CN110124920B - 一种喷嘴清洁装置及涂布设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种喷嘴清洁装置及涂布设备，喷嘴清洁装置包括：相对设置的两个刮片单元和驱动单元，每一刮片单元包括平行设置的至少两个刮片，刮片的长度方向平行于待清洁喷嘴的长度方向，驱动单元用于驱动所述刮片单元清洁待清洁喷嘴，以使刮片单元的刮片的清洁端刮拭对应的待清洁表面，刮去待清洁表面残留的PI胶，从而，在柔性显示面板的制备过程中，避免喷嘴两侧残留的PI胶污染后续工艺的无机膜层或工艺机台，以及避免残留的PI胶干掉后堵塞喷嘴狭缝出口，进而提高柔性衬底的成品率和工艺精度。

Description

一种喷嘴清洁装置及涂布设备

技术领域

本发明涉及涂布设备技术领域，尤其涉及一种喷嘴清洁装置及涂布设备。

背景技术

随着显示技术的发展，柔性显示装置展现出越来越广泛的应用前景，而柔性OLED显示装置作为当前最被看好的柔性显示技术，各方面投资和市占率不断上升。

目前实现柔性可弯折显示面板的柔性衬底通常采用涂布的方式制备，在制备过程中，用于涂布的喷嘴容易存在喷涂液的残留物，喷嘴上的喷涂液的残留物容易对后续工艺的机台产生污染，影响柔性衬底的成品率和工艺精度。

发明内容

本发明实施例提供了一种喷嘴清洁装置及涂布设备，能够避免喷嘴两侧残留的PI胶污染后续工艺的无机膜层或工艺机台，以及避免残留的PI胶干掉后堵塞喷嘴狭缝出口，进而提高柔性衬底的成品率和工艺精度。

第一方面，本发明实施例提供了一种喷嘴清洁装置，包括：

相对设置的两个刮片单元，每一所述刮片单元包括平行设置的至少两个刮片，每一所述刮片单元的至少两个刮片的清洁端位于同一平面；

驱动单元，用于驱动所述刮片单元清洁待清洁喷嘴。

可选的，所述驱动单元用于驱动所述刮片单元沿所述待清洁表面由远离所述待清洁喷嘴的出料口的一端向所述待清洁喷嘴的出料口的方向运动。

可选的，喷嘴清洁装置还包括与两个所述刮片单元对应的两个安装组件，两个所述刮片单元的刮片分别安装在两个所述安装组件靠近所述待清洁喷嘴的一侧。

可选的，所述刮片与所述待清洁喷嘴的待清洁表面形成的夹角小于90°，且所述刮片的清洁端在竖直方向上低于与所述刮片的安装端。

可选的，所述安装组件上还设置有喷口；

所述喷口设置于所述安装组件靠近所述待清洁喷嘴的表面，用于向所述刮片表面和/或所述待清洁表面喷出清洁液或清洁气体。

可选的，每一所述刮片对应设置有一所述喷口，所述喷口位于对应的所述刮片的下方，所述喷口用于向对应的所述刮片的下表面喷出清洁液或清洁气体。

可选的，每一所述喷口均与至少一条输气通道和至少一条输液通道连通；

所述输气通道用于向所述喷口输送清洁气体，所述输液通道用于向所述喷口输送清洁液。

可选的，所述喷口为设置于所述安装组件上的狭缝，所述狭缝包括相对设置的两个侧面，所述侧面的延伸面与所述狭缝对应的刮片相交。

可选的，喷嘴清洁装置还包括残留物收集槽，用于接收所述刮片单元从所述待清洁喷嘴上刮下的残留物。

第二方面，本发明实施例提供了一种涂布设备，包括喷嘴，还包括如本发明第一方面所述的喷嘴清洁装置。

本发明实施例提供的喷嘴清洁装置喷嘴清洁装置包括相对设置的两个刮片单元，每一刮片单元包括至少两个刮片，且至少两个刮片的清洁端位于同一平面，在对待清洁喷嘴进行清洁时，至少两个刮片的清洁端可以均与待清洁表面接触，一次清洁动作可以实现多次清洁的作用，提高喷嘴清洁装置的清洁能力，使得喷嘴清洁装置可以有效的去除待清洁表面残留的PI胶，从而在柔性显示面板的制备过程中，有效避免喷嘴两侧残留的PI胶污染后续工艺的无机膜层或工艺机台，以及避免残留的PI胶干掉后堵塞喷嘴狭缝出口，进而提高柔性衬底的成品率和工艺精度。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1为一种喷嘴的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种喷嘴清洁装置的横截面示意图；

