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JP2013096898A - Rotation angle detection apparatus for throttle valve - Google Patents

Rotation angle detection apparatus for throttle valve Download PDF

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JP2013096898A
JP2013096898A JP2011241221A JP2011241221A JP2013096898A JP 2013096898 A JP2013096898 A JP 2013096898A JP 2011241221 A JP2011241221 A JP 2011241221A JP 2011241221 A JP2011241221 A JP 2011241221A JP 2013096898 A JP2013096898 A JP 2013096898A
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Japan
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rotation angle
signal
throttle valve
angle
calculation unit
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Application number
JP2011241221A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Ishikawa
貴士 石川
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Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rotation angle detection apparatus for a throttle valve in which reliability can be suppressed from being reduced with the passage of time and error between an actual rotation angle in detection start and a calculated rotation angle can be reduced.SOLUTION: A rotation angle detection apparatus comprises an angle calculation section 60 and an output section 70. The angle calculation section 60 calculates a rotation angle of a magnetism generation section 20 using a first signal and a second signal and performs feedback control in such a manner that a deviation between an actual rotation angle θ of the magnetism generation section 20 and a rotation angle φ obtained by the arithmetic operation can be settled to a predetermined value. The output section 70 outputs a signal corresponding to the rotation angle φ calculated by the angle calculation section 60. The angle calculation section 60 then uses an angle in a fully closed state of a throttle valve 10 as the calculated rotation angle φ in detection start.

Description

本発明は、スロットルバルブと一体となって回転する磁気発生部の磁界中に磁電変換素子を備え、磁電変換素子から出力される信号を用いて磁気発生部の回転角度を演算することにより、スロットルバルブの回転角度を検出するスロットルバルブ用回転角度検出装置に関するものである。   The present invention includes a magnetoelectric conversion element in a magnetic field of a magnetic generation unit that rotates integrally with a throttle valve, and calculates a rotation angle of the magnetic generation unit using a signal output from the magnetoelectric conversion element. The present invention relates to a rotation angle detection device for a throttle valve that detects a rotation angle of a valve.

従来より、例えば、特許文献1には、エンジンの燃焼室内に吸入される吸入空気量を制御するスロットルバルブの回転角度(開度)を検出するスロットルバルブ用回転角度検出装置が提案されている。このスロットルバルブ用回転角度検出装置では、スロットルバルブの回転によって変化するスロットルポジションセンサの抵抗値を検出することによってスロットルバルブの回転角度を検出している。   Conventionally, for example, Patent Document 1 proposes a throttle valve rotation angle detection device that detects the rotation angle (opening degree) of a throttle valve that controls the amount of intake air taken into the combustion chamber of the engine. In this throttle valve rotation angle detection device, the rotation angle of the throttle valve is detected by detecting the resistance value of the throttle position sensor that changes as the throttle valve rotates.

また、例えば、特許文献2は、回転体の回転に応じて回転検出器から出力される信号からデジタル角度を演算し、このデジタル角度を用いてフィードバック制御する回転角度検出装置が提案されている。   For example, Patent Document 2 proposes a rotation angle detection device that calculates a digital angle from a signal output from a rotation detector according to the rotation of a rotating body and performs feedback control using the digital angle.

特開2002−70587号公報JP 2002-70587 A 特開2000−353957号公報JP 2000-353957 A

しかしながら、上記特許文献1のスロットルバルブ用回転角度検出装置では、スロットルポジションセンサの抵抗値の変化、つまりいわゆる摺動式抵抗の抵抗値の変化を検出しているため、摩耗等によって経時的に信頼性が低下するという問題がある。   However, the throttle valve rotation angle detection device disclosed in Patent Document 1 detects a change in the resistance value of the throttle position sensor, that is, a change in the resistance value of a so-called sliding resistance. There is a problem that the performance is lowered.

また、特許文献2に記載の回転角度検出装置では、デジタル角度を用いるフィードバック制御をして回転検出器の回転角度を演算している。このため、このような回転検出装置をスロットルバルブ用回転角度検出装置に適用して経時的に信頼性が低下することを抑制することが考えられる。しかしながら、上記特許文献2に記載の回転角度検出装置をスロットルバルブの回転角度の検出に単純に適用した場合には、検出開始時の演算した回転角度(フィードバックする角度)が定められていないため、検出開始時の実際の回転角度と演算した回転角度との誤差が大きいという問題がある。   Moreover, in the rotation angle detection apparatus described in Patent Document 2, feedback control using a digital angle is performed to calculate the rotation angle of the rotation detector. For this reason, it is conceivable that such a rotation detection device is applied to a throttle valve rotation angle detection device to suppress a decrease in reliability over time. However, when the rotation angle detection device described in Patent Document 2 is simply applied to detection of the rotation angle of the throttle valve, the calculated rotation angle (feedback angle) at the start of detection is not determined. There is a problem that the error between the actual rotation angle at the start of detection and the calculated rotation angle is large.

本発明は上記点に鑑みて、径時的に信頼性が低下することを抑制することができると共に、検出開始時の実際の回転角度と演算した回転角度との誤差を小さくすることができるスロットルバルブ用回転角度検出装置を提供することを目的とする。   In view of the above points, the present invention can suppress a decrease in reliability over time and can reduce an error between the actual rotation angle at the start of detection and the calculated rotation angle. It aims at providing the rotation angle detection apparatus for valves.

上記課題を達成するために本発明者らは鋭意検討を行った。そして、本発明者らは、スロットルバルブは検出開始時には必ず全閉状態になることに着目し、フィードバック制御を行う回転検出装置において、検出開始時の演算角度としてスロットルバルブが全閉状態であるときの角度を用いることにより、上記課題を解決することができることを見出した。   In order to achieve the above-mentioned problems, the present inventors have intensively studied. The inventors of the present invention pay attention to the fact that the throttle valve is always in a fully closed state at the start of detection. In a rotation detection device that performs feedback control, when the throttle valve is in a fully closed state as a calculation angle at the start of detection. It has been found that the above-mentioned problems can be solved by using the angle.

このため、請求項1に記載の発明では、吸入通路(12)内を流れる媒体の流量を制御するスロットルバルブ(10)と一体化して回転する磁気発生部(20)が生成する磁界中に配置され、磁気発生部(20)の回転に応じた第1信号を出力する第1磁電変換素子(M1)と、第1信号との間に所定の位相差を有する第2信号を出力する第2磁電変換素子(M2)と、を備え、第1、第2磁電変換素子(M1、M2)から出力される第1、第2信号を用いて磁気発生部(20)の回転角度を求めるスロットルバルブ用回転角度検出装置において、以下の点を特徴としている。   For this reason, in the first aspect of the present invention, it is arranged in the magnetic field generated by the magnetic generator (20) that rotates integrally with the throttle valve (10) that controls the flow rate of the medium flowing in the suction passage (12). The second magneto-resistive element (M1) that outputs a first signal according to the rotation of the magnetism generator (20) and the second signal that outputs a second signal having a predetermined phase difference between the first signal and the second signal. A throttle valve for determining the rotation angle of the magnetic generator (20) using the first and second signals output from the first and second magnetoelectric conversion elements (M1, M2). The rotation angle detecting device for use is characterized by the following points.

すなわち、第1信号および第2信号を用いて磁気発生部(20)の回転角度を演算し、磁気発生部(20)の実際の回転角度θと演算により求めた回転角度φとの偏差が所定値に収束するようにフィードバック制御を行う角度演算部(60)と、角度演算部(60)が演算した回転角度φに対応する信号を出力する出力部(70)と、を備え、角度演算部(60)は、検出開始時の演算した回転角度φとしてスロットルバルブ(10)が全閉状態であるときの角度を用いることを特徴としている。   That is, the rotation angle of the magnetic generator (20) is calculated using the first signal and the second signal, and the deviation between the actual rotation angle θ of the magnetic generator (20) and the rotation angle φ obtained by the calculation is predetermined. An angle calculation unit (60) that performs feedback control so as to converge to a value, and an output unit (70) that outputs a signal corresponding to the rotation angle φ calculated by the angle calculation unit (60). (60) is characterized in that an angle when the throttle valve (10) is in a fully closed state is used as the calculated rotation angle φ at the start of detection.

このようなスロットルバルブ用回転角度検出装置では、フィードバック制御を行って磁気発生部(20)の回転角度、つまりスロットルバルブ(10)の回転角度を演算しているため、経時的に信頼性が低下することを抑制することができる。   In such a throttle valve rotation angle detection device, the feedback control is performed to calculate the rotation angle of the magnetism generating portion (20), that is, the rotation angle of the throttle valve (10), so that the reliability decreases with time. Can be suppressed.

