JP2013206106A - シミュレータおよびシミュレーションシステム - Google Patents

Abstract

【課題】模擬動作を高速化または即時終了させることができるシミュレータおよびシミュレーションシステムを提供すること。
【解決手段】ユニット模擬装置２０に備えられるは、記憶装置２２には、動作時間変数を有する構成の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａが記憶されている。また、記憶装置２２には、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄ、即完了モード用試験情報２２４Ｃ等の高速変更用の試験情報が記憶されている。動作時間変数付き定義リスト２２１Ａに含まれる動作時間変数の動作時間が、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄに応じて変更され、この変更後の動作時間で、各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎにおける模擬動作が実行される。
【選択図】図４

Description

この発明は、基板に処理を施すための基板処理装置のソフトウェアを試験するためのシミュレータおよびシミュレーションシステムに関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などの基板が含まれる。

半導体ウエハ等の基板に対して処理を施す基板処理装置のソフトウェアを試験するためのシミュレータが知られている。このようなシミュレータとして、たとえば、下記特許文献１〜３に示すシミュレータがある。

特開２００８−９０３９４号公報 特開２００８−８４０７３号公報 特開２００８−８４０７５号公報

特許文献１〜３のシミュレータでは、実機（基板処理装置）の処理速度と同じ速度で、各模擬動作が実行されている。そのため、基板処理装置が多数個の処理ユニットを備えている場合等には、試験のために長期間（たとえば数日）を要することがあった。しかも、シミュレータには、用意されている模擬動作を全て実行する必要があり、一部に関する模擬動作だけを選択して実行させることはできない。

したがって、一部のデバイス（たとえば一部の処理ユニット）のソフトウェアのみを試験したい場合であっても、そのデバイスに関する模擬動作の前に用意されている模擬動作を全て終了した後でなければ、そのソフトウェアを試験することはできなかった。その結果、ソフトウェアの試験のために長い待ち時間を生じることがあった。
そこで、この発明の目的は、模擬動作を高速化または即時終了させることができるシミュレータおよびシミュレーションシステムを提供することを目的とする。

前記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板処理装置（１００）の制御ユニットとしての機能を有する制御装置（６）に接続されて、前記基板処理装置のソフトウェアを試験するシミュレータ（２）であって、前記基板処理装置を構成するデバイスに関する模擬動作の動作時間を規定する動作時間変数を有し、前記模擬動作を定義するための動作時間変数付き定義情報（２２１Ａ）を記憶する定義情報記憶手段（２２）と、前記動作時間変数によって規定されている前記動作時間を変更するための変速情報を有する変速情報付き試験情報（２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄ）を記憶する試験情報記憶手段（２２）と、前記変速情報に基づいて変更した後の前記動作時間に対応する動作速度で、前記デバイスに関する模擬動作を実行する模擬動作実行手段（２１１）とを含む、シミュレータである。

この構成によれば、動作時間変数付き定義情報に含まれる動作時間変数の動作時間が、変速情報付き試験情報に基づいて変更され、この変更後の動作時間に応じた動作速度で、デバイスに関する模擬動作が実行される。そのため、模擬動作に要する時間を変更することができる。換言すると、模擬動作を高速化または即時終了させることが可能になり、この場合、試験時間を大幅に短縮することができる。

また、所望のデバイスに関する模擬動作だけを本来の速度で実行させ、それ以外に関する模擬動作を高速化または即時終了させることも可能である。この場合、一部のデバイスのソフトウェアを試験する場合に待ち時間が発生するのを防止することができる。
請求項２記載の発明は、前記動作時間変数付き定義情報はグループ別に区分けされており、前記変速情報付き試験情報に含まれる前記変速情報は、各グループに含まれる動作時間変数付き定義情報の動作時間変数を一括して変更するための一括変速情報を含む、請求項１記載のシミュレータである。

この構成によれば、変速情報付き試験情報により、グループに含まれる動作時間変数付き定義情報の動作時間変数が一括して変更される。これにより、変速情報付き試験情報を定義情報ごとに作成する必要がないので、試験情報の作成者の負担を低減させることができる。
請求項３記載の発明は、基板処理装置（１００）の制御ユニットとしての機能を有する制御装置（６）と、この制御装置に接続されて、前記基板処理装置のソフトウェアを試験するシミュレータ（２）とを含むシミュレーションシステム（１）であって、前記シミュレータは、前記基板処理装置を構成するデバイスに関する模擬動作の動作時間を規定する動作時間変数を有し、前記模擬動作を定義するための動作時間変数付き定義情報（２２１Ａ）を記憶する定義情報記憶手段（２２）と、前記動作時間変数によって規定されている前記動作時間を変更するための変速情報を有する変速情報付き試験情報（２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄ）を記憶する試験情報記憶手段（２２）と、前記変速情報に基づいて変更した後の前記動作時間に対応する動作速度で、前記デバイスに関する模擬動作を実行する模擬動作実行手段（２１１）とを含む、シミュレーションシステムである。

