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JP2011019047A - Semiconductor device - Google Patents

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JP2011019047A
JP2011019047A JP2009161708A JP2009161708A JP2011019047A JP 2011019047 A JP2011019047 A JP 2011019047A JP 2009161708 A JP2009161708 A JP 2009161708A JP 2009161708 A JP2009161708 A JP 2009161708A JP 2011019047 A JP2011019047 A JP 2011019047A
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Koichi Fujita
光一 藤田
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device allowing an amplifier circuit to be downsized.SOLUTION: This semiconductor device includes: a first transistor having a first signal input terminal, a first signal output terminal and a first grounding terminal; a first power feed terminal; a first resistor connected between the first power feed terminal and the first signal input terminal; and a first capacitor connected between the first power feed terminal and a grounding point; wherein the first transistor, the first power feed terminal, the first resistor and the first capacitor are formed in the same chip.

Description

本発明は、複数のトランジスタが縦続接続された増幅回路、又は負帰還回路を有する増幅回路に適用する半導体装置に関し、特に、増幅回路を小型化できる半導体装置に関する。   The present invention relates to a semiconductor device applied to an amplifier circuit in which a plurality of transistors are connected in cascade or an amplifier circuit having a negative feedback circuit, and more particularly to a semiconductor device capable of reducing the size of the amplifier circuit.

従来、目的とする電圧利得を得るために、複数のトランジスタが縦続接続された増幅回路が使用されている。このような増幅回路では、複数のトランジスタのゲート端子に電力をそれぞれ供給する共通のバイアス回路が適用されることがある。共通のバイアス回路が適用される場合、縦続接続された複数のトランジスタのそれぞれのドレイン端子と、同じトランジスタのゲート端子が、共通のバイアス回路によって、互いに接続される。   Conventionally, in order to obtain a target voltage gain, an amplifier circuit in which a plurality of transistors are cascaded is used. In such an amplifier circuit, a common bias circuit that supplies power to the gate terminals of a plurality of transistors may be applied. When a common bias circuit is applied, the drain terminals of the plurality of cascade-connected transistors and the gate terminals of the same transistor are connected to each other by the common bias circuit.

このため、増幅回路が低温で動作する場合や、増幅回路の出力負荷が変動する場合において、縦続接続された複数のトランジスタのぞれぞれの出力電力が、共通のバイアス回路を経由して、同じトランジスタのゲート端子に再入力されることがある。この場合、そのトランジスタ及び共通のバイアス回路を含むループで、発振が生じる。   For this reason, when the amplifier circuit operates at a low temperature or when the output load of the amplifier circuit fluctuates, the output power of each of the plurality of cascade-connected transistors passes through a common bias circuit, It may be re-input to the gate terminal of the same transistor. In this case, oscillation occurs in a loop including the transistor and a common bias circuit.

このような発振、耐圧劣化、及びインピーダンスの不整合といった増幅回路で生じる問題は、抵抗やキャパシタを使用して防止が図られている(例えば、特許文献1、2)。そして、発振を防止するためには、バイパスキャパシタ等の電子部品を多数使用する必要があった。   Problems occurring in the amplifier circuit such as oscillation, breakdown voltage degradation, and impedance mismatch are prevented by using resistors and capacitors (for example, Patent Documents 1 and 2). In order to prevent oscillation, it is necessary to use a large number of electronic components such as bypass capacitors.

また、負帰還回路を有する増幅回路でも、負帰還回路を構成する抵抗等の電子部品を多数使用する必要があった。   Further, even in an amplifier circuit having a negative feedback circuit, it is necessary to use a large number of electronic components such as resistors that constitute the negative feedback circuit.

特開昭60−229359号公報JP-A-60-229359 特開2001−250948号公報JP 2001-250948 A

以上のように、増幅回路において発振を防止する場合や負帰還回路を構成する場合には、多数の電子部品を使用する必要があった。この結果、増幅回路が大型化する問題が生じていた。   As described above, when preventing oscillation in the amplifier circuit or configuring a negative feedback circuit, it is necessary to use a large number of electronic components. As a result, there has been a problem that the amplifier circuit becomes large.

