JP2010540966A - ミクロ孔質ポリマーを含む有機化学センサー、及び使用方法 - Google Patents
ミクロ孔質ポリマーを含む有機化学センサー、及び使用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010540966A JP2010540966A JP2010528029A JP2010528029A JP2010540966A JP 2010540966 A JP2010540966 A JP 2010540966A JP 2010528029 A JP2010528029 A JP 2010528029A JP 2010528029 A JP2010528029 A JP 2010528029A JP 2010540966 A JP2010540966 A JP 2010540966A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensing element
- electrode
- analyte
- sample
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 37
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims abstract description 158
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims abstract description 44
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 21
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 8
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 6
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 claims description 4
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 claims 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 231
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 199
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 162
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 105
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 102
- 239000000463 material Substances 0.000 description 78
- 239000013316 polymer of intrinsic microporosity Substances 0.000 description 52
- 101000595531 Homo sapiens Serine/threonine-protein kinase pim-1 Proteins 0.000 description 45
- 102100036077 Serine/threonine-protein kinase pim-1 Human genes 0.000 description 45
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 33
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 28
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 25
- 230000006870 function Effects 0.000 description 23
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 23
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 21
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 20
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 18
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 14
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 13
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 12
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 11
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 241000894007 species Species 0.000 description 10
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 8
- POFMQEVZKZVAPQ-UHFFFAOYSA-N 1,1,1',1'-tetramethyl-3,3'-spirobi[2h-indene]-5,5',6,6'-tetrol Chemical compound C12=CC(O)=C(O)C=C2C(C)(C)CC11C2=CC(O)=C(O)C=C2C(C)(C)C1 POFMQEVZKZVAPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 101001064870 Homo sapiens Lon protease homolog, mitochondrial Proteins 0.000 description 6
- 101001001648 Homo sapiens Serine/threonine-protein kinase pim-2 Proteins 0.000 description 6
- 102100036120 Serine/threonine-protein kinase pim-2 Human genes 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 5
- 150000002829 nitrogen Chemical class 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PCRSJGWFEMHHEW-UHFFFAOYSA-N 2,3,5,6-tetrafluorobenzene-1,4-dicarbonitrile Chemical compound FC1=C(F)C(C#N)=C(F)C(F)=C1C#N PCRSJGWFEMHHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 4
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012265 solid product Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000012229 microporous material Substances 0.000 description 3
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 3
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 3
- ZJOYYHWPKFVJSP-STQMWFEESA-N (2s)-1-(2,2-dimethylpropanoyl)-n-[(2s)-2-[methyl(propan-2-yl)amino]propanoyl]pyrrolidine-2-carboxamide Chemical compound CC(C)N(C)[C@@H](C)C(=O)NC(=O)[C@@H]1CCCN1C(=O)C(C)(C)C ZJOYYHWPKFVJSP-STQMWFEESA-N 0.000 description 2
- ICSNLGPSRYBMBD-UHFFFAOYSA-N 2-aminopyridine Chemical compound NC1=CC=CC=N1 ICSNLGPSRYBMBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000870659 Crassula perfoliata var. minor Species 0.000 description 2
- 101001001645 Homo sapiens Serine/threonine-protein kinase pim-3 Proteins 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 108010020829 N-pivaloylprolyl-N-methyl-N'-isopropylalaninamide Proteins 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 102100036119 Serine/threonine-protein kinase pim-3 Human genes 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 2
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 2
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- -1 fluorocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000004816 latex Substances 0.000 description 2
- 229920000126 latex Polymers 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 2
- QJAOYSPHSNGHNC-UHFFFAOYSA-N octadecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCS QJAOYSPHSNGHNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 description 2
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 2
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N thiourea Chemical compound NC(N)=S UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940093475 2-ethoxyethanol Drugs 0.000 description 1
- 241000270728 Alligator Species 0.000 description 1
- 239000004971 Cross linker Substances 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Natural products NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101001001642 Xenopus laevis Serine/threonine-protein kinase pim-3 Proteins 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- WXNOJTUTEXAZLD-UHFFFAOYSA-L benzonitrile;dichloropalladium Chemical compound Cl[Pd]Cl.N#CC1=CC=CC=C1.N#CC1=CC=CC=C1 WXNOJTUTEXAZLD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- QGJOPFRUJISHPQ-NJFSPNSNSA-N carbon disulfide-14c Chemical compound S=[14C]=S QGJOPFRUJISHPQ-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 150000001913 cyanates Chemical class 0.000 description 1