图3为图2中喷嘴清洁装置的俯视图；

图4为一种喷嘴清洁装置的横截面示意图。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

正如背景技术中提到的，现有的柔性可弯折显示面板的柔性衬底在制备过程中，用于涂布的喷嘴上的喷涂液的残留物容易对后续工艺的机台产生污染，影响显示面板的制备精度。发明人经过研究发现，出现上述问题的原因在于：目前柔性可弯折显示面板的柔性衬底通常采用聚酰亚胺薄膜与无机物膜层交替堆叠，共同形成柔性显示器件的衬底层。而作为其中重要组成部分的聚酰亚胺(Polyimide，PI)薄膜层主要通过狭缝涂布(Slot DieCoating)的方式实现，

图1为一种喷嘴的结构示意图，如图1所示，喷嘴为狭缝涂布喷嘴，喷嘴的横截面呈V型，狭缝出料口位于V型结构的下端。在涂布时，喷嘴沿垂直于狭缝的方向在水平面内运动，进而在基板上形成聚酰亚胺薄膜层。由于形成柔性衬底的聚酰亚胺薄膜层的前体溶液(简称PI胶)粘度均在3000-7000cps，导致涂布喷嘴在涂布时，喷嘴两侧或者喷嘴边缘会残留部分PI胶，如图1中A所示，在柔性显示面板制备过程中污染后续工艺的无机膜层或工艺机台，且残留的PI胶干掉后会堵塞喷嘴狭缝出口，从而影响后续的涂布均匀性，导致柔性衬底的工艺精度降低，甚至导致面板报废。

针对上述问题，本实施例提供了一种喷嘴清洁装置，用以清除喷嘴边缘残留的PI胶，该喷嘴清洁装置包括：

相对设置的两个刮片单元，每一刮片单元包括平行设置的至少两个刮片，每一刮片单元的至少两个刮片的清洁端位于同一平面；

驱动单元，用于驱动所述刮片单元清洁待清洁喷嘴。

其中，驱动单元可以驱动刮片单元沿靠近或远离待清洁喷嘴的方向运动，并驱动刮片单元沿平行待清洁喷嘴的待清洁表面，且垂直于刮片的长度方向运动，以使刮片单元对待清洁表面进行清洁，刮片的长度方向平行于待清洁喷嘴的长度方向。刮片用于刮去待清洁喷嘴的待清洁表面上的残留PI胶，刮片与待清洁喷嘴接触的一端为刮片的清洁端，每一刮片单元的至少两个刮片的清洁端位于同一平面，在对待清洁喷嘴进行清洁时，至少两个刮片的清洁端所在平面与对应的待清洁表面平行，即至少两个刮片的清洁端均与待清洁表面接触，一次清洁动作可以实现多次清洁的作用，提高喷嘴清洁装置的清洁能力。

本实施例的喷嘴清洁装置包括相对设置的两个刮片单元，每一刮片单元包括至少两个刮片，且至少两个刮片的清洁端位于同一平面，在对待清洁喷嘴进行清洁时，至少两个刮片的清洁端可以均与待清洁表面接触，一次清洁动作可以实现多次清洁的作用，提高喷嘴清洁装置的清洁能力，使得喷嘴清洁装置可以有效的去除待清洁表面残留的PI胶，从而在柔性显示面板的制备过程中，有效避免喷嘴两侧残留的PI胶污染后续工艺的无机膜层或工艺机台，以及避免残留的PI胶干掉后堵塞喷嘴狭缝出口，进而提高柔性衬底的成品率和工艺精度。

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面结合具体实施例对本发明的技术方案进行说明。

图2为本发明实施例提供的一种喷嘴清洁装置的横截面示意图，图3为图2中喷嘴清洁装置的俯视图，为了更清楚的描述本发明的技术方案，如图2和图3所示，两个刮片单元沿水平面内的第一方向X相对设置，每一刮片单元包括沿竖直方向Z布置，且相互平行的三个刮片111，其中，刮片111的长度方向平行于水平面内的第二方向Y，第二方向Y垂直于第一方向X和竖直方向Z，待清洁喷嘴200的长度方向平行于第二方向Y。每一刮片单元的三个刮片111的清洁端1110位于同一平面，即三个刮片111与待清洁喷嘴200的对应的待清洁表面201接触时的接触端位于同一平面，在一具体实施例中，刮片单元的三个刮片111的清洁端1110所在的平面平行于对应的待清洁表面201。

