔３３、３４から加圧された流体がギャップＧ内に噴射される。それと同時に吸引孔３２は減圧手段によってギャップＧ内を減圧する。これにより、ノズル５内や吐出面６ａに付着したインクやゴミは、ギャップＧ内に噴射された流体により中央部（吸引孔３２の上方）に集められ、吸引孔３２を通して廃液槽１６内に回収される。

［第４の実施形態］
図３（ｄ）は、第４の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図である。

第４の実施形態に係る洗浄装置は、図３（ｄ）に示すように、インクジェットヘッド６の吐出面６ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート４１を備えている。クリーニングプレート４１は、第１の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図３（ｄ）中上下方向に往復移動が可能で、ギャップ調整が可能となっている。また、クリーニングプレート４１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面６ａとの間のギャップＧを維持しながらノズルの列方向（図中Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート４１は、小型化を図りつつ、吐出面６ａの全領域を洗浄できるようになっている。

上記クリーニングプレート４１の中央部（四つのノズル列の中心線に対向する位置）には吸引手段である吸引孔４２が設けられている。さらに、この吸引孔４２の両隣には、吸引孔４２より幅が小さく形成される副吸引孔４５、４６が設けられている。これらの吸引孔４２や副吸引孔４５、４６は、第１の実施形態で説明したように、廃液槽１６を介して負圧手段１７に接続されている。これにより、ノズル列が多い場合でも、より確実に洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽１６内に回収することができるようになっている。

そして、上記洗浄装置４０は、ヘッドの短手方向となるノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）両端部に、上記ギャップＧ内に流体を送り出す３対の噴射孔４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４４ａ、４４ｂ、４４ｃを備えている。これら噴射孔４３、４４は、第１の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けて噴射する。そして、これら噴射孔は、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレートの移動と連動して、ノズルの列方向（図中矢印Ｙ方向）に往復移動が可能に構成されている。これにより、上述したように、噴射孔を多く設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。

上記構成の洗浄装置４０においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔４３、４４から加圧された流体がギャップＧ内に噴射される。それと同時に吸引４２は減圧手段によってギャップＧ内を減圧する。これにより、ノズル５内や吐出面６ａに付着したインクやゴミは、ギャップＧ内に噴射された流体により、吸引孔４２、副吸引孔４５、４６を通して廃液槽１６内に回収される。

［第５の実施形態］
図４（ａ）は第５の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。図４に示すインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）１は、複数のノズル２が２列に千鳥配置されたノズルプレート３を備えている。

第５の実施形態に係る洗浄装置は、図４（ａ）に示すように、ノズルプレート３の吐出面３ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート５１を備えている。クリーニングプレート５１は、第１の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図４（ａ）中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート５１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面３ａとの間のギャップＧを維持しながらノズルの列方向（図中Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート５１は、小型化を図りつつ、吐出面３ａの全領域を洗浄できるようになっている。

上記クリーニングプレート５１の中央部（ノズル二列の中心線に対向する位置）には吸引手段である吸引孔５２が設けられている。この吸引孔５２は、第１の実施形態で説明したように、廃液槽１６を介して負圧手段１７に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽１６内に回収することができるようになっている。

そして、上記クリーニングプレート５１の上面には、図４（ａ）に示すように、ノズルプレート３の吐出面３ａが嵌合する溝５１ａが形成されている。また、クリーニングプレート５１のノズルの行方向両端部、すなわち溝５１ａを形成する立設部５１ｂ、５１ｃには、３対の噴射孔５３ａ、５３ｂ、５３ｃ、５４ａ、５４ｂ、５４ｃが設けられている。洗浄装置５０は、クリーニングプレート５１と噴射孔５３、５４とを一体に同一部材で構成しているため、噴射孔を別体で構成する場合に比べ、部品点数を減らすことができ、低コスト化が可能となる。また、後述するように、噴射孔からの流体の噴射方向の向きの調整も簡便である。

