JP2012045936A - 処理液吐出装置、洗浄ユニット及び洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドのノズル面に残留する微細液晶の効率的な除去を実現する。
【解決手段】本発明の処理液吐出装置では、ヘッドのノズル面を洗浄するヘッド洗浄ユニットにて、ヘッドのノズル面に残留する微細液晶を効率的に除去できるように、残留する液晶に気体を噴射してサクションノズル方向に押し出す噴射ノズルを１つ又は複数個設ける。更に、噴射ノズルとサクションノズルとの間隔を調節するための水平駆動部材や、噴射ノズルの吐出口の高さを調節するための昇降部材や、噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節するためにの圧力調節手段を設ける。
【選択図】図１０

Description

本発明は処理液吐出装置、洗浄ユニット及び洗浄方法に関する。

近年、携帯電話機、携帯形コンピューター等の電子機器の表示部として、液晶表示装置が広く利用されている。この液晶表示装置では、ブラックマトリックス、カラーフィルター、共通電極及び配向膜が形成されたカラーフィルター基板と、薄膜トランジスターＴＦＴ、画素電極、及び配向膜が形成されたアレイ基板との間の空間に液晶を注入し、液晶の異方性にしたがう光の屈折率の差異を利用して映像効果を得る。

カラーフィルター基板とアレイ基板との上に配向液や液晶を塗布する装置として、インクジェット方式の塗布装置が使用されている。しかし、基板に液晶を塗布した後にヘッドに残留する液晶を洗浄する際に、ここでの洗浄が円滑に行われないと、ヘッドに微細な液晶が残ってしまう。このため、基板に塗布される液晶の膜均一度が低下するという問題点が発生する。

韓国特許公開第１０−２０１０−００３６１６６号公報

本発明の目的は、ヘッドのノズル面に残留する微細な液晶を効率的に除去することのできる処理液吐出装置、洗浄ユニット及び洗浄方法を提供することにある。

なお、本発明の目的はここに制限されず、その他の目的については、下の記載から当業者であれば明確に理解することができる。

上述した課題を達成するために本発明の実施形態による処理液吐出装置は、インクジェット方式の処理液吐出装置において、ベースと、前記ベースに設置され、基板が置かれる基板支持ユニットと、前記基板支持ユニットの移動経路の上部に配され、前記基板の上にインクジェット方式に薬液を吐出するヘッドが結合されたジェントリーと、前記ベースに設置され、前記ヘッドのノズル面を洗浄するヘッド洗浄ユニットと、を含み、前記ヘッド洗浄ユニットは、前記ヘッドに向かうように形成されたサクションホールを有するサクションノズルと、前記サクションノズルの上部に位置されたヘッドに向かうように形成された吐出口を有する噴射ノズルが１つ又は複数個設けられる気体噴射ユニットと、を含むこと特徴とする。

また、前記噴射ノズルを水平方向に移動させる水平駆動部材をさらに含むことを特徴とする。

また、前記水平駆動部材が、前記ベース上面に結合されたガイド部材と、前記ガイド部材に沿って直線移動するスライダーと、前記スライダーを駆動させる水平駆動器と、を含むことを特徴とする。

また、前記噴射ノズルが複数個設けられ、前記水平駆動部材が各々の前記噴射ノズルに結合されて独立的に駆動することを特徴とする。

また、前記噴射ノズルが複数設けられ、前記噴射ノズルの吐出口の終端の高さが各々異なることを特徴とする。

また、前記噴射ノズルが複数個設けられ、前記噴射ノズルの吐出口の終端の高さを独立的に調節するために前記噴射ノズルに各々結合される昇降部材をさらに含むことを特徴とする。

また、前記噴射ノズルが複数個設けられ、前記噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を独立的に調節するために前記噴射ノズルに各々結合される圧力調節手段をさらに含むことを特徴とする。

上述した課題を達成するために、本発明の実施形態による洗浄ユニットは、処理液のノズルを洗浄する洗浄ユニットにおいて、上方に向かうように形成されたサクションホールを有するサクションノズルと、前記サクションノズルの上方に位置されたヘッドに向かうように形成された吐出口を有する噴射ノズルが少なくとも１つ設けられる気体噴射ユニットと、を含み、前記噴射ノズルは、第１噴射ノズルと第２噴射ノズルを具備し、前記第１噴射ノズルと前記第２噴射ノズルとは前記サクションノズルに向かって前記サクションノズルと一列に配列され、前記第１噴射ノズルの吐出口の終端の高さと第２噴射ノズルの吐出口の終端の高さとが相違することを特徴とする。

また、前記第１噴射ノズル及び第２噴射ノズルを水平方向に移動させる水平駆動部材をさらに含むことを特徴とする。

また、前記第１噴射ノズルを水平方向に移動させる第１水平駆動部材と、前記第２噴射ノズルを水平方向に移動させる第２水平駆動部材と、をさらに含み、前記第１水平駆動部材と前記第２水平駆動部材とが独立的に制御されることを特徴とする。

また、前記第１噴射ノズルの吐出口の高さを調節する第１昇降部材と前記第２噴射ノズルの吐出口の高さを調節する第２昇降部材とをさらに含み、前記第１昇降部材と前記第２昇降部材とが独立的に制御されることを特徴とする。

また、前記第１噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節する第１圧力調節手段と、前記第２噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節する第２圧力調節手段と、をさらに含み、第１圧力調節手段と第２圧力調節手段とが独立的に制御されること特徴とする。

上述した課題を達成するために、本発明の実施形態による洗浄方法は、処理液吐出装置の洗浄方法において、複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が近い噴射ノズルが処理液のノズルに残留する液晶に向かって気体を噴射して液晶をサクションノズル方向に押し出した後、複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が遠い噴射ノズルが残留する液晶に向かって再び気体を噴射して液晶をサクションノズル方向に押し出し、サクションノズルに吸入して洗浄することを特徴とする。

また、前記複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が近い噴射ノズルの吐出口の高さが前記複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が遠い噴射ノズルの吐出口の高さより低いことを特徴とする。