また、角度演算部(60)では、検出開始時の演算した回転角度φとしてスロットルバルブ(10)が全閉状態であるときの角度を用いている。これにより、検出開始時において、スロットルバルブ(10)の実際の回転角度θと演算した回転角度φとの誤差を小さくすることができる。検出開始時、つまりスロットルバルブ(10)が作動する直前では、スロットルバルブ(10)は必ず全閉状態となるためである。   In addition, the angle calculation unit (60) uses the angle when the throttle valve (10) is in the fully closed state as the calculated rotation angle φ at the start of detection. Thereby, at the start of detection, an error between the actual rotation angle θ of the throttle valve (10) and the calculated rotation angle φ can be reduced. This is because the throttle valve (10) is always in a fully closed state at the start of detection, that is, immediately before the throttle valve (10) is operated.

例えば、請求項2に記載の発明のように、第1磁電変換素子(M1)は磁気発生部(20)の回転に応じてsinNθ信号(Nは自然数)を出力すると共に、第2磁電変換素子(M2)は磁気発生部(20)の回転に応じてcosNθ信号(Nは自然数)を出力する状態で磁気発生部(20)が生成する磁界中に配置されるものとすることができる。そして、角度演算部(60)は、第1、第2磁電変換素子(M1、M2)から出力されたsinNθ信号およびcosNθ信号に対して所定の演算を行って同じ位相差αを有するsin(Nθ+α)およびsin(Nθ−α)を生成した後、sin(Nθ+α)、sin(Nθ−α)および回転角度φを用いた所定の演算を行うことによってAsin(Nθ−Nφ)信号を生成し、当該Asin(Nθ−Nφ)に基づく偏差(Nθ−Nφ)が所定値になるようにフィードバック制御を行うものとすることができる。   For example, as in the second aspect of the invention, the first magnetoelectric conversion element (M1) outputs a sin Nθ signal (N is a natural number) according to the rotation of the magnetism generator (20), and the second magnetoelectric conversion element (M2) may be arranged in a magnetic field generated by the magnetic generator (20) in a state where a cosNθ signal (N is a natural number) is output in accordance with the rotation of the magnetic generator (20). Then, the angle calculation unit (60) performs a predetermined calculation on the sinNθ signal and the cosNθ signal output from the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2), and sin (Nθ + α) having the same phase difference α. ) And sin (Nθ−α), and then performing a predetermined operation using sin (Nθ + α), sin (Nθ−α) and the rotation angle φ to generate an Asin (Nθ−Nφ) signal, Feedback control can be performed so that the deviation (Nθ−Nφ) based on Asin (Nθ−Nφ) becomes a predetermined value.

この場合、請求項3に記載の発明のように、角度演算部(60)は、偏差(Nθ−Nφ)が0になるようにフィードバック制御を行うのが好ましい。   In this case, it is preferable that the angle calculator (60) performs feedback control so that the deviation (Nθ−Nφ) becomes zero, as in the third aspect of the invention.

そして、請求項4に記載の発明のように、角度演算部(60)は、演算した回転角度φに対応するカウント値をカウントするカウンタ(64)を備え、偏差(Nθ−Nφ)の正負を判定し、その判定結果に基づいてカウンタ(64)のカウント値を増減するものとすることができる。   As in the invention described in claim 4, the angle calculation unit (60) includes a counter (64) that counts a count value corresponding to the calculated rotation angle φ, and determines whether the deviation (Nθ−Nφ) is positive or negative. It can be determined, and the count value of the counter (64) can be increased or decreased based on the determination result.

これによれば、演算した回転角度φをカウンタ(64)のカウント値に対応させることができるため、演算した回転角度φを高精度に演算することができる。   According to this, since the calculated rotation angle φ can be made to correspond to the count value of the counter (64), the calculated rotation angle φ can be calculated with high accuracy.

さらに、請求項5に記載の発明のように、角度演算部(60)は、sin(Nθ−Nφ)信号を逆正弦演算することにより偏差(Nθ−Nφ)を演算し、その演算結果に基づいて正負を判定するものとすることができる。   Further, as in the fifth aspect of the invention, the angle calculation unit (60) calculates a deviation (Nθ−Nφ) by performing an inverse sine operation on the sin (Nθ−Nφ) signal, and based on the calculation result. Thus, it can be determined whether it is positive or negative.

また、請求項6に記載の発明のように、角度演算部(60)は、sin(Nθ−Nφ)信号が0よりも大きいときは偏差(Nθ−Nφ)が正であると判定し、sin(Nθ−Nφ)信号が0よりも小さいときは偏差(Nθ−Nφ)が負であると判定するものとすることができる。   Further, as in the invention described in claim 6, when the sin (Nθ−Nφ) signal is greater than 0, the angle calculation unit (60) determines that the deviation (Nθ−Nφ) is positive, and sin When the (Nθ−Nφ) signal is smaller than 0, it can be determined that the deviation (Nθ−Nφ) is negative.

そして、請求項7に記載の発明のように、角度演算部(60)は、検出開始時の演算した回転角度φとして0を用いるものとすることができる。また、請求項8に記載の発明のように、角度演算部(60)は、検出開始時の演算した回転角度φとして、スロットルバルブ(10)が吸入通路(12)に組みつけられて全閉状態であるときに計測された角度を用いるものとすることができる。   As in the invention described in claim 7, the angle calculator (60) can use 0 as the calculated rotation angle φ at the start of detection. In addition, as in the invention described in claim 8, the angle calculator (60) is configured to fully close the throttle valve (10) in the intake passage (12) as the calculated rotation angle φ at the start of detection. The angle measured when the state is in use can be used.

さらに、請求項9に記載の発明のように、第1、第2磁電変換素子(M1、M2)の温度が入力され、第1、第2磁電変換素子(M1、M2)から出力される第1、第2信号に対して第1、第2磁電変換素子(M1、M2)の温度に応じた補正を行い、補正した信号を角度演算部(60)に入力する温特補正部を備えることができる。   Further, as in the ninth aspect of the invention, the temperatures of the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2) are input and output from the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2). 1. A temperature characteristic correction unit that corrects the first and second signals according to the temperature of the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2) and inputs the corrected signal to the angle calculation unit (60) is provided. Can do.

これによれば、第1、第2磁電変換素子(M1、M2)の温度に応じて温特補正を行うため、検出感度が温度に依存することを抑制することができる。   According to this, since the temperature characteristic correction is performed according to the temperatures of the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2), it is possible to suppress the detection sensitivity from depending on the temperature.

そして、請求項10に記載の発明のように、第1、第2磁電変換素子(M1、M2)は、それぞれ磁気抵抗素子(R1〜R8)にて構成されているものとすることができる。   And like invention of Claim 10, a 1st, 2nd magnetoelectric conversion element (M1, M2) shall be respectively comprised by the magnetoresistive element (R1-R8).

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in this column and the claim shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の第1実施形態におけるスロットルバルブ用回転角度検出装置のブロック図である。1 is a block diagram of a throttle valve rotation angle detection device according to a first embodiment of the present invention. FIG. センサチップとスロットルバルブとの配置関係を示す模式図であり、(a)はスロットルバルブが閉じている状態を示す図、(b)はスロットルバルブが開いている状態を示す図である。It is a schematic diagram which shows the arrangement | positioning relationship between a sensor chip and a throttle valve, (a) is a figure which shows the state in which a throttle valve is closed, (b) is a figure which shows the state in which a throttle valve is open. 図1に示すセンサチップの構造を模式的に示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A矢視断面図である。It is a figure which shows typically the structure of the sensor chip | tip shown in FIG. 1, (a) is a top view, (b) is AA arrow sectional drawing of (a). 図3に示す第1AMRセンサの構造を模式的に示す平面図である。FIG. 4 is a plan view schematically showing the structure of the first AMR sensor shown in FIG. 3. 図3に示す第2AMRセンサの構造を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the structure of the 2nd AMR sensor shown in FIG. 図4に示す第1AMRセンサの等価回路図である。FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the first AMR sensor shown in FIG. 4. 図5に示す第2AMRセンサの等価回路図である。FIG. 6 is an equivalent circuit diagram of the second AMR sensor shown in FIG. 5. 第1、第2AMRセンサの各出力信号を示す図である。It is a figure which shows each output signal of a 1st, 2nd AMR sensor. 検出回路の作動を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the action | operation of a detection circuit. 入力角度と出力角度との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between an input angle and an output angle. 実際の回転角度θと演算した回転角度φとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between actual rotation angle (theta) and the calculated rotation angle (phi). 本発明の他の実施形態におけるセンサチップとスロットルバルブとの配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship between the sensor chip and throttle valve in other embodiment of this invention.

(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態のスロットルバルブ用回転角度検出装置は、エンジンの燃焼室内に吸入される吸入空気量を制御するスロットルバルブの回転角度(開度)を検出するのに用いられるものである。図1は、本実施形態におけるスロットルバルブ用回転角度検出装置のブロック図である。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The throttle valve rotation angle detection device of this embodiment is used to detect the rotation angle (opening degree) of a throttle valve that controls the amount of intake air taken into the combustion chamber of the engine. FIG. 1 is a block diagram of a throttle valve rotation angle detection device according to this embodiment.

