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JP2013185834A - 熱分析装置 - Google Patents

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JP2013185834A JP2012048710A JP2012048710A JP2013185834A JP 2013185834 A JP2013185834 A JP 2013185834A JP 2012048710 A JP2012048710 A JP 2012048710A JP 2012048710 A JP2012048710 A JP 2012048710A JP 2013185834 A JP2013185834 A JP 2013185834A
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Abstract

【課題】熱分析中の試料の変化を観察可能な熱分析装置を提供する。
【解決手段】透明材料からなるファーナスチューブ9と、加熱炉3と、ファーナスチューブの内部に配置される試料保持手段41、42と、第1の支持台12と、第2の支持台14と、ファーナスチューブを第1の支持台に固定するファーナスチューブ固定部16と、加熱炉を第2の支持台に固定する加熱炉固定部18と、ファーナスチューブに接続される測定室30と、ファーナスチューブが測定室に接続される測定位置と、試料保持手段がファーナスチューブ及び加熱炉より後端側に露出する試料セット位置と、の間で第1の支持台及び第2の支持台を移動させる第1の移動手段22と、加熱炉が前進しファーナスチューブが露出する試料観察位置に第2の支持台のみを移動させる第2の移動手段24と、を備える熱分析装置100であって、露出したファーナスチューブの外側から試料を観察可能である。
【選択図】図4

Description

本発明は、試料を加熱し、温度変化に伴う試料の物理的変化を測定する熱分析装置に関する。
従来から、試料の温度特性を評価する手法として、試料を加熱し、温度変化に伴う試料の物理的変化を測定する熱分析といわれる手法が行われている。熱分析は、JIS K 0129:2005 "熱分析通則"に定義されており、測定対象(試料)の温度をプログラム制御させた時の、試料の物理的性質を測定する手法が全て熱分析とされる。一般的に用いられる熱分析は、(1)温度(温度差)を検出する示差熱分析(DTA)、(2)熱流差を検出する示差走査熱量測定(DSC)、(3)質量(重量変化)を検出する熱重量測定(TG)、(4)力学的特性を検出する熱機械分析(TMA)、及び(5)動的粘弾性測定(DMA)の5つの方法がある。
例えば、図8に示すように、上記熱重量測定(TG)を行う熱分析装置1000として、筒状に形成されて先端部9aに縮径された排気口9bを有するファーナスチューブ9と、ファーナスチューブ9を外側から取り囲む筒状の加熱炉3と、ファーナスチューブ9の内部に配置されて試料S、Sをそれぞれ保持する試料ホルダ41,42と、ファーナスチューブ9の後端部9dに気密に接続される測定室30と、測定室30内に配置されて試料の重量変化を測定する重量検出器32とを備えた構成が知られている(例えば、特許文献1〜3参照)。又、加熱炉3の下端から下方へ2つの支柱218が延び、支柱218は支持台200に接続されている。さらに、ファーナスチューブ9の後端部9dの外側にフランジ部7が固定され、フランジ部7下端から下方へ1つの支柱216が延び、支柱216も支持台200に接続されている。支持台200及び測定室30は基台10上に載置され、支持台200はリニアアクチュエータ220によってファーナスチューブ9の軸方向Oに進退可能になっている。
そして、加熱炉3は、試料ホルダ41,42をファーナスチューブ9の外側から加熱し、温度変化に伴う試料S、Sの重量変化を重量検出器32で検出可能になっている。
ここで、図9に示すように、試料ホルダ41,42に試料S、Sをセットしたり、試料S、Sを交換する際には、リニアアクチュエータ220によって支持台200をファーナスチューブ9の先端側(図9の左側)に前進させ、支持台200に固定された加熱炉3及びファーナスチューブ9も前進させる。これにより、試料ホルダ41,42がファーナスチューブ9より後端側に露出し、試料S、Sのセットや交換が行える。