本発明によれば、ヘッドのノズル面に残留する微細な液晶を効率的に除去できる。

インクジェット方式液晶塗布設備の構成を示す図面である。 図１の液晶吐出部の斜視図である。 図１の液晶吐出部の平面図である。 図３の第１駆動ユニットを示す図面である。 図３の第２駆動ユニットを示す図面である。 ジェントリーの直線移動及び回転過程を示す図面である。 図２及び図３のヘッド移動ユニットの側面を示す図面である。 図７の第１移動ユニットの正面図である。 ノズル検査ユニットを示す図面である。 ヘッド洗浄ユニットの一実施形態を概略的に示す図面である。 ヘッド洗浄ユニットの他の実施形態を概略的に示す図面である。 図１１のヘッド洗浄ユニットの一部を概略的に示す図面である。 ヘッド洗浄ユニットのその他の一実施形態を概略的に示す図面である。 図１３のヘッド洗浄ユニットの一部を示す拡大断面図である。 ヘッド洗浄ユニットの一部に対する他の実施形態を示す拡大断面図である。

以下においては、添付された図面を参照して、本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。上述した本発明が解決しようとする課題、課題解決手段、及び効果は、添付図面とこれに関連した実施形態を通じて、容易に理解されるものである。各図面は説明を明確にするために一部が簡略、或いは誇張に表現されている。各図面の構成要素に参照番号を付するに際して、同一な構成要素に対しては、他の図面の上においてもできるだけ同一の符号を付している。また、本発明を説明するに際して、関連した公知構成や機能に対する具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にすると判断される場合には、その詳細な説明を省略している。各図面は単なる例示であり、本発明の範囲を制限するものではない。

以下においては、液滴を吐出するインクジェット方式で対象物に処理液を塗布する設備と、これを利用して対象物に処理液を塗布する方法について説明する。

例えば、対象物は液晶表示パネルのカラーフィルターＣＦ基板又は薄膜トランジスターＴＦＴ基板であり、処理液は液晶（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）、配向液、溶媒に顔料粒子が混合された赤色Ｒ、緑色Ｇ、青色Ｂのインキである。配向液としてはポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）が使用される。

配向液は、カラーフィルターＣＦ基板と薄膜トランジスターＴＦＴ基板との全面に塗布され、液晶は、カラーフィルターＣＦ基板、又は薄膜トランジスターＴＦＴ基板の全面に塗布される。インキは、カラーフィルターＣＦ基板の上に格子模様のパターンで配列されたブラックマトリックスの内部領域に塗布される。

本実施形態では、処理液に液晶を使用する設備を例として説明したが、本発明の技術的思想はこれに限定されない。

図１はインクジェット方式の液晶塗布設備１の構成を示す図面である。図１の液晶塗布設備１は、液滴を吐出するインクジェット方式で基板Ｓ（図２、図３等参照）に液晶を塗布する設備である。

基板Ｓは、液晶表示パネルのカラーフィルターＣＦ基板又は薄膜トランジスターＴＦＴ基板であり、液晶は、カラーフィルターＣＦ基板、又は薄膜トランジスターＴＦＴ基板の全面に塗布される。

図１に示すように、液晶塗布設備１は液晶吐出部１０、基板移送部２０、ローディング部３０、アンローディング部４０、液晶供給部５０、及びメーン制御部９０を含む。液晶吐出部１０と基板移送部２０とは第１方向Ｉに一列に配置され、互に隣接するように位置する。液晶吐出部１０を中心に基板移送部２０と対向する位置には、液晶供給部５０とメーン制御部９０とが配置される。液晶供給部５０とメーン制御部９０とは、第２方向ＩＩに一列に配置される。基板移送部２０を中心に液晶吐出部１０と対向する位置にローディング部３０とアンローディング部４０とが配置される。ローディング部３０とアンローディング部４０とは第２方向ＩＩに一列に配置される。

ここで、第１方向Ｉは液晶吐出部１０と基板移送部２０との配列方向であり、第２方向ＩＩは水平面上で第１方向Ｉと垂直になる方向であり、第３方向ＩＩＩは第１方向Ｉと第２方向ＩＩに垂直となる方向である。

液晶が塗布される基板Ｓは、ローディング部３０に搬入される。基板移送部２０はローディング部３０に搬入された基板Ｓを液晶吐出部１０に移送する。液晶吐出部１０は液晶供給部５０から液晶が供給され、液滴を吐出するインクジェット方式で基板Ｓの上に液晶を吐出する。液晶吐出が完了されると、基板移送部２０は液晶吐出部１０からアンローディング部４０に基板Ｓを移送する。液晶が塗布された基板Ｓはアンローディング部４０から搬出される。メーン制御部９０は液晶吐出部１０、基板移送部２０、ローディング部３０、アンローディング部４０、及び液晶供給部５０の全ての動作を制御する。

図２は図１の液晶吐出部１０の斜視図であり、図３は図１の液晶吐出部１０の平面図である。図２及び図３に示すように、液晶吐出部１０はベースＢ、基板支持ユニット１００、ジェントリー２００、ジェントリー移動ユニット３００、インクジェットヘッドユニット４００、ヘッド移動ユニット５００、液晶供給ユニット６００、個別ヘッド制御ユニット７００、液晶吐出量測定ユニット８００、ノズル検査ユニット９００、及びヘッド洗浄ユニット１０００を含む。

以下においては、液晶吐出部１０の各々の構成について、詳細に説明する。

ベースＢは、一定な厚さを有する直六面体形状である。ベースＢの上面には基板支持ユニット１００が配置される。基板支持ユニット１００は基板Ｓが置かれる支持板１１０を有する。支持板１１０は四角形状の板である。支持板１１０の下面には回転駆動部材１２０が連結される。回転駆動部材１２０は回転モーターである。回転駆動部材１２０は支持板１１０に垂直となる回転中心軸を中心に、支持板１１０を回転させる。