- 150000001924 cycloalkanes Chemical class 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 1
- 239000013315 hypercross-linked polymer Substances 0.000 description 1
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000002198 insoluble material Substances 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012982 microporous membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000569 multi-angle light scattering Methods 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- LYGJENNIWJXYER-UHFFFAOYSA-N nitromethane Chemical compound C[N+]([O-])=O LYGJENNIWJXYER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/28—Electrolytic cell components
- G01N27/30—Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/221—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance by investigating the dielectric properties
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Description
図1、図2に関連して、本明細書では、少なくとも、第1電極20/120及び第2電極30/130に近接する検体応答性誘電体層10/110を含む感知素子1/101が開示される。これらの構成要素並びにその特徴及び特性、加えて他の任意の構成要素並びにその特徴及び特性が同じく説明される。これらの説明は、平行プレートコンデンサの一般的な構成に基づく代表的な感知素子を表す図1、並びに交互配置コンデンサの一般的な構成に基づく代表的な感知素子を表す図2、図2a、及び図3の双方を参照する。明確にするため、様々な構成要素が、異なる一般的な構成を表す図中において、異なる参照番号(一般的に、100ずつ増える)を付された。しかしながら、特に指定されない限り、様々な構成要素の構造、組成、及び特性が、任意の容量設計の感知素子に適用可能であり得ることが離解されるべきである。
検体応答性誘電体層10/110(用語「層」は、一般的に使用され、あらゆる物理的構成を包含する)は、検体応答性誘電体材料を少なくとも部分的に含む。これに関連して、「検体応答性誘電体材料」とは、有機化学検体を吸収することができ、有機検体を材料中に吸収した際に材料の一定の電気的特性の測定可能な変化を呈し得る材料を意味する。
一実施形態では、検体応答性絶縁体材料は、いわゆる「固有ミクロ孔質のポリマー」(以降、PIMsと称される)を含む材料の一群から選択される。このようなポリマーには、バド(Budd)らの「固有ミクロ孔質のポリマー(PIMs)、剛性がある、溶液処理可能な有機ミクロ孔質材料(Polymers of intrinsic microporosity(PIMs): robust, solution-processable, organic microporous materials)」Chem.Commun.、2004年、230〜231頁)、マコーエン(McKeown)ら(Chem.Eur.J.、2005年、第11巻、第9号、2610〜2620頁)、米国特許出願公開第2006/0246273号(マコーエン(McKeown)ら)及び国際公開第2005/012397(A2)号(マコーエン(McKeown)ら)に開示されたものが挙げられるが、これらに限定されない。
図1及び図2に関連し、第1電極20/120及び第2電極30/130は、任意の好適な導電性材料を含むことができる。十分な全体導電性がもたらされる限り(例えば、電極材料は約10−2オーム/メートルの一定抵抗率を含む)、異なる材料(導電性、及び/又は非導電性)の組み合わせが、異なる層又は混合物として使用され得る。第1電極及び/又は第2電極を作製するために使用され得る材料の例としては、有機材料、無機材料、金属、合金、及び様々な混合物、並びにこれらの材料のいずれか、又は全てを含む複合材料が挙げられるがこれらに限定されない。いくつかの実施形態では、コーティング(例えば、蒸気コーティング、スパッタコーティングなど)された金属、若しくは酸化金属、又はこれらの組み合わせが使用され得る。好適な導電性金属としては、例えば、アルミニウム、スズ、酸化インジウムスズ、金、銀、プラチナ、パラジウム、銅などが挙げられる。一実施形態では、両方の電極が同じ金属を含み、別の実施形態では、第1及び第2電極が異なる材料を含む。
一実施形態では、図1の断面図の代表的な方法に示される、平行プレートコンデンサの一般的な方法で構成される、感知素子1が製造され得る。このような構成では、感知素子は2つのほぼ平面的な、平行な、対向する電極を含み、検体応答性誘電体層が電極の間に存在して、2つの電極の間の直接的な電気的接触を防ぐ。
別の実施形態では、交互配置コンデンサの一般的な方法で構成される、感知素子が製造され得る。交互配置感知素子の代表的な実施形態が、図2の平面図、図2aの断面図(図2の「2a」と印を付けられた線に沿って取られた)、及び図3の斜視図に図示される。これに関連して、用語「交互配置の」は交互配置構成で存在する少なくとも2つの電極を含む、任意の構成を包含する。このような構成は、交互配置の櫛形パターン(図2、図2a、及び図3に表される)に加えて、当該技術分野において既知の交互配置の螺旋状、又はS字状パターンを含む。これらの設計は全て、(少なくとも)2つの電極が、電極の近位に存在する検体応答性誘電体層と、概して同一平面上の交互配置構成にあるように存在するという共通の特徴を有し、それによって、電極の間に電界が形成されたときに、層中に含まれる検体応答性誘電体材料が電界と相互作用することができる。検体応答性誘電体層/材料は、電極の間(即ち、2つの電極の平面内、及び第1及び第2電極の接近部の任意の2点の間の最も近い線状通路に介在する)に提供され得る。あるいは、検体応答性誘電体層/材料は、電極と同一平面上ではないが、検体応答性誘電体材料が、少なくとも、2つの電極の近接する区分の間に形成される周辺電界に曝露されるように提供され得る。更に別の代替的実施形態では、検体応答性誘電体層が、両方の位置に提供され得る。
検体応答性誘電体層によって十分な検体が吸収された際に、感知素子に関連する電気的特性(キャパシタンス、インピーダンス、アドミタンス、電流、又は抵抗などが挙げられるがこれらに限定されない)の検出可能な変化が生じ得る。このような検出可能な変化は、第1及び第2電極と電気的に導通する動作回路28/128によって検出され得る。これに関連して「動作回路」とは一般的に、第1電極及び第2電極に電圧を印加する(したがって、電極に電荷の差を付与する)、及び/又は感知素子の電気的特性(電気的特性は有機検体の存在に反応して変化し得る)を監視するために使用され得る電気装置を指す。様々な実施形態において、動作回路は、インダクタンス、キャパシタンス、電圧、抵抗、コンダクタンス、電流、インピーダンス、位相角、損失率、又は散逸のいずれか、又は組み合わせを監視してもよい。
例えば、本明細書において開示される感知素子は、有機検体(1つ又は複数)の存在を検出及び/又は監視(定性的であっても、定量的であっても)するために使用され得る。このような検体としては、炭化水素、フッ化炭素、アルカン類、シクロアルカン類、芳香族化合物類、アルコール類、エーテル類、エステル類、ケトン類、ハロカーボン類、アミン類、有機酸類、シアン酸類、ニトレート類、及び二トリル類、例えば、n−オクタン、シクロヘキサン、メチルエチルケトン、アセトン、エチルアセテート、二硫化炭素、四塩化炭素、ベンゼン、スチレン、トルエン、キシレン、メチルクロロホルム、テトラヒドロフラン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、t−ブチルアルコール、2−エトキシエタノール、酢酸、2−アミノピリジン、エチレングリコールモノメチルエーテル、トルエン−2,4−ジイソシアネート、ニトロメタン、及びアセトニトリルなどが挙げられるが、これらに限定されない。検体は、比較的無極性の有機分子、又は比較的極性の有機分子であり得る。検体はいわゆる蒸気、即ち、検体が経験している周囲条件の温度及び圧力において、固体又は液体を形成することができる分子である場合がある(例えば、トルエン、アセトン、ヘプタンなど)。検体はいわゆる気体、即ち、通常、周囲条件において液体又は固体を形成することができない分子である場合がある(ただし、このような分子は、上記の検体応答性誘電体材料の内部細孔中のより高密度の状態を更に含み得る)。このような気体は、メタン、エタンなどを含み得る。いくつかの環境において、有機検体分子の混合が検出され得る。
ゲル透過クロマトグラフィー(GPC)を用いて、様々な材料の分子量を測定した。各サンプルは、10mLのTHFを、およそ25mgの材料に加えることによって調製された。溶液は0.25マイクロメートル、テフロン(Teflon)シリンジフィルターを使用して濾過された。100マイクロリットルの溶液を、ウォーターズ(Waters)2695(商標)セパレーションモジュール(Separation Module)(ウォーターズ社(Waters Corp.)(マサチューセッツ州、ミルフォード(Milford)))と組み合わせたカラム6本セット(ジョルディ・アソシエーツ(Jordi Associates)混合床及び500A 25cm長さカラム、ジョルディ・アソシエーツ(Jordi Associates)社(マサチューセッツ州ベリングハム(Bellingham))に注入した。ウォーターズ(Waters)2695(商標)を、溶離液としてTHFを用い、流速1.0mL/分で、35℃にて作動させた。ワイアットドーンEOS型(Wyatt DAWN EOS)多角度レーザー光散乱検出器(カリフォルニア州、サンタバーバラ(Santa Barbara)のワイアット・テクノロジー(Wyatt Technology)社)と組み合わせた、島津サイエンティフィック(Shimadzu Scientific)RID−10A屈折率検出器(メリーランド州コロンビア(Columbia)の島津サイエンティフィック(Shimadzu Scientific)社)を用いて、濃度変化が検出された。分子量の計算は、ワイアット(Wyatt)社のアストラ(ASTRA)ソフトウェアを用いて、まず各サンプルのdn/dcを算出し、次にこの値を用いて分子量を算出することによって達成された。結果は、Mw(重量平均分子量)、及びMn(数平均分子量)として表現される。
PIM材料は、バド(Budd)ら「アドバンスト・マテリアルズ(Advanced Materials)」、2004年、第16巻、第5号、456〜459頁に報告される手順に一般的に従って、モノマー、5,5’,6,6’−テトラヒドロキシ−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビスインダン、及びテトラフルオロテレフタロニトリルから調製された。19.31グラムの5,5’,6,6’−テトラヒドロキシ−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビスインダンが、11.34グラムのテトラフルオロテレフタロニトリル、47.02gの炭酸カリウム、及び500ミリリットルのN,N−ジメチルホルムアミドと組み合わされ、混合物を65℃で48時間反応させた。得られたポリマーを、テトラヒドロフラン内に融解させ、メタノールから3回沈殿させ、次に室温の真空下で乾燥させた。光散乱検出を使用するゲル透過クロマトグラフィー分析によって決定した際に、およそ95,000の重量平均分子量、及びおよそ64,300の数平均分子量を有する黄色い固体生成物が得られた。