上記クリーニングプレート５１に設けられた噴射孔５３、５４は、第１の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けてノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）に噴射する。図４（ａ）に示すように、噴射孔５３から噴射された流体は、吐出面３ａに沿って右方向に進んで吸引孔５２に到達し、噴射孔５４から噴射された流体は、吐出面３ａに沿って左方向に進んで吸引孔５２に到達する。このとき、噴射孔５３、５４の開口部がギャップＧに近接して設置されるため、噴射孔を別体で構成する場合に比べ、噴射孔５３、５４から流体をギャップＧに向けて効率よく流すことが可能となる。

また、これら噴射孔５３、５４は、図４（ｂ）に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート５１の往復移動と連動して、ノズル列の方向（図中矢印Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、上述したように、多数の噴射孔を設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。

上記構成の洗浄装置５０においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔５３、５４から加圧された流体がギャップＧ内に噴射される。それと同時に吸引孔５２は減圧手段によってギャップＧ内を減圧する。これにより、ノズル２内や吐出面３ａに付着したインクやゴミは、ギャップＧ内に噴射された流体により中央部（吸引孔５２の上方）に集められ、吸引孔５２を通して廃液槽１６内に回収される。

［第６の実施形態］
図５（ａ）は第６の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｂ）は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。図５に示すインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）１は、複数のノズル２が２列に千鳥配置されたノズルプレート３を備えている。

第６の実施形態に係る洗浄装置６０は、図５（ａ）に示すように、ノズルプレート３の吐出面３ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート６１を備えている。クリーニングプレート６１は、第１の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図５（ａ）中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート６１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面３ａとの間のギャップＧを維持しながらノズルの列方向（図中Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート６１は、小型化を図りつつ、吐出面３ａの全領域を洗浄できるようになっている。

上記クリーニングプレート６１の中央部（ノズル二列の中心線に対向する位置）には吸引手段である吸引孔６２が設けられている。この吸引孔６２は、第１の実施形態で説明したように、廃液槽１６を介して負圧手段１７に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽１６内に回収することができるようになっている。

また、上記クリーニングプレート６１のノズルの行方向両端部には、吸引孔６２と略平行方向に三対の噴射孔６３ａ、６３ｂ、６３ｃ、６４ａ、６４ｂ、６４ｃが設けられている。これら噴射孔６３、６４の開口部は、吐出面３ａに対して直交する方向から所定の角度の傾きがつけられ、流体の噴射方向の延長線（図中点線で示す）が最外ノズル列２‘の外側で吐出面３ａと交わるようになっている。これら噴射孔６３、６４は、第１の実施形態で説明したように、加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けて噴射する。噴射孔６３、６４は、より吐出面３ａに近い部分に流体の流れを発生させることができ、流体は吐出面３ａやクリーニングプレート６１との摩擦による流体損失を少なくすることができる。これにより、吸引孔６２による吸引力を増加させることができる。

上記構成の洗浄装置６０においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔６３、６４から加圧された流体がギャップＧ内に噴射される。それと同時に吸引孔６２は減圧手段によってギャップＧ内を減圧する。これにより、ノズル２内や吐出面３ａに付着したインクやゴミは、ギャップＧ内に噴射された流体により中央部（吸引孔６２の上方）に集められ、吸引孔６２を通して廃液槽１６内に回収される。

［第７の実施形態］
図５（ａ）は第７の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｃ）は第７の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。

第７の実施形態に係る洗浄装置７０は、図５（ａ）に示すように、ノズルプレート３のノズル吐出３ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート７１を備えている。クリーニングプレート７１は、第１の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図７（ａ）中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート７１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面３ａとの間のギャップＧを維持しながらノズルの列方向（図中Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート７１は、小型化を図りつつ、吐出面３ａの全領域を洗浄できるようになっている。

上記クリーニングプレート７１の中央部（ノズル二列の中心線に対向する位置）には吸引手段である吸引孔７２が設けられている。この吸引孔７２は、第１の実施形態で説明したように、廃液槽１６を介して負圧手段１７に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽１６内に回収することができるようになっている。