本発明は、この課題を解決するためになされ、増幅回路を小型化できる半導体装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve this problem, and an object of the present invention is to provide a semiconductor device that can reduce the size of an amplifier circuit.

第1の発明に係る半導体装置は、第1の信号入力端子、第1の信号出力端子及び第1の接地端子を有する第1のトランジスタと、第1の給電端子と、前記第1の給電端子と前記第1の信号入力端子の間に接続された第1の抵抗と、前記第1の給電端子と接地点の間に接続された第1のキャパシタと、を備え、前記第1のトランジスタ、前記第1の給電端子、前記第1の抵抗、及び前記第1のキャパシタは、同一のチップに設けられたことを特徴とするものである。   A semiconductor device according to a first aspect of the present invention includes a first transistor having a first signal input terminal, a first signal output terminal, and a first ground terminal, a first power supply terminal, and the first power supply terminal. And a first resistor connected between the first signal input terminal and a first capacitor connected between the first power supply terminal and a ground point, the first transistor, The first power supply terminal, the first resistor, and the first capacitor are provided on the same chip.

第2の発明に係る半導体装置は、信号入力端子、信号出力端子及び接地端子を有するトランジスタと、前記信号出力端子に接続された抵抗と、前記抵抗と前記信号入力端子の間に接続されたキャパシタと、を備え、前記トランジスタ、前記抵抗、及び前記キャパシタは、同一のチップに設けられたことを特徴とするものである。   A semiconductor device according to a second aspect of the present invention includes a transistor having a signal input terminal, a signal output terminal, and a ground terminal, a resistor connected to the signal output terminal, and a capacitor connected between the resistor and the signal input terminal The transistor, the resistor, and the capacitor are provided on the same chip.

本発明により、増幅回路を小型化できる。   According to the present invention, the amplifier circuit can be reduced in size.

実施の形態1に係る2段構成の増幅回路の全体を示す図である。1 is a diagram illustrating an entire two-stage amplifier circuit according to a first embodiment. FIG. 実施の形態1に係る第1の半導体チップの回路を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a circuit of a first semiconductor chip according to the first embodiment. 実施の形態1に係る第1の半導体チップの上面図である。4 is a top view of the first semiconductor chip according to the first embodiment. FIG. 実施の形態1に係る第2の半導体チップの回路を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a circuit of a second semiconductor chip according to the first embodiment. 第1の比較例に係る2段構成の増幅回路の全体を示す図である。It is a figure which shows the whole 2 step | paragraph structure amplifier circuit which concerns on a 1st comparative example. 第1の比較例に係る半導体チップの回路を示す図である。It is a figure which shows the circuit of the semiconductor chip which concerns on a 1st comparative example. 第1の比較例に係る半導体チップの上面図である。It is a top view of the semiconductor chip concerning the 1st comparative example. 実施の形態2に係る増幅回路の全体を示す図であるFIG. 6 is a diagram illustrating an entire amplifier circuit according to a second embodiment. 実施の形態2に係る第4の半導体チップの回路を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a circuit of a fourth semiconductor chip according to the second embodiment. 実施の形態2に係る第4の半導体チップの上面図である。FIG. 10 is a top view of a fourth semiconductor chip according to the second embodiment. 第2の比較例に係る増幅回路の全体を示す図である。It is a figure which shows the whole amplifier circuit which concerns on a 2nd comparative example. 実施の形態3に係る第6の半導体チップの回路を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a circuit of a sixth semiconductor chip according to the third embodiment. 実施の形態3に係る第6の半導体チップの上面図である。FIG. 10 is a top view of a sixth semiconductor chip according to the third embodiment.

実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係る2段構成の増幅回路の全体を示す図である。増幅回路10は、第1の半導体チップ12及び第2の半導体チップ14を含む。第1の半導体チップ12及び第2の半導体チップ14は縦続接続されている。増幅回路の入力端子16に入力された高周波信号は、第1の半導体チップ12に入力され増幅される。その後、高周波信号は第2の半導体チップ14に入力され、更に増幅された後、増幅回路の出力端子18から出力される。そして、出力された高周波信号はアンテナ(図示せず)に送信される。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a diagram showing the entire two-stage amplifier circuit according to the first embodiment. The amplifier circuit 10 includes a first semiconductor chip 12 and a second semiconductor chip 14. The first semiconductor chip 12 and the second semiconductor chip 14 are connected in cascade. The high frequency signal input to the input terminal 16 of the amplifier circuit is input to the first semiconductor chip 12 and amplified. Thereafter, the high frequency signal is input to the second semiconductor chip 14, further amplified, and then output from the output terminal 18 of the amplifier circuit. The output high frequency signal is transmitted to an antenna (not shown).