驱动单元(图中未示出)可以通过驱动刮片单元沿第一方向X运动，使刮片单元靠近或远离待清洁喷嘴200，并通过驱动刮片单元沿第一方向X和竖直方向Z两个方向运动，使刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁喷嘴200的待清洁表面201运动，以使刮片111的清洁端1110刮拭待清洁表面201，对待清洁表面201进行清洁。

具体的，在需要对待清洁喷嘴200进行清洁时，驱动单元驱动两个刮片单元沿第一方向X相向运动，分别靠近待清洁喷嘴200的两个待清洁表面201，直至两个刮片单元的刮片111的清洁端1110与对应的待清洁表面201接触，接着，驱动单元驱动两个刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁喷嘴200的待清洁表面201运动，以使刮片111的清洁端1110刮拭对应的待清洁表面201，对待清洁表面201进行清洁，刮去待清洁表面201残留的PI胶。刮片单元包括至少两个刮片111，一次刮拭动作能够对待清洁表面210进行至少两次刮拭，提高喷嘴清洁装置的清洁能力。

需要说明的是，本实施例仅示例性的示出了驱动单元的驱动方式，并非对本发明的限定，在其他实施方式中，还可以采用其他驱动方式，只要能够实现对待清洁喷嘴表面进行刮拭即可。示例性的，驱动单元可以驱动刮片单元沿垂直于待清洁喷嘴表面的方向运动，使刮片单元靠近或远离待清洁喷嘴，并驱动刮片单元沿平行待清洁喷嘴的待清洁表面，且垂直于刮片的长度方向(第二方向Y)运动，以使刮片单元对待清洁表面进行清洁，刮片的长度方向平行于待清洁喷嘴的长度方向。

本实施例提供的喷嘴清洁装置，包括相对设置的两个刮片单元和驱动单元，驱动单元驱动刮片单元沿平行待清洁喷嘴的待清洁表面，且垂直于刮片的长度方向运动，以使刮片单元的刮片的清洁端刮拭对应的待清洁表面，刮去待清洁表面残留的PI胶，从而，在柔性显示面板的制备过程中，避免喷嘴两侧残留的PI胶污染后续工艺的无机膜层或工艺机台，以及避免残留的PI胶干掉后堵塞喷嘴狭缝出口，进而提高显示面板的制作精度；此外，每一刮片单元设置有至少两个刮片，一次刮拭动作能够对待清洁表面进行至少两次刮拭，提高喷嘴清洁装置的清洁能力。

需要说明的是，本实施例仅示例性的示出了每一刮片单元包括三个刮片，并非对本发明的限定，在其他实施方式中，每一刮片单元还可以包括多个刮片。

可选的，驱动单元用于驱动刮片单元沿待清洁表面201由远离待清洁喷嘴200的出料口203的一端向待清洁喷嘴200的出料口203的方向运动。即驱动单元驱动刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁喷嘴200的待清洁表面201斜向下运动，将待清洁表面201上的残留PI胶刮去，刮下的PI胶直接掉落，不会堆积在刮片111上，无需对刮片111进行额外的处理。

可选的，刮片111的清洁端1110的长度大于或等于待清洁喷嘴200的长度。

这样设置，在对待清洁喷嘴200进行清洁时，刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁喷嘴200的待清洁表面201斜向下运动，只需一次即可清洁待清洁表面201的整个表面，无需多次动作。

在本发明的一个实施例中，如图3所示，刮片111的清洁端的长度D1等于待清洁喷嘴200的长度D2。

需要说明的是，本发明的另一个实施例中，刮片111的清洁端的长度也可以小于待清洁喷嘴200的长度，刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁喷嘴200的待清洁表面201斜向下运动，对待清洁表面201的部分区域进行清洁，接着，刮片单元沿第二方向Y移动一定的距离，并重复之前的清洁动作，直至完成对待清洁表面201的整个表面的清洁。

在本发明实施例中，如图2所示，喷嘴清洁装置还包括与两个刮片单元对应的两个安装组件120，两个刮片单元的刮片111分别安装在两个安装组件120靠近待清洁喷嘴200的侧面121上。具体的，刮片111的一部分埋设于安装组件120内部，另一部分自安装组件120的侧面121伸出，埋设于安装组件120内部的部分的末端为刮片111的安装端1111，伸出部分的末端即为刮片111的清洁端1110。驱动单元通过驱动安装组件120运动来驱动刮片单元运动，从而清洁待清洁喷嘴200。

安装组件120的两个侧面121的夹角与待清洁喷嘴200的V型夹角相适应，即大于或等于待清洁喷嘴200的两个待清洁表面201的夹角。在一具体实施例中，如图3所示，侧面121与对应的待清洁表面201平行。