PIM材料は、PIM1に関して記載された、同じ一般的な手順に従って調製された。19.31グラムの5,5’,6,6’−テトラヒドロキシ−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビスインダンが、11.34gのテトラフルオロテレフタロニトリル、47.02gの炭酸カリウム、及び500ミリリットルのN,N−ジメチルホルムアミドと組み合わされ、混合物を65℃で48時間反応させた。得られたポリマーを、テトラヒドロフラン内に融解させ、メタノールから3回沈殿させ、次に室温の真空下で乾燥させた。光散乱検出を使用するゲル透過クロマトグラフィー分析によって決定した際に、およそ109,000の重量平均分子量、及びおよそ73,600の数平均分子量を有する黄色い固体生成物が得られた。
PIM材料は、PIM1に関して記載された、同じ一般的な手順に従って調製された。5.62グラムの5,5’,6,6’−テトラヒドロキシ−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビスインダンが、3.30gのテトラフルオロテレフタロニトリル、13.68gの炭酸カリウム、及び150ミリリットルのN,N−ジメチルホルムアミドと組み合わされ、混合物を65℃で62時間反応させた。得られたポリマーを、テトラヒドロフラン内に融解させ、メタノールから2回沈殿させ、次に室温の真空下で乾燥させた。光散乱検出を使用するゲル透過クロマトグラフィー分析によって決定した際に、およそ65,300の重量平均分子量、及びおよそ35,600の数平均分子量を有する黄色い固体生成物が得られた。
PIM材料は、PIM1に関して記載された同じ一般的な手順に従って調製されたが、ただし、再結晶させた5,5’,6,6’−テトラヒドロキシ−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビスインダンを使用した。重合における使用の前に、アルドリッチ(Aldrich)から購入した5,5’,6,6’−テトラヒドロキシ−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビスインダンをTHE/ヘプタン(1.2:1)から再結晶させた。33.44グラムの再結晶させた5,5’,6,6’−テトラヒドロキシ−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビスインダン、及び19.80gのテトラフルオロテレフタロニトリルを900mLの無水N,N−ジメチルホルムアミド内に溶解させた。窒素を、攪拌される溶液中で、1時間バブリングした。81.45グラムの炭酸カリウムをモノマー溶液に加えた。得られる混合物を、67℃で、67.5時間、激しく攪拌した。得られたポリマーを、テトラヒドロフラン内に融解させ、メタノールから2回沈殿させ、次に65℃の真空下で乾燥させた。光散乱検出を使用するゲル透過クロマトグラフィー分析によって決定した際に、およそ58,900の重量平均分子量、及びおよそ35,800の数平均分子量を有する黄色い固体生成物が得られた。
清浄化されたガラスの断片(2.5cm×2.5cm)が、1.3mPa(1×10−5トール)の基本圧力で動作するCHAインダストリーズ(CHA Industries)マーク−50蒸発器、及びA−2049号アルミニウムペレット(99.995%純度、6×6mm、セラック(Cerac)社から)を使用して、アルミニウムの連続的な(パターンを有さない)コーティングでコーティングされた。アルミニウムコーティングは、15オングストローム/秒の割合で堆積された。最終的な厚さは100nmであった。ダイヤモンドチップペンを使用して、一方の縁部からおよそ5mmでアルミニウム処理したガラスに切り目を入れた。切り目を入れたアルミニウム処理されたガラスの断片は、サンプルの縁部の周囲全体に、マスクされたアルミニウム表面の縁が存在するように、5cm×5cmのガラスの断片にテープで留められた。マスクされた領域が、切り目の線から更に2mmであるように注意が払われた。クロロベンゼンのPIM1、4重量%溶液が調製され、ペンシルベニア州ノースウェールズ(North Wales)の、ローレル・テクノロジーズ(Laurell Technologies)社によって製造される、WS−400B−8NPP−ライトシングルウエファース(Lite Single Wafer)ピンプロセッサを使用して、1200rpmで2分間にわたり、マスクされたサンプル上へとスピンコーティングされた。第2電極は、アドバンスト・ナノ・プロダクツ(Advanced Nano Products)社(韓国)から商標名シルバージェット(Silverjet)DGP−40LT−25Cから入手可能な、銀ナノ粒子懸濁液(メタノール中に懸濁され、30nm平均粒径)を使用して作製された。この受容されたままの懸濁液が0.5gの量で、1ミリリットルのメタノールと混合された。希釈された銀ナノ粒子懸濁液は、1000rpmで2分間、PIMフィルム上にスピンコーティングされた。マスクされたサンプルからテープが取り除かれ、サンプルは、従来的な乾燥炉で、150℃で3時間にわたって加熱された。予め作製されたマスクをサンプルに取り付けることにより、一連の1mm幅×4mm長さのアルミニウムタブが、サンプルの切り目の線に最も近い側に作製され、それによって、アルミニウムタブが、第2電極を下部アルミニウム電極に接続した。カート・レスカー真空システム内で、0.13mPa(1×10−6トール)の基本圧力で、アルミニウム蒸発が実行された。アルファ・エーザ(Alfa Aesar)から購入された純度99.999%のアルミニウムが、5オングストローム/秒の割合で、タングステンボートから熱的に蒸発された。最終的な厚さは100nmであった。この手順は、したがって、連続的なアルミニウムを含む第1電極を有するガラス(支持)層を提供し、これに動作回路を接触させることができる。PIM材料(およそ600nm厚さ)を含む検体応答性誘電体層が、アルミニウム誘電体の上にあった。微視的に非連続的な(したがって検体透過性の)銀層(およそ300nm厚さ)を含む第2電極が、PIM材料の上にあった。この第2電極は、アルミニウムタブによってより小さいアルミニウムコーティングされた領域と接触し、その結果、第2電極は、回路をより小さいアルミニウムコーティングされた領域に取り付けることによって動作回路に接続されることができた。
清浄化されたガラスの断片が、サンプル1について記載されたように、アルミニウムでコーティングされ、切り目を入れられ、PIM1でコーティングされた。マスクされたサンプルからテープが取り除かれ、サンプルが従来的な乾燥炉で、150℃で1時間にわたって加熱された。パターンを有する第2電極が、PIM材料の上にインクジェット印刷されて、このサンプルの作製を完了した。第2電極をインクジェット印刷するために、ビットマップイメージ(インチ当たり702ドット)が、アドビ・フォトショップ(Adobe Photoshop)内に作製され、次にXY堆積システム(XY deposition system)にダウンロードされた。銀を堆積するために使用されるプリントヘッドは、10pLの液滴容積、及び128ジェット/開口部を有するディマティックス(Dimatix)SX3−128プリントヘッドであり、プリントヘッドアセンブリはおよそ6.5cm長さであり、ジェットとジェットの間隔は約508マイクロメートルであった。この電極を作製するために使用される銀ナノ粒子ゾルは、カボット(Cabot)社から、商標名AG−IJ−G−100−S1で得られた。この銀ナノ粒子ゾルはおよそ15〜40重量%エタノール、15〜40重量%エチレングリコール、及び20重量%銀であった。サンプルは、多孔質アルミニウム真空プラテンの使用により、インクジェット印刷プロセスの間、しっかりと固定された。印刷を完成した際に、サンプルが多孔質アルミニウム真空プラテンから取り除かれ、サーモライン(Thermolyne)熱版上に125℃で15分間にわたって配置された。
交互配置電極変換器は、ポリイミド支持層(厚さおよそ52マイクロメートル)上に銅を蒸着(およそ43マイクロメートルの厚さ)することによって作製された。電極は、導電性リードに接続された、0.5cm×0.5cmの寸法の、交互配置櫛状パターンを含んだ。電極線は、およそ20マイクロメートルの幅、及びおよそ40マイクロメートルのピッチを有した。交互配置変換器は、変換器の2つの端部がテープで覆われ、テープの断片の1つが導電性リードを完全に覆うように、5cm×5cmのガラスの断片にテープで留められた。クロロベンゼン中のPIM1、4重量%溶液(上記のように調製される)が、マスクされたサンプル上に2500rpmで2分間にわたってスピンコーティングされた。テープがマスクされたサンプルから取り除かれた。この手続きはしたがって、第1及び第2の交互に配置された銅電極を有するポリイミド支持層を提供した。およそ400nm厚さのPIM材料を含む、検体応答性誘電体層が、交互配置電極の上にあった。
交互配置電極変換器が、ポリマー支持層に金を蒸着させることによって作製された。金は次に、導電性リードに接続される、1.2cm×1.0cmの寸法の交互配置櫛状パターンを含むように、フォトリソグラフ的に画定された。電極線はおよそ320マイクロメートルのピッチを有した。交互配置変換器は、変換器の2つの端部がテープで覆われ、テープの断片の1つが導電性リードを完全に覆うように、5cm×5cmのガラスの断片にテープで留められた。クロロベンゼン中のPIM2、4重量%溶液(上記のように調製される)が、マスクされたサンプル上に1200rpmで2分間にわたってスピンコーティングされた。マスクされたサンプルからテープが取り除かれ、サンプルが従来的な乾燥炉内で、100℃で1時間にわたって加熱された。この手順はしたがって、第1及び第2の交互に配置された金電極を有するポリマー支持層を提供した。およそ400nm厚さのPIM材料を含む、検体応答性誘電体層が、交互配置電極の上にあった。
交互配置電極変換器が、ポリマー支持層に金を蒸着させることによって作製された。金は次に、導電性リードに接続される、1.2cm×1.0cmの寸法の交互配置櫛状パターンを含むように、フォトリソグラフ的に画定された。電極線はおよそ120マイクロメートルのピッチを有した。交互配置変換器は、変換器の2つの端部がテープで覆われ、テープの断片の1つが導電性リードを完全に覆うように、5cm×5cmのガラスの断片にテープで留められた。クロロベンゼン中のPIM2、4重量%溶液(上記のように調製される)が、マスクされたサンプル上に1200rpmで2分間にわたってスピンコーティングされた。マスクされたサンプルからテープが取り除かれ、サンプルが従来的な乾燥炉内で、100℃で1時間にわたって加熱された。この手順はしたがって、第1及び第2の交互に配置された金電極を有するポリマー支持層を提供した。およそ400nm厚さのPIM材料を含む、検体応答性誘電体層が、交互配置電極の上にあった。
交互配置電極変換器が、ポリマー支持層に金を蒸着させることによって作製された。金は次に、導電性リードに接続される、1.2cm×1.0cmの寸法の交互配置櫛状パターンを含むように、フォトリソグラフ的に画定された。電極線はおよそ80マイクロメートルのピッチを有した。交互配置変換器は、変換器の2つの端部がテープで覆われ、テープの断片の1つが導電性リードを完全に覆うように、5cm×5cmのガラスの断片にテープで留められた。クロロベンゼン中のPIM2、4重量%溶液(上記のように調製される)は、マスクされたサンプル上に1200rpmで2分間にわたってスピンコーティングされた。マスクされたサンプルからテープが取り除かれ、サンプルが従来的な乾燥炉内で、100℃で1時間にわたって加熱された。この手順はしたがって、第1及び第2の交互に配置された金電極を有するポリマー支持層を提供した。およそ400nm厚さのPIM材料を含む、検体応答性誘電体層が、交互配置電極の上にあった。
交互配置電極変換器が、ポリマー支持層に金を蒸着させることによって作製された。金は次に、導電性リードに接続される、1.2cm×1.0cmの寸法の交互配置櫛状パターンを含むように、フォトリソグラフ的に画定された。電極線はおよそ40マイクロメートルのピッチを有した。交互配置変換器は、変換器の2つの端部がテープで覆われ、テープの断片の1つが導電性リードを完全に覆うように、5cm×5cmのガラスの断片にテープで留められた。クロロベンゼン中のPIM2の4重量%溶液(上記のように調製される)が、マスクされたサンプル上に、1200rpmで2分間にわたってスピンコーティングされた。マスクされたサンプルからテープが取り除かれ、サンプルが従来的な乾燥炉内で、100℃で1時間にわたって加熱された。この手順はしたがって、第1及び第2の交互に配置された金電極を有するポリマー支持層を提供した。およそ400nm厚さのPIM材料を含む、検体応答性誘電体層が、交互配置電極の上にあった。