特開平11−326249号公報 特開2007−232479号公報 特開平7−146262号公報
ところで、上記した熱分析装置を用いると、必要とする熱物性値を検出することはできるが、熱分析中の試料の変化を可視的に観察することができないという問題がある。これは、一般にファーナスチューブ9が焼結アルミナ等のセラミック、又はインコネル(登録商標)等の耐熱性金属で形成されていると共に、加熱炉3がファーナスチューブ9を覆っているためである。
そこで、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、熱分析中の試料の変化を観察可能な熱分析装置の提供を目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明の熱分析装置は、透明材料により筒状に形成され、軸方向の先端部に縮径された排気口を有するファーナスチューブと、前記ファーナスチューブを外側から取り囲む筒状の加熱炉と、前記ファーナスチューブの内部に配置され、試料を保持する試料保持手段と、第1の支持台と、第2の支持台と、前記ファーナスチューブの軸方向の後端部を前記第1の支持台に固定するファーナスチューブ固定部と、前記加熱炉を前記第2の支持台に固定する加熱炉固定部と、前記ファーナスチューブの前記後端部に気密に接続される測定室と、前記測定室内に配置され、前記試料の物性変化を測定する測定手段と、前記ファーナスチューブの前記後端部が前記測定室に接続されると共に前記試料保持手段が前記加熱炉に覆われる測定位置と、前記ファーナスチューブ及び前記加熱炉が前記測定位置よりも先端側へ前進し、前記試料保持手段が前記ファーナスチューブ及び前記加熱炉より後端側に露出する試料セット位置と、の間で前記第1の支持台及び前記第2の支持台を移動させる第1の移動手段と、前記ファーナスチューブの前記後端部が前記測定室に接続された状態で、前記加熱炉が前記測定位置よりも先端側へ前進し、前記試料保持手段の外側で前記ファーナスチューブが露出する試料観察位置に、前記第2の支持台のみを移動させる第2の移動手段と、を備える熱分析装置であって、前記試料観察位置にて、露出した前記ファーナスチューブの外側から前記試料を観察可能である。
この熱分析装置によれば、従来の熱分析装置のように測定位置及び試料セット位置で試料の測定及びセットを行うだけでなく、試料観察位置にて熱分析中の試料を観察することができる。
前記第2の支持台は前記第1の支持台の上に載置され、前記第1の移動手段が前記第1の支持台を移動させる際に、前記第2の支持台が前記第1の支持台と一体となって移動するようにしてもよい。
この熱分析装置によれば、測定位置及び試料セット位置に、ファーナスチューブ及び加熱炉を一体として確実に移動させることができる。
前記ファーナスチューブが石英ガラス又はサファイアガラスからなっていると耐熱温度が高いので好ましい。
前記試料観察位置にて、露出した前記ファーナスチューブの少なくとも一部を覆い、前記加熱炉の熱を伝えるための熱伝導部材をさらに備えていてもよい。
このようにすると、加熱炉の熱が熱伝導部材からファーナスチューブの露出部分へ伝達され、加熱状態を保った状態で試料を観察することができる。
前記熱伝導部材の熱伝導率が50W/(m・K)以上であるとよい。
前記熱伝導部材の少なくとも一部を覆う断熱部材をさらに備えていてもよい。
このようにすると、ファーナスチューブの露出部分の温度が低下し難くなり、加熱状態をより確実に保った状態で試料を観察することができる。
本発明によれば、熱分析中の試料の変化を観察可能な熱分析装置が得られる。
測定位置における本発明の実施形態に係る熱分析装置の構成を示す斜視図である。 図1のA−A線に沿う断面図である。 試料セット位置における加熱炉及びファーナスチューブの位置を示す図である。 試料観察位置における加熱炉及びファーナスチューブの位置を示す図である。 図4のB−B線に沿う断面図である。 試料観察位置にて、熱伝導部材を断熱部材で覆う態様を示す斜視図である。 熱分析装置の変形例を示す斜視図である。 従来の熱重量測定(TG)装置を示す斜視図である。 従来の熱重量測定(TG)装置にて、試料のセットや交換を行う態様を示す図である。 断熱部材の変形例を示す斜視図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、軸方向Oに沿ってファーナスチューブ9の先端部9a側を「先端(側)」とし、その反対側を「後端(側)」とする。
