JP2003260423A - ノズル先端部の洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
ノズル先端部の洗浄装置及び洗浄方法Info
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 塗布ノズルの吐出口を洗浄するノズル洗浄装
置及びノズル洗浄方法において、洗浄液の使用量削減、
洗浄時間の短縮、むらのない確実な洗浄を図る。 【解決手段】 塗布ノズル1の吐出口2に付着している
塗布液に向けて溶剤ノズル31から溶剤71を吹き付け
て溶解し、その溶解物8をガスノズルからのガスにより
吐出口2から吹き飛ばし、ガスにより吹き飛ばされた溶
解物8を吸引口4から吸引することにより、塗布ノズル
1の個々の吐出口2を狙って集中的に洗浄しながら、移
動手段11、12、13により吐出口2の配列された長
手方向に沿って全範囲に亘り順番に洗浄する。ガスノズ
ルの両側に設けた複数の洗浄ノズルと移動手段の組み合
わせにより往動作ステップと復動作ステップを切り替え
る。
置及びノズル洗浄方法において、洗浄液の使用量削減、
洗浄時間の短縮、むらのない確実な洗浄を図る。 【解決手段】 塗布ノズル1の吐出口2に付着している
塗布液に向けて溶剤ノズル31から溶剤71を吹き付け
て溶解し、その溶解物8をガスノズルからのガスにより
吐出口2から吹き飛ばし、ガスにより吹き飛ばされた溶
解物8を吸引口4から吸引することにより、塗布ノズル
1の個々の吐出口2を狙って集中的に洗浄しながら、移
動手段11、12、13により吐出口2の配列された長
手方向に沿って全範囲に亘り順番に洗浄する。ガスノズ
ルの両側に設けた複数の洗浄ノズルと移動手段の組み合
わせにより往動作ステップと復動作ステップを切り替え
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パイプ状の吐出口
が直線状に配列された塗布ノズルの吐出口周辺部を効率
的に洗浄するノズル洗浄装置及びノズル洗浄方法に関す
るものである。
が直線状に配列された塗布ノズルの吐出口周辺部を効率
的に洗浄するノズル洗浄装置及びノズル洗浄方法に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、蛍光体を充填したガラスパネルの
任意の部位に紫外線を照射することで、蛍光体を発光さ
せて画像を表示するプラズマディスプレイと呼ばれる表
示装置がある。このガラスパネルに対向するパネル背面
板には、一方向に延びる凸状リブにより一定ピッチで複
数の溝が形成されており、これらの各溝1本ずつに赤、
青、緑に対応した上記蛍光体が交互に充填されている。
このようなプラズマディスプレイのパネル背面板に蛍光
体を充填する装置としては、1列に配列された複数の吐
出口を有する塗布ノズルにより、各吐出口からペースト
状の蛍光体を吐出しながらノズルを溝に沿った方向へ移
動させ、パネル背面板上の溝に蛍光体ペーストを充填す
る蛍光体層充填装置が知られている。この、蛍光体ペー
スト充填に使われる塗布ノズルは、図6に示すように、
配列方向Xに沿ってパイプ状の吐出口2が多数配列され
たものである。蛍光体ペーストからなる塗布液は、配管
90の注入口から矢印91で示す方向に圧送されて各吐
出口2から矢印92で示す方向に吐出される。これらの
吐出口2の先端部は、蛍光体ペーストの充填作業におい
て飛散した塗布液の付着により汚れてくるため適宜に洗
浄する必要がある。
任意の部位に紫外線を照射することで、蛍光体を発光さ
せて画像を表示するプラズマディスプレイと呼ばれる表
示装置がある。このガラスパネルに対向するパネル背面
板には、一方向に延びる凸状リブにより一定ピッチで複
数の溝が形成されており、これらの各溝1本ずつに赤、
青、緑に対応した上記蛍光体が交互に充填されている。
このようなプラズマディスプレイのパネル背面板に蛍光
体を充填する装置としては、1列に配列された複数の吐
出口を有する塗布ノズルにより、各吐出口からペースト
状の蛍光体を吐出しながらノズルを溝に沿った方向へ移
動させ、パネル背面板上の溝に蛍光体ペーストを充填す
る蛍光体層充填装置が知られている。この、蛍光体ペー
スト充填に使われる塗布ノズルは、図6に示すように、
配列方向Xに沿ってパイプ状の吐出口2が多数配列され
たものである。蛍光体ペーストからなる塗布液は、配管
90の注入口から矢印91で示す方向に圧送されて各吐