この構成によれば、請求項１に関連して説明した作用効果と同等の作用効果を奏する。

本発明の一実施形態に係るシミュレーションシステムを模式的に示す図である。 図１に示すシミュレーションシステムによる試験の対象になる基板処理装置の構成を示す図である。 図１に示すユニット模擬装置の構成を示す図である。 図１に示すユニット模擬装置の機能ブロックを示す図である。 動作時間変数付き定義リストの一例を示す図である。 定義リストの他の例を示す図である。 図１に示す情報処理装置の構成を示す図である。 図１に示す情報処理装置の機能ブロックを示す図である。 図１に示すインタフェース模擬装置の構成を示す図である。 図１に示すコンピュータの構成を示す図である。 図１に示す操作ユニットの構成を示す図である。 試験実行時の図１に示すユニット模擬装置における処理の流れを示すフローチャートである。 通常モード用試験情報、高速モード用試験情報および即完了モード用試験情報の一例を示す図である。 高速モードにおける試験動作の流れを示すフローチャートである。 即完了試験モードにおける試験動作の流れを示すフローチャートである。

以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るシミュレーションシステム１を模式的に示す図である。図２は、シミュレーションシステム１による試験の対象になる基板処理装置１００の構成を示す図である。
シミュレーションシステム１は、基板処理装置１００のために開発されたソフトウェアを、試験（デバッグ）するためのシステムである。

図２に示すように、基板処理装置１００は、制御ユニット１０１、インタフェースユニット１０２、操作ユニット１０３および複数個の実装処理ユニット１０４を含む構成である。基板処理装置１００の各実装処理ユニット１０４において、基板に対する一連の処理が施される。各実装処理ユニット１０４は、基板を一枚ずつ処理する枚葉式の洗浄ユニットであってもよいし、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式の洗浄ユニットであってもよい。より具体的には、実装処理ユニット１０４は、所定の処理を基板に対して施すためのユニットであり、たとえば、洗浄ユニット、搬送ユニット、乾燥ユニット、加熱ユニット、冷却ユニット、塗布ユニット、現像ユニット、検査ユニットおよび除去（剥離）ユニット等を例示することができる。また、実装処理ユニット１０４には、基板に対して直接処理を行わない液供給ユニットのような処理ユニットを含むようにしてもよい。

また、処理ユニットは、複数のハードウェアを有するものに限定されるものではなく、制御可能でかつ所定の動作を行うハードウェアであれば、個々のランプやセンサ、ブザー、モータ等の単体のハードウェアでも含む趣旨である。ただし、説明の都合上、「実装処理ユニット」は、「制御ユニット」、「インタフェースユニット」および「操作ユニット」を含まないものとする。

制御ユニット１０１は、汎用のパーソナルコンピュータが備えるのと同等のハードウェアを備えている。制御ユニット１０１は、ネットワーク９を介してインタフェースユニット１０２と接続されている。制御ユニット１０１は、専用のソフトウェア（プログラムや設定ファイル等）に従って動作し、複数個の実装処理ユニット１０４を制御する。
インタフェースユニット１０２は、実装処理ユニット１０４をネットワーク９に接続する機能を有している。これにより、各実装処理ユニット１０４におけるデータ通信のプロトコルの種類によらずに、制御ユニット１０１と各実装処理ユニット１０４との間でデータの送受信が行われる。

インタフェースユニット１０２には、基板処理装置１００を操作するのに必要な指示を入力するための操作ユニット１０３が接続されている。
実装処理ユニット１０４は、予め製品のラインナップとして準備されている複数種類の処理ユニットの中から、ユーザの要望等に従ってその組合せが選択されて、基板処理装置１００に搭載される。そのため、基板処理装置１００のハードウェア構成はその装置に固有のものになるので、制御ユニット１０１のソフトウェアは、基板処理装置１００のハードウェア構成に対応するものが必要である。シミュレーションシステム１は、そのソフトウェアを試験するためのものである。

図１に示すように、シミュレーションシステム１は、シミュレータ２と、コンピュータ４と、操作ユニット５と、情報処理装置６とを含む。シミュレータ２とコンピュータ４とは、汎用のネットワーク９を介して接続されている。また、シミュレータ２（主として、次に述べるユニット模擬装置２０）は、情報処理装置６との間で、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、ブルーレイディスクなどに代表される記憶媒体９０を介してデータのやりとりを行う。しかしながら、たとえばシミュレータ２と情報処理装置６とをネットワーク９等のネットワークで接続し、ネットワークにおける通信によってデータのやりとりを行うようにしてもよいのは言うまでもない。

シミュレータ２は、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３とを備えている。ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３とは、ネットワーク９を介して接続されている。
図３は、ユニット模擬装置２０の構成を示す図である。
ユニット模擬装置２０は、ＣＰＵ２１、記憶装置２２、操作部２３、表示部２４、ディスク装置２５および通信部２６を備えている。ユニット模擬装置２０は、汎用のパーソナルコンピュータとしての機能を有している。

記憶装置２２には定義リスト（定義情報）２２１が記憶されている。定義リスト２２１は、様々なパラメータや定義式、設定等の情報を含む情報の集合体である。定義リスト２２１には、実装処理ユニット１０４に関する模擬動作を定義する情報（振る舞い定義情報）、入力情報のデフォルト値を定義する情報（デフォルト定義情報）等が含まれる。定義リスト２２１により模擬動作を定義できるようになっている。