支持板１１０が回転駆動部材１２０によって回転されれば、基板Ｓは支持板１１０の回転によって回転される。液晶が塗布される基板Ｓに形成されたセルの長辺方向が第２方向ＩＩに向かう場合、回転駆動部材１２０はセルの長辺方向が第１方向Ｉに向かうように基板Ｓを回転させる。

支持板１１０と回転駆動部材１２０とは、直線駆動部材１３０によって第１方向Ｉに直線移動される。直線駆動部材１３０はスライダー１３２とガイド部材１３４とを含む。回転駆動部材１２０はスライダー１３２の上面に設置される。ガイド部材１３４はベースＢの上面中心部にて第１方向Ｉに長くなるように延長される。スライダー１３２にはリニアモーター（図示せず）が内装でき、スライダー１３２はこのリニアモーターによって、ガイド部材１３４に沿って第１方向Ｉに直線移動される。

ジェントリー２００は支持板１１０が移動される経路の上部に配される。ジェントリー２００は、ベースＢの上面から上方向に離隔し、その横方向が第２方向ＩＩに向かうように配置される。インクジェットヘッドユニット４００はヘッド移動ユニット５００によってジェントリー２００に結合される。インクジェットヘッドユニット４００はヘッド移動ユニット５００によってジェントリー２００の横方向、即ち、第２方向ＩＩに直線移動し、また第３方向ＩＩＩに直線移動される。

ジェントリー移動ユニット３００はジェントリー２００を第１方向Ｉへ直線移動させるか、或いはジェントリー２００の横方向が第１方向Ｉに傾いた方向に向かうようにジェントリー２００を回転させる。ジェントリー２００の回転によって、インクジェットヘッドユニット４００のノズル（図示せず）が第１方向Ｉに傾いた方向に整列される。

ジェントリー移動ユニット３００は、以下で説明するように、ジェントリー２００の一端を回転中心にしてジェントリー２００の他端を回転させることや、ジェントリー２００のセンターを回転中心にしてジェントリー２００を回転させることができる。

ジェントリー移動ユニット３００は第１駆動ユニット３１０と第２駆動ユニット３２０を含む。第２駆動ユニット３２０は、回転中心となるジェントリー２００の一端に設けられ、第１駆動ユニット３１０はジェントリー２００の他端に設けられる。

図４は図３の第１駆動ユニット３１０を示す図面である。図４に示すように、第１駆動ユニット３１０はスライダー３１２、第１回転支持部材３１４、及び第１直線駆動部材３１８を含む。ジェントリー２００の他端側の下端部には、ジェントリー２００の横方向に沿ってガイドレール２１０が設けられ、スライダー３１２はこのガイドレール２１０に案内されて直線移動する。スライダー３１２の下端部には第１回転支持部材３１４が結合される。第１回転支持部材３１４は、上部と下部とが相対回転自在なベアリングである。第１回転支持部材３１４の下面には第１直線駆動部材３１８が結合される。第１直線駆動部材３１８は第１回転支持部材３１４を第１方向Ｉに直線移動させる。

第１直線駆動部材３１８はガイドレール３１５とスライダー３１７とを含む。ガイドレール３１５はその横方向が第１方向Ｉに向かい、基板支持ユニット１００のガイド部材１３４を中心としてベースＢの上面の他側縁部に配置される。ガイドレール３１５にはスライダー３１７が移動できるように結合される。スライダー３１７の上面には第１回転支持部材３１４が結合される。スライダー３１７にはリニアモーター（図示せず）が内装される。スライダー３１７はこのリニアモーターの駆動力によって、ガイドレール３１５に沿って第１方向Ｉに直線移動する。

図５は図３の第２駆動ユニットを示す図面である。図５に示すように、第２駆動ユニット３２０はジェントリー２００の直線移動の時には、ジェントリー２００の一端を第１方向Ｉに直線移動させ、ジェントリー２００の回転の時には、ジェントリー２００の回転中心となって動作する。

第２駆動ユニット３２０は第２回転支持部材３２４と第２直線駆動部材３２８とを含む。ジェントリー２００の一端の下面には連結部材３２２が結合され、連結部材３２２の下面には第２回転支持部材３２４が結合される。第２回転支持部材３２４は上部と下部とが相対回転自在なベアリングである。第２回転支持部材３２４の下面には第２直線駆動部材３２８が結合される。第２直線駆動部材３２８は第２回転支持部材３２４を第１方向Ｉに直線移動させる。第２回転支持部材３２４の直線移動によって、その上部に順次的に結合された連結部材３２２とジェントリー２００の一端が、直線移動される。

第２直線駆動部材３２８はガイドレール３２５とスライダー３２７とを含む。ガイドレール３２５はその横方向が第１方向Ｉに向かい、基板支持ユニット１００のガイド部材１３４を中心にベースＢ上面の一側縁部に配置される。ガイドレール３２５にはスライダー３２７が移動できるように結合される。スライダー３２７の上面には第２回転支持部材３２４が結合される。スライダー３２７にはリニアモーター（図示せず）が内装される。スライダー３２７はこのリニアモーターの駆動力によってガイドレール３２５に沿って第１方向Ｉへ直線移動する。

図６はジェントリー２００の回転及び直線移動過程を示す図面である。図３及び図６では図面を簡単にするために液晶供給ユニット６００を省略する。

図４乃至図６に示すように、ジェントリー２００は第１駆動ユニット３１０と第２駆動ユニット３２０によって、第１方向Ｉに傾いた方向に向かうように回転され、第１方向Ｉへ直線移動される。

第２駆動ユニット３２０の第２直線駆動部材３２８が固定された状態で、第１駆動ユニット３１０の第１直線駆動部材３１８が第１方向Ｉへ直線移動すれば、ジェントリー２００が回転される。これに対して詳細に説明すれば、次の通りである。

先ず、第１直線駆動部材３１８のスライダー３１７がリニアモーターの駆動力によってガイドレール３１５に沿って第１方向Ｉへ移動する。この時、ジェントリー２００の一端では第２直線駆動部材３２８が駆動されないので、第１方向Ｉに移動されない状態で第２回転支持部材３２４によって回転される。