出口2から矢印92で示す方向に吐出される。これらの
吐出口2の先端部は、蛍光体ペーストの充填作業におい
て飛散した塗布液の付着により汚れてくるため適宜に洗
浄する必要がある。
【0003】従来のノズル洗浄装置として、塗布ノズル
を洗浄装置上に載置し、吐出口先端部に密閉空間を形成
した後、洗浄装置長手方向の一端から洗浄液を供給しつ
つ他端から排液を行う、あるいは、洗浄装置内に設けた
複数の洗浄液吐出口を持つノズルから洗浄液を吐出する
と共に洗浄装置底面より排液を行い、吐出口先端部を洗
浄する装置及び方法が一般的に知られている。
を洗浄装置上に載置し、吐出口先端部に密閉空間を形成
した後、洗浄装置長手方向の一端から洗浄液を供給しつ
つ他端から排液を行う、あるいは、洗浄装置内に設けた
複数の洗浄液吐出口を持つノズルから洗浄液を吐出する
と共に洗浄装置底面より排液を行い、吐出口先端部を洗
浄する装置及び方法が一般的に知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たノズルの洗浄装置及び洗浄方法では、パイプ状の吐出
口が直線状に配列されたような、複数の独立した吐出口
を持つノズルの洗浄であるため、すべての吐出口に対し
均一に洗浄液を浴びせることが困難であり、吐出口先端
部に付着した塗布液を全範囲に亘って、短時間に少量の
洗浄液で除去することは難しいという問題がある。
たノズルの洗浄装置及び洗浄方法では、パイプ状の吐出
口が直線状に配列されたような、複数の独立した吐出口
を持つノズルの洗浄であるため、すべての吐出口に対し
均一に洗浄液を浴びせることが困難であり、吐出口先端
部に付着した塗布液を全範囲に亘って、短時間に少量の
洗浄液で除去することは難しいという問題がある。
【0005】本発明は、上記の課題を解消するものであ
って、パイプ状の吐出口が複数個直線状に配列された塗
布ノズルの洗浄において、極力少量の洗浄液で短時間に
全範囲に亘り汚れを除去することができるノズル洗浄装
置及びノズル洗浄方法を提供することを目的とする。
って、パイプ状の吐出口が複数個直線状に配列された塗
布ノズルの洗浄において、極力少量の洗浄液で短時間に
全範囲に亘り汚れを除去することができるノズル洗浄装
置及びノズル洗浄方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を達成するた
めに、請求項1の発明は、塗布液を吐出するパイプ状の
吐出口が複数個直線状に配列された塗布ノズルの吐出口
先端部を洗浄する洗浄装置において、吐出口に付着して
いる塗布液を溶解するための溶剤を吐出する溶剤ノズル
と、溶剤により溶解した溶解物をガス噴射により吐出口
から吹き飛ばすガスノズルと、ガス噴射により吹き飛ば
された溶解物を吸引する吸引口と、溶剤ノズル、ガスノ
ズル、及び吸引口を吐出口の配列方向に沿って移動させ
る移動手段とを備えているものである。
めに、請求項1の発明は、塗布液を吐出するパイプ状の
吐出口が複数個直線状に配列された塗布ノズルの吐出口
先端部を洗浄する洗浄装置において、吐出口に付着して
いる塗布液を溶解するための溶剤を吐出する溶剤ノズル
と、溶剤により溶解した溶解物をガス噴射により吐出口
から吹き飛ばすガスノズルと、ガス噴射により吹き飛ば
された溶解物を吸引する吸引口と、溶剤ノズル、ガスノ
ズル、及び吸引口を吐出口の配列方向に沿って移動させ
る移動手段とを備えているものである。
【0007】上記構成のノズル洗浄装置においては、塗
布ノズルの吐出口に付着している塗布液に向けて溶剤ノ
ズルから溶剤を吹き付けて溶解し、その溶解物をガスノ
ズルからのガスにより吐出口から吹き飛ばし、ガスによ
り吹き飛ばされた溶解物を吸引口から吸引することによ
り、塗布ノズルの個々の吐出口を狙って集中的に洗浄し
ながら、移動手段により吐出口の配列された長手方向に
沿って全範囲に亘り順番に確実に洗浄することができ
る。
布ノズルの吐出口に付着している塗布液に向けて溶剤ノ
ズルから溶剤を吹き付けて溶解し、その溶解物をガスノ
ズルからのガスにより吐出口から吹き飛ばし、ガスによ
り吹き飛ばされた溶解物を吸引口から吸引することによ
り、塗布ノズルの個々の吐出口を狙って集中的に洗浄し
ながら、移動手段により吐出口の配列された長手方向に
沿って全範囲に亘り順番に確実に洗浄することができ
る。
【0008】請求項2の発明は、塗布液を吐出するパイ
プ状の吐出口が複数個直線状に配列された塗布ノズルの
吐出口先端部を洗浄するノズル洗浄方法において、吐出