図1に示されるように、スロットルバルブ用回転角度検出装置は、センサチップ1と、検出回路2とを備えている。センサチップ1は、磁気抵抗素子から成る2つの異方性磁気抵抗センサ(以下、単に第1、第2AMRセンサという)M1、M2が形成されたものであり、吸入通路内に設けられたスロットルバルブの回転軸上に配置される。なお、本実施形態では第1、第2AMRセンサM1、M2が本発明の第1、第2磁電変換素子に相当している。以下に、センサチップ1とスロットルバルブとの配置関係について簡単に説明する。   As shown in FIG. 1, the rotation angle detection device for a throttle valve includes a sensor chip 1 and a detection circuit 2. The sensor chip 1 includes two anisotropic magnetoresistive sensors (hereinafter simply referred to as first and second AMR sensors) M1 and M2 formed of magnetoresistive elements, and a throttle valve provided in a suction passage. Arranged on the rotation axis. In the present embodiment, the first and second AMR sensors M1 and M2 correspond to the first and second magnetoelectric transducers of the present invention. Hereinafter, the arrangement relationship between the sensor chip 1 and the throttle valve will be briefly described.

図2は、センサチップ1とスロットルバルブとの配置関係を示す模式図であり、(a)はスロットルバルブが閉じている状態を示す図、(b)はスロットルバルブが開いている状態を示す図である。   2A and 2B are schematic diagrams showing the positional relationship between the sensor chip 1 and the throttle valve. FIG. 2A is a diagram showing a state where the throttle valve is closed, and FIG. 2B is a diagram showing a state where the throttle valve is open. It is.

図2に示されるように、エンジンの燃焼室内に吸入される吸入空気量を制御するスロットルバルブ10は、スロットルバルブ10と共に回転するシャフト11と一体化されており、このシャフト11が吸入通路12を形成するスロットルボディー13に支持されることによって吸入通路12内に備えられている。本実施形態では、吸入通路12は吸入空気の流れの方向に対する断面が円形状とされ、スロットルバルブ10は全閉時に吸入空気を遮断することができるように吸入通路12とほぼ同じ径を有する円形板状とされている。また、シャフト11は、一端部側が吸入通路12外に突出するようにスロットルボディー13に備えられ、突出している先端部に本発明の磁界発生部に相当する永久磁石20を備えている。なお、本実施形態では、吸入空気が本発明の媒体に相当している。   As shown in FIG. 2, the throttle valve 10 that controls the amount of intake air taken into the combustion chamber of the engine is integrated with a shaft 11 that rotates together with the throttle valve 10, and the shaft 11 passes through the intake passage 12. It is provided in the suction passage 12 by being supported by the throttle body 13 to be formed. In the present embodiment, the suction passage 12 has a circular cross section with respect to the direction of intake air flow, and the throttle valve 10 has a circular shape having substantially the same diameter as the suction passage 12 so that the intake air can be shut off when fully closed. It is plate-shaped. Further, the shaft 11 is provided in the throttle body 13 so that one end thereof protrudes outside the suction passage 12, and a permanent magnet 20 corresponding to the magnetic field generator of the present invention is provided at the protruding tip. In the present embodiment, the intake air corresponds to the medium of the present invention.

永久磁石20は、本実施形態では、円板状とされており、径方向で同じ大きさに2分割されている。そして、2分割された一方がN極の永久磁石20aとされ、他方がS極の永久磁石20bとされており、図2(b)に示されるように、シャフト11を介してスロットルバルブ10と共に一体化して回転する。   In the present embodiment, the permanent magnet 20 has a disk shape and is divided into two in the radial direction. One divided into two is an N-pole permanent magnet 20a, and the other is an S-pole permanent magnet 20b. As shown in FIG. 2B, the shaft 11 is used together with the throttle valve 10. Integrate and rotate.

センサチップ1は、永久磁石20が生成する磁界中に、永久磁石20の径に沿った回転面20cと対向する状態で図示しない支持部材によって支持されて配置位置が変化しないように固定されて備えられている。なお、周知のように、N極の永久磁石20aからS極の永久磁石20bに向かうように磁界が生成されるため、センサチップ1には、スロットルバルブ10が図2(a)の状態である場合には紙面左右方向の磁界Bが印加され、図2(b)の状態である場合には紙面垂直方向の磁界Bが印加される。また、図2(b)中のθは、スロットルバルブ10の回転角度のことであり、スロットルバルブ10が全閉状態(図2(a))であるときを基準とし、この基準から回転した角度である。   The sensor chip 1 is supported by a support member (not shown) in a magnetic field generated by the permanent magnet 20 so as to face the rotating surface 20c along the diameter of the permanent magnet 20, and is fixed so that the arrangement position does not change. It has been. As is well known, since a magnetic field is generated from the N-pole permanent magnet 20a toward the S-pole permanent magnet 20b, the throttle valve 10 is in the state shown in FIG. In this case, the magnetic field B in the left-right direction on the paper surface is applied. In the state shown in FIG. 2B, the magnetic field B in the vertical direction on the paper surface is applied. Further, θ in FIG. 2 (b) is a rotation angle of the throttle valve 10, and an angle rotated from the reference when the throttle valve 10 is in a fully closed state (FIG. 2 (a)). It is.

次に、センサチップ1の具体的な構造について説明する。図3はセンサチップ1の構造を模式的に示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A矢視断面図である。   Next, a specific structure of the sensor chip 1 will be described. 3A and 3B are diagrams schematically showing the structure of the sensor chip 1. FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.

図3に示されるように、センサチップ1は、シリコン基板40と、このシリコン基板40の表面に形成されたシリコン酸化膜等の絶縁膜41と、この絶縁膜41の表面に形成された複数の磁気抵抗素子R1〜R8を有する第1、第2AMRセンサM1、M2とを備えている。なお、磁気抵抗素子R1〜R8の形状は、素子の形成方向を分かり易くするため、実際の寸法よりも大きく描いてある。   As shown in FIG. 3, the sensor chip 1 includes a silicon substrate 40, an insulating film 41 such as a silicon oxide film formed on the surface of the silicon substrate 40, and a plurality of layers formed on the surface of the insulating film 41. First and second AMR sensors M1 and M2 having magnetoresistive elements R1 to R8 are provided. The shapes of the magnetoresistive elements R1 to R8 are drawn larger than the actual dimensions in order to make the formation direction of the elements easy to understand.

図4は第1AMRセンサM1の構造を模式的に示す平面図、図5は第2AMRセンサM2の構造を模式的に示す平面図である。図6は第1AMRセンサM1の等価回路図、図7は第2AMRセンサM2の等価回路図である。図8は、第1、第2AMRセンサM1、M2の各出力信号を示す図である。   FIG. 4 is a plan view schematically showing the structure of the first AMR sensor M1, and FIG. 5 is a plan view schematically showing the structure of the second AMR sensor M2. FIG. 6 is an equivalent circuit diagram of the first AMR sensor M1, and FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of the second AMR sensor M2. FIG. 8 is a diagram showing output signals of the first and second AMR sensors M1 and M2.

図4および図5に示されるように、磁気抵抗素子R1〜R8は、帯状領域が複数回折り返された形状、つまり、メアンダ状(蛇行状)に形成されており、主としてシリコン基板40の表面に平行な磁界の強度および向きにより抵抗値が変化し、抵抗値に応じたレベルの信号を出力する。つまり、磁気抵抗素子R1〜R8は、異方性磁気抵抗効果を発生する素子である。特に限定されるものではないが、本実施形態では、磁気抵抗素子R1〜R8は、強磁性体の金属薄膜により形成されている。強磁性体としては、NiFe(パーマロイ)やNiCo等が用いられる。また、強磁性体の金属薄膜は、スパッタ法や蒸着法により成膜される。   As shown in FIGS. 4 and 5, the magnetoresistive elements R <b> 1 to R <b> 8 are formed in a shape in which a plurality of band-like regions are folded back, that is, in a meander shape (meandering shape). The resistance value changes depending on the intensity and direction of the parallel magnetic field, and a signal having a level corresponding to the resistance value is output. That is, the magnetoresistive elements R1 to R8 are elements that generate an anisotropic magnetoresistive effect. Although not particularly limited, in the present embodiment, the magnetoresistive elements R1 to R8 are formed of a ferromagnetic metal thin film. NiFe (permalloy), NiCo, or the like is used as the ferromagnetic material. The ferromagnetic metal thin film is formed by sputtering or vapor deposition.