高周波信号を増幅する際には、第1の半導体チップ12及び第2の半導体チップ14に、ゲートバイアス端子(第2の給電端子)20から共通のゲートバイアス回路22を介してゲートバイアスが印加され、ドレインバイアス端子24から共通のドレインバイアス回路26を介してドレインバイアスが印加される。 When a high-frequency signal is amplified, a gate bias is applied to the first semiconductor chip 12 and the second semiconductor chip 14 from a gate bias terminal (second power supply terminal) 20 via a common gate bias circuit 22. The drain bias is applied from the drain bias terminal 24 through the common drain bias circuit 26.

図2は、実施の形態1に係る第1の半導体チップの回路を示す図である。図3は、実施の形態1に係る第1の半導体チップの上面図である。図4は、実施の形態1に係る第2の半導体チップの回路を示す図である。   FIG. 2 is a diagram showing a circuit of the first semiconductor chip according to the first embodiment. FIG. 3 is a top view of the first semiconductor chip according to the first embodiment. FIG. 4 is a diagram showing a circuit of the second semiconductor chip according to the first embodiment.

第1の半導体チップ12には、MOSFET28、信号入力端子30、信号出力端子32、及び接地端子34が設けられている。更に、第1の半導体チップ12には、給電端子(第1の給電端子)36、抵抗(第1の抵抗)38、キャパシタ(第1のキャパシタ)40、及びダイオード42が設けられている。抵抗38は、ポロシリコンやタングステン等のシリサイドから構成される。また、MOSFET28は、FET能動部44、ゲート端子46、ドレイン端子48、及び接地されたソース端子50を含む。   The first semiconductor chip 12 is provided with a MOSFET 28, a signal input terminal 30, a signal output terminal 32, and a ground terminal 34. Further, the first semiconductor chip 12 is provided with a power supply terminal (first power supply terminal) 36, a resistor (first resistor) 38, a capacitor (first capacitor) 40, and a diode 42. The resistor 38 is made of a silicide such as polysilicon or tungsten. The MOSFET 28 includes an FET active part 44, a gate terminal 46, a drain terminal 48, and a grounded source terminal 50.

第1の半導体チップ12には、信号入力端子30を介して高周波信号が入力される。そして、第1の半導体チップ12には、給電端子36を介してゲートバイアスが印加される。これにより、MOSFET28のゲート端子46に、高周波信号が入力され、ゲートバイアスが印加される。また、第1の半導体チップ12には、信号出力端子32を介してドレインバイアスが印加される。これにより、MOSFET28のドレイン端子48に、ドレインバイアスが印加される。この結果、高周波信号はFET能動部44で増幅される。増幅された高周波信号は、MOSFET28のドレイン端子48から出力された後、信号出力端子32から出力される。   A high frequency signal is input to the first semiconductor chip 12 via the signal input terminal 30. A gate bias is applied to the first semiconductor chip 12 through the power supply terminal 36. As a result, a high frequency signal is input to the gate terminal 46 of the MOSFET 28 and a gate bias is applied. A drain bias is applied to the first semiconductor chip 12 via the signal output terminal 32. As a result, a drain bias is applied to the drain terminal 48 of the MOSFET 28. As a result, the high frequency signal is amplified by the FET active unit 44. The amplified high frequency signal is output from the drain terminal 48 of the MOSFET 28 and then output from the signal output terminal 32.