口に付着している塗布液を溶解するための溶剤を吐出す
る溶剤ノズルと、溶剤により溶解した溶解物をガス噴射
により吹き飛ばすガスノズルと、吹き飛ばされた溶解物
を吸引する吸引口と、溶剤ノズル、ガスノズル、及び吸
引口を移動させる移動手段とを用い、ガスノズルを挟む
ように配置された溶剤ノズルの進行方向側の溶剤ノズ
ル、ガスノズル、及び吸引口を洗浄動作させつつ移動手
段により吐出口の配列の方向に沿って配列の端部まで移
動させる往動作ステップと、吐出口の配列の端部におい
て溶剤ノズルの吐出を停止させる停止ステップと、ガス
ノズルを挟んで反対側の溶剤ノズル、ガスノズル、及び
吸引口を洗浄動作させつつ移動手段により吐出口の配列
の方向に沿って逆方向に配列の端部まで移動させる復動
作ステップとから成るものである。
プ状の吐出口が複数個直線状に配列された塗布ノズルの
吐出口先端部を洗浄するノズル洗浄方法において、吐出
口に付着している塗布液を溶解するための溶剤を吐出す
る溶剤ノズルと、溶剤により溶解した溶解物をガス噴射
により吹き飛ばすガスノズルと、吹き飛ばされた溶解物
を吸引する吸引口と、溶剤ノズル、ガスノズル、及び吸
引口を移動させる移動手段とを用い、ガスノズルを挟む
ように配置された溶剤ノズルの進行方向側の溶剤ノズ
ル、ガスノズル、及び吸引口を洗浄動作させつつ移動手
段により吐出口の配列の方向に沿って配列の端部まで移
動させる往動作ステップと、吐出口の配列の端部におい
て溶剤ノズルの吐出を停止させる停止ステップと、ガス
ノズルを挟んで反対側の溶剤ノズル、ガスノズル、及び
吸引口を洗浄動作させつつ移動手段により吐出口の配列
の方向に沿って逆方向に配列の端部まで移動させる復動
作ステップとから成るものである。
【0009】上記構成のノズル洗浄方法においては、進
行方向側の溶剤ノズルからの溶剤で塗布ノズルの吐出口
に付着した塗布液を溶解し、後続するガスノズルからの
ガスにより溶解した溶解物を吹き飛ばし、この溶解物を
吸引口により吸引排出しながら、個々の吐出口を効率的
に確実に洗浄することができる。また、移動手段により
洗浄する場所を移しながら吐出口の配列の長手方向端部
まで移動し、その後、移動方向を反転して、新たな進行
方向に対して上記と同様に洗浄を行うことができる。必
要に応じて、洗浄の往復動作を繰り返すことができる。
行方向側の溶剤ノズルからの溶剤で塗布ノズルの吐出口
に付着した塗布液を溶解し、後続するガスノズルからの
ガスにより溶解した溶解物を吹き飛ばし、この溶解物を
吸引口により吸引排出しながら、個々の吐出口を効率的
に確実に洗浄することができる。また、移動手段により
洗浄する場所を移しながら吐出口の配列の長手方向端部
まで移動し、その後、移動方向を反転して、新たな進行
方向に対して上記と同様に洗浄を行うことができる。必
要に応じて、洗浄の往復動作を繰り返すことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態に係る
塗布ノズルの吐出口を洗浄するノズル洗浄装置につい
て、図1乃至図2を参照して説明する。図面中の共通す
る部材には同一符号を付して重複説明を省略する。ノズ
ル洗浄装置100は、塗布ノズル1の吐出口2を洗浄す
るための移動体部分101と固定部分102を備えてい
る。移動体部分101は、その中央に向かう水平に設置
されたガスノズル17、その両側に配置された溶剤ノズ
ル31、32、そして、ガスノズル17に対向して設置
された吸引口4を備えている。さらに移動体部分101
の中央下方において開口を上向きにした受皿14が備え
られている。これらの構造物はそれぞれの配管部分を用
いて断面がコの字を横にした形のブラケット10に固定
され一体となって移動体部分101を構成している。ま
た、固定部分102は、水平に置かれたレール12、こ
れに平行に設けられたボールねじ11、ボールねじ11
を回転駆動するモータ20を備えている。また、前記ブ
ラケット10の底部に備えられたスライドブロック13
が前記レール12と摺動自在に嵌合されていると共に、
前記ボールねじ11とも結合している。そして、移動体
部分101が、ボールねじ11の回転により、+記号と
−記号で示される移動方向に、往と復の移動を行う。
塗布ノズルの吐出口を洗浄するノズル洗浄装置につい
て、図1乃至図2を参照して説明する。図面中の共通す
る部材には同一符号を付して重複説明を省略する。ノズ
ル洗浄装置100は、塗布ノズル1の吐出口2を洗浄す
るための移動体部分101と固定部分102を備えてい