図1は本発明の実施形態に係る熱分析装置100の構成を示す斜視図であり、図2は図1のA−A線に沿う断面図である。
熱分析装置100は熱重量測定(TG)装置を構成し、筒状のファーナスチューブ9と、ファーナスチューブ9を外側から取り囲む筒状の加熱炉3と、ファーナスチューブ9の内部に配置されて試料S、Sをそれぞれ保持する試料ホルダ(特許請求の範囲の「試料保持手段」に相当)41,42と、第1の支持台12と、第1の支持台12の上面に載置された第2の支持台14と、ファーナスチューブ9の軸方向Oの後端部9dに接続される測定室30と、測定室30内に配置されて試料S、Sの重量変化を測定する重量検出器32(特許請求の範囲の「測定手段」に相当)と、第1の支持台12及び測定室30を自身の上面に載置する基台10と、を備えている。
又、加熱炉3の軸方向両端近傍の下端から下方へ、それぞれ2つの支柱(特許請求の範囲の「加熱炉固定部」に相当)18が延び、各支柱18は第2の支持台14の上面に接続されている。又、ファーナスチューブ9の後端部9dの外側にフランジ部7が固定され、フランジ部7の下端から下方へ1つの支柱(特許請求の範囲の「ファーナスチューブ固定部」に相当)16が延びている。支柱16は第1の支持台12の上面に接続されている。なお、支柱16は第2の支持台14の後端よりも後端側に配置され、第2の支持台14と干渉しないようになっている。
さらに、基台10の軸方向Oに沿って溝が形成され、この溝にはリニア(線形)アクチュエータ(特許請求の範囲の「第1の移動手段」に相当)22が配置されている。リニアアクチュエータ22の後端側は第1の支持台12に接続され、先端側(のサーボモータ)は基台10に接続されている。そして、第1の支持台12はリニアアクチュエータ22により、上記溝に沿って軸方向Oに進退可能になっている。
又、第1の支持台12の軸方向Oに沿って溝が形成され、この溝にリニアアクチュエータ(特許請求の範囲の「第2の移動手段」に相当)24が配置されている。リニアアクチュエータ24の後端側は第2の支持台14に接続され、先端側(のサーボモータ)は第1の支持台12に接続されている。そして、第2の支持台14はリニアアクチュエータ24により、第1の支持台12の溝に沿って軸方向Oに進退可能になっている。
リニアアクチュエータ22,24は、例えばボールねじとサーボモータ等から構成されるが、軸方向Oに直線的に駆動するあらゆる公知のアクチュエータを用いることができる。
加熱炉3は、加熱炉3の内面を形成する円筒状の炉心管3cと、炉心管3cに外嵌されたヒータ3bと、両端に側壁を有する円筒状の外筒3aとを有する(図2参照)。外筒3aの両側壁の中心には、炉心管3cを挿通するための中心孔が設けられている。外筒3aはヒータ3bを取り囲んで加熱炉3を保温するとともに、外筒3aに適宜調整孔(図示せず)を設けて加熱炉3の温度調整を行うこともできる。なお、炉心管3cの内径はファーナスチューブ9の外径より大きく、加熱炉3はファーナスチューブ9(及びその内部の試料S、S)を非接触で加熱するようになっている。
ファーナスチューブ9は先端部9aに向かってテーパ状に縮径し、先端部9aは細長いキャピラリ状に形成されてその先端に排気口9bが開口している。そして、ファーナスチューブ9には適宜パージガスが後端側から導入され、このパージガスや、加熱による試料の分解生成物等が排気口9bを通じて外部に排気される。一方、ファーナスチューブ9の後端部9dの外側には、シール部材71を介してリング状のフランジ部7が取り付けられている(図2参照)。
又、ファーナスチューブ9は透明材料により形成され、試料S、Sをファーナスチューブ9の外側から観察可能である。ここで、透明材料とは、可視光を所定の光透過率で透過する材料であり、半透明材料も含む。又、透明材料としては石英ガラス又はサファイアガラスを好適に用いることができる。
なお、図2に示すように、ファーナスチューブ9の後端側には、詳しくは後述する銅製の熱伝導部材50が被せられ、シール部材71は熱伝導部材50の外側に配置されて熱伝導部材50をファーナスチューブ9に固定している。