第1AMRセンサM1は、図4に示されるように、4つの磁気抵抗素子R1〜R4を備えて構成されている。磁気抵抗素子R1〜R4は、相互に隣接する磁気抵抗素子において帯状素子の延設方向の成す角度が90°になるように配置されている。言い換えると、磁気抵抗素子R1〜R4は、隣り合う磁気抵抗素子の電流の方向(磁化容易軸)が90°の角度を成すように配置されている。つまり、磁気抵抗素子R1、R3およびR2、R4の各組は、各組において出力信号間の位相が90°異なるように配置されている。   As shown in FIG. 4, the first AMR sensor M1 includes four magnetoresistive elements R1 to R4. The magnetoresistive elements R <b> 1 to R <b> 4 are arranged so that the angle formed by the extending direction of the strip-shaped elements in the adjacent magnetoresistive elements is 90 °. In other words, the magnetoresistive elements R <b> 1 to R <b> 4 are arranged such that the current direction (easy magnetization axis) of the adjacent magnetoresistive elements forms an angle of 90 °. That is, each set of the magnetoresistive elements R1, R3 and R2, R4 is arranged such that the phase between the output signals is 90 ° different in each set.

図4および図6に示されるように、磁気抵抗素子R1、R3は電気的に直列接続されており、ハーフブリッジ回路を構成している。このハーフブリッジ回路の中点には、中点出力Vout1を取出すための出力端子31が電気的に接続されている。磁気抵抗素子R2、R4も電気的に直列接続されており、ハーフブリッジ回路を構成している。このハーフブリッジ回路の中点には、中点出力Vout2を取出すための出力端子32が電気的に接続されている。   As shown in FIGS. 4 and 6, the magnetoresistive elements R1 and R3 are electrically connected in series to form a half bridge circuit. An output terminal 31 for taking out the midpoint output Vout1 is electrically connected to the midpoint of the half bridge circuit. The magnetoresistive elements R2 and R4 are also electrically connected in series to form a half bridge circuit. An output terminal 32 for taking out the midpoint output Vout2 is electrically connected to the midpoint of the half bridge circuit.

そして、両ハーフブリッジ回路は並列接続され、sin2θ信号を出力するフルブリッジ回路が構成されている。このフルブリッジ回路には、電源Vccを供給するための電源供給端子30と、グランドG1と電気的に接続するための端子33とが電気的に接続されている。このフルブリッジ回路において相対向する磁気抵抗素子R1、R2は、(R0+ΔRsin2θ)信号を出力し、磁気抵抗素子R3、R4は、(R0−ΔRsin2θ)信号を出力する。なお、R0は、無磁界中における磁気抵抗素子の抵抗値であり、ΔRは、抵抗値変化量である。また、本実施形態では、sin2θ信号が本発明の第1信号に相当している。   Both half-bridge circuits are connected in parallel to form a full-bridge circuit that outputs a sin 2θ signal. The full bridge circuit is electrically connected to a power supply terminal 30 for supplying power Vcc and a terminal 33 for electrically connecting to the ground G1. In the full bridge circuit, the magnetoresistive elements R1 and R2 facing each other output (R0 + ΔRsin2θ) signals, and the magnetoresistive elements R3 and R4 output (R0−ΔRsin2θ) signals. R0 is the resistance value of the magnetoresistive element in the absence of a magnetic field, and ΔR is the amount of change in resistance value. In the present embodiment, the sin 2θ signal corresponds to the first signal of the present invention.

各中点出力Vout1、Vout2は、それぞれVcc/2を中心に振動するため、環境温度の変化等に起因する出力波形のオフセットを抑制することができる。また、出力端子31、32は、後述の増幅部に接続され、中点出力Vout1、Vout2が差動増幅される。このように、第1AMRセンサM1を構成することにより、第1AMRセンサM1を1つのハーフブリッジ回路によって構成する場合と比較して、第1AMRセンサM1の出力振幅を2倍にすることができ、磁気の検出感度を高めることができる。   Since each of the midpoint outputs Vout1 and Vout2 vibrates around Vcc / 2, it is possible to suppress an offset of the output waveform caused by a change in environmental temperature or the like. Further, the output terminals 31 and 32 are connected to an amplification unit described later, and the midpoint outputs Vout1 and Vout2 are differentially amplified. Thus, by configuring the first AMR sensor M1, the output amplitude of the first AMR sensor M1 can be doubled compared to the case where the first AMR sensor M1 is configured by one half bridge circuit, and the magnetic The detection sensitivity can be increased.

また、図5に示されるように、第2AMRセンサM2は、4つの磁気抵抗素子R5〜R8を備えて構成されている。磁気抵抗素子R5〜R8は、相互に隣接する磁気抵抗素子において帯状素子の延設方向の成す角度が90°になるように配置されている。言い換えると、磁気抵抗素子R5〜R8は、隣り合う磁気抵抗素子の電流の方向(磁化容易軸)が90°の角度を成すように配置されている。つまり、磁気抵抗素子R5、R8およびR6、R7の各組は、各組において出力信号間の位相が90°異なるように配置されている。   As shown in FIG. 5, the second AMR sensor M2 includes four magnetoresistive elements R5 to R8. The magnetoresistive elements R5 to R8 are arranged so that the angle formed by the extending direction of the strip-shaped elements in the adjacent magnetoresistive elements is 90 °. In other words, the magnetoresistive elements R5 to R8 are arranged so that the current direction (magnetization axis) of the adjacent magnetoresistive elements forms an angle of 90 °. That is, each set of magnetoresistive elements R5, R8 and R6, R7 is arranged such that the phase between the output signals is 90 ° different in each set.

図5および図7に示されるように、磁気抵抗素子R5、R7は電気的に直列接続されており、ハーフブリッジ回路を構成している。このハーフブリッジ回路の中点には、中点出力Vout3を取出すための出力端子35が電気的に接続されている。磁気抵抗素子R2、R4も電気的に直列接続されており、ハーフブリッジ回路を構成している。このハーフブリッジ回路の中点には、中点出力Vout4を取出すための出力端子36が電気的に接続されている。   As shown in FIGS. 5 and 7, the magnetoresistive elements R5 and R7 are electrically connected in series to constitute a half bridge circuit. An output terminal 35 for taking out the midpoint output Vout3 is electrically connected to the midpoint of the half bridge circuit. The magnetoresistive elements R2 and R4 are also electrically connected in series to form a half bridge circuit. An output terminal 36 for taking out the midpoint output Vout4 is electrically connected to the midpoint of the half bridge circuit.

そして、両ハーフブリッジ回路は並列接続され、cos2θ信号を出力するフルブリッジ回路が構成されている。このフルブリッジ回路には、電源Vccを供給するための電源供給端子34と、グランドG2と電気的に接続するための端子37とが電気的に接続されている。このフルブリッジ回路において相対向する磁気抵抗素子R5、R6は、(R0−ΔRcos2θ)信号を出力し、磁気抵抗素子R7、R8は、(R0+ΔRcos2θ)信号を出力する。なお、本実施形態では、cos2θ信号が本発明の第2信号に相当している。   Both half bridge circuits are connected in parallel to form a full bridge circuit that outputs a cos 2θ signal. The full bridge circuit is electrically connected to a power supply terminal 34 for supplying power Vcc and a terminal 37 for electrical connection with the ground G2. In the full bridge circuit, the magnetoresistive elements R5 and R6 facing each other output the (R0−ΔRcos2θ) signal, and the magnetoresistive elements R7 and R8 output the (R0 + ΔRcos2θ) signal. In the present embodiment, the cos 2θ signal corresponds to the second signal of the present invention.

各中点出力Vout3、Vout4は、それぞれVcc/2を中心に振動するため、環境温度の変化等に起因する出力波形のオフセットを抑制することができる。また、出力端子35、36は、後述の増幅部に接続され、中点出力Vout3、Vout4が差動増幅される。このように、第2AMRセンサM2を構成することにより、第2AMRセンサM2を1つのハーフブリッジ回路によって構成する場合と比較して、第2AMRセンサM2の出力振幅を2倍にすることができ、磁気の検出感度を高めることができる。   Since each of the midpoint outputs Vout3 and Vout4 vibrates around Vcc / 2, it is possible to suppress an offset of the output waveform caused by a change in environmental temperature or the like. Further, the output terminals 35 and 36 are connected to an amplifying unit described later, and the midpoint outputs Vout3 and Vout4 are differentially amplified. In this way, by configuring the second AMR sensor M2, the output amplitude of the second AMR sensor M2 can be doubled compared to the case where the second AMR sensor M2 is configured by one half bridge circuit, and the magnetic The detection sensitivity can be increased.