ＣＰＵ２１は、記憶装置２２に記憶されているプログラム２２０に従ってユニット模擬装置２０を制御する。また、ＣＰＵ２１は、動作の実行に際し、必要に応じて定義リスト２２１を参照する。
記憶装置２２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）およびハードディスク（図示しない）等によって構成されている。記憶装置２２には、定義リスト２２１のほか、プログラム２２０を含む各種データが記憶されている。

操作部２３は、オペレータがデータを入力するために使用される操作部であり、たとえば各種スイッチ類、キーボード、マウス等を含む構成である。オペレータにより入力されるデータの一例として、たとえばユニット模擬装置２０の操作のために必要なデータを例示することができ、このようなデータを入力する場合には、オペレータは、表示部２４に表示される画面（ＧＵＩ）に従って操作部２３を操作する。

表示部２４には、デバイス模擬部２１２（図４参照）の動作状況や、定義リスト２２１の内容等各種データが、画面に表示される。したがって、表示部２４の表示内容を見ることにより、オペレータは、試験の進行状況を観察することができる。
ディスク装置２５は、記憶媒体９０からデータを読み取るための装置である。この実施形態では、記憶媒体９０に記憶されている定義リスト２２１がディスク装置２５によって読み取られるとともに、その定義リスト２２１が記憶装置２２に転送され、その記憶装置２２に記憶される。ディスク装置２５は、たとえば、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置、ＤＶＤドライブ装置、ブルーレイディスクドライブ装置等が該当する。なお、ディスク装置２５は、各種データを記憶媒体９０に対して書き込むための書込み機能を有していてもよい。

通信部２６は、ネットワーク９を介して、インタフェース模擬装置３との間でデータの授受を行う。なお、シミュレーションシステム１では、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３との間も、ネットワーク９を介して通信可能に設けられている。
また、通信部２６は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と実装処理ユニット１０４との間で採用されるプロトコルにかかわらず、インタフェース模擬装置３との間で採用されるプロトコルで、データの授受を行う。

図４は、ユニット模擬装置２０の機能ブロックを示す図である。ユニット模擬装置２０は、データ転送部２１０、ユニット模擬部２１１、試験制御部２１３および情報生成部２１４を備えている。図４に示すデータ転送部２１０、ユニット模擬部２１１および試験制御部２１３の機能は、プログラム２２０に従うＣＰＵ２１の動作により実現される。
データ転送部２１０は、インタフェース模擬装置３から通信部２６が受信した情報を、入力情報２２２として記憶装置２２に転送する。また、データ転送部２１０は、出力情報２２３のうち、コンピュータ４や操作ユニット５に送信すべき情報を、通信部２６に伝達してインタフェース模擬装置３に向けて送信させる。

ユニット模擬部２１１は、複数のデバイス模擬部２１２（第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎ（ｎは自然数））を備えている。ユニット模擬部２１１では、基板処理装置１００に搭載されている複数のデバイスが、第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎのいずれかに割り当てられる。換言すると、各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎは、基板処理装置１００に搭載されている複数のデバイス（処理ユニット）に１対１対応している。各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎは、割り当てられた（対応する）デバイスの動作を個々に模擬する。

各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎは、定義リスト２２１に模擬動作が定義されているデバイスのみに割り当てられている。実装処理ユニット１０４を構成しないデバイス（すなわち、基板処理装置１００に搭載されていないデバイス）は、定義リスト２２１に模擬動作が定義されることがないために、ユニット模擬装置２０がこれを模擬することはない。逆に言えば、定義リスト２２１において模擬動作が定義されているデバイスには、必ず模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎが割り当てられている。

つまり、処理ユニットは、通常、１つ以上のデバイスから構成される。そして、この処理ユニットが、実装処理ユニット１０４として基板処理装置１００に搭載されると、実装処理ユニット１０４を構成するすべてのデバイスは基板処理装置１００に搭載されることとなる。したがって、基板処理装置１００に搭載されるすべてのデバイスをデバイス模擬部２１２に割り当てて、各デバイス模擬部２１２がそれらの動作を模擬することによって、ユニット模擬部２１１は、すべての実装処理ユニット１０４の動作を模擬する。

振る舞い定義情報としての（デバイスに関する模擬動作を定義するための）定義リスト２２１は、動作時間変数を有する構成の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａを含む。もちろん、定義リスト２２１は、動作時間変数を有しない構成の定義リストをも備えている。本実施形態の定義リスト２２１は、デバイス（ハードウェア）ごとにＣＳＶ形式（テキスト文）で模擬動作を定義している。定義リスト２２１は、情報処理装置６を用いて生成される。

試験制御部２１３は、情報生成部２１４により生成される次に述べる試験情報２２４に基づいて、デバイスに関する模擬動作（シミュレーション）を制御する。試験制御部２１３による模擬動作の実行は自動的に（オートモードで）行われる。そのため、試験制御部２１３を自動化ツールと言い換えることもできる。
また、試験制御部２１３は、デバイス（たとえば実装処理ユニット１０４）に関する模擬動作の状況を表示させる機能およびシミュレーションシステム１におけるＧＵＩを提供する機能を有している。なお、表示部２４によって模擬されるハードウェア（デバイス）としては、たとえば、「ゲージ」や「メータ」「パネル」等を例示することができる。