金コーティングされたポリ(エチレンテレフタレート)(PET)(デラウェア州、ウィルミントン、E.I.デュポン・デ・ネモース・アンド・カンパニー(DuPont de Nemours and Company)、ST504)基材が、20オングストロームのクロミウム、続いて100nmの金を熱蒸発(ニュージャージー州、ムーアズタウン(Moorestown)デントン・バキューム(Denton Vacuum)DV−502A)させることによって調製された。
マスクを使用し、清浄化されたガラスの断片(2.5cm×2.5cm)の1.2cm×2.0cmの角部が、まず10nmのチタンと続く100nmのアルミニウムの連続的な(パターンを有さない)コーティングにより、サンプル1の調製において上記された装置を用いて蒸気でコーティングされた。PIM3のクロロベンゼン溶液が使用されて、ガラス断片上全体に750nm厚さの層をスピンコーティングした。少量のアセトンを含むスワブを使用して、PIM層を取り除き、動作回路への接続のために、下部アルミニウム電極の小さな角部を曝露した。サンプル2の調製において上記されたインクジェット印刷方法を使用して、銀ナノ粒子ゾル(カボット(Cabot)AG−IJ−G−100−S1)の0.9cm×1.5cmの矩形がPIM層の上部に印刷され、矩形の0.9cm×1.0cmの部分のみが下部アルミニウム電極の真上にあるように位置付けられた。印刷を完成した際に、サンプルが、サーモライン(Thermolyne)熱版上に125℃で15分間にわたって配置された。上部電極に接続するための能力を改善するために、上部のインクジェット印刷された電極を、アドバンスト・ナノ・プロダクツ(Advanced Nano Products)社、銀ナノ粒子懸濁液(アドバンスト・ナノ・プロダクツ(Advanced Nano Products)社からの、シルバージェットDGP−40LT−25C)を使用して厚くした(下部アルミニウム電極の真上にない領域のみ)。この厚くする工程は、単にペイントブラシを使用して所望の領域上にナノ粒子懸濁液を塗布することによって、達成された。厚くする工程の後、サンプルは、従来的な乾燥炉内で、150℃で1時間にわたって乾燥された。この手順は、連続的なアルミニウムを含む第1電極を有するガラス支持層を提供した。PIM材料を含む検体応答性誘電体層が、アルミニウム電極の上にあり、微視的に非連続的な(したがって、検体透過性の)銀層を含む第2電極がPIM層の上に存在した。動作回路は、サンプル1に関して記載されたものと同様の方法で、電極に取り付けることができた。
マスクを使用し、清浄化されたガラスの断片(2.5cm×2.5cm)の1.2cm×2.0cmの角部が、まず10nmのチタンと続く100nmのアルミニウムの連続的な(パターンを有さない)コーティングにより、サンプル1の調製において上記された装置を用いて蒸気でコーティングされた。PIM4のクロロベンゼン溶液が使用されて、ガラス断片上全体に400nm厚さの層をスピンコーティングした。少量のアセトンを含むスワブを使用して、PIM層を取り除き、動作回路への接続のために、下部アルミニウム電極の小さな角部を曝露した。サンプル2の調製において上記されたインクジェット印刷方法を使用して、銀ナノ粒子ゾル(カボット(Cabot)AG−IJ−G−100−S1)の0.9cm×1.5cmの矩形がPIM層の上部に印刷され、矩形の0.9cm×1.0cmの部分のみが下部アルミニウム電極の真上にあるように位置付けられた。印刷を完成した際に、サンプルが、サーモライン(Thermolyne)熱版上に125℃で15分間にわたって配置された。上部電極に接続するための能力を改善するために、上部のインクジェット印刷された電極を、アドバンスト・ナノ・プロダクツ(Advanced Nano Products)社、銀ナノ粒子懸濁液(アドバンスト・ナノ・プロダクツ(Advanced Nano Products)社からの、シルバージェットDGP−40LT−25C)を使用して厚くした(下部アルミニウム電極の真上にない領域のみ)。この厚くする工程は、単にペイントブラシを使用して所望の領域上にナノ粒子懸濁液を塗布することによって、達成された。厚くする工程の後、サンプルは、従来的な乾燥炉内で、150℃で1時間にわたって乾燥された。この手順は、連続的なアルミニウムを含む第1電極を有するガラス支持層を提供した。PIM材料を含む検体応答性誘電体層が、アルミニウム電極の上にあり、微視的に非連続的な(したがって、検体透過性の)銀層を含む第2電極がPIM層の上に存在した。動作回路は、サンプル1に関して記載されたものと同様の方法で、電極に取り付けることができた。
測定のために、単純な貫流特注デリバリーシステムを使用して既知の濃度のアセトンをサンプルに供給した。デリバリーシステム全体にわたって、テフロンチューブを使用した。液体形態のアセトンを含む容器にわたって窒素が散布され、アセトンで飽和した窒素気流を提供するために、低温に維持された。液体アセトンが、フィッシャー・サイエンティフィック(Fisher Scientific)社からの冷却装置を使用して低温に維持され、アセトンの飽和気流をつくるために、冷却装置を維持するべき温度は、蒸気圧のハンドブック(Handbook of Vapor Pressure)(ヨーズ(Yaws)C.I.ガルフ出版(Gulf Publishing)、ヒューストン(Houston)、1994年)を使用して算出された。飽和した気体アセトン流は、一連の流量制御装置を使用して、追加の窒素で希釈された。気流中のアセトンの濃度は、赤外線分光計(マサチューセッツ州、ウォルサム(Waltham)の、サーモエレクトロン(Thermo Electron)から、商標名ミランサファイア(Miran Sapphire)で入手可能)の使用によって検量された。気体アセトン流が、サンプル1を含むサンプルチャンバ(制御された温度に維持される)内に導入された。サンプルの第1及び第2電極が、ワニ口クリップを使用して、LCRメーター(カリフォルニア州、チノ(Chino)のインステック・アメリカ(Instek America)社から、商標名インステック(Insted)モデル821 LCRメーターで入手可能)を含む動作回路に接続された。サンプルのキャパシタンス(ナノファラッドで)の変化は、蒸気試験(図4に示される)の経過全体において、特定の時間間隔で、10キロヘルツの周波数で監視された。
サンプル2(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ナノファラッドで)の変化は、蒸気試験(図5に示される)の経過全体において、特定の時間間隔で、10キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが周囲室内条件(空気、およそ64%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。サンプルは次に、乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。試験チャンバは密閉され、394ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、試験チャンバ内に導入された。次に試験チャンバが、乾燥窒素環境に戻された。394ppmのアセトンへの曝露が更に二度繰り返され、その度、続いて乾燥窒素に曝露された。その後、サンプルは、133、394、651、及び915ppmを含む、一連の窒素気流に曝露され、サンプルは、各曝露の間にアセトンを含まない乾燥窒素環境に戻された。最後に乾燥窒素に曝露した後、サンプルは、915ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流に曝露された。一定時間の後、アセトンの濃度は651ppmまで、次に394ppmまで、次に133ppmまで、段階的に低減された。その後、サンプルは乾燥窒素に曝露された。試験チャンバが次に開かれ、サンプルは周囲条件(空気、64%相対湿度)に曝露された。
サンプル3(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ピコファラッドで)の変化は、試験(図6に示される)の間、特定の時間間隔で、20キロヘルツの周波数で監視された。蒸気試験の最初に、サンプルが周囲室内条件(空気、40%相対湿度、図6に図示されない)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。サンプルは次に、乾燥窒素(8%相対湿度、20℃)に曝露された。試験チャンバは密閉され、133ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、試験チャンバ内に導入された(図6において、乾燥窒素への曝露と133ppmアセトンへの曝露との間のピークはアーティファクトであった)133ppmアセトンでの一定時間の後、アセトンの濃度は、394ppmまで増加された。394ppmアセトンでの一定時間の後、アセトンの濃度は、651ppmまで増加された。651ppmアセトンでの一定時間の後、アセトンの濃度は、915ppmまで増加された。その後、サンプルは乾燥窒素に曝露された。試験チャンバが次に開かれ、サンプルは周囲条件(空気、40%相対湿度)に曝露された。
サンプル4(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ピコファラッドで)の変化は、試験(図7に示される)の間、特定の時間間隔で、10キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが周囲室内条件(空気、およそ50%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。試験チャンバが密閉され、サンプルは次に乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。133ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。次に試験チャンバが、乾燥窒素環境に戻された。133ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。394ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。試験チャンバが次に乾燥窒素環境に戻された。394ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。乾燥窒素に曝露した後、サンプルは次に651ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流に曝露された。一定時間の後、アセトンの濃度は394ppmまで、次に133ppmまで、段階的に低減された。その後、サンプルは乾燥窒素に曝露された。
サンプル5(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ピコファラッドで)の変化は、試験(図8に示される)の間、特定の時間間隔で、10キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが周囲室内条件(空気、およそ52%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。チャンバが密閉され、サンプルは次に乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。133ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。次に試験チャンバが、乾燥窒素環境に戻された。133ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。394ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。試験チャンバが次に乾燥窒素環境に戻された。394ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。乾燥窒素に曝露した後、サンプルは次に651ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流に曝露された。一定時間の後、アセトンの濃度は394ppmまで、次に133ppmまで、段階的に低減された。その後、サンプルは乾燥窒素に曝露された。試験チャンバが次に開かれ、サンプルは周囲条件(空気、50%相対湿度)に曝露された。