そして、図3(a)に示されるように、第1、第2AMRセンサM1、M2の各磁気抵抗素子R1〜R8は同心円状に交互に配置されている。具体的には、隣り合う第1AMRセンサM1の磁気抵抗素子R1〜R4と、第2AMRセンサM2の磁気抵抗素子R5〜R8とは、電流の方向(磁化容易軸)が45°の角度を成すように配置されている。なお、異方性磁気抵抗素子の電気抵抗の変化量ΔRは、自身の金属薄膜に流れる電流の方向(磁化容易軸)と、磁界の方向との成す角度が90°および270°のときに最大になり、0°および180°のときに最小になる。   As shown in FIG. 3A, the magnetoresistive elements R1 to R8 of the first and second AMR sensors M1 and M2 are alternately arranged concentrically. Specifically, the magnetoresistive elements R1 to R4 of the adjacent first AMR sensor M1 and the magnetoresistive elements R5 to R8 of the second AMR sensor M2 are such that the direction of current (magnetization easy axis) forms an angle of 45 °. Is arranged. The amount of change ΔR in the electrical resistance of the anisotropic magnetoresistive element is maximum when the angle between the direction of the current flowing through the metal thin film (magnetization easy axis) and the direction of the magnetic field is 90 ° and 270 °. And is minimized at 0 ° and 180 °.

以上より、図8に示されるように、第1AMRセンサM1は、1波長が電気角180°のsin信号を出力し、第2AMRセンサM2は、第1AMRセンサM1との位相差が45°で、1波長が電気角180°のcos信号を出力する。以上が本実施形態におけるセンサチップ1の構造である。   From the above, as shown in FIG. 8, the first AMR sensor M1 outputs a sin signal with one wavelength being an electrical angle of 180 °, and the second AMR sensor M2 has a phase difference of 45 ° with respect to the first AMR sensor M1, One wavelength outputs a cos signal having an electrical angle of 180 °. The above is the structure of the sensor chip 1 in the present embodiment.

次に、検出回路2の構成について説明する。検出回路2は、図1に示されるように、増幅部50と、角度演算部60と、出力部70とを備えている。   Next, the configuration of the detection circuit 2 will be described. As illustrated in FIG. 1, the detection circuit 2 includes an amplification unit 50, an angle calculation unit 60, and an output unit 70.

増幅部50は、第1、第2差動増幅回路50a、50bを有している。そして、第1差動増幅回路50aにて第1AMRセンサM1の出力信号sin2θを差動増幅し、第2差動増幅回路50bにて第2AMRセンサM2の出力信号cos2θを差動増幅する。   The amplifying unit 50 includes first and second differential amplifier circuits 50a and 50b. Then, the first differential amplifier circuit 50a differentially amplifies the output signal sin2θ of the first AMR sensor M1, and the second differential amplifier circuit 50b differentially amplifies the output signal cos2θ of the second AMR sensor M2.

角度演算部60は、トラッキングループ型デジタル角度変換回路であり、信号作成部61と、偏差算出部62と、正負判定部63と、アップダウンカウンタ(U/Dカウンタ)64と、初期角度記憶部65とを有している。そして、第1、第2AMRセンサM1、M2から出力される信号を用い、永久磁石20(スロットルバルブ10)に対する回転角度θと演算により求めた回転角度φとの偏差が所定値に収束するようにフィードバック制御を行って回転角度θを演算する。なお、本実施形態では、この所定値は0とされている。   The angle calculation unit 60 is a tracking loop type digital angle conversion circuit, and includes a signal creation unit 61, a deviation calculation unit 62, a positive / negative determination unit 63, an up / down counter (U / D counter) 64, and an initial angle storage unit. 65. Then, using the signals output from the first and second AMR sensors M1 and M2, the deviation between the rotation angle θ with respect to the permanent magnet 20 (throttle valve 10) and the rotation angle φ obtained by calculation converges to a predetermined value. The rotation angle θ is calculated by performing feedback control. In the present embodiment, this predetermined value is 0.

信号作成部61は、第1、第2差動増幅回路50a、50bから出力される信号を用い、第1AMRセンサM1から出力されたsin信号の増幅信号からAsin(2θ+α)を生成すると共に、第2AMRセンサM2から出力されたcos信号の増幅信号からAsin(2θ−α)を生成する。そして、これらAsin(2θ+α)およびAsin(2θ−α)を用いた所定の演算を行って信号2Asin(2θ−2φ)を生成する。なお、Aは振幅、αは位相差であり、本実施形態では振幅A=1、位相差α=45°とされている。   The signal generator 61 generates Asin (2θ + α) from the amplified signal of the sin signal output from the first AMR sensor M1, using the signals output from the first and second differential amplifier circuits 50a and 50b. Asin (2θ−α) is generated from the amplified signal of the cos signal output from the 2AMR sensor M2. Then, a predetermined calculation using these Asin (2θ + α) and Asin (2θ−α) is performed to generate a signal 2Asin (2θ-2φ). Note that A is the amplitude and α is the phase difference. In this embodiment, the amplitude A = 1 and the phase difference α = 45 °.

偏差算出部62は、信号作成部61から出力される信号2Asin(2θ−2φ)を用いて偏差(2θ−2φ)を算出する。   The deviation calculating unit 62 calculates the deviation (2θ-2φ) using the signal 2Asin (2θ-2φ) output from the signal creating unit 61.

正負判定部63は、偏差算出部62により算出された偏差(2θ−2φ)が正の値であるか負の値であるかを判定する。   The positive / negative determining unit 63 determines whether the deviation (2θ−2φ) calculated by the deviation calculating unit 62 is a positive value or a negative value.

アップダウンカウンタ64は、正負判定部63の判定結果に応じてカウント値を加算(カウントアップ)または減算(カウントダウン)する。   The up / down counter 64 adds (counts up) or subtracts (counts down) the count value according to the determination result of the positive / negative determination unit 63.

初期角度記憶部65は、EEPROM等で構成されており、初期角度としてスロットルバルブ10が全閉状態であるときの角度が記憶されている。例えば、初期角度は、スロットルバルブ10が組み付けられた時点ではほぼ0となるため、0とすることができる。また、初期角度は、スロットルバルブ10が組み付けられたときの角度ずれ等を考慮し、スロットルバルブ10を組み付けたときの全閉状態のときの計測した角度とすることもできる。   The initial angle storage unit 65 is configured by an EEPROM or the like, and stores an angle when the throttle valve 10 is in a fully closed state as an initial angle. For example, the initial angle is almost zero when the throttle valve 10 is assembled, and can be zero. Further, the initial angle may be an angle measured in the fully closed state when the throttle valve 10 is assembled in consideration of an angle shift when the throttle valve 10 is assembled.

出力部70は、アップダウンカウンタ64から出力される演算した回転角度φをアナログ値に変換した信号を出力する。   The output unit 70 outputs a signal obtained by converting the calculated rotation angle φ output from the up / down counter 64 into an analog value.

次に、検出回路2の作動について説明する。図9は、検出回路2の作動を説明するための図である。なお、図9では、符号61a〜61kで示す各ブロックは、信号作成部61が実行する処理の内容、または、その処理によって発生する信号、あるいは、データを示す。   Next, the operation of the detection circuit 2 will be described. FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the detection circuit 2. In FIG. 9, each block denoted by reference numerals 61 a to 61 k indicates the content of processing executed by the signal creation unit 61, or a signal or data generated by the processing.

図9に示されるように、永久磁石20(スロットルバルブ10)が全閉状態からθ回転すると、第1AMRセンサM1から信号sin2θが出力され、第2AMRセンサM2から信号cos2θが出力される。そして、信号作成部61は、第1、第2差動増幅回路50a、50bから出力される信号からAsin(2θ+α)(61a)およびAsin(2θ−α)(61b)を生成し、Asin(2θ+α)とAsin(2θ−α)とを加算して信号2Asin2θcosαを生成する(61c)と共に、Asin(2θ+α)からAsin(2θ−α)を減算して信号2Acos2θsinαを生成する(61d)。なお、加算は、公知の加算回路を用いて行うことができ、減算は高知の減算回路を用いて行うことができる。   As shown in FIG. 9, when the permanent magnet 20 (throttle valve 10) rotates θ from the fully closed state, a signal sin2θ is output from the first AMR sensor M1, and a signal cos2θ is output from the second AMR sensor M2. Then, the signal generator 61 generates Asin (2θ + α) (61a) and Asin (2θ−α) (61b) from the signals output from the first and second differential amplifier circuits 50a and 50b, and Asin (2θ + α). ) And Asin (2θ−α) are added to generate a signal 2Asin2θcosα (61c), and Asin (2θ−α) is subtracted from Asin (2θ + α) to generate a signal 2Acos2θsinα (61d). The addition can be performed using a known addition circuit, and the subtraction can be performed using a Kochi subtraction circuit.