抵抗38は、給電端子36とゲート端子46の間に接続されている。キャパシタ40は、給電端子36と接地端子34の間に接続されている。ダイオード42は2つ設けられている。一方は、MOSFET28の絶縁破壊を防止するため、信号入力端子30と接地端子34の間に接続されている。他方は、キャパシタ40のSiO等の絶縁破壊を防止するため、給電端子36と接地端子34の間に接続されている。 The resistor 38 is connected between the power supply terminal 36 and the gate terminal 46. The capacitor 40 is connected between the power supply terminal 36 and the ground terminal 34. Two diodes 42 are provided. One is connected between the signal input terminal 30 and the ground terminal 34 in order to prevent the breakdown of the MOSFET 28. The other is connected between the power supply terminal 36 and the ground terminal 34 in order to prevent dielectric breakdown of the capacitor 40 such as SiO 2 .

第2の半導体チップ14には、MOSFET28、信号入力端子30、信号出力端子32、接地端子34、及びダイオード42が設けられている。第2の半導体チップ14のダイオード42は、MOSFET28の絶縁破壊を防止するため、信号入力端子30と接地端子34の間に接続されている。   The second semiconductor chip 14 is provided with a MOSFET 28, a signal input terminal 30, a signal output terminal 32, a ground terminal 34, and a diode 42. The diode 42 of the second semiconductor chip 14 is connected between the signal input terminal 30 and the ground terminal 34 in order to prevent the breakdown of the MOSFET 28.

第2の半導体チップ14のMOSFET28のゲート端子46は、第1の半導体チップ12のMOSFET28のドレイン端子48に接続されている。また、第1の半導体チップ12の給電端子36、及び第2の半導体チップ14のMOSFET28のゲート端子46は、ゲートバイアス端子(第2の給電端子)20に接続されている。そして、第1の半導体チップ12の給電端子36、及び第2の半導体チップ14のMOSFET28のゲート端子46は、互いに接続されている。更に、第1の半導体チップ12のMOSFET28のドレイン端子48、及び第2の半導体チップ14のMOSFET28のドレイン端子48は、共通のドレインバイアス端子24に接続されている。   The gate terminal 46 of the MOSFET 28 of the second semiconductor chip 14 is connected to the drain terminal 48 of the MOSFET 28 of the first semiconductor chip 12. The power supply terminal 36 of the first semiconductor chip 12 and the gate terminal 46 of the MOSFET 28 of the second semiconductor chip 14 are connected to the gate bias terminal (second power supply terminal) 20. The power supply terminal 36 of the first semiconductor chip 12 and the gate terminal 46 of the MOSFET 28 of the second semiconductor chip 14 are connected to each other. Further, the drain terminal 48 of the MOSFET 28 of the first semiconductor chip 12 and the drain terminal 48 of the MOSFET 28 of the second semiconductor chip 14 are connected to the common drain bias terminal 24.

以下に、効果について第1の比較例と比較しながら説明する。図5は、第1の比較例に係る2段構成の増幅回路の全体を示す図である。図6は、第1の比較例に係る半導体チップの回路を示す図である。図7は、第1の比較例に係る半導体チップの上面図である。   The effects will be described below in comparison with the first comparative example. FIG. 5 is a diagram showing the entire two-stage amplifier circuit according to the first comparative example. FIG. 6 is a diagram illustrating a circuit of a semiconductor chip according to the first comparative example. FIG. 7 is a top view of the semiconductor chip according to the first comparative example.

第1の比較例の増幅回路54は、第1の半導体チップ12の代わりに、第3の半導体チップ56を有する。第3の半導体チップ56には、第1の半導体チップ12とは異なり、給電端子36、抵抗38、及びキャパシタ40が設けられていない。また、第1の比較例の増幅回路54は、第3の半導体チップ56の外側に、電圧減衰用の抵抗部品60及び高周波信号短絡用のキャパシタ部品62を有する。   The amplifier circuit 54 of the first comparative example includes a third semiconductor chip 56 instead of the first semiconductor chip 12. Unlike the first semiconductor chip 12, the third semiconductor chip 56 is not provided with the power supply terminal 36, the resistor 38, and the capacitor 40. In addition, the amplifier circuit 54 of the first comparative example includes a resistance component 60 for voltage attenuation and a capacitor component 62 for short-circuiting the high-frequency signal outside the third semiconductor chip 56.