サンプル6(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ピコファラッドで)の変化は、試験(図9に示される)の間、特定の時間間隔で、10キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが周囲室内条件(空気、およそ71%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。試験チャンバが密閉され、サンプルは次に乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。133ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。次に試験チャンバが、乾燥窒素環境に戻された。133ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。394ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。試験チャンバが次に乾燥窒素環境に戻された。394ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。乾燥窒素に曝露した後、サンプルは次に651ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流に曝露された。一定時間の後、アセトンの濃度は394ppmまで、次に133ppmまで、段階的に低減された。その後、サンプルは乾燥窒素に曝露された。試験チャンバが次に開かれ、サンプルは周囲条件(空気、71%相対湿度)に曝露された。
サンプル7(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ピコファラッドで)の変化は、試験(図10に示される)の間、特定の時間間隔で、10キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが周囲室内条件(空気、およそ74%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。試験チャンバが密閉され、サンプルは次に乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。133ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。次に試験チャンバが、乾燥窒素環境に戻された。133ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。394ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。試験チャンバが次に乾燥窒素環境に戻された。394ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。乾燥窒素に曝露した後、サンプルは次に651ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流に曝露された。一定時間の後、アセトンの濃度は394ppmまで、次に133ppmまで、段階的に低減された。その後、サンプルは乾燥窒素に曝露された。試験チャンバが次に開かれ、サンプルは周囲条件(空気、71%相対湿度)に曝露された。
サンプル8(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ピコファラッドで)の変化は、試験(図11に示される)の間、特定の時間間隔で、200キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが周囲室内条件(空気、およそ66%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。試験チャンバが密閉され、サンプルは次に乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。133ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。次に試験チャンバが、乾燥窒素環境に戻された。133ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。394ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。試験チャンバが次に乾燥窒素環境に戻された。394ppmのアセトンへの曝露が繰り返され、続いて乾燥窒素に曝露された。乾燥窒素に曝露した後、サンプルは次に133ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流に曝露された。一定時間の後、アセトンの濃度は394ppmまで、次に651ppmまで、段階的に増加された。651ppmのアセトンでの一定時間の後、アセトンの濃度は394ppmまで、次に133ppmまで、段階的に低減された。その後、サンプルは乾燥窒素に曝露された。試験チャンバが次に開かれ、サンプルは周囲条件(空気、65%相対湿度)に曝露された。
サンプル9(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ナノファラッドで)の変化は、試験の間、特定の時間間隔で、1キロヘルツの周波数で監視された。図12では、データは、経時的なキャパシタンス比(ΔC/Co)(絶対的キャパシタンスとは対照的に)の変化としてプロットされる。サンプルが試験チャンバ内に配置され、試験チャンバが密閉された。サンプルは次に乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された(図12には図示されない)。これらの乾燥窒素条件下におけるサンプルのキャパシタンスは、実験全体を通じてCo値として使用された。実験全体が20℃の定温で行われ、したがって相対湿度値は、この温度において算出された。サンプルは次に、12%の相対湿度を含む窒素気流に曝露された。一定時間の後、サンプルは、12%相対湿度、及び50ppmのアセトンを含む窒素気流に曝露された。相対湿度を12%に維持しながら、アセトンの濃度を、250、500、及び1000ppmへと、連続的に増加させた。試験チャンバは次に、12%相対湿度の窒素環境へと戻された。一定時間の後、窒素気流の相対湿度は、24%まで増加された。サンプルは次に、24%の一定相対湿度で、アセトンの濃度の増加に連続的に曝露された(50、250、500、及び1000ppm)。試験チャンバは次に、24%相対湿度窒素環境に戻された。一定時間の後、窒素気流の相対湿度は、39%まで増加された。サンプルは次に、39%の一定相対湿度で、アセトンの濃度の増加に連続的に曝露された(50、250、500、及び1000ppm)。試験チャンバは次に、39%相対湿度窒素環境に戻された。試験チャンバは次に、乾燥窒素環境(8%相対湿度)へと戻された。一定時間の後、窒素気流の相対湿度は、56%まで増加された。サンプルは次に、56%の一定相対湿度で、アセトンの濃度の増加に連続的に曝露された(50、250、500、及び1000ppm)。試験チャンバは次に、56%相対湿度窒素環境に戻された。一定時間の後、窒素気流の相対湿度は、70%まで増加された。サンプルは次に、70%の一定相対湿度で、アセトンの濃度の増加に連続的に曝露された(50、250、500、及び1000ppm)。試験チャンバは次に、70%相対湿度窒素環境に戻された。一定時間の後、窒素気流の相対湿度は、88%まで増加された。サンプルは次に、88%の一定相対湿度で、アセトンの濃度の増加に連続的に曝露された(50、250、500、及び1000ppm)。サンプルは次に、88%の相対湿度で、0ppmのアセトンを含む気体流に曝露された。サンプルは次に、乾燥窒素環境(8%相対湿度)へと戻された。
サンプル10(上記のように調製される)は、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して試験された。サンプルのキャパシタンス(ナノファラッドで)の変化は、試験の間、特定の時間間隔で、1キロヘルツの周波数で監視された。図13では、データは、経時的なキャパシタンス比(ΔC/Co)の変化としてプロットされる。サンプルが試験チャンバ内に配置され、試験チャンバが密閉された。サンプルは次に、乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。これらの乾燥窒素条件下におけるサンプルのキャパシタンスは、実験全体を通じてCo値として使用された。5ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流が、試験チャンバ内に導入された。次に試験チャンバが、乾燥窒素環境に戻された。サンプルは次に10ppmのアセトンを含む乾燥窒素気流に曝露された。一定時間の後、アセトンの濃度は20ppmまで増加された。その後、サンプルは、50、100、200、及び500ppmのアセトンを含む、一連の窒素気流に曝露された。サンプルは次に、乾燥窒素環境に戻された。(図13の、200と500ppmのアセトンへの曝露の間におけるキャパシタンス比の低下は、検体の供給における問題によって生じたアーティファクトである。)
サンプル2の調製に関して記載されたものと同様の方法で調製された新しいサンプルが、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して、トルエンに対する反応について試験された。サンプルのキャパシタンス(ナノファラッドで)における変化は、試験(図14に示される)の間、特定の時間間隔で、1キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが、周囲室内条件(空気、およそ29%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。試験チャンバが密閉され、サンプルは乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。16ppmのトルエンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。一定時間の後、トルエンの濃度は26ppmまで増加された。その後サンプルは、48、91、及び175ppmのトルエンを含む一連の窒素気流に曝露された。サンプルは次に、乾燥窒素環境へと戻された。
サンプル2の調製に関して記載されたものと同様の方法で調製された新しいサンプルが、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して、ヘキサンに対する反応について試験された。サンプルのキャパシタンス(ナノファラッドで)における変化は、試験(図15に示される)の間、特定の時間間隔で、1キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが、周囲室内条件(空気、およそ23%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。チャンバが密閉され、サンプルが次に乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。73ppmのヘキサンを含む乾燥窒素気流が、次に試験チャンバ内に導入された。一定時間の後、アセトンの濃度は117ppmまで増加された。その後サンプルは、231、322、及び408ppmのヘキサンを含む一連の窒素気流に曝露された。サンプルは次に、乾燥窒素環境へと戻された。
サンプル2の調製に関して記載されたものと同様の方法で調製された新しいサンプルが、サンプル1に関して記載されたものと同じ段取りを使用して、イソプロピルアルコール(IPA)に対する反応について試験された。サンプルのキャパシタンス(ナノファラッドで)における変化は、試験(図16に示される)の間、特定の時間間隔で、1キロヘルツの周波数で監視された。試験の最初に、サンプルが、周囲室内条件(空気、およそ23%相対湿度)におけるサンプルの初期キャパシタンスを測定するために、密閉されていない試験チャンバ内に配置された。試験チャンバが密閉され、サンプルは次に乾燥窒素(およそ8%相対湿度、20℃)に曝露された。45ppmのイソプロピルアルコール(IPA)を含む乾燥窒素気流が、試験チャンバ内に導入された。次に試験チャンバが、乾燥窒素環境に戻された。サンプルは次に15ppmのIPAを含む乾燥窒素気流に曝露された。一定時間の後、IPA濃度は23ppmまで増加された。その後サンプルは、45、87、171、及び254ppmのIPAを含む、一連の窒素気流に曝露された。サンプルは次に、乾燥窒素環境へと戻された。試験チャンバが次に開かれ、サンプルは周囲条件(空気、26%相対湿度)に曝露された。
Claims (20)
- 有機化学検体を感知するための感知素子であって、
第1電極及び第2電極と、
前記第1及び前記第2電極の少なくとも近位に配置されるミクロ孔質で疎水性の検体応答性誘電体材料であって、固有ミクロ孔質のポリマーであるミクロ孔質で疎水性の検体応答性誘電体材料と、