また、上記のように位相差αは任意に変更可能であるが、次のようにされていることが好ましい。図10は、入力角度(スロットルバルブ10の回転角度)と出力角度との関係を示す図である。図10に示されるように、後述の演算を行った演算した回転角度φは、αが45°であるときに入力角度(永久磁石20の回転角度)に対してリニアに変化する信号となり、αが45°から離れると入力角度と演算した回転角度との誤差が大きくなる。このため、本実施形態では、位相差α=45°としている。   Further, the phase difference α can be arbitrarily changed as described above, but it is preferable that the phase difference α is set as follows. FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the input angle (rotation angle of the throttle valve 10) and the output angle. As shown in FIG. 10, the calculated rotation angle φ obtained by performing the calculation described later is a signal that changes linearly with respect to the input angle (the rotation angle of the permanent magnet 20) when α is 45 °. When the angle is away from 45 °, an error between the input angle and the calculated rotation angle increases. For this reason, in this embodiment, the phase difference α is set to 45 °.

続いて、図9に示されるように、信号作成部61は、信号2Asin2θcosαに信号cos2φおよび(1/cosα)を乗算し、信号2Asin2θcos2φを作成する(61e、61i、61g)。また、信号作成部61は、信号2Acos2θsinαに信号sin2φおよび(1/sinα)を乗算し、信号2Acos2θsin2φを作成する(61f、61h、61j)。これらの乗算は、それぞれ公知の乗算回路を用いて行うことができる。   Subsequently, as illustrated in FIG. 9, the signal creation unit 61 multiplies the signal 2Asin2θcosα by the signals cos2φ and (1 / cosα) to create the signal 2Asin2θcos2φ (61e, 61i, 61g). The signal creation unit 61 multiplies the signal 2Acos2θsinα by the signals sin2φ and (1 / sinα) to create the signal 2Acos2θsin2φ (61f, 61h, 61j). Each of these multiplications can be performed using a known multiplication circuit.

なお、(1/cosα)および(1/sinα)は永久磁石20(スロットルバルブ10)の回転に応じて変化しない係数である。また、cos2φ(61i)およびsin2φ(61j)の各φは、アップダウンカウンタ64のカウント値により変化する変数である。ただし、スロットルバルブ10の検出を開始した1回目の演算(検出開始時)では、φは初期角度記憶部65から読み出された値となる(65)。スロットルバルブ10は、上記のように吸入空気量を調整するものであり、検出開始時、つまり、スロットルバルブ10が回転させられる直前は必ず全閉状態となるためである。   Note that (1 / cos α) and (1 / sin α) are coefficients that do not change according to the rotation of the permanent magnet 20 (throttle valve 10). Further, each of cos2φ (61i) and sin2φ (61j) is a variable that varies depending on the count value of the up / down counter 64. However, in the first calculation (at the start of detection) when the detection of the throttle valve 10 is started, φ is a value read from the initial angle storage unit 65 (65). The throttle valve 10 adjusts the intake air amount as described above, and is always in the fully closed state at the start of detection, that is, immediately before the throttle valve 10 is rotated.

続いて、信号作成部61は、信号2Asin2θcos2φから信号2Acos2θsin2φを減算し、信号2Asin(2θ−2φ)、つまり、偏差(2θ−2φ)を変数とするsin信号を作成する(61k)。この減算は、公知の減算回路を用いて行うことができる。   Subsequently, the signal generator 61 subtracts the signal 2Acos2θsin2φ from the signal 2Asin2θcos2φ to generate a sin signal having the signal 2Asin (2θ-2φ), that is, the deviation (2θ-2φ) as a variable (61k). This subtraction can be performed using a known subtraction circuit.

次に、偏差算出部62は、信号作成部61が作成した信号2Asin(2θ−2φ)を逆正弦演算(アークサイン演算)し、偏差(2θ−2φ)を求める(62)。   Next, the deviation calculation unit 62 performs an arc sine operation (arcsine operation) on the signal 2Asin (2θ-2φ) created by the signal creation unit 61 to obtain a deviation (2θ-2φ) (62).

続いて、正負判定部63は、偏差算出部62が求めた偏差(2θ−2φ)が正の値であるか負の値であるかを判定する(63)。   Subsequently, the positive / negative determining unit 63 determines whether the deviation (2θ−2φ) obtained by the deviation calculating unit 62 is a positive value or a negative value (63).

その後、アップダウンカウンタ64は、正負判定部63の判定結果が正であった場合は、カウンタの最下位ビット(LSB)に1を加算してカウント値を加算し、正負判定部63の判定結果が負であった場合は、カウンタの最下位ビットから1を減算する(64)。このアップダウンカウンタ64のカウント値がデジタル角度、つまり演算した回転角度φとなる(65)。   Thereafter, if the determination result of the positive / negative determination unit 63 is positive, the up / down counter 64 adds 1 to the least significant bit (LSB) of the counter and adds the count value, and the determination result of the positive / negative determination unit 63 Is negative, 1 is subtracted from the least significant bit of the counter (64). The count value of the up / down counter 64 becomes the digital angle, that is, the calculated rotation angle φ (65).

また、信号作成部61は、アップダウンカウンタ64から出力される演算した回転角度φ(カウント値)を用い、信号cos2φおよびsin2φを作成する(61i、61j)。これらの信号の作成は、例えば、演算した回転角度φ(カウント値)と、データcos2φおよびsin2φとを対応付けたテーブルを用い、演算した回転角度φに対応付けられているデータcos2φおよびsin2φを読出し、その読出したデータをアナログ信号に変換する手法によって行うことができる。なお、上記のように、スロットルバルブ10の検出を開始した1回目の演算(検出開始時)では、φは初期角度となる(65)。   Further, the signal creating unit 61 creates signals cos2φ and sin2φ using the calculated rotation angle φ (count value) output from the up / down counter 64 (61i, 61j). These signals are generated by using, for example, a table in which the calculated rotation angle φ (count value) is associated with the data cos2φ and sin2φ, and the data cos2φ and sin2φ associated with the calculated rotation angle φ are read out. The read data can be converted into an analog signal. As described above, in the first calculation (at the start of detection) when the detection of the throttle valve 10 is started, φ is the initial angle (65).

そして、信号作成部61は、再度、信号2Asin2θcosαに信号cos2φおよび(1/cosα)を乗算し、信号2Asin2θcos2φを作成する。また、再度、信号2Acos2θsinαに信号sin2φおよび(1/sinα)を乗算し、信号2Acos2θsin2φを作成する。つまり、偏差(2θ−2φ)が、信号cos2φおよびsin2φにフィードバックされ、偏差(2θ−2φ)が0となるように制御される。   Then, the signal creating unit 61 again multiplies the signal 2Asin2θcosα by the signals cos2φ and (1 / cosα) to create the signal 2Asin2θcos2φ. Further, the signal 2Acos2θsinα is again multiplied by the signals sin2φ and (1 / sinα) to generate the signal 2Acos2θsin2φ. That is, the deviation (2θ-2φ) is fed back to the signals cos2φ and sin2φ, and the deviation (2θ-2φ) is controlled to be zero.

また、出力部70は、アップダウンカウンタ64から出力される演算した回転角度φをアナログ値に変換した信号を出力する。例えば、出力部70は、アップダウンカウンタ64から出力される演算した回転角度φをアナログ電圧に変換して出力する。図11は、実際の回転角度θと出力部70から出力される演算した回転角度φとの関係を示す図である。   The output unit 70 outputs a signal obtained by converting the calculated rotation angle φ output from the up / down counter 64 into an analog value. For example, the output unit 70 converts the calculated rotation angle φ output from the up / down counter 64 into an analog voltage and outputs the analog voltage. FIG. 11 is a diagram illustrating the relationship between the actual rotation angle θ and the calculated rotation angle φ output from the output unit 70.

図11に示されるように、このような回転角度検出装置では、スロットルバルブ10の回転角度の1回目の演算(検出開始時)において初期角度記憶部65に記憶されている初期角度を読み出して演算を行うため、実際の回転角度θと演算した回転角度φとの検出開始時の誤差を小さくすることができる。   As shown in FIG. 11, in such a rotation angle detecting device, the initial angle stored in the initial angle storage unit 65 is read and calculated in the first calculation (at the start of detection) of the rotation angle of the throttle valve 10. Therefore, the error at the start of detection of the actual rotation angle θ and the calculated rotation angle φ can be reduced.

なお、上記のような検出回路2では、回転角度θが0〜360°の範囲で演算可能であるが、一般的には永久磁石20(スロットルバルブ10)の回転角度θは0〜90°であるため、出力部70の出力範囲を0〜90°の範囲となるようにしてもよい。また、取り付け誤差等を考慮し、出力部70の出力範囲を0〜120°の範囲となるようにしてもよい。   In the detection circuit 2 as described above, the rotation angle θ can be calculated in the range of 0 to 360 °. In general, the rotation angle θ of the permanent magnet 20 (throttle valve 10) is 0 to 90 °. Therefore, the output range of the output unit 70 may be in a range of 0 to 90 °. Further, the output range of the output unit 70 may be set to a range of 0 to 120 ° in consideration of attachment errors and the like.