る。移動体部分101は、その中央に向かう水平に設置
されたガスノズル17、その両側に配置された溶剤ノズ
ル31、32、そして、ガスノズル17に対向して設置
された吸引口4を備えている。さらに移動体部分101
の中央下方において開口を上向きにした受皿14が備え
られている。これらの構造物はそれぞれの配管部分を用
いて断面がコの字を横にした形のブラケット10に固定
され一体となって移動体部分101を構成している。ま
た、固定部分102は、水平に置かれたレール12、こ
れに平行に設けられたボールねじ11、ボールねじ11
を回転駆動するモータ20を備えている。また、前記ブ
ラケット10の底部に備えられたスライドブロック13
が前記レール12と摺動自在に嵌合されていると共に、
前記ボールねじ11とも結合している。そして、移動体
部分101が、ボールねじ11の回転により、+記号と
−記号で示される移動方向に、往と復の移動を行う。
【0011】上記のように構成されたノズル洗浄装置1
00において、塗布ノズル1は、吐出口2の配列を下に
して、その配列方向と前記移動方向とが平行になるよう
に、固定部分102の上方に図略の固定具により載置さ
れる。このとき、吐出口2の配列の片方の側面は、ガス
ノズル17、及び溶剤ノズル31、32の先端に対向し
た状態、もう一方の側面は吸引口4の先端に対向した状
態になっている。
00において、塗布ノズル1は、吐出口2の配列を下に
して、その配列方向と前記移動方向とが平行になるよう
に、固定部分102の上方に図略の固定具により載置さ
れる。このとき、吐出口2の配列の片方の側面は、ガス
ノズル17、及び溶剤ノズル31、32の先端に対向し
た状態、もう一方の側面は吸引口4の先端に対向した状
態になっている。
【0012】次に、ノズル洗浄の動作を説明する。上記
の配置状態において、モータ20を駆動し、移動体部分
101を往方向+に移動する。そして、溶剤ノズル32
からその近傍にある吐出口2に対し、溶剤配管52を通
して供給される溶剤72を吹き付ける。また、移動方向
後方では、ガスノズル17から、ガス配管18を通して
圧送されるガス16を吐出口2に対し噴射する。移動体
部分101の移動により、時間的に前段の処理で溶剤7
2を吹き付けられた吐出口2が、時間をおいて後段の処
理でガス16を吹き付けられる。つまり、吐出口2に付
着した汚れである蛍光体ペースト(塗布液)を溶解する
時間が与えられることになる。溶解した溶解物8は、ガ
ス16により吹き飛ばされ、吸引口4から吸引配管6を
通して外部に排出される。また、吸引口4に吸引されず
に溶剤ノズル32及び吐出口2から滴下する溶剤72、
及び溶解物8は、受皿14により収集され廃液15とし
て廃液配管19を通して外部に排出される。移動体部分
101を復方向−に移動する場合は、前記の溶剤ノズル
32、溶剤配管52、及び溶剤72は停止させ、替わり
に新たに進行方向前方となった、ノズル31、溶剤配管
51、及び溶剤71を動作させる。この場合、ガスノズ
ル16、吸引口4及び受皿14の動作は、前記往方向+
に移動する場合と同様である。
の配置状態において、モータ20を駆動し、移動体部分
101を往方向+に移動する。そして、溶剤ノズル32
からその近傍にある吐出口2に対し、溶剤配管52を通
して供給される溶剤72を吹き付ける。また、移動方向
後方では、ガスノズル17から、ガス配管18を通して
圧送されるガス16を吐出口2に対し噴射する。移動体
部分101の移動により、時間的に前段の処理で溶剤7
2を吹き付けられた吐出口2が、時間をおいて後段の処
理でガス16を吹き付けられる。つまり、吐出口2に付
着した汚れである蛍光体ペースト(塗布液)を溶解する
時間が与えられることになる。溶解した溶解物8は、ガ
ス16により吹き飛ばされ、吸引口4から吸引配管6を
通して外部に排出される。また、吸引口4に吸引されず
に溶剤ノズル32及び吐出口2から滴下する溶剤72、
及び溶解物8は、受皿14により収集され廃液15とし
て廃液配管19を通して外部に排出される。移動体部分
101を復方向−に移動する場合は、前記の溶剤ノズル
32、溶剤配管52、及び溶剤72は停止させ、替わり
に新たに進行方向前方となった、ノズル31、溶剤配管
51、及び溶剤71を動作させる。この場合、ガスノズ
ル16、吸引口4及び受皿14の動作は、前記往方向+
に移動する場合と同様である。
【0013】次に、ノズル洗浄装置の他の例について、
図3を参照して説明する。このノズル洗浄装置は、洗浄