第１直線駆動部材３１８のスライダー３１７が第１方向Ｉに移動することによって、その上部に配置された第１回転支持部材３１４がガイドレール３１５に沿って第１方向Ｉに直線移動する。同時に、第１回転支持部材３１４の上端に結合されたスライダー３１２は第１回転支持部材３１４の上部と下部との間の相対回転によって回転されながら、ジェントリー２００に設けられたガイドレール２１０に沿って他端側へ移動する。結果的に、ジェントリー２００は第２駆動ユニット３２０の支持位置を中心に回転し、第１駆動ユニット３１０のジェントリー２００支持位置は他端の外方に移動した状態になる。このような動作を通じて、ジェントリー２００は第１方向Ｉに傾いた方向に回転され、これにしたがってインクジェットヘッドユニット４００が第１方向Ｉに傾いた方向に整列される。

このように、インクジェットヘッドユニット４００が第１方向Ｉに傾いた方向に整列されれば、液晶が塗布される基板Ｓのピクセルピッチ変化に対応して柔軟性を持ちつつ液晶吐出ピッチを調節でき、これ通じて基板Ｓに塗布される液晶の膜均一度を高くすることができる。

ジェントリー２００は、上述のような方法によって回転することができ、また、回転された状態で第１直線駆動部材３１８のスライダー３１７と第２直線駆動部材３２８のスライダー３２７とによって更に第１方向Ｉに直線移動することができる。ジェントリー２００の一端は第２直線駆動部材３２８のスライダー３２７の移動によって第１方向Ｉに直線移動され、ジェントリー２００の他端は第１直線駆動部材３１８のスライダー３１７の移動によって第１方向Ｉへ直線移動され得る。

ジェントリー２００が固定され、基板Ｓが第１方向Ｉへ移動する場合、基板Ｓがジェントリー２００の一側から他側に移動する必要があるため、設備のフットプリント（Ｆｏｏｔｐｒｉｎｔ）が増加する虞がある。しかし、本発明では、基板Ｓを固定させた状態で又は基板Ｓの直線移動と共に、ジェントリー２００を第１方向Ｉに直線移動させることができるため、設備のフットプリントが減少され得る。

ヘッド移動ユニット５００はインクジェットヘッドユニット４００に各々配されている。本実施形態の場合、３つのインクジェットヘッドユニット４００ａ、４００ｂ、４００ｃが設けられているので、ヘッド移動ユニット５００は、ヘッドの数に対応して３つ設けられている。これと異なり、ヘッド移動ユニット５００を１つだけ設け、インクジェットヘッドユニット４００を個別移動でなく一体に移動させてもよい。

図７は図２及び図３のヘッド移動ユニット５００の側面を示す図面であり、図８は図７の第１移動ユニットの正面図である。

図７乃至図８に示すように、ヘッド移動ユニット５００は第１移動ユニット５２０と第２移動ユニット５４０を含む。第１移動ユニット５２０はインクジェットヘッドユニット４００ａをジェントリー２００の横方向、即ち、第２方向ＩＩに直線移動させ、第２移動ユニット５４０はインクジェットヘッドユニット４００ａを第３方向ＩＩＩに直線移動させる。

第１移動ユニット５２０はガイドレール５２２ａ、５２２ｂ、スライダー５２４ａ、５２４ｂ、及び移動プレート５２６を含む。ガイドレール５２２ａ、５２２ｂは第２方向ＩＩに延長され、ジェントリー２００の前面にて第３方向ＩＩＩに離隔設置される。ガイドレール５２２ａ、５２２ｂにはスライダー５２４ａ、５２４ｂが移動できるように結合され、スライダー５２４ａ、５２４ｂには直線駆動器、例えば、リニアモーター（図示せず）が内装される。移動プレート５２６はスライダー５２４ａ、５２４ｂに結合される。移動プレート５２６の上部領域は上部に位置するスライダー５２４ａに結合され、移動プレート５２６の下部領域は下部に位置するスライダー５２４ｂに結合される。移動プレート５２６は、リニアモーターの駆動力によってガイドレール５２２ａ、５２２ｂに沿って第２方向ＩＩへ直線移動する。このように、インクジェットヘッドユニット４００ａ、４００ｂ、４００ｃが第２方向ＩＩに沿って個別移動されることによって、インクジェットヘッドユニット４００ａ、４００ｂ、４００ｃの間隔が調節される。

第２移動ユニット５４０はガイド部材５４２、スライダー５４４、検出器５４６、制御器５４８を含む。ガイド部材５４２は第１移動ユニット５２０の移動プレート５２６に結合され、スライダー５４４の第３方向ＩＩＩへの直線移動を案内する。スライダー５４４はガイド部材５４２に直線移動できるように結合され、スライダー５４４には直線駆動器、例えば、リニアモーター（図示せず）が内装される。インクジェットヘッドユニット４００ａはスライダー５４４に結合され、スライダー５４４の第３方向ＩＩＩの直線移動によって第３方向ＩＩＩに移動される。

検出器５４６はジェントリー２００に設置され、インクジェットヘッドユニット４００ａと基板Ｓとの間隔を検出する。検出器５４６はビジョンカメラ（ｖｉｓｉｏｎ ｃａｍｅｒａ）であり、位置確認及びガラス印刷（ｇｌａｓｓ ｐｒｉｎｔｉｎｇ）状態を確認するために使用される。制御器５４８は検出器５４６の検出信号に対応する制御信号を生成し、スライダー５４４に内装されたリニアモーターに制御信号を伝達してリニアモーターの駆動を制御する。検出器５４６の検出結果によって、インクジェットヘッドユニット４００ａと基板Ｓと間隔が既設定の基準値から外れたと判断されれば、制御器５４８はリニアモーターの駆動を制御してインクジェットヘッドユニット４００ａと基板Ｓとの間隔を調節する。