以上説明したように、本実施形態の回転角度検出装置は、角度演算部60で演算した回転角度φを演算し、演算した回転角度φを用いたフィードバック制御を行っている。このため、経時的に信頼性が低下することを抑制することができる。   As described above, the rotation angle detection device according to the present embodiment calculates the rotation angle φ calculated by the angle calculation unit 60 and performs feedback control using the calculated rotation angle φ. For this reason, it can suppress that reliability falls over time.

また、角度演算部60では、検出開始時の演算した回転角度φとしてスロットルバルブ10が全閉状態であるときの角度を用いている。これにより、検出開始時において、永久磁石20(スロットルバルブ10)の実際の回転角度θと演算した回転角度φとの誤差を小さくすることができる(図11参照)。検出開始時では、スロットルバルブ10が必ず全閉状態となるためである。   Further, the angle calculation unit 60 uses an angle when the throttle valve 10 is in a fully closed state as the calculated rotation angle φ at the start of detection. As a result, at the start of detection, the error between the actual rotation angle θ of the permanent magnet 20 (throttle valve 10) and the calculated rotation angle φ can be reduced (see FIG. 11). This is because the throttle valve 10 is always fully closed at the start of detection.

(他の実施形態)
上記第1実施形態では、センサチップ1に第1、第2AMRセンサM1、M2が形成されているものを説明したが、センサチップ1に次のセンサが形成されていてもよい。すなわち、1波長が電気角360°のsin信号を出力するGMR(Giant Magneto-Resistive effect:巨大磁気抵抗効果)センサと、このGMRセンサとの位相差が90°であり、1波長が電気角360°のcos信号を出力するGMRセンサが形成されていてもよい。また、1波長が電気角360°のsin信号を出力するTMR(Tunnel Magneto-Resistive effect:トンネル磁気抵抗効果)センサと、このTMRセンサとの位相差が90°であり、1波長が電気角360°のcos信号を出力するTMRセンサが形成されていてもよい。同様に、1波長が電気角360°のsin信号を出力するホール素子と、このホール素子との位相差が90°であり、1波長が電気角360°のcos信号を出力するホール素子が形成されていてもよい。
(Other embodiments)
In the first embodiment, the first and second AMR sensors M1 and M2 are formed on the sensor chip 1. However, the following sensors may be formed on the sensor chip 1. That is, a phase difference between a GMR (Giant Magneto-Resistive Effect) sensor that outputs a sin signal having an electrical angle of 360 ° and a GMR sensor is 90 °, and one wavelength is an electrical angle 360. A GMR sensor that outputs a cos signal of ° may be formed. The phase difference between a TMR (Tunnel Magneto-Resistive Effect) sensor that outputs a sin signal having an electrical angle of 360 ° and a TMR sensor is 90 °, and one wavelength is an electrical angle 360. A TMR sensor that outputs a cosine signal of ° may be formed. Similarly, a Hall element that outputs a sin signal having an electrical angle of 360 ° for one wavelength and a Hall element that outputs a cos signal having an electrical angle of 360 ° with a phase difference of 90 ° are formed. May be.

このように、センサチップ1にGMRセンサ、TMRセンサまたはホール素子が形成されているものを用いた場合には、信号作成部61にて上記と同様の処理が行われて偏差が(θ−φ)であるsin信号が生成される(61k)。このため、正負判定部63は、偏差(θ−φ)が正の値であるか負の値であるかを判定した後、上記と同様にアップダウンカウンタ64のカウント値が加算または減算される。   As described above, when a sensor chip 1 having a GMR sensor, TMR sensor, or Hall element is used, the signal generator 61 performs the same processing as described above, and the deviation is (θ−φ ) Is generated (61k). For this reason, after the positive / negative determining unit 63 determines whether the deviation (θ−φ) is a positive value or a negative value, the count value of the up / down counter 64 is added or subtracted in the same manner as described above. .

また、上記第1実施形態では、正負判定部63は、偏差(2θ−2φ)が0よりも大きいか否かを判定する例について説明したが、次のようにすることもできる。すなわち、角度演算部60に偏差算出部62を備えずに、正負判定部63は、信号2Asin(2θ−2φ)が0よりも大きいときは正であると判定し、0よりも小さいときは負であると判定するようにしてもよい。   In the first embodiment, the example in which the positive / negative determination unit 63 determines whether the deviation (2θ−2φ) is greater than 0 has been described. That is, the angle calculation unit 60 does not include the deviation calculation unit 62, and the positive / negative determination unit 63 determines that the signal 2Asin (2θ-2φ) is positive when it is greater than 0, and negative when it is less than 0. You may make it determine with it.

さらに、上記第1実施形態において、増幅部50は備えられていなくてもよく、第1、第2AMRセンサM1、M2の信号がそのまま角度演算部60に入力されるようにしてもよい。また、特に図示しないが、フィルター等でノイズを除去するようにしてもよい。   Furthermore, in the first embodiment, the amplification unit 50 may not be provided, and the signals of the first and second AMR sensors M1 and M2 may be input to the angle calculation unit 60 as they are. Although not particularly shown, noise may be removed by a filter or the like.

また、上記第1実施形態において、温特補正を行うようにしてもよい。すなわち、センサチップ1に温度検出部を形成し、増幅部50と角度演算部60との間に、温度と第1、第2AMRセンサM1、M2の感度変化に対する補正値とが対応付けられているデータを有する温特補正部を備えてもよい。これにより、温特補正部にて、温度検出部で検出された温度から補正値を読み出し、増幅信号に対して温度に依存する補正値を用いた温特補正を行うことができるため、検出感度が温度に依存することを抑制することができる。   In the first embodiment, the temperature characteristic correction may be performed. That is, a temperature detection unit is formed in the sensor chip 1, and the temperature and the correction value for the sensitivity change of the first and second AMR sensors M1 and M2 are associated between the amplification unit 50 and the angle calculation unit 60. You may provide the temperature characteristic correction | amendment part which has data. As a result, the temperature characteristic correction unit can read out the correction value from the temperature detected by the temperature detection unit and perform temperature characteristic correction using the temperature-dependent correction value for the amplified signal. Can be suppressed from depending on temperature.

さらに、上記第1実施形態において、第1、第2AMRセンサM1、M2を室温(25℃)で最も感度が高くなるように構成してもよい。   Furthermore, in the first embodiment, the first and second AMR sensors M1 and M2 may be configured to have the highest sensitivity at room temperature (25 ° C.).

また、上記第1実施形態では、センサチップ1が円板状の永久磁石20が生成する磁界中に配置される例を説明したが、センサチップ1は次のような永久磁石20が生成する磁界中に配置されていてもよい。図12は、センサチップ1とスロットルバルブ10との配置関係を示す図である。   In the first embodiment, the sensor chip 1 is disposed in a magnetic field generated by the disk-shaped permanent magnet 20. However, the sensor chip 1 has a magnetic field generated by the permanent magnet 20 as follows. It may be arranged inside. FIG. 12 is a diagram showing an arrangement relationship between the sensor chip 1 and the throttle valve 10.

図12(a)に示されるように、永久磁石20は厚さ方向で同じ大きさに2分割されていると共に径方向で同じ大きさに2分割されて4分割され、厚さ方向に分割されたうちのスロットルボディー13側の一方がN極の永久磁石20aとされていると共に他方がS極の永久磁石20bとされ、永久磁石20aの厚さ方向に積層された部分がS極の永久磁石20dとされていると共に永久磁石20bの厚さ方向に積層された部分がN極の永久磁石20eとされていてもよい。   As shown in FIG. 12A, the permanent magnet 20 is divided into two parts having the same size in the thickness direction, divided into two parts having the same size in the radial direction, and divided into four parts. Among them, one of the throttle body 13 side is an N-pole permanent magnet 20a and the other is an S-pole permanent magnet 20b, and the portion laminated in the thickness direction of the permanent magnet 20a is an S-pole permanent magnet. A portion laminated in the thickness direction of the permanent magnet 20b may be an N-pole permanent magnet 20e.

また、図12(b)に示されるように、永久磁石20は矩形板状部材とこの部材の両端部に板状部材の面方向と垂直方向に突出した突出部とを有する断面がU字型のものとされていてもよい。   Further, as shown in FIG. 12B, the permanent magnet 20 has a U-shaped cross section having a rectangular plate-like member and projecting portions projecting in the direction perpendicular to the surface direction of the plate-like member at both ends of the member. It may be said.

さらに、図12(c)に示されるように、永久磁石20である矩形板状部材とこの部材の両端部に板状部材の面方向と垂直方向に突出した鉄等のヨーク部位21とを備えた断面がU字型のものとされていてもよい。   Furthermore, as shown in FIG. 12 (c), a rectangular plate member which is a permanent magnet 20 and yoke portions 21 made of iron or the like protruding in the direction perpendicular to the surface direction of the plate member are provided at both ends of the member. The cross section may be U-shaped.