图4为一种喷嘴清洁装置的横截面示意图，在图4所示的实施例中，刮片111的表面与对应的待清洁表面201呈一定的角度，且刮片111的清洁端1110在竖直方向Z上高于刮片111的安装端1111，，当驱动单元驱动刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁表面201运动，刮拭待清洁表面201时，从待清洁表面刮下的PI胶会沿着刮片111流到刮片111与安装组件120的连接位置，造成PI胶堆积在该位置处而难以清除。此外，在本发明实施例中，在驱动单元驱动刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁表面201运动斜向下运动的情况下，刮片111的清洁端1110向上倾斜容易造成刮片111的清洁端1110弯折损坏。

为解决上述问题，在本发明的一个实施例中，如图2所示，刮片111的表面与对应的待清洁表面201的夹角为锐角，即刮片111与待清洁喷嘴的待清洁表面201的夹角小于90°，且刮片111的清洁端1110在竖直方向Z上低于与刮片111的安装端1111。

具体的，当驱动单元驱动刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁表面201运动，刮拭待清洁表面201时，从待清洁表面刮下的PI胶会沿着刮片111流到刮片111的清洁端1110，在刮片111与待清洁表面201脱离后，PI胶会直接掉落，不会堆积在刮片111上，无需对刮片111进行额外的处理。此外，在本发明实施例中，在驱动单元驱动刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁表面201运动斜向下运动的情况下，能够避免刮片111的清洁端1110弯折损坏。

在本发明的一个实施例中，如图2所示，安装组件120上还设置有喷口122，喷口122设置于安装组件120靠近待清洁喷嘴200的表面，即喷口122设置在安装组件120的侧面121上，用于向刮片111的表面和/或待清洁表面201喷出清洁液或清洁气体。喷口122喷出清洁液或清洁气体，对刮片111和待清洁表面201进行冲刷，辅助去除刮片111和待清洁表面201上的PI胶，提高喷嘴清洁装置的清洁能力。

其中，清洁液可以是N-甲基吡咯烷酮溶液(NMP溶液)，NMP溶液能够溶解硬化的PI胶，清洁气体可以是干燥气体，具体的，可以是干燥的空气或干燥的氮气。

示例性的，如图2所示，每一刮片111对应设置有一喷口122喷口122设置于安装组件120的侧面121，且位于对应的刮片111的下方，喷口122用于向对应的刮片111的下表面喷出清洁液或清洁气体，以对刮片111的下表面和待清洁表面201进行冲洗或吹干，实现对每一刮片111进行冲洗和干燥，避免PI胶和清洗液残留在刮片111上。

可选的，参考图2，喷口122为设置于安装组件120上的狭缝，狭缝埋设于安装组件内部，狭缝包括相对且平行设置的两个侧面(1221和1222)，侧面(1221和1222)的延伸面与狭缝对应的刮片111相交。

具体的，安装组件120内部，每一刮片111的下方设置有狭缝，该狭缝的出口端用于向刮片喷出清洁气体或清洁液，狭缝的进口端123用于输入清洁气体或清洁液。清洁气体或清洁液自狭缝的进口端123输入，经狭缝内部，自喷口122喷出，由于狭缝的两个侧面与对应的刮片111的表面相交，使得自喷口122喷出的清洁液或清洁气体喷射至对应的刮片111的下表面。

需要说明的是，在刮片111刮拭待清洁表面201时，会有残胶附着在刮片111的清洁端1110的下表面的情况，甚至残胶会向远离清洁端1110的位置蔓延。可以根据刮片111下表面附着的残胶的蔓延情况，调整狭缝的侧面与刮片111的表面的夹角，以对刮片111下表面附着的残胶进行冲洗。例如，清洁时，当发现残胶附着在刮片111的清洁端1110的端部，可以适当减小狭缝的侧面与刮片111的表面的夹角，使得喷出的清洁液或清洁气体喷射至刮片111伸出部分靠近清洁端1110的位置；当发现残胶远离清洁端1110蔓延的情况较严重时，即残胶向安装端1111蔓延的较多时，可以适当增大狭缝的侧面与刮片111的表面的夹角，使得喷出的清洁液或清洁气体喷射至刮片111伸出部分(即刮片111延伸出安装组件120的部分)距离清洁端1110设定距离的位置。在具体实施例中，由于清洁时残胶向远离清洁端1110的蔓延通常不会超过刮片111伸出部分的中点，因此，可以固定狭缝的侧面与刮片111的表面，使得喷口122喷出的清洁液或清洁气体喷射至刮片111伸出部分的中点。