インクジェットヘッドユニット４００は基板Ｓに液晶の液滴を吐出する。インクジェットヘッドユニット４００は複数個設けられる。本実施形態では３つのインクジェットヘッドユニット４００ａ、４００ｂ、４００ｃが設けられた例として説明したが、これに限定されない。インクジェットヘッドユニット４００は第２方向ＩＩに一列に配列され、ジェントリー２００に結合される。

インクジェットヘッドユニット４００の底面には液晶の液滴を吐出する複数個のノズル（図示せず）が設けられる。例として、各々のヘッドには１２８個又は２５６個のノズルが設けられる。ノズルは、一定なピッチの間隔で一列に配置され、それぞれがμｇ単位の量で液晶を吐出することができる。

従来のシリンジ（Ｓｙｒｉｎｇｅ）を利用するポイントドッティング（Ｐｏｉｎｔ Ｄｏｔｔｉｎｇ）方式の場合、液晶の吐出ピッチが大きく、吐出される液晶の量がｍｇ単位であり、液晶の粘性流動抵抗のために、基板Ｓ上に液晶が均一に散りにくいとう問題点がある。しかし、本発明は、狭いピッチを有する多数のノズルを通じてμｇ単位で液晶を吐出するので、液晶の粘性流動抵抗にも関わらず、基板Ｓ上により均一に液晶を塗布することができる。

各々のインクジェットヘッドユニット４００にはノズルと対応する数の圧電素子が配され、ノズルの液滴吐出量はこの圧電素子に印加される電圧の制御によって独立的に各々調節される。

液晶供給ユニット６００は液晶供給モジュールと圧力調節モジュールとを含む。液晶供給モジュールと圧力調節モジュールとはジェントリー２００に結合される。液晶供給モジュールは液晶供給部５０（図１参照）から液晶が供給され、液晶を個別ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに供給する。圧力調節モジュールは液晶供給モジュールに正の圧力、又は負の圧力を提供して液晶供給モジュールの圧力を調節する。

ヘッド制御ユニット７００は各々のヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの液晶吐出を制御する。ヘッド制御ユニット７００はヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに隣接するように液晶吐出部１０内に配置される。本実施形態ではヘッド制御ユニット７００がジェントリー２００の一端に配置されているが、ヘッド制御ユニット７００の位置はこれに限定されない。

ヘッド制御ユニット７００は、各々のヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに電気的に連結され、各々のヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに制御信号を印加する。各々のヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃにはノズルに対応する数の圧電素子が設けられ、ヘッド制御ユニット７００はこの圧電素子に印加される電圧を制御してノズルの液滴吐出量を調節することができる。

液晶吐出量測定ユニット８００は個別ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの液晶吐出量を測定する。具体的に、液晶吐出量測定ユニット８００は個別ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃ毎に全てのノズルから吐出される液晶量を測定する。個別ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの液晶吐出量測定を通じて、個別ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズルの異常の有無を巨視的に確認できる。即ち、個別ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの液晶吐出量が基準値を外れれば、ノズルの中で少なくとも１つに異常があることが分かる。液晶吐出量測定ユニット８００はベースＢの上の支持板１１０の一側に配置される。液晶吐出量測定ユニット８００は第１乃至第３液晶吐出量測定ユニット８００ａ、８００、８００ｃを有する。

ノズル検査ユニット９００は光学検査を通じてヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに設けた個別ノズルの異常の有無を確認する。液晶吐出量測定ユニット８００で巨視的なノズルの異常の有無を確認した結果、不特定のノズルに異常があったと判断された場合、ノズル検査ユニット９００は個別ノズルの異常の有無を確認しながらノズルに対する全数検査を進行する。

ノズル検査ユニット９００はベースＢの上の支持板１１０の一側に配置される。ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃはジェントリー移動ユニット３００とヘッド移動ユニット５００によって、第１方向Ｉと第２方向ＩＩに移動されてノズル検査ユニット９００の上方に位置することができる。ヘッド移動ユニット５００は、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃを第３方向ＩＩＩへ移動させることで、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃとノズル検査ユニット９００との上下方向距離を調節することができる。

図９はノズル検査ユニット９００を示す図面である。

図９に示すように、ノズル検査ユニット９００は第１ノズル検査部材９２０、第１駆動部材９４０、第２ノズル検査部材９６０、及び第２駆動部材９８０、回収部材９９０を含む。第１ノズル検査部材９２０はヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズルの液晶吐出の可否、即ち、ノズル詰まりの有無を検査する。第１駆動部材９４０は第１ノズル検査部材９２０をノズルの整列方向に移動させる。第２ノズル検査部材９６０はノズルの整列の可否を検査する。第２駆動部材９８０は第２ノズル検査部材９６０をノズルの整列方向に移動させる。図９で、ノズルは第２方向ＩＩに整列されている。

第１ノズル検査部材９２０はバス９２２、発光部９２４、及び受光部９２６を包含する。バス９２２は開放された上部を有する筒形状を有し、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル（図示せず）から吐出されて落下する液晶を収容する。発光部９２４はバス９２２の上部一側に配置され、受光部９２６はバス９２２の上部の他側に発光部９２４と対向するように配置される。発光部９２４は光信号を放出し、受光部９２６は発光部９２４が放出した光信号を受光する。ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル（図示せず）から吐出される液晶は発光部９２４と受光部９２６との間の領域を通過し、受光部９２６に受光される光量の差異によって液晶の落下の可否が感知される。液晶が正常的に落下したと判断されれば、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル（図示せず）に詰まりがないことが分かる。

第１駆動部材９４０はガイド部材９４２、スライダー９４４、及び駆動器９４６を含む。ガイド部材９４２はベースＢの上面にて第２方向ＩＩに延長されている。スライダー９４４にはリニアモーターのような駆動器９４６が内装される。スライダー９４４は駆動器９４６によって駆動され、ガイド部材９４２に沿って第２方向ＩＩに直線移動される。スライダー９４４にはバス９２２が配置され、スライダー９４４の第２方向ＩＩへの直線移動によってバス９２２が第２方向ＩＩに直線移動される。