第1の比較例の増幅回路54では、第3の半導体チップ56のMOSFET28により増幅された高周波電力は、通常、第2の半導体チップ14のMOSFET28によって更に増幅される。ところが、課題で述べたように、第3の半導体チップ56のMOSFET28により増幅された高周波電力が、ゲートバイアス回路22を経由して、第3の半導体チップ56のMOSFET28のゲート端子46に再入力され、発振が生じる恐れがある。そこで、発振を電圧減衰用の抵抗部品60及び高周波信号短絡用のキャパシタ部品62によって、発振を防止している。従って、電圧減衰用の抵抗部品60及び高周波信号短絡用のキャパシタ部品62が、第3の半導体チップ56とは別に必要となる。   In the amplifier circuit 54 of the first comparative example, the high frequency power amplified by the MOSFET 28 of the third semiconductor chip 56 is normally further amplified by the MOSFET 28 of the second semiconductor chip 14. However, as described in the problem, the high frequency power amplified by the MOSFET 28 of the third semiconductor chip 56 is re-input to the gate terminal 46 of the MOSFET 28 of the third semiconductor chip 56 via the gate bias circuit 22. Oscillation may occur. Therefore, the oscillation is prevented by the resistance component 60 for voltage attenuation and the capacitor component 62 for short-circuiting the high frequency signal. Therefore, the resistance component 60 for voltage attenuation and the capacitor component 62 for short-circuiting the high frequency signal are required separately from the third semiconductor chip 56.

一方、実施の形態1に係る増幅回路10でも、第1の半導体チップ12のMOSFET28により増幅された高周波電力が、ゲートバイアス回路22を経由して、第1の半導体チップ12のMOSFET28のゲート端子46に再入力され、発振が生じる恐れがある。そこで、上述の通り、給電端子36、抵抗38、及びキャパシタ40を、MOSFET28とともに第1の半導体チップ12に設けた。   On the other hand, also in the amplifier circuit 10 according to the first embodiment, the high frequency power amplified by the MOSFET 28 of the first semiconductor chip 12 passes through the gate bias circuit 22 and the gate terminal 46 of the MOSFET 28 of the first semiconductor chip 12. May be re-input to cause oscillation. Therefore, as described above, the power supply terminal 36, the resistor 38, and the capacitor 40 are provided in the first semiconductor chip 12 together with the MOSFET 28.

これにより、第1の半導体チップ12のMOSFET28で増幅された高周波電力がゲートバイアス回路22を経由して第1の半導体チップ12に戻った場合、その高周波電力は第1の半導体チップ12に給電端子36を介して入力される。そして、入力された高周波電力の電圧成分は抵抗38によって減衰され、その高周波成分はキャパシタ40によって短絡される。このため、第1の半導体チップ12のMOSFET28で増幅された高周波電力が、第1の半導体チップ12のMOSFET28のゲート端子46に再入力されるのを防止できる。   Thereby, when the high frequency power amplified by the MOSFET 28 of the first semiconductor chip 12 returns to the first semiconductor chip 12 via the gate bias circuit 22, the high frequency power is supplied to the first semiconductor chip 12 as a power supply terminal. 36 is input. The voltage component of the input high frequency power is attenuated by the resistor 38, and the high frequency component is short-circuited by the capacitor 40. For this reason, it is possible to prevent the high frequency power amplified by the MOSFET 28 of the first semiconductor chip 12 from being re-input to the gate terminal 46 of the MOSFET 28 of the first semiconductor chip 12.

また、第1の比較例とは異なり、電圧減衰用の抵抗部品60及び高周波信号短絡用のキャパシタ部品62を用いない。このため、増幅回路に用いる部品件数を削減して、回路面積を縮小できる。従って、発振を防止するとともに、増幅回路を小型化できる。   Further, unlike the first comparative example, the voltage attenuation resistance component 60 and the high frequency signal short circuit capacitor component 62 are not used. For this reason, the number of parts used in the amplifier circuit can be reduced, and the circuit area can be reduced. Therefore, oscillation can be prevented and the amplifier circuit can be downsized.