情報生成部２１４は、操作部２３が受け付けた指示情報に基づいて、基板処理装置１００のソフトウェアに対する試験内容を規定する試験情報２２４を作成する。作成された試験情報２２４は記憶装置２２に記憶される。記憶装置２２に記憶される試験情報２２４として、通常モード用試験情報２２４Ａの他に、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄ、即完了モード用試験情報２２４Ｃ等の高速変更用の試験情報とを含む。

前述のように、定義リスト２２１は、動作時間変数を有する構成の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａを含む。
図５は、動作時間変数付き定義リスト２２１Ａの一例を示す図である。図６は、定義リスト２２１の他の例を示す図である。
図５（ａ）および図５（ｂ）には、それぞれ３つの動作時間変数付き定義リスト２２１Ａの例が示されている。動作時間変数付き定義リスト２２１Ａは、模擬動作の大まかな種別に基づいてグループ化されている。動作時間変数付き定義リスト２２１Ａは、その動作時間変数付き定義リスト２２１Ａが属するグループを表すグループ名と、動作時間変数としての動作時間変数とを含み、ＣＳＶ形式で定義している。

図５（ａ）に示す３つの動作時間変数付き定義リスト２２１Ａは、共通のグループに属しており、それぞれ、原点復帰動作の実行時間を規定している。図５（ａ）に示す例では、「Timer_Home」がグループ名に相当し、「ID_Speed」、「SH_Speed」および「CR_Speed」がそれぞれ動作時間変数に相当する。
図５（ｂ）に示す３つの動作時間変数付き定義リスト２２１Ａは共通のグループに属しており、それぞれ、バルブ開動作の遅延時間を規定している。図５（ｂ）に示す例では、「Timer_Valve_Delay」がグループ名に相当し、「ValveＡ_Delay」、「ValveＢ_Delay」および「ValveＣ_Delay」がそれぞれ動作時間変数に相当する。

また、図５（ａ）の一番上の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａには、図６に示す定義リストが対応している。この定義リストでは、「ID_Speed =10」と定義されている。図５（ａ）の一番上の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａと、図６に示す定義リスト２２１とによって、「原点復帰動作の実行時間が１０秒間」という模擬動作が定義されている。
また、動作時間変数として、個々の実装処理ユニット１０４を併せて特定することも可能である。この場合、図５（ｃ）に示すように、実装処理ユニット１０４の名称を含めた情報を動作時間変数とすることができる。すなわち、図５（ｃ）に示す例では、「Timer_Valve_Delay」がグループ名に相当し、「ValveＡ_Delay/ＭＰＣ１」、「ValveＢ_Delay/ＭＰＣ１」および「ValveＣ_Delay/ＭＰＣ１」がそれぞれ動作時間変数に相当する。なお、「ＭＰＣ１」は、基板処理装置１に実装される複数個の実装処理ユニット１０４の１つを特定するものである。

この実施形態では、動作時間変数付き定義リスト２２１Ａがグループ別に登録されている。そのため、各グループに含まれる動作時間変数付き定義リスト２２１の動作時間変数、つまり動作速度を一括して変更することができる。
ところで、図５（ｂ）の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａを例に挙げると、たとえば第１模擬部２１２ａが「バルブＡ」に対応付けられる。そして、同じデバイスであっても、互いに異なる模擬動作は互いに異なる定義情報に定義される（たとえばバルブＡの開動作とバルブＡの閉動作）。

さらに詳しく言えば、ユニット模擬部２１１は、予め定められた個数の模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎを備えているわけではない。ユニット模擬部２１１が定義リスト２２１を参照することにより、新たに割り当てが必要なデバイスを発見したときに、新たな模擬部を生成し、これにその新たに発見したデバイスが対応付けられる。
図７は、情報処理装置６の構成を示す図である。

情報処理装置６は、ＣＰＵ６１、記憶装置６２、操作部６３、表示部６４およびディスク装置６５を備えている。情報処理装置６は、汎用のパーソナルコンピュータとしての機能を有している。
ＣＰＵ６１は、記憶装置６２に記憶されているプログラム６２０に従って動作することにより、情報処理装置６の各構成を制御する。

記憶装置６２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）およびハードディスク（図示しない）等によって構成されている。記憶装置６２には、プログラム６２０や各種データが記憶されている。
とくに、記憶装置６２には、ディスク装置６５によって取得された設定ファイル４２１および基礎ファイル６２１が記憶されている。また、情報生成部６１０により生成された定義リスト２２１も、一時的に、記憶装置６２に記憶される。

操作部６３はキーボードやマウス等から構成され、オペレータが情報処理装置６に必要な情報を入力するために使用する。
表示部６４は、たとえば汎用のディスプレイ装置であって、ＣＰＵ６１からの指示に従って、各種データを画面に表示する。
情報処理装置６では、ディスク装置６５が記憶媒体９０に記憶されている設定ファイル４２１および基礎ファイル６２１を読み取ることにより、基板処理装置１００の構成を規定する基礎情報を取得する。

ディスク装置６５は、次に述べる情報生成部６１０により生成された定義リスト２２１を記憶媒体９０に書き込む（出力する）書込み機能を有しており、出力された定義リスト２２１は、シミュレータ２によって読み取られる。
図８は、情報処理装置６の機能ブロックを示す図である。図８に示す情報生成部６１０および誤り検出部６１１が、主にＣＰＵ６１がプログラム６２０に従って動作することにより実現される機能ブロックである。