試料ホルダ41、42には、軸方向O後端側に延びる天秤アーム43、44がそれぞれ接続され、天秤アーム43、44は互いに水平方向に並んでいる。そして、各試料ホルダ41、42には、それぞれ図示しない試料容器を介して試料S、Sが載置されている。ここで、試料Sは測定試料(サンプル)であり、試料Sは基準物質(リファレンス)である。又、試料ホルダ41、42の直下には熱電対が設置され、試料温度を計測可能になっている。天秤アーム43、44、試料ホルダ41、42、及び図示しない試料容器は、例えば白金で形成されている。
測定室30はファーナスチューブ9の後端に配置され、測定室30の先端部には、ファーナスチューブ9に向かって軸方向O先端側に延びる管状のベローズ34がシール部材73を介して取り付けられている。ベローズ34の先端側はフランジ部36を形成し、フランジ部36はフランジ部7にシール部材72を介して気密に接続されている。このようにして、測定室30とファーナスチューブ9の内部が連通し、各天秤アーム43、44の後端はファーナスチューブ9を通って測定室30内部まで延びている。なお、シール部材71〜73としては、例えばOリング、ガスケット等を用いることができる。
図2に示すように、測定室30内に配置された重量検出器32は、コイル32aと、磁石32bと、位置検出部32cとを備えている。位置検出部32cは例えばフォトセンサーからなり、各天秤アーム43、44の後端側に配置されて天秤アーム43、44が水平な状態であるか否かを検出する。一方、コイル32aは各天秤アーム43、44の軸方向中心(支点)に取り付けられ、コイル32aの両側に磁石32bが配置されている。そして、天秤アーム43、44が水平になるようにコイル32aに電流を流し、その電流を測定することにより、天秤アーム43、44先端の各試料S、Sの重量を測定するようになっている。なお、重量検出器32は、各天秤アーム43、44のそれぞれに設けられている。
又、図2に示すように、リニアアクチュエータ22,24、ヒータ3b及び重量検出器32はコンピュータ等からなる制御部80によって制御される。具体的には、制御部80はヒータ3bを通電制御し、所定の加熱パターンでファーナスチューブ9(各試料ホルダ41、42)を加熱すると共に、そのときの試料S、Sの温度変化及び重量変化を重量検出器32から取得する。又、制御部80はリニアアクチュエータ22,24の動作を制御して、後述する測定位置、試料セット位置、及び試料観察位置に加熱炉3及びファーナスチューブ9を移動させる。
なお、フランジ部36とフランジ部7とが気密に接続され、加熱炉3がファーナスチューブ9の各試料ホルダ41、42(つまり、試料S、S)を覆う位置を、「測定位置」と称する。
図3は、各試料ホルダ41、42に試料S、Sをセット又は交換する場合の加熱炉3及びファーナスチューブ9の位置を示す。試料S、Sをセット(配置)又は交換する場合には、第2の支持台14を測定位置(図1、図2参照)のまま移動させず、第1の支持台12のみをリニアアクチュエータ22によってファーナスチューブ9の先端側(図3の左側)に前進させると、第1の支持台12及び第2の支持台14が一体となって移動する。これにより、各支持台12、14にそれぞれ固定されたファーナスチューブ9及び加熱炉3が上記測定位置よりも先端側へ前進すると、各試料ホルダ41、42がファーナスチューブ9及び加熱炉3より後端側に露出するので、試料S、Sのセットや交換が行える。
ここで、図3に示すように、フランジ部36とフランジ部7とが軸方向Oに離間し、各試料ホルダ41、42(つまり、試料S、S)がファーナスチューブ9及び加熱炉3よりも後端側に露出する位置を、「試料セット位置」と称する。
次に図4を参照し、本発明の特徴部分について説明する。図4に示すように、フランジ部36とフランジ部7とが接続した状態で、加熱炉3が上記測定位置よりも先端側へ前進すると、各試料ホルダ41、42(つまり、試料S、S)の外側の位置でファーナスチューブ9が露出する。これにより、ファーナスチューブ9を介して熱分析中の試料S、Sの変化を観察することができる。
具体的には、まず、図1に示す測定位置にて加熱炉3によって試料S、Sを加熱した後、第1の支持台12を測定位置(図1、図2参照)のまま移動させずに、リニアアクチュエータ24によって第2の支持台14のみをファーナスチューブ9の先端側(図3の左側)に、加熱炉3が各試料ホルダ41、42よりも先端に位置するまで前進させる。これにより、熱分析中の試料S、Sを観察することができる。例えば、図4の例では、加熱炉3の後端側に露出したファーナスチューブ9の上方に撮像手段(例えば、カメラ、光学顕微鏡等)90を配置し、熱分析中の試料S、Sを観察している。