更に、第1の比較例に係る電圧減衰用の抵抗部品60及び高周波信号短絡用のキャパシタ部品62と比較して、それらと同じ役割を担う抵抗38及びキャパシタ40は、第1の半導体チップ12のMOSFET28のゲート端子46のより近くに設けられている。従って、ゲートバイアス端子20に接続された電圧源(図示せず)他、増幅回路10のあらゆる箇所で発生するノイズが、第1の半導体チップ12のMOSFET28のゲート端子46に入力されるのを、より効果的に防止できる。   Further, the resistor 38 and the capacitor 40 having the same role as those of the voltage attenuation resistor component 60 and the high frequency signal short-circuit capacitor component 62 according to the first comparative example are the same as those of the first semiconductor chip 12. It is provided closer to the gate terminal 46 of the MOSFET 28. Therefore, noise generated at every location of the amplifier circuit 10 as well as a voltage source (not shown) connected to the gate bias terminal 20 is input to the gate terminal 46 of the MOSFET 28 of the first semiconductor chip 12. It can be prevented more effectively.

なお、MOSFET28の代わりに、バイポーラ型トランジスタ、又は接合型トランジスタを適用しても構わない。同様の効果が得られる。   In place of the MOSFET 28, a bipolar transistor or a junction transistor may be applied. Similar effects can be obtained.

また、MOSFET28は半導体基板にシリコンを用いたものであったが、代わりに適用されるバイポーラ型トランジスタ及び接合型トランジスタは、GaAs、InGaP、AlGaAsの化合物半導体基板を用いたもので構わない。いずれの場合も、同様の効果が得られる。   The MOSFET 28 uses silicon for the semiconductor substrate, but the bipolar transistor and the junction transistor applied instead may be those using a compound semiconductor substrate of GaAs, InGaP, or AlGaAs. In either case, the same effect can be obtained.

実施の形態2.
図8は、実施の形態2に係る増幅回路の全体を示す図である。増幅回路64は、第4の半導体チップ66を含む。増幅回路の入力端子16に入力された高周波信号は、第4の半導体チップ66に入力され増幅される。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 8 is a diagram illustrating the entire amplifier circuit according to the second embodiment. The amplifier circuit 64 includes a fourth semiconductor chip 66. The high frequency signal input to the input terminal 16 of the amplifier circuit is input to the fourth semiconductor chip 66 and amplified.

図9は、実施の形態2に係る第4の半導体チップの回路を示す図である。図10は、実施の形態2に係る第4の半導体チップの上面図である。第4の半導体チップ66には、MOSFET28、信号入力端子30、信号出力端子32、及び接地端子34が設けられている。第4の半導体チップ66には、更に、抵抗70、キャパシタ72、及びダイオード42が設けられている。   FIG. 9 is a diagram illustrating a circuit of a fourth semiconductor chip according to the second embodiment. FIG. 10 is a top view of the fourth semiconductor chip according to the second embodiment. The fourth semiconductor chip 66 is provided with a MOSFET 28, a signal input terminal 30, a signal output terminal 32, and a ground terminal 34. The fourth semiconductor chip 66 is further provided with a resistor 70, a capacitor 72, and a diode 42.

抵抗70は、信号出力端子32に接続されている。キャパシタ72は抵抗70と信号入力端子30の間に接続されている。ダイオード42は2つ設けられている。一方は、MOSFET28の絶縁破壊を防止するため、信号入力端子30と接地端子34の間に接続されている。他方は、キャパシタ72のSiO等の絶縁破壊を防止するため、信号出力端子32と接地端子34の間に接続されている。 The resistor 70 is connected to the signal output terminal 32. The capacitor 72 is connected between the resistor 70 and the signal input terminal 30. Two diodes 42 are provided. One is connected between the signal input terminal 30 and the ground terminal 34 in order to prevent the breakdown of the MOSFET 28. The other is connected between the signal output terminal 32 and the ground terminal 34 in order to prevent dielectric breakdown of the capacitor 72 such as SiO 2 .

そして、ドレイン端子48が抵抗70及びキャパシタ72を介してゲート端子46に接続することで、負帰還回路が形成されている。これにより、MOSFET28で増幅され、ドレイン端子48から出力された高周波電力は、抵抗70及びキャパシタ72を経由して、ゲート端子46に再入力される。   The drain terminal 48 is connected to the gate terminal 46 through the resistor 70 and the capacitor 72, thereby forming a negative feedback circuit. As a result, the high frequency power amplified by the MOSFET 28 and output from the drain terminal 48 is input again to the gate terminal 46 via the resistor 70 and the capacitor 72.