また、上記クリーニングプレート７１のノズルの行方向両端部には、吸引孔７２と略平行方向に三対の噴射孔７３ａ、７３ｂ、７３ｃ、７４ａ、７４ｂ、７４ｃが設けられている。これら噴射孔７３、７４の開口部は、吐出面３ａに対して直交する方向から所定の角度の傾きがつけられ、流体の噴射方向の延長線（図中点線で示す）が最外ノズル列２‘の外側で吐出面３ａと交わるようになっている。これら噴射孔７３、７４は、第１の実施形態で説明したように、加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けて噴射する。

ここで、上記噴射孔７３、７４の噴射方向は、図５（ｃ）に示すように、クリーニングプレートの進行方向に向かって、ノズルの行方向（図中矢印Ｘ方向）から角度αの傾きがつけられている。これにより、噴射孔７３、７４から噴射される流体は交差することになり、角度αが０度となる噴射孔から噴射される流体に比べ、クリーニングプレート７１の中央部で衝突した時の飛散方向が進行方向に限定される。つまり、ノズル２内や吐出面３ａから離脱したゴミやインクの飛散方向を進行方向に限定することが可能である。これにより、洗浄後の吐出面３ａに洗浄後のゴミやインク固化物が再付着する範囲を狭めることができるのである。

上記構成の洗浄装置７０においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔７３、７４から加圧された流体がギャップＧ内に噴射される。それと同時に吸引孔７２は減圧手段によってギャップＧ内を減圧する。これにより、ノズル２内や吐出面３ａに付着したインクやゴミは、ギャップＧ内に噴射された流体により中央部（吸引孔７２の上方）に集められ、吸引孔７２を通して廃液漕１６内に回収される。

［第８の実施形態］
図５（ａ）は第８の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、（ｄ）は第８の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。

第８の実施形態に係る洗浄装置８０は、図５（ａ）に示すように、ノズルプレート３の吐出面３ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート８１を備えている。クリーニングプレート８１は、第１の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図５（ａ）中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート８１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面３ａとの間のギャップＧを維持しながらノズルの列方向（図中Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート８１は、小型化を図りつつ、吐出面３ａの全領域を洗浄できるようになっている。

上記クリーニングプレート８１の中央部（ノズル二列の中心線に対向する位置）には吸引手段である吸引孔８２が設けられている。この吸引孔８２は、第１の実施形態で説明したように、廃液槽１６を介して負圧手段１７に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽１６内に回収することができるようになっている。

また、上記クリーニングプレート８１のノズルの行方向両端部には、吸引孔６２と略平行方向に一対の噴射孔８３、８４が設けられている。これら噴射孔８３、８４の開口部は、ノズルの列方向に長尺なスリット状に形成されている。そして、この噴射孔８３、８４の開口部は、吐出面３ａに対して直交する方向から所定の角度の傾きがつけられ、流体の噴射方向の延長線（図中点線で示す）が最外ノズル列２‘の外側で吐出面３ａと交わるようになっている。これら噴射孔８３、８４は、第１の実施形態で説明したように、加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けて噴射する。また、噴射孔８３、８４は、より吐出面３ａに近い部分に流体の流れを発生させることができ、流体は吐出面３ａやクリーニングプレート８１との摩擦による流体損失を少なくすることができる。これにより、吸引孔８２による吸引力を増加させることができる。

上記構成の洗浄装置８０においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔８３、８４から加圧された流体がギャップＧ内に噴射される。それと同時に吸引孔８２は減圧手段によってギャップＧ内を減圧する。これにより、ノズル２内や吐出面３ａに付着したインクやゴミは、ギャップＧ内に噴射された流体により中央部（吸引孔６２の上方）に集められ、吸引孔８２を通して廃液漕１６内に回収される。また、上記構成の洗浄装置８０においては、ノズル２の径に対して、噴射孔８３、８４のノズルの列方向の長さが長くなるため、洗浄時にクリーニングプレート８１をノズルプレート３と同じ速度で移動させたとしても、ノズル一つ当たりの洗浄時間を長くすることができるというメリットがある。

なお、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示した構成の洗浄装置６０、７０、８０は、図６（ａ）（ｂ）に示すように、複数のノズル５が４列に千鳥配置されたノズルプレート６を備えるインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）４の洗浄装置であってもよい。