を含む、感知素子。 - 前記固有ミクロ孔質のポリマーが、剛性リンカーによって連結されるほぼ平面的な種からなる有機高分子を含み、前記剛性リンカーは、前記リンカーによって連結される2つの近接する平面的な種が非同一平面上の配向に維持されるように、ねじれ点を有する、請求項1に記載の感知素子。
- 前記固有ミクロ孔質のポリマーが、剛性リンカーによって大部分が最高で2つの他の第1の種に連結される第1のほぼ平面的な種からなる有機高分子を含み、前記剛性リンカーが、前記リンカーによって連結される2つの近接する第1の平面的な種が非同一平面上の配向に維持されるように、ねじれ点を有する、請求項2に記載の感知素子。
- 前記ねじれ点が、スピロ基、架橋環部又は立体的に密集した単一の共有結合であり、その周囲では回転が制限される、請求項2に記載の感知素子。
- 前記電極の少なくとも一方が、有機化学検体に対して透過性である、請求項1に記載の感知素子。
- 前記透過性の電極が、導電性材料の非連続的な層を含む、請求項5に記載の感知素子。
- 前記透過性の電極が、導電性材料のパターン層を含む、請求項6に記載の感知素子。
- 前記感知素子が、平行プレートコンデンサ構成を含む、請求項1に記載の感知素子。
- 前記感知素子が、交互配置コンデンサ構成を含む、請求項1に記載の感知素子。
- 前記感知素子が、前記電極の少なくとも一方に近接する支持体を含む、請求項1に記載の感知素子。
- 前記感知素子が、前記電極の少なくとも一方と近接するカバー層を含む、請求項1に記載の感知素子。
- 前記カバー層が、有機化学検体に対して透過性である、請求項11に記載の感知素子。
- 有機化学検体を感知するためのセンサーであって、
第1電極及び前記第2電極、並びに前記第1及び前記第2電極の少なくとも近位に配置されるミクロ孔質で疎水性の検体応答性誘電体材料を含む感知素子であって、前記ミクロ孔質で疎水性の検体応答性誘電体材料は固有ミクロ孔質のポリマーである、感知素子と、
前記第1及び前記第2電極と電気的に導通する動作回路であって、前記第1及び前記第2電極に電圧を印加することができ、前記感知素子の電気的特性の変化を検出することができる動作回路と、
を含む、センサー。 - 前記固有ミクロ孔質のポリマーが、剛性リンカーによって連結される、ほぼ平面的な種からなる有機高分子を含み、前記剛性リンカーは、前記リンカーによって連結される2つの近接する平面的な種が、非同一平面上の配向に維持されるように、ねじれ点を有する、請求項13に記載のセンサー。
- 前記固有ミクロ孔質のポリマーが、剛性リンカーによって大部分が最高で2つの他の第1の種に連結される第1のほぼ平面的な種からなる有機高分子を含み、前記剛性リンカーは、前記リンカーによって連結される2つの近接する第1の平面的な種が非同一平面上の配向に維持されるように、ねじれ点を有する、請求項14に記載のセンサー。
- 前記ねじれ点が、スピロ基、架橋環部又は立体的に密集した単一の共有結合であり、その周囲では回転が制限される、請求項14に記載のセンサー。
- 前記電極の少なくとも一方が、有機化学検体に対して透過性である、請求項13に記載のセンサー。
- 有機化学検体を感知する方法であって、
第1電極及び第2電極、並びに前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも近位に配置されるミクロ孔質で疎水性の検体応答性誘電体材料を含む感知素子であって、前記ミクロ孔質で疎水性の検体応答性誘電体材料は、固有ミクロ孔質のポリマーである、感知素子と、
前記第1及び前記第2電極と電気的に導通する動作回路であって、前記第1及び前記第2電極に電圧を印加することができ、前記感知素子の電気的特性の変化を検出することができる動作回路と、
を含むセンサーを提供する工程と、
前記感知素子を1つ以上の有機化学検体を潜在的に含む環境に曝露する工程と、
電圧を前記第1及び前記第2電極に印加する工程と、
前記感知素子の電気的特性を監視する工程と、
を含む、方法。 - 前記感知素子がコンデンサを含み、監視される前記電気的特性が前記感知素子の容量特性である、請求項18に記載の方法。
- 測定される前記特性が、前記感知素子のキャパシタンスである、請求項19に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US97770707P | 2007-10-05 | 2007-10-05 | |
PCT/US2008/076781 WO2009045733A2 (en) | 2007-10-05 | 2008-09-18 | Organic chemical sensor comprising microporous polymer, and method of use |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010540966A true JP2010540966A (ja) | 2010-12-24 |
JP2010540966A5 JP2010540966A5 (ja) | 2011-09-22 |
Family
ID=40526908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010528029A Pending JP2010540966A (ja) | 2007-10-05 | 2008-09-18 | ミクロ孔質ポリマーを含む有機化学センサー、及び使用方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8835180B2 (ja) |
EP (1) | EP2205965B1 (ja) |
JP (1) | JP2010540966A (ja) |
KR (1) | KR20100099105A (ja) |
CN (1) | CN101815936B (ja) |
AU (1) | AU2008307295B2 (ja) |
BR (1) | BRPI0816607A2 (ja) |
WO (1) | WO2009045733A2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011018886A (ja) * | 2009-05-29 | 2011-01-27 | Xerox Corp | 電子デバイス用誘電体層 |
WO2013063445A3 (en) * | 2011-10-28 | 2013-08-08 | President And Fellows Of Harvard College | Capacitive, paper-based accelerometers and touch sensors |
JP2014515106A (ja) * | 2011-04-13 | 2014-06-26 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 校正情報を含む電子素子及びその使用方法 |
JP2014518568A (ja) * | 2011-04-13 | 2014-07-31 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 吸収性センサ素子の使用方法 |
JP2015500501A (ja) * | 2011-12-13 | 2015-01-05 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 気体媒質内の未知の有機化合物の同定及び定量測定方法 |
JP2015007618A (ja) * | 2013-05-29 | 2015-01-15 | 国立大学法人信州大学 | 容量型ガスセンサ及びその製造方法 |
JP2015525362A (ja) * | 2012-06-25 | 2015-09-03 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | センサー素子、その製造方法、及びその使用方法 |
JP2017506752A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-03-09 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性センサパッチ及びその使用方法 |
JP2019502132A (ja) * | 2015-11-16 | 2019-01-24 | ユニヴェルシテ ド モンペリエ | 誘電ガスセンサーにおけるバイオポリマーの使用 |
WO2025115398A1 (ja) * | 2023-11-29 | 2025-06-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 回路基板用フィルム、回路基板、伝送方法、及び回路基板用フィルムの製造方法 |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9538657B2 (en) | 2012-06-29 | 2017-01-03 | General Electric Company | Resonant sensor and an associated sensing method |
US9589686B2 (en) | 2006-11-16 | 2017-03-07 | General Electric Company | Apparatus for detecting contaminants in a liquid and a system for use thereof |
US20100134286A1 (en) * | 2008-12-01 | 2010-06-03 | General Electric Company | Radio frequency based sensors employing analyte recognition element |
US9536122B2 (en) | 2014-11-04 | 2017-01-03 | General Electric Company | Disposable multivariable sensing devices having radio frequency based sensors |
US10914698B2 (en) | 2006-11-16 | 2021-02-09 | General Electric Company | Sensing method and system |
US9658178B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-05-23 | General Electric Company | Sensor systems for measuring an interface level in a multi-phase fluid composition |
US8410562B2 (en) * | 2010-01-22 | 2013-04-02 | Carnegie Mellon University | Methods, apparatuses, and systems for micromechanical gas chemical sensing capacitor |
WO2011159480A1 (en) * | 2010-06-15 | 2011-12-22 | 3M Innovative Properties Company | Variable capacitance sensors and methods of making the same |
US11366077B2 (en) | 2010-09-10 | 2022-06-21 | The Trustees Of Dartmouth College | Systems, sensing devices and methods for detection of airborne contaminants |
US10451598B2 (en) * | 2010-09-10 | 2019-10-22 | The Trustees Of Dartmouth College | Devices for detecting airborne contaminants, and associated methods |
CN103210703B (zh) * | 2010-09-13 | 2016-08-10 | Pst传感器(私人)有限公司 | 装配和封装分立电子元件 |
JP2013542422A (ja) * | 2010-09-30 | 2013-11-21 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | センサー素子、その製造方法、及びそれを含むセンサー装置 |