能力の強化を狙い、前記実施形態での各ノズルの各々を
複数個移動方向に並べて設けたものであり、溶剤ノズル
32a,32b、31a,31b、及びガスノズル17
a,17bを備えている。
図3を参照して説明する。このノズル洗浄装置は、洗浄
能力の強化を狙い、前記実施形態での各ノズルの各々を
複数個移動方向に並べて設けたものであり、溶剤ノズル
32a,32b、31a,31b、及びガスノズル17
a,17bを備えている。
【0014】次に、ノズル洗浄装置のさらに他の例につ
いて、図4を参照して説明する。このノズル洗浄装置
は、同じく洗浄能力の強化を狙い、溶剤ノズル32c、
31c、及びガスノズル17cと、これらに対向した配
置に、溶剤ノズル32d、31d、及びガスノズル17
dとを備えている。このように、一つの機能について複
数のノズルを対向して備えていることにより一層の洗浄
効果が期待できる。吸引口は、底部に設けられてもよ
い。
いて、図4を参照して説明する。このノズル洗浄装置
は、同じく洗浄能力の強化を狙い、溶剤ノズル32c、
31c、及びガスノズル17cと、これらに対向した配
置に、溶剤ノズル32d、31d、及びガスノズル17
dとを備えている。このように、一つの機能について複
数のノズルを対向して備えていることにより一層の洗浄
効果が期待できる。吸引口は、底部に設けられてもよ
い。
【0015】次に、本発明の一実施形態に係るノズル洗
浄装置を使った洗浄方法について図5のフローチャー
ト、及び図1、図2を参照して説明する。固定部分10
2におけるボールねじ11のモータ20側を終端、反対
側を始端とする。そして、洗浄すべき塗布ノズル1は、
洗浄装置100に載置され、移動体部分101は、上記
に定義した始端にあるとする。
浄装置を使った洗浄方法について図5のフローチャー
ト、及び図1、図2を参照して説明する。固定部分10
2におけるボールねじ11のモータ20側を終端、反対
側を始端とする。そして、洗浄すべき塗布ノズル1は、
洗浄装置100に載置され、移動体部分101は、上記
に定義した始端にあるとする。
【0016】まず、進行方向側となる溶剤ノズル32、
ガスノズル17、吸引口4を動作させる(#1)。次
に、モータ20を動作させ、吐出口2の配列の始端から
終端に向けて移動体部分101を移動させ、往側洗浄を
行う(#2)。移動体部分102の位置が終端でなけれ
ば移動と洗浄を続行し(#3でNO)、終端であれば
(#3でYES)、モータ20を停止して移動を停止
し、溶剤ノズル32を停止する(#4)。
ガスノズル17、吸引口4を動作させる(#1)。次
に、モータ20を動作させ、吐出口2の配列の始端から
終端に向けて移動体部分101を移動させ、往側洗浄を
行う(#2)。移動体部分102の位置が終端でなけれ
ば移動と洗浄を続行し(#3でNO)、終端であれば
(#3でYES)、モータ20を停止して移動を停止
し、溶剤ノズル32を停止する(#4)。
【0017】次に、新たに進行方向側となる溶剤ノズル
31を動作させる(#5)。続いて、モータ20の回転
方向を前回と逆にして動作させ、吐出口2の配列の終端
から始端に向けて移動体部分101を移動させ、復側洗
浄を行う(#6)。移動体部分102の位置が始端でな
ければ移動と洗浄を続行し(#7でNO)、終端であれ
ば(#7でYES)、モータ20を停止して移動を停止
し、復用溶剤ノズル31を停止する(#8)。
31を動作させる(#5)。続いて、モータ20の回転
方向を前回と逆にして動作させ、吐出口2の配列の終端
から始端に向けて移動体部分101を移動させ、復側洗
浄を行う(#6)。移動体部分102の位置が始端でな
ければ移動と洗浄を続行し(#7でNO)、終端であれ
ば(#7でYES)、モータ20を停止して移動を停止
し、復用溶剤ノズル31を停止する(#8)。
【0018】次に、吐出口2の洗浄状態を見て、前工程
の往復の洗浄で除去しきれない汚れがあり、あるいは、
洗浄の前に吐出口2の汚れ状態を見て決定した条件によ
り、再度洗浄を行う場合(#9でYES)、溶剤ノズル
32を動作させて往側洗浄を行う(#11)。また、再
度洗浄が不要の場合、あるいは、再度洗浄を行わない場
合(#9でNO)、ガスノズル17を停止、吸引口4を
停止して(#10)、ノズル洗浄工程を終了する。上記
のように、本発明の一実施形態に係る塗布ノズル洗浄方
法は、ステップ#1,#2,#3,及び#11の往動作
ステップと、ステップ#4,#8,#9,及び#10の