［第９の実施形態］
図７は、第９の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図。図８（ａ）（ｂ）（ｃ）は、第９の実施形態に係る洗浄装置の洗浄工程を説明する工程図。図７及び図８に示すインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）１は、複数のノズル２が２列に千鳥配置されたノズルプレート３を備えている。

第９の実施形態に係る洗浄装置１１０は、図７に示すように、ノズルプレート３の吐出面３ａとの間にギャップＧを形成するクリーニングプレート１１１を備えている。クリーニングプレート１１１は、第５の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図７中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート１１１は、図示しないアクチュエータにより、吐出面３ａとの間のギャップＧを維持しながらノズルの列方向（図中Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート１１１は、小型化を図りつつ、吐出面３ａの全領域を洗浄できるようになっている。

上記クリーニングプレート１１１の中央部（ノズル二列の中心線に対向する位置）には吸引手段である吸引孔１１２が設けられている。この吸引孔１１２は、第１の実施形態で説明したように、廃液槽１６を介して負圧手段１７に接続されている。これにより、洗浄の際に出た洗浄液１１７、インク、ごみを廃液槽１６内に回収することができるようになっている。

そして、上記クリーニングプレート１１１の上面には、図７に示すように、ノズルプレート３の吐出面３ａが嵌合する溝１１１ａが形成されている。また、クリーニングプレート１１１のノズルの行方向両端部、すなわち溝１１１ａを形成する立設部１１１ｂ、１１１ｃには、噴射孔１１３、１１４が設けられている。

上記クリーニングプレート１１１に設けられた噴射孔１１３、１１４は、第１の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段１８に接続されており、加圧された流体をギャップＧ内に向けてノズル行方向（図中矢印Ｘ方向）噴射する。このとき、噴射孔１１３、１１４の開口部がギャップＧに近接して設置されることになるため、噴射孔を別体で構成する場合に比べ、噴射孔１１３、１１４から流体をギャップＧに向けて効率よく流すことが可能となる。

また、これら噴射孔１１３、１１４は、図４（ｂ）に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート１１１の往復移動と連動して、ノズルの列方向（図中矢印Ｙ方向）に往復移動が可能である。これにより、上述したように、多数の噴射孔を設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。

さらに、上記クリーニングプレート１１１には、吸引孔１１２の両隣に一対の超音波発生手段１１５、１１６が設置されている。この超音波発生手段１１５、１１６は、流体の噴射時及び／又は吸引時に吐出面に向かって超音波を発生させ、ノズル２内や吐出面３ａに付着したごみやインクを除去するためのエネルギーを与えることができる。特に、インクの除去が難しい場合、例えば、金属粒子が分散されたインクがノズル２内又は吐出面３ａに融着した場合でもインクの除去が可能となる。

上記構成の洗浄装置においては、次のような手順により洗浄を行うのが効果的である。図８（ａ）に示すように、噴射孔１１３、１１４からクリーニングプレート１１１上に洗浄液１１７を噴射する。そして、図８（ｂ）に示すように、ノズルプレート３を下降させて吐出面３ａをクリーニングプレート１１１上の洗浄液１１７に当接させる。この状態で超音波発生手段１１５、１１６から吐出面３ａに向かって超音波を照射する。その後、図８（ｃ）に示すように、噴射孔１１３、１１４により流体である気体を噴射しながら吸引孔１１２から吸引を行い、ゴミやインクを取り込んだ洗浄液１１７を除去する。

なお、上記第１の実施形態乃至第９の実施形態では、複数のノズルが２列又は４列に千鳥配置されたノズルプレートを図示しているが、ノズルの数や配置に制約はない。また、上記吸引孔及び噴射孔の形状に制約はない。例えば噴射孔の内壁には、旋回流を発生させるような形状を形成してもよい。