情報生成部６１０は、記憶装置６２に記憶された設定ファイル４２１および基礎ファイル６２１に基づいて、基板処理装置１００を構成する実装処理ユニット１０４の動作を模擬するシミュレータ２のための定義リスト２２１を生成する。
なお、設定ファイル４２１とは、基板処理装置１００に搭載される実装処理ユニット１０４に応じて生成される情報であり、基板処理装置１００を動作させるために必要な情報である。すなわち、設定ファイル４２１は、基板処理装置１００のソフトウェアの一部であり、基板処理装置１００にインストールされるファイルである。

また、基礎ファイル６２１とは、複数のファイルの集合体であって、実装処理ユニット１０４の仕様書とも言うべき情報を含む。すなわち、基礎ファイル６２１は、すべての処理ユニットについて、個々の処理ユニットを設計・開発する段階で、オペレータによって予め作成される。
図９は、インタフェース模擬装置３の構成を示す図である。インタフェース模擬装置３は、ＣＰＵ３１、記憶装置３２、第１通信部３３および第２通信部３４を備えている。インタフェース模擬装置３は、コンピュータ４にネットワーク９を介して接続され、コンピュータ４とユニット模擬装置２０との間のデータの授受を行う機能を有している。

ＣＰＵ３１は、記憶装置３２に記憶されているプログラム３２０に従って動作することにより、インタフェース模擬装置３の各構成を制御する。
記憶装置３２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）等によって構成されている。記憶装置３２にはプログラム３２０が記憶されている。
第１通信部３３および第２通信部３４は、具体的には端子やケーブル等のハードウェアである。

第１通信部３３は、インタフェース模擬装置３をネットワーク９に接続する。これにより、コンピュータ４およびインタフェース模擬装置３間のデータ通信、ならびにユニット模擬装置２０およびインタフェース模擬装置３間のデータ通信が実現される。
図１０は、コンピュータ４の構成を示す図である。コンピュータ４は、ＣＰＵ４１、記憶装置４２、操作部４３、表示部４４、ディスク装置４５および通信部４６を備えている。コンピュータ４は、基板処理装置１００の制御ユニット１０１が備えるハードウェアと同等のハードウェアを備えている。また、コンピュータ４は、汎用のパーソナルコンピュータとしての機能を有している。

ＣＰＵ４１は、設定ファイル４２１を参照しつつプログラム４２０に従って動作することにより、各種データの演算や制御信号の生成を行い、コンピュータ４の各構成を制御する。
プログラム４２０は、シミュレーションシステム１による試験（デバッグ）の対象となるソフトウェアである。プログラム４２０は、基板処理装置１００を設計・開発する際に、オペレータ（プログラマ）によって作成される。

制御ユニット１０１にインストールされるプログラム４２０および設定ファイル４２１を記憶し、当該プログラム４２０および設定ファイル４２１に基づいて、制御ユニット１０１と同等のハードウェアを制御することにより、コンピュータ４は制御ユニット１０１としての機能を発揮する。
たとえば、ＣＰＵ４１は、実装処理ユニット１０４に対する制御情報を生成する。ＣＰＵ４１は、生成した制御情報を、インタフェースユニット１０２を介して実装処理ユニット１０４に向けて送信するように通信部４６を制御する。ただし、シミュレータ２では、通信部４６から送信される情報は、インタフェース模擬装置３を介してユニット模擬装置２０に向けて送信される。また、ＣＰＵ４１は、シミュレータ２０から通信部４６が受信した情報に基づいて、新たな制御情報を生成したり、あるいは必要な情報を表示部４４に表示したりさせる。

記憶装置４２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）およびハードディスク（図示しない）等によって構成されている。記憶装置４２には、プログラム４２０および設定ファイル４２１が記憶されている。
操作部４３は、オペレータがデータを入力するために使用される操作部であり、たとえば各種スイッチ類、キーボード、マウス等を含む構成である。オペレータにより入力されるデータの一例として、たとえば基板処理装置１００を操作するために入力されるデータを例示することができる。

また、表示部４４は、各種データを画面に表示する。表示部４４は、基板処理装置１００の制御ユニット１０１において表示されるデータを表示する機能を有している。コンピュータ４は、特に操作部４３および表示部４４について、実際の基板処理装置１００に搭載される制御ユニット１０１と同等のハードウェアを採用する。
ディスク装置４５は、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、ブルーレイディスクなどに代表される記憶媒体９０記憶媒体９１からデータを読み取るための装置である。この実施形態では、記憶媒体９１に記憶されているプログラム４２０および設定ファイル４２１がディスク装置４５によって読み取られるとともに、そのプログラム４２０および設定ファイル４２１が記憶装置４２に転送され、その記憶装置４２に記憶される。

ディスク装置４５は、たとえば、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置、ＤＶＤドライブ装置、ブルーレイディスクドライブ装置等が該当する。なお、ディスク装置４５は、各種データを記憶媒体４５に対して書き込むための書込み機能を有していてもよい。
通信部４６は、ネットワーク９を介して、インタフェース模擬装置３との間でデータの授受を行う。