停止ステップと、ステップ#5,#6,#6,及び#7
の復動作ステップから構成され、繰り返し洗浄が可能と
なっている。
の往復の洗浄で除去しきれない汚れがあり、あるいは、
洗浄の前に吐出口2の汚れ状態を見て決定した条件によ
り、再度洗浄を行う場合(#9でYES)、溶剤ノズル
32を動作させて往側洗浄を行う(#11)。また、再
度洗浄が不要の場合、あるいは、再度洗浄を行わない場
合(#9でNO)、ガスノズル17を停止、吸引口4を
停止して(#10)、ノズル洗浄工程を終了する。上記
のように、本発明の一実施形態に係る塗布ノズル洗浄方
法は、ステップ#1,#2,#3,及び#11の往動作
ステップと、ステップ#4,#8,#9,及び#10の
停止ステップと、ステップ#5,#6,#6,及び#7
の復動作ステップから構成され、繰り返し洗浄が可能と
なっている。
【0019】なお、本発明は、上記構成に限られること
なく種々の変形が可能である。例えば、実施の形態では
被洗浄物である塗布ノズルが固定され、洗浄用の溶剤ノ
ズル、ガスノズル、吸引口等が移動手段により移動する
としたが、両者は相対的に移動すればよく、従って、塗
布ノズルを移動手段により移動してもよい。また、溶剤
ノズル、ガスノズルの方向について、吐出口に対し真横
から吹き付ける構成を示したが、吐出口の斜め上方から
下方に、また、進行方向に向う方向に斜めに、あるい
は、これらと逆方向に向けて、さらにはこれらを複合し
て吹き付けるようにしてもよい。各ノズルの本数、配置
についても上記構成に限られることなく必要に応じてそ
れぞれの構成を決定すればよい。
なく種々の変形が可能である。例えば、実施の形態では
被洗浄物である塗布ノズルが固定され、洗浄用の溶剤ノ
ズル、ガスノズル、吸引口等が移動手段により移動する
としたが、両者は相対的に移動すればよく、従って、塗
布ノズルを移動手段により移動してもよい。また、溶剤
ノズル、ガスノズルの方向について、吐出口に対し真横
から吹き付ける構成を示したが、吐出口の斜め上方から
下方に、また、進行方向に向う方向に斜めに、あるい
は、これらと逆方向に向けて、さらにはこれらを複合し
て吹き付けるようにしてもよい。各ノズルの本数、配置
についても上記構成に限られることなく必要に応じてそ
れぞれの構成を決定すればよい。
【0020】
【発明の効果】以上のように請求項1の発明によれば、
塗布ノズルの吐出口に付着している塗布液に向けて溶剤
ノズルから溶剤を吹き付けて溶解し、その溶解物をガス
ノズルからのガスにより吐出口から吹き飛ばし、ガスに
より吹き飛ばされた溶解物を吸引口から吸引することに
より、塗布ノズルの個々の吐出口を狙って集中的に洗浄
しながら、移動手段により吐出口の配列された長手方向
に沿って全範囲に亘り順番に確実に洗浄することができ
る。このため、パイプ状の吐出口が直線状に配列された
塗布ノズルの洗浄において、塗布ノズルの全範囲の吐出
口に、均一に溶剤およびガスを噴射でき、少量の洗浄液
で、短時間に、効率的に、全範囲に亘りむら無く汚れを
除去することができる。これにより、塗布ノズルの吐出
口先端部の状態を良好に維持して塗布品質を保つことが
できる。また、複数の洗浄ノズルと前記移動手段とを組
み合わせることで往復洗浄動作を容易に行うことがで
き、洗浄時間の短縮が図れる。
塗布ノズルの吐出口に付着している塗布液に向けて溶剤
ノズルから溶剤を吹き付けて溶解し、その溶解物をガス
ノズルからのガスにより吐出口から吹き飛ばし、ガスに
より吹き飛ばされた溶解物を吸引口から吸引することに
より、塗布ノズルの個々の吐出口を狙って集中的に洗浄
しながら、移動手段により吐出口の配列された長手方向
に沿って全範囲に亘り順番に確実に洗浄することができ
る。このため、パイプ状の吐出口が直線状に配列された
塗布ノズルの洗浄において、塗布ノズルの全範囲の吐出
口に、均一に溶剤およびガスを噴射でき、少量の洗浄液
で、短時間に、効率的に、全範囲に亘りむら無く汚れを
除去することができる。これにより、塗布ノズルの吐出
口先端部の状態を良好に維持して塗布品質を保つことが
できる。また、複数の洗浄ノズルと前記移動手段とを組
み合わせることで往復洗浄動作を容易に行うことがで
き、洗浄時間の短縮が図れる。
【0021】また、請求項2の発明によれば、常に、進
行方向側の溶剤ノズルからの溶剤で塗布ノズルの吐出口
に付着した塗布液を溶解し、後続するガスノズルからの
ガスにより溶解した溶解物を吹き飛ばし、この溶解物を
吸引口により吸引排出しながら、個々の吐出口を効率的