EP2622334B1 (en) * | 2010-09-30 | 2016-05-25 | 3M Innovative Properties Company | Sensor element, method of making the same, and sensor device including the same |
US8542023B2 (en) | 2010-11-09 | 2013-09-24 | General Electric Company | Highly selective chemical and biological sensors |
CN102622641B (zh) * | 2011-01-30 | 2015-07-29 | 上海祯显电子科技有限公司 | 一种无源射频传感装置 |
EP2697635B1 (en) | 2011-04-13 | 2017-03-22 | 3M Innovative Properties Company | Method of detecting volatile organic compounds |
EP2697637B1 (en) | 2011-04-13 | 2021-01-13 | 3M Innovative Properties Company | Vapor sensor including sensor element with integral heating |
JP5908069B2 (ja) | 2011-06-08 | 2016-04-26 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 湿度センサ及びそのためのセンサ素子 |
WO2012174099A1 (en) * | 2011-06-16 | 2012-12-20 | 3M Innovative Properties Company | Surface plasmon resonance sensor element and sensor including the same |
CN103748458B (zh) * | 2011-06-30 | 2016-03-30 | 雅培医护站股份有限公司 | 用于确定传感装置可用性的方法和装置 |
US9201034B2 (en) | 2011-06-30 | 2015-12-01 | Abbott Point Of Care Inc. | Methods and devices for determining sensing device usability |
EP2726859A1 (en) | 2011-06-30 | 2014-05-07 | Abbott Point of Care Inc. | Methods and devices for determining sensing device usability |
WO2013033383A2 (en) | 2011-08-31 | 2013-03-07 | The Trustees Of Dartmouth College | Molecularly imprinted polymers for detection of contaminants |
WO2013180936A1 (en) | 2012-05-29 | 2013-12-05 | 3M Innovative Properties Company | Humidity sensor and sensor element |
JP6263179B2 (ja) * | 2012-08-02 | 2018-01-17 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 携帯用電子装置及び蒸気センサカード |
AU2013305814B2 (en) | 2012-08-22 | 2017-04-13 | Ge Global Sourcing Llc | Wireless system and method for measuring an operative condition of a machine |
US10598650B2 (en) | 2012-08-22 | 2020-03-24 | General Electric Company | System and method for measuring an operative condition of a machine |
US10684268B2 (en) | 2012-09-28 | 2020-06-16 | Bl Technologies, Inc. | Sensor systems for measuring an interface level in a multi-phase fluid composition |
EP3048983B1 (en) | 2013-09-26 | 2020-11-25 | 3M Innovative Properties Company | Vapor sensor suitable for detecting alcoholic residue at a skin site |
WO2015130548A1 (en) * | 2014-02-27 | 2015-09-03 | 3M Innovative Properties Company | Sub-ambient temperature vapor sensor and method of use |
DE102014219633A1 (de) * | 2014-09-29 | 2016-04-14 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Detektion von Substanzen in einer Probe |
KR101671694B1 (ko) * | 2015-08-19 | 2016-11-02 | 광주과학기술원 | 수소 센서의 제조방법 및 이에 의해 제조된 수소 센서 |
KR101731173B1 (ko) * | 2015-09-02 | 2017-04-28 | 한국과학기술원 | 다공성 탄성중합체 유전층을 구비하는 정전용량형 압력센서 |
CN108426921B (zh) | 2017-02-13 | 2021-04-06 | 华邦电子股份有限公司 | 气体传感器 |
CN110431410A (zh) * | 2017-03-31 | 2019-11-08 | 英诺斯森提亚公司 | 传感材料、用于制造功能设备的方法及其应用 |
EP3762391A4 (en) | 2018-03-08 | 2022-08-03 | ExxonMobil Technology and Engineering Company | SPIROCENTRIC COMPOUNDS AND POLYMERS THEREOF |
EP3598118A1 (en) * | 2018-07-20 | 2020-01-22 | MEAS France | Capacitive gas sensors and manufacturing method thereof |
CN109546890B (zh) * | 2019-01-18 | 2020-07-31 | 清华大学 | 湿气发电方法及装置 |
WO2021038293A1 (en) * | 2019-08-27 | 2021-03-04 | Nvent Services Gmbh | Ruggedized sensor for detecting organic liquids |
GB201919172D0 (en) * | 2019-12-23 | 2020-02-05 | Univ Oxford Innovation Ltd | Sensor |
EP4001906B1 (en) * | 2020-11-20 | 2024-10-02 | Infineon Technologies AG | Gas-sensitive device |
GB202101831D0 (en) * | 2021-02-10 | 2021-03-24 | Power Roll Ltd | An electronic device and method of production thereof |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6415646A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Junkosha Co Ltd | Volatile liquid detecting element and volatile liquid discriminating apparatus |
JPH06281610A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-10-07 | Nok Corp | 湿度センサ、アルコ−ルセンサまたはケトンセンサ |
JP2000325955A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-11-28 | Akon Higuchi | 環境ホルモンの除去法 |
US20060246273A1 (en) * | 2003-07-26 | 2006-11-02 | Mckeown Neil B | Microporous polymer material |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6488146A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Toshiba Corp | Humidity sensor |
US5512882A (en) * | 1991-08-07 | 1996-04-30 | Transducer Research, Inc. | Chemical sensing apparatus and methods |
AU6770394A (en) * | 1993-05-25 | 1994-12-20 | Rosemount Inc. | Organic chemical sensor |
US5857250A (en) * | 1994-10-25 | 1999-01-12 | Texas Instruments Incorporated | Method of forming a capacitance type gaseous sensing device and apparatus thereof |
DE19630209C2 (de) * | 1996-07-26 | 1998-06-04 | Dornier Gmbh | Verwendung eines Gassensors zum selektiven Nachweis von Kohlenwasserstoffen in sauerstoffarmen Gasen |
US5767687A (en) * | 1996-11-29 | 1998-06-16 | Geist; Jon | Surface-capacitor type condensable-vapor sensor |
US6864692B1 (en) * | 2002-06-20 | 2005-03-08 | Xsilogy, Inc. | Sensor having improved selectivity |
US7449146B2 (en) * | 2002-09-30 | 2008-11-11 | 3M Innovative Properties Company | Colorimetric sensor |
GB0411463D0 (en) | 2004-05-22 | 2004-06-23 | Univ Manchester | Thin layer composite membrane |
US7776269B2 (en) * | 2005-03-15 | 2010-08-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Capacitive based sensing of molecular adsorbates on the surface of single wall nanotubes |
US7837844B2 (en) * | 2005-04-26 | 2010-11-23 | Seacoast Science, Inc. | Interdigitated chemical sensors, and methods of making and using the same |
US7556774B2 (en) * | 2005-12-21 | 2009-07-07 | 3M Innovative Properties Company | Optochemical sensor and method of making the same |