図１１は、操作ユニット５の構成を示す図である。操作ユニット５は、オペレータが片手で保持しつつ操作できる程度の比較的小型のユニットである。操作ユニット５は、シミュレーションシステム１を遠隔操作可能なリモコンによって構成されていてもよい。操作ユニット５は、ＣＰＵ５１、記憶装置５２、操作部５３、表示部５４および通信部５６を備えている。

操作ユニット５としてはたとえば操作ユニット１０３と同じ操作ユニットが用いられる。この場合、操作ユニット１０３を用いた場合の基板処理装置１００のシミュレーションが行える。
ＣＰＵ５１は、プログラム５２０に従って動作することにより、各種データの演算や制御信号を生成する。なお、プログラム５２０は、基板処理装置１００の操作ユニット１０３に搭載されるものと同じプログラムである。

記憶装置５２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）およびハードディスク（図示しない）等によって構成されている。記憶装置５２には、プログラム５２０や各種データが記憶されている。
操作部５３は、オペレータが指示を入力するために使用される。また、表示部５４は、適宜、情報（たとえばＧＵＩ）を画面に表示する。

次に、シミュレーションシステム１による試験動作について説明する。
図１２は、試験実行時のユニット模擬装置２０における処理の流れを示すフローチャートである。
所定の操作により、デバイスに関する模擬動作の実行が開始されると、まず、初期設定が実行される（ステップＳ１）。初期設定とは、たとえば、必要なファイル（定義リスト２２１等）の転送を含む動作である。この初期設定の終了後には、必要なハードウェアの電源がすべて投入されており、かつ必要なプログラムやファイルの転送（インストール）が完了した状態になる。初期設定の終了後には、試験制御部２１３は、オペレータからの所定の指示があるまで待機する。

この待機状態において、オペレータにより操作部２３が操作されて、試験情報の作成を選択する指示情報が入力されると（ステップＳ２でＹＥＳ）、模擬動作の開始に先立って、情報生成部２１４が試験情報２２４を作成する（ステップＳ３）。
待機状態において、オペレータが操作部２３を操作することにより、模擬動作の開始を選択する指示情報を入力すると（ステップＳ４でＹＥＳ）、試験制御部２１３は、ユニット模擬部２１１に模擬動作を実行させる（ステップＳ５）。試験制御部２１３は、選択した試験情報２１４を読み込み、その読み込んだ試験情報２１４の内容を実行させる。

この実施形態では、試験制御部２１３は自動的に試験を実行させる。そのため、たとえば、オペレータがシミュレーションをモニタリングしながら適切なタイミングで指示情報を入力する必要がなく、これにより、オペレータの負担が軽減される。
一連の処理が終了した後の待機状態において、オペレータによる操作部２３の操作により、処理を終了する指示情報が入力されると（ステップＳ６においてＹＥＳ）、ユニット模擬装置２０（試験制御部２１３）は、処理を終了する。

この実施形態では、ユニット模擬装置２０において実行される模擬動作には、通常モード、高速モードまたは即完了モードが設けられている。高速モードおよび即完了モードをそれぞれ実行させるために高速変更用の試験情報、すなわち高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄ（図４参照）および即完了モード用試験情報２２４Ｃ（図４参照）が用意されている。

図１３は、高速モード用試験情報２２４Ｂおよび即完了モード用試験情報２２４Ｃのそれぞれの一例を示す図である。図１３（ｂ）および図１３（ｄ）の上段（１列目）にそれぞれ示す文字列が高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄを示し、図１３（ｃ）の上段（１列目）に示す文字列が即完了モード用試験情報２２４Ｃを示している。
各試験情報２２４は、「種別」、「対象」、「引数１」および「引数２」の各項目を含む文字列である。高速変更用の試験情報（すなわち、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄおよび即完了モード用試験情報２２４Ｃ）は、定義リスト２２１（定義リスト２２１Ａ）の動作時間変数（図４、図６等参照）に規定されている動作時間を変更するための試験情報である。また、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄは、各グループに対応する動作時間を一括して変更させるための試験情報である。

高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄは、「対象」としてたとえば「ＳＩＭ」を、「引数１」としてグループ名（たとえば「Timer_Home」）を、「引数２」として倍数（たとえば「１０」や「０」等）をそれぞれ含む文字列である。この実施形態では、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄの「引数２」に、定義リスト２２１の動作時間変数に規定されている動作時間に対して乗算させるための乗算値（一括変速情報。「倍数」）が設定されている。また、動作時間の一括変更の対象になるグループが「引数１」に規定されている。

高速モード用試験情報２２４Ｂには、「引数２」の「倍数」として「０」を除く正の値が設定されている。図１３（ｂ）および図１３（ｄ）にそれぞれ示す例では、高速モード用試験情報２２４Ｂの「引数２」には、「倍数」として「１０」が設定されている。この場合、高速モード用試験情報２２４Ｂは、定義リスト２２１（定義リスト２２１Ａ）によって規定される模擬動作を、１０倍の速度で実行させるための試験情報である。

一方、図１３（ｃ）に示す即完了モード用試験情報２２４Ｃには、「引数２」の「倍数」として、「０」の値が設定されている。この場合、即完了モード用試験情報２２４Ｃは、定義リスト２２１（定義リスト２２１Ａ）によって規定される模擬動作を即時終了させるための試験情報である。
図１３（ａ）〜図１３（ｄ）のそれぞれに示されている試験情報２２４は、原点復帰動作に関する試験情報である。図１３（ａ）〜図１３（ｄ）では、試験情報２２４は、それぞれ原点復帰動作のための試験情報２２４Ｐを備えている。