これら図12(b)および(c)のように磁気発生部を構成することにより、板状部材から突出した部位の一方から他方に向かう方向に磁界Bが生成されるため、センサチップ1にシリコン基板40の平面方向と平行な方向に磁界Bが印加されることになり、印加される磁界の方向が部分的にばらつくことを抑制することができる。   By configuring the magnetism generating portion as shown in FIGS. 12B and 12C, the magnetic field B is generated in the direction from one of the portions protruding from the plate member to the other. Since the magnetic field B is applied in a direction parallel to the planar direction of the substrate 40, it is possible to suppress partial variations in the direction of the applied magnetic field.

1 センサチップ
2 検出回路
10 スロットルバルブ
12 吸入通路
20 永久磁石
60 角度演算部
61 信号作成部
62 偏差算出部
63 正負判定部
64 アップダウンカウンタ
70 出力部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor chip 2 Detection circuit 10 Throttle valve 12 Suction passage 20 Permanent magnet 60 Angle calculation part 61 Signal preparation part 62 Deviation calculation part 63 Positive / negative judgment part 64 Up / down counter 70 Output part

Claims (10)

吸入通路(12)内を流れる媒体の流量を制御するスロットルバルブ(10)と一体化して回転する磁気発生部(20)が生成する磁界中に配置され、前記磁気発生部(20)の回転に応じた第1信号を出力する第1磁電変換素子(M1)と、前記第1信号との間に所定の位相差を有する第2信号を出力する第2磁電変換素子(M2)と、を備え、
前記第1、第2磁電変換素子(M1、M2)から出力される前記第1、第2信号を用いて前記磁気発生部(20)の回転角度を求めるスロットルバルブ用回転角度検出装置において、
前記第1信号および前記第2信号を用いて前記磁気発生部(20)の回転角度を演算し、前記磁気発生部(20)の実際の回転角度θと演算により求めた回転角度φとの偏差が所定値に収束するようにフィードバック制御を行う角度演算部(60)と、
前記角度演算部(60)が演算した回転角度φに対応する信号を出力する出力部(70)と、を備え、
前記角度演算部(60)は、検出開始時の演算した回転角度φとして前記スロットルバルブ(10)が全閉状態であるときの角度を用いることを特徴とするスロットルバルブ用回転角度検出装置。
Arranged in a magnetic field generated by a magnetic generator (20) that rotates integrally with a throttle valve (10) that controls the flow rate of the medium flowing in the suction passage (12), and rotates the magnetic generator (20). A first magnetoelectric conversion element (M1) that outputs a first signal in response, and a second magnetoelectric conversion element (M2) that outputs a second signal having a predetermined phase difference between the first signal and the first signal. ,
In the throttle valve rotation angle detection device for determining the rotation angle of the magnetism generator (20) using the first and second signals output from the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2),
Using the first signal and the second signal, the rotation angle of the magnetic generator (20) is calculated, and the deviation between the actual rotation angle θ of the magnetic generator (20) and the rotation angle φ obtained by the calculation is calculated. An angle calculation unit (60) that performs feedback control so that is converged to a predetermined value;
An output unit (70) for outputting a signal corresponding to the rotation angle φ calculated by the angle calculation unit (60),
The said angle calculating part (60) uses the angle when the said throttle valve (10) is a fully-closed state as the calculated rotation angle (phi) at the time of a detection start, The rotation angle detection apparatus for throttle valves characterized by the above-mentioned.
前記第1磁電変換素子(M1)は前記磁気発生部(20)の回転に応じてsinNθ信号(Nは自然数)を出力すると共に、前記第2磁電変換素子(M2)は前記磁気発生部(20)の回転に応じてcosNθ信号(Nは自然数)を出力する状態で前記磁気発生部(20)が生成する磁界中に配置され、
前記角度演算部(60)は、前記第1、第2磁電変換素子(M1、M2)から出力された前記sinNθ信号および前記cosNθ信号に対して所定の演算を行って同じ位相差αを有するsin(Nθ+α)およびsin(Nθ−α)を生成した後、前記sin(Nθ+α)、前記sin(Nθ−α)および前記回転角度φを用いた所定の演算を行うことによってAsin(Nθ−Nφ)信号を生成し、当該Asin(Nθ−Nφ)に基づく偏差(Nθ−Nφ)が前記所定値になるようにフィードバック制御を行うことを特徴とする請求項1に記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。
The first magnetoelectric transducer (M1) outputs a sin Nθ signal (N is a natural number) according to the rotation of the magnetic generator (20), and the second magnetoelectric transducer (M2) is connected to the magnetic generator (20). ) In a state where a cosNθ signal (N is a natural number) is output in accordance with the rotation of the magnetic generator (20),
The angle calculation unit (60) performs a predetermined calculation on the sinNθ signal and the cosNθ signal output from the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2) and has the same phase difference α. After generating (Nθ + α) and sin (Nθ-α), the Asin (Nθ-Nφ) signal is obtained by performing a predetermined calculation using the sin (Nθ + α), the sin (Nθ-α) and the rotation angle φ. 2. The throttle valve rotation angle detection device according to claim 1, wherein feedback control is performed so that a deviation (Nθ−Nφ) based on Asin (Nθ−Nφ) becomes the predetermined value.
前記角度演算部(60)は、前記偏差(Nθ−Nφ)が0になるようにフィードバック制御を行うことを特徴とする請求項1または2に記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。   The rotation angle detection device for a throttle valve according to claim 1 or 2, wherein the angle calculation unit (60) performs feedback control so that the deviation (Nθ-Nφ) becomes zero. 前記角度演算部(60)は、前記回転角度φに対応するカウント値をカウントするカウンタ(64)を備え、前記偏差(Nθ−Nφ)の正負を判定し、その判定結果に基づいて前記カウンタ(64)のカウント値を増減することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。   The angle calculation unit (60) includes a counter (64) that counts a count value corresponding to the rotation angle φ, and determines whether the deviation (Nθ−Nφ) is positive or negative, and based on the determination result, the counter ( 64. The throttle valve rotation angle detection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the count value of 64) is increased or decreased. 前記角度演算部(60)は、前記sin(Nθ−Nφ)信号を逆正弦演算することにより前記偏差(Nθ−Nφ)を演算し、その演算結果に基いて前記正負を判定することを特徴とする請求項4に記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。   The angle calculation unit (60) calculates the deviation (Nθ-Nφ) by performing an inverse sine operation on the sin (Nθ-Nφ) signal, and determines the positive or negative based on the calculation result. The rotation angle detection device for a throttle valve according to claim 4. 前記角度演算部(60)は、前記sin(Nθ−Nφ)信号が0よりも大きいときは前記偏差(Nθ−Nφ)が正であると判定し、前記sin(Nθ−Nφ)信号が0よりも小さいときは前記偏差(Nθ−Nφ)が負であると判定することを特徴とする請求項4に記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。   The angle calculation unit (60) determines that the deviation (Nθ-Nφ) is positive when the sin (Nθ-Nφ) signal is greater than 0, and the sin (Nθ-Nφ) signal is greater than 0. 5. The throttle valve rotation angle detecting device according to claim 4, wherein the deviation (Nθ−Nφ) is determined to be negative when the value is smaller. 前記角度演算部(60)は、前記検出開始時の演算した回転角度φとして0を用いることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。   The rotation angle detection device for a throttle valve according to any one of claims 1 to 6, wherein the angle calculation unit (60) uses 0 as the calculated rotation angle φ at the start of detection. 前記角度演算部(60)は、前記検出開始時の演算した回転角度φとして、前記スロットルバルブ(10)が前記吸入通路(12)に組みつけられて全閉状態であるときに計測された角度を用いることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。   The angle calculation unit (60) is an angle measured when the throttle valve (10) is assembled in the suction passage (12) and is fully closed as the calculated rotation angle φ at the start of detection. The rotation angle detecting device for a throttle valve according to any one of claims 1 to 7, wherein: 前記第1、第2磁電変換素子(M1、M2)の温度が入力され、前記第1、第2磁電変換素子(M1、M2)から出力される前記第1、第2信号に対して前記温度に応じた補正を行い、補正した信号を前記角度演算部(60)に入力する温特補正部を備えていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。   The temperature of the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2) is inputted and the temperature is applied to the first and second signals output from the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2). The throttle valve for a throttle valve according to any one of claims 1 to 8, further comprising a temperature correction unit that performs correction in accordance with the temperature and inputs the corrected signal to the angle calculation unit (60). Rotation angle detection device. 前記第1、第2磁電変換素子(M1、M2)は、それぞれ磁気抵抗素子(R1〜R8)にて構成されていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載のスロットルバルブ用回転角度検出装置。
The throttle according to any one of claims 1 to 9, wherein each of the first and second magnetoelectric transducers (M1, M2) is configured by a magnetoresistive element (R1 to R8). Valve rotation angle detector.
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