なお、図4に示すように、フランジ部36とフランジ部7とが接続された状態で、加熱炉3が測定位置よりも先端側へ前進し、各試料ホルダ41、42の外側でファーナスチューブ9が露出する位置を、「試料観察位置」と称する。
ここで、測定位置で試料S、Sを加熱した後で、加熱炉3をファーナスチューブ9の先端側に前進させることで、余熱によりファーナスチューブ9がしばらく加熱状態を保つことができ、ほぼ加熱時の試料S、Sを観察することができる。
又、本実施形態では、ファーナスチューブ9の後端側に、銅製の50が被せられると共に、熱伝導部材50は各試料ホルダ41、42の位置でファーナスチューブ9の上半分が露出するように切り抜かれて窓Wを形成している。さらに断面図5に示すように、試料観察位置にて、熱伝導部材50の先端側は加熱炉3の後端部に覆われている。
このため、加熱炉3で覆われた熱伝導部材50の先端側から、加熱炉3の熱がファーナスチューブ9の露出部分へ伝達され、加熱状態を保った状態で試料S、Sを観察することができる。特に、熱伝導部材50の熱伝導率が50W/(m・K)以上であることが好ましい。熱伝導率が50W/(m・K)以上である材料として、Cu、Ag、Au、Ptなどが使用可能である。具体的には、Cuからなる熱伝導部材50の片面又は両面に、酸化防止のためにNiメッキを施したものがコスト面からより好ましい。また、熱伝導部材50のうち、加熱炉3及びファーナスチューブ9との接触部分であって、これらとの間で熱伝導に必要なが行われる部分のみを熱伝導率の高い材料(例えば上記材料)から構成し、他の部分をそれ以外の熱伝導率の低い材料から構成してもよい。なお、熱伝導部材50は、ファーナスチューブ9の露出部分の少なくとも一部を覆っていればよい。また、熱伝導部材50を、ファーナスチューブ9から着脱可能にすると、熱伝導部材50の耐熱温度を超える温度で測定を行う通常の熱分析では熱伝導部材50を外すことで、これら測定への対応も可能なためより好ましい。
さらに図6に示すように、試料観察位置にて、熱伝導部材50の少なくとも一部を断熱部材60で覆うと、ファーナスチューブ9の露出部分の温度が低下し難くなり、加熱状態をより確実に保った状態で試料S、Sを観察することができる。断熱部材60としては、例えばセラミックス系ファイバーシート等の高温耐熱性及び加工性が良好な材料を用いることができる。
なお、図6の例では、断熱部材60が鞍型(断面が逆U字形)をなし、加熱炉3を前方に移動させてファーナスチューブ9から引き抜かなくても、ファーナスチューブ9の上から断熱部材60を被せることが可能である。但し、断熱部材の形状は図6の例に限定されず、例えば図10に示すように、断熱部材62の断面を筒状とし、加熱炉3を前方に移動させてファーナスチューブ9から引き抜いた後、断熱部材62内にファーナスチューブ9をその先端側から挿通してもよい。
図7は、基台10x、第2の支持台14x、支柱18x、及びリニアアクチュエータ24xの構成が異なる熱分析装置110の変形例である。
図7において、加熱炉3の軸方向両端近傍の下端から、軸方向Oに垂直な方向に第1の支持台を跨ぐように、それぞれ2つの支柱(特許請求の範囲の「加熱炉固定部」に相当)18xが延びている。又、第2の支持台14xは、軸方向Oに垂直な方向にて第1の支持台を挟むようにして、基台10x上にそれぞれ1個ずつ配置され、各支柱18xの両端は両第2の支持台14の上面にそれぞれ接続されている。なお、後端側の支柱18xは支柱16よりも先端側に配置され、支柱16と干渉しないようになっている。
さらに、第2の支持台14xのそれぞれに対応し、基台10の軸方向Oに沿って2つの溝が形成され、各溝にそれぞれリニアアクチュエータ24xが配置されている。リニアアクチュエータ24xの後端側は第2の支持台14xに接続され、先端側(のサーボモータ)は基台10に接続されている。そして、それぞれの第2の支持台14xは、各リニアアクチュエータ24xによって軸方向Oに進退可能になっている。
熱分析装置110においても、上述の測定位置、試料セット位置、及び試料観察位置に対応して、第1の支持台12及び第2の支持台14xが移動するようになっている。