に確実に洗浄することができる。また、移動手段により
洗浄する場所を移しながら吐出口の配列の長手方向端部
まで移動し、その後、移動方向を反転して、新たな進行
方向に対して上記と同様に洗浄を行うことができる。必
要に応じて、洗浄の往復動作を繰り返すことができる。
これにより、上記請求項1と同様の効果が得られる。
行方向側の溶剤ノズルからの溶剤で塗布ノズルの吐出口
に付着した塗布液を溶解し、後続するガスノズルからの
ガスにより溶解した溶解物を吹き飛ばし、この溶解物を
吸引口により吸引排出しながら、個々の吐出口を効率的
に確実に洗浄することができる。また、移動手段により
洗浄する場所を移しながら吐出口の配列の長手方向端部
まで移動し、その後、移動方向を反転して、新たな進行
方向に対して上記と同様に洗浄を行うことができる。必
要に応じて、洗浄の往復動作を繰り返すことができる。
これにより、上記請求項1と同様の効果が得られる。
【図1】 本発明の一実施形態によるノズル洗浄装置の
概略断面図。
概略断面図。
【図2】 同洗浄装置の平面図。
【図3】 同洗浄装置の他の例を示す平面図。
【図4】 同洗浄装置のさらに他の例を示す平面図。
【図5】 本発明の一実施形態によるノズル洗浄方法の
フローチャート。
フローチャート。
【図6】 本発明のノズル洗浄装置の適用対象となる塗
布ノズルの斜視図。
布ノズルの斜視図。
1 塗布ノズル
2 吐出口
4 吸引口
11 ボールねじ(移動手段)
12 レール(移動手段)
13 スライドブロック(移動手段)
17、17a、17b、17c、17d ガスノズル
20 モータ(移動手段)
31、31a、31b、31c、31d 溶剤ノズル
32、32a、32b、32c、32d 溶剤ノズル
X 配列方向
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Fターム(参考) 3B116 AA47 BB22 BB42 BB90
3B201 AA47 BB22 BB42 BB90 BB95
BB98 CC12
4D073 AA09 BB03 CA20 CB03 CC04
CC07 DC02
4D075 AA01 AA32 AA74 BB65Z
EA05
Claims (2)
- 【請求項1】 塗布液を吐出するパイプ状の吐出口が複
数個直線状に配列された塗布ノズルの吐出口先端部を洗
浄する洗浄装置において、 前記吐出口に付着している塗布液を溶解するための溶剤
を吐出する溶剤ノズルと、 前記溶剤により溶解した溶解物をガス噴射により前記吐
出口から吹き飛ばすガスノズルと、 前記ガス噴射により吹き飛ばされた溶解物を吸引する吸
引口と、 前記溶剤ノズル、前記ガスノズル、及び前記吸引口を前
記吐出口の配列方向に沿って移動させる移動手段とを備
えたことを特徴とするノズル洗浄装置。 - 【請求項2】 塗布液を吐出するパイプ状の吐出口が複
数個直線状に配列された塗布ノズルの吐出口先端部を洗
浄するノズル洗浄方法において、 前記吐出口に付着している塗布液を溶解するための溶剤
を吐出する溶剤ノズルと、前記溶剤により溶解した溶解
物をガス噴射により吹き飛ばすガスノズルと、吹き飛ば
された溶解物を吸引する吸引口と、前記溶剤ノズル、ガ
スノズル、及び吸引口を移動させる移動手段とを用い、 前記ガスノズルを挟むように配置された溶剤ノズルの進
行方向側の溶剤ノズル、前記ガスノズル、及び吸引口を
洗浄動作させつつ前記移動手段により前記吐出口の配列
の方向に沿って配列の端部まで移動させる往動作ステッ
プと、 前記吐出口の配列の端部において前記溶剤ノズルの吐出
を停止させる停止ステップと、 前記ガスノズルを挟んで反対側の溶剤ノズル、ガスノズ
ル、及び吸引口を洗浄動作させつつ前記移動手段により
前記吐出口の配列の方向に沿って逆方向に配列の端部ま
で移動させる復動作ステップとから成ることを特徴とす
るノズル洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002066489A JP2003260423A (ja) | 2002-03-12 | 2002-03-12 | ノズル先端部の洗浄装置及び洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002066489A JP2003260423A (ja) | 2002-03-12 | 2002-03-12 | ノズル先端部の洗浄装置及び洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003260423A true JP2003260423A (ja) | 2003-09-16 |