US8067110B2 (en) * | 2006-09-11 | 2011-11-29 | 3M Innovative Properties Company | Organic vapor sorbent protective device with thin-film indicator |
US7704751B2 (en) * | 2006-09-18 | 2010-04-27 | 3M Innovative Properties Company | Polymeric fluorescent chemical sensor |
-
2008
- 2008-09-18 JP JP2010528029A patent/JP2010540966A/ja active Pending
- 2008-09-18 KR KR1020107009891A patent/KR20100099105A/ko not_active Ceased
- 2008-09-18 AU AU2008307295A patent/AU2008307295B2/en not_active Ceased
- 2008-09-18 US US12/681,741 patent/US8835180B2/en active Active
- 2008-09-18 WO PCT/US2008/076781 patent/WO2009045733A2/en active Application Filing
- 2008-09-18 EP EP08834853.7A patent/EP2205965B1/en not_active Not-in-force
- 2008-09-18 BR BRPI0816607A patent/BRPI0816607A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2008-09-18 CN CN200880109912.5A patent/CN101815936B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6415646A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Junkosha Co Ltd | Volatile liquid detecting element and volatile liquid discriminating apparatus |
JPH06281610A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-10-07 | Nok Corp | 湿度センサ、アルコ−ルセンサまたはケトンセンサ |
JP2000325955A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-11-28 | Akon Higuchi | 環境ホルモンの除去法 |
US20060246273A1 (en) * | 2003-07-26 | 2006-11-02 | Mckeown Neil B | Microporous polymer material |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011018886A (ja) * | 2009-05-29 | 2011-01-27 | Xerox Corp | 電子デバイス用誘電体層 |
JP2014515106A (ja) * | 2011-04-13 | 2014-06-26 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 校正情報を含む電子素子及びその使用方法 |
JP2014518568A (ja) * | 2011-04-13 | 2014-07-31 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 吸収性センサ素子の使用方法 |
WO2013063445A3 (en) * | 2011-10-28 | 2013-08-08 | President And Fellows Of Harvard College | Capacitive, paper-based accelerometers and touch sensors |
JP2015500501A (ja) * | 2011-12-13 | 2015-01-05 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 気体媒質内の未知の有機化合物の同定及び定量測定方法 |
US9658198B2 (en) | 2011-12-13 | 2017-05-23 | 3M Innovative Properties Company | Method for identification and quantitative determination of an unknown organic compound in a gaseous medium |
JP2015525362A (ja) * | 2012-06-25 | 2015-09-03 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | センサー素子、その製造方法、及びその使用方法 |
US10267758B2 (en) | 2012-06-25 | 2019-04-23 | 3M Innovative Properties, Company | Sensor element, method of making, and method of using the same |
JP2015007618A (ja) * | 2013-05-29 | 2015-01-15 | 国立大学法人信州大学 | 容量型ガスセンサ及びその製造方法 |
JP2017506752A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-03-09 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性センサパッチ及びその使用方法 |
JP2019502132A (ja) * | 2015-11-16 | 2019-01-24 | ユニヴェルシテ ド モンペリエ | 誘電ガスセンサーにおけるバイオポリマーの使用 |
WO2025115398A1 (ja) * | 2023-11-29 | 2025-06-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 回路基板用フィルム、回路基板、伝送方法、及び回路基板用フィルムの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009045733A2 (en) | 2009-04-09 |
AU2008307295A1 (en) | 2009-04-09 |
BRPI0816607A2 (pt) | 2019-08-27 |
EP2205965B1 (en) | 2017-11-01 |
CN101815936A (zh) | 2010-08-25 |
AU2008307295B2 (en) | 2011-09-01 |
US8835180B2 (en) | 2014-09-16 |
US20110045601A1 (en) | 2011-02-24 |
WO2009045733A3 (en) | 2009-05-28 |
KR20100099105A (ko) | 2010-09-10 |
EP2205965A2 (en) | 2010-07-14 |
CN101815936B (zh) | 2017-03-22 |
EP2205965A4 (en) | 2015-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010540966A (ja) | ミクロ孔質ポリマーを含む有機化学センサー、及び使用方法 | |
JP5266326B2 (ja) | プラズマ蒸着されたミクロ孔質層を含む有機化学センサー、並びに作製及び使用方法 | |
JP5932806B2 (ja) | センサー素子、その製造方法、及びそれを含むセンサー装置 | |
Yin et al. | Molecularly mediated thin film assembly of nanoparticles on flexible devices: electrical conductivity versus device strains in different gas/vapor environment | |
US10809215B2 (en) | Molecularly imprinted polymer sensors | |
JP6016887B2 (ja) | 校正情報を含む電子素子及びその使用方法 | |
JP2016200605A (ja) | センサー素子、その製造方法、及びそれを含むセンサー装置 | |
Lee et al. | Nano-grass polyimide-based humidity sensors | |
Rivadeneyra et al. | A printed capacitive–resistive double sensor for toluene and moisture sensing | |
JP2002526769A (ja) | 導電性有機センサー、アレイおよび使用方法 | |
Sohrabi et al. | A novel technique for rapid vapor detection using swelling polymer covered microstrip ring resonator | |
EP2067532A1 (en) | A method of producing a nanoparticle film on a substrate | |
JP2014510933A (ja) | センサ素子を含み一体型加熱機構を備えた蒸気センサ | |
Shan et al. | Flexibility characteristics of a polyethylene terephthalate chemiresistor coated with a nanoparticle thin film assembly | |
Ibañez et al. | Chemiresistive vapor sensing with microscale films of gold monolayer protected clusters | |
Lee et al. | High-performance humidity sensors utilizing dopamine biomolecule-coated gold nanoparticles | |
Chuang et al. | Development of a high performance integrated sensor chip with a multi-walled carbon nanotube assisted sensing array | |
Su et al. | Flexibility and electrical and humidity-sensing properties of N-substituted pyrrole derivatives and composite films of Au nanoparticles/N-substituted pyrrole derivatives | |
KR20220167654A (ko) | 정전용량형 습도센서의 제조방법 및 그에 의해 제조된 정전용량형 습도센서 | |
Knopf et al. | Flexible hydrogel actuated graphene-cellulose biosensor for monitoring pH | |
Fu et al. | Polynucleotide-functionalized gold nanoparticles as chemiresistive vapor sensing elements | |
Sapsanis | Capacitive Structures for Gas and Biological Sensing |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110805 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130104 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130226 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131008 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131219 |