第２ノズル検査部材９６０はフレーム９６２、照明器９６４、及び撮影器９６６を含む。フレーム９６２は第２方向ＩＩに沿って第１ノズル検査部材９２０のバス９２２と隣接するように配置される。フレーム９６２には照明器９６４と撮影器９６６とが配置される。照明器９６４は検査されるヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に光を照射し、撮影器９６６は照明器９６４の光が照射されるヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面を撮影してノズルのイメージを得る。得られたイメージからノズルが正しい位置に整列されているか否かを判断する。

第２駆動部材９８０はスライダー９８４と駆動器９８６とを含む。スライダー９８４にはリニアモーターのような駆動器９８６が内装される。スライダー９８４は駆動器９８６によって駆動され、ガイド部材９４２に沿って第２方向ＩＩに直線移動される。スライダー９８４には第２ノズル検査部材９６０のフレーム９６２が配置され、スライダー９８４の第２方向ＩＩへの直線移動によって、フレーム９６２、照明器９６４及び撮影器９６６が第２方向ＩＩに直線移動される。

回収部材９９０はバス９２２から排出される液晶を回収する。回収部材９９０はハウジング９９２と回収筒９９４とを含む。ハウジング９９２はバス９２２の下部に配置され、回収筒９９４を収容する空間を提供する。回収筒９９４はハウジング９９２の空間にスライド式で移動することによって分離及び挿入され、バス９２２から排出される液晶を回収する。回収された液晶は再活用され得る。

図１０はヘッド洗浄ユニット１０００の一実施形態を概略的に示す図面である。

図９と図１０に示すように、ヘッド洗浄ユニット１０００はパージング（Ｐｕｒｇｉｎｇ）工程と吸入（Ｓｕｃｔｉｏｎ）工程を進行する。パージング工程はヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの内部に収容された液晶の一部を高圧で噴射する工程である。吸入工程は、パージング工程の後、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶を吸入して除去する工程である。

ヘッド洗浄ユニット１０００はヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶を吸入してバス９２２に流入させる。ヘッド洗浄ユニット１０００、及びノズル検査ユニット９００の第１ノズル検査部材９２０は１つのバス９２２を共通に、又は個別的に使用することができる。バス９２２はヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのパージング工程の中で吐出される液晶を収容でき、またヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズルの液晶吐出の可否、即ち、ノズル詰まりの有無の検査の時に吐出される液晶を収容することができる。

ヘッド洗浄ユニット１０００はサクションノズル１１００、気体噴射ユニット１２００、支持部材１３００を含む。支持部材１３００はサクションノズル１１００と気体噴射ユニット１２００とを支持する。

サクションノズル１１００はヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの移動方向に沿って配される。サクションノズル１１００の中央部には、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する薬液を吸入するためのサクションラインを設けており、このサクションラインの終端部には、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に向かうようにサクションホール１１１４を形成している。サクションノズル１１００は、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面から離隔されて設けられる。サクションノズル１１００は、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に沿いながらそのノズル面に残留する液晶を吸入して洗浄する。

気体噴射ユニット１２００はヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶に向かって気体を噴射することによって、残留する液晶をサクションノズル１１００に押し出し、サクションノズル１１００が残留する薬液を容易に吸入、除去できるようにする。

気体噴射ユニット１２００は噴射ノズル１２１０、水平駆動部材１２２０、昇降部材１２３０、及び圧力調節手段１２４０を含む。

噴射ノズル１２１０はサクションノズル１１００と一列に配される。噴射ノズル１２１０は、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶に向かって気体を噴射するために、噴射ノズル１２１０の上方に位置されたヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに向かうように形成された吐出口１２１４を有する。

噴射ノズル１２１０は少なくとも１つ設けられる。噴射ノズル１２１０はサクションノズル１１００を中心に多様な配置が可能である。噴射ノズル１２１０の吐出口１２１４がサクションノズル１１００の上方に位置されたヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに向かうように、噴射ノズル１２１０を配置する。噴射ノズル１２１０が複数個設けられる場合、サクションノズル１１００の前後に複数個の噴射ノズル１２１０が全て配置され、サクションノズル１１００を挟んで対向するように配置されてもよい。

水平駆動部材１２２０はサクションノズル１１００と噴射ノズル１２１０との間隔、又は複数の噴射ノズル１２１０間の間隔を調節するために、噴射ノズル１２１０を水平方向に移動させる。これはヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶の量に対応するためである。

例えば、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶が多量である場合には、噴射ノズル１２１０とサクションノズル１１００との間隔を狭くして気体を噴射し、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶が少量である場合には、噴射ノズル１２１０とサクションノズル１１００との間隔を広くして気体を噴射する。

水平駆動部材１２２０はガイド部材１２２２、スライダー１２２４、及び水平駆動器１２２６を含む。ガイド部材１２２２は支持部材１３００の上面にて第２方向ＩＩに延長される。スライダー１２２４にはリニアモーターのような水平駆動器１２２６が内装される。スライダー１２２は水平駆動器１２２６によって駆動され、ガイド部材１２２２に沿って第２方向２に直線移動される。

水平駆動部材１２２０は複数個の噴射ノズル１２１０を各々独立的に駆動するように結合されてもよく、複数個の噴射ノズル１２１０を同時に水平に駆動させるように結合されてもよい。

昇降部材１２３０は噴射ノズル１２１０を上下方向に直線移動させる。昇降部材１２３０は噴射ノズル１２１０の吐出口１２１４の高さを調節する。即ち、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶に向かって気体を噴射するとき、噴射ノズル１２１０が上下に移動されることによって、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に対する噴射ノズル１２１０の相対高さが変更される。

昇降部材１２３０は移動軸１２３２、及び昇降駆動器１２３４を含む。噴射ノズル１２１０の外壁には、昇降駆動器１２３４によって上下方向に移動される移動軸１２３２が、各々固定結合される。昇降部材１２３０によって、噴射ノズル１２１０は各々の高さが独立的に調節される。