以下に、効果について第2の比較例と比較しながら説明する。図11は、第2の比較例に係る増幅回路の全体を示す図である。第2の比較例に係る増幅回路74では、ドレイン端子48が、第5の半導体チップ76の外側の抵抗部品78及びキャパシタ部品80を介してゲート端子46に接続することで、負帰還回路が形成されている。従って、抵抗部品78及びキャパシタ部品80が、第5の半導体チップ76とは別に必要となる。   The effects will be described below in comparison with the second comparative example. FIG. 11 is a diagram illustrating an entire amplifier circuit according to a second comparative example. In the amplifier circuit 74 according to the second comparative example, the drain terminal 48 is connected to the gate terminal 46 via the resistor component 78 and the capacitor component 80 outside the fifth semiconductor chip 76, thereby forming a negative feedback circuit. Has been. Therefore, the resistor component 78 and the capacitor component 80 are required separately from the fifth semiconductor chip 76.

一方、実施の形態2では、第2の比較例とは異なり、負帰還回路を形成するために、第4の半導体チップ66の外側の抵抗部品及びキャパシタ部品を用いなくてもよい。このため、負帰還回路を形成するとともに、増幅回路に用いる部品件数を削減して回路面積を縮小し、増幅回路を小型化できる。   On the other hand, in the second embodiment, unlike the second comparative example, it is not necessary to use the resistance component and the capacitor component outside the fourth semiconductor chip 66 in order to form the negative feedback circuit. For this reason, while forming a negative feedback circuit, the number of parts used for an amplifier circuit can be reduced, a circuit area can be reduced, and an amplifier circuit can be reduced in size.

実施の形態3.
図12は、実施の形態3に係る第6の半導体チップの回路を示す図である。図13は、実施の形態3に係る第6の半導体チップの上面図である。第6の半導体チップ82の回路は、上述した第1の半導体チップ12の回路に、上述した第4の半導体チップ66の回路を組み合わせた回路である。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 12 is a diagram illustrating a circuit of a sixth semiconductor chip according to the third embodiment. FIG. 13 is a top view of the sixth semiconductor chip according to the third embodiment. The circuit of the sixth semiconductor chip 82 is a circuit in which the circuit of the fourth semiconductor chip 66 described above is combined with the circuit of the first semiconductor chip 12 described above.

第6の半導体チップ88には、MOSFET28、信号入力端子30、信号出力端子32、及び接地端子34が設けられている。また、第6の半導体チップ88には、第1の半導体チップ12と同様に、給電端子(第1の給電端子)36、抵抗(第1の抵抗)38、及びキャパシタ(第1のキャパシタ)40が設けられている。更に、第6の半導体チップ88には、第4の半導体チップ66と同様に、抵抗(第2の抵抗)70、及びキャパシタ(第2のキャパシタ)72が設けられている。   The sixth semiconductor chip 88 is provided with a MOSFET 28, a signal input terminal 30, a signal output terminal 32, and a ground terminal 34. Similarly to the first semiconductor chip 12, the sixth semiconductor chip 88 includes a power supply terminal (first power supply terminal) 36, a resistor (first resistor) 38, and a capacitor (first capacitor) 40. Is provided. Further, the sixth semiconductor chip 88 is provided with a resistor (second resistor) 70 and a capacitor (second capacitor) 72, similarly to the fourth semiconductor chip 66.

従って、発振を防止するために、半導体チップの外側の電圧減衰用の抵抗部品及び高周波信号短絡用のキャパシタ部品を用いなくてもよい。このため、発振を防止するとともに、増幅回路を小型化できる。また、負帰還回路を形成するために、半導体チップの外側の抵抗部品及びキャパシタ部品を用いなくてもよい。このため、負帰還回路を形成するとともに、増幅回路を小型化できる。   Therefore, in order to prevent oscillation, it is not necessary to use a resistance component for voltage attenuation outside the semiconductor chip and a capacitor component for short-circuiting the high frequency signal. Therefore, oscillation can be prevented and the amplifier circuit can be miniaturized. Further, it is not necessary to use a resistor component and a capacitor component outside the semiconductor chip in order to form the negative feedback circuit. For this reason, while forming a negative feedback circuit, an amplifier circuit can be reduced in size.