以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様Ａ）
液滴を吐出する複数のノズル２、５などのノズルが配列された液滴吐出ヘッド１、４などの液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の洗浄装置１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０、９０、１１０などの洗浄装置において、上記液滴吐出ヘッドの吐出面との間にギャップＧなどのギャップを形成するクリーニングプレート１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１、８１、９１、１１１などのクリーニングプレートと、互いに向き合う位置に設けられた、噴射孔１３・１４、２３・２４、３３・３４、４３・４４、５３・５４、６３・６４、７３・７４、８３・８４、９３・９４、１１３・１１４などの少なくとも一対の送出口から流体を該ギャップ内に送り出す加圧手段１８などの送出手段と、該クリーニングプレートに設けられた、吸引孔１２、２２、３２、４２、５２、６２、７２、８２、９２、１１２などの少なくともひとつの吸引口から該ギャップ内の流動体を吸引する負圧手段１７などの吸引手段とを備える。
これによれば、第１の実施形態乃至第９の実施形態で説明したように、ズル列が増えても、ノズル列が増えても、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さい。
（態様Ｂ）
（態様Ａ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記一対の送出口は液滴吐出ヘッドの短手方向両側で向き合う位置に配設されている。
これによれば、第１の実施形態乃至第９の実施形態で説明したように、送出手段が長手方向に流体を送り出す場合に比べ洗浄能力が高い。
（態様Ｃ）
（態様Ｂ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記クリーニングプレートは、液滴吐出ヘッドの長手方向に往復移動が可能である。
これによれば、第１の実施形態乃至第９の実施形態で説明したように、吐出面の全領域を覆う大きさでクリーニングプレートを構成する場合に比べ、装置の小型化を図ることができる。
（態様Ｄ）
（態様Ｂ）又は（態様Ｃ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記送出口は液滴吐出ヘッドの長手方向に往復移動が可能である。
これによれば、第１の実施形態乃至第９の実施形態で説明したように、送出手段の数を減らすことができ、装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
（態様Ｅ）
（態様Ａ）（態様Ｂ）（態様Ｃ）又は（態様Ｄ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記吸引口は、上記一対の送出口の中間位置に少なくとも一つ配設される。
これによれば、第１の実施形態乃至第９の実施形態で説明したように、ギャップ内のインクやゴミを取り込んだ流体を効率的に回収することができる。
（態様Ｆ）
（態様Ａ）（態様Ｂ）（態様Ｃ）（態様Ｄ）又は（態様Ｅ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記一対の送出口からの流動体の送出方向は交差する。
これによれば、第２の実施形態、第３の実施形態、第７の実施形態で説明したように、一対の送出口から送出される流動体同士が衝突するときの、飛散方向を限定することができ、洗浄後の最汚染を抑制することができる。
（態様Ｇ）
（態様Ａ）（態様Ｂ）（態様Ｃ）（態様Ｄ）（態様Ｅ）又は（態様Ｆ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記送出口からの流動体の送出方向は、上記吐出面に向けられ、その送出方向の延長線が最も外側に配列された最外ノズル列の外側で該吐出面と交わる。
これによれば、第３の実施形態、第６の実施形態〜第８の実施形態で説明したように、流動体送出手段をノズルの近傍に配置することができるので、吐出面やクリーニングプレートとの摩擦による流体損失を少なくすることができる。また、クリーニングプレートの小型化が可能となる。
（態様Ｈ）
（態様Ａ）（態様Ｂ）（態様Ｃ）（態様Ｄ）（態様Ｅ）（態様Ｆ）又は（態様Ｇ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記送出口は上記クリーニングプレートと一体に形成される。
これよれば、第２の実施形態、第５の実施形態〜第９の実施形態で説明したように、装置の小型化、低コスト化を図ることができ、ギャップ内に効率的に流体を送出することが可能である。
（態様Ｉ）
（態様Ａ）（態様Ｂ）（態様Ｃ）（態様Ｄ）（態様Ｅ）（態様Ｆ）（態様Ｇ）又は（態様Ｈ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記クリーニングプレートは、上記吐出面に対向する面に撥水性処理が施されている。
これよれば、第１の実施形態で説明したように、ギャップ間に洗浄後のインクやゴミが残留するのを抑制することができる。
（態様Ｊ）
（態様Ａ）（態様Ｂ）（態様Ｃ）（態様Ｄ）（態様Ｅ）（態様Ｆ）（態様Ｇ）（態様Ｈ）又は（態様Ｉ）の液滴吐出装置において、上記クリーニングプレートは、超音波発生手段１１５などの超音波発生手段を備える。
これによれば、第９の実施形態で説明したように、吐出面やノズル孔内に付着したインクやゴミをより確実に除去することができる。
（態様Ｋ）
（態様Ａ）（態様Ｂ）（態様Ｃ）（態様Ｄ）（態様Ｅ）（態様Ｆ）（態様Ｇ）（態様Ｈ）（態様Ｉ）又は（態様ｊ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記クリーニングプレートは、上記吐出面に対するギャップを調整できる調整機構を備える。
これよれば、第１の実施形態〜第９の実施形態で説明したように、ギャップを流れる流体の流量の調整により、吸引手段による吸引力の調整が可能となる。
（態様Ｌ）
（態様Ａ）（態様Ｂ）（態様Ｃ）（態様Ｄ）（態様Ｅ）（態様Ｆ）（態様Ｇ）（態様Ｈ）（態様Ｉ）（態様ｊ）又は（態様Ｋ）の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記液滴吐出ヘッドの吐出面を外部から隔離する隔離手段を備える。
これによれば、第１の実施形態で説明したように、外部から隔離された空間内で液滴吐出ヘッドの洗浄をおこなうことができるため、外部の印刷プロセスが行われる空間を汚すことがない。