昇降部材１２３０は、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶の量や大きさの変化にしたがって、噴射ノズル１２１０の終端部の高さを調節することができる。

圧力調節手段１２４０は噴射ノズル１２１０の吐出口１２１４の噴射圧力を変化させる。圧力調節手段１２４０は噴射ノズル１２１０に各々結合され、吐出口１２１４の噴射圧力を各々調節する。ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶の残量を測定して液晶の残量の変化に対応するように圧力値を設定し、噴射ノズル１２１０が各々異なる噴射圧力となるように調節する。

ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する相対的に大きな液晶をサクションノズル１１００方向に押し出すために、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面と噴射ノズル１２１０との間隔が大きな場合には大きい圧力値を設定し、気体を噴射して微細液晶をサクションノズル１１００方向に押し出す。ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面と噴射ノズル１２１０との間隔が小さい場合には、相対的に小さい圧力値を設定する。

図１１はヘッド洗浄ユニット１０００の他の実施形態を概略的に示す図面である。

図１２は図１１のヘッド洗浄ユニット１０００の一部を概略的に示す図面である。

一実施形態によれば、図１１と図１２に示すように、噴射ノズル１２１０は第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとを有する。第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとは、サクションノズル１１００に隣接し、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの移動方向に一列に配置される。第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとは１つの水平駆動部材１２２０に結合され、同時に水平に駆動される。昇降部材１２３０と圧力調節手段１２４０とは、第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとに個別的に結合されて独立的に作動される。ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶によって、サクションノズル１１００と噴射ノズル１２１０との間隔、各々の噴射ノズル１２１０の吐出口１２１４との間隔、各々の噴射ノズル１２１０の吐出口１２１４の噴射圧力が調節される。第１噴射ノズル１２１０ａの吐出口１２１４ａの高さと噴射圧力は、第２噴射ノズル１２１０ｂの吐出口１２１４ｂの高さと噴射圧力とは異なるように調節することができるため、第１噴射ノズル１２１０ａで噴射された気体によってヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに残留する液晶がサクションノズル１１００方向に全て押し出されなかった場合、第２噴射ノズル１２１０ｂでは第１噴射ノズル１２１０ａよりも吐出口１２１４ｂの高さと噴射圧力を高くしたうえで、微細な残留液晶をサクションノズル１１００方向に押し出すことができる。

また、他の一実施形態として、第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂを、サクションノズル１１００の前方にてヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの移動方向に一列に配置し、それぞれを個別的に水平駆動部材１２２０に結合し、独立的に水平駆動されるように設けてもよい。このとき、昇降部材１２３０と圧力調節手段１２４０とは、第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂに個別的に結合されて独立的に作動される。また、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶に応じて、サクションノズル１１００と噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂとの間隔と、各々の噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂの吐出口１２１４ａ、１２１４ｂとの間隔と、各々の噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂの吐出口１２１４ａ、１２１４ｂの噴射圧力とが調節され得る。また、独立的に駆動する第１噴射ノズル１２１０ａの第１水平駆動部材１２２０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂの第２水平駆動部材１２２０ｂとによって、第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとの間隔もヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶に応じて調節され得る。

図１３はヘッド洗浄ユニット１０００のその他の一実施形態を概略的に示す図面である。

図１４は図１３のヘッド洗浄ユニット１０００の一部を示す拡大断面図である。

その他の一実施形態によれば、図１３と図１４に図示したように、噴射ノズル１２１０は第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとを有する。第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとはサクションノズル１１００を挟んで一列に配置される。また、第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとが個別的に水平駆動部材１２２０ａ、１２２０ｂに結合されて独立的に水平駆動される。昇降部材１２３０ａ、１２３０ｂと圧力調節手段１２４０ａ、１２４０ｂとは、第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとに個別的に結合され、独立的に作動される。ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶に応じて、サクションノズル１１００と噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂとの間隔、各々の噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂの吐出口１２１４ａ、１２１４ｂとの間隔、各々の噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂの吐出口１２１４ａ、１２１４ｂの噴射圧力を、調節することができる。また、第１噴射ノズル１２１０ａで噴射された気体がヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃに残留する液晶がサクションノズル１１００の方向に全て押し出されなかった場合、サクションノズル１１００を基準として第１噴射ノズル１２１０ａと反対方向に配置された第２噴射ノズル１２１０ｂの、第１噴射ノズル１２１０ａより高く設けた吐出口１２１４ｂの高さと吸入圧力によって、微細な残留液晶をサクションノズル１１００方向に押し出すことができる。

図１５はヘッド洗浄ユニット１０００の一部に対する他の実施形態を示す拡大断面図である。

噴射ノズル１２１０は第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとを有する。第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとは、サクションノズル１１００の後方にてヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの移動方向に一列に配置される。第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとは、個別的に水平駆動部材１２２０に結合されて独立的に水平駆動されるか、或いは第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとが１つの水平駆動部材１２２０に結合されて同時に水平駆動される。昇降部材１２３０と圧力調節手段１２４０とは、第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとに個別的に結合され、独立的に作動される。ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する液晶に応じて、サクションノズル１１００と噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂとの間隔と、各々の噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂの吐出口１２１４ａ、１２１４ｂとの間隔と、各々の噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂの吐出口１２１４ａ、１２１４ｂの噴射圧力とが、調節される。

このように、噴射ノズル１２１０とサクションノズル１１００との間隔、又は噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂ間の間隔と、噴射ノズル１２１０ａ、１２１０ｂの噴射圧力及び高さを調節することによって、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃの洗浄工程の中でヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面に残留する微細液晶を、速やかに且つ完全に除去できる。

前記実施形態において、ヘッド洗浄ユニット１０００は、第１噴射ノズル１２１０ａと第２噴射ノズル１２１０ｂとを含む複数個の噴射ノズル１２１０を有する。しかし、噴射ノズル１２１０が１つであってもよい。