需要说明的是，在本发明的另一个实施例中，喷口122也可以是多个沿第二方向Y排布，非连续的孔，同样能够向对应的刮片111的下表面喷出清洁液或清洁气体，以对刮片111的下表面和待清洁表面201进行冲洗或吹干。

在本发明的一个实施例中，每一喷口均与至少一条输气通道和至少一条输液通道连通，输气通道用于向喷口122输送清洁气体，输液通道用于向喷口122输送清洁液。示例性的，如图2所示，多条输气通道和多条输液通道(图中未示出)可以连接在狭缝的进口端123。通过多条输气通道和多条输液通道对喷口122进行送气或送液，提高喷口122各个位置喷出的液体或气体的均匀性。

在一具体实施例中，以图2所示的喷嘴清洁装置为例进行说明，在需要对待清洁喷嘴200进行清洁时，驱动单元驱动两个安装组件120携带刮片单元沿第一方向X相向运动，分别靠近待清洁喷嘴200的两个待清洁表面201，直至两个刮片单元的刮片111的清洁端与对应的待清洁表面201接触，接着，驱动单元驱动安装组件120携带刮片单元在XZ平面内沿平行于待清洁喷嘴200的待清洁表面201斜向下运动，同时喷口122向对应的刮片111的下表面喷出高压NMP溶液，对被刮片111刮下并黏附在刮片111下表面的PI胶进行冲洗，将被刮下的PI胶溶解并冲洗掉，提高喷嘴清洁装置的清洁能力；在刮拭掉待清洁表面201上的残留PI胶后，喷口122向刮片111下表面喷出高压的干燥气体，对刮片111和待清洁喷嘴200进行冲刷，冲去刮片111和待清洁喷嘴200残留的NMP溶液和PI胶，并吹干刮片111和待清洁喷嘴200，进一步提高喷嘴清洁装置的清洁能力。

可选的，在本发明的一个实施例中，如图2所示，喷嘴清洁装置还包括残留物收集槽300，设置于两个安装单元120的正下方，用于收集刮片单元从待清洁喷嘴200上刮下的PI胶，以及收集冲刷刮片111和待清洁喷嘴200的NMP溶剂。

本发明实施例还提供了一种涂布设备，包括喷嘴，该喷嘴的结构如图1所示，还包括如本发明上述实施例所述的喷嘴清洁装置。

于本文的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”，仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的原理，而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式，这些方式都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种喷嘴清洁装置，其特征在于，包括：

相对设置的两个刮片单元，每一所述刮片单元包括平行设置的至少两个刮片，每一所述刮片单元的至少两个刮片的清洁端位于同一平面；

驱动单元，用于驱动所述刮片单元清洁待清洁喷嘴；

所述刮片的长度方向平行于待清洁喷嘴的长度方向；

所述驱动单元用于驱动所述刮片单元沿所述待清洁喷嘴的待清洁表面由远离所述待清洁喷嘴的出料口的一端向所述待清洁喷嘴的出料口的方向运动。

2.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，还包括与两个所述刮片单元对应的两个安装组件，两个所述刮片单元的刮片分别安装在两个所述安装组件靠近所述待清洁喷嘴的一侧。

3.根据权利要求2所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，所述刮片与所述待清洁喷嘴的待清洁表面的夹角小于90°，且所述刮片的清洁端在竖直方向上低于所述刮片的安装端。

4.根据权利要求2所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，所述安装组件上还设置有喷口；

所述喷口设置于所述安装组件靠近所述待清洁喷嘴的表面，用于向所述刮片表面和/或所述待清洁表面喷出清洁液或清洁气体。

5.根据权利要求4所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，每一所述刮片对应设置有一所述喷口，所述喷口位于对应的所述刮片的下方，所述喷口用于向对应的所述刮片的下表面喷出清洁液或清洁气体。

6.根据权利要求5所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，每一所述喷口均与至少一条输气通道和至少一条输液通道连通；

所述输气通道用于向所述喷口输送清洁气体，所述输液通道用于向所述喷口输送清洁液。

7.根据权利要求4所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，所述喷口为设置于所述安装组件上的狭缝，所述狭缝包括相对设置的两个侧面，所述侧面的延伸面与所述狭缝对应的刮片相交。

8.根据权利要求1-7任一所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，还包括残留物收集槽，用于接收所述刮片单元从所述待清洁喷嘴上刮下的残留物。

9.一种涂布设备，包括喷嘴，其特征在于，还包括如权利要求1-8任一所述的喷嘴清洁装置。

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