以下、図４、図５（ａ）および図１３（ａ）〜図１３（ｄ）を参照して説明する。
試験情報２２４Ｐは、図５（ａ）に示す動作時間変数付き定義リスト２２１Ａの動作に対応するものであり、この試験情報２２４が選択された状態で模擬動作が実行されると、別途定められる動作時間で、「全原点復帰」動作が実行される。
図１３（ａ）に示すように、試験情報２２４Ｐだけが選択された状態で模擬動作が実行されると、試験制御部２１３は、選択した試験情報の内容を実行するとともに、ユニット模擬部２１１に、模擬動作対象になっている全ての実装処理ユニット１０４に対応する模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎの原点復帰の開始を要求する。

このとき、試験情報２２４が高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃを有していないので、図５（ａ）に示す動作時間変数付き定義リスト２２１Ａおよび図６に示す定義リスト２２１で規定された時間で、原点復帰動作を行う。そして、ユニット模擬部２１１による１つの模擬部２１２（ある実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作は、原点復帰開始要求の開始からたとえば１０秒後に終了する。次いで、他の模擬部２１２（他の実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作が実行開始される。模擬動作の対象になっている全ての実装処理ユニット１０４に対する原点復帰動作に関する模擬動作が完了すると、こに関する模擬動作の実行が終了する。たとえば５つの実装処理ユニット１０４に対して原点復帰動作に関する模擬動作を行う場合、原点復帰動作に関する模擬動作のためにたとえば５０秒間の所要時間が必要になる。

一方、図１３（ｂ）に示すように、試験情報２２４Ｐの選択に先立って高速モード用試験情報２２４Ｂが選択されている場合には、試験制御部２１３から原点復帰の開始が要求されると、試験情報２２４が高速モード用試験情報２２４Ｂを有しているので、ユニット模擬部２１１は、図５（ａ）に示す動作時間変数付き定義リスト２２１Ａおよび図６に示す定義リスト２２１で規定されている速さのたとえば１０倍速で、原点復帰動作を行う。そして、ユニット模擬部２１１による１つの模擬部２１２（ある実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作は、原点復帰開始要求の開始からたとえば１秒後に終了する。次いで、他の模擬部２１２（他の実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作が実行開始される。模擬動作の対象になっている全ての実装処理ユニット１０４に対する原点復帰動作に関する模擬動作が完了すると、これに関する模擬動作の実行が終了する。たとえば５つの実装処理ユニット１０４に対して原点復帰動作に関する模擬動作を行う場合、原点復帰動作に関する模擬動作のためにたとえば５秒間しか要しない。

さらに、図１３（ｃ）に示すように、試験情報２２４Ｐの選択に先立って即完了モード用試験情報２２４Ｃが選択されている場合には、試験制御部２１３から原点復帰の開始が要求されると、試験情報２２４が即完了モード用試験情報２２４Ｃを有しているので、ユニット模擬部２１１は原点復帰動作を、その開始とともに完了（即時終了）する。そのため、ユニット模擬部２１１による１つの模擬部２１２（ある実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作は、原点復帰開始要求の開始と同時に終了する。次いで、他の模擬部２１２（他の実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作が実行されるが、これらも原点復帰開始要求の開始とともに終了する。たとえば５つの実装処理ユニット１０４に対して原点復帰動作に関する模擬動作を行う場合であっても、原点復帰動作に関する模擬動作のために時間は所要しない。

また、図１３（ｄ）に示す高速モード用試験情報２２４Ｄは、個々の実装処理ユニット１０４を特定する試験情報である。高速モード用試験情報２２４Ｄは、図１３（ｂ）に示す高速モード用試験情報２２４Ｂの文字列に、「引数３」を加えた文字列を含んでいる。図１３（ｄ）では、「引数３」に、定義リスト２２１の動作時間変数の変更対象になる実装処理ユニット１０４を特定するための実装処理ユニット名が規定されている。この高速モード用試験情報２２４Ｄが選択された場合、その高速モード用試験情報２２４Ｄによって特定される実装処理ユニット１０４に対応する模擬部２１２における模擬動作だけが高速化される。

なお、図１３（ｃ）に示す即完了モード用試験情報２２４Ｃにおいても、図１３（ｄ）と同様に「引数３」の文字列を加えることにより、特定の実装処理ユニット１０４に対応する模擬部２１２における模擬動作だけを、開始とともに終了（即時終了）させることができる。
図１４は、高速モードにおける試験動作の流れを示すフローチャートである。

基板処理装置１００がたとえば６個の実装処理ユニット１０４を備えているものとする。ユニット模擬部２１２では、第１〜第６実装処理ユニット１０４にそれぞれに対応して、第１〜第６模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆが設けられる。この場合、第１模擬部２１２ａに関する模擬動作（ステップＳ１１）、第２模擬部２１２ｂに関する模擬動作（ステップＳ１２）、第３模擬部２１２ｃに関する模擬動作（ステップＳ１３）、第４模擬部２１２ｄに関する模擬動作（ステップＳ１４）、第５模擬部２１２ｅに関する模擬動作（ステップＳ１５）および第６模擬部２１２ｆに関する模擬動作（ステップＳ１６）の順で実行される。