また、前記実施形態ではヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃが移動しながら、このヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面が洗浄されるようにヘッド洗浄ユニット１０００を設けているが、ヘッド洗浄ユニット１０００側が移動しながら、ヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面を洗浄するように設けてもよい。

また、前記実施形態では、ガイド部材１２２２、スライダー１２２４、及び水平駆動器１２２６を包含するように水平駆動部材１２２０を設けているが、ラックとピニオンギアやチェーンギアのような水平駆動可能な他の駆動手段によって水平駆動部材１２２０を設けてもよい。

また、前記実施形態ではヘッド４００ａ、４００ｂ、４００ｃのノズル面を洗浄するようにヘッド洗浄ユニット１０００を設けているが、これに限らず、処理液が吐出されるノズルを洗浄する洗浄ユニットであれば同様の構成が適用される。

以上の説明は本発明の技術思想を例示的に説明したに過ぎず、当業者であれば、本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲で多様な修正及び変形が可能である。つまり、開示した実施形態は本発明の技術思想を限定するものでなく、説明するためのものであり、これら実施形態によって本発明の技術思想の範囲は限定されない。本発明の保護範囲は特許請求の範囲によって解釈され、同等な範囲内にある全ての技術思想は本発明の権利範囲に含まれる。

Ｂ ベース
１００ 基板支持ユニット
２００ ジェントリー
３００ ジェントリー移動ユニット
４００ ヘッド
５００ ヘッド移動ユニット
６００ 液晶供給ユニット
７００ ヘッド制御ユニット
８００ 液晶吐出量測定ユニット
９００ ノズル検査ユニット
１０００ ヘッド洗浄ユニット
１１００ サクションノズル
１２００ 気体噴射ユニット
１３００ 支持部材
１２１０ 噴射ノズル
１２２０ 水平駆動部材
１２３０ 昇降部材
１２４０ 圧力調節手段

Claims (14)

1. インクジェット方式の処理液吐出装置において、
   ベースと、
   前記ベースに設置され、基板が置かれる基板支持ユニットと、
   前記基板支持ユニットの移動経路の上部に配され、前記基板の上にインクジェット方式に薬液を吐出するヘッドが結合されたジェントリーと、
   前記ベースに設置され、前記ヘッドのノズル面を洗浄するヘッド洗浄ユニットと、を含み、
   前記ヘッド洗浄ユニットは
   前記ヘッドに向かうように形成されたサクションホールを有するサクションノズルと、
   前記サクションノズルの上方に位置されたヘッドに向かうように形成された吐出口を有する噴射ノズルが１つ又は複数個設けられる気体噴射ユニットと、を含むことを特徴とする処理液吐出装置。
2. 前記噴射ノズルを水平方向に移動させる水平駆動部材をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の処理液吐出装置。
3. 前記水平駆動部材が、
   前記ベースの上面に結合されたガイド部材と、
   前記ガイド部材に沿って直線移動するスライダーと、
   前記スライダーを駆動させる水平駆動器と、を含むことを特徴とする請求項２に記載の処理液吐出装置。
4. 前記噴射ノズルが複数個設けられ、
   前記水平駆動部材が各々の前記噴射ノズルに結合されて独立的に駆動することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の処理液吐出装置。
5. 前記噴射ノズルが複数個設けられ、
   前記噴射ノズルの吐出口の終端の高さが各々異なることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載の処理液吐出装置。
6. 前記噴射ノズルが複数個設けられ、
   前記噴射ノズルの吐出口の終端の高さを独立的に調節するために前記噴射ノズルに各々結合される昇降部材をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の処理液吐出装置。
7. 前記噴射ノズルが複数個設けられ、
   前記噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を独立的に調節するために前記噴射ノズルに各々結合される圧力調節手段をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１つに記載の処理液吐出装置。
8. 処理液のノズルを洗浄する洗浄ユニットにおいて、
   上方に向かうように形成されたサクションホールを有するサクションノズルと、
   前記サクションノズルの上方に位置されたヘッドに向かうように形成された吐出口を有する噴射ノズルが少なくとも１つ設けられる気体噴射ユニットと、を含み、
   前記噴射ノズルは、
   第１噴射ノズルと第２噴射ノズルを具備し、
   前記第１噴射ノズルと前記第２噴射ノズルとは前記サクションノズルと一列に配列され、
   前記第１噴射ノズルの吐出口の終端の高さと第２噴射ノズルの吐出口の終端の高さとが相違することを特徴とする洗浄ユニット。
9. 前記第１噴射ノズル及び第２噴射ノズルを水平方向に移動させる水平駆動部材をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の洗浄ユニット。
10. 前記第１噴射ノズルを水平方向に移動させる第１水平駆動部材と前記第２噴射ノズルを水平方向に移動させる第２水平駆動部材とをさらに含み、前記第１水平駆動部材と前記第２水平駆動部材が独立的に制御されることを特徴とする請求項９に記載の洗浄ユニット。
11. 前記第１噴射ノズルの吐出口の高さを調節する第１昇降部材と前記第２噴射ノズルの吐出口の高さを調節する第２昇降部材をさらに含み、前記第１昇降部材と前記第２昇降部材が独立的に制御されることを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれか１つに記載の洗浄ユニット。
12. 前記第１噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節する第１圧力調節手段と前記第２噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節する第２圧力調節手段とをさらに含み、第１圧力調節手段と第２圧力調節手段とが独立的に制御されることを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれか１つに記載の洗浄ユニット。
13. 処理液吐出装置の洗浄方法において、
    複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が近い噴射ノズルが処理液のノズルに残留する液晶に向かって気体を噴射して液晶をサクションノズル方向に押し出した後、複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が遠い噴射ノズルが残留する液晶に向かって再び気体を噴射して液晶をサクションノズル方向に押し出し、サクションノズルに吸入して洗浄することを特徴とする洗浄方法。
14. 前記複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が近い噴射ノズルの吐出口の高さが前記複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が遠い噴射ノズルの吐出口の高さより低いことを特徴とする請求項１３に記載の洗浄方法。

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