但し、測定位置及び試料セット位置において、第1の支持台12及び第2の支持台14xは、それぞれリニアアクチュエータ22、24xによって独立に移動する。このため、リニアアクチュエータ22、24xがいずれも特許請求の範囲の「第1の移動手段」に相当する。
又、試料観察位置にて、第2の支持台14xはリニアアクチュエータ24xによって移動する。このため、リニアアクチュエータ24xは特許請求の範囲の「第2の移動手段」にも相当する。
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
例えば、第1の支持台、第2の支持台、ファーナスチューブ固定部及び加熱炉固定部の構成、配置状態等は上記した例に限定されない。又、第1の移動手段及び第2の移動手段の構成、配置状態等も上記した例に限定されない。
又、本発明の熱分析装置は、上記した熱重量測定(TG)装置の他、JIS K 0129:2005 "熱分析通則"に定義され、測定対象(試料)の温度をプログラム制御させた時の、試料の物理的性質を測定する全ての熱分析に適用可能である。具体的には、 (1)温度(温度差)を検出する示差熱分析(DTA)、(2)熱流差を検出する示差走査熱量測定(DSC)、(3)質量(重量変化)を検出する熱重量測定(TG)、(4)力学的特性を検出する熱機械分析(TMA)、及び(5)動的粘弾性測定(DMA)の5つの方法が挙げられる。
100、110 熱分析装置
3 加熱炉
9 ファーナスチューブ
9a ファーナスチューブの先端部
9b 排気口
9d ファーナスチューブの後端部
12 第1の支持台
14、14x 第2の支持台
16 ファーナスチューブ固定部
18、18x 加熱炉固定部
22 第1の移動手段
24、24x 第2の移動手段
30 測定室
32 測定手段
41、42 試料保持手段(試料ホルダ)
50 熱伝導部材
60 断熱部材
O 軸方向
、S 試料

Claims (6)

  1. 透明材料により筒状に形成され、軸方向の先端部に縮径された排気口を有するファーナスチューブと、
    前記ファーナスチューブを外側から取り囲む筒状の加熱炉と、
    前記ファーナスチューブの内部に配置され、試料を保持する試料保持手段と、
    第1の支持台と、
    第2の支持台と、
    前記ファーナスチューブの軸方向の後端部を前記第1の支持台に固定するファーナスチューブ固定部と、
    前記加熱炉を前記第2の支持台に固定する加熱炉固定部と、
    前記ファーナスチューブの前記後端部に気密に接続される測定室と、
    前記測定室内に配置され、前記試料の物性変化を測定する測定手段と、
    前記ファーナスチューブの前記後端部が前記測定室に接続されると共に前記試料保持手段が前記加熱炉に覆われる測定位置と、前記ファーナスチューブ及び前記加熱炉が前記測定位置よりも先端側へ前進し、前記試料保持手段が前記ファーナスチューブ及び前記加熱炉より後端側に露出する試料セット位置と、の間で前記第1の支持台及び前記第2の支持台を移動させる第1の移動手段と、
    前記ファーナスチューブの前記後端部が前記測定室に接続された状態で、前記加熱炉が前記測定位置よりも先端側へ前進し、前記試料保持手段の外側で前記ファーナスチューブが露出する試料観察位置に、前記第2の支持台のみを移動させる第2の移動手段と、を備える熱分析装置であって、
    前記試料観察位置にて、露出した前記ファーナスチューブの外側から前記試料を観察可能である熱分析装置。
  2. 前記第2の支持台は前記第1の支持台の上に載置され、前記第1の移動手段が前記第1の支持台を移動させる際に、前記第2の支持台が前記第1の支持台と一体となって移動する請求項1記載の熱分析装置。
  3. 前記ファーナスチューブは、石英ガラス又はサファイアガラスからなる請求項1又は2記載の熱分析装置。
  4. 前記試料観察位置にて、露出した前記ファーナスチューブの少なくとも一部を覆い、前記加熱炉の熱を伝えるための熱伝導部材をさらに備えた請求項1〜3のいずれかに記載の熱分析装置。
  5. 前記熱伝導部材の熱伝導率が50W/(m・K)以上である請求項4に記載の熱分析装置。
  6. 前記熱伝導部材の少なくとも一部を覆う断熱部材をさらに備えた請求項4又は5に記載の熱分析装置。
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