12 第1の半導体チップ
14 第2の半導体チップ
20 ゲートバイアス端子(第2の給電端子)
28 MOSFET
30 信号入力端子
32 信号出力端子
34 接地端子
36 給電端子(第1の給電端子)
38 抵抗(第1の抵抗)
40 キャパシタ(第1のキャパシタ)
42 ダイオード
56 第3の半導体チップ
60 電圧減衰用の抵抗部品60及び
62 高周波信号短絡用のキャパシタ部品
66 第4の半導体チップ
70 抵抗(第2の抵抗)
72 キャパシタ(第2のキャパシタ)
78 抵抗部品
80 キャパシタ部品
12 First semiconductor chip 14 Second semiconductor chip 20 Gate bias terminal (second power supply terminal)
28 MOSFET
30 Signal input terminal 32 Signal output terminal 34 Ground terminal 36 Power supply terminal (first power supply terminal)
38 Resistance (first resistance)
40 capacitor (first capacitor)
42 Diode 56 Third semiconductor chip 60 Voltage-damping resistor parts 60 and 62 High-frequency signal short-circuit capacitor part 66 Fourth semiconductor chip 70 Resistor (second resistor)
72 capacitor (second capacitor)
78 Resistor parts 80 Capacitor parts

Claims (4)

第1の信号入力端子、第1の信号出力端子及び第1の接地端子を有する第1のトランジスタと、
第1の給電端子と、
前記第1の給電端子と前記第1の信号入力端子の間に接続された第1の抵抗と、
前記第1の給電端子と接地点の間に接続された第1のキャパシタと、を備え、
前記第1のトランジスタ、前記第1の給電端子、前記第1の抵抗、及び前記第1のキャパシタは、同一のチップに設けられたことを特徴とする半導体装置。
A first transistor having a first signal input terminal, a first signal output terminal, and a first ground terminal;
A first power supply terminal;
A first resistor connected between the first power supply terminal and the first signal input terminal;
A first capacitor connected between the first power supply terminal and a ground point;
The semiconductor device, wherein the first transistor, the first power supply terminal, the first resistor, and the first capacitor are provided on the same chip.
前記第1の信号出力端子と接続された第2の信号入力端子、第2の信号出力端子及び第2の接地端子を有する第2のトランジスタと、
前記第1の給電端子及び前記第2の信号入力端子に接続された第2の給電端子と、
を更に備え、
前記第1の給電端子及び前記第2の信号入力端子は、接続されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
A second transistor having a second signal input terminal connected to the first signal output terminal, a second signal output terminal, and a second ground terminal;
A second power supply terminal connected to the first power supply terminal and the second signal input terminal;
Further comprising
The semiconductor device according to claim 1, wherein the first power supply terminal and the second signal input terminal are connected.
前記第1の信号出力端子に接続された第2の抵抗と、
前記第2の抵抗と前記第1の信号入力端子の間に接続された第2のキャパシタと、
を更に備え、
前記第1のトランジスタ、前記第1の給電端子、前記第1の抵抗、前記第1のキャパシタ、前記第2の抵抗、及び前記第2のキャパシタは、同一のチップに設けられたことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
A second resistor connected to the first signal output terminal;
A second capacitor connected between the second resistor and the first signal input terminal;
Further comprising
The first transistor, the first power supply terminal, the first resistor, the first capacitor, the second resistor, and the second capacitor are provided on the same chip. The semiconductor device according to claim 1 or 2.
信号入力端子、信号出力端子及び接地端子を有するトランジスタと、
前記信号出力端子に接続された抵抗と、
前記抵抗と前記信号入力端子の間に接続されたキャパシタと、を備え、
前記トランジスタ、前記抵抗、及び前記キャパシタは、同一のチップに設けられたことを特徴とする半導体装置。
A transistor having a signal input terminal, a signal output terminal and a ground terminal;
A resistor connected to the signal output terminal;
A capacitor connected between the resistor and the signal input terminal,
The semiconductor device, wherein the transistor, the resistor, and the capacitor are provided on the same chip.
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