１、４：インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）
２、５：ノズル
３、６：ノズルプレート
１００：洗浄槽
１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０、９０、１１０：洗浄装置
１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１、８１、９１、１１１：クリーニングプレート
１２、２２、３２、４２、５２、６２、７２、８２、９２、１１２：吸引孔
１３、１４、２３、２４、３３、３４、４３、４４、５３、５４、６３、６４、７３、７４、８３、８４、９３、９４、１１３、１１４：噴射孔
１１５、１１６：超音波発生手段

特開２０１２−１３５９１８号公報 特開２０１１−２０１３０８号公報 特開２０１２−１０６５０３号公報

Claims (12)

1. 液滴を吐出する複数のノズルが配列された液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記液滴吐出ヘッドの吐出面との間にギャップを形成するクリーニングプレートと、
   互いに向き合う位置に設けられた少なくとも一対の送出口から該ギャップ内に流体を送り出す送出手段と、
   該クリーニングプレートに設けられた少なくともひとつの吸引口から該ギャップ内の流動体を吸引する吸引手段とを備えることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
2. 請求項１の液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記一対の送出口は液滴吐出ヘッドの短手方向両側で向き合う位置に配設されていることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
3. 請求項２の液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記クリーニングプレートは、液滴吐出ヘッドの長手方向に往復移動が可能であることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
4. 請求項２又は３の液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記送出口は液滴吐出ヘッドの長手方向に往復移動が可能であることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
5. 請求項１、２、３又は４の液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記吸引口は、上記一対の送出口の中間位置に少なくとも一つ配設されることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
6. 請求項１、２、３、４又は５の液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記一対の送出口からの流動体の送出方向は交差することを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
7. 請求項１、２、３、４、５又は６の液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記送出口からの流動体の送出方向は、上記吐出面に向けられ、その送出方向の延長線が最も外側に配列された最外ノズル列の外側で該吐出面と交わることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
8. 請求項１、２、３、４、５、６又は７の液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記送出口は上記クリーニングプレートと一体に形成されることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
9. 請求項１、２、３、４、５、６、７又は８の液滴吐出装置の洗浄装置において、
   上記クリーニングプレートは、上記吐出面に対向する面に撥水性処理が施されていることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
10. 請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は９の液滴吐出装置において、
    上記クリーニングプレートは、超音波発生手段を備えることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
11. 請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９又は１０の液滴吐出装置の洗浄装置において、
    上記クリーニングプレートは、上記吐出面に対するギャップを調整できる調整機構を備えることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
12. 請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０又は１１の液滴吐出装置の洗浄装置において、
    上記液滴吐出ヘッドの吐出面を外部から隔離する隔離手段を備えることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。

Images