Family
ID=28671472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002066489A Pending JP2003260423A (ja) | 2002-03-12 | 2002-03-12 | ノズル先端部の洗浄装置及び洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003260423A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006281101A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | 洗浄装置付塗布装置 |
CN100381216C (zh) * | 2004-03-19 | 2008-04-16 | 大日本网目版制造株式会社 | 喷嘴清洗装置及基板处理装置 |
JP2008150059A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Nikka Whisky Distilling Co Ltd | 充填機、及び、物品の製造方法 |
CN102371221A (zh) * | 2010-08-24 | 2012-03-14 | 细美事有限公司 | 处理液排出装置 |
CN105127156A (zh) * | 2014-05-30 | 2015-12-09 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 涂胶喷嘴自动清洗装置 |
KR20170119355A (ko) * | 2016-04-18 | 2017-10-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 노즐 세정 장치 및 이를 포함하는 디스펜싱 장치 |
CN110280544A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-27 | 株式会社三友 | 清扫装置及清扫方法 |
CN112058470A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-12-11 | 贵州省油气勘查开发工程研究院 | 岩石碎样分筛与清洗装置 |
JPWO2022113839A1 (ja) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 |
-
2002
- 2002-03-12 JP JP2002066489A patent/JP2003260423A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR102491879B1 (ko) * | 2016-04-18 | 2023-01-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 노즐 세정 장치 및 이를 포함하는 디스펜싱 장치 |
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JPWO2022113839A1 (ja) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 | ||
WO2022113839A1 (ja) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 | 三菱電機株式会社 | ノズル清掃装置、断熱材の製造装置、ノズル清掃方法、及び断熱材の製造方法 |
JP7325665B2 (ja) | 2020-11-25 | 2023-08-14 | 三菱電機株式会社 | ノズル清掃装置、断熱材の製造装置、ノズル清掃方法、及び断熱材の製造方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051025 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051027 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060531 |