そして、第６実装処理ユニット１０４のソフトウェアのみを評価（試験）したい場合がある。このとき、第１〜第５模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅの各模擬動作における試験情報２１４として、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄを採用する。これにより、図１５に示すように、第１〜第５模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅの各模擬動作を高速化させ、所望の第６実装処理ユニット１０４に対応する第６模擬部２１２ｆに関する模擬動作だけを、実機の動作速度と同じ速度で実行させことができる。これにより、試験（評価）対象外に関する模擬動作のためにオペレータが時間待ちするのを防止することができる。

図１５は、即完了モードにおける試験動作の流れを示すフローチャートである。
図１４と同様、基板処理装置１００がたとえば６個の実装処理ユニット１０４を備えており、第１模擬部２１２ａに関する模擬動作（ステップＳ２１）、第２模擬部２１２ｂに関する模擬動作（ステップＳ２２）、第３模擬部２１２ｃに関する模擬動作（ステップＳ２３）、第４模擬部２１２ｄに関する模擬動作（ステップＳ２４）、第５模擬部２１２ｅに関する模擬動作（ステップＳ２５）および第６模擬部２１２ｆに関する模擬動作（ステップＳ２６）の順で実行される。

そして、第６実装処理ユニット１０４のソフトウェアのみを試験（評価）したい場合がある。このとき、第１〜第５模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅの各模擬動作における試験情報２１４として、即完了モード用試験情報２２４Ｃを採用する。これにより、図１５に示すように、第１〜第５模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅの各模擬動作を即時終了させ、所望の第６実装処理ユニット１０４に対応する第６模擬部２１２ｆに関する模擬動作だけを、実機の動作速度と同じ速度で実行させる。この場合も、試験（評価）対象外に関する模擬動作のためにオペレータが時間待ちするのを防止することができる。

以上により、この実施形態によれば、動作時間変数付き定義リスト２２１Ａに含まれる動作時間変数の動作時間が、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄに応じて変更され、この変更後の動作時間で、各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎにおける模擬動作が実行される。そのため、各模擬動作に要する時間を変更することができる。換言すると、各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎにおける模擬動作を高速化または即時終了させることが可能になり、この場合、シミュレータ２による試験時間を大幅に短縮することができる。

また、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄにより、各グループに含まれる動作時間変数付き定義リスト２２１Ａに含まれる動作時間変数が一括して変更される。これにより、動作時間変数を変更させるために、動作時間変数付き定義リスト２２１Ａごとに個々に試験情報を作成する必要がないので、試験情報の作成者の負担を低減させることができる。

以上、この発明の一実施形態について説明したが、本発明は他の形態で実施することもできる。
たとえば、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄについて、設定する「倍数」を、０を超えかつ１未満の値に設定することもできる。この場合には、模擬動作の動作時間が、予め動作時間変数で定める時間よりも長期化する。

また、前述の実施形態では、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄに含まれる一括変速情報として乗算値が設定されているとものとして説明したが、除算値や加減算値を設定するようにすることもできる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。

１ シミュレーションシステム
２ シミュレータ
６ 情報処理装置（制御装置）
２２ 記憶装置（定義情報記憶手段、試験情報記憶手段）
１００ 基板処理装置
２１１ ユニット模擬部（模擬動作実行手段）
２２１Ａ 動作時間変数付き定義リスト（動作時間変数付き定義情報）
２２４Ｂ，２２４Ｄ 高速モード用試験情報（変速情報付き試験情報）
２２４Ｃ 即完了モード用試験情報（変速情報付き試験情報）

Claims (3)

1. 基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する制御装置に接続されて、前記基板処理装置のソフトウェアを試験するシミュレータであって、
   前記基板処理装置を構成するデバイスに関する模擬動作の動作時間を規定する動作時間変数を有し、前記模擬動作を定義するための動作時間変数付き定義情報を記憶する定義情報記憶手段と、
   前記動作時間変数によって規定されている前記動作時間を変更するための変速情報を有する変速情報付き試験情報を記憶する試験情報記憶手段と、
   前記変速情報に基づいて変更した後の前記動作時間に対応する動作速度で、前記デバイスに関する模擬動作を実行する模擬動作実行手段とを含む、シミュレータ。
2. 前記動作時間変数付き定義情報はグループ別に区分けされており、
   前記変速情報付き試験情報に含まれる前記変速情報は、各グループに含まれる動作時間変数付き定義情報の動作時間変数を一括して変更するための一括変速情報を含む、請求項１記載のシミュレータ。
3. 基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する制御装置と、この制御装置に接続されて、前記基板処理装置のソフトウェアを試験するシミュレータとを含むシミュレーションシステムであって、
   前記シミュレータは、
   前記基板処理装置を構成するデバイスに関する模擬動作の動作時間を規定する動作時間変数を有し、前記模擬動作を定義するための動作時間変数付き定義情報を記憶する定義情報記憶手段と、
   前記動作時間変数によって規定されている前記動作時間を変更するための変速情報を有する変速情報付き試験情報を記憶する試験情報記憶手段と、
   前記変速情報に基づいて変更した後の前記動作時間に対応する動作速度で、前記デバイスに関する模擬動作を実行する模擬動作実行手段とを含む、シミュレーションシステム。

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